JP2004022166A - プラズマディスプレイパネルの製造方法および焼成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セッター103がローラー22a、23a、24aの回転によって搬送される際、摩擦により発生する磨耗粉が主に付着する、セッター103の、ローラー22a、23a、24aとの接触面側を洗浄するための洗浄手段105を、例えば、下段通路23c内に設置する。
このことにより、ローラーとセッターとの摩擦により発生する磨耗粉の、パネル構造物への付着や混入を低減し、良好な焼成が可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法および焼成装置を実現することができる。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、大画面で、薄型、軽量のディスプレイ装置として知られているプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと記す)の製造方法、およびそれに用いられる焼成装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
PDPの製造方法は、前面板基板、背面板基板と称する基板の表面に、印刷、乾燥、焼成の各工程を繰り返す厚膜形成工程により、電極、誘電体、蛍光体等のパネル構造物を逐次形成する工程と、最後に、前面板基板と背面板基板とを封着する工程とを有するものであり、乾燥、焼成の工程において焼成装置が用いられる。
【0003】
ここで、焼成装置としては、大量生産に適した、いわゆるローラーハース式連続焼成炉が用いられる。ローラーハース式連続焼成炉とは、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した搬送手段を有し、基板に形成したパネル構造物を焼成する際には、基板に対する傷の防止などの観点から、セッターと呼ばれる補助基板に基板を載せた状態(以後、この状態のものを被焼成物と記す)で搬送手段により搬送しながら焼成を行うものである。
【0004】
ここで、PDPの画像の表示特性には、パネル構造物の品質が大きく影響を与えるため、パネル構造物へ異物が付着したり混入したりすることがない焼成工程およびそれを実現する焼成装置が要求される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来、上述のような焼成装置によって焼成した場合、焼成後のパネル構造物には異物の付着や混入が見られた。そして、このことにより、例えば、パネル構造物が金属配線の場合、抵抗値にばらつきが発生し、その結果、PDPの歩留まりが低下してしまうという問題が発生していた。ここで、この異物の原因の一つとしては、被焼成物をローラーで搬送する際、セッターとローラーとの間の摩擦により発生する磨耗粉を挙げることができる。そして、この磨耗粉は主に、セッターの、ローラーとの接触面側に付着し、その状態でセッターが搬送されることから、焼成装置内全域に撒き散らされてしまうこととなり、その結果、磨耗粉に起因する不具合の発生頻度が高まる原因となっていた。
【0006】
本発明は、このような現状に鑑みなされたもので、ローラーとセッターとの摩擦により発生する磨耗粉のパネル構造物への付着や混入を低減するプラズマディスプレイパネルの製造方法および焼成装置を実現することを目的とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、セッターを洗浄する洗浄ステップを有するものである。
【0008】
また、上記の目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した往路用搬送手段と、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した復路用搬送手段とを有し、往路用搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成する往路ステップと、復路用搬送手段によって、焼成後の基板をセッターに載せた状態のまま搬送する復路ステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、復路ステップが、セッターを洗浄する洗浄ステップを有するものである。
【0009】
また、上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの焼成装置は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した搬送手段を有し、その搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成するように構成したプラズマディスプレイパネルの焼成装置であって、セッターを洗浄する洗浄手段を有するものである。
【0010】
また、上記目的を実現するために本発明のプラズマディスプレイパネルの焼成装置は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した往路用搬送手段と、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した復路用搬送手段とを有し、往路用搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成し、復路用搬送手段によって、焼成後の基板をセッターに載せた状態のまま搬送するように構成したプラズマディスプレイパネルの焼成装置であって、復路ステップにおいて、セッターを洗浄するように構成された洗浄手段を有するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の、請求項1に記載の発明は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、セッターを洗浄する洗浄ステップを有するものである。
【0012】
また、請求項2に記載の発明は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した往路用搬送手段と、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した復路用搬送手段とを有し、往路用搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成する往路ステップと、復路用搬送手段によって、焼成後の基板をセッターに載せた状態のまま搬送する復路ステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、復路ステップが、セッターを洗浄する洗浄ステップを有するものである。
【0013】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または2の発明において、洗浄ステップが、異物を溶剤により除去する湿式洗浄手段によって行われるものである。
【0014】
また、請求項4に記載の発明は、請求項3の発明において、洗浄ステップでのセッターの温度T1(℃)が、溶剤の沸点T2(℃)に対して、0.9×T2≦T1<T2の関係を有するものである。
【0015】
また、請求項5に記載の発明は、請求項1または2の発明において、洗浄ステップが、異物を吸引により除去する乾式洗浄手段によって行われるものである。
【0016】
また、請求項6に記載の発明は、請求項5の発明において、乾式洗浄手段は、吸引により、セッターの面方向に沿った気流が発生するように構成されているものである。
【0017】
また、請求項7に記載の発明は、請求項1から6のいずれかの発明において、洗浄ステップが、セッターのローラーとの接触面側に対して洗浄を行うものである。
【0018】
また、請求項8に記載の発明は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した搬送手段を有し、その搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成するように構成したプラズマディスプレイパネルの焼成装置であって、セッターを洗浄する洗浄手段を有するものである。
【0019】
また、請求項9に記載の発明は、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した往路用搬送手段と、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した復路用搬送手段とを有し、往路用搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成し、復路用搬送手段によって、焼成後の基板をセッターに載せた状態のまま搬送するように構成したプラズマディスプレイパネルの焼成装置であって、復路ステップにおいて、セッターを洗浄するように構成された洗浄手段を有するものである。
【0020】
また、請求項10に記載の発明は、請求項8または9の発明において、洗浄手段が、異物を溶剤により除去する湿式洗浄手段である。
【0021】
また、請求項11に記載の発明は、請求項10の発明において、湿式洗浄手段は、セッターの温度T1(℃)が、溶剤の沸点T2(℃)に対して、0.9×T2≦T1<T2の関係を有する箇所に設けられているものである。
【0022】
また、請求項12に記載の発明は、請求項8または9の発明において、洗浄手段が、異物を吸引により除去する乾式洗浄手段である。
【0023】
また、請求項13に記載の発明は、請求項12の発明において、乾式洗浄手段は、吸引により、セッターの面方向に沿った気流が発生するように構成されているものである。
【0024】
また、請求項14に記載の発明は、請求項8から13のいずれかの発明において、セッターのローラーとの接触面側に対して洗浄を行うように構成されているものである。
【0025】
以下に、本発明の一実施の形態について説明するが、本発明の実施の形態はこれに制限されるものではない。
【0026】
(実施の形態1)
PDPは、ガス放電により紫外線を発生させ、この紫外線で蛍光体を励起して発光させカラー表示を行うものであり、大別して、駆動的にはAC型とDC型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の2種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、プラズマディスプレイパネルの主流は、3電極構造の面放電型のものである。そしてその構造は、一方の基板上に平行に隣接した表示電極対を有し、もう一方の基板上に表示電極と交差する方向に配列されたアドレス電極と、隔壁、蛍光体層を有するもので、比較的蛍光体層を厚くすることができ、蛍光体によるカラー表示に適している。
【0027】
このようなPDPは、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、視野角が広いこと、大型化が容易であること、自発光型であるため表示品質が高いことなどの理由から、フラットパネルディスプレイの中で最近特に注目を集めており、多くの人が集まる場所での表示装置や家庭で大画面の映像を楽しむための表示装置として各種の用途に使用されている。
【0028】
ここで、一般的なPDPの構造を図1に示す。PDPは、前面基板1と背面基板2とから構成されている。前面基板1は、例えばフロート法による硼珪素ナトリウム系ガラス等からなるガラス基板などの透明且つ絶縁性の基板3上に形成された、走査電極4と維持電極5とが対をなすストライプ状の表示電極6と、表示電極6群を覆うように形成された誘電体層7と、誘電体層7上に形成されたMgOからなる保護膜8とにより構成されている。なお、走査電極4および維持電極5は、例えばITOのような透明かつ導電性の材料で形成された透明電極4a、5aと、この透明電極4a、5aに電気的に接続されるように形成された、例えばAgからなるバス電極4b、5bとで構成されている。
【0029】
また、背面基板2は、基板3に対向配置される基板9上に、表示電極6と直交する方向に形成されたアドレス電極10と、そのアドレス電極10を覆うように形成された誘電体層11と、アドレス電極10間の誘電体層11上にアドレス電極10と平行にストライプ状に形成された複数の隔壁12と、この隔壁12間に形成した蛍光体層13とにより構成されている。なお、カラー表示のために前記蛍光体層13は、通常、赤、緑、青の3色が順に配置されている。
【0030】
そしてPDPは、以上述べた前面基板1と背面基板2とを、表示電極6とアドレス電極10とが直交するように微小な放電空間を挟んで対向配置した状態で周囲を封着部材(図示せず)により封止した構成となっており、前記放電空間にはネオン及びキセノンなどを混合してなる放電ガスが封入されている。
【0031】
このPDPの放電空間は、隔壁12によって複数の区画に仕切られており、この隔壁12間に単位発光領域となる複数の放電セルが形成されるように表示電極6が設けられ、表示電極6とアドレス電極10とが直交して配置されている。そして、アドレス電極10および表示電極6に印加される周期的な電圧によって放電を発生させ、この放電による紫外線を蛍光体層13に照射して可視光に変換させることにより、画像表示が行われる。
【0032】
次に、上述した構成のPDPの製造方法について、図2を用いて説明する。図2は、本発明の実施の形態によるPDPの製造方法の工程を示す図である。
【0033】
まず、前面基板1を製造する前面基板工程について述べる。基板3を受入れる基板受入れ工程(S11)の後、基板3上に表示電極6を形成する表示電極形成工程(S12)を行う。これは、透明電極4aおよび5aを形成する透明電極形成工程(S12−1)と、その後に行われるバス電極4bおよび5bを形成するバス電極形成工程とを有し、バス電極形成工程(S12−2)は、例えばAgなどの導電性ペーストをスクリーン印刷などで塗布する導電性ペースト塗布工程(S12−2−1)と、その後、塗布した導電性ペーストを焼成する導電性ペースト焼成工程(S12−2−2)とを有する。次に、表示電極形成工程(S12)により形成された表示電極6上を覆うように誘電体層7を形成する誘電体層形成工程(S13)を行う。これは、鉛系のガラス材料(その組成は、例えば、酸化鉛[PbO]70重量%,酸化硼素[B2O3]15重量%,酸化硅素[SiO2]15重量%。)を含むペーストをスクリーン印刷法で塗布するガラスペースト塗布工程(S13−1)と、その後、塗布したガラス材料を焼成するガラスペースト焼成工程(S13−2)とを有するものである。その後、誘電体層7の表面に真空蒸着法などで酸化マグネシウム(MgO)などの保護膜8を形成する保護膜形成工程(S14)を行う。以上により前面基板1が製造される。
【0034】
次に、背面基板2を製造する背面基板工程について述べる。基板9を受入れる受入れ工程(S21)の後、基板9上にアドレス電極10を形成するアドレス電極形成工程(S22)を行う。これは、例えばAgなどの導電性ペーストをスクリーン印刷などで塗布する導電性ペースト塗布工程(S22−1)と、その後、塗布した導電性ペーストを焼成する導電性ペースト焼成工程(S22−2)とを有する。次に、アドレス電極10の上に誘電体層11を形成する誘電体層形成工程(S23)を行う。これは、TiO2粒子と誘電体ガラス粒子とを含む誘電体用ペーストをスクリーン印刷などで塗布する誘電体用ペースト塗布工程(S23−1)と、その後、塗布した誘電体用ペーストを焼成する誘電体用ペースト焼成工程(S23−2)とを有する。次に、誘電体層11上のアドレス電極10の間に隔壁12を形成する隔壁形成工程(S24)を行う。これは、ガラス粒子を含む隔壁用ペーストを印刷などで塗布する隔壁用ペースト塗布工程(S24−1)と、その後、塗布した隔壁用ペーストを焼成する隔壁用ペースト焼成工程(S24−2)とを有する。そしてその後、隔壁12間に蛍光体層13を形成する蛍光体層形成工程(S25)を行う。これは、赤色,緑色,青色の各色蛍光体ペーストを作製し、これを隔壁どうしの間隙に塗布する蛍光体ペースト塗布工程(S25−1)と、その後、塗布した蛍光体ペーストを焼成する蛍光体ペースト焼成工程(S25−2)とを有する。以上により背面基板2が製造される。
【0035】
次に、以上により製造された前面基板1と背面基板2との封着、そしてその後の真空排気、および放電ガス封入について述べる。まず、前面基板1及び背面基板2のどちらか一方または両方に封着用ガラスフリットからなる封着部材を形成する封着部材形成工程(S31)を行う。これは、封着用ガラスペーストを塗布する工程(S31−1)と、その後、塗布したガラスペースト内の樹脂成分等を除去するために仮焼するガラスペースト仮焼成する工程(S31−2)を有する。次に、前面基板1の表示電極6と背面基板2のアドレス電極10とが直交して対向するように重ね合わせるための重ね合わせ工程(S32)を行い、その後、重ね合わせた両基板を加熱して封着部材を軟化させることによって封着する封着工程(S33)を行う。次に、封着された両基板により形成された微小な放電空間を真空排気しながらパネルを焼成する排気・ベーキング工程(S34)を行い、その後、放電ガスを所定の圧力で封入する放電ガス封入工程(S35)を行うことによりPDPが完成する(S36)。
【0036】
ここで、以上の製造方法における、パネル構造物2であるバス電極4b、5b、誘電体層7、アドレス電極10、誘電体層11、隔壁12、蛍光体層13、および封着部材(図示せず)の形成工程である、焼成工程で用いられる焼成装置について説明する。
【0037】
図3は本実施の形態によるPDPの製造方法に用いられる焼成装置の概略構成の断面図である。焼成装置21は、複数のローラー22aを搬送方向に並べて構成した往路用搬送手段22と、複数のローラー23aを搬送方向に並べて構成した復路用搬送手段23と、複数のローラー24aを搬送方向に並べ、且つ、往路用搬送手段22と復路用搬送手段23との間を昇降可能に構成したリフター24とを備えたものである。
【0038】
被焼成物104の基板101はPDPの前面板基板1もしくは背面板基板2であり、同じくパネル構造物102はバス電極4b、5b、誘電体層7、アドレス電極10、誘電体層11、隔壁12、蛍光体層13、および封着部材(図示せず)等である。そして、基板101の焼成時には、基板101への傷の発生を防止する等の理由から、セッター103と称する補助基板に載せられた状態(セッター103に基板101が載せられた状態の構造物を、以後、被焼成物104と記す)で、往路用搬送手段22により搬送される。
【0039】
そして、本実施の形態の特徴的な点として、セッター103を洗浄するための洗浄手段105が設置されている。図3では、セッター103がローラー22a、23a、24aの回転によって搬送される際、摩擦により発生する磨耗粉が主に付着する、セッター103の、ローラー22a、23a、24aとの接触面側(以降、裏面側と記す)を洗浄するための洗浄手段105が、例えば、下段通路23c内に設置されている例を示す。
【0040】
洗浄手段105としては、例えば図4(a)に示すような乾式洗浄手段105aや、図4(b)に示す湿式洗浄手段105bが挙げられる。
【0041】
乾式洗浄手段105aは、セッター103と非接触な状態で、吸引によって発生する気流によりセッター103の裏面側に付着している異物等を吸引することで洗浄するというものである。気流を吹き付けて異物を吹き飛ばすのではなく、異物を吸引するという洗浄方法であることから、セッター103の裏面に付着している異物が、撒き散らされたり、宙に舞ったりすることがなく、周囲の雰囲気に悪影響を与えることなく効果的にセッター103の洗浄を行うことができる。
【0042】
ここで、さらに効果的にセッター103の裏面の異物を除去するためには、セッター103の裏面の気流が、セッター103の裏面の面方向に沿った流れ、例えば慣性気流(スワール流れ)となるように吸引することが好ましい。
【0043】
また、湿式洗浄手段105bは、有機または無機の溶剤を用いてセッター103の裏面側を洗浄するものである。この際、セッター103の温度T1(℃)が、溶剤の沸点T2(℃)より高い状態であると、溶剤が瞬時に蒸発してしまうため洗浄が十分に行われなくなり、逆に低すぎると、溶剤の乾燥が遅くなるため、湿気による悪影響が発生する場合がある。そこで、セッター103の温度T1(℃)と、溶剤の沸点T2(℃)との関係としては、溶剤が沸騰・蒸発せず、且つ乾燥・蒸発しやすい温度範囲、例えば、洗浄後、5分程度で乾燥するような温度関係が良い。このような温度関係は、具体的には、セッター103の温度T1(℃)が、溶剤の沸点T2(℃)に対して、0.9×T2≦T1<T2の条件を満たす場合に得られることを実験的に確認している。上述のような温度条件で洗浄することにより、洗浄後、溶剤は自然に蒸発することとなり、セッター103の乾燥処理のための工程および装置が不要になる。また、上述のような温度条件を満たすためには、そのようなセッター103の温度となる場所を選んで湿式洗浄手段105bを設置すればよい。
【0044】
また、上述したような洗浄手段105を、復路ステップが行われる下段通路23c内に設置することで、洗浄ステップが閉空間である下段通路23c内で行われることとなるため、セッター103の裏面に付着している異物が、撒き散らされたりすることがなく、周囲の雰囲気に悪影響を与えることなく効果的にセッター103の洗浄を行うことができる。
【0045】
次に、上述したような焼成装置21を用いた焼成工程について説明する。まず、往路用搬送手段22の始端部22bに、被焼成物104を載せる。そして、被焼成物104は往路用搬送手段22によって焼成装置21の上段通路22cへ導入され、そのまま往路搬送手段22で搬送されながら、まず加熱部において、上段通路22c内部に設けられたヒーター(図示せず)等の加熱手段からの加熱により、所定の焼成温度にまで加熱され焼成される。その後、徐冷部において、被焼成物104は、往路用搬送手段22の終端部22dに向かって冷却されながら搬送される。次に、被焼成物104は、往路用搬送手段22の搬送終端部22dに搬送された後も、そのまま搬送が行われ、リフター24に到達する。そして、リフター24に到達した被焼成物104は、リフター24により復路用搬送手段23と接続する高さにまで降下された後、往路用搬送手段22での搬送方向とは逆の方向に搬送されることで、復路用搬送手段23の搬送始端部23bへ移送される。その後、被焼成物104は復路用搬送手段23によって、冷却部である下段通路23c内を搬送されながら常温にまで冷却される。そしてこの間に、洗浄手段105により、セッター103のローラー22a、23a、24aとの接触面が洗浄されるため、搬送中にセッター103とローラー22a、23a、24aとの接触により発生しセッター103の裏面に付着した磨耗粉などの異物が除去されることになる。そして、被焼成物104が復路用搬送手段23の搬送終端部23dに到達すると、焼成を終えた基板101はセッター103から取り出される。そして、空のセッター103は、再び、上段位置の往路搬送手段22の搬送始端部22bに移動し、ここで次の基板101が載置されて、再度、焼成のために、上段通路22c内に導入される。
【0046】
ここで、上述のような本実施の形態によるPDPの製造方法で用いる焼成装置21においては、搬送時、ローラー22a、23a、24aとセッター103との接触により発生し、セッター103の裏面に付着した磨耗粉などの異物が除去された状態で、次の焼成工程を開始することができることとなるため、セッター103に付着した異物が搬送により焼成装置21内に撒き散らされるということがなくなり、パネル構造物102の焼成を良好に行うことが可能となる。
【0047】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ローラーとセッターとの摩擦により発生する磨耗粉の、パネル構造物への付着や混入を低減し、良好な焼成が可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法および焼成装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】プラズマディスプレイパネルの構成を示す断面斜視図
【図2】本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの製造方法の工程を示す工程流れ図
【図3】本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの焼成装置の構成を示す断面図
【図4】本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネルの焼成装置における洗浄手段の一例を示す断面図
【符号の説明】
22 往路用搬送手段
22a ローラー
23 復路用搬送手段
23a ローラー
24 昇降手段
24a ローラー
101 基板
102 パネル構造物
103 セッター
105 洗浄手段
Claims (14)
- 複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、セッターを洗浄する洗浄ステップを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した往路用搬送手段と、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した復路用搬送手段とを有し、往路用搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成する往路ステップと、復路用搬送手段によって、焼成後の基板をセッターに載せた状態のまま搬送する復路ステップとを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、復路ステップが、セッターを洗浄する洗浄ステップを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 洗浄ステップが、異物を溶剤により除去する湿式洗浄手段によって行われる請求項1または2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 洗浄ステップでのセッターの温度T1(℃)が、溶剤の沸点T2(℃)に対して、
0.9×T2≦T1<T2
の関係を有する請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 洗浄ステップが、異物を吸引により除去する乾式洗浄手段によって行われる請求項1または2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 乾式洗浄手段は、吸引により、セッターの面方向に沿った気流が発生するように構成されている請求項5に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 洗浄ステップが、セッターのローラーとの接触面側に対して洗浄を行うものである請求項1から6のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した搬送手段を有し、その搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成するように構成したプラズマディスプレイパネルの焼成装置であって、セッターを洗浄する洗浄手段を有するプラズマディスプレイパネルの焼成装置。
- 複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した往路用搬送手段と、複数本のローラーを基板の搬送方向に並べて配置することにより構成した復路用搬送手段とを有し、往路用搬送手段によって、セッター上に載せた基板を搬送するとともに、基板に形成したパネル構造物を焼成し、復路用搬送手段によって、焼成後の基板をセッターに載せた状態のまま搬送するように構成したプラズマディスプレイパネルの焼成装置であって、復路ステップにおいて、セッターを洗浄するように構成された洗浄手段を有するプラズマディスプレイパネルの焼成装置。
- 洗浄手段が、異物を溶剤により除去する湿式洗浄手段である請求項8または9に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成装置。
- 湿式洗浄手段は、セッターの温度T1(℃)が、溶剤の沸点T2(℃)に対して、
0.9×T2≦T1<T2
の関係を有する箇所に設けられている請求項10に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成装置。 - 洗浄手段が、異物を吸引により除去する乾式洗浄手段である請求項8または9に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 乾式洗浄手段は、吸引により、セッターの面方向に沿った気流が発生するように構成されている請求項12に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 洗浄ステップが、セッターのローラーとの接触面側に対して洗浄を行うように構成されている請求項7から12のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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