JP7263642B2 - ウェハアライナ - Google Patents
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Description
本出願は、2014年11月4日に出願された米国仮特許出願第62/075,014号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
例示される実施形態は、概して、ウェハ処理システムに関し、特に、ウェハアライメントに関する。
Claims (28)
- 半導体ウェハ搬送装置により半導体ウェハを搬送するための方法であって、
フレームに移動可能に取り付けられた搬送アームを有する前記半導体ウェハ搬送装置を提供することであって、前記搬送アームが、複数のエンドエフェクタおよび縁部検出センサを含み、前記複数のエンドエフェクタが、前記搬送アームと一体となって前記フレームに対して第1方向に横断し、前記搬送アームに対して伸長位置と後退位置との間で第2方向に直線的に横断するように、前記搬送アームに移動可能に取り付けられ、前記縁部検出センサが、前記搬送アームと一体となって、前記フレームに対し移動するように前記搬送アームに取り付けられ、前記縁部検出センサが、前記後退位置において前記複数のエンドエフェクタによって同時に支持される複数のウェハのそれぞれのウェハの縁部検出をもたらす共通センサである、前記半導体ウェハ搬送装置を提供することと、
前記後退位置において前記複数のエンドエフェクタのそれぞれが複数のウェハのそれぞれのウェハを同時に支持した状態で、前記縁部検出センサによりそれぞれのウェハの縁部を検出することであって、それぞれのウェハの前記縁部検出が、前記搬送アーム上の前記複数のエンドエフェクタのそれぞれのエンドエフェクタの前記第2方向における前記後退位置からの前記横断によって、前記第2方向における前記後退位置からの前記横断と同時にもたらされる、それぞれのウェハの縁部を検出することと、
を含む、方法。 - それぞれのエンドエフェクタの前記第2方向における前記横断が、前記複数のエンドエフェクタによって同時に支持される前記複数のウェハのうち、前記エンドエフェクタ上に載置される、対応するウェハを、縁部検出をもたらす前記縁部検出センサに対し直線的に搬送する、請求項1記載の方法。
- 前記縁部検出センサが、前記ウェハの縁部を検出し、それを基に、所定の基準座標系に対するウェハの位置およびミスアライメントを識別する、請求項2記載の方法。
- 前記フレームに対して前記搬送アームと一体となって移動するように前記搬送アームに取り付けられるウェハアライナを提供することをさらに含み、前記ウェハアライナは、それぞれのエンドエフェクタと協働し、前記エンドエフェクタ上に載置される前記対応するウェハのウェハアライメントをもたらすように配置される、請求項2記載の方法。
- 前記搬送アームに連結された制御装置により、それぞれのエンドエフェクタの、前記縁部検出センサを通過する直線的な横断を周期的に繰り返させ、それぞれの対応するウェハの縁部検出をもたらすことをさらに含む、請求項2記載の方法。
- 前記制御装置が、前記搬送アームに取り付けられるウェハアライナと最初のウェハを係合させる前に、すべてのエンドエフェクタの前記直線的な横断を連続的に周期的に繰り返させるように構成される、請求項5記載の方法。
- それぞれのエンドエフェクタが、独立した駆動装置を有し、前記独立した駆動装置が、前記第2方向において独立した直線的な横断をそれぞれのエンドエフェクタが有するように構成される、請求項1記載の方法。
- 前記複数のエンドエフェクタが、前記搬送アームに対し、それぞれが独立して駆動される第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタを含む、請求項1記載の方法。
- 前記縁部検出が、オンザフライ方式の縁部検出である、請求項1記載の方法。
- 前記半導体ウェハ搬送装置の前記搬送アームが、ロードポートを有する容器を備える処理装置内に位置付けられる、請求項1記載の方法。
- 半導体ウェハ搬送装置により半導体ウェハを搬送するための方法であって、
フレームに移動可能に取り付けられた搬送アームを有する前記半導体ウェハ搬送装置を提供することであって、前記搬送アームが、第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタと、縁部検出センサとを含み、前記第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタは、
前記第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタが、前記搬送アームと一体となって、前記フレームに対し第1方向に横断するように、および
前記第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタが、前記搬送アームに対し、前記第1方向とは異なる第2方向の伸長位置と後退位置との間で独立した直線的な横断のために、独立して駆動されるように、
前記搬送アームに移動可能に取り付けられ、前記縁部検出センサが、前記搬送アームと一体となって、前記フレームに対して移動するように前記搬送アームに取り付けられ、前記縁部検出センサが、前記第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタによって同時に支持される複数のウェハのそれぞれのウェハの縁部検出をもたらす共通センサである、前記半導体ウェハ搬送装置を提供することと、
前記後退位置において前記第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタのそれぞれが複数のウェハのそれぞれのウェハを同時に支持した状態で、前記縁部検出センサによりそれぞれのウェハの縁部を検出することであって、それぞれのウェハの前記縁部検出が、前記搬送アーム上の前記第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタのそれぞれのエンドエフェクタの前記第2方向における前記後退位置からの前記横断によって、前記第2方向における前記後退位置からの前記横断と同時にもたらされる、それぞれのウェハの縁部を検出することと、
を含む、方法。 - それぞれのエンドエフェクタの前記第2方向の前記横断が、前記第1エンドエフェクタおよび前記第2エンドエフェクタによって同時に支持される前記複数のウェハのうち、それぞれのエンドエフェクタ上に載置される、対応するウェハを、縁部検出をもたらす前記縁部検出センサに対し直線的に搬送する、請求項11記載の方法。
- 前記縁部検出センサが、前記ウェハの縁部を検出し、それを基に、所定の基準座標系に対するウェハの位置およびミスアライメントを識別する、請求項12記載の方法。
- 前記フレームに対して前記搬送アームと一体となって移動するように前記搬送アームに取り付けられるウェハアライナを提供することをさらに含み、前記ウェハアライナは、それぞれのエンドエフェクタと協働し、前記第1のエンドエフェクタおよび第2のエンドエフェクタのそれぞれの上に載置される前記対応するウェハのウェハアライメントをもたらすように配置される、請求項12記載の方法。
- 前記搬送アームに連結された制御装置により、それぞれのエンドエフェクタの、前記縁部検出センサを通過する直線的な横断を周期的に繰り返させ、それぞれの対応するウェハの縁部検出をもたらすことをさらに含む、請求項12記載の方法。
- 前記制御装置が、前記搬送アームに取り付けられるウェハアライナと最初のウェハを係合させる前に、すべてのエンドエフェクタの前記直線的な横断を連続的に周期的に繰り返させるように構成される、請求項15記載の方法。
- それぞれのエンドエフェクタが、独立した駆動装置を有し、前記独立した駆動装置が、それぞれのエンドエフェクタの前記第2方向における独立した直線的な横断をもたらすように構成される、請求項11記載の方法。
- 前記半導体ウェハ搬送装置の前記搬送アームが、ロードポートを有する容器を備える処理装置内に位置付けられる、請求項11記載の方法。
- 前記縁部検出が、オンザフライ方式の縁部検出である、請求項18記載の方法。
- 半導体ウェハを処理する方法であって、前記方法が、
フレームに移動可能に取り付けられる搬送アームを提供することと、
複数のエンドエフェクタが、前記搬送アームと一体となって前記フレームに対し第1方向に横断し、前記搬送アームに対し前記第1方向と異なる第2方向に直線的に横断するように、前記搬送アームに複数のエンドエフェクタを設けることと、
前記複数のエンドエフェクタのそれぞれのエンドエフェクタの前記第2方向における伸長位置と後退位置との間での直線的な横断を連続的に周期的に繰り返させることであって、それぞれのエンドエフェクタの前記後退位置から前記伸長位置への前記直線的な横断を連続的に周期的に繰り返させる間に、前記後退位置において前記複数のエンドエフェクタにより同時に支持される複数のウェハがそれぞれ、連続的に入れ替えられ、前記搬送アームに取り付けられる共通縁部検出センサによって連続的にスキャンされるように、前記複数のエンドエフェクタのそれぞれのエンドエフェクタの前記第2方向における前記伸長位置と前記後退位置との間での直線的な横断を連続的に周期的に繰り返させることと、
を含む、
方法。 - 連続的な入れ替えの間に前記共通縁部検出センサによってスキャンすることにより、前記複数のエンドエフェクタによって同時に支持される前記複数のウェハのそれぞれのウェハのオンザフライ方式の縁部検出をもたらし、前記共通縁部検出センサは、前記搬送アームと一体となって前記フレームに対し移動するように、前記搬送アームに取り付けられる、請求項20記載の方法。
- 前記複数のウェハの連続的な入れ替えの完了後に、最初のウェハを、前記搬送アームに取り付けられるウェハアライナと係合させることをさらに含む、請求項20記載の方法。
- それぞれのウェハのオンザフライ方式の縁部検出が、前記搬送アーム上の前記複数のエンドエフェクタのそれぞれのエンドエフェクタの前記第2方向における前記横断によって、前記第2方向における前記横断と同時にもたらされる、請求項21記載の方法。
- 前記複数のエンドエフェクタによって同時に支持される前記複数のウェハのうち、前記エンドエフェクタ上に載置される、対応するウェハを、前記共通縁部検出センサに対し搬送するために、それぞれのエンドエフェクタを前記第2方向に直線的に横断させることによって、連続的な入れ替えの間に縁部検出をもたらすことと、
前記対応するウェハの直線的な搬送の間に、前記共通縁部検出センサを用いて前記対応するウェハをスキャンすることと
をさらに含む、請求項20記載の方法。 - 前記共通縁部検出センサを用いて、前記ウェハの縁部を検出すること、および、それを基に、所定の基準座標系に対するウェハの位置およびミスアライメントを識別することをさらに含む、請求項24記載の方法。
- 前記搬送アームに取り付けられるウェハアライナを用いて、前記エンドエフェクタ上に載置される前記対応するウェハのウェハアライメントをもたらすことをさらに含み、前記ウェハアライナおよび前記搬送アームが、前記フレームに対し、一体となって移動し、前記ウェハアライナが、それぞれのエンドエフェクタと協働するように配置される、請求項24記載の方法。
- それぞれのエンドエフェクタが、前記第2方向における独立した直線的な横断を有するように、独立した駆動装置を用いて、それぞれのエンドエフェクタを独立して駆動することをさらに含む、請求項20記載の方法。
- 前記複数のエンドエフェクタが、第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタを含み、前記方法が、前記第1エンドエフェクタおよび第2エンドエフェクタのそれぞれを、前記搬送アームに対し、独立して駆動することをさらに含む、請求項20記載の方法。
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