TWI376764B - Loader and buffer for reduced lot size - Google Patents

Description

1376764 九、發明說明： - 【發明所屬之技術領域】 本發明通常包含一裝載埠。更具體地’本發明包含一裝載埠， 該裝載埠除了打開容器並將晶圓提供至一處理工具以外，亦可儲 存或緩衝一或多個容器。 【先前技術】. 習知半導體製造設備處理通常儲存25個晶圓每容器之 300mm晶圓運送容器。這些容器通常被稱之為標準機械介面 (SMIF)晶圓盒或前開式集中晶圓盒(p〇Ups)。製造設備中的各種虑 理工具、倉儲系統及物料處理系統係設計成與上述3〇〇mmSMIF 晶圓盒及FOUPs —起操作。 在一裝載埠打開F0UP並使該F〇Up内的晶圓可存取後，處 理工具處理所有儲存在該F〇up _晶圓。朗所有晶圓被處理 且F0UP門被取代後才將F〇up自該裝载槔移除。因此，用於每 個F0UP的週期時間係取決於儲存在該F⑽ 將每個F0UP的批量自25個晶圓每F〇H數藉由 FOOT ’可獲得工廠作業時間的改善。 6個s曰®母 然而’當湘較小批量^挪時， 齡 送系統移除一完整的晶圓盒並 物枓。-種幫助極小化處理工具閒 ：又= FOUPs緩衝桃賴處理1具_存位置巾 統」）。然而，倉儲系統佔住了有_ 稱之為层儲糸 產量的工具錢，即使局㈣倉⑽^ 。對於極高生 能快到足以避免部分工具閒置。這特別滴^工具區内)也不可 的工具。處理儲存於六個晶圓FQUP ^有u，裝載埠 短於系統運送-新的F0UPS該工 曰曰的時間，仍可 存体置）。如此意味著工呈處理曰μ化的夸間(即使從鄰近的儲 、處理曰曰圓的時間不會比物料運送系統的 6 1376764 速度還快。 β因此’令人滿意岐能夠將晶圓盒直工且 不疋，由-倉儲系統而移動。如此減 ^運、,二具’而 目，其減少了週期時間並增加生產 備移動的數 :OUPs從工具移動至工具，該等 =^月上夠直接將 ioups的能力，其錢理工具完成處理ίΐ 上緩衝 讓一 FOUP到達該工具，反之亦然。 中的阳圓前， 需要具 因而，當儲存於一或多個^顶中 有儲存FOUPS之能力的裝載埠β 0破處理時’ 【發明内容】 本發明之一實施態樣係在處理工具附近經 儲存。在本發明之-實施例中，—裝载埠包含容器 置，藉此而可存取儲存於該容器之卫件f及二=圓存取位 埠，移模組在晶圓存取位置位以-含-轉移模組，用以轉 在一貫施例中，系統與具有可機械式開門之容哭丑 二晶圓存取位置之埠門從容器中將容器門_及 與埠門連接之容器門必須要移動，使得可以通二 =-貫施财’―連接佩構沿著關驗 門 直線路徑，垂直移動蟑門。在又-實施例中，一=== 置與開啟位置之間的直線路徑，水平移動埠n。顺者關閉位 =:=_移’該物料運^= 能。i!=:實ίϊΐ!3化習知裝载璋之容器開啟功 ^本發明之又一實施態樣係為藉由一衮哭 存少於25個工件之容器)=== =構亦可運送—習知H 運 =構包含—夾持爪，該夾持運， 施例中，夾持爪固定到容器之—對上二私握柄。在另-實 與習知^咖齡供且2=’·^系統可 求;-裝鱗='广-處5= 儲存位置。可將“ ：!存::置存取位置及至少-

々丨ί寸奋盗 容器、45〇mm容器、習知FOUP :二果ir具係從與習知咖共同操作轉變狗、?量 端將根據本發明l㈣定_處理工且= 該工/「翻；^該處理工具的任何元件(如晶圓處理機械臂/即可將 理工i f供近接料含冑知輯埠之處 一系統係可操作地連接由;系統， 行及-轉移模組，其提供與該物料運送 【實施方式】 役備材料國際_)已經創立用於半導體晶圓製造 =限纽說明之本發 統處理2實施_於及/或適合於系 含-结構，該㈣〜人★牛導體基板。僅猎由賴，—容器包 運送}或且有一^機二3 ：^的體積’藉以可存取該物件(例如FPD FOU^ 佩奶之容_如細σ謹晶圓盒、 ^*ίίΐ〇\*^ 100 ^ ° ^ 及-對側邊握柄16〜f —Λ 12:容器門14 每-個小容量容1 1()^·+_^ Υ赫到25辦導體晶圓。將 儲存於小容量容器1〇:===的半導體晶圓。 埠含具有第一裳載璋102、第二裝載

3第ΓίΪΪΐ。;裝载埠丨。2與該第二裝載埠104之間。I 介则賺虹具之標準 1ΛΟ1Λ/Ι \袈戟埠一樣的尺寸及形狀。如果該裝載埠 目I 4 Ρ及該轉移模組106符合SE]ya所定的B0LTS標準的話，

St將車之處理工具「翻新」。例如，如果處 ;，，統100固定在處理工具中的適當位置。不需要;ϊί處 ί工二'ϊίίΐ牛(例如’晶圓處理機器臂)以連同系統卿一起操 :=、，’ ίΐίΓ之板108、裝载蜂104之板140及轉移模組 板可C 3 /、他尺寸且不要求要符合B0LTS標準。 圖1說明第-裝載埠1Q2包含兩個晶圓存取位置及三個儲存 位置。除了別的以外，裝載琿102包含：一板⑽，具有一第f開 第二開口(未可見）；—架112;—第二容器推進架114 ; 第-儲存架116，一第二儲存架118，·及一第三儲存架12〇。圖 推進架146 ; —第一儲存位置ί48，·一

Ϊ=Γ2。嶋物切每·^儲U 兩固，*,及第一埠門129，用以控制經由第二開口 143之在 、。圖1中所不的每一個埠門128及129包含一 以打開及f巧容，門M並將絲Bf”4連制埠門上。， 圖1亦說明系統卿包含一轉移模植1〇6。該轉移模人一 ^ ° ^ 1 172；" 撼卜搂相裝載埠102、104之板108、140。容哭轉移 ，載埠、裝載埠綱與物料運送系統°50之 在此實施辦，機構16G包含-肩部162、-上

TeChn〇bgies，Ine下線168 ° 此—機構為 Asyst 由-係ί行進於執道172内的台架做可操作性連接。藉 tίΪίί、傳送帶、鋼索起吊裝置、齒條及齒輪裝置或任何 ^機禮;’可驅動沿2轴垂直移動的台架（見圖2)。容器 轉移機構_彳亍進的區域，係稱之為容器z行進區。 $1說明在兩個不同位置中的容器轉移機構一升起位置 =低位置(以虛線表示）。在升起位置巾，機構i⑼可接近第一 f 架112及第二袈載埠1G4之容器推進架144。在降低 構160可從物料運送系統50中升起容器10，或者將容 益10置放在物料運送系統5〇上。當然，機構16〇可停在升起盘 圖1說明與裝在地面上的物料運送系統5〇一起運作的系統 1〇〇 ’該物料運送系統甩以在整個製造設備或工具區内移動容器 1〇1在名為「皮帶輸送装置」之美國專利申請案第60/698124號中， 揭政此物料運送糸統’其被讓渡予，且 12

Claims (1)

1. 申請專利範圍·· i J操作系統，用 一裴载埠，包含： 千谷裔進仃刼作，包含： 该苐二開口 該第:俾能經由 該第二開，經由 —_:架具第=件存取位置下方及與 定於-處理卫具之—前端容J運送機構’該第二板固 二位置、該第二工件存姻以在該第-工件存 各器運送機構用以將一工件容;木之間移動-容器，且該 上的物料運送系統； 盗直接轉移到及轉移自該裝在地面 由^與該第二板具有相同寬度。 置包含："利乾圍第1項之操作系統，其中該第-工件存取位 二位;==:匕工件容器並在-第-位置與一第 -槔門’用以控制經由該第—板中之 ^如中請專利範圍第〗項之操作& 置包含： 八τ為弟一工件存取位 一容器推進板，用以支撐一工# 二位置之間移動該工件容器；及 並在一苐一位置與一第 一埠門，用以控制經由該第一板中之誃 4. 如申請專利範圍第！項之操作^第·； y ^取。 板各包含—晶盒開啟器/裝裁器對I且之板與該第二 5. 如申請專利範圍第1項之操作系統:其中該容器運送機構鳴 29 1376764 96J44963 (無劃線) 一，·夕』-¾、佚貝 合於各工件容器之一頂端握柄。 合於項之辦純，射絲科送機翻 第二工2項之操作系統，射該儲存架係位於該 存取位置器減訂方，财神料第二工件 兮楚8· tt請專利範圍第7項之操作系統，更包含-繁-社加 9一下方财平轉。架’ 該第二裝Ιΐΐΐ 1項之操作緣，更包含—第二裝载埠， 二5板’具有一第一開口及一第二開口； 三板之該第於容:件=由該第 一第二工件在取仞罢m ^谷斋内的一工件進行存取； 三板之該第二開口對儲存於容器，俾能經由該第 位於該第二工4;:=~子取； 件存取位置:埠及該第二裝載埠之該第—工 器。 牛存取位置與該储存架之間轉移-工件容 該第===♦操物，其_二输之 第二該=ϊΐ二件容器，並在—第—位置與- 開口的存取。 該第二工件存取位置包含：、之_系統，其中該第二錢蜂之 第二位該件容器，並在十位置與-一埠門，職控制經由該第三板中之該第二開口的存取。 30 i^/b764 北144963 (盔割结 含 包含R^__ 1奴_統，射該_送機構 夠相對於該裝解之該第—板垂直移動； 該台架以可旋(方第-端部及-第二端部’該第-端部與 該上；該第， 爽^爪’與該下連接臂之該第二端部以可旋轉方式連接。 一 範圍第1項之操作系統，其中該轉移包含： 谷器運送機構，包含： 一台架’能夠相對於該第二板垂直移動； 部與該台雜H部’該第-端 一下連接臂，具有一第一端部及一第二端部，該第— 邛/、該上連接臂之該第二端部以可旋轉方式連接；及 一炎持爪’與該下連接臂之該第二端部以可旋轉方式連 接。 16·如申請專利範圍第1項之操作系統，其中該工件容器包含 一小容量工件容器。 17·如申請專利範圍第i項之操作系統，其中該工件容器包含 儲存半導體晶圓用之一容器。 18. 如申請專利範㈣1項之操作线，其中該工件容器包含 具有一可機械式開門之一容器架。 19. 如申請專利範圍第1項之操作系統，其中雜作系統為兩 31 1376764 101年4月18曰修正替換頁 96144963 (無劃線） 上 丨⑽144北;j〈無劃線) 限^之總系統具有藉由該第—板與該第二板之結合寬度而 面性系統，第9項之操作系統’其巾鋪作系統為全 三板2，寬;由該第-板、該第二板、與該第 件提小容4讀找進行猶且將工 ^ 具該％作系統包含： 一弟一裝载埠，包含： 二第一板，具有一第一開口； 儲存於該小容用以土撐-小容量工件容器’使得 開口進行存取^内的—功可經由該第—板中之該第一 一儲存位置，位於該讀存取位置下方； 一第二裝載埠，包含： 一第二板，具有一第二開口； 儲存於該小用小容量工件容器，使得 開口進行it與㈣的—辑可經由該第二板中之該第二 一』ΐτ^該工件存取位置下方;及 一第三板；與 ;S:==綱及該第二裝載‘該;存ti 其中該第-板、該第二板、與該第三板各 22.如申請專利範圍第21項之操作系統，其中該H度。 |=_板’各包含-_啟器/裝戴器對卫具之 32 96144963 (無劃線）… 23. 如申請專利範圍第21項之操作车 5 -- 該第二裝解储之社件存取位置，、巾制—輯埠及 -容器推進板，用以支#〜小容量 ^ 置與—第二位置之間移動該小容量工件 亚在一弟―位 —埠門。 w，及 m. 24. 如申請專利範圍第21項之操作 -上連接臂，具有_第—端部及上中該气載臂包含： 該台架以可旋轉方式連接； 一鸲。卩，該第一端部與 一下連接臂，具有一第一端部及一第_ 該上連接臂之該第二端部以可旋轉方式連該第-端部與 —失持爪，與該下連接臂之該第__ ，及 25. 如申請專利範圍第24項:操二可旋轉方式連接。 該小容量卫件容H之—輯握柄。巾驗持爪唾合於 26. 如申請專利範圍第24 小容量工件容器之-側邊握柄。、之#作系統’其中該夾持爪喷合該 2-專圍第21項之操作錢，更包含： 儲存位i及該第二裝位以過該第一裝載埠之該 28.如申請專利範園第位^下方的部分。 =夠將-小容量工件容器直接其中該容器運送機構 物料運送系統。 接轉移到及轉移自該裝在地面上的 器包含儲存半操作系統，其t該小容量工件容 器包作錢，射糾妓工件容 3系，，該全面性系統第該操作系統為全 一板之結合寬度而限定之维5板該第一板、與該第 十一、圓式： 、’心見度。 33 9 1376764 七 、指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：第（1 ) (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 101年4月18日修正替換頁 96144963 (無劃線） ’’年月’’日修正本R r 10 容器 50 物料運送系統 100 糸統 102 裴載淳 104 裝載埠 106 轉移模組 108 板 110 開口 112 架 114 架 116 儲存架 118 儲存架 120 儲存架 122 容器推進板 124 容器推進板 126 運動銷 128 埠門 130 閂鎖鑰 140 板 142 開口 144 容器推進架 146 容器推進架 148 儲存位置 150 儲存位置 152 儲存位置 160 容器轉移機構 4