JP2004288463A5 - 蒸着装置及び蒸着方法 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送室を介して連結された、複数の成膜室と、
前記複数の成膜室にそれぞれ連結された、設置室と、を有する蒸着装置であって、
前記複数の成膜室はそれぞれ、前記成膜室内を減圧雰囲気とする排気手段、
蒸着源を加熱する手段を有する蒸着源ホルダ、及び前記蒸着源ホルダを前記成膜室内で移動させる手段を有し、
前記設置室は、前記蒸着源ホルダを、前記設置室内及び前記成膜室と前記設置室との間で移動させる手段を有し、
前記複数の成膜室ではそれぞれ、積層構造を有する一つの発光素子の異なる層が蒸着される
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
搬送室を介して連結された、複数の成膜室と、
前記複数の成膜室にそれぞれ連結された、設置室と、を有する蒸着装置であって、
前記複数の成膜室はそれぞれ、前記成膜室内を減圧雰囲気とする排気手段、
蒸着源を加熱する手段及びシャッターを有する蒸着源ホルダ、並びに前記蒸着源ホルダを前記成膜室内で移動させる手段を有し、
前記設置室は、前記蒸着源ホルダを、前記設置室内及び前記成膜室と前記設置室との間で移動させる手段を有し、
前記複数の成膜室ではそれぞれ、積層構造を有する一つの発光素子の異なる層が蒸着される
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記設置室は、膜厚計を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記蒸着装置は、前記成膜室に連結された、前記成膜室内を減圧雰囲気とする排気手段、及び材料ガス、不活性ガス、またはクリーニングガスを導入する手段を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記材料ガス、不活性ガス、またはクリーニングガスを導入する手段は、プラズマ発生手段によりラジカル化された材料ガス、不活性ガス、またはクリーニングガスを導入する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５のいずれか一において、
前記材料ガスは、モノシラン、ジシラン、トリシラン、ＳｉＦ_４、ＧｅＨ_４、ＧｅＦ_４、ＳｎＨ_４、ＣＨ_４、Ｃ_２Ｈ_２、Ｃ_２Ｈ_４、またはＣ_６Ｈ_６から選ばれた一種若しくは複数種のガスである
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項７】
請求項４乃至請求項６のいずれか一において、
前記不活性ガスは、Ａｒ、またはＮ _２ から選ばれた一種若しくは複数種のガスである
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項８】
請求項４乃至請求項７のいずれか一において、
前記クリーニングガスは、Ｈ _２ 、Ｆ _２ 、ＮＦ _３ 、またはＯ _２ から選ばれた一種若しくは複数種のガスである
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか一において、
前記蒸着源ホルダは、成膜室内をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向または回転方向となるθ方向に移動可能である
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか一において、
前記成膜室は、前記成膜室内を区切るシャッターを有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項１０のいずれか一において、
前記蒸着装置は、前記設置室に連結された、前記設置室内を減圧雰囲気とする排気手段を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項１１のいずれか一において、
前記設置室は、減圧雰囲気で蒸着材料が収納された容器から蓋を外し、前記蒸着源ホルダへ設置させる手段を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１３】
請求項１乃至請求項１２において、
前記搬送室は、前記搬送室を減圧雰囲気とする排気手段を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３のいずれか一において、
前記蒸着装置は、前記複数の成膜室と搬送室を介して連結された陰極または陽極を成膜する処理室、封止基板を貼り付ける処理室、及び前記封止基板に光学フィルムを貼り付ける処理室を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか一において、
前記成膜室は、３２０ｍｍ×４００ｍｍ、３７０ｍｍ×４７０ｍｍ、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ、６００ｍｍ×７２０ｍｍ、６８０ｍｍ×８８０ｍｍ、１０００ｍｍ×１２００ｍｍ、１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ、または１１５０ｍｍ×１３００ｍｍの大面積基板を固定する手段を有する
ことを特徴とする蒸着装置。
【請求項１６】
搬送室を介して連結された、第１乃至第３の成膜室と、
前記第１乃至第３の成膜室にそれぞれ連結された第１乃至第３の設置室とを有する蒸着装置を用いた蒸着方法であって、
前記第１の設置室で正孔輸送性材料が入った蒸着源が設置された第１の蒸着源ホルダを、前記第１の成膜室へ移動して正孔輸送層を形成し、
前記正孔輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第２の成膜室へ移動し、
前記第２の設置室で発光材料が入った蒸着源が設置された第２の蒸着源ホルダを、前記第２の成膜室へ移動して前記被蒸着物に発光層を形成し、
前記発光層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第３の成膜室へ移動し、
前記第３の設置室で電子輸送性材料が入った蒸着源が設置された第３の蒸着源ホルダを、前記第３の成膜室へ移動して前記被蒸着物に電子輸送層を形成する
ことを特徴とする蒸着方法。
【請求項１７】
搬送室を介して連結された、第１乃至第３の成膜室と、
前記第１乃至第３の成膜室にそれぞれ連結された第１乃至第３の設置室とを有する蒸着装置を用いた蒸着方法であって、
前記第１の設置室で白色発光素子の正孔輸送性材料が入った蒸着源が設置された第１の蒸着源ホルダを、前記第１の成膜室へ移動して前記白色発光素子の正孔輸送層を形成し、
前記白色発光素子の正孔輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第２の成膜室へ移動し、
前記第２の設置室で前記白色発光素子の発光材料が入った蒸着源が設置された第２の蒸着源ホルダを、前記第２の成膜室へ移動して前記被蒸着物に前記白色発光素子の発光層を形成し、
前記白色発光素子の発光層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第３の成膜室へ移動し、
前記第３の設置室で前記白色発光素子の電子輸送性材料が入った蒸着源が設置された第３の蒸着源ホルダを、前記第３の成膜室へ移動して前記被蒸着物に前記白色発光素子の電子輸送層を形成する
ことを特徴とする蒸着方法。
【請求項１８】
複数の搬送室を介して連結された、第１乃至第１０の成膜室と、
前記第１乃至第９の成膜室にそれぞれ連結された第１乃至第１０の設置室とを有する蒸着装置を用いた蒸着方法であって、
前記第１の設置室で赤色発光素子の正孔輸送性材料が入った蒸着源が設置された第１の蒸着源ホルダを、前記第１の成膜室へ移動して前記赤色発光素子の正孔輸送層を形成し、
前記赤色発光素子の正孔輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第２の成膜室へ移動し、
前記第２の設置室で前記赤色発光素子の発光材料が入った蒸着源が設置された第２の蒸着源ホルダを、前記第２の成膜室へ移動して前記被蒸着物に前記赤色発光素子の発光層を形成し、
前記赤色発光素子の発光層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第３の成膜室へ移動し、
前記第３の設置室で前記赤色発光素子の電子輸送性材料が入った蒸着源が設置された第３の蒸着源ホルダを、前記第３の成膜室へ移動して前記被蒸着物に前記赤色発光素子の電子輸送層を形成し、
前記赤色発光素子の電子輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第４の成膜室へ移動し、
前記第４の設置室で緑色発光素子の正孔輸送性材料が入った蒸着源が設置された第４の蒸着源ホルダを、前記第４の成膜室へ移動して前記緑色発光素子の正孔輸送層を形成し、
前記緑色発光素子の正孔輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第５の成膜室へ移動し、
前記第５の設置室で前記緑色発光素子の発光材料が入った蒸着源が設置された第５の蒸着源ホルダを、前記第５の成膜室へ移動して前記被蒸着物に前記緑色発光素子の発光層を形成し、
前記緑色発光素子の発光層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第６の成膜室へ移動し、
前記第６の設置室で前記緑色発光素子の電子輸送性材料が入った蒸着源が設置された第６の蒸着源ホルダを、前記第６の成膜室へ移動して前記被蒸着物に前記緑色発光素子の電子輸送層を形成し、
前記緑色発光素子の電子輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第７の成膜室へ移動し、
前記第７の設置室で青色発光素子の正孔輸送性材料が入った蒸着源が設置された第７の蒸着源ホルダを、前記第７の成膜室へ移動して前記青色発光素子の正孔輸送層を形成し、
前記青色発光素子の正孔輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第８の成膜室へ移動し、
前記第８の設置室で前記青色発光素子の発光材料が入った蒸着源が設置された第８の蒸着源ホルダを、前記第８の成膜室へ移動して前記被蒸着物に前記青色発光素子の発光層を形成し、
前記青色発光素子の発光層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第９の成膜室へ移動し、
前記第９の設置室で前記青色発光素子の電子輸送性材料が入った蒸着源が設置された第９の蒸着源ホルダを、前記第９の成膜室へ移動し、前記被蒸着物に前記青色発光素子の電子輸送層を形成し、
前記青色発光素子の電子輸送層が形成された被蒸着物を、大気にふれさせることなく前記第１０の成膜室へ移動し、
前記第１０の設置室で前記赤色、緑色、及び青色の発光素子に共通する電子注入性材料が入った蒸着源が設置された第１０の蒸着源ホルダを、前記第１０の成膜室へ移動して前記被蒸着物に電子注入層を形成する
ことを特徴とする蒸着方法。
【請求項１９】
請求項１６乃至請求項１８のいずれか一において、
前記蒸着源ホルダを加熱して前記蒸着源の蒸着速度を安定させた後、前記蒸着源ホルダを成膜室へ移動する
ことを特徴する蒸着方法。