JP2003500200A - 金属箔から成る微粒子フィルタ - Google Patents

金属箔から成る微粒子フィルタ

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、流体（１０）の貫流する並列配置されたチャネル（２,３,４）を有する金属箔（５）から成る微粒子フィルタ（１）に関する。また本発明はその微粒子フィルタの製造方法にも関する。各チャネル（２，３，４）は少なくとも一つの入口および一つの出口を有する。また本微粒子フィルタは第１のチャネル（２）およびこれに隣接する第２のチャネル（３,４）を有し、第１のチャネル（２）は少なくとも部分的に第１のチャネル内へ入り込んで延びている開放入口横断面を微粒子フィルタ（１）の第１の端面に有する。第１のチャネルは入口横断面（１１）と関連する第２の端面（１４）の方へ向かう閉鎖部分（１３）を有する。この閉鎖部分（１３）は流体（１０）の流通のための第１のチャネル（２）をほぼ完全に閉鎖しており、第１のチャネル（２）を形成している壁（７,８）の少なくとも一つが第２のチャネル（３，４）へのフィルタ開口（２６）として役立つ孔群（９）を有する。一方第２のチャネル（３，４）は開放出口横断面（１５）を有し、これは少なくとも入口横断面（１１）とほぼ同等である。第１のチャネル（２）および第２のチャネル（３,４）の壁（６,７,８）も金属箔（５）から成る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、流体の貫流が可能な並列配置された複数のチャネルを有する金属箔
から成る微粒子フィルタに関する。各チャネルは少なくとも一つの入り口および
一つの出口を有する。また、本微粒子フィルタは第１のチャネルおよびこれに隣
接する第２のチャネルを有し、この場合、第１のチャネルは微粒子フィルタの第
１の端面に開放入口横断面を有する。本発明は微粒子フィルタの製造方法も提供
する。
【０００２】 ヨーロッパ特許第０１３４００２号公報により、ワイヤーメッシュから成るデ
ィーゼル排気フィルタおよびその製造方法が公知となっている。この種のディー
ゼル排気フィルタは複数の層から形成され、これらの層は積み重ねて一つのパッ
ケージにするか、あるいは螺旋形状にすることもできる。一つの層は、波形もし
くはひだ状にされたフィルタメッシュと、閉じたもしくは小孔の打ち抜かれた平
板の被覆層から成る。ディーゼル排気フィルタの二つの端面は、片方の閉じた端
面部分が一方の開いた端面部分に向き合い、一つの端面部分がかしめによって閉
じられるように形成されている。さらに、波形もしくはひだ状の層はたたまれで
平板な層に押し付けられる。
【０００３】 本発明の課題は、簡単に製造でき、同時に微粒子フィルタ内に大きな表面積が
得られるような微粒子フィルタならびにその製造方法を提供することにある。
【０００４】 この課題は、請求項１の特徴を有する金属箔から成る微粒子フィルタならびに
請求項１４の特徴を有する方法によって解決される。有用な実施形態および特徴
はそれぞれ関連の請求項に提示されている。
【０００５】 流体の貫流が可能な並列配置された複数のチャネルを有し、各チャネルが少な
くとも一つの入口と一つの出口を有し、第１のチャネルとこれに隣接する第２の
チャネルを有し、その場合、第１のチャネルが微粒子フィルタの第１の端面に、
少なくとも部分的に第１のチャネル内へ延びる開放入口横断面を有し、第１のチ
ャネルが入口横断面と向き合って配置され第２の端面の方へ向かう閉鎖部分を有
するようにした金属箔から成る微粒子フィルタは以下の特徴、 ‐この閉鎖部分は貫流可能な流体用の第１のチャネルを少なくともほぼ完全に閉 じる、 ‐第１のチャネルを形成する少なくとも一つの壁が第２のチャネルへのフィルタ 開口としての孔群を有する、 ‐第２のチャネルが入口横断面と同等の開放出口断面を有する、 ‐第１のチャネルおよび第２のチャネルの壁が金属箔から成る、 を有する。
【０００６】 第１のチャネルおよび第２のチャネルの壁が金属箔から形成されることによっ
て、これらの壁はそれぞれ流体と接触する大きな表面積を有することになる。ワ
イヤーメッシュを用いた場合はメッシュの各フィラメントだけが表面として利用
されるのに対し、第１のチャネルを形成する壁は孔以外は閉じられた一つの表面
を有する。隣接する第２のチャネルへのフィルタ開口としての複数の孔も流体と
接触可能な表面を有する。したがって、ワイヤーメッシュとは異なり、この種の
穿孔された壁はより大きい表面積を有し、たとえば相応のコーティングをするか
、あるいは金属箔の材料を適正に選択すればより大きな作用効果を持つ表面を有
することになる。このことは触媒反応もしくはその他の反応に、またこの種の微
粒子フィルタの用途に有効である。
【０００７】 この大きな表面積の利点は、この種の微粒子フィルタを少ない作業工程で製造
できるという利点につながる。必要な穿孔はたとえば金属箔にあらかじめ施され
ている。個々のチャネルを形成するための相応の成形は、金属箔が孔を有するか
否かにかかわらず１回の作業工程で行われるようにすると有利である。たとえば
チャネルを形成する壁すべてが孔群を有するようにすれば、製造の際に複数もし
くは１枚の金属箔をその位置および方向と無関係に加工できるので有利である。
【０００８】 そのほかに、金属箔の穿孔によってその後の微粒子フィルタにおけるフィルタ
開口の正確な位置が得られることが可能となる。ワイヤーメッシュの場合には加
工の際にフィラメントの位置がずれる危険があるが、金属箔に穿孔する場合はこ
のような危険が生じることはない。またこの種のフィルタ開口は、金属箔上した
がって形成すべきチャネル壁上の孔の密度を変えることも、この種の孔の直径を
変えることも可能とする。このことは特に、微粒子フィルタに種々のフィルタ等
級を形成する必要がある場合に応用できる。
【０００９】 微粒子フィルタにおける大きな圧力損失を回避するために、第２のチャネルは
入口横断面と同等の開放出口横断面を有する。これによって孔の数および寸法と
ほぼ正比例して圧力損失を調整できるようになる。有用な実施形態によれば、微
粒子フィルタは第１のチャネルの閉鎖部分を流体が貫流しないように形成する。
したがってフィルタ開口は第２のチャネルへのただ一つの入口を形成する。第１
のチャネルの閉鎖部分は堰堤としての役割を果たし、その結果フィルタ開口を通
る流体は圧力を受ける。流体の流れの中に存在する微粒子はフィルタ開口にまず
集められ，次いで閉鎖部分の領域に集められる。たとえば、閉鎖部分の領域に一
種のやなを設置することによりこれを助成することができる。閉鎖部分の領域に
おける流れの形成に基づき、ここで発生する流体の停滞領域は、微粒子がそこに
到着し続いてそこで沈着するという形で利用できる。その結果、フィルタ開口は
開放状態を保ち、微粒子フィルタの再生回数が少なくてすむ。再生には微粒子フ
ィルタは特に閉鎖部分の領域にたとえば電気加熱、触媒コーティングなどの相応
の再生手段を備えることができる。
【００１０】 微粒子フィルタの製造を簡単化するために第１のチャネルと第２のチャネルは
同じ形状を有するが、互いに逆向きに配置されている。このためには金属箔用に
ただ一つの製造工具を用いればよく、層状に形成された微粒子フィルタの場合は
全金属箔をまず一方向の製造工程に通し、次に続けて交互に互いに逆方向にねじ
るだけでよい。また第１のチャネルおよび第２のチャネルは、第１のチャネルと
第２のチャネルが交互に配置される一つのハニカム体を形成すると有利である。
【００１１】 有利な実施形態によれば、第１のチャネルおよび第２のチャネルの壁はただ一
枚の金属箔から形成されている。このことは一つの金属箔ロールから金属箔を繰
り出すことを可能にし、次にこれに所望の穿孔を施し、これに続く加工工程で金
属箔に所望の形状を与えることを可能とする。続いて、この金属箔は巻き上げら
れるかあるいは重ねられて微粒子フィルタを形成することができる。この作業工
程になって初めて金属箔を金属箔ロールから切断することが必要となる。このよ
うに積層もしくは巻き上げられた微粒子フィルタは個々の壁の接触個所において
たとえば硬ろう付けにより互いに接合される。
【００１２】 加工される前にコーティングを施した金属箔を用いると有利である。このコー
ティングは第一に、触媒を有するようにすることができ、微粒子フィルタの表面
積は同様にコーティングにより著しく拡大される。第二に、コーティングは微粒
子フィルタの隣接する壁を互いに接合するために、たとえばろうなどの接合剤か
ら成ることもできる。このために、たとえば接合剤は微粒子フィルタへの加工中
もしくは加工前に金属箔上へ帯状に塗布される。この接合剤はたとえば金属箔の
相応のコーティング上へも塗布可能である。
【００１３】 そのほかに、微粒子フィルタの表面積を拡大するためには、第１のチャネルお
よび／もしくは第２のチャネルが先細となる横断面を有すると有利であることが
実証されている。この種のチャネルはくさび形とすると有利である。第１のチャ
ネルについては先細となる横断面が流入路として役立ち、その結果、流入する流
体の圧力損失を低下させる。さらに、流体を受ける活性表面積は、表面の流れが
斜めになるので拡大される。また同時にこれにより、フィルタ開口に集積する微
粒子が、微粒子へ向かって流れ込む流体によっていわば洗浄されることになる。
したがって、濾過すべき微粒子は第１のチャネルの閉鎖部分の領域へ押しやられ
る。この微粒子の移動は、金属フィルタの向き合った壁がそれぞれ孔群を有する
ことにより助成される。これによりこの壁に沿って流れの層が生じ、この層に沿
って流体は移動を持続する。この種のチャネルの中央領域に発生する渦によって
チャネルの全長上の微粒子はさらにチャネルの閉鎖部分の領域へと運ばれ、そこ
で沈着することができる。
【００１４】 微粒子フィルタの別の重要なパラメータは、この微粒子フィルタが引き起こす
圧力損失である。大きな表面積の形成が同時に大きなフィルタ作用にはつながる
が大きな圧力損失にはならないようにするためには、実験によればフィルタ開口
の直径を適正なものにすることが有効である。フィルタ開口が金属箔における直
径３〜２５μｍ、特に５μmの大きさの孔であると有利であることが実証されて
いる。このような直径であればいつもならマイナスに作用するパラメータを最適
化することができる。これは、微粒子フィルタが壁１ｍ2あたり約８００００〜
１２００００個のフィルタ開口を有する場合に助成される。この場合１ｍ2の壁
とは、貫流流体により流入可能な大きさである。
【００１５】 微粒子フィルタは特に自動車に使用される場合高温にさらされるので、熱安定
でしかも機械的振動に対しても安定であることが必要である。これは、フィルタ
開口を有する壁を厚さ２０〜６５μｍ（３０〜４０μmが特に望ましい）に形成
することのできる金属箔を用いれば達成できる。特に壁の厚さを３０〜４０μm
の範囲にすれば、まず第一に、特に軽量でしかも運転中の充分な安定性と耐性を
有する微粒子フィルタを得るのに高い費用をかけずにチャネルを形成することが
できる。
【００１６】 また、この微粒子フィルタのコーティングはチャネルの形成後に施すと有利で
あることが実証されている。
【００１７】 さらに、特に上述したような微粒子フィルタを製造することのできる金属箔か
ら成る微粒子フィルタの製造方法も提供される。この方法は以下の工程、 ‐少なくとも一つのエンドレス貯蔵器から金属箔を繰り出す、 ‐接合剤を特に帯状に塗布する、 ‐後でチャネルとなるように金属箔を成形する、 ‐金属箔を巻き上げるか積み重ねて逆向きに配置された第１のチャネルと第２の チャネルを形成し、第１のチャネルは微粒子フィルタの第１の端面に部分的に 第１のチャネル内へ入り込むように延びる開放入口横断面を有し、さらに第１ のチャネルは入口横断面に向かい合って配置され第２の端面の方へ向いた閉鎖 部分を有する、 ‐チャネルの互いに隣接する接触面を耐久的に接合し、微粒子フィルタを金属箔 のみから形成する、 を有する。
【００１８】 有利な実施形態によれば、本方法は上述の工程の前もしくは後に金属箔にコー
ティングを施すことによりさらに拡充される。本方法の更に別の実施形態では、
上述の工程の前もしくは後に金属箔に穿孔が施される。
【００１９】 本発明の有利な実施形態および変法ならびに特徴を以下に図面に基づき詳細に
説明する。
【００２０】 図１は第１の微粒子フィルタ１を示している。この微粒子フィルタは第１のチ
ャネル２、第２のチャネル３および第３のチャネル４を有する。この微粒子フィ
ルタは互いに積み重ねられている金属箔５から形成されている。これらの金属箔
５はチャネル２、３、４の複数の壁６を形成する。第１の壁７および第２の壁８
は共同して第１のチャネル２を形成しており、第２のチャネル３および第３のチ
ャネル４へのフィルタ開口として第１の孔群９を有する。微粒子フィルタ１を貫
流する流体１０（矢印で示されている）は、微粒子フィルタ１の第１の端面１２
における開放された入口横断面１１内へ流入する。入口横断面は第１のチャネル
２内へ延びている。第１のチャネル２が入口横断面１１と向かい合って第２の端
面１４の方向へ配置された閉鎖部分１３を有していることにより、孔群９を通る
流体は圧力を受ける。すなわち閉鎖部分１３には、流体１０を第２のチャネル３
および第３のチャネル４へと強制する対抗圧力が生じる。図示の実施例によれば
、閉鎖部分１３は孔を有しておらず、そのため貫流流体１０に対して密閉されて
いる。図示していない他の実施例では、閉鎖部分１３も同様に孔群を有する。こ
のことによって流体１０は第１のチャネル２の全長にわたって案内される。更に
別な有利な実施形態によれば、孔群は閉鎖部分１３の第１の領域Aにのみ施され
、閉鎖部分１３の第２の領域B には孔群は施されない。これによって第２の領域
Bはそこに流れが存在しないので死空間および第１のチャネル２内に集められた
微粒子の集積個所として作用する。
【００２１】 第２のチャネル３は開放出口横断面１５を有し、この横断面は第１のチャネル
２の開放入口横断面と同等である。ここには示されていないが、開放入口横断面
１１および開放出口横断面１５は、これらの狭窄ないし拡大によって流体１０に
対してノズル状ないしディフーザー状に働くという利点を有している。このこと
は第１の微粒子フィルタ１に生じる圧力損失の低減に役立つ。しかし、出口横断
面１５を入口横断面１１よりも大きくすることも可能であり、これによって流体
の流れの緩慢化が達成される。一方、微粒子フィルタの後方における流速の上昇
が望まれる場合は、出口横断面１５を入口横断面１１より小さくすることもでき
る。
【００２２】 図２は第２の微粒子フィルタ１６を示している。第２の微粒子フィルタは金属
箔１７から形成されている。微粒子を帯びた第２の流体１８は矢印に示すように
、第４のチャネル１９を介して第２の孔群２０を貫通して第５のチャネル２１内
へ流入する。金属箔１７は、それがチャネル１９、２１の第３の壁２２ならびに
第２の閉鎖部分２３を形成するように折りたたまれている。チャネル１９、２１
は先細となる横断面を有する。この望ましい実施形態では横断面はくさび状にす
ぼまっている。このようにして、チャネルの全長にわたってノズル効果が達成さ
れ、チャネルごとの直接流入面の拡大が達成される。
【００２３】 図３は第３の孔群２５の変形を示す金属箔の切断面２４を示している。この切
断面２４の長手方向にフィルタ開口２６の密度が増大する。このことはフィルタ
開口２６の間隔、数および直径を変化させることにより達成される。図示されて
いるように、矢印で示す流体が切断面２４を貫流すると有利である。チャネル内
には切断面２４の長手方向に、全長を利用したオーバーフローが生じる。
【００２４】 図４は金属箔から成る微粒子フィルタ、特に請求項に記載した微粒子フィルタ
の製造方法が実施可能である効率のよい生産ライン２７を示している。そのため
エンドレス貯蔵器、この場合金属箔のロール２８から金属箔２９が繰り出される
。次の作業工程で接合剤３０が金属箔２９上に塗布される。これは帯状に行うの
がより有効であり、しかも後で積み重ねられる面が接触しかつ互いに接合される
領域に沿って行うのが有効である。続く工程では微粒子フィルタの後でチャネル
となるための成形が行われる。上記の実施例ではこれは第１の加圧機３１および
第２の加圧機３２により実施される。第１の加圧機３１は金属箔２８に第２の加
圧機３２と同じ形状をスタンピングする。ただし、これはそれぞれ１８０°ずら
して行われる。続く作業工程ではスタンピングされた形状３３が金属箔２９から
切断される。１８０°交互にずらしてスタンピングを行うことにより、このよう
にスタンピングされた形状を連続して積み重ねることができる。積み重ねによっ
て第１のチャネルおよび第２のチャネルが形成される。これらのチャネルは同一
の形状を有しているが、互いに逆向きに配置される。続いて図示されていない作
業工程で互いに隣接する接触面がたとえば硬ろうで耐久的に互いに接合され、そ
の結果微粒子フィルタは金属箔のみから形成されることになる。生産ライン２７
における次の工程ではレーザ３４を用いて微粒子フィルタ３５に穿孔が施される
。穿孔の実施前に微粒子フィルタ３５はたとえば触媒コーティングが施され、こ
れによっても微粒子フィルタ３５の表面積が拡大される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 重ねられた状態の金属箔から成る第１の微粒子フィルタの概略断面図。
【図２】 金属箔から形成された第２の微粒子フィルタの概略断面図。
【図３】 微粒子フィルタの金属箔における穿孔の変形を示す切断面図。
【図４】 金属箔から微粒子フィルタを形成するための生産ラインの概略図。
【符号の説明】
１ 第１の微粒子フィルタ ２ 第１のチャネル ３ 第２のチャネル ４ 第３のチャネル ５ 金属箔 ６ 壁 ７ 第１の壁 ８ 第２の壁 ９ 第１の孔群 １０ 流体 １１ 開放入口横断面 １２ 第１の端面 １３ 閉鎖部分 １４ 第２の端面 １５ 開放出口横断面 １６ 第２の微粒子フィルタ １７ 金属箔 １８ 第２の流体 １９ 第４のチャネル ２０ 第２の孔群 ２１ 第５のチャネル ２２ 第３の壁 ２３ 第２の閉鎖部分 ２４ 切断面 ２５ 第３の孔群 ２６ フィルタ開口 ２７ 作業個所 ２８ エンドレス貯蔵器（金属箔ロール） ２９ 金属箔 ３０ 接合剤 ３１ 第１の加圧機 ３２ 第２の加圧機 ３３ スタンピングされた形状 ３４ レーザ ３５ 微粒子フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ， ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ， ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，Ｃ Ｕ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ， ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，Ｌ Ｋ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ， ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，Ｔ Ｍ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ ，ＺＷ 【要約の続き】 よび第２のチャネル（３,４）の壁（６,７,８）も金属 箔（５）から成る。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流体（１０；１８）の貫流が可能な並列配置された複数のチャ
    ネル（２,３,４；１９,２１）を有し、各チャネル（２,３,４；１９,２１）が少
    なくとも一つの入口および出口を有し、第１のチャネル（２；１９）およびそれ
    に隣接する第２のチャネル（３,４；２１）を有し、その場合第１のチャネル（
    ２；１９）が微粒子フィルタ（１；１６；３５）の第１の端面（１２）に少なく
    とも部分的に第１のチャネル（２；１９）内へ入り込んで延びている開放入口横
    断面（１１）を有し、第１のチャネル（２；１９）が、入口横断面（１１）に向
    かい合って配置され第２の端面（１４）の方へ向かう閉鎖部分（１３；２３）を
    有するようにした金属箔（５；１７；２９）から成る微粒子フィルタ（１；１６
    ；３５）において、 ‐閉鎖部分（１３；２３）は貫流可能な流体（１０；１８）用の第１のチャネル （２；１９）を少なくともほぼ完全に閉鎖し、 ‐第１のチャネル（２；１９）を形成する少なくとも一つの壁（７,８）が第２ のチャネル（３，４；２１）へのフィルタ開口（２６）としての孔群（９）を 有し、 ‐第２のチャネル（３,４；２１）が少なくとも入口横断面（１１）とほぼ同等 の開放出口横断面（１５）を有し、 ‐第１のチャネル（２；１９）および第２のチャネル（３,４；１９）の壁（６ ,７,８）が金属箔（５；１７；２９）から成る ことを特徴とする微粒子フィルタ。
  2. 【請求項２】 フィルタ開口（２６）が第２のチャネル（３,４；２１）への
    ただ一つの入口を形成することを特徴とする請求項１記載の微粒子フィルタ（１
    ；１６；３５）。
  3. 【請求項３】 第１のチャネル（２；１９）および第２のチャネル（３，４；
    １９）が同一の形状を有しているが、互いに逆向きに配置されていることを特徴
    とする請求項１または２記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  4. 【請求項４】 第１のチャネル（２：１９）および第２のチャネル（３,４；
    １９）が交互に配置され一つのハニカム体を形成することを特徴とする請求項１
    ，２または３に記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  5. 【請求項５】 第１のチャネル（２；１９）および第２のチャネル（３,４；
    １９）の壁がただ一枚の金属箔（５；１７；２９）から形成されていることを特
    徴とする請求項１ないし４の１つに記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  6. 【請求項６】 第１のチャネル（２；１９）および／もしくは第２のチャネル
    （３,４；１９）が先細となる横断面を有することを特徴とする請求項１ないし
    ５の１つに記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  7. 【請求項７】 先細となる横断面がくさび状であることを特徴とする請求項６
    記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  8. 【請求項８】 フィルタ開口（２６）が金属箔（５；１７；２９）における直
    径３〜２５μｍ、特に５μｍの孔であることを特徴とする請求項１ないし７の１
    つに記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  9. 【請求項９】 微粒子フィルタ（１；１６；３５）が壁１ｍ2あたり約８００
    ００〜１２００００個のフィルタ開口（２６）を有することを特徴とする請求項
    １ないし８の１つに記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  10. 【請求項１０】 フィルタ開口（２６）を備えた壁（３,４）の厚さが２０〜
    ６５μｍ、特に３０〜４０μｍであることを特徴とする請求項１ないし９の１つ
    に記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  11. 【請求項１１】 微粒子フィルタ（１；１６；３５）がコーティングを有する
    ことを特徴とする請求項１ないし１０の１つに記載の微粒子フィルタ（１；１６
    ；３５）。
  12. 【請求項１２】 コーティングがチャネル（２,３,４）の形成後に施されるこ
    とを特徴とする請求項１１記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）。
  13. 【請求項１３】 孔群（９）がチャネル（２,３,４）の形成後に施されること
    を特徴とする請求項１ないし１２の１つに記載の微粒子フィルタ（１；１６；３
    ５）。
  14. 【請求項１４】 金属箔から成る微粒子フィルタ（１；１６；３５）、特に請
    求項１記載の微粒子フィルタ（１；１６；３５）の製造方法において、 ‐少なくとも一つのエンドレス貯蔵器（２８）から金属箔を繰り出し、 ‐特に帯状に接合剤（３０）を塗布し、 ‐後でチャネルとなるように金属箔（２９）を成形し、 ‐逆向きに配置された第１のチャネル（２；１９）と第２のチャネル（３,４； ２１）が形成されるように金属箔（２９）を巻き上げもしくは積み重ね、この 場合、第１のチャネル（２；１９）が微粒子フィルタ（１；１６；３５）の第 １の端面（１２）に開放入口横断面（１１）を有し、この横断面は少なくとも 部分的に第１のチャネル（２；１９）内へ入り込んで延びており、第１のチャ ネル（２；１９）は、入口横断面（１１）に向い合って配置され第２の端面（ １４）の方へ向かう閉鎖部分（１３；２３）を有し、 ‐微粒子フィルタ（１；１６；３５）が金属箔（２８）のみから形成されるよう に、互いに隣接するチャネルの接触面を耐久的に接合する、 ことを特徴とする製造方法。
  15. 【請求項１５】 金属箔（２８）のコーティングが請求項１４による工程の前
    もしくは後に行われることを特徴とする請求項１４記載の方法。
  16. 【請求項１６】 金属箔（２８）の穿孔が請求項１４または１５による工程の
    前もしくは後に行われることを特徴とする請求項１４または１５記載の方法。
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