JP2013157644A - ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ - Google Patents
ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013157644A JP2013157644A JP2013106924A JP2013106924A JP2013157644A JP 2013157644 A JP2013157644 A JP 2013157644A JP 2013106924 A JP2013106924 A JP 2013106924A JP 2013106924 A JP2013106924 A JP 2013106924A JP 2013157644 A JP2013157644 A JP 2013157644A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- workpiece
- plate
- load port
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 title 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 51
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 74
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 68
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 52
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 14
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
- B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】一実施形態では、ロードポートは、第1の開口部及び第2の開口部を備えたプレートと、第1の加工物アクセスポートと、第2の加工物アクセスポートと、少なくとも1つの貯蔵場所とを有する。貯蔵場所は、第2の加工物アクセスポートの下か第1の加工物アクセスポートの上かのいずれかに配置されるのが良い。移送モジュールは、ロードポートに隣接して位置しており、かかる移送モジュールは、加工物容器を第1の加工物アクセスポートと第2の加工物アクセスポートと貯蔵棚又は貯蔵場所のうちのどれかと素材搬送システムとの間で移動させるロードアームを有する。
【選択図】図1
Description
Claims (28)
- 加工物容器と共に稼働するシステムであって、
ロードポートを有し、前記ロードポートは、
第1の開口部及び第2の開口部を備えたプレートを有し、前記第2の開口部は、前記第1の開口部よりも低い高さ位置で前記プレートに設けられ、
加工物容器を支持して当該加工物容器内に貯蔵された加工物に前記第1の開口部を介して接近できるようにするための第1の加工物接近場所を有し、
加工物容器を支持して当該加工物容器内に貯蔵された加工物に前記第2の開口部を介して接近できるようにするための第2の加工物接近場所を有し、
前記第2の加工物接近場所の下に配置された貯蔵棚を有し、
前記ロードポートの前記貯蔵棚の下を通る部分を備えたフロア利用型素材搬送システムを有し、
容器を前記第1の加工物接近場所と前記第2の加工物接近場所と前記貯蔵棚との間で移動させたり加工物容器を前記フロア利用型素材搬送システムに対して直接受け渡したりする容器搬送機構体を備えた移送モジュールを有する、システム。 - 前記第1の加工物接近場所は、
加工物容器を支持すると共に前記加工物容器を第1の位置と第2の位置との間で移動させる容器前進プレートと、
前記プレートの前記第1の開口部を介する接近を制御するポートドアとを有する、請求項1記載のシステム。 - 前記第2の加工物接近場所は、
加工物容器を支持すると共に前記加工物容器を第1の位置と第2の位置との間で移動させる容器前進プレートと、
前記プレートの前記第1の開口部を介する接近を制御するポートドアとを有する、請求項1記載のシステム。 - 前記プレートは、ボックス・オープナ/ローダ・ツー・ツール・スタンダード・インタフェース(Box Opener/Loader to Tool Standard Interface)から成る、請求項1記載のシステム。
- 前記容器搬送機構体は、各加工物容器の頂部ハンドルに係合する、請求項1記載のシステム。
- 前記容器搬送機構体は、各加工物容器の側部ハンドルに係合する、請求項1記載のシステム。
- 前記貯蔵棚は、前記第2の加工物接近場所の前記容器前進プレートの下に位置した状態でこれと水平方向に整列する、請求項2記載のシステム。
- 前記貯蔵棚の下に配置されていて、これと水平方向に整列する第2の貯蔵棚を更に有する、請求項7記載のシステム。
- 第2のロードポートを更に有し、前記第2のロードポートは、
第1の開口部及び第2の開口部を備えた第2のプレートと、
加工物容器を支持して当該加工物容器内に貯蔵された加工物に前記第2のプレートの前記第1の開口部を介して接近できるようにするための第1の加工物接近場所と、
加工物容器を支持して当該加工物容器内に貯蔵された加工物に前記第2のプレートの前記第2の開口部を介して接近できるようにするための第2の加工物接近場所を有し、
前記第2の加工物接近場所の下に配置された貯蔵棚とを有し、
前記移送モジュールは、加工物容器を第1のロードポート及び前記第2のロードポートの前記第1のウェーハ接近場所と前記第2のウェーハ接近場所と前記貯蔵棚との間で移送することができる、請求項1記載のシステム。 - 前記第2のロードポートの前記第1の加工物接近場所は、
加工物容器を支持すると共に前記加工物容器を第1の位置と第2の位置との間で移動させる容器前進プレートと、
前記第2のプレートの前記第1の開口部を介する接近を制御するポートドアとを有する、請求項9記載のシステム。 - 前記第2のロードポートの前記第2の加工物接近場所は、
加工物容器を支持すると共に前記加工物容器を第1の位置と第2の位置との間で移動させる容器前進プレートと、
前記第2のプレートの前記第2の開口部を介する接近を制御するポートドアとを有する、請求項9記載のシステム。 - 前記第1のロードポートは、前記第1の加工物接近場所の上方に配置された第3の貯蔵棚を更に有する、請求項8記載のシステム。
- 前記容器搬送機構体は、加工物容器を前記第3の貯蔵棚に対して受け渡しすることができる、請求項12記載のシステム。
- 前記容器搬送機構体は、
前記ロードポートの前記プレートに対して垂直に動くことができるキャリジを有し、
第1の端部及び第2の端部を備えた上側リンクアームを有し、前記第1の端部は、前記キャリジに回転可能に結合され、
第1の端部及び第2の端部を備えた下側リンクアームを有し、前記第1の端部は、前記上側リンクアームの前記第2の端部に回転可能に結合され、
前記下側リンクアームの前記第2の端部に回転可能に結合されたグリッパを有する、請求項1記載のシステム。 - 前記移送モジュールは、
処理ツールの前側端部に固定されるようになったプレートを有し、
容器搬送機構体を有し、当該容器搬送機構体は、
前記プレートに対して垂直に動くことができるキャリジを有し、
第1の端部及び第2の端部を備えた上側リンクアームを有し、前記第1の端部は、前記キャリジに回転可能に結合され、
第1の端部及び第2の端部を備えた下側リンクアームを有し、前記第1の端部は、前記上側リンクアームの前記第2の端部に回転可能に結合され、
前記下側リンクアームの前記第2の端部に回転可能に結合されたグリッパを有する、請求項1記載のシステム。 - 前記加工物容器は、小容量加工物容器から成る、請求項1記載のシステム。
- 前記加工物容器は、半導体ウェーハを貯蔵する容器から成る、請求項1記載のシステム。
- 前記加工物容器は、機械的に開放可能なドアを備えた容器シェルを有する、請求項1記載のシステム。
- 小容量加工物容器と共に稼働し、加工物を処理ツールに供給するシステムであって、
第1のロードポートを有し、前記第1のロードポートは、
第1の開口物を備えた第1のプレートと、
小容量加工物容器を支持して前記小容量加工物容器内に貯蔵されている加工物に前記第1のプレートの前記第1の開口部を介して接近可能であるようにする加工物接近場所と、
前記加工物接近場所の下に配置された貯蔵場所とを有し、
第2のロードポートを有し、前記第2のロードポートは、
第2の開口物を備えた第2のプレートと、
小容量加工物容器を支持して前記小容量加工物容器内に貯蔵されている加工物に前記第2のプレートの前記第2の開口部を介して接近可能であるようにする加工物接近場所と、
前記加工物接近場所の下に配置された貯蔵場所とを有し、
移送モジュールを有し、前記移送モジュールは、
第3のプレートと、
前記第3のプレートに対して垂直方向に動くことができるキャリジ及び小容量加工物容器を前記第1のロードポートと前記第2のロードポートの両方の前記加工物接近場所と前記第1及び第2のロードポートの両方の前記貯蔵場所との間で移動させるロードアームを備えた容器搬送機構体とを有する、システム。 - 前記第1のプレート、前記第2のプレート、及び前記第3のプレートは、各々、ボックス・オープナ/ローダ・ツー・ツール・スタンダード準拠型インタフェースから成る、請求項19記載のシステム。
- 前記第1のロードポートと前記第2のロードポートの両方の前記加工物接近場所の各々は、
小容量加工物容器を支持すると共に小容量加工物容器を第1の位置と第2の位置との間で移動させる容器前進プレートと、
ポートドアとを有する、請求項19記載のシステム。 - 前記ロードアームは、
第1の端部及び第2の端部を備えた上側リンクアームを有し、前記第1の端部は、前記キャリジに回転可能に結合され、
第1の端部及び第2の端部を備えた下側リンクアームを有し、前記第1の端部は、前記上側リンクアームの前記第2の端部に回転可能に結合され、
前記下側リンクアームの前記第2の端部に回転可能に結合されたグリッパを有する、請求項19記載のシステム。 - 前記グリッパは、小容量加工物容器の頂部ハンドルに係合する、請求項22記載のシステム。
- 前記グリッパは、小容量加工物容器の側部ハンドルに係合する、請求項22記載のシステム。
- 前記第1のロードポートの前記貯蔵場所及び前記第2のロードポートの前記貯蔵場所の下を通る部分を備えたフロア利用型素材搬送システムを更に有する、請求項19記載のシステム。
- 前記容器搬送機構体は、小容量加工物容器を前記フロア利用型素材搬送システムに対して直接受け渡しすることができる、請求項25記載のシステム。
- 前記小容量加工物容器は、半導体ウェーハを貯蔵する容器から成る、請求項19記載のシステム。
- 前記小容量加工物容器は、容器シェルと、機械的に開放可能なドアとを有する、請求項19記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/644,240 US9834378B2 (en) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | Loader and buffer for reduced lot size |
US11/644,240 | 2006-12-22 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009542775A Division JP2010514211A (ja) | 2006-12-22 | 2007-11-19 | ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013157644A true JP2013157644A (ja) | 2013-08-15 |
JP5506979B2 JP5506979B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=39543038
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009542775A Pending JP2010514211A (ja) | 2006-12-22 | 2007-11-19 | ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ |
JP2013106924A Active JP5506979B2 (ja) | 2006-12-22 | 2013-05-21 | ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009542775A Pending JP2010514211A (ja) | 2006-12-22 | 2007-11-19 | ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9834378B2 (ja) |
JP (2) | JP2010514211A (ja) |
TW (1) | TWI376764B (ja) |
WO (1) | WO2008085233A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012146870A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセット収容装置 |
US20130123966A1 (en) * | 2011-11-14 | 2013-05-16 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Spatial three-dimensional inline handling system |
US9431282B2 (en) * | 2011-12-27 | 2016-08-30 | Rudolph Technologies, Inc. | Wafer inversion mechanism |
JP5700255B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2015-04-15 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備及び物品搬送設備 |
JP5978728B2 (ja) | 2012-04-12 | 2016-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板受け渡し装置、基板受け渡し方法及び記憶媒体 |
JP6235294B2 (ja) * | 2013-10-07 | 2017-11-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送室及び容器接続機構 |
JP6422317B2 (ja) * | 2014-12-02 | 2018-11-14 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 小型製造装置 |
CN114999968A (zh) * | 2015-11-27 | 2022-09-02 | 株式会社国际电气 | 衬底处理装置、衬底搬送系统、半导体器件的制造方法及记录介质 |
TWI710045B (zh) * | 2016-09-29 | 2020-11-11 | 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 | 具有改良基板保持件及門閂鎖協助機構之基板容器 |
KR102633352B1 (ko) * | 2017-04-06 | 2024-02-06 | 다이후쿠 아메리카 코퍼레이션 | 수직 이송 장치를 포함한 보관 시스템 |
US10343811B1 (en) * | 2017-07-06 | 2019-07-09 | Amazon Technologies, Inc. | Bin design and configuration for increased sort destination density |
US10790177B2 (en) * | 2017-11-14 | 2020-09-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Systems, devices, and methods for using a real time environment sensor in a FOUP |
US10793354B2 (en) | 2018-04-03 | 2020-10-06 | Becton Dickinson Rowa Germany Gmbh | Picking device for storing medicine bottles and method for retrieval |
US10435252B1 (en) | 2018-10-08 | 2019-10-08 | Becton Dickinson Rowa Germany Gmbh | Operating device for placing or retrieving bottle-like piece goods |
EP3636565B1 (de) * | 2018-10-08 | 2024-02-21 | Becton Dickinson Rowa Germany GmbH | Bediengerät zum ein- und auslagern von flaschenartigen stückgütern |
JP7389506B2 (ja) * | 2018-12-12 | 2023-11-30 | 鵬躍 周 | 貨物輸送システムとその設置方法及び貨物輸送方法 |
CN110550432B (zh) * | 2019-08-29 | 2021-03-12 | 潍坊路加精工有限公司 | 在线式自动上料装置 |
TWI705516B (zh) * | 2020-01-22 | 2020-09-21 | 迅得機械股份有限公司 | 晶圓盒移載裝置 |
FR3119616B1 (fr) | 2021-02-08 | 2023-06-02 | Roxane | Procédé de fourniture automatisé et magasin automatique robotis |
CN117361014B (zh) * | 2023-10-07 | 2024-06-14 | 北京同创信通科技有限公司 | 配置桁架式探头输送机器人的立体仓储探头存取装置及其控制方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6042324A (en) * | 1999-03-26 | 2000-03-28 | Asm America, Inc. | Multi-stage single-drive FOUP door system |
JP2001298069A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-10-26 | Applied Materials Inc | カセットの保管および移動装置 |
JP2002009131A (ja) * | 2000-04-17 | 2002-01-11 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 |
US20030099527A1 (en) * | 2001-11-28 | 2003-05-29 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate transfer apparatus, substrate processing apparatus and holding table |
JP2003524544A (ja) * | 1998-06-24 | 2003-08-19 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 一体形のローラ搬送ポッド及び非同期型コンベヤ |
JP2003536247A (ja) * | 2000-06-06 | 2003-12-02 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 材料搬送システム |
KR20050044531A (ko) * | 2001-12-04 | 2005-05-12 | 로제 가부시키가이샤 | 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 |
WO2006023873A2 (en) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Brooks Automation, Inc. | Elevator-based tool loading and buffering system |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6533101B2 (en) * | 1998-06-24 | 2003-03-18 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated transport carrier and conveyor system |
US6283692B1 (en) * | 1998-12-01 | 2001-09-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
US6612797B1 (en) * | 1999-05-18 | 2003-09-02 | Asyst Technologies, Inc. | Cassette buffering within a minienvironment |
US20020187024A1 (en) * | 2001-06-12 | 2002-12-12 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a carrier |
WO2003009347A2 (en) * | 2001-07-16 | 2003-01-30 | Asyst Technologies, Inc. | Integrated system for tool front-end workpiece handling |
US6955197B2 (en) * | 2002-08-31 | 2005-10-18 | Applied Materials, Inc. | Substrate carrier having door latching and substrate clamping mechanisms |
KR100500170B1 (ko) | 2003-06-25 | 2005-07-07 | 주식회사 디엠에스 | 기판의 수평 및 상하 이송장치 |
KR100500169B1 (ko) | 2003-07-02 | 2005-07-07 | 주식회사 디엠에스 | 도킹형 기판 이송 및 처리 시스템과, 그를 이용한 이송 및 처리 방법 |
-
2006
- 2006-12-22 US US11/644,240 patent/US9834378B2/en active Active
-
2007
- 2007-11-19 WO PCT/US2007/024201 patent/WO2008085233A1/en active Application Filing
- 2007-11-19 JP JP2009542775A patent/JP2010514211A/ja active Pending
- 2007-11-27 TW TW096144963A patent/TWI376764B/zh active
-
2013
- 2013-05-21 JP JP2013106924A patent/JP5506979B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003524544A (ja) * | 1998-06-24 | 2003-08-19 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 一体形のローラ搬送ポッド及び非同期型コンベヤ |
US6042324A (en) * | 1999-03-26 | 2000-03-28 | Asm America, Inc. | Multi-stage single-drive FOUP door system |
JP2001298069A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-10-26 | Applied Materials Inc | カセットの保管および移動装置 |
US6506009B1 (en) * | 2000-03-16 | 2003-01-14 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for storing and moving a cassette |
JP2002009131A (ja) * | 2000-04-17 | 2002-01-11 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 |
JP2003536247A (ja) * | 2000-06-06 | 2003-12-02 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 材料搬送システム |
US20030099527A1 (en) * | 2001-11-28 | 2003-05-29 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate transfer apparatus, substrate processing apparatus and holding table |
KR20050044531A (ko) * | 2001-12-04 | 2005-05-12 | 로제 가부시키가이샤 | 용기의 일시적 반입, 유치, 반출용 장치 |
WO2006023873A2 (en) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Brooks Automation, Inc. | Elevator-based tool loading and buffering system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080152466A1 (en) | 2008-06-26 |
WO2008085233A1 (en) | 2008-07-17 |
US9834378B2 (en) | 2017-12-05 |
JP2010514211A (ja) | 2010-04-30 |
JP5506979B2 (ja) | 2014-05-28 |
TW200843018A (en) | 2008-11-01 |
TWI376764B (en) | 2012-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5506979B2 (ja) | ロットサイズ減少のためのバッファ付きローダ | |
US11587816B2 (en) | Container storage add-on for bare workpiece stocker | |
JP7263642B2 (ja) | ウェハアライナ | |
US20180096873A1 (en) | Integrated systems for interfacing with substrate container storage systems | |
KR100967357B1 (ko) | 직접적 도구 로딩 | |
US7661919B2 (en) | Discontinuous conveyor system | |
TWI388479B (zh) | Warehousing | |
US6579052B1 (en) | SMIF pod storage, delivery and retrieval system | |
US8851820B2 (en) | Substrate container storage system | |
US6364593B1 (en) | Material transport system | |
JP2002512446A (ja) | ウエハ処理装置とともに使用するための自動化ウエハバッファ | |
EP1446828A2 (en) | Reduced footprint tool for automated processing of substrates | |
WO2013069716A1 (ja) | ロードポート、efem | |
EP1252079B1 (en) | Wafer transport system | |
JPH10256346A (ja) | カセット搬出入機構及び半導体製造装置 | |
JP4466264B2 (ja) | ストッカ | |
US20040126206A1 (en) | Mini-environment system and operating method thereof | |
TW202320211A (zh) | 處理半導體晶圓的方法 | |
KR20190052875A (ko) | 카세트 공급시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130522 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140318 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5506979 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |