JP2003509824A - 炭素膜を成長させる際に使用される表面処理法 - Google Patents
炭素膜を成長させる際に使用される表面処理法Info
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Abstract
Description
で成長させることに関する。
するLCDディスプレイの低コスト代替品を提供する際に有望である。更に、電界
放出ディバイスは、ビルボード型ディスプレイディバイスのような他の領域にお
ける適用が実際に始まっている。
の1つは、製造する費用が安いが、それにもかかわらず電力消費に関して効率的
であり、しかもそのディスプレイ特性が変わらない電界エミッタ材料の製造であ
る。炭素および/またはダイヤモンド電界エミッタ材料が、このような制約を満
たす際に有望であるとされていた。
の方法の問題の1つは、その膜をパターン化するためには、膜を堆積させた後に
その膜に1つまたは2つ以上のリソグラフィ工程およびエッチング工程を適用し
なければならないということである。このような方法は、膜の性能および放出能
力を膜放出が不十分となる点まで低下させることが多い。その結果、この技術分
野には、膜に対して行われる後−堆積法を用いない加工法の必要が存在する。
た膜の電界放出特性を高める必要がある。従って、この技術分野には、炭素およ
びダイヤモンド様膜の放出特性に改善の必要が存在する。
基板が洗浄され、そしてチタン(Ti)のような金属の電子ビーム(e−ビーム
)蒸着またはスパッタリングにより金属化される。次に、所望とされる金属フィ
ードライン(feedline)パターンが金属の常用のフォトリソグラフィおよびエッ
チングにより作られる。このパターンは、また、シャドーマスクを通しての金属
化により作ることもできる。次に、放出領域、即ちピクセルが別のリソグラフィ
法により画成される。これら領域中の金属層が再びエッチングにより取り除かれ
る。次に、同じフォトレジストをマスクとして利用して、ピクセル領域中の基板
の表面形態、および(非元素状物質が使用されているならば)おそらくは化学組
成が変えられる、酸または塩基エッチング法のような表面処理法が適用される。
次に、もう1つの金属薄層が更に堆積される。そのフォトレジストが剥ぎ取られ
て、処理されたピクセル領域と被覆された金属薄層だけが後に残される。最後に
、その表面全面に放出性炭素膜の薄層が堆積される。ピクセル領域は、これら領
域上の表面形態が、核化だけでなく炭素膜の成長をも著しく増進するので、これ
らピクセル領域における炭素膜から電子の放出が促進される。その結果、たとえ
炭素膜がパターン化されていないとしても、その膜に電場(electrical field)
が印加されるとき、ピクセル領域だけが放出を行う。
炭素膜は処理された基板の上に直接堆積される。この代替態様は、各ピクセル領
域が小さい(1例として、数百平方マイクロメートル未満)ときに適用可能であ
る。
たは用いずに表面処理を適用する態様である。次に、その基板上に任意のパター
ン化法を用いまたは用いずに金属層が堆積される。次に、炭素膜が堆積される。
活性領域および金属化の両者に対してパターン化を行わない場合、基板表面全体
が電子を効果的に放出し、従ってこの基板表面は照明源または冷電子源のような
用途に対して有用である。
するために、本発明の特長および技術上の利点をやや大まかに概説したものであ
る。本発明の追加の特長および利点は下記において説明されるが、それらは本発
明の特許請求の範囲の主題をなすものである。
れる次の説明に言及する。
の細部が示されている。しかし、本発明がそのような特定の細部によらなくても
実施できることは、この技術分野の当業者には明白であろう。他の例では、本発
明を不必要に詳しく説明して不明確にしないために、周知の回路はブロック図の
形で示されている。考慮すべきタイミング問題等に関する細部は、大部分は、そ
のような細部が本発明の完全な理解を得るのに必要でなく、関連技術分野の当業
者の技能の範囲内にある限りは、省略されている。
に必ずしも示されていないものもあり、また同様のまたは類似の要素は幾つかの
図を通じて同じ参照番号で示されている。
の製造法が図解されている。工程1001において、ガラス、セラミックまたは
他の任意、適当な材料より成ることができる基板101が洗浄され、次いでチタ
ン(Ti)のような金属102により電子ビーム(e−ビーム)蒸着またはスパ
ッタリングによって被覆(金属化)される(図1を参照されたい)。但し、基板
101上に金属層102を堆積させるための任意の方法が利用できることに留意
されたい。
所望とされる様式でパターン化される。金属層102の上にフォトレジスト層2
01が堆積され(図2を参照されたい)、次いで周知の技法を用いてパターン化
される。(図2、3Aおよび3Bを参照されたい。)このパターンはフォトレジ
スト膜中に現像されたストリップのアレイであることができる。しかし、いかな
るパターン設計も用いることができることに留意されたい。
の堆積)によって作ることもできる(工程1003)。
おいて、フォトレジスト201がパターンに現像される(工程1004)。フォ
トレジストの窓で覆われていない金属層が、次に、図5Aおよび5Bに示される
エッチング工程で除去される(工程1005)。
用して、ピクセル領域中の基板101の表面形態、および(非元素状物質が使用
されているならば)おそらくは化学組成が変えられる、酸または塩基エッチング
法のような表面処理法が適用される。これは、図6Aおよび6Bに図解される処
理された基板表面301をもたらす。
、基板の表面形態を変えるのみならず、基板表面の化学組成をも変えることがあ
る。例えば、ある特定の処理は、水素原子またはフッ素原子に対する結合で終わ
っている基板の表面を残すことができる。基板が異なる材料の組成物である場合
、上記処理は、その基板の本体材料とは異なる組成を持つ表面を残すことができ
る。CVD成長法はしばしば基板表面との化学反応を伴うので、基板表面の化学組
成を変える処理は、エミッタ膜の成長を無処理表面よりも有利に開始させる表面
をもたらす。
スト201の上面に、図7に図解されるように、金属の薄層401を堆積させる
随意工程が行われる。工程1008において、図8Aおよび8Bに図解されるよ
うに、フォトレジスト201およびその上の金属層401が剥ぎ取られ、薄い金
属のコーティング401を上に有する処理されたピクセル領域だけが残される。
工程1009において、図9Aおよび9Bに図解されるように、金属薄層401
、金属線102および基板101の表面全面に放出性炭素膜501が堆積される
。ピクセル領域は、これら領域上の表面形態または化学組成が核化および炭素膜
の成長を著しく増進させるように処理されているので、その炭素膜からの電子の
放出が強力に促進される。たとえ炭素膜がパターン化されていないとしても、膜
501に電場が印加されるとき、ピクセル領域301だけは放出を行う。
のような他の活性化手段で補助されていてもよい化学蒸着法を用いて遂行するこ
とができる。
はエッチング工程のようなマイクロエレクトロニクスタイプの加工処理が炭素層
の堆積に続いて行われる必要がなく、そのため炭素層はそのような方法には付さ
れないということである。これは一層良好な放出性膜をもたらし、また放出性膜
に対する損傷が防がれる。
て、放出性炭素膜501が処理された基板301の上に直接堆積される。
たは用いずに、基板にそれが金属化される前に適用される。次に、その基板の上
に金属層が任意のパターン化法を用いまたは用いずに堆積される。次いで、炭素
膜501が最後に堆積される。
れた膜を用いて形作られた電界(field)エミッタディバイス80が図解されて
いる。ディバイス80は、図16に関して以下に説明されるディスプレイ938
ようなディスプレイディバイス内でピクセルとして利用することができた。
84も含んでいることができる。導電性ストリップ806が上に堆積されている
基板805を有する陽極84が図解されている。次いで、燐光体層807が導電
性膜806の上に配置される。電場を生成させるために、電位V+が図示される
陽極84と陰極82との間に印加され、その電場が電子を膜501から燐光体層
807に向かって放出させ、その燐光体層807がガラス基板805を通して光
子を生成させる。ある1つの代替態様は、膜501と基板101との間に導電性
層を堆積して含んでいることがあることに留意されたい。更に別の代替態様は、
1つまたは2つ以上のゲート電極(図示されず)を含んでいることができる。
ン)であることができる。
と陰極82との間の異なる印加電場を用いて撮られた、ディバイス80からの実
際の光子放出画像が示される。図11〜13の画像は、10マイクロセカンドの
パルス幅を有する周波数1000Hzのパルス電圧を印加することによって撮ら
れたものである。陽極と陰極との間のギャップは0.75mmであった。図11
において、ピーク放出電流は3230ボルトの印加電圧で4mAであった。図1
2において、ピーク放出電流は4990ボルトの印加電圧で40mAであった。
図13において、ピーク放出電流は3720ボルトの印加電圧で20mAであっ
た。直ちに分かるように、陰極82からの電子が燐光体807に突き当たる領域
中の燐光体スクリーン84中にだけ光が発生せしめられる。図11〜13におい
て、前記処理法に付された基板101の領域が、電子の放出が起こる領域である
ことが分かる。
(43ミクロン)、かつこの画像を撮るように調整されたカメラがより高解像度
の画像を与えたこと以外は、同様の試験からの同様の実画像を示す。この場合も
、燐光体の明るくなった領域から、前記処理法に付された陰極82上の領域は、
ほとんど全ての電子放出が起こる領域であることが分かる。
走査顕微鏡画像のディジタル写真を示す。図15Bは工程1006で表面処理し
た後の同じ基板を示す。その表面処理が基板の表面粗さを高め、この例では0.
27マイクロメートルから0.39マイクロメートルまで変化させたことは極め
て明白である。
ィスプレイ938内で用いることができる。本発明を実施するための代表的なハ
ードウエア環境が図16に描かれている。図16は、通常のマイクロプロセッサ
のような中央処理装置(CPU)910、およびシステムバス912を経由して相
互に連結されている多数の他の装置を有する、本発明によるワークステーション
913の典型的なハードウエア配置を図解するものである。ワークステーション
913は、随時読出し書込みメモリ(RAM)914、読出し専用メモリ(ROM)9
16、およびディスク装置920およびテープドライブ940のような周辺装置
をバス912に接続するための入/出力(I/O)アダプタ918、キーボード
924、マウス926、スピーカー928、マイクロホン932、および/また
はタッチスクリーン装置(図示されず)のような他のユーザーインターフェース
装置をバス912に接続するためのユーザーインターフェースアダプタ922、
ワークステーション913をデータ処理ネットワークに接続するための通信アダ
プタ934、並びにバス912をディスプレイ装置938に接続するためのディ
スプレイアダプタ936を含んでいる。CPU910はここには示されない他の回
路機構を含んでいることができ、それにはマイクロプロセッサ内に一般的に見い
だされる回路機構、例えば実行装置、バスインターフェース装置、算術論理演算
装置等々がある。CPU910はまた単一集積回路上に載っていることもできる。
許請求の範囲により定義された本発明の精神と範囲から逸脱しない限り、種々の
変更、置換および改変をなし得ることを理解すべきである。
を図解するものである。
しているデータ処理システムを図解するものである。
る。 (符号の説明) 80 電界エミッタディバイス 82 陰極 84 陽極 101 基板 102 金属層 201 フォトレジスト層 301 基板表面 401 金属薄層 501 放出性炭素膜 806 導電性膜 807 燐光体層 910 中央処理装置 912 システムバス 913 ワークステーション 914 随時読出し書込みメモリ 916 読出し専用メモリ 918 入/出力アダプタ 920 ディスク装置 922 ユーザーインターフェースアダプタ 924 キーボード 926 マウス 934 通信アダプタ 936 ディスプレイアダプタ 938 電界放出ディスプレイ 940 テープドライブ
Claims (16)
- 【請求項1】 電界エミッタディバイスを製造する方法であって: 基板を準備する工程; 該基板を処理して該基板の形態を変える工程;および 処理された該基板上で炭素膜を成長させる工程 を包含する上記の方法。
- 【請求項2】 基板の一部分だけを処理工程に付し、そして処理された該基
板上で成長せしめられた炭素膜が該基板の無処理部分上で成長せしめられた炭素
膜よりも良好な電界エミッタである、請求項1記載の方法。 - 【請求項3】 基板の処理された部分上で成長せしめられた炭素膜が、特定
の電場に付されるとき、無処理基板上の炭素膜よりも実質的に多くの電子を放出
する、請求項2記載の方法。 - 【請求項4】 基板が塩基で処理され、この場合該処理工程は該基板の表面
の化学組成を変える、請求項1記載の方法。 - 【請求項5】 基板が酸で処理される、請求項1記載の方法。
- 【請求項6】 基板がセラミックである、請求項5記載の方法。
- 【請求項7】 基板が金属である、請求項5記載の方法。
- 【請求項8】 基板がガラスである、請求項5記載の方法。
- 【請求項9】 処理された基板の上面に金属膜を堆積させる工程を更に包含
する、請求項1記載の方法。 - 【請求項10】 基板上に金属層を堆積させ、それによって該金属層が、該
基板の一部分が該金属層を通ってアクセス可能となるように、前もって画成され
たパターンを有するようになる工程を更に包含し、この場合該処理工程は成長工
程の前に行われる、請求項1記載の方法。 - 【請求項11】 炭素膜を成長させる工程も該炭素膜を金属層上に堆積させ
、この場合該炭素膜は連続膜である、請求項10記載の方法。 - 【請求項12】 次の: 金属膜を該処理工程前に基板上に堆積させる工程; 該金属層を該処理工程前にパターン化する工程;および 該パターン化金属層をエッチングしてその基板の複数の部分を露出させる工程
を更に包含し、次に処理工程を行う、請求項1記載の方法。 - 【請求項13】 第二金属膜を処理された基板上に堆積させる工程を更に包
含し、この場合炭素膜は該第二金属膜上で成長せしめられる、請求項12記載の
方法。 - 【請求項14】 電界エミッタディバイスであって、 基板表面の複数の部分がその表面形態を変える処理を受けている基板; 該基板上に堆積された炭素膜: を含み、この場合処理された該基板部分上に堆積された該炭素膜は該基板の無処
理部分の上に堆積された炭素膜よりも良好な電界エミッタであり、該基板の処理
された該部分上に堆積された該炭素膜は、特定の電場に付されるとき、該無処理
基板部分上の該炭素膜よりも実質的に多くの電子を放出する、上記の電界エミッ
タディバイス。 - 【請求項15】 基板の処理された部分に近い基板上に堆積された金属フィ
ードラインを更に含み、この場合炭素膜は該金属フィードライン上に堆積される
、請求項14記載のディバイス。 - 【請求項16】 基板の処理された部分と炭素膜との間に堆積された金属層
を更に含む、請求項14記載のディバイス。
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