JP2003518733A - プレーナハイブリッドダイオード整流器ブリッジ - Google Patents

プレーナハイブリッドダイオード整流器ブリッジ

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Abstract

(57)【要約】 ハイブリッド半導体デバイスは各々上面と底面を有する4つの実質的に同一の半導体ダイオードチップを有する。各半導体ダイオードチップはそれぞれのマウンティングパッドにマウントされ、全てのマウンティングパッドは共通平面内に位置し、組立てを容易にするために、4つのチップは上部から底部への同一方向で、例えば底部を下にしてマウントされ、マウンティングパッドに電気的に接続される。一実施の形態では、デバイスの端子及びチップのマウンティングパッドは単一(「構成要素」)リードフレームのリードと一体であり、またチップの電気的相互コネクタは、リードフレームにチップをマウントした後、ワークピースに取り付けられる接合ワイヤ又は打抜き金属ジャンパからなる。金属ジャンパは、構成要素リードフレームと共に使用した別個の「ジャンパ」リードフレームに設けることができ、あるいは、ジャンパは、単一構成要素リードフレームのリードの部分からなっていてもよい。プリント回路板による実施の形態も開示される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 背景技術 本発明は、ハイブリッド半導体デバイスに関し、特に、相互接続された多数の
半導体チップを有する半導体デバイスを自動的に製造する方法に関する。
【0002】 本発明は、これに限定されるものではないが、相互接続された4つの半導体整
流チップと、ブリッジ整流器を電気回路に接続するための4つの端子とを備えた
二相(全波)のブリッジ整流器の製造に利用される。このようなブリッジ整流器
は、大量に使用され、それらの製造のために高度に自動化したプロセスが開発さ
れてきた。
【0003】 1つのプロセス、例えばダブリュフーベル(W.Heuvel)の米国特許第
5,484,097号に開示されたプロセスでは、2つの半導体チップは、2つ
のリードフレームの各々の離間した2つの支持プレートにマウントされ、2つの
リードフレームは、重ねて配置され、2つの2チップ積層体が構成される。一方
の積層体においては、チップはアノードとアノードで積層され、他方の積層体に
おいては、チップはカソードとカソードで積層されている。2つのリードフレー
ムは、チップ積層体上に位置した第3のリードフレームと共に、4つのチップと
デバイスの4つの端子間の必要な相互接続を行う。開示されたプロセスでは、単
一ブリッジ整流器が得られる。実際に、各々3リードフレームのワークピースに
おける多数の離間したデバイス位置において1つずつ多数のデバイスが同時に(
バッチ)製造される。このプロセスは、参照することによって本願に組み込まれ
る。
【0004】 このプロセスは、比較的多くの数(3つ)の別個のリードフレームが用いられ
、注意深く部品を?記録する必要があり、また、それぞれの支持プレートに個々
のチップをマウントするプロセスにおいて、各ブリッジ整流器の1対のチップを
他方の1対のチップに対して反転しなければいけない点を除いて、極めて満足で
きるものである。全てのチップは、同一であり、典型的には単一半導体ウェーハ
の一部として同時に同一に製造される。最終のチップ製造工程では、ウェーハは
個々のチップに切断され、これらのチップは、完全に分離されているが、例えば
プラスチックシートに軽く付着して平面状のチップアレイの形態のままである。
チップをリードフレームにマウントする際に、各ブリッジ整流器の2つのチップ
は、チップアレイから持ち上げられ、そして、各リードフレームのそれぞれの支
持プレートに直接搬送され、その支持プレート上に配置される。しかし、各ブリ
ッジ整流器の他の2つのチップはチップアレイから外され、上下逆にしてから他
の2つの支持プレートに搬送され、それらの支持プレート上に配置されなければ
ならない。
【0005】 半導体チップを自動的に反転するための一般的に満足できる技術は多くあるが
、特別のプロセスが一方の対のチップに対しては必要であり、他方の対のチップ
に対して必要でないという事実は、必然的に、効率が幾分損なわれ、かつ部品破
損のために製品が幾分損なわれることを意味している。本発明は、1対のチップ
を他の1対のチップに対して反転する必要を省き、そして実際に、1対のリード
積層体を形成することを省く。また、好ましくは、ただ1つのチップマウンティ
ング基板が用いられる。
【0006】 発明の開示 各々上面と底面を有する4つの同一の半導体チップは、支持プレートに含まれ
た4つの離間したマウンティングパッド上に底面を下にしてそれぞれマウントさ
れる。マウンティングパッドの2つは共通の第1の支持プレートの部分であり、
したがって、第1の支持プレートにマウントされた2つのチップの底面は電気的
に相互接続される。他の2つのマウンティングパッドは、互いに分離しかつ第1
の支持プレートから分離したそれぞれの第2の支持プレートに収められる。好ま
しい実施の形態では、全てのマウンティングパッドは1つの平面に配置され、し
たがって全てのチップもそのように配置される。第2の支持プレートはそれらの
第2の支持プレートに収められたマウンティングパッドより大きく、そして各支
持プレートは接合表面を露出しており、接合表面は、それの接合パッドにマウン
トしたチップの底面に電気的に接続される。各第2の支持プレートの各接合表面
と第1の支持プレートにマウントしたそれぞれのチップの上面との間にそれぞれ
の第1の電気的相互コネクタが設けられる。したがって、2つの第2の支持プレ
ートにマウントした2つのチップの底面は、第1の支持プレートにマウントした
2つのチップのそれぞれの上面に接続される。それぞれの第2の支持プレートに
マウントした2つのチップの上面間に第2の電気的相互コネクタが設けられる。
したがって、4つのチップは、ブリッジ整流器の形態で互いに適当に相互接続さ
れる。デバイスの4つの端子は、第1の支持プレートに接続した第1の端子と、
それぞれの第2の支持プレートに接続した第2及び第3の端子と、第2の支持プ
レートの1つにマウントしたチップの1つの上面に接続した第4の端子とを備え
ている。
【0007】 本発明の第1の特徴によれば、1つの「第1」支持プレート及び2つの「第2
」支持プレートを含む3つの支持プレートは、3つのプリント導電路を備え、デ
バイス端子として機能し、それぞれ支持プレートと接触して延びるプリント回路
板の表面上の3つの導電性領域からなる。デバイスの第4の端子として機能する
第4のプリント導電路は、電気的相互コネクタが1つの支持プレートにマウント
したチップの上面に第4の端子を電気的に接続する第2の支持プレートの1つに
隣接して延びている。周知のプリント回路板技術を用いることにより、ブリッジ
整流器の形態を構成するのに必要な種々の電気的相互コネクタは、デバイスの製
造中に加えられる周知のワイヤボンド、又は多層プリント回路板の直埋めにより
、予め形成された導体としてもよい。代わりに、電気的相互コネクタは、本発明
の第2の特徴に関連して開発した打抜き金属「ジャンパ」としてもよい。
【0008】 本発明の第2の特徴によれば、4つのマウンティングパッドを配置する3つの
支持プレートは、3つのリードの長さ方向に沿って配置され、3つのリードは、
マウンティングパッドの1つに向かって延びる第4のリードと共に、単一のリー
ドフレームの全ての一体部分である。4つのチップをそれぞれのマウンティング
パッドに接合し、そしてブリッジ整流器を形成するのに必要な電気的相互接続を
行った後、4つのチップ及び4つのリードの長さの一部はハウジング内に収容さ
れる。ハウジングから延びるリードの部分は互いにかつリードフレームから切断
され、ブリッジ整流器の外部に延びる端子を形成する。電気的相互コネクタは周
知のワイヤボンド又は好ましくはそれら自体リードフレームの部分として設けら
れる予め形成された金属ジャンパによって形成される。
【0009】 発明を実施するための最良の形態 図1は、周知のブリッジ整流デバイス8の回路図であり、このブリッジ整流デ
バイス8は、同一の4つの半導体ダイオードチップ10、12、14、16を備
えている。2つのチップ10、12はカソードとカソードで接続され、チップ1
4、16はアノードとアノードで接続され、各対のチップ間の各相互接続は、そ
れぞれの回路ノードA、B、C、Dにおいて行われている。図1に示すようなデ
バイスの使用においては、デバイスのノードC、D間には負荷L(例えば抵抗)
が接続され、デバイスのノードA、B間にはAC電源が接続される。デバイスの
動作により、ノードA、B間に印加されるAC電圧の瞬時の極性に関係なく、負
荷Lを通って常に同じ方向に電流が流れる。(図1に示す回路構成は周知である
。米国特許第5,484,097号の主題は、参照することにより本明細書に組
み込まれるが、この米国特許の図1に示す回路構成は正しくなく、米国特許の図
2に示す回路構成が、米国特許の他の記載事項と矛盾せずに正しく、一方の対の
チップはカソードとカソードで積層され、また他方の対のチップはアノードとア
ノードで積層されることが認められる。)
【0010】 典型的には、ブリッジ整流器8に用いられる4つの半導体ダイオードチップは
、実際に標準の製造プロセスの場合のように互いに同一であるが、他の典型的な
周知のデバイスでは、各チップ、例えば図1に示すチップ12は、図2に示すよ
うになっている。チップは、チップを横切って全体的に拡がる平面内に位置しか
つチップの側面22と交差するp−n接合20を備えている。チップの対向面に
は金属電極24、26が設けられ、パッシベーション材料、代表的にはガラスの
層28は、チップの側面22の上方部分(及びp−n接合)を覆い、環状リング
の形態でチップの「上方」の面30上に延びている。また、図2には、2つのチ
ップ電極24、26にそれぞれ接続された端子34、36が示されている。これ
らの端子34、36は、上述の米国特許におけるリードフレームと同様なリード
フレーム(図示していない)からのリードからなり、典型的には、リードはチッ
プ電極に半田付けされる。
【0011】 図2において、チップ12の上方表面部分はP型導電性であり、したがって、
電極24はダイオードチップ12のアノードであり、また、電極26はダイオー
ドのカソードである。チップ12は「カソード側を下にして」マウントされて示
されている。
【0012】 パッシベーション層28は、チップ底部の電極26上には延びておらず、した
がって、チップ底部の電極26は、チップ底部に完全に露出している。この結果
、底部端子36は、連続した平坦な表面38を有することができる。なお、チッ
プの上面30において、本質的には、上部端子34はチップの上面30に位置す
るパッシベーション層28と接触していない。これを保証するために、上部端子
34には、パッシベーション層28と接触することなく、金属製の電極24と接
触するパッシベーション層表面の環状の中央開口部内に突出した十分小さな直径
の関連円形のディンプル40が設けられている。
【0013】 ディンプル付き端子34の使用には2つの問題がある。1つの問題は、平坦な
端子にディンプルを設けるのに費用がかかることである。他の問題は、環状の層
28内にディンプル40を適切に中心決めして、チップ上における端子34の初
期組立て時から端子を電極24に堅固に半田付けするときまでディンプルの位置
を維持することにある。後で説明するように、本発明の特徴は、チップの上部端
子を取り付ける改良された比較的信頼できる手段を用いることにある。
【0014】 上述の米国特許に示されている従来技術の組立て方法の別の問題は、前に述べ
たように、各ブリッジ整流デバイスにおける2つのチップに対して各ブリッジ整
流デバイスにおける他の2つのチップを反転する必要があることにある。(別の
問題は、チップを積層して2チップ積層体を形成することが必要であることにあ
る。)1つの周知の方法では、チップは振動ボールによってバッチで反転され、
振動ボールはチップの上面と底面の非対称性に基づいてチップを独特に方向決め
する。図2に示すチップは単にチップ上面30上のパッシベーション層28の存
在に関して非対称であるので、一貫した方向決め結果は、上部の金属電極にのみ
ある量の半田を添加した場合に得られ、したがって、上部と底部との非対称性が
さらに増すことになる。特別な量の半田を添加するステップは、プロセスのコス
トを高くし、しかも製品を複雑化しかつ避けられない損失させることになる。 (説明を完全にするため、実際には、半田付けステップ中に、半田内に固体銅ボ
ールを加えて固体銅ボールの形状を保持することが認められる。個体銅ボールを
用いると、半田接合の最小部の厚さが、パッシベーション層リング28の厚さ(
高さ)よりも大きくなる。厚い半田接合はリング28に対して上部端子を分離し
、したがって、端子にディンプルを設ける必要はない。) 本発明によれば、あるチップを他のチップに対して反転することは行われず、
したがって特別の上方半田は必要でない。また、チップは互いに積層されず、し
たがって製造中のチップ配置ステップを簡素化する。
【0015】 次に、本発明の一実施の形態について説明する。図3には、例えばエポキシ樹
脂又はベリリアセラミック及び好ましくは熱伝導率の相対的に高い絶縁材料の「
ボード」又は基板からなる周知型のプリント回路板50を示す。基板50の表面
52には、支持プレートとして記載される多数の離間した導電性領域にパターン
形成した金属(典型的には銅)の層及び相互接続用の導電路が配置される。1つ
の支持プレート54はマウンティングパッド56、58と呼ばれる2つの円形領
域を有し、これらのマウンティングパッド56、58はプリント路60によって
互いに電気的に接続される。(スペースを節約するため、方形チップでは方形領
域を用いることができる。なお、円形領域はマウンティングパッドにおけるチッ
プを配置するのに精度をほとんど必要でない。)基板表面52には、また2つの
他の支持プレート62、64が設けられ、これらの各プレートはそれぞれ一般に
円形のマウンティングパッド66、68からなり、そして各プレートはそれぞれ
のマウンティングパッド伸張部70を備えている。
【0016】 図2に示すチップ12のような4つの同一半導体チップ10、12、14、1
6は、それぞれのマウンティングパッド56、58、66、68上に、上部から
底部の同一方向で固定的にマウントされ、すなわち、チップの「底部」(カソー
ド)電極26(図2)はマウンティングパッドに対向しこれらのマウンティング
パッドに固定される。プリント回路板におけるマウンティングパッド上への半導
体チップのマウンティング及び接合は周知である。典型的には、記載したように
、チップは適位置に半田付けされる。他の周知のチップ接着手段を用いることが
できる。
【0017】 導電路72、74、76はそれぞれの支持プレート54、62、64の伸張部
であり、それらの支持プレートから離れて延びている。簡単に説明すると、これ
らの導電路はブリッジ整流デバイスの端子の3つとして機能する。デバイスの第
4の端子は、支持プレート62に近接して終端するが支持プレート62に接続さ
れないプリント回路78からなる。どちらかと言えば、プリント回路78の端部
80は例えばワイヤ82によって、支持プレート62にマウントしたチップ14
の上面38に接続される。電気的に相互接続する導電性表面に対するワイヤの接
合は半導体技術において周知である。
【0018】 それぞれ支持プレート62、64にマウントしたチップ14、16の上面38
を互いに電気的に接続するためにワイヤ接合84が用いられ、そして支持プレー
ト54にマウントしたそれぞれのチップ10、12の上面に2つの支持プレート
62、64の2つのマウンティングパッド伸張部70を電気的に相互接続するた
めにワイヤ接合86、88が用いられる。
【0019】 4つの全てのチップ10、12、14、16がカソード電極を下にしてマウン
トされると仮定すると、容易に分かるように、図3に示す4つのチップは図1に
示す回路図における4つのチップに対応している。したがって、これら両図面に
おける2つのチップ10、12はカソードとカソードで(共通支持プレート54
を介して)接続され、一方、2つのチップ14、16はアノードとアノードで(
ワイヤ接合84を介して)接続される。また、チップ10のアノードはチップ1
4のカソードに接続され、またチップ12のアノードはチップ16のカソードに
接続される。チップ10、12のカソードに接続した導電路72(図3)は図1
におけるノードCに相応している。図3におけるチップ14、16のアノードに
(接合ワイヤ82、84を介して)接続した導電路78は図1におけるノードD
に相応している。図3におけるチップ14のカソード及びチップ10のアノード
に(接合ワイヤ86を介して)接続した導電路74は図1におけるノードAに相
応している。さらに、チップ16のカソード及びチップ12のアノードに接続し
た図3における導電路76は図1におけるノードBに相応している。(図1に示
す回路において、端子Cは印加電圧の極性に対して端子Dに対して常に正である
。4つのチップが全てアノード側を下にしてマウントされる場合、端子Cは端子
Dに対して常に負である。)
【0020】 図3は本発明の好ましい使用においてプリント回路板の表面に組み立てられた
1つのブリッジ整流デバイスの要素を示しているが、図3に示す導電性領域(及
び接合ワイヤ)のパターンはプリント回路板の表面にわたって離間した関係で同
一に繰り返される。各パターンすなわちデバイス「セル」はセルの縁部(破線9
0で示す)まで延びそれらの縁部で終端する4つの導電線路72、74、76、
78でセル内に中心にマウントした3つの支持プレート54、62、64からな
る。
【0021】 4つのチップは図3に示すように、各セルにマウントされかつ各セル内で電気
的に相互接続され、また個々のブリッジ整流デバイスを製造するために、4つの
チップを含みかつワイヤ接合を相互接続する各セルの中心部分は各デバイスのハ
ウジングを構成するために周知のプラスチック成型技術を用いてプラスチック包
装される。したがって、各デバイス(図4)は、基板の表面に沿ってハウジング
から外方向に延びる4つの導電性端子路を有する相互接続された4つのチップを
収納するプラスチックハウジング92内に収納された開始プリント回路板の部分
を備える。さらに、回路ボードは個々のブリッジ整流デバイスを分離するために
縁線90に沿って切断される。
【0022】 前に説明したように、上述の米国特許に開示された方法における2つの問題は
、1対のチップを第2の対のチップに対して反転する必要があること及び2つの
2チップ積層体を形成する必要があることにある。なお、図3に示す方法では4
つ全てのチップは、上部から底部への同一方向でかつ横方向に離間して配置され
、それにより従来技術の2つの問題は避けられる。
【0023】 図3に示す実施の形態では、周知型のワイヤ接合か゛用いられる。このような
ワイヤ接合の利点は、極めて小さな接合領域に極めて細いワイヤを正確に接合で
きる点にある。したがって、上部電極24がパッシベーション材料の環状層28
で包囲されている図2に示す構造では、ワイヤ接合は、接合ワイヤがパッシベー
ション層28と接触する虞がなく、金属電極24に確実に接続することができる
【0024】 なお、ワイヤ接合の欠点は、比較的高価(材料、機器及び処理時間に関して)
であり、またワイヤの細さに依存して通常では比較的低電力デバイスに用いられ
る点にある。
【0025】 図5に示す本発明の別の実施の形態では、同一のプリント配線板50が用いら
れるが、ワイヤ接合は、予め形成された剛性「ジャンパ」に代えられる。図5並
びに図6及び図7には2つの形式のジャンパ(「単一」及び「二重」)を示し、
これら両方のジャンパは金属からなり、そして好ましくは周知の金属打抜き及び
二次成型法によって形成される。最も有利には、ジャンパは貯蔵及び使用の有利
さのために別個のリードフレームの部品としてバッチ形成される。
【0026】 「二重」形式の第1のジャンパ184(図6)は、3つの関連脚部184a、
184b、184cを有するほぼW型のものであり、中間の脚部184b及び一
端の脚部184cは同じ長さであり、しかも他端の脚部184aより短い。3つ
の全ての脚部はそれぞれの接合パッド184d、184e(端部脚部184a、
184cの端部における)及び184f(中間の脚部184bの端部における)
で終端している。図5において、ジャンパ184は、プリント回路板ワークピー
スと接触したとき、図3のワイヤ接合84の代わりをし、2つのチップ14、1
6のアノードを(第1の「ジャンパ」で)相互接続し、そしてチップ14のアノ
ードを導電路78に(第2の「ジャンパ」で)接続する。図示していないが、予
め方向決めしたジャンパ184を、貯蔵トレイから(又はジャンパのリードフレ
ームにジャンパを保持している弱いリンクからジャンパを切り取ることによって
ジャンパのリードフレームから)把持し、そしてジャンパをワークピース上の適
位置に搬送し正確に配置するために、周知の自動「ピックアンドプレイス」位相
機構(ロボットアーム及びハンドと同等のもの)を用いることができる。このよ
うにして配置される際に、ジャンパの脚部184b、184cは、それぞれのチ
ップ14、16のパッシベーション層リング28内で位置心決めされ、それぞれ
のジャンパ接合パッド184f、184eはチップの上部金属電極24に着座し
、ジャンパ接合パッド184dは導電路78の端部80に着座する。
【0027】 ジャンパ184は、好ましくは、2つのチップ電極24及び導電路78に半田
付けされ、この目的で、ジャンパを配置する前に、金属電極及び導電路に半田ペ
ーストの小さなドットが置かれる。代わりに、半田ペーストに代えて、固着機能
を果たす導電性接着材が用いられる。
【0028】 「単一」形式のジャンパも図5及び図7に示されている。このような2つのジ
ャンパ186、188は、それぞれ2つのチップ10、12のアノード電極24
に2つの支持プレート62、64のマウンティングパッドの伸張部70を接続す
るのに用いられる。二重ジャンパ184の2つの脚部184a、184bと同様
に、ジャンパ186、188の2つの脚部は、プリント配線板50の表面におけ
る導電性領域70(露出したマウンティングパッド伸張部)及びそれぞれのチッ
プ10、12におけるアノード電極24にそれぞれ接合されるそれぞれの対のマ
ウンティングパッド(186d及び186f並びに188d及び188f)に終
端する。2つの単一ジャンパ186、188は二重ジャンパ184と同じように
ピックアップされ、搬送され、適位置に配置され、固定される。
【0029】 説明してきたように、予め形成された金属ジャンパはワイヤ接合に勝るある利
点をもたらす。金属条片のジャンパは普通、比較的高い電力処理容量を有し、そ
して特にバッチ組立てプロセスで組み立てられる場合には、ワイヤ接合より安価
に使用できる。
【0030】 また、ジャンパは、パッシベーション層リング28の中心に延び、金属電極2
4と接触するディンプル40を含む前述(図2)の端子34に好適である。ディ
ンプルを設けることは比較的高価であり、さらに悪いことには、典型的な例えば
打抜き、ディンプリング方法で形成したディンプルの長さは比較的小さい。した
がって、ディンプルの高さが比較的低いために、パッシベーション材料リング2
8内にディンプル40を適切に中心決めしても、ディンプル付き端子リード34
の下面34aとパッシベーションリング28との間の隙間は、ディンプル上を流
れて、端子リード34の下面34aに沿って拡がる半田によって橋絡できるよう
に小さい。
【0031】 このような半田による橋絡の問題は種々のジャンパ184、186、188を
用いて単にこれらのジャンパの脚部を十分に長くして、ジャンパの脚部相互接続
部分(例えば図6におけるジャンパ184の部分184g)がパッシベーション
リング28の十分上方に離間されるようにすることによって容易に避けられる。
長い脚部を有する予め形成された金属ジャンパを設けることは、周知のディンプ
ル形成方法を用いて相応して長いディンプルを設ける場合より相当に容易である
【0032】 図示していないが、プリント配線板にマウントした種々の構成要素の電気的相
互接続及び端子を設けるため「直埋め」導電性層を用いた「積層」型のプリント
配線板は周知である。本発明は、このような積層型のプリント配線板を用いて実
施でき、その場合、「直埋め」相互接続は、図3に示す種々のワイヤ接合及び図
5に示すジャンパの代わりに用いることができる。
【0033】 本発明の別の(好ましい)実施の形態は図8及び図9に例示され、図8及び図
9には上述の米国特許第5,484,097号に開示されたバッチ式製造法で使
用した3つのリードフレームの任意の1つとほぼ同様な単一リードフレーム20
0を示す。上述の米国特許に開示されているように、リードフレームは半導体工
業において周知であり、多くの形式をとるが、一般には、相互接続したリードの
フィリグリに打ち抜きした(エッチングした)平坦な金属シートからなる。図8
及び図9に示す実施の形態では、単一リードフレーム200は細長い金属シート
からなり、この細長い金属シートは開口206を有する1対の細長い平行レール
204で画定され、それによって、リードフレームは正確に位置決めされ、そし
て前進される。側部レール204間に交差バー208が延び、これらの交差バー
208から、種々の片持ち型リードが延びている。図8には、単一整流器を製造
するのに用いられた一群の片持ち型リードを示す。図9に示すように、図8に示
すリードの群はリードフレーム200に設けられた多数の同一リード群の1つで
ある。本発明の一実施の形態では、図8に示すリード群は、各リードフレームに
おいてバッチ式で製造される総数144個の整流器の場合、8列、18行のアレ
イで繰り返される。一般に、ここで説明した(特に1つのリードフレーム及び4
つの離間した同一に方向決めしたチップの使用)を除いて、米国特許第5,48
4,097号に開示された方法及び装置は本発明の使用において用いることがで
きる。
【0034】 図8及び図9に示すリードフレーム構造は図5に示す同一ジャンパを用いて図
3及び図5に示す導電性領域のパターンにほとんど正確に対応している。このた
め、図8及び図9に示す要素と同様であるが同一ではない要素を表す図3及び図
5で用いた番号を図8及び図9において文字「a」を付けて用いる。したがって
、図5には完成整流器の端子として働く4つの導電路72、74、76、78を
示しているが、図8及び図9は、完成整流器の端子として働く4つの片持ち型リ
ード72a、74a、76a、78aを示す。図5において、全ての導電性領域
は剛性基板50の表面に配置される。図8及び図9において、種々の片持ち型リ
ード72a、74a、76a、78aは自己支持リードフレーム(例えば8×1
4インチの厚さ10ミルの銅製の)の部分であり、リードフレームの後で除去さ
れる部分に固定される。
【0035】 前に説明したように、種々の片持ち型リードはリードフレームの平行な側部レ
ール204間に延びる交差バー208から延びている(図9)。1つの交差バー
208から延びている各対のリード(例えばリード72a−78a及び74a−
76a)は、ダムバーとして(後で説明するようにデバイスの収納中に)機能す
る別の連続バー208aによって相互接続される。2つのダムバー208aはリ
ードフレームに大きな機械的強度を付与するのに有用である。
【0036】 図5の構成のように、片持ち型リード72a(図8)は2つの拡大マウンティ
ングパッド56a、58aを互いに接続する「支持プレート」54aと一体であ
る。ここに例示した実施の形態では、図5の構成で用いたものと同一の半導体チ
ップが図8及び図9の構成において使用され、また種々のマウンティングパッド
、それらパッドにマウントしたチップ及び図5の整流器構成要素を電気的に相互
接続するために使用したジャンパについての説明は図8及び図9の実施の形態に
実質的に同一に適用できる。
【0037】 2つのワークピースの性質上、ある一定の製造上の違いは存在するが、そのよ
うな製造上の違い及び適当な製造プロセスは、関連した製造技術における作業者
には知られている。チップのマウンティングの間、例えば、図5の構成における
剛性基板50は、機械的支持体として働いている。図8及び図9の構成では、リ
ードフレームは、チップ(及びジャンパ)マウンティング圧力が加えられること
になる全てのリードフレーム部品に対する機械的支持体及びリードフレームの正
確な方向決めと位置決めとの両方を行う適当な固定具内に配置される。
【0038】 図8にはジャンパと接触する構成要素との分解した関係において種々のジャン
パ184、186、188を示している。全ての部品が適位置に半田付けされた
ジャンパとの組立て関係にあるとき、構成要素の各ワークピース群はほぼ図3(
ワイヤ接合よりむしろジャンパ相互接続が示されている)に示すようになる。
【0039】 図8(及び図5)に示す種々のジャンパは好ましい相互コネクタであるが、こ
れらのジャンパを図3に示すようなワイヤ接合に代えることができる。
【0040】 したがって、上述の米国特許に開示されているように、構成要素の各群(例え
ば例示したリードフレームワークピースにおける144個の群)は、構成要素群
をリードフレームに固定したまま成型プラスチックハウジング内に収納される(
図10)。図9において、点線ボックスHを用いてリードフレームにおける構成
要素の各群のどの部分が収納されるかを示している(各群内の構成要素は図8に
示す4つのチップと3つのジャンパ又は用いられる場合に図3に示すようなワイ
ヤ接合を含んでいる)。図8及び図9と図10を比較すると分かるように、4つ
のリード72a、74a、76a、78aの単純2並行な部分はハウジング92
aから延び、ダムバー208aはハウジングの外面に近接して外側に配置されて
いる。
【0041】 リードフレームにマウントした種々の構成要素をプラスチック容器に収納する
ためにダムバーを用いることは周知であり、ダムバーの機能は、収納すべき構成
要素の配置される空洞から加圧の下で射出プラスチック成型材料が逃げるのを制
限することにある。収納されないリード部分は、空洞画定型の壁を通る開口を通
って延び、周知のように、ダムバー208aは、外方向に延びる整流器端子上に
逃げる材料が拡がるのを阻止するために空洞壁開口を通って成型材が逃げるのを
制限する。
【0042】 容器に収納した後、各デバイスは図10に示す点線210に沿ってリードフレ
ームを介して切断することによりリードフレームから切り離される。
【0043】 前に述べたように、図8に示す構成要素のリードフレーム群は本質的には図3
及び図5に示すプリント回路板50の絶縁性ボード上に支持した導電性領域の自
己支持形態である。なお、当業者には認められるように、プリント回路板技術は
リード線技術とは全く別であり区別される。図3及び図5に示す実施の形態と図
8に示す実施の形態との同様な部分の記載事項は発明の開示の部分であり、実際
に、図3及び図5に示す実施の形態はリードフレーム実施の形態の従来の発展の
「一般化」と言える。
【0044】 前に説明したように、相互接続のために用いた種々のジャンパ(例えば図6及
び図7に示すジャンパ184、186)は、典型的には、チップを適位置に半田
付けした後、ワークピースに取り付けられる個々の別個の部品である。ジャンパ
は、例えば、適位置にマウントするためにロボット型アームによって自動的に把
持されるようにトレイ内に配置することができる。
【0045】 効率をより高めるためには、ジャンパを、例えば図9に示すリードフレーム2
00と一緒に用いるためにリードフレームの部品として設けることも可能である
。1つの構成では、例えば、図9に示すリードフレーム200上の適位置にチッ
プを半田付けした後、ワークピース上のデバイス位置に相応した多数のジャンパ
位置を有する別個の「ジャンパ」リードフレーム(図示していない)がリードフ
レーム200上に配置される。各ジャンパ位置には、ジャンパリードフレームの
共通部分から延びる3つの好ましくは片持ち型リードを備え、各リードは図8に
示すそれぞれのジャンパ184、186、188として形成される。リードフレ
ーム200上の各デバイス位置において相互接続されるべき相応した構成要素と
各ジャンパ位置における種々のジャンパとを整列するためにこのように配置した
ジャンパリードフレームでは、それぞれのジャンパの接合パッドを相応した構成
要素接合面に対して押圧するためジャンパリードフレーム上に、下向きに垂れ下
がった指状体を有する上部ジグが配置される。ジャンパを構成要素に半田接合(
超音波溶接など)するために加熱した後、ジャンパリードフレームは、ワークピ
ース上の適位置に別個の相互接続ジャンパを残すために固着したジャンパから切
断又は分離される。
【0046】 図11及び図12に示すさらに別の実施の形態では、必要な全てのジャンパは
、典型的な打抜き又はエッチング法などにより形成したリードフレーム200a
の平面に全て最初に位置している特別の片持ち型「ジャンパ」リード184a、
186a、188aとして書くデバイス位置に包含される。
【0047】 そして、全てのチップをそれぞれの接合パッド56a、58a、62a、64
a上の適位置にマウントした後、デバイス構成要素間を相互接続するために特別
のジャンパリード184a、186a、188aは図12に示すように折り畳ま
れる。(チップの上面(図2)に適切に接触させるために図6に184f、18
4eで示すような「ディンプル形」関連接合パッドを設けるためには特別のジャ
ンパリード184a、186a、188aを付加的に形成する必要があるが、例
えばアノード側を下にしてチップをマウントする場合にはそのような形成は必要
でない。)ジャンパリード184a、186a、188aを折り畳んで適位置に
接合した後、前に説明したようにデバイスは完成され得る。
【図面の簡単な説明】
図面は概略的なものであり、必ずしも同じスケールではない。
【図1】 周知のブリッジ整流デバイスの回路図である。
【図2】 1対の端子間に半田付けされ、端子の1つが関連ディンプルを備えている周知
の半導体ダイオードチップの側面図である。
【図3】 図1に示す回路図に従ってワイヤボンドによって本発明に従い相互接続した4
つの半導体チップを示すプリント回路板の部分の斜視図である。
【図4】 外方向に延びるデバイス端子を除いてデバイスの構成要素を収容するハウジン
グを備えた図3に示す部分の平面図である。
【図5】 プリント回路板ワークピース、打抜き金属「ジャンパ」電気的相互コネクタと
の関係を分解して示す図3と同様な斜視図である。
【図6】 図5に示すジャンパの2つをプリント回路板ワークピースに接合した状態で示
す側面図である。
【図7】 図5に示すジャンパの2つをプリント回路板ワークピースに接合した状態で示
す側面図である。
【図8】 ワークピースとの関連を分解して示す金属ジャンパによって第2の実施の形態
に従い相互接続した4つのチップを示すリードフレームの部分の斜視図である。
【図9】 図8に示す単一群のような多数のリード群を含むリードフレームワークピース
の部分の平面図である。
【図10】 リードフレームワークピース上の1つの位置における単一ブリッジ整流器の構
成要素を収容するハウジングを示す図9と同様な平面図である。
【図11】 ワークピースリードフレームと一体のジャンパを用いた1つのワークピース構
成要素位置を示す平面図である。
【図12】 ワークピースリードフレームと一体のジャンパを用いた1つのワークピース構
成要素位置を示す平面図である。
【手続補正書】
【提出日】平成15年2月5日(2003.2.5)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW,ML, MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,K E,LS,MW,MZ,SD,SL,SZ,TZ,UG ,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD, RU,TJ,TM),AE,AG,AL,AM,AT, AU,AZ,BA,BB,BG,BR,BY,BZ,C A,CH,CN,CR,CU,CZ,DE,DK,DM ,DZ,EE,ES,FI,GB,GD,GE,GH, GM,HR,HU,ID,IL,IN,IS,JP,K E,KG,KP,KR,KZ,LC,LK,LR,LS ,LT,LU,LV,MA,MD,MG,MK,MN, MW,MX,MZ,NO,NZ,PL,PT,RO,R U,SD,SE,SG,SI,SK,SL,TJ,TM ,TR,TT,TZ,UA,UG,UZ,VN,YU, ZA,ZW

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 各々上面と底面を有する実質的に同一の4つの半導体ダイオー
    ドチップを備える半導体デバイスの製造方法において、 a)上記4つの第1、第2、第3及び第4の半導体ダイオードチップを、底面
    を下にして、それぞれのチップマウンティング用のパッドと電気的に接続するよ
    うにマウントし、上記パッドの第1及び第2のパッドを互いに一体的に接続して
    上記第1及び第2のパッドにマウントされた第1及び第2の半導体ダイオードチ
    ップの底面を電気的に相互に接続するステップと、 b)第3のパッドにマウントされた第3の半導体ダイオードチップの上面を第
    4のパッドにマウントされた第4の半導体ダイオードチップの上面に電気的に相
    互接続するステップと、 c)上記第3及び第4のパッドを上記第1及び第2の半導体ダイオードチップ
    の上面にそれぞれ電気的に相互に接続するステップと、 d)相互に接続された上記第1及び第2のパッドに第1のデバイス端子を電気
    的に接続するステップと、 e)第2及び第3のデバイス端子を上記第3及び第4のパッドにそれぞれ電気
    的に相互に接続するステップと、 f)上記第3及び第4の半導体ダイオードチップを電気的に相互接続する上面
    の1つに第4のデバイス端子を電気的に相互接続するステップとを有する半導体
    デバイスの製造方法。
  2. 【請求項2】 上記マウントするステップの前に、上記第1、第2、第3及び
    第4のマウンティングパッドを同一平面上に配置するステップを有する請求項1
    に記載の半導体デバイスの製造方法。
  3. 【請求項3】 上記一体的に接続された第1及び第2のパッド、第3及び第4
    のパッド、第1、第2及び第3のデバイス端子並びに第4のデバイス端子の一部
    をプリント回路板の表面に導電性領域として形成するステップを有する請求項1
    に記載の半導体デバイスの製造方法。
  4. 【請求項4】 第1、第2及び第3のデバイス端子導電性領域が、上記一体的
    に接続された第1及び第2のパッド並びに上記第3及び第4のパッドにそれぞれ
    一体的に接続されることを特徴とする請求項3に記載の半導体デバイスの製造方
    法。
  5. 【請求項5】 上記一体的な接続以外の上記電気的相互接続がワイヤボンディ
    ングで行われる請求項4に記載の半導体デバイスの製造方法。
  6. 【請求項6】 上記一体的な接続以外の上記電気的相互接続が、表面を電気的
    に相互接続する予め形成された金属ジャンパをブリッジング接合関係に配置する
    ことによって、行われることを特徴とする請求項4に記載の半導体デバイスの製
    造方法。
  7. 【請求項7】 上記一体的に接続された第1及び第2のパッド、上記第3及び
    第4のパッド、上記第1、第2及び第3のデバイス端子並びに第4のデバイス端
    子の一部を、単一リードフレームにおける多数の同一リード群の1つを形成する
    片持ち型リードの一体部分として形成するステップを有することを特徴とする請
    求項1に記載の半導体デバイスの製造方法。
  8. 【請求項8】 上記第1、第2及び第3のデバイス端子が、上記一体的に接続
    された第1及び第2のパッド並びに上記第3及び第4のパッドを含むそれぞれ第
    1、第2及び第3のリードの部分であることを特徴とする請求項7に記載の半導
    体デバイスの製造方法。
  9. 【請求項9】 上記一体的な接続以外の上記電気的相互接続がワイヤボンディ
    ングで行われる請求項8に記載の半導体デバイスの製造方法。
  10. 【請求項10】 上記一体的な接続以外の上記電気的相互接続が、表面を電気
    的に相互に接続する予め形成された金属ジャンパをブリッジング接合関係に配置
    することによって、行われることを特徴とする請求項8に記載の半導体デバイス
    の製造方法。
  11. 【請求項11】 電気的相互接続ステップb)、c)、f)が、上記リードフ
    レームで画定される平面内に位置する各片持ち型リードを上記平面から外して表
    面を電気的に相互接続したブリッジング接合関係に曲げることによって、行われ
    ることを特徴とする請求項8に記載の半導体デバイスの製造方法。
  12. 【請求項12】 各々上面と底面を有する実質的に同一の4つの半導体ダイオ
    ードチップであって、各半導体ダイオードチップの底面がそれぞれの導電性マウ
    ンティングパッドにマウントされ、上記パッドの第1及び第2のパッドが互いに
    一体的に接続されて上記第1及び第2のパッドにそれぞれマウントされた第1及
    び第2の半導体ダイオードチップの底面を電気的に相互に接続する上記4つの半
    導体ダイオードチップと、 上記第3及び第4のマウンティングパッドにそれぞれマウントされた第3及び
    第4の半導体ダイオードチップの上面間に延びかつそれら上面を電気的に相互接
    続する第1のコネクタと、 上記第1及び第2の半導体ダイオードチップの上面間に延びかつ上記第1及び
    第2の半導体ダイオードチップの上面を第3及び第4のマウンティングパッドに
    電気的に相互接続する第2及び第3のコネクタと、 一体的に接続された上記第1及び第2のパッドに電気的に接続した第1のデバ
    イス端子と、 それぞれ上記第3及び第4のパッドに電気的に接続した第2及び第3のデバイ
    ス端子と、 上記第3及び第4の半導体ダイオードチップの上面に電気的に接続した第4の
    デバイス端子とを備えるハイブリッド半導体デバイス。
  13. 【請求項13】 上記第1、第2、第3及び第4のマウンティングパッドが同
    一平面上にあることを特徴とする請求項12に記載のハイブリッド半導体デバイ
    ス。
  14. 【請求項14】 上記第1、第2、第3及び第4のマウンティングパッドがプ
    リント回路板の表面の導電性領域からなることを特徴とする請求項13に記載の
    ハイブリッド半導体デバイス。
  15. 【請求項15】 第1、第2及び第3のデバイス端子並びに第4のデバイス端
    子がプリント回路板上の導電路からなることを特徴とする請求項14に記載のハ
    イブリッド半導体デバイス。
  16. 【請求項16】 第1、第2及び第3の導電路が、一体的に接続された上記第
    1及び第2のマウンティングパッド並びに上記第3及び第4のマウンティングパ
    ッドにそれぞれ一体的に接続されることを特徴とする請求項15に記載のハイブ
    リッド半導体デバイス。
  17. 【請求項17】 上記第4の導電路が、上記第3及び第4のマウンティングパ
    ッドの一方に隣接し、かつそのパッドから離間して延びるとともに、上記第4の
    デバイス端子と上記第3及び第4のマウンティングパッドの一方上の半導体ダイ
    オードチップの上面との間に延びる予め形成された剛性コネクタを備えることを
    特徴とする請求項16に記載のハイブリッド半導体デバイス。
  18. 【請求項18】 半導体デバイスをバッチ製造するためのワークピースにおい
    て、 各々上面と底面を有する実質的に同一の4つの半導体ダイオードチップを有し
    、各半導体ダイオードチップの底面がそれぞれの導電性マウンティングパッドに
    マウントされ、上記パッドの第1及び第2のパッドが互いに一体的に接続されて
    上記第1及び第2のパッドにそれぞれマウントされた第1及び第2の半導体ダイ
    オードチップの底面を電気的に相互接続する、個々に及び同一のデバイスが製造
    される多数の同一のデバイス位置を含むリードフレームと、 第3及び第4のマウンティングパッドにそれぞれマウントされた第3及び第4
    の半導体ダイオードチップの上面間に延びかつそれら上面を電気的に相互に接続
    する第1のコネクタと、 上記第1及び第2の半導体ダイオードチップの上面間に延びかつ上記第1及び
    第2の半導体ダイオードチップの上面を第3及び第4のマウンティングパッドに
    電気的に相互に接続する第2及び第3のコネクタと、 一体的に接続した上記第1及び第2のパッドに電気的に接続した第1のデバイ
    ス端子と、 それぞれ上記第3及び第4のパッドに電気的に接続した第2及び第3のデバイ
    ス端子と、 第4のコネクタによって、上記第3及び第4の半導体ダイオードチップの電気
    的に接続された上面と、上記一体的に接続された上記第1及び第2のパッドと、
    上記第3及び第4のパッドと、上記第1、第2及び第3のデバイス端子と、全て
    のデバイス位置を相互接続する上記リードフレームの共通部分に接合された各々
    のデバイス位置における片持ち型リードの様々な部分含む上記第4のデバイス端
    子の一部とに電気的に接続される第4のデバイス端子とを備えるワークピース。
  19. 【請求項19】 上記第1、第2及び第3のデバイス端子が、上記一体的に接
    続された第1及び第2のパッド並び第3及び第4のパッドをそれぞれ含むそれぞ
    れ第1、第2及び第3のリードの部分であることを特徴とする請求項18に記載
    のワークピース。
  20. 【請求項20】 上記リードフレームが第1の平面に位置し、上記コネクタが
    上記第1の平面上に位置して、電気的に相互接続すべきそれぞれの表面に接合し
    た関連脚部を有する個々の形成金属ジャンパを備える請求項19に記載のワーク
    ピース。
  21. 【請求項21】 上記リードフレームが第1の平面に位置し、上記コネクタが
    上記第1の平面上に位置して、上記リードをリードフレーム共通部分に接続する
    第1の部分と上記第1の平面上に位置して、それぞれの表面を電気的に相互接続
    したブリッジング接合関係にある第2の部分をそれぞれ備えたそれぞれの片持ち
    型リードからなることを特徴とする請求項19に記載のワークピース。
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