JP2004043827A - ポリイミド前駆体、ポリイミド前駆体組成物、ポリイミド樹脂および電子部品 - Google Patents

Abstract

【課題】微細な凹凸を有する基板上に平坦性に優れた膜を形成でき、しかも低誘電率、低吸湿性であり、耐環境安定性に優れたポリイミド樹脂の前駆体を提供する。
【解決手段】下記一般式（ＤＡ２）（Ｘ² はパーフルオロアルキレン基、パーフルオロアルキリデン基、スルホニル基、または単結合を示し、Ｒ⁰ はフルオロ基、または非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基を示し、Ｒ² はフルオロ基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基または水素原子を示し、少なくとも１個はフルオロ基またはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基であり、ａおよびｂは０〜３の整数である。）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するアミン成分と、テトラカルボン酸二無水物０．８０モル当量以上を含有する酸無水物成分とを重合させた構造を有するポリイミド前駆体。
【選択図】　　　なし
　【化１】

Description

　本発明は、各種の絶縁部材の形成に好適に用いられるポリイミド前駆体およびビスマレイミド系硬化樹脂前駆体、ならびにこれらの前駆体から製造されるポリイミド樹脂またはビスマレイミド系硬化樹脂を絶縁膜や絶縁基板として具備した電子部品に関する。

　近年、半導体デバイスの層間絶縁膜の材料として、４００℃以上の高温熱処理にも耐える耐熱性に優れたポリイミド樹脂が使用されるようになってきている。このようなポリイミド樹脂としては、ピロメリト酸二無水物と４，４’−オキシジアニリンとの縮合生成物からなるカプトン（デュポン社登録商標）が知られている。また、電子部品の大容量化、小形軽量化、高信頼化、高密度化に伴い、多層配線基板の材料としては、高耐熱性、スルーホール接着信頼性、寸法安定性、電気特性、可撓性に優れた有機高分子材料が要求されている。従来、多層配線基板の材料にはビスマレイミド系硬化樹脂が使用されている。このようなビスマレイミド系硬化樹脂としては、ビス（４−マレイミドフェニル）メタンとメチレン−４，４’−ジアニリンとの反応生成物を硬化させたもの（例えば特公昭４６−２３２５０号公報）が知られている。

　ところで、半導体デバイスにおいては、高集積化が進み配線パターンのライン・アンド・スペースの幅がクォータミクロンのレベルまで近づくのに伴って、半導体デバイスの遅延時間の増大および使用電力量の増大が重大な問題となってきている。すなわち、信号伝達速度Ｖ_s は、Ｖ_s ＝ｃ×ε_r ^-0.5（ｃ：光速度、ε_r ：誘電体の誘電率）という式で表される。この式から明らかなように、信号伝達速度の高速化には層間絶縁膜の誘電率を低下させることが重要である。従来、半導体デバイスの層間絶縁膜として一般的に使用されているＳｉＯ₂ の誘電率は３．５程度と高く、その代わりに用いられる材料の誘電率はこの値より十分に低いことが望まれる。同様に、多層配線基板においても、基板の誘電率を低下させることが不可欠な課題となっている。

　このような背景から、電子部品の絶縁部材として３．０以下の低い誘電率を実現可能な有機高分子膜を要望されている。しかし、従来のポリイミド樹脂およびビスマレイミド系硬化樹脂は、いずれも誘電率が３．４程度であり、それほど低くない。この点で、フッ素樹脂は誘電率が２．５程度と低いことから注目されているが、フッ素樹脂は加工性が悪いうえ、特に多層基板作製時の多層化工程における高温条件下では極めて寸法安定性に劣るという欠点がある。

　また、半導体デバイスなどに用いられる絶縁部材には、低誘電率のほかにも、半導体デバイス表面の平坦性を改善できること、吸湿性が低いこと、化学的に分解しにくいことなど、種々の特性が要求される。

　例えば平坦性に関して説明する。従来のポリイミド前駆体は硬化前にすでに分子量が高く、その溶液（ワニス）は高粘度であるため、このポリイミド前駆体ワニスを使用して凹凸のある表面に絶縁膜を形成する場合、得られた膜の表面では平坦性が損なわれる。特に、半導体基板表面に形成された幅０．１〜０．５μｍ程度のトレンチの内部にポリイミド樹脂を完全に充填することは困難である。そこで、下地の配線の段差約１μｍに対して３〜４μｍの膜厚のポリイミド被膜を形成し、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）によりエッチバックして表面を平坦化することが行なわれている。しかし、ＲＩＥでは終点検出が困難であり、エッチング生成物により装置内部が汚れるという問題がある。このためエッチバック量は極力少ないことが望ましく、この点からも絶縁膜の平坦性が良好であることが要求される。また、トレンチ内部にポリイミド樹脂を充填しようとすると、低濃度のワニスを使用せざるを得ない。低濃度のワニスを使用した場合、揮散させる溶媒量が多くなる。上述したように従来のポリイミド前駆体は硬化前にすでに高分子量であるため、残存している溶媒が多い段階で流動性が失われる。この結果、溶媒の揮散が抑制されるとともにポリイミド樹脂の局部的収縮を招き、ボイドが発生しやすくなる。

　また、従来のポリイミド樹脂およびビスマレイミド系硬化樹脂は、吸湿率がかなり高いうえ、大気中に放置すると加湿分解により樹脂の一部が分解して、トルエン成分を放出するなど、環境安定性にも問題がある。

　さらに、特定の電子部品に使用される絶縁部材には、上述した特性のほかにもその電子部品に特有の特性が要求される場合がある。例えば、液晶表示素子の液晶配向膜として用いられているポリイミド樹脂について説明する。液晶表示素子には、視野角を大きくするためにＳＴＮ（スーパーツイステッドネマティック）方式が多用されている。ＳＴＮ方式の液晶表示素子では、セル内で液晶分子の長軸方向を２７０°ねじれさせるので、この目的を達成するために液晶に高いプレチルト角を与えることができる液晶配向膜が要求される。また、高精細なカラー液晶表示素子には、各画素にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を設けるとともに、カラーフィルターが用いられる。この場合、カラーフィルターの耐熱性が低いことから、２００℃以下の低い硬化温度で形成できる液晶配向膜が要求される。

　高いプレチルト角を与える液晶配向膜として、特開昭６２−１７４７２５号公報にはフルオロアルキル基が鎖状炭素に結合しているポリイミド樹脂が開示されている。しかし、このポリイミド樹脂では、安定したプレチルト角が得られない、電圧保持率が小さい、という欠点がある。また、硬化温度の低い配向膜として、第９回高分子エレクトロニクス研究会講座、講演要旨集、３２頁に開示されているように、可溶性ポリイミドが知られている。しかし、この可溶性ポリイミドでは高いプレチルト角が得られないという問題があった。このように高いプレチルト角を与えることができ、しかも電圧保持率の大きいポリイミド液晶配向膜は実現していなかった。

　本発明の目的は、微細な凹凸を有する基板上に平坦性に優れた膜を形成でき、しかも低誘電率、低吸湿性であり、耐環境安定性に優れたポリイミド樹脂またはビスマレイミド系硬化樹脂の前駆体を提供することにある。また、本発明の他の目的は、上記のような樹脂を絶縁部材として具備し、高速動作および省電力を実現でき、しかも信頼性の高い電子部品を提供することにある。

　本発明の第１のポリイミド前駆体は、下記一般式（ＤＡ１）

（Ｘ¹ はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、２価のオキシ基、チオ基、スルホニル基、カルボニル基、パーアルキルポリシロキサニレン基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基または単結合を示し、Ｒ¹ はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、フルオロ基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基を示し、ａ、ｂおよびｃは０〜４の整数、ｉは１〜６の整数、ｊは０〜６の整数、ｋは０または１である。）
で表される芳香族ジアミン化合物０．４０モル当量以上を含有するジアミン成分０．９７〜１．０３モル当量と、下記一般式（ＤＡＨ１）

（Ｙは４価の有機基を示す。）
で表されるテトラカルボン酸二無水物（１−ｎ₁ ／２）モル当量、ならびにマレイン酸無水物およびマレイン酸誘導体無水物より選ばれた少なくとも１種ｎ₁ モル当量（ｎ₁ は０．０２〜０．４０）を含有する酸無水物成分とを重合させた構造を有することを特徴とするものである。

　　本発明の第２のポリイミド前駆体は、下記一般式（ＤＡ２）

（Ｘ² はパーフルオロアルキレン基、パーフルオロアルキリデン基、スルホニル基、または単結合を示し、Ｒ⁰ はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、フルオロ基、または非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基を示し、Ｒ² はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、フルオロ基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基または水素原子を示し、少なくとも１個はフルオロ基またはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基であり、ａおよびｂは０〜３の整数である。）
で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するアミン成分と、下記一般式（ＤＡＨ１）

（Ｙは４価の有機基を示す。）
で表されるテトラカルボン酸二無水物０．８０〜０．９９モル当量を含有する酸無水物成分とを重合させた構造を有することを特徴とするものである。

　本発明の第２のポリイミド前駆体は、より具体的には、前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するジアミン化合物０．９７〜１．０３モル当量と、前記一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物（１−ｎ₂ ／２）モル当量およびジカルボン酸無水物ｎ₂ モル当量（ｎ₂ は０〜０．４）とを重合させた構造、または前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するジアミン化合物（１−ｎ₃ ／２）モル当量およびモノアミン化合物ｎ₃ モル当量（ｎ₃ は０〜０．４）と、前記一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物０．９７〜１．０３モル当量とを重合させた構造を有する。

　上記第１および第２のポリイミド前駆体に、さらに感光剤を含有させると感光性のポリイミド前駆体とすることができる。

　本発明のさらに他のポリイミド前駆体は感光性を有するものであり、下記一般式（ＰＡ１１）

（Ｙは４価の有機基、Ｌは上記一般式（ＤＡ１）で表されるジアミン化合物の残基からなる２価の有機基であり、Ｄ¹ はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、感光性の有機基または水酸基を示し、少なくとも一方は感光性の有機基である。）
で表される繰り返し単位を有するポリアミド酸誘導体と、光重合開始剤とを含有することを特徴とするものである。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体は、下記一般式（ＤＭ１）

（Ｘ³¹は２価のオキシ基、チオ基、スルホニル基、カルボニル基、パーアルキルポリシロキサニレン基、１，３−フェニレンジオキシ基、１，４−フェニレンジオキシ基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基、または単結合を示し、Ｒ³¹はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、フルオロ基または非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基を示し、少なくとも１個はフルオロ基またはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基であり、Ｒ³²はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、ハロゲン基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基、または水素原子を示し、ａおよびｂは１〜４の整数である。）
で表されるビスマレイミド化合物１モル当量と、下記一般式（ＤＡ１１）で表されるジアミン化合物および下記一般式（ＤＰ１）で表される２価フェノール化合物

（一般式（ＤＡ１１）においてＸ³²は２価の有機基を示し、一般式（ＤＰ１）においてＸ³³は２価の有機基を示し、Ａｒは芳香族炭化水素基または芳香族複素環基を示し、ｎは０または１である。）
からなる群より選択される少なくとも１種の化合物０．０１〜２モル当量
とを反応させた構造を有することを特徴とするものである。

　本発明のポリイミド樹脂は、上述したそれぞれのポリイミド前駆体を硬化させてなることを特徴とするものである。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂は、上述したビスマレイミド系硬化樹脂前駆体を硬化させてなることを特徴とするものである。

　本発明の電子部品は、上述したそれぞれのポリイミド前駆体を硬化させてなるポリイミド樹脂を絶縁部材として含有することを特徴とするものである。

　本発明の他の電子部品は、上述したビスマレイミド系硬化樹脂前駆体を硬化させてなるビスマレイミド系硬化樹脂を絶縁部材として含有することを特徴とするものである。

　本発明によれば、微細な凹凸を有する基板上に平坦性に優れた膜を形成でき、しかも低誘電率、低吸湿性であり、耐環境安定性に優れたポリイミド樹脂またはビスマレイミド系硬化樹脂の前駆体を提供できる。さらに、上記のような樹脂を絶縁部材として具備し、高速動作および省電力を実現でき、しかも信頼性の高い電子部品を提供できる。

　以下、本発明をさらに詳細に説明する。

　本発明のポリイミド前駆体（ポリアミド酸）は、一般に、ジアミン成分０．９７〜１．０３モル当量と、テトラカルボン酸二無水物（１−ｎ₂ ／２）モル当量およびジカルボン酸無水物ｎ₂ モル当量（ｎ₂ は０〜０．４）とを配合するか、またはジアミン成分（１−ｎ₃ ／２）モル当量およびモノアミン化合物ｎ₃ モル当量（ｎ₃ は０〜０．４）と、テトラカルボン酸二無水物０．９７〜１．０３モル当量とを配合し、これらを重合させた構造を有する。

　まず、本発明に係る第１のポリイミド前駆体（ポリアミド酸）について説明する。このポリイミド前駆体は、（ａ）一般式（ＤＡ１）で表される特定の分子構造を有する芳香族ジアミン化合物０．４０モル当量以上を含有するジアミン成分０．９７〜１０．３モル当量と、（ｂ）一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物（１−ｎ₁ ／２）、ならびにマレイン酸無水物およびマレイン酸誘導体無水物より選ばれた少なくとも１種ｎ₁ モル当量（ｎ₁ は０．０２〜０．４０）を含有する酸無水物成分とを重合させた構造を有する。

　一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物は、（ａ１）１つのベンゼン環を有し、２つのアミノ基がこのベンゼン環に、互いにメタ位において結合した構造を有する芳香族ジアミン化合物、および（ａ２）２つ以上のベンゼン環を有し、２つのアミノ基がそれぞれ末端のベンゼン環に、その末端のベンゼン環の他のベンゼン環への結合部位から見てメタ位において結合した構造を有する芳香族ジアミン化合物を含む。

　一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物としては、以下のようなものが挙げられる。例えば、１，３−フェニレンジアミン、３，３’−ジアミノビフェニル、１，３−フェニレン−３，３’−ジアニリン、１，４−フェニレン−３，３’−ジアニリン、オキシ−３，３’−ジアニリン、チオ−３，３’−ジアニリン、スルホニル−３，３’−ジアニリン、メチレン−３，３’−ジアニリン、１，２−エチレン−３，３’−ジアニリン、１，３−トリメチレン−３，３’−ジアニリン、２，２−プロピリデン−３，３’−ジアニリン、１，４−テトラメチレン−３，３’−ジアニリン、１，５−ペンタメチレン−３，３’−ジアニリン、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−３，３’−ジアニリン、ジフルオロメチレン−３，３’−ジアニリン、１，１，２，２−テトラフルオロ−１，２−エチレン−３，３’−ジアニリン、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−１，３−トリメチレン−３，３’−ジアニリン、１，３−ビス（３−アミノフェニル）−１，１，３，３，−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェニルチオ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェニルスルホニル）ベンゼン、１，３−ビス［２−（３−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、１，３−ビス［２−（３−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−プロピル］ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェニルチオ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェニルスルホニル）ベンゼン、１，４−ビス［２−（３−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、１，４−ビス［２−（３−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−プロピル］ベンゼン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、５−フルオロ−１，３−フェニレンジアミン、２，４，５，６−ヘキサフルオロ−１，３−フェニレンジアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’−ジフルオロビフェニル、３，３’−ジアミノ−２，２’，４，４’，５，５’，６，６’−オクタフルオロビフェニル、オキシ−５，５’−ビス（３−フルオロアニリン）、スルホニル−５，５’−ビス（３−フルオロアニリン）、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）−５−フルオロベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェノキシ）−５−フルオロベンゼン、５−トリフルオロメチル−１，３−フェニレンジアミン、オキシ−５，５’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、スルホニル−５，５’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）−５−トリフルオロメチルベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−５−トリフルオロメチルフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−５−トリフルオロメチルフェノキシ）−５−トリフルオロメチルベンゼン、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）−５，５’−ジアミノビフェニル、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−メチルフェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、３”，３''' −ジアミノ−ｐ−クアテルフェニル、４，４’−ビス（３−アミノフェノキシ）ビフェニル、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［３−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［３−（３−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス｛４−［４−（２−（３−アミノフェニル）プロピリデンフェノキシ）］フェニル｝スルホン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］プロパンなどである。これらは単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。

　一般式（ＤＡ１）で表される、ベンゼン環のメタ位にアミノ基を有する芳香族ジアミン化合物を含有するポリイミド前駆体は、例えばベンゼン環のパラ位にアミノ基を有する芳香族ジアミンを含有するものと比較して、耐熱性に優れ、かつ大気中に放置しても加湿分解生成物であるガス（トルエン、キシレンなど）の発生量が非常に少なく環境安定性に優れたポリイミド樹脂が得られる点で好ましい。特に、（ａ２）のように複数のベンゼン環を有する芳香族ジアミン化合物を含有するポリイミド前駆体は、加水分解しにくく、環境安定性に優れている。

　本発明において、一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物は、全ジアミン成分のうち０．４０モル当量以上配合されるが、さらに０．７０モル当量以上配合されることが好ましい。この理由は、一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物の配合量が少なすぎると、加水分解しにくく環境安定性に優れたポリイミド樹脂を得ることができなくなるからである。

　ポリイミド樹脂の耐熱性、環境安定性および低誘電率特性の面から、一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミンのうち特に好ましい芳香族ジアミン化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、１，３−フェニレンジアミン、３，３’−ジアミノビフェニル、１，３−フェニレン−３，３’−ジアニリン、１，４−フェニレン−３，３’−ジアニリン、オキシ−３，３’−ジアニリン、スルホニル−３，３’−ジアニリン、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−３，３’−ジアニリン、ジフルオロメチレン−３，３’−ジアニリン、１，１，２，２−テトラフルオロ−１，２−エチレン−３，３’−ジアニリン、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−１，３−トリメチレン−３，３’−ジアニリン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、５−フルオロ−１，３−フェニレンジアミン、３，３’−ジアミノ−５，５’−ジフルオロビフェニル、５−トリフルオロメチル−１，３−フェニレンジアミン、オキシ−５，５’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、スルホニル−５，５’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）−５−トリフルオロメチルベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−５−トリフルオロメチルフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−５−トリフルオロメチルフェノキシ）−５−トリフルオロメチルベンゼン、２，２−ビス（３−アミノ−４−メチルフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）−５，５’−ジアミノビフェニル、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパンなどである。

　本発明の第１のポリイミド前駆体においては、ジアミン成分として、一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物とともに、下記一般式（ＤＡ６）で表される芳香族ジアミン化合物すなわちビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物を併用してもよい。

（Ｒ³ はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、炭素数１〜５のアルキル基を示し、ｍおよびｎは１〜１０の整数であり、ｐは正の整数である。）
　一般式（ＤＡ６）で表されるビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物としては、以下のようなものが挙げられる。例えば、１，３−ビス（アミノメチル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（２−アミノエチル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（４−アミノブチル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（５−アミノペンチル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（６−アミノヘキシル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（７−アミノヘプチル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（８−アミノオクチル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（１０−アミノデシル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，５−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３，５，５−ヘキサメチルトリシロキサン、１，７−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３，５，５，７，７−オクタメチルテトラシロキサン、１，１１−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３，５，５，７，７，９，９，１１，１１−ドデカメチルヘキサシロキサン、１，１５−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３，５，５，７，７，９，９，１１，１１，１３，１３，１５，１５−ヘキサデカメチルオクタシロキサン、１，１９−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３，５，５，７，７，９，９，１１，１１，１３，１３，１５，１５，１７，１７，１９，１９−エイコサメチルデカシロキサンなどである。

　一般式（ＤＡ６）で表されるビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物は、ポリイミド樹脂の例えば半導体基板上への密着性および接着性を向上させる作用を有する。これらの化合物は、全ジアミン成分のうち０．０２〜０．１モル当量用いることが好ましい。これは、このような化合物を配合することで得られるポリイミド樹脂の例えば半導体基板上への密着性および接着性が向上するものの、過度の配合はポリイミド樹脂の耐熱性低下を招くおそれがあるためである。

　本発明においては、最終的に得られるポリイミド樹脂の物性を損なわない範囲で、一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物以外に、他のジアミン化合物を併用することができる。このような他のジアミン化合物としては、アミノ基がベンゼン環のメタ位ではなく例えばパラ位に結合している芳香族ジアミン化合物や、脂肪族ジアミン化合物などを含む。このようなジアミン化合物としては、以下のようなものが挙げられる。例えば、１，２−フェニレンジアミン、１，４−フェニレンジアミン、３，４’−ジアミノビフェニル、４，４’−ジアミノビフェニル、１，３−フェニレン−４，４’−ジアニリン、１，４−フェニレン−４，４’−ジアニリン、オキシ−４，４’−ジアニリン、チオ−４，４’−ジアニリン、スルホニル−４，４’−ジアニリン、メチレン−４，４’−ジアニリン、１，２−エチレン−４，４’−ジアニリン、１，３−トリメチレン−４，４’−ジアニリン、２，２−プロピリデン−４，４’−ジアニリン、１，４−テトラメチレン−４，４’−ジアニリン、１，５−ペンタメチレン−４，４’−ジアニリン、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジアニリン、ジフルオロメチレン−４，４’−ジアニリン、１，１，２，２−テトラフルオロ−１，２−エチレン−４，４’−ジアニリン、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−１，３−トリメチレン−４，４’−ジアニリン、１，３−ビス（４−アミノフェニル）−１，１，３，３，−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェニルチオ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェニルスルホニル）ベンゼン、１，３−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、１，３−ビス［２−（４−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３，−ヘキサフルオロ−２−プロピル］ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェニルチオ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェニルスルホニル）ベンゼン、１，４−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、
１，４−ビス［２−（４−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−プロピル］ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２−フルオロ−１，４−フェニレンジアミン、２，５−ジフルオロ−１，４−フェニレンジアミン、２，３，５，６−テトラフルオロ−１，４−フェニレンジアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’−ジフルオロビフェニル、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジフルオロビフェニル、４，４’−ジアミノ−２，２’３，３’，５，５’，６，６’−オクタフルオロビフェニル、オキシ−４，４’−ビス（２−フルオロアニリン）、オキシ−４，４’−ビス（３−フルオロアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（２−フルオロアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（３−フルオロアニリン）、２−トリフルオロメチル−１，４−フェニレンジアミン、２，５−ビス（トリフルオロメチル）−１，４−フェニレンジアミン、２，２’−ビス（トリフルオロメチル）−４，４’−ジアミノビフェニル、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）−４，４’−ジアミノビフェニル、オキシ−４，４’−ビス（２−トリフルオロメチルアニリン）、オキシ−４，４’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（２−トリフルオロメチルアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、ビス（４−アミノフェノキシ）ジメチルシラン、１，３−ビス（４−アミノフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、メタンジアミン、１，２−エタンジアミン、１，３−プロパンジアミン、１，４−ブタンジアミン、１，５−ペンタンジアミン、１，６−ヘキサンジアミン、１，７−ヘプタンジアミン、１，８−オクタンジアミン、１，９−ノナンジアミン、１，１０−デカンジアミン、１，２−ビス（３−アミノプロポキシ）エタン、１，３−ジアミノシクロヘキサン、１，４−ジアミノシクロヘキサン、ビス（３−アミノシクロヘキシル）メタン、ビス（４−アミノシクロヘキシル）メタン、１，２−ビス（３−アミノシクロヘキシル）エタン、１，２−ビス（４−アミノシクロヘキシル）エタン、２，２−ビス（３−アミノシクロヘキシル）プロパン、２，２−ビス（４−アミノシクロヘキシル）プロパン、ビス（３−アミノシクロヘキシル）エーテル、ビス（４−アミノシクロヘキシル）エーテル、ビス（３−アミノシクロヘキシル）スルホン、ビス（４−アミノシクロヘキシル）スルホン、２，２−ビス（３−アミノシクロヘキシル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−アミノシクロヘキシル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−キシリレンジアミン、１，４−キシリレンジアミン、１，８−ジアミノナフタレン、２，７−ジアミノナフタレン、２，６−ジアミノナフタレン、２，５−ジアミノピリジン、２，６−ジアミノピリジン、２，５−ジアミノピラジン、および２，４−ジアミノ−ｓ−トリアジンなどである。

　ポリイミド樹脂の耐熱性、環境安定性および低誘電率特性の面からは、上述した一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物と併用できる他のジアミン化合物のうち、特に以下のようなジアミン化合物を用いることが好ましい。例えば、１，４−フェニレンジアミン、３，４’−ジアミノビフェニル、４，４’−ジアミノビフェニル、１，３−フェニレン−４，４’−ジアニリン、１，４−フェニレン−４，４’−ジアニリン、オキシ−４，４’−ジアニリン、チオ−４，４’−ジアニリン、スルホニル−４，４’−ジアニリン、メチレン−４，４’−ジアニリン、２，２−プロピリデン−４，４’−ジアニリン、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジアニリン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、１，４−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２−フルオロ−１，４−フェニレンジアミン、２，５−ジフルオロ−１，４−フェニレンジアミン、２，３，５，６−テトラフルオロ−１，４−フェニレンジアミン、４，４’−ジアミノ−２，２’−ジフルオロビフェニル、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジフルオロビフェニル、４，４’−ジアミノ−２，２’３，３’，５，５’，６，６’−オクタフルオロビフェニル、オキシ−４，４’−ビス（２−フルオロアニリン）、オキシ−４，４’−ビス（３−フルオロアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（２−フルオロアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（３−フルオロアニリン）、２−トリフルオロメチル−１，４−フェニレンジアミン、２，５−ビス（トリフルオロメチル）−１，４−フェニレンジアミン、２，２’−ビス（トリフルオロメチル）−４，４’−ジアミノビフェニル、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）−４，４’−ジアミノビフェニル、オキシ−４，４’−ビス（２−トリフルオロメチルアニリン）、オキシ−４，４’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（２−トリフルオロメチルアニリン）、スルホニル−４，４’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）、１，８−ジアミノナフタレン、２，７−ジアミノナフタレン、２，６−ジアミノナフタレンなどである。

　本発明の第１のポリイミド前駆体において、一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、一般式（ＤＡＨ１）中のＹが炭素数１〜３０の脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基または複素環基、ならびに脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基または複素環基が直接または架橋基により相互に連結された多環式化合物基からなる群より選択された４価の有機基である化合物を用いることができる。これらのテトラカルボン酸二無水物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、ピロメリト酸二無水物、３−フルオロピロメリト酸二無水物、３，６−ジフルオロピロメリト酸二無水物、３−トリフルオロメチルピロメリト酸二無水物、３，６−ビス（トリフルオロメチル）ピロメリト酸二無水物、１，２，３，４−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３”，４，４”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３''' ，４，４''' −ｐ−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３''''，４，４''''−ｐ−キンクフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，３，３’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、メチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１−エチリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，２−エチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，３−トリメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，４−テトラメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，５−ペンタメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、ジフルオロメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２−テトラフルオロ−１，２−エチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−１，３−トリメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロ−１，４−テトラメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロ−１，５−ペンタメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、チオ−４，４’−ジフタル酸二無水物、
スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルシロキサン二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ベンゼン二無水物、３，３’−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）ビフェニル二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ベンゼン二無水物、１，４−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ベンゼン二無水物、１，３−ビス［２−（３，４−ジカルボキシフェニル）−２−プロピル］ベンゼン二無水物、１，４−ビス［２−（３，４−ジカルボキシフェニル）−２−プロピル］ベンゼン二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニルスルホニル）ベンゼン二無水物、１，４−ビス（３，４−ジカルボキシフェニルスルホニル）ベンゼン二無水物、ビス［３−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］メタン二無水物、ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］メタン二無水物、２，２−ビス［３−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物、２，２−ビス［３−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジメチルシラン二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、１，２，７，８−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，８，９−ナフタセンテトラカルボン酸二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１、１、３、３−テトラメチルジシロキサン二無水物、エチレンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−１，２，４，５−テトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物、カルボニル−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、
メチレン−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、１，２−エチレン−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、１，１−エチリデン−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、２，２−プロピリデン−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、オキシ−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、チオ−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、スルホニル−４，４’−ビス（シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸）二無水物、２，２’−ジフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、５，５’−ジフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、６，６’−ジフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’−ビス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’−ジフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ジフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ジフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、
３，３’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ジフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ジフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ジフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、
５，５’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、９−フェニル−９−（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物、９，９−ビス（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物、およびビシクロ［２，２，２］オクト−７−エン−２，３，５，６−テトラカルボン酸二無水物などである。これらのテトラカルボン酸二無水物は単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。テトラカルボン酸二無水物は、全酸無水物成分のうち０．８０〜０．９９モル当量、好ましくは０．９０〜０．９８モル当量用いられる。この理由は、テトラカルボン酸二無水物の配合量が少なすぎる場合には得られるポリイミド樹脂の耐熱性が低下し、逆にテトラカルボン酸二無水物の配合量が多すぎると酸無水物成分としてのマレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物の配合量が少なくなって、ポリイミド前駆体の溶液での固有粘度が上昇し、例えば基板表面の微細な凹凸に隙間なく充填することが困難となるからである。

　ガラス転移点および分解温度の高い高耐熱性ポリイミド樹脂を得る観点からは、一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物のうち、特に下記一般式（ＤＡＨ２）〜（ＤＡＨ４）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いることが好ましい。

（Ｒ¹¹はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、フルオロ基、または非置換もしくはフッ素原子で置換された脂肪族炭化水素基を示し、φは芳香族炭化水素基を示し、ａは０〜１０の整数である。）

（Ｘ¹¹は２価のオキシ基、チオ基、スルホニル基、カルボニル基、パーアルキルポリシロキサニレン基、非置換もしくはフッ素原子で置換された脂肪族炭化水素基、１，４−フェニレン基、ビフェニル−４，４’−ジイル基、または単結合を示し、Ｒ¹²はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、フルオロ基、または非置換もしくはフッ素原子で置換された脂肪族炭化水素基を示し、ｂおよびｃは０〜４の整数である。）

（Ｒ¹³はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、フルオロ基、または非置換もしくはフッ素原子で置換された脂肪族炭化水素基を示し、ｄおよびｅは０〜４の整数である。）
　一般式（ＤＡＨ２）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、ピロメリト酸二無水物、３−フルオロピロメリト酸二無水物、３，６−ジフルオロピロメリト酸二無水物、３−トリフルオロメチルピロメリト酸二無水物、３，６−ビス（トリフルオロメチル）ピロメリト酸二無水物、２，３，６，７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、１，２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、３，４，９，１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、１，２，７，８−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，６，７−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、２，３，８，９−ナフタセンテトラカルボン酸二無水物などである。

　一般式（ＤＡＨ３）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３”，４，４”−ｐ−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３''' ，４，４''' −ｐ−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、メチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１−エチリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，２−エチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，３−トリメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，４−テトラメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，５−ペンタメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、ジフルオロメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２−テトラフルオロ−１，２−エチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロ−１，３−トリメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロ−１，４−テトラメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，１，２，２，３，３，４，４，５，５−デカフルオロ−１，５−ペンタメチレン−４，４’−ジフタル酸二無水物、オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、チオ−４，４’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルシロキサン二無水物、２，２’−ジフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、５，５’−ジフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、６，６’−ジフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロ−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’−ビス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、
２，２’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）−３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、３，３’−ジフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ジフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ジフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロオキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ジフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ジフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ジフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロスルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、
５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ジフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサフルオロ−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、６，６’−ビス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’−テトラキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、５，５’，６，６’−テトラキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、３，３’，５，５’，６，６’−ヘキサキス（トリフルオロメチル）−２，２−パーフルオロプロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物などである。

　一般式（ＤＡＨ４）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、９−フェニル−９−（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物、９，９−ビス（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物などである。

　ポリイミド樹脂の耐熱性、環境安定性および低誘電率特性の面から、一般式（ＤＡＨ２）〜（ＤＡＨ４）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物のうち、特に以下のようなものを用いることが好ましい。例えば、ピロメリト酸二無水物、３，６−ビス（トリフルオロメチル）ピロメリト酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物、オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物、１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン二無水物、９−フェニル−９−（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物、９，９−ビス（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物などである。

　本発明の第１のポリイミド前駆体において用いられるマレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物は下記一般式（ＭＡ１）で表される。

（Ｒ²¹はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、ハロゲン基、非置換もしくはフッ素原子で置換された脂肪族炭化水素基、または水素原子を示す。）
　これらのマレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物としては、以下のようなものが挙げられる。例えば、マレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、ジメチルマレイン酸無水物、エチルマレイン酸無水物、ジエチルマレイン酸無水物、プロピルマレイン酸無水物、ブチルマレイン酸無水物、クロロマレイン酸無水物、ジクロロマレイン酸無水物、ブロモマレイン酸無水物、ジブロモマレイン酸無水物、フルオロマレイン酸無水物、ジフルオロマレイン酸無水物、トリフルオロメチルマレイン酸無水物、ビス（トリフルオロメチル）マレイン酸無水物などである。これらのマレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物は、単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。

　これらのマレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物は、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸の分子量を低下させてその溶液の粘度を下げる作用を有する。また、ポリアミド酸の末端に導入されたマレイミド骨格は、硬化時に直接または過剰のジアミン成分などを介して架橋する。マレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物は、全酸無水物成分のうち０．０２〜０．４０モル当量、好ましくは０．０５〜０．２０モル当量用いられる。この理由は、マレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物の配合量が少なすぎると、ポリイミド前駆体溶液の固有粘度が０．７ｄＬ／ｇを超えて基板表面の微細な凹凸、特に幅０．１〜０．５μｍ程度のトレンチにポリイミド樹脂を隙間なく充填することが困難となり、逆に配合量が多すぎるとポリイミド樹脂の耐熱性が低下するからである。

　本発明の第１のポリイミド前駆体であるポリアミド酸を合成する方法は特に限定されないが、有機溶媒中で一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物を含むジアミン成分と一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物およびマレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物を含む酸無水物成分とを反応させる方法が好ましい。この反応時に用いられる有機溶媒としては、以下のようなものが挙げられる。例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメトキシアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジン、Ｎ−メチルカプロラクタム、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、１，２−ビス（２−メトキシエトキシ）エタン、ビス［２−（２−メトキシエトキシ）エチル］エーテル、テトラヒドロフラン、１，３−ジオキサン、１，４−ジオキサン、ピロリン、ピコリン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、フェノール、クレゾール、アニソール、γ−ブチロラクトン、炭酸プロピレン、アセチルアセトン、アセトニルアセトンなどである。これらの溶媒は単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。反応温度は通常２５０℃以下、好ましくは２００℃以下である。反応圧力は特に限定されず、常圧で十分実施できる。反応時間はテトラカルボン酸二無水物の種類、反応溶媒の種類により異なるが、通常４〜２４時間で十分である。このとき得られるポリアミド酸は、濃度０．５ｗｔ％のＮ−メチル−２−ピロリドン溶液の３０℃の固有粘度が０．２〜０．７ｄＬ／ｇ、さらには０．３〜０．６ｄＬ／ｇの範囲内となる重合度であることが好ましい。この理由は、ポリアミド酸の固有粘度が低すぎる、すなわち重合度が低すぎると、この後耐熱性の十分なポリイミド樹脂を得ることができなくなるおそれがあり、逆に固有粘度が高すぎる、すなわち重合度が高すぎると、基板表面の微細な凹凸にポリイミド樹脂を隙間なく充填することが困難となるからである。

　本発明の第１のポリイミド前駆体であるポリアミド酸からポリイミド樹脂を製造するには、ポリアミド酸を１００〜４５０℃に加熱してイミド化する加熱処理法、ポリアミド酸に光を照射してイミド化する光照射法、または無水酢酸などのイミド化剤を用いてポリアミド酸を化学的にイミド化する化学処理法が用いられる。これらの方法により得られるポリイミド樹脂は、その前駆体であるポリアミド酸を含む溶液の粘度が低いため微細な凹凸を有する基板上にも平坦性に優れた膜として形成でき、しかも誘電率および吸湿性が低く、熱安定性および環境安定性に優れている。また、溶液の粘度が低い比較的低分子量のポリイミド前駆体であっても、末端にマレイミド骨格を有しているためポリイミド樹脂への硬化時にマレイミド骨格が直接または過剰のジアミン成分などを介して架橋し、結果的に耐熱性に優れたポリイミド樹脂を得ることが可能である。

　次に、本発明に係る第２のポリイミド前駆体（ポリアミド酸）について説明する。このポリイミド前駆体は、前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するアミン成分と、前記一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物０．８０〜０．９９モル当量を含有する酸無水物成分とを重合させた構造を有することを特徴とするものである。このポリイミド前駆体は、より具体的には、（ａ）前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するジアミン化合物０．９７〜１．０３モル当量と、（ｂ）前記一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物（１−ｎ₂ ／２）モル当量およびジカルボン酸無水物ｎ₂ モル当量（ｎ₂ は０〜０．４）とを重合させた構造、または（ａ’）前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するジアミン化合物（１−ｎ₃ ／２）モル当量およびモノアミン化合物ｎ₃ モル当量（ｎ₃ は０〜０．４）と、（ｂ’）前記一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物０．９７〜１．０３モル当量とを重合させた構造を有するものである。このポリイミド前駆体は、本発明に係る第１のポリイミド前駆体と異なり、原料としてマレイン酸無水物またはマレイン酸誘導体無水物を含んでいる必要はない。

　一般式（ＤＡ２）で表される芳香族ジアミン化合物は、より具体的には下記一般式（ＤＡ３）〜（ＤＡ５）で表される。

（一般式（ＤＡ３）中のＸ³ はパーフルオロアルキレン基またはパーフルオロアルキリデン基、Ｒ⁰ 、Ｒ² 、ａおよびｂは一般式（ＤＡ２）の定義と同義である。）
　一般式（ＤＡ３）で表される芳香族ジアミン化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−５−（ペンタフルオロエチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−５−（ヘプタフルオロプロピル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−５−（ノナフルオロブチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］ジフルオロメタン、１，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，２，２−テトラフルオロエタン、１，３−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，２，２，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，４，４，４−オクタフルオロブタン、１，４−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロブタンなどである。

　一般式（ＤＡ４）で表される芳香族ジアミン化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、３，３’−ジアミノ−５，５’−ジフルオロビフェニル、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、３，３’−ジアミノ−５−フルオロビフェニル、３，３’−ジアミノ−５−（トリフルオロメチル）ビフェニルなどである。

　一般式（ＤＡ５）で表される芳香族ジアミン化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、３，３’−ジアミノ−５，５’−ジフルオロジフェニルスルホン、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ジフェニルスルホン、３，３’−ジアミノ−５−フルオロジフェニルスルホン、３，３’−ジアミノ−５−（トリフルオロメチル）ジフェニルスルホンなどである。

　これらの芳香族ジアミン化合物は単独で、または２種以上混合してもちいることができる。

　一般式（ＤＡ３）で表される芳香族ジアミン化合物は以下に示すような方法により合成することができる。（１）まず、一般式（ＤＺ１）で表される化合物とＲ² −Ｘで表される化合物とを、オートクレーブ中において無溶媒または有機溶媒中で銅粉触媒の存在下に加熱することにより、一般式（ＤＲ１）で表される化合物を得る。（２）次に、一般式（ＤＲ１）で表される化合物を濃硫酸または発煙硫酸溶液中で発煙硝酸によりニトロ化し、一般式（ＤＮ１）で表されるジニトロ化合物を得る。（３）最後に、一般式（ＤＮ１）で表されるジニトロ化合物のニトロ基を還元することにより、前記一般式（ＤＡ３）で表される芳香族ジアミン化合物を合成できる。（１）の工程で用いられ得る有機溶媒としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、ニトロベンゼン、ベンゼン、ナフタリンなどが挙げられる。（３）の工程でニトロ基をアミノ基に還元する際に用いられる還元剤としては、例えばパラジウム触媒、ラネーニッケル触媒、塩化鉄触媒、塩化スズ触媒、硫化アンモニウム、ヒドラジンなどが挙げられる。

（Ｚはヨード基、ブロモ基またはクロロ基を示し、Ｘ³ およびＲ² は式（ＤＡ３）の定義と同義。）
　一般式（ＤＡ４）で表される芳香族ジアミン化合物は以下に示すような方法により合成することができる。すなわち、一般式（ＮＺ１）で表されるニトロベンゼン化合物を、無溶媒または有機溶媒中で銅粉触媒の存在下に加熱してカップリング反応させて一般式（ＤＮ２）で表される含フッ素３，３’−ジニトロビフェニル化合物を合成する。次に、一般式（ＤＮ２）で表される含フッ素３，３’−ジニトロビフェニル化合物のニトロ基を還元することにより、前記一般式（ＤＡ４）で表される含フッ素３，３’−ジアミノビフェニル化合物を合成できる。

　一般式（ＮＺ１）で表されるニトロベンゼン化合物としては、３−クロロ−５−フルオロニトロベンゼン、３−ブロモ−５−フルオロニトロベンゼン、３−ヨード−５−フルオロニトロベンゼン、３−クロロ−５−ニトロベンゾフルオリド、３−ブロモ−５−ニトロベンゾフルオリド、３−ヨード−５−ニトロベンゾフルオリドなどが挙げられる。カップリング反応時に用いられる有機溶媒、およびニトロ基をアミノ基に還元する際に用いられる還元剤としては、一般式（ＤＡ３）の合成方法の説明で列挙したものと同様なものが挙げられる。

（Ｚはヨード基、ブロモ基またはクロロ基を示し、Ｒ² は式（ＤＡ３）の定義と同義。）
　本発明の第２のポリイミド前駆体（ポリアミド酸）においては、一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物は、ポリイミド樹脂の熱安定性を向上させる作用を有する。ポリイミド樹脂の熱安定性を十分に向上させる観点からは、一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物は、全アミン成分のうち０．１０モル当量以上用いられ、さらに０．２０モル当量以上用いられることが好ましい。

　本発明の第２のポリイミド前駆体においても、本発明の第１のポリイミド前駆体と同様に、最終的に得られるポリイミド樹脂の物性を損なわない範囲で、一般式（ＤＡ６）で表されるジアミン化合物や、その他のジアミン化合物を併用することができる。

　本発明の第２のポリイミド前駆体において、一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物としては、本発明の第１のポリイミド前駆体において用いられるものと同様なものが用いられる。一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物は、全酸無水物成分のうち０．８０モル当量以上、好ましくは０．９０モル当量以上用いられる。その理由は、本発明の第１のポリイミド前駆体の場合と同様である。また、ガラス転移点および分解温度の高い高耐熱性ポリイミド樹脂を得る観点からは、一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物のうち、特に上述した一般式（ＤＡＨ２）〜（ＤＡＨ４）で表される芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いることが好ましい。

　本発明の第２のポリイミド前駆体においては、必要に応じてジカルボン酸無水物またはモノアミン化合物が用いられる。

　ジカルボン酸無水物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、マレイン酸無水物、シトラコン酸無水物、ジメチルマレイン酸無水物、エチルマレイン酸無水物、ジエチルマレイン酸無水物、プロピルマレイン酸無水物、ブチルマレイン酸無水物、クロロマレイン酸無水物、ジクロロマレイン酸無水物、ブロモマレイン酸無水物、ジブロモマレイン酸無水物、フルオロマレイン酸無水物、ジフルオロマレイン酸無水物、トリフルオロメチルマレイン酸無水物、ビス（トリフルオロメチル）マレイン酸無水物、シクロブタンジカルボン酸無水物、シクロペンタンジカルボン酸無水物、シクロヘキサンジカルボン酸無水物、テトラヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、フタル酸無水物、メチルフタル酸無水物、エチルフタル酸無水物、ジメチルフタル酸無水物、フルオロフタル酸無水物、ジフルオロフタル酸無水物、クロロフタル酸無水物、ジクロロフタル酸無水物、ブロモフタル酸無水物、ジブロモフタル酸無水物、ニトロフタル酸無水物、２，３−ベンゾフェノンジカルボン酸無水物、３，４−ベンゾフェノンジカルボン酸無水物、２，３−ジカルボキシジフェニルエーテル無水物、３，４−ジカルボキシジフェニルエーテル無水物、２，３−ジカルボキシジフェニルスルホン無水物、３，４−ジカルボキシジフェニルスルホン無水物、２，３−ジカルボキシビフェニル無水物、３，４−ジカルボキシビフェニル無水物、１，２−ナフタレンジカルボン酸無水物、２，３−ナフタレンジカルボン酸無水物、１，８−ナフタレンジカルボン酸無水物、１，２−アントラセンジカルボン酸無水物、２，３−アントラセンジカルボン酸無水物、１，９−アントラセンジカルボン酸無水物、２，３−ピリジンジカルボン酸無水物、３，４−ピリジンジカルボン酸無水物などである。

　モノアミン化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、ブチルアミン、ペンチルアミン、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、１−（３−アミノプロピル）−１，１，３，３，３−ペンタメチルジシロキサン、ビニルアミン、アリルアミン、グリシン、アラニン、アミノ酪酸、バリン、ノルバリン、イソバリン、ロイシン、ノルロイシン、イソロイシン、グルタミン、グルタミン酸、トリプトファン、アミノクロトン酸、アミノアセトニトリル、アミノプロピオニトリル、アミノクロトノニトリル、シクロプロピルアミン、シクロブチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン、シクロヘプチルアミン、シクロオクチルアミン、アミノアダマンタン、アミノベンゾシクロブタン、アミノカプロラクタム、アニリン、クロロアニリン、ジクロロアニリン、ブロモアニリン、ジブロモアニリン、フルオロアニリン、ジフルオロアニリン、ニトロアニリン、ジニトロアニリン、トルイジン、キシリジン、エチルアニリン、アニシジン、フェネチジン、アミノアセトアニリド、アミノアセトフェノン、アミノ安息香酸、アミノベンズアルデヒド、アミノベンゾニトリル、アミノフタロニトリル、アミノベンゾトリフルオリド、アミノスチレン、アミノスチルベン、アミノアゾベンゼン、アミノジフェニルエーテル、アミノジフェニルスルホン、アミノベンゼンスルホンアミド、アミノフェニルマレイミド、アミノフェニルフタルイミド、アミノビフェニル、アミノテルフェニル、アミノナフタレン、アミノアクリジン、アミノアントラキノン、アミノフルオレン、アミノフルオレノン、アミノピロリジン、アミノピペラジン、アミノピペリジン、アミノホモピペリジン、アミノモルホリン、アミノベンゾオキオール、アミノベンゾジオキサン、アミノピリジン、アミノピリダジン、アミノピリミジン、アミノピラジン、アミノキノリン、アミノシンノリン、アミノフタラジン、アミノキナゾリン、アミノキノキサリン、アミノピロール、アミノイミダゾール、アミノピラゾール、アミノトリアゾール、アミノオキサゾール、アミノイソオキサゾール、アミノチアゾール、アミノイソチアゾール、アミノインドール、アミノベンゾイミダゾール、アミノインダゾール、アミノベンゾオキサゾール、アミノベンゾチアゾール、ベンジルアミン、フェネチルアミン、フェニルプロピルアミン、フェニルブチルアミン、ベンズヒドリルアミン、アミノエチル−１，３−ジオキソラン、アミノエチルピロリジン、アミノエチルピペラジン、アミノエチルピペリジン、アミノエチルモルホリン、アミノプロピルイミダゾール、アミノプロピルシクロヘキサンなどである。

　本発明の第２のポリイミド前駆体を合成する方法としては、有機溶媒中で一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物を含むジアミン成分と一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物を含む酸無水物成分とを反応させる方法が好ましい。この反応時に用いられる有機溶媒、ならびに温度、圧力、時間などの反応条件も本発明の第１のポリイミド前駆体の場合と同様である。なお、得られるポリアミド酸は、濃度０．５ｗｔ％のＮ−メチル−２−ピロリドン溶液の３０℃における固有粘度が０．５ｄＬ／ｇ以上の範囲内となる重合度であることが好ましい。ポリアミド酸の重合度が低すぎるとこの後耐熱性の十分なポリイミド樹脂を得ることができなくなるおそれがある。一方、上限については特に限定されるものではないが、重合度が高すぎると基板表面で微細な凹凸にポリイミド樹脂を隙間なく充填することが困難となるので、微細な凹凸を有する基板上に平坦性に優れた膜を形成するような場合には、上記固有粘度は０．８ｄＬ／ｇ以下であることが好ましい。

　本発明の第２のポリイミド前駆体からポリイミド樹脂を得る方法も、本発明の第１のポリアミド酸の場合と同様である。本発明の第２のポリイミド前駆体から得られるポリイミド樹脂は、誘電率および吸湿性が低く、しかも熱安定性および環境安定性に優れている。特に、一般式（ＤＡ３）で表される芳香族ジアミン化合物を用いたポリイミド前駆体は、低誘電率のポリイミド樹脂が得られる点で好ましい。また、一般式（ＤＡ４）または（ＤＡ５）で表される芳香族ジアミン化合物を用いたポリイミド前駆体は、ガラス転移点および分解温度が低く耐熱性に優れたポリイミド樹脂が得られる点で好ましい。

　次に、本発明に係る、感光性を有するポリイミド前駆体について説明する。

　本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体は、（ａ）本発明の第１のポリイミド前駆体または第２のポリイミド前駆体と、（ｂ）感光剤とを含有するものである。

　本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体において、感光剤としては以下に示すような二重結合を有するアミン化合物、好ましくは二重結合を有する第３級アミン化合物、またはアジド基を有する化合物が挙げられる。例えば、２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルアクリレート、２−Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルメタクリレート、３−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリレート、３−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、２−アリルピリジン、４−アリルピリジン、３−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、アクロイルモルホリン、２−アミノエチルアクリレート、４−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノブチルアクリレート、ケイ皮酸−２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルなどである。また、感光剤として下記化学式で示される化合物も挙げられる。

　感光剤としては上記化合物からなる群より選択される少なくとも１種が用いられる。感光剤の添加量は、ポリイミド前駆体１００重量部に対し、０．１〜１２０重量部であることが好ましく、０．５〜１００重量部であることがさらに好ましい。この理由は以下の通りである。すなわち、感光剤の添加量が０．１重量部未満であると、露光に対する感光性ポリイミド前駆体の感度が十分ではなくなり、露光部と未露光部の現像液に対する溶解速度に差が認められなくなる。逆に、感光剤の添加量が１２０重量部を超えると、現像後に感光剤成分の残渣が問題になる。

　本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体においては、必要に応じて増感剤を配合してもよい。増感剤としては以下のようなものが挙げられる。例えば、ベンゾフェノン、アントラキノン、ベンゾキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、１，２−ベンゾアントラキノン、ミヒラーケトン、４，４’−ジメチルベンゾフェノン、５−ニトロアセナフテン、ベンゾイルエーテル、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンジリデン）シクロヘキサノン、４−ｔ−ブチル−２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンジリデン）シクロヘキサノン、３，３’−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、３−（２−ベンズイミダゾイル）−７−ジエチルアミノクマリン、Ｎ−フェニルグリシン、２−（ジメチルアミノ）エチルベンゾエート、エチル（４−ジメチルアミノ）ベンゾエート、ジエチルチオキサンテン、イソプロピルチオキサンテン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、ベンジルジメチルケタール、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、アントロン、アクリジン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチルなどである。増感剤としては上記化合物からなる群より選択される少なくとも１種が用いられる。増感剤の配合量は、感光剤１００重量部に対して０．５〜５０重量部、好ましくは１〜３０重量部の範囲である。増感剤を加えると、本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体の感光特性をさらに向上させることができる。

　本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体は、上述したように有機溶媒中で合成された所定のポリイミド前駆体の溶液に、感光剤および必要に応じて用いられる増感剤を溶解することにより、ワニスの形態で調製される。このワニス中におけるポリイミド前駆体の濃度は５〜３０重量部であることが好ましい。ワニスを調製する際には、その粘度を調整して基板に対する塗布性を改善する目的で、上記有機溶媒のほかに他の溶媒を用いてもよい。このような溶媒としては、イソプロパノール、メタノール、エチレングリコール、酢酸ブチル、セロソルブ、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、酢酸エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、キシレンなどが挙げられる。また、本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体においては、使用目的に応じて界面活性剤、シランカップリング剤などを配合してもよい。

　本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体を用いて、例えば半導体デバイスの絶縁膜のパターンを形成する方法について説明する。まず、感光性ポリイミド前駆体のワニスをろ過して微細な不溶物を除去した後、スピンコーティングやディッピングなどの方法によって半導体基板上に塗布する。これを６０〜１００℃で乾燥することにより、感光性ポリイミド前駆体の層を形成する。この感光性ポリイミド前駆体の層の上に所定のパターンを有するマスクを設置し、これを通してＸ線、可視光、赤外線、紫外線、電子線などのエネルギー線を照射して露光する。この露光時に感光剤が反応して、露光部において樹脂成分のポリマー鎖が架橋する。このときの反応は、用いられる感光剤が（１）アジド化合物であるか、（２）アクリレートなど二重結合を有する化合物であるかで異なる。（１）感光剤としてアジド化合物を用いた場合、露光部ではアジド化合物（ＡＺ）がナイトレンラジカル（ＮＲ）に変化する。生成したナイトレンラジカルは、二重結合を有するアミン化合物が併用された場合、ポリイミド前駆体中にイオン結合で導入された二重結合を有する化合物、例えば２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレートの二重結合に対する架橋反応や、水素引き抜き反応などを起こし、露光部においてポリマー鎖を架橋する。（２）感光剤としてアクリレートなどの二重結合を有するアミン化合物を用いた場合、これらの化合物の二重結合部位ではエネルギー線の照射によりビラジカルが発生し、ラジカルどうしの再結合が連鎖的に進行する。これらのアクリレート類は、単にワニス中でポリイミド前駆体と配合するだけでポリイミド前駆体にイオン結合で導入され、この部分でポリマー鎖が架橋する。なお、露光後の感光性ポリイミド前駆体の層に対して、必要に応じて８０〜２００℃で５秒〜６０分間加熱処理を行ってもよい。このように加熱処理を行うと、樹脂成分のポリマー鎖の架橋状態がいっそう強固になる。

　次に、この感光性ポリイミド前駆体の層に対して、現像液を用い、浸漬法、スプレー法、パドル法などの方法により現像処理を行う。このとき、未露光部ではポリマー鎖が架橋していないため現像液に溶解する。一方、露光部ではポリマー鎖が架橋しているため、現像液に不溶となる。現像液としては、例えばポリイミド前駆体の製造に用いた有機溶媒を用いることができる。また、現像処理をスムーズに行う目的で、このような有機溶媒とともに、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、酢酸ブチル、アセトン、セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、酢酸エチレングリコールモノエチルエーテル、トルエン、キシレン、水などを併用してもよい。また、現像処理後に、現像液残渣などを除去する目的で、水、アルコール、アセトンなどを用いてリンス処理を行い、引き続きベーキングなどの処理を行なってもよい。

　最後に、現像処理された所定のレリーフパターンを有する感光性ポリイミド前駆体を所定の条件で加熱する。この加熱処理によって、ポリイミド前駆体のポリマー鎖を架橋している感光剤が除去され、パターン中に残存する溶媒が揮発するとともに、アミド酸の閉環が起こってポリイミド膜パターンが形成される。この工程では、室温から最終加熱温度である１５０〜４５０℃まで徐々に温度を上げて加熱することが望ましい。最終加熱温度が１５０℃未満であると、一部のポリイミド前駆体がイミド化せずに残存し、熱安定性を阻害する可能性がある。逆に、最終加熱温度が４５０℃を超えると、イミド化したポリマーが分解して熱安定性が損なわれるおそれがある。

　次に、本発明の第２の感光性ポリイミド前駆体について説明する。本発明の第２の感光性ポリイミド前駆体は、（ａ）一般式（ＰＡ１１）で表される繰り返し単位を有するポリアミド酸誘導体と、（ｂ）光重合開始剤とを含有するものである。なお、十分な感光特性を得るうえでは、全繰り返し単位中に一般式（ＰＡ１１）で表される繰り返し単位が２５％以上含まれることが好ましい。

　一般式（ＰＡ１１）において、Ｙはテトラカルボン酸二無水物に由来する４価の有機基であり、Ｌは一般式（ＤＡ１）で表されるジアミン化合物の残基である。Ｄ¹ は感光性の有機基またはＯＨであり、Ｄ¹ の少なくとも１つは感光性の有機基である。Ｄ¹ としては例えば以下の化学式に示されるようなものが挙げられる。

　一般式（ＰＡ１１）で表されるポリアミド酸誘導体を合成する方法は限定されない。例えば、Ｒ．Ｒｕｂｎｅｒら、Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈ．Ｓｃｉ．Ｅｎｇ．，２３（５），３０３頁（１９７９）に記載されている方法を用いることができる。具体的には、２−ヒドロキシエチルメタクリレートとテトラカルボン酸二無水物とを反応させ、テトラカルボン酸二無水物に感光性の有機基を導入したジカルボン酸ジエステルを合成する。次に、得られたジカルボン酸ジエステルに塩化チオニルを反応させ、カルボキシル基をカルボン酸塩化物に転化する。最後に、所定のジアミン化合物を反応させて一般式（ＰＡ１１）で表されるポリアミド酸誘導体を得る。このポリアミド酸誘導体を合成する際には、有機溶媒中で反応させることが好ましい。この有機溶媒としては、本発明の第１および第２のポリイミド前駆体の合成する際に用いたのと同様の有機溶媒を用いることができる。

　本発明の第２の感光性ポリイミド前駆体において、光重合開始剤としては、本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体に関して説明した感光剤のうちアジド化合物、および必要に応じて用いられる増感剤の少なくとも１種を用いることができる。光重合開始剤の配合量は、一般式（ＰＡ１１）で表されるポリアミド酸誘導体１００重量部に対して０．０５〜３０重量部、好ましくは０．１〜２０重量部の範囲である。

　本発明の第２の感光性ポリイミド前駆体を用いて絶縁膜のパターンを形成する方法は、本発明の第１の感光性ポリイミド前駆体の場合と同様である。

　次に、本発明に係るビスマレイミド系硬化樹脂の前駆体について説明する。このビスマレイミド系硬化樹脂前駆体は、（ａ）一般式（ＤＭ１）で表されるビスマレイミド化合物、および（ｂ）一般式（ＤＡ１１）で表されるジアミン化合物および一般式（ＤＰ１）で表される２価フェノール化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物を配合し、これらをある程度反応させた分子構造を有するものである。なお、一般式（ＤＭ１）において、フルオロ基またはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基（Ｒ³¹）は、ベンゼン環のマレイミド環および他のベンゼン環への結合部位から見て、メタ位に導入されていることが好ましい。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体の（ａ）成分である、一般式（ＤＭ１）で表されるビスマレイミド化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、３，３’−ジマレイミド−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルフィド、ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、３，３’−ジマレイミド−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ベンゾフェノン、１，３−ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、２，２−ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゼン、１，４−ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゼン、３，５−ビス［３−マレイミドフェノキシ］ベンゾトリフルオリド、３，５−ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゾトリフルオリド、３，３’−ジフルオロ−５，５’−ジマレイミドビフェニル、ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェニル）エーテル、ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェニル）スルフィド、ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェニル）スルホン、３，３’−ジフルオロ−５，５’−ジマレイミドベンゾフェノン、１，３−ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、２，２−ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−フルオロフェノキシ）−５−フルオロベンゼン、１，３−ビス（３−フルオロ−５−マレイミドフェノキシ）−５−フルオロベンゼンなどである。

　一般式（ＤＭ１）で示されるビスマレイミド化合物を合成する方法は特に限定されないが、一般的には以下のような方法が用いられる。（１）まず、有機溶媒中で一般式（ＤＡ３１）で表される芳香族ジアミン化合物１モル当量と一般式（ＭＡ１）で表されるマレイミド酸無水物またはマレイミド酸誘導体無水物２モル当量とを反応させて、下記一般式（ＤＭＡ１）で表されるビスマレアミド酸化合物を合成する。（２）次に、有機溶媒中で一般式（ＤＭＡ１）で表されるビスマレアミド酸化合物１モル当量に対して脱水剤として無水酢酸２〜４モル当量を加え、塩基０．０５〜２モル当量および触媒０．０００５〜０．２モル当量の存在下に、脱水環化させて一般式（ＤＭ１）で表されるビスマレイミド化合物を合成する。

（Ｘ³¹、Ｒ³¹、Ｒ³²、ａおよびｂは、一般式（ＤＭ１）の定義と同義である。）
　一般式（ＤＡ３１）で表される芳香族ジアミン化合物としては、以下のようなものが挙げられる。例えば、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルフィド、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ベンゾフェノン、１，３−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゼン、１，４−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゼン、３，５−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゾトリフルオリド、３，５−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゾトリフルオリド、３，３’−ジアミノ−５，５’−ジフルオロビフェニル、ビス（３−アミノ−５−フルオロフェニル）エーテル、ビス（３−アミノ−５−フルオロフェニル）スルフィド、ビス（３−アミノ−５−フルオロフェニル）スルホン、３，３’−ジアミノ−５，５’−ジフルオロベンゾフェノン、１，３−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、２，２−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノ−５−フルオロフェノキシ）−５−フルオロベンゼンなどである。

　一般式（ＭＡ１）で表されるマレイミド酸無水物またはマレイミド酸誘導体無水物の具体例は、上述した通りである。

　（１）の反応時に用いられる有機溶媒としては以下のようなものが挙げられる。例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソプロピルケトン、シクロヘキサノン、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン、トリクロロエチレン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメトキシアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、Ｎ−メチルカプロラクタム、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ビス（２−メトキシエトキシ）エタン、ビス［２−（２−メトキシエトキシ）エチル］エーテル、テトラヒドロフラン、１，３−ジオキサン、１，４−ジオキサン、ピロリン、ピコリン、ジメチルスルホキシド、スルホランなどである。これらの有機溶媒は単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。反応温度は１００℃以下、好ましくは３０℃以下である。反応圧力は特に限定されず、常圧で十分実施できる。反応時間は芳香族ジアミン化合物および溶媒の種類に応じて異なるが、０．５〜２４時間で十分である。

　（２）の反応時に用いられる塩基としては、アルカリ金属の酢酸塩または第３級アミンが挙げられる。例えば、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミンなどである。

　（２）の反応時に用いられる触媒としては、アルカリ土類金属の酸化物、または鉄（ＩＩ）、鉄（ＩＩＩ）、ニッケル（ＩＩ）、マグネシウム（ＩＩ）、マンガン（ＩＩＩ）、銅（Ｉ）、銅（ＩＩ）、コバルト（ＩＩ）もしくはコバルト（ＩＩＩ）の炭酸塩、硫酸塩、リン酸塩もしくは酢酸塩などが挙げられる。これらの触媒は単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。特に好ましい触媒は、酢酸ニッケル（ＩＩ）、酢酸コバルト（ＩＩＩ）または酸化マグネシウムである。

　（２）の反応時に用いられる有機溶媒としては、（１）の反応で用いたものと同様の有機溶媒を用いることができる。したがって、この反応の際に（１）の反応生成物であるビスマレアミド酸化合物を単離する必要はない。反応温度は２００℃以下、好ましくは２０〜１２０℃の範囲である。反応圧力は特に限定されず、常圧で十分実施できる。反応時間はビスマレアミド酸化合物および溶媒の種類に応じて異なるが、０．５〜２４時間で十分である。反応終了後、析出した結晶をろ過するか、または水またはメタノール中に入れることにより目的のビスマレイミド化合物を得ることができる。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体の（ｂ）成分のうち、一般式（ＤＡ１１）で表されるジアミン化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、１，３−フェニレンジアミン、１，２−フェニレンジアミン、１，４−フェニレンジアミン、３−アミノベンジルアミン、４−アミノベンジルアミン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス（３−アミノフェニル）スルフィド、（３−アミノフェニル）（４−アミノフェニル）スルフィド、ビス（４−アミノフェニル）スルフィド、ビス（３−アミノフェニル）スルホキシド、（３−アミノフェニル）（４−アミノフェニル）スルホキシド、ビス（４−アミノフェニル）スルホキシド、ビス（３−アミノフェニル）スルホン、（３−アミノフェニル）（４−アミノフェニル）スルホン、ビス（４−アミノフェニル）スルホン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、３，４’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、３，３’−ジアミノビフェニル、３，４’−ジアミノビフェニル、４，４’−ジアミノビフェニル、１，３−フェニレン−４，４’−ジアニリン、１，４−フェニレン−４，４’−ジアニリン、３，３’−ジアミノジフェニルメタン、３，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジアミノジフェニルエタン、３，４’−ジアミノジフェニルエタン、４，４’−ジアミノジフェニルエタン、３，３’−ジアミノジフェニルプロパン、３，４’−ジアミノジフェニルプロパン、４，４’−ジアミノジフェニルプロパン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、２，２−ビス（３−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、１，４−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、
２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、４，４’−ジアミノ−２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，８−ジアミノナフタレン、２，７−ジアミノナフタレン、２，６−ジアミノナフタレン、２，５−ジアミノピリジン、２，６−ジアミノピリジン、２，６−ジアミノ−４−（トリフルオロメチル）ピリジン、２，５−ジアミノピラジン、２，４−ジアミノ−ｓ−トリアジン、メタンジアミン、１，２−エタンジアミン、１，３−プロパンジアミン、１，４−ブタンジアミン、１，５−ペンタンジアミン、１，６−ヘキサンジアミン、１，７−ヘプタンジアミン、１，８−オクタンジアミン、１，９−ノナンジアミン、１，１０−デカンジアミン、１，２−ビス（３−アミノプロポキシ）エタン、１，３−ジアミノシクロヘキサン、１，４−ジアミノシクロヘキサン、ビス（３−アミノシクロヘキシル）メタン、ビス（４−アミノシクロヘキシル）メタン、１，２−ビス（３−アミノシクロヘキシル）エタン、１，２−ビス（４−アミノシクロヘキシル）エタン、２，２−ビス（３−アミノシクロヘキシル）プロパン、２，２−ビス（４−アミノシクロヘキシル）プロパン、ビス（３−アミノシクロヘキシル）エーテル、ビス（４−アミノシクロヘキシル）エーテル、ビス（３−アミノシクロヘキシル）スルホン、ビス（４−アミノシクロヘキシル）スルホン、２，２−ビス（３−アミノシクロヘキシル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−アミノシクロヘキシル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−キシリレンジアミン、１，４−キシリレンジアミンなどである。これらのジアミン化合物は単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。

　ビスマレイミド系硬化樹脂の耐熱性、環境安定性の観点からは、一般式（ＤＡ１１）で表されるジアミン化合物のうち、以下に示すような芳香環を有するジアミン化合物を用いることが好ましい。例えば、１，２−フェニレンジアミン、１，４−フェニレンジアミン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、３，３’−ジアミノジフェニルエーテル、３，４’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス（３−アミノフェニル）スルホン、（３−アミノフェニル）（４−アミノフェニル）スルホン、ビス（４−アミノフェニル）スルホン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、３，４’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、３，３’−ジアミノビフェニル、３，４’−ジアミノビフェニル、４，４’−ジアミノビフェニル、１，３−フェニレン−４，４’−ジアニリン、１，４−フェニレン−４，４’−ジアニリン、３，３’−ジアミノジフェニルメタン、３，４’−ジアミノジフェニルメタン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジアミノジフェニルエタン、３，４’−ジアミノジフェニルエタン、４，４’−ジアミノジフェニルエタン、３，３’−ジアミノジフェニルプロパン、３，４’−ジアミノジフェニルプロパン、４，４’−ジアミノジフェニルプロパン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、２，２−ビス（３−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−アミノフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、１，４−ビス［２−（４−アミノフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、ビス［４−アミノ−２−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、４，４’−ジアミノ−２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，８−ジアミノナフタレン、２，７−ジアミノナフタレン、２，６−ジアミノナフタレン、２，５−ジアミノピリジン、２，６−ジアミノピリジン、２，６−ジアミノ−４−（トリフルオロメチル）ピリジン、２，５−ジアミノピラジン、２，４−ジアミノ−ｓ−トリアジンなどである。

　また、これらのジアミン化合物とともに、上述した一般式（ＤＡ６）で表されるビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物を併用してもよい。ビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物は、ビスマレイミド系硬化樹脂の例えばガラス基板やシリコン基板上への密着性および接着性を向上させる作用を有する。これらの化合物は、全ジアミン成分のうち０．０２〜０．２モル当量用いることが好ましい。これは、このような化合物を配合することで得られるビスマレイミド系硬化樹脂の基板上への密着性および接着性が向上するものの、過度の配合はビスマレイミド系硬化樹脂の耐熱性低下を招くおそれがあるためである。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体の（ｂ）成分のうち、一般式（ＤＰ１）で表される２価フェノール化合物としては以下のようなものが挙げられる。例えば、レゾルシノール、ピロカテコール、ハイドロキノン、４，４’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、３，３’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、３，４’−ジヒドロキシジフェニルエーテル、ビス（３−ヒドロキシフェニル）スルフィド、（３−ヒドロキシフェニル）（４−ヒドロキシフェニル）スルフィド、ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルフィド、ビス（３−ヒドロキシフェニル）スルホキシド、（３−ヒドロキシフェニル）（４−ヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホキシド、ビス（３−ヒドロキシフェニル）スルホン、（３−ヒドロキシフェニル）（４−ヒドロキシフェニル）スルホン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホン、３，３’−ジヒドロキシベンゾフェノン、３，４’−ジヒドロキシベンゾフェノン、４，４’−ジヒドロキシベンゾフェノン、３，３’−ジヒドロキシビフェニル、３，４’−ジヒドロキシビフェニル、４，４’−ジヒドロキシビフェニル、１，３−フェニレン−４，４’−ジフェノール、１，４−フェニレン−４，４’−ジフェノール、３，３’−ジヒドロキシジフェニルメタン、３，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン、４，４’−ジヒドロキシジフェニルメタン、３，３’−ジヒドロキシジフェニルエタン、３，４’−ジヒドロキシジフェニルエタン、４，４’−ジヒドロキシジフェニルエタン、３，３’−ジヒドロキシジフェニルプロパン、３，４’−ジヒドロキシジフェニルプロパン、４，４’−ジヒドロキシジフェニルプロパン、１，３−ビス（３−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（４−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−ヒドロキシフェノキシ）ベンゼン、２，２−ビス（３−ヒドロキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス［２−（４−ヒドロキシフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、１，４−ビス［２−（４−ヒドロキシフェニル）−２−プロピル］ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−ヒドロキシフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、
２，２−ビス［４−（３−ヒドロキシフェノキシ）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、ビス［３−ヒドロキシ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［４−ヒドロキシ−２−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル、ビス［３−ヒドロキシ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、ビス［４−ヒドロキシ−２−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン、４，４’−ジヒドロキシ−２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、３，３’−ジヒドロキシ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル、２，２−ビス［３−ヒドロキシ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、１，８−ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシナフタレン、２，６−ジヒドロキシナフタレン、２，５−ジヒドロキシピリジン、２，６−ジヒドロキシピリジン、２，６−ジヒドロキシ−４−（トリフルオロメチル）ピリジン、２，５−ジヒドロキシピラジン、２，４−ジヒドロキシ−ｓ−トリアジン、１，３−ビス［３−（４−ヒドロキシフェニル）プロピル］−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス［４−（４−ヒドロキシフェニル）ブチル］−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、１，３−ビス［３−（４−ヒドロキシフェニル）プロピル］−１，１，３，３−テトラフェニル、１，５−ビス［３−（４−ヒドロキシフェニル）プロピル］−１，１，３，３，５，５−ヘキサメチルトリシロキサン、１，７−ビス［３−（４−ヒドロキシフェニル）プロピル］−１，１，３，３，５，５，７，７−オクタメチルテトラシロキサン、１，９−ビス［３−（４−ヒドロキシフェニル）プロピル］−１，１，３，３，５，５，７，７，９，９−デカメチルペンタシロキサンなどである。これらの２価フェノール化合物は単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体において、（ｂ）成分（硬化剤成分）であるジアミン化合物および２価フェノール化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物は、（ａ）成分であるビスマレイミド化合物１モル当量に対して、０．０１〜２モル当量用いられる。さらに、ビスマレイミド化合物１モル当量に対して、ジアミン化合物の場合には０．２〜０．８モル当量、２価フェノール化合物の場合には０．７〜１．３モル当量配合することが好ましい。その理由は、硬化剤成分（ｂ）の配合量が少なすぎると、硬化反応の進行の程度が不十分であり、その前駆体を用いて形成される硬化樹脂の耐熱性が低下するおそれがある。また、この場合、ビスマレイミド化合物（ａ）が過剰量配合されるため、硬化反応の際にマレイミド分子が相互に反応して、得られる硬化樹脂の柔軟性が損なわれる。逆に、硬化剤成分（ｂ）の配合量が多すぎると、硬化樹脂中に過剰の硬化剤成分が残留し、硬化樹脂の耐熱性および耐湿性が不十分となるおそれがある。特に、ビスマレイミド化合物１モル当量に対して、硬化剤成分として約０．５モル当量のジアミン化合物または約１モル当量の２価フェノール化合物を配合すると、組成物の硬化反応が最も効率よく進行する。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体においては、硬化反応を促進する目的で、必要に応じて硬化触媒を配合してもよい。硬化触媒としては、四フッ化ホウ素錯体、アルミニウム錯体／フェノール触媒、アルミニウム錯体／ケイ素系触媒などが挙げられる。これらの硬化触媒を適宜選択して用いることにより、硬化反応を調節して様々な二次元構造または三次元構造を有する高分子量の硬化樹脂を製造することができる。また、本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体においては、上述した各成分の他にも、ポリアミド酸、エポキシ樹脂、イソシアナート化合物、トリアジン樹脂、フェノール樹脂、アクリル化合物などの各種添加物を配合してもよい。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体は、上述した各成分を有機溶媒に溶解し、ワニスの形態で調製される。ここで用いられる有機溶媒としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメトキシアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、Ｎ−メチルカプロラクタム、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ビス（２−メトキシエトキシ）エタン、ビス［２−（２−メトキシエトキシ）エチル］エーテル、テトラヒドロフラン、１，３−ジオキサン、１，４−ジオキサン、ピロリン、ピコリン、ジメチルスルホキシド、スルホランなどである。これらの有機溶媒は単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。

　さらに、得られたワニスは電子部品の層間絶縁膜などとして使用する前に、通常、Ａ−ｓｔａｇｅ化が行なわれる。すなわち、５０〜１５０℃で５分〜５時間加熱して、ビスマレイミド化合物に対するジアミン化合物または２価フェノール化合物の付加反応をいくぶん進行させて、ワニスを塗布するのに好都合になるように、ワニスの粘度が高められる。

　本発明のビスマレイミド系硬化樹脂前駆体を用い、例えば電子部品の絶縁膜を形成する方法について説明する。まず、Ａ−ｓｔａｇｅ化したビスマレイミド系硬化樹脂前駆体のワニスを任意の基板上に塗布して膜を形成する。この膜を５０〜１５０℃で５〜１０分間加熱して溶媒を蒸発させる。さらに、この膜を真空オーブンまたは窒素置換されたオーブン中において所定の温度で加熱してビスマレイミド系硬化樹脂前駆体を硬化させる。この加熱温度は使用されるビスマレイミド化合物などの構造により異なるが、通常１００〜４５０℃の範囲に設定される。このようにしてビスマレイミド系硬化樹脂からなる絶縁膜が形成される。

　この結果、得られるビスマレイミド系硬化樹脂は耐熱性に優れているだけでなく、従来のビスマレイミド系硬化樹脂と比較して、大気中に長時間放置しても加湿分解によるトルエン、キシレンなどのガスの発生量が非常に少なく環境安定性に優れ、しかも誘電率および吸湿率が低い。

　次に、本発明の電子部品について説明する。本発明の電子部品は、上述したポリイミド前駆体を硬化させたポリイミド樹脂またはビスマレイミド系硬化樹脂前駆体を硬化させたビスマレイミド系硬化樹脂を、絶縁膜や絶縁基板などの絶縁部材として具備したものである。このような電子部品は、絶縁部材を構成しているポリイミド樹脂またはビスマレイミド系硬化樹脂の比誘電率が低いため高速動作および省電力を実現でき、しかも絶縁部材が低吸湿性であり熱安定性および環境安定性に優れているため信頼性も高い。

　より具体的には、本発明に係るポリイミド樹脂またはビスマレイミド系硬化樹脂は、半導体装置の層間絶縁膜、耐湿保護膜、α線遮断膜などの絶縁膜、キャリヤーフィルム、フラットケーブル、フレキシブルプリント基板、フィルム絶縁コイル、薄膜磁気ヘッドや磁気バブルメモリー素子の層間絶縁膜、ガラスクロス積層板など電子部品用絶縁部材として有用である。さらに本発明に係るポリイミド樹脂は液晶表示素子の液晶配向膜にも非常に適している。以下、これらの電子部品の例を図面を参照して説明する。なお、以下の説明では絶縁部材をポリイミド樹脂で構成した例について説明するが、ほとんどの場合はポリイミド樹脂の代わりにビスマレイミド系硬化樹脂を用いてもよいことはもちろんである。

　図１は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂を半導体デバイスの層間絶縁膜に適用した例を示す断面図である。図１において、シリコン基板１１表面には、フィールド酸化膜１２、拡散層１３、熱酸化膜１４、ＣＶＤ酸化膜１５などが形成されている。前記拡散層１３上の熱酸化膜１４にコンタクトホールが開孔され、拡散層１３と接続された第１層のＡｌ電極１６が形成されている。また、全面にポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜１７が形成されている。この層間絶縁膜１７にコンタクトホールが開孔され、第１層のＡｌ電極１６と接続された第２層のＡｌ電極１８が形成されている。さらに、全面にポリイミド樹脂からなるパッシベーション膜１９が形成されている。

　図２は図１のように表面にポリイミド樹脂からなるパッシベーション膜が形成された半導体チップを樹脂モールドしたパッケージの断面図である。図２において、表面にポリイミド樹脂からなるパッシベーション膜１９が形成された半導体チップ２０はベッド２１上にマウントされている。半導体チップ２０表面のパッシベーション膜１９から露出したボンディングパッドとリード２２とがワイヤ２３によりボンディングされている。さらに、これらの部材が封止樹脂２４でモールドされ、リード２３の一部が封止樹脂２４から突出している。

　図３は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂を薄膜磁気ヘッドの層間絶縁膜に適用した例を示す断面図である。図３において、基板３１表面には下部アルミナ３２、下部磁性体３３、ギャップアルミナ３４が順次形成されている。このギャップアルミナ３４上にポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜３５に埋め込まれるように第１導体コイル３６および第２導体コイル３７が形成されている。さらに、層間絶縁膜３５上に上部磁性体３８が形成され、磁気ヘッド先端においてギャップアルミナ３４を挟んで下部磁性体３３と上部磁性体３８とが対向している。

　図４は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂を高密度配線板の層間絶縁膜に適用した例を示す断面図である。図４において、シリコン基板４１上には熱酸化膜４２および第１層の銅配線４３が順次形成されている。その上の全面にポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜４４が形成されている。この層間絶縁膜４４にコンタクトホールが開孔され、第１層の銅電極４３と接続された第２層の銅電極４５が形成されている。さらに、全面にポリイミド樹脂からなるパッシベーション膜４６が形成されている。このパッシベーション膜４６にコンタクトホールが開孔され、第２層の銅配線４５と接続するようにバリアメタル４７およびＰｂ／Ｓｍバンプ４８が形成されている。

　図５は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂を磁気バブルメモリ素子の層間絶縁膜に適用した例を示す断面図である。図５において、ガーネット基板５１上にコンダクタ５２が形成され、その全面にポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜５３が形成されている。さらに、層間絶縁膜５３上にパーマロイ５４が形成されている。

　図６は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂を太陽電池の耐熱性透明樹脂層に適用した例を示す断面図である。図６において、ガラス基板６１上の全面にポリイミド樹脂からなる耐熱性透明樹脂層６２が形成されている。この耐熱性透明樹脂層６２上に、透明電極６３、アモルファスＳｉ６４および金属電極６５が所定のパターンで形成されている。

　図１〜図６に示すように、いずれの電子部品でも本発明のポリイミド前駆体を用いて絶縁部材を形成すれば、配線の段差を大幅に緩和して平坦な配線構造とすることができ、電子部品の信頼性を向上できる。また、上述したように本発明のポリイミド前駆体を硬化させた絶縁部材は、比誘電率が低いため高速動作および省電力を実現でき、しかも低吸湿性であり熱安定性および環境安定性に優れている。

　図７は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなる液晶配向膜を有する液晶表示素子の断面図である。図７において、ガラス基板７１上には画素電極７２および薄膜トランジスタ（図示せず）が形成され、さらにその全面にポリイミド樹脂からなる液晶配向膜７３が被覆されている。一方、ガラス基板７４上には共通電極７５が形成され、さらにその全面にポリイミド樹脂からなる液晶配向膜７６が被覆されている。これらのガラス基板７１、７４は液晶配向膜７３、７６を内側にして所定のギャップを隔てて互いに平行に設置され、両者の間に液晶７７が封入される。なお、液晶表示素子のカラー化のために、カラーフィルターを設けた基板を使用される場合もある。

　基板としては、ガラスのほか、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレートなどの透明フィルムを使用してもよい。電極としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）、酸化インジウムなどの透明酸化物が用いられる。液晶配向膜の膜厚は、５〜１０００ｎｍ、好ましくは２０〜２００ｎｍの範囲に設定される。液晶配向膜を構成するポリイミド樹脂は、その前駆体であるポリアミド酸のワニスを電極が形成された基板に塗布し、９０〜１２０℃で予備乾燥した後、２００〜３５０℃で加熱処理することにより形成される。次に、このポリイミド樹脂をラビングして液晶配向膜とする。２枚の基板上の液晶配向膜は、セルを組み立てたときに互いのラビング方向が同一方向、９０°ねじった方向、または２００〜２９０°ねじった方向になるように、目的に応じてラビングされる。なお、液晶の配向性を安定させるために、液晶を封入した後、液晶表示素子をアニールしてもよい。

　本発明のポリイミド前駆体から製造されたポリイミド樹脂からなる液晶配向膜は、上述した効果の他に、液晶に大きなプレチルト角を与えることができ、しかも電圧保持率が高いという効果も有する。

　　［実施例］
　以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

　実施例１−１〜１−４５および比較例１〜５
　（１）ポリイミド前駆体（ポリアミド酸）の合成
　表１〜表７に示す原料を所定の配合比（モル当量で表示）で用い、以下のようにしてポリアミド酸を合成した。まず、窒素ガス雰囲気下、冷媒により−５〜０℃に冷却したセパラブルフラスコにＮ−メチル−２−ピロリドン５０ｍＬを入れ、酸無水物成分として一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物の所定量を加えて攪拌しながら溶解した。この溶液に、ジアミン成分として一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物、および一般式（ＤＡ６）で表されるビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物の所定量をＮ−メチル−２−ピロリドン５０ｍＬに溶解した溶液を、圧力平衡管付き滴下ロートからゆっくりと滴下した。２時間攪拌した後、マレイン酸無水物の所定量をＮ−メチル−２−ピロリドン５０ｍＬに溶解した溶液を、圧力平衡管付き滴下ロートからゆっくりと滴下した。さらに４時間撹拌して、目的のポリアミド酸を含むワニスを得た。

　表１〜表７で用いた略号を説明する。

（テトラカルボン酸二無水物）
６ＦＤＰＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物
ＰＭＡ：ピロメリト酸二無水物
ＢＰＴＡ：３，４，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ＯＤＰＡ：オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物
６ＦＸＴＡ：９，９−ビス（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物
（マレイン酸無水物）
ＭＬＡ：マレイン酸無水物
（ジアミン化合物）
ｍＳＮＤＡ：スルホニル−３，３’−ジアニリン
ｍＰＯＤＡ：１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン
ｍＯＤＡ：オキシ−３，３’−ジアニリン
６ＦｍＯＤＡ：オキシ−５，５’−ビス［３−（トリフルオロメチル）アニリン］
３ＦｍＰＯＤＡ：３，５−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゾトリフルオリド
６ＦｍＰＯＤＡ：１，３−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゼン
９ＦｍＰＯＤＡ：３，５−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ）ベンゾトリフルオリド
３ＦｍＰＤＡ：５−（トリフルオロメチル）−１，３−フェニレンジアミン
６ＦｍＳＮＤＡ：１，１’−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン
６ＦｍＢＰＤＡ：３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル
６ＦｐＢＰＤＡ：４，４’−ジアミノ−２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル
ｍ６ＦＤＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジアニリン
ｍＰＤＡ：１，３−フェニレンジアミン
ｍＢＰＤＡ：３，３’−ジアミノビフェニル
ｐＢＰＤＡ：４，４’−ジアミノビフェニル
ｐＯＤＡ：オキシ−４，４’−ジアニリン
ｐ６ＦＤＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジアニリン
ＴＳＬ９３０６：１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン
　なお、比較例１は、市販のポリアミド酸（住友ベークライト社製、ＣＲＣ−６０６１）であり、ＰＭＡ（ピロメリト酸二無水物）、ＣＢＤＰＡ（３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物）およびｐＯＤＡ（オキシ−４，４’−ジアニリン）を主原料とするものである。また、比較例２〜５は一般式（ＤＡ１）に含まれない芳香族ジアミン化合物を用いたものである。

　合成されたそれぞれのポリアミド酸の０．５ｗｔ％Ｎ−メチル−２−ピロリドン溶液の固有粘度を３０℃において測定した。これらの結果を表１〜表７に示す。表１〜表７から、マレイン酸無水物を用いることにより、固有粘度０．５以下という低粘度のポリアミド酸を合成できることが確認された。

　（２）ポリイミドフィルムの物性の測定
　ポリイミドフィルムについて以下に示す物性の測定した結果を表１〜表７に示す。

　（ａ）分解開始温度
　ポリアミド酸のワニスを、１ｍｍ×１３０ｍｍ×１５０ｍｍの大きさのガラス板上に、バーコーターにより７５μｍの厚さに塗布した後、１１０℃で１時間プリベークした。得られたフィルムをガラス板から剥がし、内側の大きさが１００ｍｍ×１００ｍｍの真鍮枠に固定した。これを、窒素ガスを導入した乾燥器中で、室温から昇温して、１５０℃、２５０℃、および３５０℃の各温度で１時間ずつ加熱し、最後に４００℃で３０分間加熱することにより、ポリイミドフィルムを形成した。なお、各温度の間の昇温時間は１時間とした。得られたポリイミドフィルムについて、窒素気流中で熱重量分析／示差熱分析（ＴＧ／ＤＴＡ）を行い、０．５ｗｔ％の重量減少が生じる温度を測定し、ポリイミドフィルムの分解開始温度を決定した。その結果、実施例１−１〜４５のポリイミドフィルムは比較例のものと同等の耐熱性を有することが確認された。

　（ｂ）シリコン基板に対する密着性
　ポリアミド酸のワニスを、４インチ径のシリコン基板上に、硬化後の膜厚が５〜１０μｍとなるようにスピンコートした。これを、窒素ガスを導入した乾燥器中で、室温から昇温して、１５０℃、２５０℃、および３５０℃の各温度で１時間ずつ加熱し、最後に４００℃で３０分間加熱することにより、ポリイミドフィルムを形成した。なお、各温度の間の昇温時間は３０分間とした。ポリイミドフィルムが形成されたシリコン基板を、プレッシャークッカー内において、２気圧、１２０℃の水蒸気の雰囲気下に２４時間放置した。その後、ポリイミドフィルムの表面にセロハンテープを貼り、これを一定の条件で剥がしたときに基板より剥離する膜の割合を調べ、密着性を示す値とした。その結果、実施例１−１〜４５のポリイミドフィルムは、比較例１〜５のものと比べて、シリコン基板との密着性に優れていることが確認された。

　（ｃ）トレンチへの充填性
　ポリアミド酸のワニスを、表面に幅０．３μｍ、深さ１．０μｍのトレンチを形成した４インチ径のシリコン基板上に、硬化後の膜厚が５〜１０μｍとなるようにスピンコートし、（ｂ）と同様な条件で硬化させてポリイミドフィルムを形成した。その後、トレンチの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により観察し、トレンチに対する充填性を検討した。その結果、実施例１−１〜４５ではトレンチがポリイミドで隙間なく完全に埋められていた。これに対して、比較例１〜５ではトレンチがポリイミドで完全に充填されず、大きな隙間が残存していることが確認された。

　（ｄ）誘電率
　ポリアミド酸のワニスを、１ｍｍ×１００ｍｍ×１００ｍｍの大きさのアルミニウム板上に、硬化後の膜厚が４０〜６０μｍとなるように２〜４回スピンコートした。これを、窒素ガスを導入した乾燥器中で、室温から昇温して、１５０℃、２５０℃、および３５０℃の各温度で１時間ずつ加熱し、最後に４００℃で３０分間加熱することにより、ポリイミドフィルムを形成した。なお、各温度の間の昇温時間は３０分間とした。得られたポリイミドフィルムについて、１０ｋＨｚにおける誘電率を測定した。その結果、実施例１−１〜４５のポリイミドフィルムは誘電率が３．０以下であり、比較例１のものに比べて非常に低く、誘電特性に優れていることが確認された。

　（ｅ）加湿分解ガスの発生量
　（ｂ）と同様な方法でシリコン基板上にポリイミドフィルムを形成した。これを、２０℃、飽和水蒸気下で１週間放置した。その後、ポリイミドフィルムをパイロホイルに導入し、３５８℃で３秒間キューリーパイロライザーで加熱し、発生したガス成分をＧＣ−ＭＡＳＳにより分析した。加湿分解ガスであるトルエンの発生量を、イオンクロマトグラフにおけるトルエンのシグナルの積分値をサンプル１ｍｇあたりに換算した値により評価した。この結果、実施例１−１〜４５のポリイミドフィルムはトルエンガスの発生量が非常に少なく、環境安定性に優れていることが確認された。

　実施例２−１〜２−１１
　（１）含フッ素芳香族ジアミン化合物の合成
　［合成例２Ａ］　２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン（６Ｆｍ６ＦＤＡ）の合成
　（ａ）２，２−ビス［３−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン（化合物２Ａａ）の合成
　５００ｍＬのオートクレーブに、２，２−ビス（３−ヨードフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン４４．５ｇ（８０．０ｍｍｏｌ）、ヨウ化トリフルオロメチル４０．０ｇ（２０４ｍｍｏｌ）、乾燥Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド１５０ｍＬ、および触媒として銅粉を入れ、１５０℃で２４時間加熱撹拌した。放冷後、反応液から銅粉をろ別し、ろ液を減圧下で分別蒸留して、目的の化合物２Ａａを得た。

　分子式：Ｃ₁₇Ｈ₈ Ｆ₁₂　分子量：４４０．２２７
　収量：２８．５ｇ（６４．７ｍｍｏｌ）　収率：８１％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素
　　計算値　４６．４％　１．８％　５１．８％
　　分析値　４６．６％　１．８％　５１．６％
　（ｂ）２，２−ビス［３−ニトロ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン（化合物２Ａｂ）の合成
　（ａ）で得られた化合物２Ａａ　２６．５ｇ（６０．２ｍｍｏｌ）を９５％濃硫酸６０ｍＬに溶解し、９０％発煙硝酸２０ｍＬを滴下ロートでゆっくりと加え、５０℃で５時間加熱撹拌した。反応終了後、反応液を氷水に注ぎ込み、生成物を塩化メチレン３００ｍＬで抽出した。分液ロートにより抽出液を分取し、５％水酸化ナトリウム水溶液３００ｍＬで２回、水３００ｍＬで１回洗浄した。無水硫酸ナトリウムで脱水した後、抽出液を減圧濃縮し、残渣を熱エタノール溶液から再結晶し、目的の化合物２Ａｂを得た。

　分子式：Ｃ₁₇Ｈ₆ Ｆ₁₂Ｎ₂ Ｏ₄ 　分子量：５３０．２２１
　収量：２８．０ｇ（５２．８ｍｍｏｌ）　収率：８８％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素
　　計算値　３８．５％　１．１％　４３．０％　５．３％
　　分析値　３８．８％　１．２％　４２．８％　５．３％
　（ｃ）２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン（６Ｆｍ６ＦＤＡ）の合成
　（ｂ）で得られた化合物２Ａｂ　２６．５ｇ（５０．０ｍｍｏｌ）、イソプロピルアルコール５０ｍＬおよび５％−Ｐｄ／Ｃ還元剤（５０％含水品）１．５ｇを還元装置に入れ、水素雰囲気下、８０℃で４時間反応させた。反応終了後、吸引ろ過により不溶物を除去し、反応液を減圧濃縮した。析出した粗結晶を熱エタノール溶液から再結晶し、目的の６Ｆｍ６ＦＤＡを得た。

　分子式：Ｃ₁₇Ｈ₁₀Ｆ₁₂Ｎ₂ 　分子量：４７０．２５７
　収量：２１．５ｇ（４５．７ｍｍｏｌ）　収率：９１％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素
　　計算値　４３．４％　２．１％　４８．５％　６．０％
　　分析値　４３．６％　２．２％　４８．３％　５．９％
　赤外吸収スペクトル（ＫＢｒ法）：
　　３４８０ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ逆対称伸縮振動（第１級アミン）
　　３３９０ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ対称伸縮振動（第１級アミン）
　　１６００ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ面内変角（ハサミ）振動（芳香族第１級アミン）
　　１３２０、１２５０、１２２０、１１９０、１１４０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ伸縮振動および変角振動（ＣＦ₃ 基）。

　［合成例２Ｂ］　３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル（６ＦｍＢＰＤＡ）の合成
　３−ヨード−５−ニトロベンゾトリフルオリド１５．９ｇ（５０．２ｍｍｏｌ）を、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド５０ｍＬに溶解し、これに銅粉２０ｇを加え、７２時間加熱還流した。放冷後、吸引濾過により不溶物を除去し、濾液を減圧濃縮および真空乾燥した。得られた残渣をイソプロピルアルコール５０ｍＬに溶解し、これに５％−Ｐｄ／Ｃ還元剤（５０％含水品）１．５ｇを加え、水素雰囲気下、８０℃で４時間反応させた。反応終了後、吸引濾過により不溶物を除去し、反応液を減圧濃縮し、粗結晶を析出させた。熱エタノール溶液から再結晶し、目的の化合物（６ＦｍＢＰＤＡ）を得た。

　分子式：Ｃ₁₄Ｈ₁₀Ｆ₆ Ｎ₂ 　分子量：３２０．２３６
　収量：１０．９ｇ（３４．０ｍｍｏｌ）　収率：６８％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素
　　計算値　５２．５％　３．１％　３５．６％　８．７％
　　分析値　５２．６％　３．０％　３５．６％　８．８％
　赤外吸収スペクトル（ＫＢｒ法）：
　　３５００ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ逆対称伸縮振動（第１級アミン）
　　３４００ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ対称伸縮振動（第１級アミン）
　　１６００ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ面内変角（ハサミ）振動（芳香族第１級アミン）
　　１３２０ｃｍ^-1　ＣＦ₃ 対称変角振動
　　１２００ｃｍ^-1　Ｃ−Ｎ伸縮振動（第１級アミン）
　　１１４０ｃｍ^-1　ＣＦ₃ 逆対称変角振動。

　［合成例２Ｃ］　３，３’−ジアミノ−５，５’−ビスフルオロビフェニル（２ＦｍＢＰＤＡ）の合成
　３−フルオロ−５−ヨードニトロベンゼン１３．４ｇ（５０．２ｍｍｏｌ）を用い、合成例２Ｂと同様な方法により、目的の化合物（２ＦｍＢＰＤＡ）を得た。

　分子式：Ｃ₁₂Ｈ₁₀Ｆ₂ Ｎ₂ 　分子量：２２０．２２２
　収量：７．１ｇ（３２．２ｍｍｏｌ）　収率：６４％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素
　　計算値　６５．４％　４．６％　１７．３％　１２．７％
　　分析値　６５．７％　４．６％　１７．１％　１２．６％
　赤外吸収スペクトル（ＫＢｒ法）
　　３５２０ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ逆対称伸縮振動（第１級アミン）
　　３４２０ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ対称伸縮振動（第１級アミン）
　　１６０５ｃｍ^-1　Ｎ−Ｈ面内変角（ハサミ）振動（芳香族第１級アミン）
　　１２４０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ伸縮振動（フルオロベンゼン）
　　１２０５ｃｍ^-1　Ｃ−Ｎ伸縮振動（第１級アミン）
　（２）ポリイミド前駆体（ポリアミド酸）の合成
　表８および表９に示す原料を所定の配合比（モル当量で表示）で用い、以下のようにしてポリアミド酸を合成した。まず、窒素ガス雰囲気下、冷媒により−５〜０℃に冷却したセパラブルフラスコにＮ−メチル−２−ピロリドン５０ｍＬを入れ、酸無水物成分として一般式（ＤＡＨ２）で表されるテトラカルボン酸二無水物の所定量を加えて攪拌しながら溶解した。この溶液に、ジアミン成分として上記のようにして合成された一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物および一般式（ＤＡ６）で表されるビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物の所定量をＮ−メチル−２−ピロリドンに溶解した溶液を圧力平衡管付き滴下ロートからゆっくりと滴下した。６時間攪拌し、目的のポリアミド酸を含むワニスを得た。

　表８および表９で用いた略号を説明する。

（テトラカルボン酸二無水物）
ＰＭＡ：ピロメリト酸二無水物
ＢＰＴＡ：３，４，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ＯＤＰＡ：オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物
６ＦＤＰＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物
６ＦＸＴＡ：９，９−ビス（トリフルオロメチル）キサンテン−２，３，６，７−テトラカルボン酸二無水物
ＳＮＤＰＡ：スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物
（ジアミン化合物）
６Ｆｍ６ＦＤＡ：２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン
６ＦｍＢＰＤＡ：３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル
２ＦｍＢＰＤＡ：３，３’−ジアミノ−５，５’−フルオロビフェニル
ＴＳＬ９３０６：１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン
　（３）各種物性の測定
　実施例１と同様にして、ポリアミド酸溶液の固有粘度、ならびにポリイミドフィルムの分解開始温度、誘電率および吸湿率を測定した結果を表８および表９に示す。その結果、実施例２−１〜２−１１のポリイミドフィルムは、比較例１のものと同等の耐熱性を有し、しかも誘電率が非常に低いことが確認された。

　実施例３−１〜３−８
　（１）ポリイミド前駆体（ポリアミド酸）の合成
　表１０に示す原料を所定の配合比（モル当量で表示）で用い、以下のようにしてポリアミド酸を合成した。まず、窒素ガス雰囲気下、冷媒により−５〜０℃に冷却したセパラブルフラスコにＮ−メチル−２−ピロリドン５０ｍＬを入れ、酸無水物成分として一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物の所定量を加えて攪拌しながら溶解した。この溶液に、ジアミン成分として一般式（ＤＡ５）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物および一般式（ＤＡ６）で表されるビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物の所定量をＮ−メチル−２−ピロリドンに溶解した溶液を圧力平衡管付き滴下ロートからゆっくりと滴下した。６時間攪拌し、目的のポリアミド酸を含むワニスを得た。

　表１０で用いた略号を説明する。

（テトラカルボン酸二無水物）
ＰＭＡ：ピロメリト酸二無水物
ＢＰＴＡ：３，４，３’，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
ＯＤＰＡ：オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物
ＳＮＤＰＡ：スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物
ＣＢＤＰＡ：カルボニル−４，４’−ジフタル酸二無水物
６ＦＤＰＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物
ＳＸＤＰＡ：１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン二無水物
ＰＯＤＰＡ：１，３−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ベンゼン二無水物
（ジアミン化合物）
６ＦｍＳＮＤＡ：１，１’−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン
　（２）各種物性の測定
　実施例１と同様にして、ポリアミド酸溶液の固有粘度、ならびにポリイミドフィルムの分解開始温度、誘電率および吸湿率を測定した結果を表１０に示す。その結果、実施例３−１〜３−８のポリイミドフィルムは、十分な耐熱性を有し、しかも誘電率が非常に低いことが確認された。

　実施例４−１〜４−１５
　（１）ポリイミド前駆体（ポリアミド酸）の合成
　表１１および表１２に示す原料を所定の配合比（モル当量で表示）で用い、以下のようにしてポリアミド酸を合成した。まず、窒素ガス雰囲気下、冷媒により−５〜０℃に冷却したセパラブルフラスコにＮ−メチル−２−ピロリドン５０ｍＬを入れ、酸無水物成分として一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物の所定量を加えて攪拌しながら溶解した。この溶液に、ジアミン成分として一般式（ＤＡ１）で表される芳香族ジアミン化合物、および一般式（ＤＡ６）で表されるビス（アミノアルキル）パーアルキルポリシロキサン化合物の所定量をＮ−メチル−２−ピロリドン５０ｍＬに溶解した溶液を、圧力平衡管付き滴下ロートからゆっくりと滴下した。６時間撹拌して、目的のポリアミド酸を含むワニスを得た。

　表１１および表１２で用いた略号を説明する。

（テトラカルボン酸二無水物）
６ＦＤＰＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物
ＰＭＡ：ピロメリト酸二無水物
ＯＤＰＡ：オキシ−４，４’−ジフタル酸二無水物
ＳＮＤＰＡ：スルホニル−４，４’−ジフタル酸二無水物
（マレイン酸無水物）
ＭＬＡ：マレイン酸無水物
（ジアミン化合物）
ｍＳＮＤＡ：スルホニル−３，３’−ジアニリン
ｍＰＯＤＡ：１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン
ｍＯＤＡ：オキシ−３，３’−ジアニリン
６ＦｍＯＤＡ：オキシ−５，５’−ビス［３−（トリフルオロメチル）アニリン］
３ＦｍＰＯＤＡ：３，５−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゾトリフルオリド
６ＦｍＰＯＤＡ：１，３−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ］ベンゼン
９ＦｍＰＯＤＡ：３，５−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェノキシ）ベンゾトリフルオリド
３ＦｍＰＤＡ：５−（トリフルオロメチル）−１，３−フェニレンジアミン
６ＦｍＳＮＤＡ：１，１’−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン
２ＦｍＢＰＤＡ：３，３’−ジアミノ−５，５’−ジフルオロビフェニル
６ＦｍＢＰＤＡ：３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル
６ＦｐＢＰＤＡ：４，４’−ジアミノ−２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル
ｐＯＤＡ：オキシ−４，４’−ジアニリン
ＴＳＬ９３０６：１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン
　合成されたそれぞれのポリアミド酸の０．５ｗｔ％Ｎ−メチル−２−ピロリドン溶液の固有粘度を３０℃において測定した。これらの結果を表４に示す。表４から、マレイン酸無水物を用いた場合には、固有粘度０．５以下という低粘度のポリアミド酸を合成できることが確認された。

　（２）感光性ポリイミド前駆体の調製
　実施例４−１
　ポリアミド酸（４−１）の１６重量％Ｎ−メチル−２−ピロリドン溶液２０ｇに、感光剤として２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート１．５７ｇ（０．０１モル）および２，６−ジ（４−アジドベンザル）−４−ヒドロキシシクロヘキサノン０．３７ｇ（０．００１モル）を溶解し、均一溶液とした後、孔径０．５μｍのフィルターでろ過して感光性ポリイミド前駆体を調製した。

　実施例４−２〜４−１５
　表１３および表１４に示すように、ポリアミド酸の１６重量％Ｎ−メチル−２−ピロリドン溶液および感光剤、ならびに必要に応じて増感剤を所定の配合比（重量で表示）で用い、実施例４−１と同様にして感光性ポリイミド前駆体を調製した。

　表１３および表１４で用いた略号を説明する。

（感光剤）
ＤＭＡＥＡ：２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート
ＤＭＡＥＭ：２−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート
ＤＭＡＢＭ：４−Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノブチルメタクリレート
ＤＡＢＭＣＨ：２，６−ジ（４−アジドベンザル）−４−メチルシクロヘキサノン
ＤＡＢＨＣＨ：２，６−ジ（４−アジドベンザル）−４−ヒドロキシシクロヘキサノン
（増感剤）
ＢＤＭＫ：ベンジルジメチルケタール

　（３）感光特性の評価
　得られた各感光性ポリイミド前駆体について、以下に示す方法に従って感光特性を評価した。まず、感光性ポリイミド前駆体を、シリコン基板上にスピンコートし、９０℃で６分間加熱乾燥して、４〜６μｍ厚の塗膜を形成した。次に、露光装置（キャノン社製、ＰＬＡ−５００Ｆ）を用い、塗膜の上に設けたマスクを通して紫外線を照射した。次いで、Ｎ−メチル−２−ピロリドン４容量部およびイソプロピルアルコール１容量部からなる現像液で現像し、さらにエタノールでリンスし、レリーフパターンを形成した。こうして形成されたレリーフパターンの断面を走査型電子顕微鏡により観察した。表１５に初期膜厚、光照射量、現像時間、残膜率、および解像度を示す。

　表１５に示されるように、最小線幅４μｍのレリーフパターンが得られた。なお、レリーフパターンが形成された各シリコン基板を４００℃で９０分間加熱しても、レリーフパターンの変形は認められなかった。

　（４）トレンチへの充填性
　６インチ径のシリコン基板表面にアルミニウムを堆積し、パターニングしてライン・アンド・スペース０．３μｍで深さ１．２μｍのトレンチを形成した。各感光性ポリイミド前駆体をスピンコートし、９０℃で１時間、１５０℃で３０分、２５０℃で３０分、４００℃で１時間加熱処理して、ポリイミドフィルムを形成した。その後、トレンチの断面を走査型電子顕微鏡により観察し、トレンチに対する充填性を検討した。その結果、実施例４−１〜１５ではトレンチがポリイミドで隙間なく完全に埋められていた。これに対して、比較例６および７ではトレンチがポリイミドで完全に充填されず、大きな隙間が残存していることが確認された。このようにポリイミドの分子構造により、感光性ポリイミド前駆体溶液の流動性および流延性に大きな差があることがわかった。

　実施例５
　窒素導入管を有する１００ｍＬの４口フラスコに、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフタル酸二無水物（６ＦＤＰＡ）８．８８ｇ（０．０２モル）および２−ヒドロキシエチルメタクリレート５．２ｇ（０．０４モル）を入れた。この溶液を室温で６日間撹拌して６ＦＤＰＡのジエステルを得た。この溶液を−１５℃に保持し、塩化チオニルを徐々に添加した。その後、撹拌を続けながら、反応液の温度を徐々に上げて５℃に保持し、４時間反応させた。この溶液に、１，３−ビス（３−アミノ−５−トリフルオロメチルフェノキシ）ベンゼン７．０４ｇ（０．０２モル）およびトリメチルアミン４．４ｇ（０．０４４モル）をＮ−メチル−２−ピロリドン２５ｇに溶解した溶液を徐々に加えた。この溶液を、窒素雰囲気下、５℃に保持し、８時間撹拌を続けた後、減圧ろ過して生成した沈殿を除去した。ろ液を水中にデカントし、ポリアミド酸誘導体の沈殿を析出させた。

　このポリアミド酸誘導体３．０ｇをＮ−メチル−２−ピロリドン１２ｇ中に溶解し、光重合開始剤として４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン０．０５ｇおよび２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパノン−１　０．０１ｇを添加し、０．５μｍのフィルターでろ過して、感光性ポリイミド前駆体を得た。

　この感光性ポリイミド前駆体を、シリコン基板上にスピンコートし、９０℃で５分間加熱乾燥した。次に、露光装置（キャノン社製、ＰＬＡ−５００Ｆ）を用い、塗膜の上に設けたマスクを通して紫外線を６０秒間照射して露光した。次いで、Ｎ−メチル−２−ピロリドン７容量部およびメタノール３容量部からなる現像液で現像し、水でリンスした。さらに、１５０℃で３０分間、２５０℃で３０分間、３５０℃で６０分間加熱処理して、膜厚５μｍ、ライン・アンド・スペース６μｍのレリーフパターンを得た。

　こうしてレリーフパターンが形成されたシリコン基板を４００℃で９０分間加熱しても、レリーフパターンの変形は認められなかった。

　また、実施例４（４）と同様に、ライン・アンド・スペース０．３μｍ、深さ１２μｍのアルミニウムパターンを設けたシリコン基板を用い、感光性ポリイミド前駆体のトレンチへの充填性を調べた。その結果、トレンチはポリイミドで完全に充填され、トレンチ表面の平坦性も良好であった。

　実施例６−１〜６−３および比較例６（液晶表示素子）
　（１）液晶セルの作製
　実施例６−１
　実施例１−３で合成したポリアミド酸のＮ−メチル−２−ピロリドン溶液をブチルセロソルブアセテートで希釈して濃度８重量％の溶液を調製した。この溶液を孔径０．２μｍのフィルターでろ過してゴミなどの不溶物を除去した後、スクリーン印刷によりＩＴＯ電極が形成されたガラス基板上に塗布した。このガラス基板を１００℃で５分間乾燥し、１５０℃で３０分間、２５０℃で３０分間の熱処理を施して、６０ｎｍのポリイミドフィルムを形成した。次に、ナイロン製の布を巻き付けたロールを有するラビングマシーンを用い、ロールの回転数４５０ＲＰＭ、ステージ移動速度１ｃｍ／秒で、このポリイミドフィルムにラビング処理を施して液晶配向膜とした。このようにしてラビング処理された液晶配向膜を有する１対のガラス基板を作製した。これらのガラス基板の周縁部を、スペーサーとしてのビーズを含有するエポキシ系接着剤を１８０℃で加熱して硬化させることにより互いに接着させ、セルギャップ１０μｍのセルを作製した。最後に、液晶注入口よりネマチック液晶（メルク社製、ＺＬＩ−１５６５）を注入し、注入口を光硬化型エポキシ樹脂で封止して、試験用液晶セルを作製した。

　実施例６−２および６−３
　実施例１−３のポリアミド酸の代わりに、実施例１−３９または実施例３−９で合成したポリアミド酸を用いた以外は、実施例６−１と全く同様にして試験用液晶セルを作製した。

　比較例６
　撹拌棒、温度計、窒素導入管を取付けた４口フラスコに、ピロメリット酸二無水物１０．９２１ｇ（０．０５モル）およびＮ−メチル−２−ピロリドン６０ｇを入れ、脱水した窒素を流しながら撹拌して懸濁液とした。この懸濁液を５℃に保持し、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン２４．８９２ｇ（０．０４８モル）および１，３−ビス（３−アミノプロピル）−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン０．４９５ｇ（０．００２モル）をＮ−メチル−２−ピロリドン１２０ｇに溶解した溶液を徐々に添加した。その後、５℃〜室温で６時間撹拌を続け、ポリアミド酸を合成した。この溶液５０ｇに、Ｎ−メチル−２−ピロリドン３５ｇおよびブチルセロソルブアセテート２５ｇを加えて、８重量％のポリアミド酸溶液を調製した。この溶液を用い、実施例６−１と同様な方法により試験用液晶セルを作製した。

　（２）配向特性の評価
　これらの液晶セルについて、プレチルト角および電圧保持率を測定することにより、配向特性を評価した。

　ここで、プレチルト角は、ジャーナル・オブ・アプライド・フィジックス、第９巻、Ｎｏ．１０、２０１３〜４頁（１９８０）に記載されている方法により測定した。

　電圧保持率は、液晶セルの電極に印加された書き込み電圧が、次の書き込みまでの間（フレーム周期１６ｍｓｅｃ）に保持される割合である。この電圧保持率は、図８（ａ）に示す測定回路を用いて以下のようにして測定した。すなわち、ＴＦＴのソースに、図８（ｂ）に示すように、パルス幅６５μｓ、周波数６０Ｈｚ、波高±５Ｖの矩形波Ｖｓを印加し、ドレイン電圧ＶD をモニターした。図８（ｃ）に示すように、ＶD は次のパルス電圧が印加されるまでの間に減衰する。そして、図８（ｃ）において、破線とＶ＝０との間の面積（ＶD が減衰しなかった場合の電圧積分値）に対する、モニターされたＶD とＶ＝０との間の斜線部の面積（実際に電極に印加される電圧積分値）の割合を電圧保持率とする。なお、電圧保持率は９０℃において測定した。

　これらの測定結果を表１６に示す。表１６から、実施例６−１〜３のポリイミドからなる液晶配向膜を用いた液晶セルは、望ましいプレチルト角と高い電圧保持率を有している。このことは、コントラストおよび視認性に優れた液晶表示素子を実現できることを示し、大型化、カラー化に好適である。

　実施例７−１〜７〜１６および比較例７−１〜７−４
　（１）ビスマレイミド化合物の合成
　［合成例７Ａ］　３，３’−ジマレイミド−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル（６ＦｍＢＰＤＭ）の合成
　フラスコにジメチルホルムアミド５０ｍＬを入れて撹拌しながら無水マレイン酸１０．８ｇ（１１０ｍｍｏｌ）を溶解した。室温でこの溶液に、３，３’−ジアミノ−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル（６ＦｍＢＰＤＡ）１６．０ｇ（５０．０ｍｍｏｌ）をジメチルホルムアミド５０ｍＬに溶解した溶液を滴下ロートからゆっくりと滴下した。３時間撹拌後、トリエチルアミン２．４ｇ、酸化マグネシウム（ＩＩ）１００ｍｇ、および酢酸コバルト（ＩＩ）・４水和物１０ｍｇを添加し、室温で無水酢酸１３ｇを滴下ロートから３０分かけて滴下した。さらに３時間撹拌し、反応液に水１Ｌを少しずつ加え、析出した粗結晶をろ取した。得られた粗結晶を少量のジメチルホルムアミドに溶解し、この溶液を水１Ｌにデカントして、結晶を析出させた。この操作をもう一度繰り返し、精製した結晶をろ取した。この結晶を真空乾燥して目的の化合物（６ＦｍＢＰＤＭ）を得た。

　分子式：Ｃ₂₂Ｈ₁₀Ｆ₆ Ｎ₂ Ｏ₄ 　分子量：４８０．３２０
　収量：２３．３ｇ（４８．５ｍｍｏｌ）　収率：９７％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素
　　計算値　５５．０％　２．１％　２３．７％　５．８％
　　分析値　５５．０％　２．１％　２３．８％　５．８％
　赤外吸収スペクトル：
　　１７８０、１７２０ｃｍ^-1　Ｃ＝Ｏ伸縮振動（環状イミド）
　　１３２０、１１４０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ対称変角振動（ＣＦ₃ 基）。

　［合成例７Ｂ］　ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル（６ＦｍＯＤＭ）の合成
　６ＦｍＢＰＤＡの代わりに、オキシ−５，５’−ビス（３−トリフルオロメチルアニリン）（６ＦｍＯＤＡ）１６．８ｇ（５０．０ｍｍｏｌ）を用い、合成例７Ａと同様な方法により、目的の化合物（６ＦｍＯＤＭ）を得た。

　分子式：Ｃ₂₂Ｈ₁₀Ｆ₆ Ｎ₂ Ｏ₅ 　分子量：４９６．３１９
　収量：２３．６ｇ（４７．６ｍｍｏｌ）　収率：９５％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素
　　計算値　５３．２％　２．０％　２３．０％　５．６％
　　分析値　５３．３％　２．０％　２２．９％　５．７％
　赤外吸収スペクトル：
　　１７８０、１７２０ｃｍ^-1　Ｃ＝Ｏ伸縮振動（環状イミド）
　　１３２０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ対称変角振動（ＣＦ₃ 基）
　　１２４５ｃｍ^-1　Ｃ−Ｏ−Ｃ逆対称伸縮振動（芳香族エーテル）
　　１１４０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ対称変角振動（ＣＦ₃ 基）。

　［合成例７Ｃ］　ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン（６ＦｍＳＮＤＭ）の合成
　６ＦｍＢＰＤＡの代わりに、１，１’−ビス［３−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン（６ＦｍＳＮＤＡ）１９．２ｇ（５０．０ｍｍｏｌ）を用い、合成例７Ａと同様な方法により、目的の化合物（６ＦｍＳＮＤＭ）を得た。

　分子式：Ｃ₂₂Ｈ₁₀Ｆ₆ Ｎ₂ Ｏ₆ Ｓ　分子量：５４４．３７８
　収量：２５．６ｇ（４７．０ｍｍｏｌ）　収率：９４％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素　　　硫黄
　　計算値　４８．５％　１．９％　２０．９％　５．２％　５．９％
　　分析値　４８．６％　１．８％　２１．０％　５．１％　５．９％
　赤外吸収スペクトル：
　　１７８０、１７２０ｃｍ^-1　Ｃ＝Ｏ伸縮振動（環状イミド）
　　１３２０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ対称変角振動（ＣＦ₃ 基）
　　１３１０ｃｍ^-1　Ｓ＝Ｏ逆対称伸縮振動（スルホン）
　　１１６０ｃｍ^-1　Ｓ＝Ｏ対称変角振動（スルホン）
　　１１４０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ対称変角振動（ＣＦ₃ 基）。

　［合成例７Ｄ］　２，２−ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン（６Ｆｍ６ＦＤＭ）の合成
　６ＦｍＢＰＤＡの代わりに、２，２−ビス［３−アミノ−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン（６Ｆｍ６ＦＤＡ）２３．５ｇ（５０．０ｍｍｏｌ）を用い、合成例７Ａと同様な方法により、目的の化合物（６Ｆｍ６ＦＤＭ）を得た。

　分子式：Ｃ₂₅Ｈ₁₀Ｆ₁₂Ｎ₂ Ｏ₄ 　分子量：６３０．３４１
　収量：２９．０ｇ（４６．０ｍｍｏｌ）　収率：９２％
　元素分析：
　　　　　　　炭素　　　　水素　　　フッ素　　　窒素
　　計算値　４７．６％　１．６％　３６．２％　４．４％
　　分析値　４７．７％　１．６％　３６．１％　４．５％
　赤外吸収スペクトル：
　　１７８０、１７２０ｃｍ^-1　Ｃ＝Ｏ伸縮振動（環状イミド）
　　１３２０、１２５０、１２２０、１１９０、１１４０ｃｍ^-1　Ｃ−Ｆ伸縮振動および変角振動（ＣＦ₃ 基）
　（２）ビスマレイミド系樹脂ワニスの調製
　表１７〜表１９に示すように、ビスマレイミド化合物および芳香族ジアミン化合物または２価フェノール化合物を所定の配合比（モル当量で表示）で用い、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドに溶解し、樹脂組成物の５０ｗｔ％溶液を調製した。この溶液を８０℃で約１時間加熱して、ビスマレイミド化合物とジアミン化合物または２価フェノール化合物とをいくぶん反応させた（Ａ−ｓｔａｇｅ化）後、溶液の粘度が１ポイズ程度になるまでＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドを加えて、ビスマレイミド系樹脂のワニスを調製した。

　表１７〜表１９で用いた略語を以下に説明する。

（ビスマレイミド化合物）
６ＦｍＢＰＤＭ：３，３’−ジマレイミド−５，５’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル
６ＦｍＯＤＭ：ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］エーテル
６ＦｍＳＮＤＭ：ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］スルホン
６Ｆｍ６ＦＤＭ：２，２−ビス［３−マレイミド−５−（トリフルオロメチル）フェニル］−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン
ｐＭＤＭ：ビス（４−マレイミドフェニル）メタン
ｐ６ＦＤＭ：２，２−ビス（４−マレイミドフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン
（芳香族ジアミン化合物）
ｐＯＤＡ：オキシ−４，４’−ジアニリン
ｍ６ＦＤＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−３，３’−ジアニリン
６ＦｐＢＰＤＡ：４，４’−ジアミノ−２，２’−ビス（トリフルオロメチル）ビフェニル
ｐＭＤＡ：メチレン−４，４’−ジアニリン
ｐ６ＦＤＡ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジアニリン
（２価フェノール化合物）
ｐ６ＦＤＰ：１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２，２−プロピリデン−４，４’−ジフェノール
　なお、比較例８−１、８−２は、一般式（ＤＭ１）に含まれないビスマレイミド化合物を用いたものである。

　（３）ビスマレイミド系硬化樹脂フィルムの物性の測定
　（ａ）分解開始温度
　ビスマレイミド系樹脂のワニスを、１ｍｍ×１３０ｍｍ×１５０ｍｍの大きさのガラス板上に、バーコーターにより７５μｍの厚さに塗布した後、１１０℃で１時間プリベークした。これを、窒素ガスを導入した乾燥器中で、室温から昇温して、１５０℃、２５０℃、および３５０℃の各温度で１時間ずつ加熱し、最後に４００℃で３０分間加熱することにより、ビスマレイミド系硬化樹脂フィルムを形成した。なお、各温度の間の昇温時間は１時間とした。得られたビスマレイミド系硬化樹脂フィルムについて、窒素気流中で熱重量分析／示差熱分析（ＴＧ／ＤＴＡ）を行い、０．５ｗｔ％の重量減少が生じる温度を測定し、ビスマレイミド系硬化樹脂フィルムの分解開始温度を決定した。その結果、実施例８−１〜１６のビスマレイミド系硬化樹脂フィルムは比較例のものと同等以上の耐熱性を有することが確認された。

　（ｂ）誘電率
　ビスマレイミド系樹脂のワニスを、１ｍｍ×１００ｍｍ×１００ｍｍの大きさのアルミニウム板上に、硬化後の膜厚が４０〜６０μｍとなるように２〜４回スピンコートした。これを、窒素ガスを導入した乾燥器中で、室温から昇温して、１５０℃、２５０℃、および３５０℃の各温度で１時間ずつ加熱し、最後に４００℃で３０分間加熱することにより、ビスマレイミド系硬化樹脂フィルムを形成した。なお、各温度の間の昇温時間は３０分間とした。得られたビスマレイミド系硬化樹脂フィルムについて、１００ｋＨｚにおける誘電率を測定した。その結果、実施例８−１〜１６のビスマレイミド系硬化樹脂フィルムは誘電率が３．０以下と低く、一般的に用いられている比較例１のものに比べて誘電特性に優れていることが確認された。

　（ｃ）加湿分解ガスの発生量
　ビスマレイミド系樹脂のワニスを、４インチ径のシリコン基板上に、硬化後の膜厚が５〜１０μｍとなるようにスピンコートした。これを、窒素ガスを導入した乾燥器中で、室温から昇温して、１５０℃、２５０℃、および３５０℃の各温度で１時間ずつ加熱し、最後に４００℃で３０分間加熱することにより、ビスマレイミド系硬化樹脂フィルムを形成した。なお、各温度の間の昇温時間は３０分間とした。ビスマレイミド系硬化樹脂フィルムが形成されたシリコン基板を、２０℃、飽和水蒸気下で１週間放置した。その後、ビスマレイミド系硬化樹脂フィルムをパイロホイルに導入し、３５８℃で３秒間キューリーパイロライザーで加熱し、発生したガス成分をＧＣ−ＭＡＳＳにより分析した。加湿分解ガスであるトルエンの発生量を、イオンクロマトグラフにおけるトルエンのシグナルの積分値をサンプル１ｍｇあたりに換算した値により評価した。この結果、実施例８−１〜１６のビスマレイミド系硬化樹脂フィルムは、比較例のものに比べて、トルエンガスの発生量が非常に少なく、環境安定性に優れていることが確認された。

図１は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜を有する半導体デバイスの断面図、 図２は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなるパッシベーション膜を有する半導体チップを樹脂モールドしたパッケージの断面図、 図３は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜を有する薄膜磁気ヘッドの断面図、 図４は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜を有する高密度配線板の断面図、 図５は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなる層間絶縁膜を有する磁気バブルメモリ素子の断面図、 図６は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなる耐熱性透明樹脂層を有する太陽電池の断面図、 図７は本発明に係る前駆体から製造されるポリイミド樹脂からなる液晶配向膜を有する液晶表示素子の断面図、 図８は液晶表示素子のプレチルト角および電圧保持率を測定するために用いられる回路の回路図、ならびにＶS およびＶD の波形図である。

符号の説明

　１１…シリコン基板、１２…フィールド酸化膜、１３…拡散層、１４…熱酸化膜、１５…ＣＶＤ酸化膜、１６…第１層のＡｌ電極、１７…層間絶縁膜、１８…第２層のＡｌ電極、１９…パッシベーション膜、２０…半導体チップ、２１…ベッド、２２…リード、２３…ワイヤ、２４…封止樹脂、３１…基板、３２…下部アルミナ、３３…下部磁性体、３４…ギャップアルミナ、３５…層間絶縁膜、３６…第１導体コイル、３７…第２導体コイル、３８…上部磁性体、４１…シリコン基板、４２…熱酸化膜、４３…第１層の銅配線、４４…層間絶縁膜、４５…第２層の銅電極、４６…パッシベーション膜、４７…バリアメタル、４８…Ｐｂ／Ｓｍバンプ、５１…ガーネット基板、５２…コンダクタ、５３…層間絶縁膜、５４…パーマロイ、６１…ガラス基板、６２…耐熱性透明樹脂層、６３…透明電極、６４…アモルファスＳｉ、６５…金属電極、７１…ガラス基板、７２…画素電極、７３…液晶配向膜、７４…ガラス基板、７５…共通電極、７６…液晶配向膜、７７…液晶。

Claims (6)

1. 下記一般式（ＤＡ２）
   

   

   （Ｘ² はパーフルオロアルキレン基、パーフルオロアルキリデン基、スルホニル基、または単結合を示し、Ｒ⁰ はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、フルオロ基、または非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基を示し、Ｒ² はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、フルオロ基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基または水素原子を示し、少なくとも１個はフルオロ基またはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基であり、ａおよびｂは０〜３の整数である。）
   で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するアミン成分と、
   下記一般式（ＤＡＨ１）
   

   

   （Ｙは４価の有機基を示す。）
   で表されるテトラカルボン酸二無水物０．８０モル当量以上を含有する酸無水物成分
   とを重合させた構造を有することを特徴とするポリイミド前駆体。
2. 前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するジアミン化合物０．９７〜１．０３モル当量と、前記一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物（１−ｎ₂ ／２）モル当量およびジカルボン酸無水物ｎ₂ モル当量（ｎ₂ は０〜０．４）とを重合させた構造、または
   前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物０．１０モル当量以上を含有するジアミン化合物（１−ｎ₃ ／２）モル当量およびモノアミン化合物ｎ₃ モル当量（ｎ₃ は０〜０．４）と、前記一般式（ＤＡＨ１）で表されるテトラカルボン酸二無水物０．９７〜１．０３モル当量とを重合させた構造
   を有することを特徴とする請求項１記載のポリイミド前駆体。
3. 前記一般式（ＤＡ２）で表される含フッ素芳香族ジアミン化合物は、下記一般式（ＤＡ３）および（ＤＡ４）
   

   

   （式中、Ｘ³ はパーフルオロアルキレン基またはパーフルオロアルキリデン基、Ｒ⁰ はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、フルオロ基、または非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基を示し、Ｒ² はそれぞれ同一であっても異なっていてもよく、フルオロ基、非置換もしくはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基または水素原子を示し、少なくとも１個はフルオロ基またはフルオロ基で置換された脂肪族炭化水素基であり、ａおよびｂは０〜３の整数である。）
   のいずれかで表されることを特徴とする請求項１または２記載のポリイミド前駆体。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載のポリイミド前駆体と、感光剤とを含有することを特徴とするポリイミド前駆体組成物。
5. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載のポリイミド前駆体を硬化させてなることを特徴とするポリイミド樹脂。
6. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載のポリイミド前駆体を硬化させてなるポリイミド樹脂を絶縁部材として含有することを特徴とする電子部品。

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