JP2003524544A - 一体形のローラ搬送ポッド及び非同期型コンベヤ - Google Patents

一体形のローラ搬送ポッド及び非同期型コンベヤ

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Abstract

(57)【要約】 物品の搬送システム。搬送システムは、物品をワークステーション相互間で搬送する搬送装置と、搬送装置を支持する駆動レール及び支持レールとから成るコンベヤシステムを有する。駆動レールは、搬送装置をワークステーション相互間で推進させる駆動システムを有している。搬送装置で支持された少なくとも１つのシューが、搬送装置を支持レール上に可動的に支持するために支持レール上に載っている。搬送システムは、複数の物品を支持する内部コンパートメントを備えたハウジングから成る保護容器を更に有している。ハウジングの底面は、駆動システムに係合して駆動システムの作動によりハウジングを駆動レール及び支持レールに沿って推進させるよう形作られている。ハウジングにより支持された少なくとも１つのシューが、コンベヤシステムの支持レール上に載ってハウジングを支持レール上に可動的に支持するよう形作られている。搬送システムは、物品の搬送方法を実施に用いられ、搬送方法は、少なくとも１つのシューを備えていて、少なくとも１つの物品を保持する搬送装置を準備する工程と、搬送装置を搬送装置のベースが駆動レールで支持されると共にシューが支持レールで支持された状態に位置決めする工程と、駆動レールで支持された駆動システムを作動させて搬送装置を駆動レール及び支持レールに沿って推進させる工程とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 〔発明の分野〕 本発明は一般に、物品をステーション相互間で搬送するシステムに関し、特に
、壊れやすい又は貴重な物品をワークステーション相互間で安全に移送する搬送
システムに関する。
【０００２】 〔発明の背景〕 種々の分野では、壊れやすい又は貴重な物品を、これらを損傷したり壊さない
でワークステーション等相互間で安全に搬送しなければならない。注意深い取り
扱いを必要とする物品としては、薬剤、医用装置、フラットパネルディスプレイ
、コンピュータハードウエア、例えばディスクドライブ装置、モデム等、さらに
半導体ウェーハが挙げられるが、これらには限定されない。
【０００３】 一般に、集積回路は、複数の層を基板、例えば半導体ウェーハ上に形成するこ
とによって製造される。個々の層を形成するために種々の処理装置が用いられ、
ウェーハは代表的には、いくつかの互いに異なる装置に送られ、その後に集積回
路が完成される。膜をウェーハ上に被着させる装置に加えて、半導体ウェーハは
又、適当な装置によって種々の段階で洗浄され又は状態調節される場合がある。
技術進歩により、集積回路が、ますます複雑になり、一般に手の込んだ配線から
成る多数の層を有している。集積回路のサイズは小さくなったが、単一のウェー
ハ上に設けられるかかる素子の数は格段に多くなっている。集積回路の複雑さの
増大及びサイズの減少の結果として、半導体ウェーハの値打ちは、半導体が種々
の処理段階を通って進むにつれ実質的に高まる。半導体ウェーハの標準サイズは
、今後数年で２００mmから３００mmに大きくなり、さらに、単一のウェーハ上に
形成される集積回路の数がますます増加するので各ウェーハの値打ちがますます
増大することになる。半導体ウェーハを取り扱う際に相当な注意を払う必要があ
る。というのは、ウェーハに傷がつくと、その結果として、金銭上の損失が相当
な額になる場合があるからである。半導体ウェーハは、ウェーハ上に被着されて
いる層の純度を保つために、実質的に粒状汚染要因物のないクリーンルーム環境
内で保持されなければならない。クリーンルーム環境を用いなければならないこ
とにより、半導体のウェーハの取り扱いに制約が更に課される。
【０００４】 半導体ウェーハを汚染に対して別途保護するために、半導体ウェーハは代表的
には、これらが製造施設中を搬送されるときに密閉された搬送ポッド内に保持さ
れ、それにより、処理装置の外部の環境への暴露を最小限に抑えている。製造施
設は通常、各々がいくつかの処理装置を備えた複数のベイの状態に組織化されて
いる。ポッドに入れたウェーハを１又は２以上の装置で処理した後、ポッドはベ
イを出て、次の処理ベイに搬送される。かくして、製造施設内には、本質的に２
種類の搬送ループ、即ち、ポッドがベイ相互間で移送される工程間ループと、ポ
ッドが単一ベイの処理装置相互間で移送される工程内ループがある。ポッドを楽
に、安全且つ効率的に取り扱って搬送するのに用いることができるシステムが望
ましい。処理ベイ内における装置の利用を最大限に高めるポッド搬送システムも
また望ましい。
【０００５】 ポッドを製造施設の工程間ループに沿ってベイ相互間で搬送するのに種々の搬
送システムが用いられている。製造施設の工程間ループ中の往来量に鑑みて、工
程間搬送は代表的には、天井コンベヤシステムによって行われる。ポッドは、ロ
ボット式貯蔵手段（これは「ストッカ」と呼ばれることが多い）に渡され、この
ストッカは、ポッドを受け取って自動的にこれらを工程内ループに送る。システ
ムの中には、工程間コンベヤシステムが、システム相互間の直接的な受け渡しを
行うために工程内コンベヤシステムに結合されているものがある。しかしながら
、直接的な受け渡しは、それと適合した天井コンベヤシステムが工程内ループ内
に用いられている場合にのみ可能になる。
【０００６】 ベイ内では、搬送ポッドは、装置から装置に搬送され、ウェーハが処理のため
に装置によってポッドから取り出される個所まで送られなければならない。装置
の入口は、ウェーハを保護環境内で搬送ポッドから自動的に取り出すことができ
るロードポートを備えている場合が多い。ポッドをロードポートに移送するため
には、ポッドを工程間コンベヤとベイとの間で移送する場合よりも、ポッドに対
して一層正確な制御が必要となる。搬送ポッドをベイ内の互いに異なる処理装置
間で移送するための種々の方法が用いられている。例えば、多くのシステムは、
二輪車で搬送ポッドをポートからポートへ移送するために作業者に頼っている。
作業者は手作業でポッドをポートまで持ち上げる場合がある。変形例として、作
業者が、手動ロボットリンク又は他の吊上げ装置を作動させてポッドをポートに
移送させる場合があり、処理が終わると、搬送ポッドを二輪車に戻す。この場合
、作業者は二輪車を次の処理装置のところまで運び、作業を繰り返す。ポッドを
装置から装置へ搬送する上で作業者に頼ることは、時間がかかり効率が悪い。作
業者は新しいウェーハのポッドをロードポート内に位置決めするのを自由に行え
るとは限らず、装置は待機モードのままになり、装置の稼働時間が短くなって処
理設備の全体的効率が低下する。さらに、吊上げ装置がロードポートと正しく整
列するようにするために注意を払う必要がある。というのは、ポッドを落とし、
或いはポッドに激しい揺れを与えると、ウェーハが損傷して数百万ドルにも上る
損害が生じる場合があるからである。搬送ポッドを装置相互間で自動的に移送す
る手段が望ましい。
【０００７】 別の工程内搬送システムは、ポッドを装置相互間で搬送し、ポッドをロードポ
ートに運び込む自走型搬送車（ＡＧＶ）を利用している。ＡＧＶを用いると、ベ
イ内における作業者の必要性が軽減され、ベイ内におけるポッドの移送速度が増
大させることができる。しかしながら、ベイのサイズにより、単一ベイ内でのＡ
ＧＶの利用台数が制限され、装置はＡＧＶが処理済みのウェーハのポッドを取り
出して新しいウェーハのポットを移送ベイ内に置くのを待つ待機モードのままに
なる。装置を待機モードに放置しないで、ポッドを迅速に処理装置に受け渡しす
るのに使用できる自動化システムが望ましい。
【０００８】 天井モノレールシステムは、ポッドを工程内ループに沿って搬送するのにも用
いられる。ポッドを処理装置のロードポート上に降ろすためにホイスト又はこれ
と類似した装置が用いられている。ポッドをモノレールから処理装置に首尾良く
移送するために、ポッドは、ロードポートと正確に整列して、ポッドの揺れが最
小限に抑えられてような制御されたやり方でポート上に降されなければならない
。処理後、ポッドは持ち上げられて次の装置に搬送される。ポッドの昇降の繰り
返しは問題となる。ポッドをロードポートに直接、効率的に移送するようポッド
を位置決めする自動化コンベヤシステムが望ましい。
【０００９】 物品を搬送するためのコンベヤシステムが周知である。標準型コンベヤの例と
しては、コンベヤベルトシステム及び物品を複数の回転ローラを横切って搬送す
るローラシステムが挙げられる。これらシステムは、大抵の環境では有用な搬送
手段となるが、これらは、ポッドをクリーンルーム環境中で搬送するのには適し
ていない。さらに、これらシステムでは、ポッド内におけるウェーハのずれを防
止するのに必要なポッドの加速及び減速に対する正確な制御は得られない。
【００１０】 クリーンルーム用途に使える別形式のコンベヤシステムが、１対の互いに間隔
を置いたレール又は軌道を有しており、各レールは、物品を支持し、物品をレー
ルに沿って推進するための駆動システムを備えている。２つの駆動システム相互
のかち合いにより、物品は、レールに沿って動いているときに異常横揺れ振動を
生じる場合がある。このコンベヤシステムの改造例は、物品をレールに沿って自
由に移動させることができるように一方のレールに設けられた駆動システムと他
方のレールに設けられた案内ホイールとを有している。駆動システム、案内ホイ
ール及び搬送ポッドの構造的特徴部分が互いに正確に水平方向に整列しなければ
、案内ホイールは、物品を僅かに傾けて各案内ホイールにより僅かではあるが衝
撃が物品に及ぼされるようになる場合がある。これら欠点は、大抵の物品にとっ
ては軽微ではあるが、振動は、搬送ポッドで支持される壊れやすく高価な半導体
のウェーハには悪影響を及ぼす場合がある。半導体ウェーハを安全且つ保護され
た状態で搬送するコンベヤシステムが望ましい。 〔発明の目的及び概要〕 本発明の主目的は、物品、例えば半導体ウェーハを搬送するシステムを提供す
ることにある。
【００１１】 本発明の別の目的は、物品をクリーンルーム環境内で搬送するためのシステム
を提供することにある。
【００１２】 本発明の別の目的は、複数の物品を多数の処理装置相互間で自動的に移送する
のに用いることができるコンベヤシステムを提供することにある。
【００１３】 本発明のさらに別の目的は、複数の物品を多数の処理ベイ相互間で自動的に移
送するのに用いることができるコンベヤシステムを提供することにある。
【００１４】 本発明のさらに別の目的は、コンベヤシステムに沿う物品の運動状態の正確な
制御を可能にするコンベヤシステムを提供することにある。
【００１５】 本発明のより一般的な目的は、効率的な製作、作動及び維持が可能なコンベヤ
システムを提供することにある。
【００１６】 概要を述べると、本発明は、コンベヤシステム及び搬送装置を含む物品の搬送
装置並びに物品を搬送する方法を提供する。コンベヤシステムは、物品をワーク
ステーション相互間で搬送する搬送装置を有している。搬送装置は、物品を収容
した容器、例えば搬送ポッドを支持することができ、或いは搬送装置は、容器の
一部をなしていてもよい。コンベヤシステムは、搬送装置を支持するための駆動
レール及び支持レールを更に有している。駆動レールは、搬送ポッドをワークス
テーション相互間で推進させる駆動システムを有している。少なくとも１つのシ
ュー、例えばホイールが搬送装置によって支持されている。シューは、搬送装置
を支持レール上に可動的に支持するために支持レール上に載って動くよう形作ら
れている。
【００１７】 搬送システムは、複数の物品をコンベヤシステムに沿って搬送するための保護
容器を更に有している。この容器は、内部コンパートメント及びコンベヤシステ
ムの駆動レール及び支持レール上に位置決めできる底面を備えたハウジングを有
している。ハウジングの底面は、駆動システムに係合して駆動システムの作動に
よりハウジングを駆動レール及び支持レールに沿って推進させるよう形作られて
いる。内部コンパートメントは、複数の物品、例えば半導体ウェーハを保持する
よう形作られている。少なくとも１つのシューが、ハウジングによって支持され
ている。シューは、コンベヤシステムの支持レール上に載ってハウジングを支持
レール上に可動的に支持するよう構成されている。
【００１８】 本発明の方法は、ベース及び少なくとも１つのシューを備えていて、少なくと
も１つの物品を保持する搬送装置を準備する工程と、搬送装置を搬送装置のベー
スが駆動レール上で支持されると共にシューが支持レール上で支持された状態に
位置決めする工程とを有する。本発明は、駆動レールで支持された駆動システム
を作動させて搬送装置を駆動レール及び支持レールに沿って推進させる工程を更
に有する。
【００１９】 本発明のさらに別の目的及び特徴は、添付の図面を参照して以下の詳細な説明
及び特許請求の範囲を読むと明らかになろう。 〔好ましい実施形態の詳細な説明〕 次に、添付の図面に示された本発明の好ましい実施形態を詳細に参照する。今
図面を参照し（図中、同一の部分は同一の参照符号で示されている）、特に図１
及び図２を参照する。
【００２０】 図１は、本発明に従って構成されたコンベヤシステム１０の断面を示し、図２
は、コンベヤシステム１０の考えられるレイアウトの一例を示している。コンベ
ヤシステム１０は、物品を搬送し、或いは１又は２以上の物品を収容した保護容
器又は搬送ポッドを搬送する安全かつ効率的な搬送機構を構成する。図示の実施
形態では、いくつかの半導体ウェーハＷ（図３）が、搬送のための搬送ポッド８
の保護環境内に保持されている。ただし、他形式の容器を用いてもよい。「搬送
ポッド」という用語は明細書全体にわたり当該技術分野において普通に用いられ
ている用語として用いられている。ただし、この用語は、ウェーハのためのホル
ダに限定されず、任意形式の物品を収容する任意形式の容器を含むものである。
ウェーハの搬送の代わりに、本発明のシステムは、他形式の物品、特に、物品の
取り扱いにあたり相当な注意を払う必要がある壊れやすい物品、例えば薬剤、医
用装置、フラットパネルディスプレイ、ハードディスクドライブ及び他形式のコ
ンピュータ機器を搬送するのに用いることができることは理解されるべきである
。コンベヤシステム１０は、クリーンルーム環境内での使用上の厳格な要件を満
たすよう設計されている。しかしながら、このシステムは、粒子による汚染をな
くし又は極力抑えることが問題とならないような他の環境にも使用することがで
きる。
【００２１】 図１に示すように、コンベヤシステム１０は主要構成要素として、搬送ポッド
８をコンベヤ経路に沿って移動させているときに搬送ポッド８を支持する一対の
レール１２，１４を有している。レール１２は、搬送ポッド８をレール１２，１
４に沿って推進させると共に案内する駆動レールとしての役目を果たす。ポッド
８を移動させる全ての動力は、駆動レール１２を介して供給される。レール１４
は、搬送ポッド８をコンベヤ経路に沿って移動させているときに搬送ポッド８を
水平で一定のバランスを取った向きに保持するよう搬送ポッド８を支持する機能
だけを備えたアイドラー又は支持レールである。コンベヤシステム１０は、ウェ
ーハ又は他の物品を移送する搬送装置を更に有している。以下に詳細に説明する
ように、本実施形態では、搬送装置は、駆動レール１２と協働して搬送装置の運
動を垂直方向と横方向の両方向に拘束し、アイドラーレール１４は、搬送装置と
協働して搬送装置の垂直方向の運動だけを拘束する。この実施形態では、図１及
び図３に示すように、搬送装置は、搬送ポッド８の一部である。本発明の他の実
施形態では、例えば図８に示すように、コンベヤシステム１０は、搬送ポッド、
容器又は１又は２以上の他の物品をコンベヤ経路に沿って搬送するのに用いるこ
とができる搬送装置８０を有している。この実施形態では、搬送ポッド８の前部
は、駆動レール１２上に載り、搬送ポッドの後部は、アイドラーレール１４によ
って支持される。しかしながら、この構成を逆にして、アイドラーレールを搬送
ポッド８の前部に向かって位置決めし、駆動レール１２が搬送ポッドの後部を支
持するようにしてもよい。
【００２２】 図２に示すように、そして以下に詳細に説明するように、コンベヤシステム１
０は、複数の搬送ポッド８又は他の搬送装置を同時に搬送するのに特に適してい
る。例示目的で、４つのポッド８が図２に示されている。しかしながら、コンベ
ヤシステム１０によって支持される搬送ポッド８の数を相当増大させてもよい。
図２の図示の例では、駆動レール１２及びアイドラーレール１４は、工程内ルー
プ１８内に配置され、この工程内ループは、１又は２以上の横方向部分２０を有
し、これら横方向部分は、搬送ポッドがループ全体を通ることを必要としないで
、搬送ポッド８をループ１８の一部分から別の部分に搬送するのに用いることが
でき、搬送ポッド８の動きの融通性を高めている。この構成は、製造施設が両面
処理装置を有している場合に有用である。しかしながら、各ポッドを各処理装置
に続けて渡さなければならないようなベイに関し、単一の連続ループが好ましい
。その理由は、これが点検整備及び保守のための往来のない工程内ループ１８の
中間部から出るからである。
【００２３】 ポッド８は、ストッカ１６によって工程内ループ１８に渡され、このストッカ
は、ポッドを工程間搬送システムから受け取る。工程間搬送システムは好ましく
は、作業者、保守点検整備機器等の動作を可能にするための工程間エリア内のス
ペースを最大にするために持ち上げられる。本発明のコンベヤシステム１０は、
好ましくは、コンベヤシステム１０を天井フレームから吊り下げ、コンベヤが搬
送ポッドをストッカ１６に渡すようにすると、工程間エリア内で使用できる。本
発明のコンベヤシステム１０を用いる代わりに、他形式のシステムを工程間搬送
装置として用いてもよい。
【００２４】 工程内ループ１８は、ベイ内に配置された半導体処理装置２２相互間でポッド
８を搬送する。例示の目的で、４つの処理装置２２がベイ内に示されており、各
ベイ内に配置される処理装置の実際の数は、特定の製造プロセスによって課され
る制約条件や処理装置及び製造施設の物理的サイズで決まる。処理装置２２は、
半導体ウェーハを処理するのに用いられる種々のタイプの装置のうち任意のもの
であるのがよく、かかる処理装置としては、蒸着装置及び処理中、種々の段階で
半導体ウェーハを洗浄し又は状態調節する装置が挙げられるが、これらには限定
されない。
【００２５】 搬送ポッド８は、交差部２６を介して工程内ループ１８の主区間（「メインレ
ッグ」と呼ばれることがある）と横方向部分２０との間で移送される。交差部２
６は、ポッド８を駆動レール１２及びアイドラーレール１４に沿って移動させて
いるときにポッド８の向きを変える手段となる。例えば、搬送ポッド８の向きを
変えるには、ポッド８をレール１２，１４の上方に持ち上げ、ポッドを９０°回
転させて搬送ポッド８の同じ側が常時駆動レール１２と整列するようにし、そし
てポッドを新しい経路の駆動レール１２の一部の上に下降させるのがよい。他の
レイアウト設計では、搬送ポッド８を上記とは別の量回転させ又は旋回させる必
要がある。ポッドの向きを変えなくてもよい場合、ポッド８が、その向きを変え
ないで交差部２６を横切るようにする。
【００２６】 図２に示すレイアウトの場合、工程内ループ１８は、工程内ループ１８の主経
路の内向きの区間と外向きの空間を結合する１対の交差部２８を更に有している
。交差部２８が交差部２６と異なる点は、交差部２８が、コンベヤの２つの互い
に異なる部分相互間で搬送ポッド８の向きを変えるのではなく、コンベヤ１０の
部分の向きを変えるのに用いられることである。交差部２８は、駆動レール１２
の向きを変えるために駆動レール１２の一部を回転させ又は旋回させるよう使用
でき、この場合、駆動レール１２は、ポッド８を交差部２８上に推進させたり又
はこれから推進させる。変形例として、交差部２８は、コーナの周りにポッドを
進めて移動方向を変えるための湾曲した駆動レールを有していてもよい。また、
交差部２８は、所望ならば交差部２６と同一であってもよい。
【００２７】 図２に示すコンベヤシステム１０のレイアウトは、搬送ポッド８を工程内ルー
プ１８と処理装置２２のロードポート２４との間で自動的に受け渡しする移送組
立体３０を更に有している。図示の実施形態では、駆動レール１２及びアイドラ
ーレール１４は全体として、ロードポート２４の高さ位置に配置されている。移
送組立体３０は、搬送ポッド８を駆動レール１２及びアイドラーレール１４の上
方に持ち上げ、それによりポッドをレールから分離する吊上げ機構を有している
。移送組立体３０は、ポッドがロードポート２４の上方に正しく位置決めされる
までポッドを前方に推進する駆動システムを更に有し、この正しい位置は、ロー
ドポートの設定いかんで決められる。他形式の移送組立体は、搬送ポッド８をコ
ンベヤからロードポート２４に移送するのにも用いることができる。ポッドをロ
ードポートを２４上に載せないで、移送組立体を、搬送ポッド又は他の物品を装
置２２又は他のワークステーションのところに支持するよう設計してもよいこと
は理解されるべきである。
【００２８】 本発明のコンベヤシステム１０を用いると、搬送ポッド８を、各ベイ内の処理
装置相互間で効率的且つ都合よく搬送することができる。搬送ポッド８は、ウェ
ーハの取出し及び処理のために各装置２２のロードポート２４に自動的に結合さ
れる。ポッド８が処理済みのウェーハで自動的に満たされた後、ポッド８はレー
ル１２，１４に自動的に戻されて、工程内ループに沿って移送される。ポッド８
は、ベイ内で取り扱われながらコンベヤシステム１０、交差部２６，２８及び移
送組立体３０によって安全且つ確実に支持され、それにより、壊れやすく高価な
ウェーハが、取り扱い中、損傷したり壊れたりすることがないよう保護される。
さらに、搬送ポッド８は、加速されたり減速され、搬送ポッド８の動作によって
ウェーハに加わる応力を最小限に抑える穏やかで制御された仕方で移送される。
【００２９】 図１及び図３〜図１０を参照して本発明のコンベヤシステム１０につき詳細に
説明する。特に図３に示すように、搬送ポッド８は、駆動レール１２及びアイド
ラーレール１４によって支持される。駆動レール１２は、図４では全体が符号を
３８で示されていて、搬送ポッド８をレール１２，１４に沿って推進させる駆動
システムを有している。本発明の図示の実施形態では、駆動システム３８は、複
数の互いに別個の駆動組立体４０を有している。１つの駆動組立体４０が図５に
示されている。この実施形態では、駆動組立体は、搬送ポッド８の下面に摩擦係
合して搬送ポッド８を駆動レール上に沿って推進させる複数の駆動ホイール４２
を有している。駆動組立体４０は、複数の互いに間隔を置いた駆動ホイール４２
を有している。図４に示すように、駆動組立体４０は、隣り合う駆動組立体４０
の最も外側に位置した駆動ホイール４２相互間の間隔が個々の駆動組立体４０の
駆動ホイール４２相互間の間隔に実質的に等しいようにレールに沿って配置され
ている。しかしながら、搬送ポッド８が駆動組立体４０相互間の隙間を跨いで各
組立体４０の少なくとも１つのホイール４２に依然として接触することができる
限り、駆動組立体相互間の間隔を増減してもよいことは理解されるべきである。
駆動ホイール４２は、搬送ポッド８を直接支持するのがレール１２の駆動ホイー
ル４２であるように駆動レールのハウジング５４から上方に突出している。駆動
ホイール４２は好ましくは、搬送ポッド８をレール１２，１４に沿って移送して
いるときの搬送ポッド８の傾き又は揺れを最小限に抑えるためにほぼ同一高さの
ところに取り付けられる。本実施形態では、駆動システム４０は、５つのホイー
ル４２を有している。しかしながら、本発明の他の設計変更例では、駆動組立体
４０は、これよりも多い数又は少ない数のホイールを有していてもよい。さらに
、ホイールのサイズを、大きくしてもよく、或いは小さくしてもよい。
【００３０】 ハブ４４が、特に図３に示すように駆動ホイール４２から外方に突出している
。特に図４及び図５に示す駆動ベルト４６が、駆動ホイールをモータ４８に結合
するよう駆動ホイール４２のハブ４４の周りに延びている。モータ４８は、時計
回り及び反時計回りの方向の回転が可能であり、それにより適当な信号を受け取
ると、搬送ポッド８をレール１２，１４に沿って前進又は後退させることができ
る。駆動システム４０は、一定のベルト張力を維持するための少なくとも１つの
テンショナプーリ５０及び少なくとも１つのアイドラープーリ５１を更に有して
いる。
【００３１】 駆動組立体４０は互いに独立して動作するので、搬送ポッド８の運動に対する
制御性が高くなる。本実施形態では、駆動システム３８は、複数の作動区域Ｚで
構成されており、各作動区域Ｚは、ひとつの駆動組立体４０を有している。しか
しながら、本発明の別の実施形態では、作動区域はそれぞれ、２以上の駆動組立
体４０を有していてもよい。各作動区域の駆動速度及び駆動方向（前方又は後方
）は独立して制御される。隣り合う作動区域の駆動システム３８を同一速度で加
速したり減速して移送時に、隣り合う駆動組立体４０によって搬送ポッド８に及
ぼされる速度が、作動区域相互間の移送時に同期されるようにする。ポッド８が
コンベヤに沿って推進されているとき、ポッド８の真下の作動区域及びポッド８
に隣接した１又は２以上の作動区域が、任意の時点で稼働中であり、即ち、これ
ら作動区域内の駆動組立体だけが作動中である。これにより、システムの動力消
費量が少なくなり、駆動組立体４０の動作寿命が伸びる。他のポッドの下であっ
てこれに隣接した駆動区域は、非動作モードに保たれるのがよく、それにより、
複数のポッドが、例えば処理装置２２のうちの１つの前でコンベヤの或る領域内
で堆積することができる。移動中のポッドは好ましくは、ポッドが収納されてい
ない少なくとも１つの空の作動区域によって分離され、それによりポッド８相互
間にバッファーが得られ、ポッドは不用意に互いにぶつからないよう保護される
。ポッドの速度の増大につれてポッド相互間の間隔を好ましくは大きくし、それ
により安全な停止距離が常時得られるようにする。ポッドが移動中でなければ、
ポッドは隣り合う駆動力を占有してもよい。
【００３２】 各区域は、その区域内の駆動組立体４０の動作を制御する１つのマイクロプロ
セッサ又は制御装置５２を有している。制御装置５２は、本発明の動作全体を制
御する制御システム（図示せず）に結合されている。制御システムの構成は、本
発明の構成では相当な振動を受ける。例えば、制御システムは、コンベヤ１０、
交差部２６，２８及び各ベイ内の輸送装置３０の動作を制御するコンピュータを
有するのがよく、このコンピュータは、駆動区域の各々の制御装置５２や交差部
２６，２８の制御装置及び移送装置３０に結合されている。コンピュータは、ロ
ードポート２４の状態をモニターでき、ポートが一杯になると、近づいてくる搬
送ポッド８を一杯になったロードポートから見て上流側の互いに間隔を置いた位
置に停止させ、ポッド同士の衝突を防止する。各ベイのコンピュータは、スタン
ドアロンシステムであってもよく、或いはコンピュータは、工程間コンベヤ、ス
トッカ及び製造設備の他の自動化構成要素の制御システムを有するネットワーク
の一部であってもよい。処理設備の中央制御装置は又、処理装置をモニターする
ことができる。
【００３３】 図６に示すように、各区域は、この区域内にポッド８があるかどうかを検出す
る少なくとも１つのセンサ５３を有している。本発明では、各区域内に１対のセ
ンサ５３が設けられている。センサ５３は、区域の入口及び出口の近くに配置さ
れていて、ポッドかいつこの区域に入りいつこの区域から出たかを検出する。ポ
ッド８の位置に関するこのデータは、センサから見て下流側の駆動区域を動作状
態にするのに用いられ、ホイール４２は、ポッドが先の区域に達した時に、この
先の区域内のホイール４２と同一の速度で動作するようになっている。このデー
タはまた、ポッド８が作動区域を出た後に駆動組立体を非動作状態にするのに用
いられる。ポッドがセンサ相互間を移動するのに必要な時間を用いると、ポッド
がこの区域を横切って移動する際のポッドの実際の速度をモニターすることがで
きる。センサは、搬送ポッド８の各々の位置をモニターし、個々の搬送ポッド８
の速度をそれに応じて増減するのに用いられる。
【００３４】 図示の実施形態の駆動システム３８は、ポッド８を駆動レールを１２に沿って
正確に制御されたやり方で移送するためのクリーンで効率的な駆動機構となる。
しかしながら、本発明の他の実施形態において、他形式の駆動システムを用いて
もよいことは理解されるべきである。例えば、駆動システムを線型誘導モータに
よって構成してもよく、移送装置は、線型誘導モータに応答してポッドを駆動す
る磁石又は適当な金属片を有する。他の駆動システムを用いてもよい。本発明の
独立駆動組立体４０を用いると、いくつかのポッドの動作を独立して制御するこ
とができる。かくして、ループに沿う搬送ポッド８の同期又はコンベヤシステム
１０に沿うポッド８相互間の間隔の正確な制御は不要である。共通の一駆動シス
テムを用いても、駆動速度を正確に制御することはできないであろう。
【００３５】 図３に示すように、駆動ホイール４２は、この実施形態では搬送ポッド８の一
部である移送装置と協働してポッド８を経路に沿って推進すると共に案内する。
駆動ホイール４２は、ポッド８の下面に設けられた溝５６に係合する。特に図７
に示すように、本実施形態では、溝５６の側部レールは外方にテーパしていて、
溝の壁と駆動ホイール４２の接触を最小限に抑え、それによりホイール４２と溝
５６の摩擦を最小限に抑え、ホイールの摩耗及び切れを減少させる。これは、コ
ンベヤ１０が粒状汚染要因物の源を最小限に抑えることが重要であるクリーンル
ーム環境内で用いられる場合に特に有利である。しかしながら、非クリーンルー
ム用途では、溝の壁とホイールが互いに幾分接触する溝形態を用いてもよい。こ
の実施形態の溝５６の深さは約５mmであり、テーパした側壁の高さは、約３．５
mmである。溝の底部の幅は約８．５mmであり、側壁は３０°の角度で差し向けら
れている。
【００３６】 溝５６は、ポッドが駆動ホイール４２上に載る水平面を定める。駆動ホイール
４２と溝５６の係合により、ポッド８の横方向又は側から側への運動が制御され
ると共にポッドの垂直方向の運動が制御される。溝５６と駆動ホイール４２の組
合せが好ましいが、もし移送装置、駆動レール１２又はアイドラーレール１４が
、ポットがレール１２，１４に沿って移動してるときにポッド８を案内する案内
装置を有していれば、溝５６を全て省いてもよいことは理解されるべきである。
【００３７】 上述のように、搬送ポッド８をコンベヤに沿って推進させるための手段は全て
、駆動レール１２によって支持されている。アイドラーレール１４は、この実施
形態では搬送ポッド８の一部である移送装置と協働して搬送ポッド８の一方の側
を支持する。上述のように、駆動レール１２は、ポッドが駆動レール１２上に載
る際のポッドの平面を制御すると共にポッドの横方向位置を制御する。本発明に
よれば、搬送ポッド８は、レールに沿うポッドの推進時のポッド８の衝突、ガタ
ツキ又は異常横揺れ振動を最小限に抑えるような態様でアイドラーレール１４上
に支持される。かくして、レール１２，１４に沿う搬送ポッド８の滑らかで制御
された運動に対するアイドラーレール１４の影響はもしあったとしても僅かであ
る。特に図１及び図３に示すように、アイドラーレール１４は、駆動レール１２
に平行であって且つこれから間隔を置いて位置している。レール相互間の所定の
間隔を維持してコンベヤの据付けを容易にするために、１又は２以上のコネクタ
６０が駆動レール１２及びアイドラーレール１４に取り付けられている。コネク
タ６０は、レール１２，１４の長さ全体にわたって延びるのがよく、或いはコネ
クタ６０をレール１２，１４に沿って所々に配置された複数の連結部材によって
構成してもよい。駆動レール１２及びコネクタ６０を適当な取り付けフレーム（
図示せず）に取り付けるのがよい。変形例として、駆動レール１２及びアイドラ
ーレール１４を、天井フレーム（図示せず）によって天井から吊り下げてもよい
。コンベヤシステムの構成要素は、当該技術分野で公知の適当な手段を用いて支
持構造体に取り付けられる。例えば、図示の実施形態のコンベヤ１０は、コンベ
ヤを床支持フレームに取り付けるのに用いることができる第１の対をなす取り付
けチャネル６２及びコンベヤを天井支持フレームに取り付けるのに用いることが
できる第２の対をなすチャネル６４を備えている。
【００３８】 ポッド８は、以下に詳細に説明するようにアイドラーレール１４の上面に沿っ
て走行する。図示の実施形態では、ポッドの走行を滑らかにするために、パッド
又はクッション部材６７がレール１４の上面に沿って設けられている。パッド６
７は、コンベヤが長期間にわたる使用後であっても、粒子を容易には生じさせな
い弾性材料、例えばウレタンで作られている。パッド６７を用いないで、ポッド
８がレール１４の上面の上を直接走行するようにしてもよい。パッド６７又はパ
ッドが用いられれていなければレール１４の上面は好ましくは、実質的に水平の
向きを有する平らな表面である。しかしながら、この表面はまた、それとは異な
る地形学的特徴を有していてもよい。例えば、アイドラーレール１４は、Ｖ字形
のレールの形態をしていてもよい。非クリーンルーム用途では、上面は、搬送ポ
ッド８がレール１２，１４から外れ始めないようにするために長手方向に延びる
溝（図示せず）を備えるのがよい。この設計は、レール１４の溝が、汚れ及び他
の粒状汚染要因物のトラップとなるのでクリーンルーム用途では実現不可能であ
る。ポッド８を案内するのに用いることができるアイドラーレール１４の構成に
関し、溝５６に代えて又はもしポッドを案内する際にかち合わなければ溝５６に
加えて、その改造を行ってもよい。
【００３９】 特に、図３、図８及び図９に示すように、搬送ポッド８は、アイドラーレール
１４の上面に載ってこれに沿って動くシュー６８を有している。本発明の好まし
い形態では、シュー６８は、ホイール７０によって構成される。しかしながら、
シュー６８は、他の形態をしてもよいことは理解されるべきである。かかる形態
としては、減摩性プラスチック表面、空気軸受及び磁気浮上軸受を備えた固定支
持体が挙げられるが、これには限定されない。ホイール７０は、シャフト７２に
よって搬送ポッド８に回転自在に取り付けられている。シャフト７２は、搬送ポ
ッド８によって支持されたシール軸受（図示せず）で支持されるのがよい。ただ
し、シャフトを搬送ポッド８に取り付けるために他の手段を用いてもよい。ホイ
ール７０は好ましくは、一体形シール玉軸受を備えたプラスチック又はクリーン
ルーム環境で使用するのに適した別の材料で作られる。アイドラーレール１４が
パッド６７を有している図示の実施形態では、ホイール７０の厚さは好ましくは
、パッド６７の幅よりも大きい。これよりも幅の狭いホイールは、時間の経過に
つれてパッド６７の表面に溝を生じさせる場合があり、それにより、ホイールの
側部がパートを擦った場合に摩擦源を生じさせると共に汚れ及び他の粒状汚染要
因物のトラップとなる。しかしながら、パッド６７の幅に等しく又はこれよりも
狭い幅を持つホイールを非クリーンルーム環境で用いてもよいことは言うまでも
ない。本発明の別の設計変更例では、ホイール７５は、レール１４の上面を受け
入れるのに十分な幅の環状溝を備えていてもよい。溝の互いに向かい合った側部
のホイールの隆起縁部は、レールの上面の下に延び、それにより、搬送ポッド８
がコンベヤに沿って推進されているときにホイール７０がレール１４の上面上に
きちんと載ったままであるようにする。好ましくは、ホイールの溝の側壁は、こ
れら側壁とアイドラーレール１４の側部との接触を最小限に抑えるよう外方にテ
ーパしている。
【００４０】 特に図８に示すように、図示の実施形態では、ホイール７０は、ポッド８の底
部に取り付けられている。ホイール７０は、溝７４内に配置され、この溝７４は
、アイドラーレール１４の上面の幅よりも幅が広く、好ましくは、溝７４の壁が
アイドラーレール１４に接触しないほど十分に幅が広い。この実施形態では、ホ
イール７０は、搬送ポッド８の表面から約１mm突出している。しかしながら、本
発明の他の設計変更例では、ホイールは、１mm以上突出してもよく、或いはホイ
ール７５を溝７４内に引っ込めて配置してもよい。さらに、本発明の他の設計変
更例では、溝７４を省いてもよいことは言うまでもない。 図９に示すように、図示の実施形態では、搬送ポッド８は、単一のホイール７
０を有している。ホイール７０の配置場所に対する１つの制約は、ロードポート
２４に設けられたキネマチックピンと協働して、ポッド８をロードポート上に正
確に位置決めするポッドの下面に設けられるスロット７８の配設場所である。図
６に示す実施形態では、ホイール７０は、駆動レール１２とアイドラーレール１
４との間に補助装置を使うことができるようこれらの相互間隔を最大にするため
にポッド８の後縁部の近くに、且つポッド８の後部を水平の向きに支持してポッ
ド８が傾いてレールにぶつかることのないようにポッド８の側部相互間の中間に
配置される。また、ホイール７０を互いに異なる位置に配置してもよい。
【００４１】 搬送ポッド８が駆動ホイール４２によって搬送されているときに異常横揺れ振
動を殆ど又は全く生じさせないでアイドラーレール１４に沿って滑らかな走行を
もたらすという利点があるのでシュー６８を１つ用いることが好ましい。単一の
シュー６８を用いる他の利点は、部品数が最少になり、信頼性が向上することに
ある。しかしながら、搬送ポッド８は、所望ならばこれよりも多い数のシュー６
８を有していてもよい。図１０は、２つのシュー６８を有する搬送ポッド８の一
例を示している。上述の実施形態の場合と同様に、シュー６８は両方ともホイー
ル７０によって構成され、これらは各々シャフト７２によって搬送ポッドに回転
自在に取り付けられている。
【００４２】 図１１〜図１３は、本発明の別の設計変更例を示している。この設計変更例で
は、搬送装置はこの場合も又、搬送ポッド８６の一部をなしている。しかしなが
ら、この実施形態の搬送装置はこれに代えて、搬送ポッド、容器、或いは１又は
２以上の他の物品を支持することができるそり状部材、パレット又は他の装置に
よって構成してもよいことは理解されるべきである。本発明のこの実施形態では
、駆動ホイール４２は、ポッド８６の底面に係合してポッドをコンベヤに沿って
推進させる。ポッド８６の底面は、先の実施形態の溝５６を有しておらず、その
代わりに、実質的に平らである。かくして、駆動ホイールがポッドを推進させて
ポッドの高さ又は水平面を定めるが、駆動ホイール４２は、ポッドの横方向又は
側から側への運動を制御しない。
【００４３】 ポッド８６は、その壁９０に取り付けられた１対のシュー８８を有している。
この設計変更例では、ポッド８６は、情報装置９２を有し、この情報装置９２は
、ポッド８６がコンベヤに沿って移送され、シュー８８が情報装置９２の各側の
上に配置されるとロットについての生産情報を記憶するために当該技術分野にお
いて使用されている。各シュー８８は、ホイール９６を回転自在に支持するハウ
ジング９４を有している。図１２及び図１３に示すように、ホイール９６には溝
９８が形成され、これはＶ字形アイドラーレール１４上に位置する。溝９８とア
イドラーレール１４は互いに協働して、搬送ポッド８６がレール１２，１４に沿
って移送されているときに搬送ポッド８６を案内し、ポッド８６の横方向又は側
から側への運動を制御する。ホイール９６はまた、ポッド８６のそれぞれの端部
の垂直方向位置を制御する。
【００４４】 特に図１１及び図１２に示すように、本発明のこの実施形態では、アイドラー
レール１４は、ポッド８６の外方に間隔を置いて位置し、それにより補助装置を
収容するのに用いることができるアイドラーレール１４と駆動レール１２との間
の隙間を増大させる。アイドラーレール１４は又、駆動レール１２の上に配置さ
れている。１又は２以上の連結部材（図示せず）がアイドラーレールと駆動レー
ルを互いに接合して、これらレール相互間の間隔を正確に制御してアイドラーレ
ール１４が駆動レール１２の上方の正しい高さ位置に配置されるようにする。
【００４５】 上述の実施形態では、搬送ポッド８は、ウェーハを保護環境内に収容するポッ
ド８の役目とレール１２，１４に沿って移動する搬送装置の役目の両方を果たす
。しかしながら、本発明は、この二重の役割を果たす搬送ポッドに制限されない
ことは理解されるべきである。本発明の別の実施形態では、搬送装置は、ウェー
ハを収容したポッド又は他の容器とは別個のものである。本発明のこの設計変更
例はまた、搬送装置が１又は２以上の物品を搬送し又は１又は２以上の物品を収
容した容器を搬送するのに用いることができる半導体処理用途以外の用途に特に
適している。別個の搬送装置の構成は、或る程度は特定の用途によって課される
制約に応じて相当な振動を受ける。図１４及び図１５は、本発明の設計変更例に
従って構成された搬送装置１００の一例を示している。しかしながら、搬送装置
は、図１４及び図１５に示された形態には限定されない。
【００４６】 搬送装置１００は、図１〜図５に示す駆動レール１２及びアイドラーレール１
４に用いられる。なお、これらの図の説明を参照されたい。図１４では、搬送装
置１００は、複数のウェーハを収容した搬送ポッド１０２を保持した状態で示さ
れている。しかしながら、搬送装置１００は、本発明の範囲に属する他の物品又
は材料又は他形式の容器を搬送するのに使用できることは理解されるべきである
。搬送装置１００は、ベース１０４及びベース１０４の３つの側部から上方に延
びる側壁１０６を有するそり状部材によって構成されている。図示していないが
、ベース１０４にはピン１１８（図１５）が形成されており、これらピンは、ロ
ードポートのキネマチックピンと鏡像関係をなしている。ピン１１８は、ポッド
の下面のキネマチックピンスロット（図示せず）に嵌まり込んでポッドを定位置
に保持する。側壁１０６は、搬送ポッド１０２の外壁のすぐ外部に設けられてい
て、ポッド１０２を搬送装置１００内にぴったりと嵌まり込み、それにより追加
の支持体をなすと共に搬送装置１００がコンベヤに沿って移送されている時のポ
ッドの揺れ又はずれを防止する。所望ならば、搬送ポッド１０２を搬送装置１０
０にしっかりと保持するための他の手段を側壁１０６に代えて又はこれに加えて
用いてもよい。例えば、搬送装置１００は、ボルト又は他の適当な締結具によっ
て搬送ポッド１０２の側部及び（又は）底部に固定されるのがよい。搬送ポッド
１０２はまた、ストラップ又は他の適当な取付け手段を用いて搬送装置１００に
固定されてもよい。
【００４７】 搬送ポッド１０２は、ベース１０４の上面１０８上に配置される。所望ならば
、ベース１０４は、ベース１０４上への搬送ポッド１０２の移載を容易にする１
又は２以上の内方に延びる溝１１０を備えるのがよい。ベース１０４の下面は、
溝１１２、少なくとも１つのシュー１１４及びロードポート２４のピンと協働す
るキネマチックピンスロット（図示せず）を備えている。先に説明した実施形態
の場合と同様に、シュー１１４は、ベース１０４に回転自在に取り付けられたホ
イール１１６によって構成されている。溝１１２及びシュー１１４は、先の実施
形態の溝５６及びシュー６８と実質的に同一なので詳細には説明しない。先の説
明を参照されたい。
【００４８】 図１４及び図１５に示す実施形態の搬送装置１００の一利点は、専用又は特別
に設計されたポッドを必要としないことにある。それどころか、搬送装置１００
は、半導体ウェーハを収容するのに現在用いられている搬送ポッド又は他の形式
の容器に用いることができる。
【００４９】 本発明のコンベヤシステム１０が半導体を搬送するのに用いられる場合、駆動
システム３８及びシュー６８を含むシステム１０の構成要素は、クリーンルーム
環境で用いられるのに適した材料で構成される。換言すると、これら構成要素を
長期間にわたって使用しても、著しいレベルの粒状汚染要因物か生じない。これ
ら制約は、クリーンルーム環境を必要としない本発明のコンベヤ１０の他の用途
には存在しないであろう。非クリーンルーム環境では、クリーンルームに関する
基準を満たさない材料を、コンベヤシステム１０の全ての構成要素に用いること
ができる。
【００５０】 本発明の特定の実施形態の上記説明は、例示の目的でなされている。これらは
、これら自体に限られず、或いは本発明を開示した形態そのものに限定するわけ
ではなく、上記教示に照らして多くの設計変更例及び改造例を想到できることは
明らかである。開示した実施形態は、本発明の原理及びその実用的用途を最もよ
く説明するために選択されて説明されており、それにより、当業者が本発明及び
種々の実施形態、ならびに意図した特定の用途に合った種々の設計変更例を最も
よく利用できるようにする。本発明の範囲は、特許請求の範囲及びその均等範囲
によって定められるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明のコンベヤシステムの断面斜視図である。
【図２】 図１のコンベヤシステムの工程間ループの一例の略図である。
【図３】 図１の３−３線矢視断面図である。
【図４】 図１のコンベヤシステムの駆動レールの一部の平面図である。
【図５】 図４の駆動レールの一部の拡大斜視図である。
【図６】 図４の駆動レールの拡大平面図である。
【図７】 図３の搬送ポッドの一部の拡大断面図である。
【図８】 図３の搬送ポッドの一部の拡大断面図である。
【図９】 図１の搬送ポッドの底面図である。
【図１０】 搬送ポッドの別の実施形態の底面図である。
【図１１】 本発明の別の実施形態のコンベヤシステムの斜視図である。
【図１２】 図１１の１２−１２線矢視断面図である。
【図１３】 図１２の円で囲んだ部分の拡大断面図である。
【図１４】 本発明の別の実施形態としての搬送装置の側面図である。
【図１５】 図１４の搬送装置の正面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｃ Ｌ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ Ｔ (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ， ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，Ｇ Ｅ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ， ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，Ｍ Ｎ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ， ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，Ｚ Ｗ (72)発明者 グールド リチャード エイチ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94536 フリーモント ディー プレイス 35630 Ｆターム(参考） 3F027 AA03 CA01 DA04 EA01 FA12 3F033 BA01 BB01 BC03 BC07 BC08 EA05 EA06 5F031 CA02 CA05 DA08 DA17 EA14 EA16 EA20 FA03 FA07 FA14 GA53 JA01 JA14 JA17 JA22 JA45 KA20 LA01 LA03 LA04 LA08 LA11 MA06 NA02 PA02 PA20 PA26 【要約の続き】 が駆動レールで支持されると共にシューが支持レールで 支持された状態に位置決めする工程と、駆動レールで支 持された駆動システムを作動させて搬送装置を駆動レー ル及び支持レールに沿って推進させる工程とを有する。

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 物品をワークステーション相互間で搬送するコンベヤであっ
    て、少なくとも１つの物品をワークステーション相互間で搬送する搬送装置と、
    前記搬送装置をワークステーション相互間で推進させる駆動システムを有してい
    て、前記搬送装置を支持する駆動レールと、前記駆動レールに平行であってこれ
    から間隔を置いて配置されていて、前記搬送装置を支持する支持レールと、前記
    搬送装置によって支持された少なくとも１つのシューとから成り、前記シューは
    、前記搬送装置を前記支持レール上に可動的に支持するために前記支持レール上
    に載って動くよう形作られていることを特徴とするコンベヤ。
  2. 【請求項２】 前記シューは、前記搬送装置に回転自在に取り付けられたホ
    イールであることを特徴とする請求項１記載のコンベヤ。
  3. 【請求項３】 前記搬送装置は、溝が形成されたベースを有し、前記シュー
    は、前記溝内に配置されていることを特徴とする請求項１記載のコンベヤ。
  4. 【請求項４】 前記搬送装置は、後壁を有し、前記シューは前記後壁に取り
    付けられていることを特徴とする請求項１記載のコンベヤ。
  5. 【請求項５】 前記駆動システムは、複数の駆動ホイール及び前記駆動ホイ
    ールを駆動するための少なくとも１つのモータを有していることを特徴とする請
    求項１記載のコンベヤ。
  6. 【請求項６】 駆動レールは、各々が複数の駆動ホイール及び前記駆動ホイ
    ールを駆動するための少なくとも１つのモータを備えた複数の区域を有し、前記
    コンベヤは、前記モータに結合されていて、前記のモータを選択的に作動させて
    前記搬送装置を前記区域に沿って推進させ、前記搬送装置が前記区域を出た後に
    前記モータを非動作状態にする制御システムを更に有していることを特徴とする
    請求項１記載のコンベヤ。
  7. 【請求項７】 前記搬送装置は、溝が形成されたベースを有し、前記駆動シ
    ステムは、前記搬送装置が前記駆動レールに沿って動いているときに前記搬送装
    置を案内するよう前記搬送装置の前記溝に係合することを特徴とする請求項１記
    載のコンベヤ。
  8. 【請求項８】 前記搬送装置は、複数の物品を保持するよう形作られた内部
    キャビティを備えた保護容器を有していることを特徴とする請求項１記載のコン
    ベヤ。
  9. 【請求項９】 前記搬送装置によって支持された保護容器を更に有し、前記
    保護容器は、複数の物品を保持するよう形作られた内部キャビティを有している
    ことを特徴とする請求項１記載のコンベヤ。
  10. 【請求項１０】 複数の物品をコンベヤシステムに沿って搬送するための保
    護容器であって、コンベヤシステムは、駆動レール及び駆動レールに平行であっ
    てこれから間隔を置いて配置されていて、前記容器を支持するための支持レール
    を有し、駆動レールは、前記容器を駆動レール及び支持レールに沿って推進させ
    ると共に案内する駆動システムを有し、前記容器は、複数の物品を保持するよう
    形作られた内部コンパートメントを包囲しているハウジングを有し、前記ハウジ
    ングは、コンベヤシステムの駆動レール及び支持レール上に位置決めできる底面
    を有し、前記底面は、駆動システムの作動により、ハウジングが駆動レール及び
    支持レールに沿って推進されるよう駆動システムに係合するよう形作られており
    、前記容器は、前記ハウジングによって支持された少なくとも１つのシューを更
    に有し、前記シューは、前記ハウジングを支持レール上に可動的に支持するため
    にコンベヤシステムの支持レール上に載って動くよう形作られていることを特徴
    とする保護容器。
  11. 【請求項１１】 前記シューは、前記ハウジングに回転自在に取り付けられ
    たホイールであることを特徴とする請求項１０記載の保護容器。
  12. 【請求項１２】 前記底面には溝が形成され、前記ホイールは前記溝内に配
    置されていることを特徴とする請求項１１記載の保護容器。
  13. 【請求項１３】 前記ハウジングは、頂面及び前記頂面と前記底面との間に
    位置した壁を更に有し、前記シューは、前記容器の前記壁のうち１つに取り付け
    られていることを特徴とする請求項１０記載の保護容器。
  14. 【請求項１４】 前記ハウジングの前記底面は、駆動レールの駆動システム
    に係合するよう形作られた溝を有していることを特徴とする請求項１０記載の保
    護容器。
  15. 【請求項１５】 請求項１０記載の保護ハウジングと、前記内部コンパート
    メント内に配置された複数の半導体ウェーハとの組み合わせ。
  16. 【請求項１６】 前記半導体ウェーハの直径は、３００mmであることを特徴
    とする請求項１５記載の組み合わせ。
  17. 【請求項１７】 請求項１０記載の保護ハウジングと、駆動レール及び前記
    駆動レールに平行に且つこれから間隔を置いて配置されていて、前記容器を支持
    するための支持レールを有するコンベヤシステムとの組合せであり、前記駆動レ
    ールは、前記容器を前記駆動レール及び支持レールに沿って推進させるための駆
    動システムを有していることを特徴とする組合せ。
  18. 【請求項１８】 物品をステーション相互間で搬送する方法であって、少な
    くとも１つの物品を保持し、ベース及び前記ベースによって支持された少なくと
    も１つのシューを有する搬送装置を準備する工程と、前記搬送装置を、搬送装置
    のベースが駆動レール上に支持されると共に前記搬送装置によって支持されたシ
    ューがコンベヤシステムの支持レール上に支持された状態で位置決めする工程と
    、駆動レールによって支持された駆動システムを作動させて搬送装置を駆動レー
    ル及び支持レールに沿って推進させる工程とを有することを特徴とする方法。
  19. 【請求項１９】 搬送装置を準備する工程では、搬送装置に回転自在に取り
    付けられたホイールによって構成される少なくとも１つのシューを備えた搬送装
    置を準備することを特徴とする請求項１８記載の方法。
  20. 【請求項２０】 搬送装置を位置決めする工程では、複数の搬送装置をコン
    ベヤシステムの駆動レール及び支持レール上に位置決めすることを特徴とする請
    求項１８記載の方法。
  21. 【請求項２１】 駆動システムは、複数の駆動ホイール及び駆動ホイールを
    駆動する少なくとも１つのモータを有し、駆動システムを作動させる前記工程で
    は、モータを作動させて駆動ホイールを駆動することを特徴とする請求項１８記
    載の方法。
  22. 【請求項２２】 駆動レールは、各々が駆動レールの作動区域を備える複数
    の駆動システムを有し、駆動システムを作動させる前記工程では、搬送装置が各
    作動区域の近くにあるときに、前記作動区域の駆動システムを作動させることを
    特徴とする請求項１８記載の方法。
  23. 【請求項２３】 駆動システムを作動させる前記工程では、作動区域の駆動
    システムを作動させて搬送装置を作動区域中に推進させ、搬送装置が作動区域を
    出た後に駆動システムを非動作状態にすることを特徴とする請求項２２記載の方
    法。
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