JP2003346475A - 直列ダイオードを有する磁気ランダムアクセスメモリ(mram)の等電位センシング - Google Patents

直列ダイオードを有する磁気ランダムアクセスメモリ(mram)の等電位センシング

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JP2003346475A JP2003138724A JP2003138724A JP2003346475A JP 2003346475 A JP2003346475 A JP 2003346475A JP 2003138724 A JP2003138724 A JP 2003138724A JP 2003138724 A JP2003138724 A JP 2003138724A JP 2003346475 A JP2003346475 A JP 2003346475A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】データビットを正確に読み取ることが可能なデ
ータ記憶デバイスを提供する。 【解決手段】データ記憶デバイスは、抵抗性メモリセル
(170,173,175,177)のアレイ(165)と、アレイ(165)に電
気的に接続される回路を備える。抵抗性メモリセル(17
0,173,175,177)は、ダイオード(260)に電気的に接続さ
れる磁気ランダムアクセスメモリセル(265)を備える。
回路は、第1の電圧をアレイ(165)内の抵抗性メモリセ
ル(170,173,175,177)のいくつかに、第2の電圧をアレ
イ(165)内の他のセル(170,173,175,177)に、第3の電圧
をアレイ(165)内のさらに他のセル(170,173,175,177)に
印加することができる。この回路を用いて選択された抵
抗性メモリセル(175)の抵抗状態を検出する方法も開示
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、データ記憶デバイ
スに関し、特に磁気ランダムアクセスメモリに関する。
(本特許出願は、2002年5月22日に出願されたFr
ed Pernerらによる「TRIPLE SAMPLE SENSING FOR MAGNE
TIC RANDOM ACCESS MEMORY (MRAM) WITHSERIES DIODE
S」と題する米国特許出願第10/151,915号、
および同じく2002年5月22日に出願されたFred P
ernerらによる「MEMORY CELL ISOLATION」と題する米国
特許出願第10/151,914号に関連する)
【0002】
【従来の技術】関連技術において、図1に示されるよう
な、アレイ10をなすように配置される不揮発性磁気ラ
ンダムアクセスメモリ(MRAM)セルが開示されてい
る。アレイ10は、アレイ10の行に沿って延在する複
数のワード線20と、アレイ10の列に沿って延在する
複数のビット線30とを含む。ワード線20およびビッ
ト線30は、互いに十字に交差する。それらの線が交差
する場所では、ワード線20とビット線30との間に、
それぞれが磁気トンネル接合(MTJ)50およびシリ
コン接合ダイオード60(図2に示される)を含むMR
AMメモリセル40が含まれる。
【0003】図2は関連技術において開示されるような
MRAMメモリセル40の斜視図である。図2は、ワー
ド線20(図2には示されていない)と接触しているn
形シリコン層70を示す。n形シリコン層70の上には
p形シリコン層80があり、n形シリコン層70ととも
にシリコン接合ダイオード60を構成する。このシリコ
ン接合ダイオード60に隣接して、タングステンスタッ
ド層(tungsten stud layer)90およびテンプレート層
(template layer)100が形成される。テンプレート層
100上には、強磁性層(ferromagnetic layer)110
と、反強磁性層(anti-ferromagnetic layer)120と、
固定された強磁性層(fixed ferromagnetic layer)13
0と、トンネル障壁層(tunneling barrier layer)14
0と、軟強磁性層(soft ferromagnetic layer)150
と、ビット線30(図2には示されていない)との電気
的接触をもたらすコンタクト層(contact layer)160
とが形成される。
【0004】最初に、MRAMメモリセル40は、平行
状態としても知られる第1の抵抗状態にある場合があ
り、その状態では、軟強磁性層150は、固定された強
磁性層130と磁化の方向が同じである第1の磁化の方
向を有する。それとは異なり、MRAMメモリセル40
は、反平行状態としても知られる第2の抵抗状態にある
場合があり、その状態では、軟強磁性層150は、固定
された強磁性層130とは磁化の方向が異なる第2の磁
化の方向を有する。
【0005】アレイ10内のMRAMメモリセル40に
書込みを行うときは、MRAMメモリセル40に隣接す
るワード線20およびビット線30の両方に電位が印加
される。これらの電位は電流を生成し、その電流は選択
されたワード線20および選択されたビット線30を通
って流れる。これらの電流はさらに磁界を生成し、それ
らの磁界は、選択されたMRAMメモリセル40に結合
され、軟強磁性層150の磁化の方向を変更するのに十
分に大きな合成強度を有する。
【0006】それゆえ、書込みが行われるとき、結合さ
れた磁界がMRAMメモリセル40を第1の抵抗状態か
ら第2の抵抗状態に変化させる場合には、MRAMメモ
リセル40は、測定可能な抵抗の増加を生じる場合があ
る。一方、MRAMメモリセル40が、結合された磁界
によって、第2の抵抗状態から第1の抵抗状態に変化す
る場合には、MRAMメモリセル40は、測定可能な抵
抗の減少を生じるであろう。
【0007】言い換えると、MRAMメモリセル40の
抵抗は、固定された強磁性層130と軟強磁性層150
との相対的な磁化の方向の関数である。磁化の方向が平
行であるとき、トンネル障壁層140をより多くの電流
が流れることができ、その抵抗は、磁化の方向が反平行
であるときよりも明確に小さい。
【0008】読出しステップ中、MRAMメモリセル4
0の抵抗は、MRAMメモリセル40にある量の電流を
流すことにより検出される。この場合、MRAMメモリ
セル40の抵抗をモニタして、MRAMメモリセル40
が高抵抗状態にあるか、低抵抗状態にあるかを読み取る
ことにより、MRAMメモリセル40が平行状態にある
か、反平行状態にあるかを判定することができる。言い
換えると、MRAMメモリセル40が「0」のデータビ
ットを含むか、「1」のデータビットを含むかを判定す
ることができる。
【0009】読出しステップ中、読み出されているMR
AMメモリセル40を電気的に分離するために、上述し
たアレイ10は、漏れが少ない特性(low leakage prop
erty。低漏洩特性)を有するシリコン接合ダイオード6
0を用いる。しかしながら、小さな薄膜ダイオード60
は、電流が漏れる傾向がある。さらに、より大きなアレ
イ10には、より多くの小さな薄膜ダイオード60が含
まれるので、アレイ10内の漏れ電流の合計量が増加す
る。それゆえ、大きなアレイ10の場合は特に、アレイ
10内の漏れ電流の量によって、モニタされているMR
AMメモリセル40の抵抗状態の正確な測定が妨害され
る場合があり、そのために、アレイ10を含むデータ記
憶デバイスが機能しないようになる。
【特許文献1】米国特許第6,259,644B1号明
細書
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、書き
込まれたデータビットを正確に読み取ることができるデ
ータ記憶デバイスと、それを用いるための方法とを提供
することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明によるデータ記憶
デバイス(またはデータ記憶素子、またはデータ記憶装
置。以下同じ)は、抵抗性メモリセルのアレイと、アレ
イ内の複数の抵抗性メモリセルに電気的に直列に接続さ
れる1組のダイオードとを含む。複数のワード線がアレ
イの行に沿って延在し、複数のビット線がアレイの列に
沿って延在する。アレイ内の第1の選択された抵抗性メ
モリセルが、複数のワード線のうちの第1のワード線と
複数のビット線のうちの第1のビット線との間に配置さ
れる。回路が、アレイに電気的に接続されて、第1のワ
ード線に第1の電圧を、第1のビット線に第2の電圧
を、そして、複数のワード線のうちの第2のワード線と
複数のビット線のうちの第2のビット線との少なくとも
一方に第3の電圧を印加することができる。
【0012】本発明による方法では、抵抗性メモリセル
のアレイを含むデータ記憶デバイス内の第1の選択され
た抵抗性メモリセルの抵抗状態を読み取る。この方法
は、アレイ内の複数の抵抗性メモリセルに電気的に直列
に接続される1組のダイオードを提供するステップと、
第1のワード線に第1の電圧を印加し、第1のビット線
に第2の電圧を印加し、複数のワード線のうちの第2の
ワード線と複数のビット線のうちの第2のビット線との
少なくとも一方に第3の電圧を印加するステップと、第
1の選択された抵抗性メモリセルに流れる信号電流を読
み取るステップとを含む。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、データ記憶デバイス及び方
法を、例示的な実施形態を用いて、添付の図面を参照し
つつ説明する。なお、同じ番号は同じまたは同等の要素
を示す。
【0014】図3A乃至図3Cは、それぞれ、抵抗性メ
モリセル170、173、175、177からなるアレ
イ165を示す。各アレイ165は1つの選択されたワ
ード線180と、1つの選択されたビット線190と、
選択されたワード線180と選択されたビット線190
の交点に配置される1つの選択された抵抗性メモリセル
175とを含む。また各アレイ165は、選択されない
ワード線200と、選択されないビット線210とを含
む。
【0015】さらに、各アレイ165は、選択されたビ
ット線190上に配置される選択されない抵抗性メモリ
セルを表す第1の選択されない抵抗性メモリセル170
と、選択されたワード線180上に配置される選択され
ない抵抗性メモリセルを表す第2の選択されない抵抗性
メモリセル177と、選択されたワード線180上にも
選択されたビット線190上にも配置されない選択され
ない抵抗性メモリセルを表す第3の選択されない抵抗性
メモリセル173とを含む。4つの抵抗性メモリセル1
70、173、175、177、2つのビット線19
0、210、および2つのワード線180、200のみ
が示されているが、アレイ165にはさらに別の抵抗性
メモリセル、ビット線、およびワード線を含めることが
できる。
【0016】図4は、図3A乃至図3Cに示すアレイ1
65のうちの任意のアレイにおいて用い得る1つの実現
可能な抵抗性メモリセルの構成を示す。図4の下側には
ダイオード260が示され、ダイオード260に隣接し
てMRAMメモリセル265が示されている。MRAM
メモリセル265およびダイオード260はいずれも、
アレイ165内のワード線180、200とビット線1
90、210との間に配置することができる。さらに、
ダイオード260とMRAMメモリセル265を互いに
電気的に直列に接続することができる。また、図示のダ
イオード260はn形シリコン層90の上側にp形シリ
コン層80を含むが、ダイオード260および層80、
90の構成は逆にすることもでき、他の既知のダイオー
ド260の構成を用いることもできる。
【0017】ダイオード260は当該技術分野において
既知の任意の材料から形成される薄膜ダイオードとする
ことができ、当該技術分野において既知の任意の形状を
とることができる。MRAMメモリセル265は、図4
に示す、固定された強磁性層130と、トンネル障壁層
140と、軟強磁性層150とを含むことができる。さ
らに、MRAMメモリセル265には、図2に示す層の
うちの任意の層と、MRAMメモリセル265ととも
に、あるいはその一部として用いることが当業者に知ら
れている任意の追加的な層とを含めることができる。
【0018】図5は抵抗性メモリセルの構成を示してお
り、その構成では、2つの抵抗性メモリセルが互いに積
重され、いずれの抵抗性メモリセルも、隣接するダイオ
ード260を備えるMRAMメモリセル265である。
図5の下側の部分に示されるMRAMメモリセル265
は、下側のビット線210とワード線200によって囲
まれている。ワード線200上には、上側のビット線2
10によって覆われる第2のMRAMメモリセル265
が配置されている。
【0019】図5の下側のMRAMメモリセル265は
図3A〜図3Cに示すアレイ165のうちの任意のアレ
イの第1の層内に配置されることができ、第2のMRA
Mメモリセル265は、第1の層上に積重される第2の
層内に配置されることができる。図5に示すように抵抗
性メモリセルを積重することにより、データ記憶デバイ
スのデータ記憶密度を増加させることができる。
【0020】図5にはMRAMメモリセル265が示さ
れているが、他のタイプの抵抗性メモリセル170を、
本明細書で説明するデータ記憶デバイスに用いることが
できる。また、3つ以上の抵抗性メモリセル170を互
いに積重することができる。さらに、図3A〜図3Cで
は最も下側にあるワード線180および最も左側にある
ビット線190が選択されるが、選択される線として、
アレイ165内の任意のビット線およびワード線を選択
することができる。それゆえ、抵抗性メモリセル17
0、173、175、177のうちの任意のメモリセル
が、選択された抵抗性メモリセル175になることがで
きる。
【0021】図3A〜図3Cに示す回路は、Tranらに付
与された米国特許第6,259,644B1号(‘64
4特許)に、他の構成要素とともに記載されている。
‘644特許に開示されている任意のあるいは全ての回
路構成要素が、図3A〜図3Cに示されるアレイ165
とともに用いることができるという了解の下で、図3A
〜図3Cに示されるデータ記憶デバイスに特に関連する
回路構成要素を本明細書において説明する。さらに、本
明細書において説明される要素は、図示されるように従
来の回路構成要素で、または同じもしくは等価な機能を
実行するように構成された任意のタイプの回路構成要素
で実施することができる。
【0022】MRAMメモリセル265を含む選択され
た抵抗性メモリセル175にデータを書き込むとき、図
3A〜図3Cに示されるデータ記憶デバイスはそれぞ
れ、第1の電圧源(図3A〜図3Cには示されていな
い)を用いて第1の電流を印加し、第2の電圧源230
を用いて、選択されたビット線190に第2の電流を印
加することができる。第1の電圧源と第2の電圧源23
0を組み合わせて電圧を印加することにより、選択され
た抵抗性メモリセル175内に、選択された抵抗性メモ
リセル175を上記の平行状態と反平行状態との間で変
更するだけの十分な累積合成磁界を生成することができ
る。それゆえ、選択されたワード線180および選択さ
れたビット線190に十分な電圧を印加することによ
り、選択された抵抗性メモリセル175に「0」または
「1」のいずれかのデータビットを書き込むことができ
る。
【0023】抵抗性メモリセル170、173、17
5、177に一度に1つだけに書込みが行われることが
多いが、アレイ165内の複数の抵抗性メモリセル17
0、173、175、177に外部から磁界を印加する
ことにより、多くの抵抗性メモリセル170、173、
175、177に同時に書込みを行うこともできる。こ
の印加される磁界が十分な強度を有する場合には、影響
を及ぼされた全ての抵抗性メモリセル170、173、
175、177の軟強磁性層150の磁化の方向が同時
に変更される。
【0024】複数の抵抗性メモリセル170、173、
175、177に同時に書込みを行うことは、たとえ
ば、データ記憶デバイスに格納された全てのデータビッ
トの一括消去を実行するのに有用であり得る。そのよう
な場合には、全ての軟強磁性層150を同じ磁化の向き
にリセットして、影響を及ぼされた全ての抵抗性メモリ
セルに有効に「0」のデータビットを書き込むことがで
きる。外部磁界の別の考え得る用途には、アレイ165
内の全ての固定された強磁性層130の磁化の方向を同
時に設定することがある。これは非常に強い磁界を用い
ることを伴い、データ記憶デバイスの作製中、またはア
レイ165の初期設定中に行うことができる。
【0025】図3A〜図3Cに示すアレイ165のうち
の任意のアレイから読出しを行うとき、選択されたワー
ド線180には、上記の第1の電圧源の代わりに、グラ
ンド220を電気的に接続することができ、選択された
ビット線190には第2の電圧源230を電気的に接続
することができる。一旦、グランド220および第2の
電圧源230が電気的に接続されたなら、信号電流23
7(図3A〜図3Cにおいて実線で示す)および望まし
くない電流239(図3A〜図3Cにおいて破線で示
す)が、図3A〜図3Cに示すように、抵抗性メモリセ
ル170、173、175、177の電気的に等価な素
子に流れ始めるようになる。各抵抗性メモリセル17
0、173、175、177がグランド220と第2の
電圧源230との間に電気的に接続されることにより、
これらの電流237、239が発生する。図3A〜図3
Cに示す電流I、I、I、Iは、個々の抵抗性
メモリセル170、173、175、177を通って流
れる累積電流(信号電流237+望ましくない電流23
9)を表す。
【0026】読出し動作には、選択された抵抗性メモリ
セル175を流れる信号電流237の量をモニタするこ
とが含まれる。この場合、モニタされた信号電流237
の値を用いて、選択された抵抗性メモリセル175が平
行状態にあるか反平行状態にあるかが判定され、その抵
抗状態に基づいて、選択された抵抗性メモリセル175
に「0」のデータ値が割り当てられているか、「1」の
データ値が割り当てられているかが判定される。
【0027】各抵抗がRの抵抗値を有するものとし、
各ダイオード260が、ダイオード260を流れる電流
の方向に応じて、2つの抵抗値Rdiode_fwd
iode_revのうちの一方を有するものと仮定
すると、図3A〜図3Cの各抵抗器およびダイオード2
60からなる等価素子対は、R+Rdiode_f
wdか、R+Rdiode_revかのいずれかに概
ね等しい抵抗を有する。Rdiode_fwdは、ダイ
オード260を流れる順方向電流の関数であり、一般に
よりも非常に小さい。Rdiode_revは、ダ
イオード260が逆バイアスされているときに、ダイオ
ード260を流れる漏れ電流の尺度となる。それゆえ、
diode_revは一般にRよりも非常に大き
い。
【0028】図3Aに示すアレイ165内にx個の行お
よびy個の列が存在する場合には、第1の選択されない
抵抗性メモリセル170内の素子対は(R+R
diode _fwd)/(x−1)の抵抗を有し、第2
の選択されない抵抗性メモリセル177内の素子対は
(R+Rdiode_fwd)/(y−1)の抵抗を
有し、第3の選択されない抵抗性メモリセル173内の
素子対は(R+Rdiode _rev)/[(x−
1)(y−1)]の抵抗を有する。したがって、選択さ
れた抵抗性メモリセル175は、R+R
diode_fwdの等価抵抗を有し、選択された抵抗
性メモリセル175は、第1の選択されない抵抗性メモ
リセル170または第2の選択されない抵抗性メモリセ
ル177のいずれかよりも大きな抵抗を有し、xおよび
yの値に応じて、第3の選択されない抵抗性メモリセル
173よりも大きくなるか、小さくなり得る。一般的
に、アレイ165を、第3の選択されない抵抗性メモリ
セル173の抵抗が選択された抵抗性メモリセル175
の抵抗よりも非常に大きくなるように設計することがで
きる。
【0029】図3Aに示すように、1つの電圧源230
および1つのグランド220がアレイ165に電気的に
接続されると、選択された抵抗性メモリセル175には
電流Iが流れ、選択されない抵抗性メモリセル17
0、173、177には、各セル内のダイオード等価素
子の向きに応じて、電流I、I、Iが流れること
ができる。アレイのサイズが大きくなると、I
、Iに類似の電流経路の数も増加する。したがっ
て、信号電流237と比べて、望ましくない電流239
が大きくなる場合があり、読出し動作中に信号電流23
7を覆い隠す(すなわち、不明瞭にする)場合がある。
それゆえ、1つの電圧源230および1つのグランド2
20のみを用いるときには、アレイ165内に格納され
たデータビットを読み出すのが難しくなる場合がある。
【0030】これは、等価素子が図3Aに示されるよう
に配置される場合であっても当てはまる。具体的には、
信号電流237および望ましくない電流239がアレイ
165に流れるときに、第3の選択されない抵抗性メモ
リセル173内のダイオード等価素子が名目上、電流I
、I、Iを阻止する。しかしながら、アレイ16
5は多数の抵抗性メモリセルを含む場合があるので、望
ましくない電流239はこのダイオードによって完全に
は阻止されない場合があり、データビットの読出しを妨
害し続ける場合がある。
【0031】図3Bは、第3の電圧源235を追加する
ことにより、望ましくない電流239の影響を低減する
ための1つの方法を示す。第3の電圧源235が選択さ
れないビット線210に電気的に接続されるとき、特に
第2の電圧源230からの電圧が第3の電圧源235か
らの電圧に概ね等しいときには、第3の選択されない抵
抗性メモリセル173に流れる電流Iおよび第1の選
択されない抵抗性メモリセル170に流れる電流I
著しく低減されるか、排除される。さらに、第2の選択
されない抵抗性メモリセル177に流れる別の望ましく
ない電流241はグランド220に向かって流れ、信号
電流237の測定を直接的には妨害しない。
【0032】第2の選択されない抵抗性メモリセル17
7に流れる別の望ましくない電流241が選択された行
の電流に加えられる場合があり、望ましくない電圧降下
を生じる場合がある。しかしながら、第3の選択されな
い抵抗性メモリセル173に流れる望ましくない電流2
39および第1の選択されない抵抗性メモリセル170
に流れる望ましくない電流239を低減する利点は、一
般に、第2の選択されない抵抗性メモリセル177に流
れる別の望ましくない電流241による望ましくない影
響よりも大きい。選択されないビット線210から選択
されないワード線200に結合される電圧により、第1
の選択されない抵抗性メモリセル170内のダイオード
が、第2の選択されない抵抗性メモリセル177に流れ
る別の望ましくない電流239を阻止するための状況が
確立される。それゆえ、選択された抵抗性メモリセル1
75の抵抗状態を判定することが簡単になる。
【0033】図3Cに示すように、第3の電圧源235
が選択されないワード線200に電気的に接続されると
き、特に第2の電圧源230からの電圧が第3の電圧源
235からの電圧にほぼ等しいか、それにより小さいと
きには、第1の選択されない抵抗性メモリセル170に
流れる電流Iはほぼ排除される。選択されないワード
線200に印加される電圧により、第1の選択されない
抵抗性メモリセル170内のダイオード260が電流I
を阻止するための状況が確立され、かつ第3の選択さ
れない抵抗性メモリセル173において電流Iを阻止
するための状況が確立される。電流Iは電流Iにほ
ぼ等しく、このため、第3の電圧源235の電圧の印加
によって、電流Iが第2の選択されない抵抗性メモリ
セル177に流れるのが阻止されるようになる。さら
に、グランド220に向かって流れる電流I、I
は、第3の選択されない抵抗性メモリセル173内の
ダイオードによって阻止され、図3Bに示される構成の
場合のように、信号電流237の測定、または選択され
た抵抗性メモリセル175の抵抗状態の判定を妨害しな
い。
【0034】第3の電圧源235を用いて望ましくない
電流を低減できることに加えて、ダイオード260を用
いることによりさらに、選択されない抵抗性メモリセル
170、173、177に望ましくない電流が流れるの
を低減し、及び/または防ぐことができる。薄膜の漏れ
のある分離ダイオードを用いた場合でも、第3の電圧源
235を用いることに関する有利な作用を向上させるこ
とができる。
【0035】図3A〜図3Cに示すデータ記憶デバイス
の別の利点は、直列ダイオード260が、選択されない
抵抗性メモリセル170の実効的なインピーダンスを高
めることである。高いインピーダンスによって、読出し
動作中に読み取られる電流の減衰が低減され、及び、雑
音を減少させることがわかっている。両方の効果を組み
合わせることにより、直列ダイオード260を備えるM
RAM回路の信号対雑音比が大きくなる利点が生じる。
【0036】直列ダイオードのさらに別の効果または利
点は、書込み電流の均一性を改善することである。書込
み動作中にMRAMアレイを通る選択されない経路内の
抵抗が増加することにより、これが達成される。
【0037】図6は、アレイ165を含むデータ記憶デ
バイスに対してデータの書込みおよび読出しを行うため
に用いることができる方法の流れ図である。その方法に
よれば、ステップ300において、抵抗性メモリセル1
70、173、175、177からなるアレイ165
が、複数のワード線180、200およびビット線19
0、210と、アレイ165内の第1の選択された抵抗
性メモリセル175と、アレイ165に電気的に接続さ
れる回路と、アレイ165内の複数の抵抗性メモリセル
170、173、175、177に電気的に直列に接続
される1組のダイオード260とともに設けられる。ス
テップ300では、設けられるダイオード260は、当
該技術分野において既知の任意の幾何学的形状の薄膜ダ
イオードとすることができ、複数の抵抗性メモリセルと
電気的に直列に接続することができる。
【0038】ステップ310において、第1のワード線
180に第1の電圧を、第1のビット線190に第2の
電圧を、複数のワード線のうちの第2のワード線210
と複数のビット線のうちの第2のビット線200との少
なくとも一方に第3の電圧を印加する。第1の電圧は、
デバイスからの読出しを行うときにはグランド220
(0V)の形態とすることができ、デバイスに書込みを
行うときには高電圧とすることができる。
【0039】いくつかの方法では、第3の電圧を第1の
ワード線以外の少なくとも2つのワード線に印加するこ
とができる。これらの方法によれば、アレイ165は大
きく、数多くのワード線180、200を含み、上記の
第3の電圧源235によるような電圧が、選択されない
ワード線200のうちの2つ以上に印加される。別の方
法によれば、第3の電圧を第1のビット線以外の少なく
とも2つのビット線に印加することができる。これらの
方法のうちの1つを用いるときは、アレイ165はこの
場合も大きく、第3の電圧源235によるような電圧
が、選択されないビット線のうちの2つ以上に印加され
る。
【0040】データ記憶デバイスに対して書込みおよび
読出しを行う方法のうちのいくつかは、ほぼ等しい大き
さの第1の電圧および第3の電圧を印加するステップを
含む。そのような方法は、アレイ165内の望ましくな
い電流239の量を最小限に抑えるのに有用であり、一
般的には、等しくない電圧を印加することにより、望ま
しくない電流239の量が増加する。
【0041】ステップ320において、第1の選択され
た抵抗性メモリセル175に流れる信号電流237を読
み取る。信号電流237は、それば、セル170、17
3、175、177の単一の層内を流れる際に読み取る
ことができるか、または図5に示すように、積重された
構成に配置される選択された抵抗性メモリセル175を
流れる際に読み取ることができる。いくつかの方法によ
れば、選択された抵抗性メモリセル175を、MRAM
メモリセル265となるように選択することができる。
【0042】ステップ330において、信号電流237
と基準電流値とを比較することにより、第1の選択され
た抵抗性メモリセル175の特定の抵抗状態が判定され
る。いくつかの方法によれば、基準電流値は、第1の選
択された抵抗性メモリセル175が平行状態か反平行状
態かのいずれかにあるときの第1の選択された抵抗性メ
モリセル175の量とすることができる。基準電流値
と、読み取られた信号電流237の量とを比較すること
により、第1の選択された抵抗性メモリセル175がい
ずれの状態にあるかについての判定を行なうことができ
るようになる。
【0043】ステップ340において、第1の電圧およ
び第2の電圧が第1の選択された抵抗性メモリセル17
5を第1の抵抗状態から第2の抵抗状態に変更するよう
に第1の電圧および第2の電圧を選択することにより、
第1の選択された抵抗性メモリセル175にデータを書
き込む。このステップでは、第1の選択された抵抗性メ
モリセル175を平行状態と反平行状態との間で変化さ
せるだけの十分な電流を、第1の選択された抵抗性メモ
リセル175に供給する。
【0044】上記の詳細な説明は、データ記憶デバイス
の例示的な実施形態と、データ記憶デバイスを用いるた
めの方法とを解説するためになされた。当業者には、特
許請求の範囲およびその等価物から逸脱しない変更形態
が明らかであろうから、以上の説明は不必要な制限を課
すものではない。
【0045】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 1.データ記憶デバイスであって、行および列を有する
抵抗性メモリセル(170、173、175、177)
のアレイ(165)と、前記アレイ(165)内の複数
の抵抗性メモリセル(170、173、175、17
7)に電気的に直列に接続される1組のダイオード(2
60)と、前記アレイ(165)の前記行に沿って延在
する複数のワード線と、前記アレイ(165)の前記列
に沿って延在する複数のビット線と、前記アレイ(16
5)内の第1の選択された抵抗性メモリセル(175)
であって、前記複数のワード線のうちの第1のワード線
(180)と前記複数のビット線のうちの第1のビット
線(190)との間に配置される、第1の選択された抵
抗性メモリセルと、前記アレイ(165)に電気的に接
続され、前記第1のワード線(180)に第1の電圧を
印加し、前記第1のビット線(190)に第2の電圧を
印加し、前記複数のワード線のうちの第2のワード線
(200)と前記複数のビット線のうちの第2のビット
線(210)との少なくとも一方に第3の電圧を印加す
ることができる回路とを含む、データ記憶デバイス。 2.前記抵抗性メモリセル(170、173、175、
177)の前記アレイ(165)は、磁気ランダムアク
セスメモリ(MRAM)セル(265)を含む、上項1
に記載のデバイス。 3.前記アレイ(165)内に第2の抵抗性メモリセル
(170、173、175、177)をさらに含み、前
記第2の抵抗性メモリセル(170、173、175、
177)は前記第1の選択された抵抗性メモリセル(1
75)上に積重される、上項1に記載のデバイス。 4.前記回路は、前記第1のワード線(180)および
前記第1のビット線(190)に対して、前記第1の選
択された抵抗性メモリセル(175)を第1の抵抗状態
から第2の抵抗状態に変化させるだけの十分なエネルギ
ーを加えることにより、前記第1の選択された抵抗性メ
モリセル(175)に書込みを行うことができる、上項
1に記載のデバイス。 5.前記第1の電圧の値および前記第3の電圧の値はほ
ぼ等しい、上項1に記載のデバイス。 6.データ記憶デバイスが、抵抗性メモリセル(17
0、173、175、177)のアレイ(165)と、
前記アレイ(165)の行に沿って延在する複数のワー
ド線(180、200)と、前記アレイ(165)の列
に沿って延在する複数のビット線(190、210)
と、前記アレイ(165)内の第1の選択された抵抗性
メモリセル(175)であって、前記複数のワード線の
うちの第1のワード線(180)と前記複数のビット線
のうちの第1のビット線(190)との間に配置され
る、第1の選択された抵抗性メモリセルと、前記アレイ
(165)に電気的に接続される回路とを含み、前記デ
ータ記憶デバイス内の前記第1の選択された抵抗性メモ
リセル(175)の抵抗状態を読み取る方法であって、
前記アレイ(165)内の複数の抵抗性メモリセル(1
70、173、175、177)に電気的に接続される
1組のダイオード(260)を設けるステップと、前記
第1のワード線(180)に第1の電圧を印加し、前記
第1のビット線(190)に第2の電圧を印加し、前記
複数のワード線のうちの第2のワード線(200)と前
記複数のビット線のうちの第2のビット線(210)と
の少なくとも一方に第3の電圧を印加するステップと、
前記第1の選択された抵抗性メモリセル(175)に流
れる信号電流を読み取るステップを含む、方法。 7.前記信号電流を基準電流値と比較することにより、
前記第1の選択された抵抗性メモリセル(175)の特
定の抵抗状態を判定するステップをさらに含む、上項6
に記載の方法。 8.前記読み取るステップは、磁気ランダムアクセスメ
モリ(MRAM)セル(265)を流れる信号電流を読
み取るステップを含む、上項6に記載の方法。 9.前記印加するステップは、ほぼ等しい値を有する前
記第1の電圧と前記第3の電圧とを印加するステップを
含む、上項6に記載の方法。 10.前記第1の電圧および前記第2の電圧が前記第1
の選択された抵抗性メモリセル(175)を第1の抵抗
状態から第2の抵抗状態に変更するように前記第1の電
圧および前記第2の電圧を選択することにより、前記第
1の選択された抵抗性メモリセル(175)にデータを
書き込むステップをさらに含む、上項6に記載の方法。
【0046】本発明のデータ記憶装置は、抵抗性メモリ
セル(170,173,175,177)のアレイ(165)と、アレイ(165)
に電気的に接続される回路を備える。抵抗性メモリセル
(170,173,175,177)は、ダイオード(260)に電気的に接続
される磁気ランダムアクセスメモリセル(265)を備え
る。回路は、第1の電圧をアレイ(165)内の抵抗性メモ
リセル(170,173,175,177)のいくつかに、第2の電圧を
アレイ(165)内の他のセル(170,173,175,177)に、第3の
電圧をアレイ(165)内のさらに他のセル(170,173,175,17
7)に印加することができる。この回路を用いて選択され
た抵抗性メモリセル(175)の抵抗状態を検出する方法も
開示される。
【0047】
【発明の効果】本発明によれば、読出し中に読出し動作
を妨害する望ましくない電流を低減することが可能なデ
ータ記憶デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術によるMRAMメモリセルのアレイの
平面図である。
【図2】従来技術によるMRAMメモリセルの斜視図で
ある。
【図3A】抵抗性メモリセルのアレイと、アレイに電気
的に接続された電圧およびグランドと、アレイ内の構成
要素を表す等価回路と、アレイ内を流れることができる
電流の経路とを示す平面図である。
【図3B】抵抗性メモリセルのアレイと、アレイのビッ
ト線に印加される2つの電圧と、アレイ内の構成要素を
表す等価回路と、アレイ内を流れることができる電流の
経路とを示す平面図である。
【図3C】抵抗性メモリセルのアレイと、アレイのある
ビット線に印加される電圧と、アレイのあるワード線に
印加される電圧と、アレイ内の構成要素を表す等価回路
と、アレイ内を流れることができる電流の経路とを示す
平面図である。
【図4】図3A乃至図3Cに示すアレイに含めることが
できる抵抗性メモリセルの1実施形態の斜視図である。
【図5】積重された構成をなす2つの抵抗性メモリセル
の斜視図である。
【図6】図3A乃至図3Cに示すようなアレイを含むデ
ータ記憶デバイスから、データを読み出すために用いる
ことができる方法の流れ図である。
【符号の説明】
165 抵抗性メモリセルからなるアレイ 170、173、175、177 抵抗性メモリセル 180、200 ワード線 190、210 ビット線 265 MRAMセル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ルン・ティー・トラン アメリカ合衆国カリフォルニア州95070, サラトガ,ウッドブリー・コート・5085 (72)発明者 ジェイムス・アール・イートン,ジュニア アメリカ合衆国カリフォルニア州94306, パロアルト,シャスタ・ドライブ・373 Fターム(参考) 5F083 FZ10 GA11 JA39

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】データ記憶デバイスであって、 行および列を有する抵抗性メモリセル(170、17
    3、175、177)のアレイ(165)と、 前記アレイ(165)内の複数の抵抗性メモリセル(1
    70、173、175、177)に電気的に直列に接続
    される1組のダイオード(260)と、 前記アレイ(165)の前記行に沿って延在する複数の
    ワード線と、 前記アレイ(165)の前記列に沿って延在する複数の
    ビット線と、 前記アレイ(165)内の第1の選択された抵抗性メモ
    リセル(175)であって、前記複数のワード線のうち
    の第1のワード線(180)と前記複数のビット線のう
    ちの第1のビット線(190)との間に配置される、第
    1の選択された抵抗性メモリセルと、 前記アレイ(165)に電気的に接続され、前記第1の
    ワード線(180)に第1の電圧を印加し、前記第1の
    ビット線(190)に第2の電圧を印加し、前記複数の
    ワード線のうちの第2のワード線(200)と前記複数
    のビット線のうちの第2のビット線(210)との少な
    くとも一方に第3の電圧を印加することができる回路と
    を含む、データ記憶デバイス。
  2. 【請求項2】前記抵抗性メモリセル(170、173、
    175、177)の前記アレイ(165)は、磁気ラン
    ダムアクセスメモリ(MRAM)セル(265)を含
    む、請求項1に記載のデバイス。
  3. 【請求項3】前記アレイ(165)内に第2の抵抗性メ
    モリセル(170、173、175、177)をさらに
    含み、前記第2の抵抗性メモリセル(170、173、
    175、177)は前記第1の選択された抵抗性メモリ
    セル(175)上に積重される、請求項1に記載のデバ
    イス。
  4. 【請求項4】前記回路は、前記第1のワード線(18
    0)および前記第1のビット線(190)に対して、前
    記第1の選択された抵抗性メモリセル(175)を第1
    の抵抗状態から第2の抵抗状態に変化させるだけの十分
    なエネルギーを加えることにより、前記第1の選択され
    た抵抗性メモリセル(175)に書込みを行うことがで
    きる、請求項1に記載のデバイス。
  5. 【請求項5】前記第1の電圧の値および前記第3の電圧
    の値はほぼ等しい、請求項1に記載のデバイス。
  6. 【請求項6】データ記憶デバイスが、 抵抗性メモリセル(170、173、175、177)
    のアレイ(165)と、 前記アレイ(165)の行に沿って延在する複数のワー
    ド線(180、200)と、 前記アレイ(165)の列に沿って延在する複数のビッ
    ト線(190、210)と、 前記アレイ(165)内の第1の選択された抵抗性メモ
    リセル(175)であって、前記複数のワード線のうち
    の第1のワード線(180)と前記複数のビット線のう
    ちの第1のビット線(190)との間に配置される、第
    1の選択された抵抗性メモリセルと、 前記アレイ(165)に電気的に接続される回路とを含
    み、前記データ記憶デバイス内の前記第1の選択された
    抵抗性メモリセル(175)の抵抗状態を読み取る方法
    であって、 前記アレイ(165)内の複数の抵抗性メモリセル(1
    70、173、175、177)に電気的に接続される
    1組のダイオード(260)を設けるステップと、 前記第1のワード線(180)に第1の電圧を印加し、
    前記第1のビット線(190)に第2の電圧を印加し、
    前記複数のワード線のうちの第2のワード線(200)
    と前記複数のビット線のうちの第2のビット線(21
    0)との少なくとも一方に第3の電圧を印加するステッ
    プと、 前記第1の選択された抵抗性メモリセル(175)に流
    れる信号電流を読み取るステップを含む、方法。
  7. 【請求項7】前記信号電流を基準電流値と比較すること
    により、前記第1の選択された抵抗性メモリセル(17
    5)の特定の抵抗状態を判定するステップをさらに含
    む、請求項6に記載の方法。
  8. 【請求項8】前記読み取るステップは、磁気ランダムア
    クセスメモリ(MRAM)セル(265)を流れる信号
    電流を読み取るステップを含む、請求項6に記載の方
    法。
  9. 【請求項9】前記印加するステップは、ほぼ等しい値を
    有する前記第1の電圧と前記第3の電圧とを印加するス
    テップを含む、請求項6に記載の方法。
  10. 【請求項10】前記第1の電圧および前記第2の電圧が
    前記第1の選択された抵抗性メモリセル(175)を第
    1の抵抗状態から第2の抵抗状態に変更するように前記
    第1の電圧および前記第2の電圧を選択することによ
    り、前記第1の選択された抵抗性メモリセル(175)
    にデータを書き込むステップをさらに含む、請求項6に
    記載の方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7755931B2 (en) 2005-08-02 2010-07-13 Nec Corporation Magnetic random access memory and operation method thereof
US8089803B2 (en) 2005-10-03 2012-01-03 Nec Corporation Magnetic random access memory and operating method of the same
WO2016186086A1 (ja) * 2015-05-15 2016-11-24 国立大学法人東北大学 抵抗変化型素子を備えた記憶回路
US11514964B2 (en) 2017-12-08 2022-11-29 Tohoku University Storage circuit provided with variable resistance elements, reference voltage circuit and sense amplifier
US11705176B2 (en) 2020-08-07 2023-07-18 Tohoku University Storage circuit provided with variable resistance type elements, and its test device

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7035141B1 (en) * 2004-11-17 2006-04-25 Spansion Llc Diode array architecture for addressing nanoscale resistive memory arrays
US7397074B2 (en) * 2005-01-12 2008-07-08 Samsung Electronics Co., Ltd. RF field heated diodes for providing thermally assisted switching to magnetic memory elements
US7180770B2 (en) * 2005-03-24 2007-02-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Series diode thermally assisted MRAM
US20070253245A1 (en) * 2006-04-27 2007-11-01 Yadav Technology High Capacity Low Cost Multi-Stacked Cross-Line Magnetic Memory
US8120949B2 (en) * 2006-04-27 2012-02-21 Avalanche Technology, Inc. Low-cost non-volatile flash-RAM memory
JP2008123595A (ja) 2006-11-10 2008-05-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体記憶装置
JP5198573B2 (ja) * 2008-10-09 2013-05-15 株式会社東芝 クロスポイント型抵抗変化メモリ
US9058876B2 (en) * 2009-08-14 2015-06-16 4D-S, Ltd Methods and circuits for bulk erase of resistive memory
EP2641246B1 (en) * 2010-11-19 2016-02-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Circuit and method for reading a resistive switching device in an array
KR20130021739A (ko) 2011-08-23 2013-03-06 삼성전자주식회사 저항성 메모리 장치, 이의 테스트 시스템 및 저항성 메모리 장치의 테스트 방법
GB2510339A (en) * 2013-01-30 2014-08-06 Ibm Method and apparatus for read measurement of a plurality of resistive memory cells
KR102401581B1 (ko) 2015-10-26 2022-05-24 삼성전자주식회사 저항식 메모리 소자
JP6178451B1 (ja) * 2016-03-16 2017-08-09 株式会社東芝 メモリセルおよび磁気メモリ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5640343A (en) * 1996-03-18 1997-06-17 International Business Machines Corporation Magnetic memory array using magnetic tunnel junction devices in the memory cells
DE19744095A1 (de) * 1997-10-06 1999-04-15 Siemens Ag Speicherzellenanordnung
US6259644B1 (en) * 1997-11-20 2001-07-10 Hewlett-Packard Co Equipotential sense methods for resistive cross point memory cell arrays
US6130835A (en) * 1997-12-02 2000-10-10 International Business Machines Corporation Voltage biasing for magnetic RAM with magnetic tunnel memory cells
GB2343308B (en) * 1998-10-30 2000-10-11 Nikolai Franz Gregor Schwabe Magnetic storage device
US6188615B1 (en) * 1999-10-29 2001-02-13 Hewlett-Packard Company MRAM device including digital sense amplifiers
US6185143B1 (en) * 2000-02-04 2001-02-06 Hewlett-Packard Company Magnetic random access memory (MRAM) device including differential sense amplifiers
DE10053965A1 (de) * 2000-10-31 2002-06-20 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Verhinderung unerwünschter Programmierungen in einer MRAM-Anordnung
US6885573B2 (en) * 2002-03-15 2005-04-26 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Diode for use in MRAM devices and method of manufacture

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7755931B2 (en) 2005-08-02 2010-07-13 Nec Corporation Magnetic random access memory and operation method thereof
US8089803B2 (en) 2005-10-03 2012-01-03 Nec Corporation Magnetic random access memory and operating method of the same
WO2016186086A1 (ja) * 2015-05-15 2016-11-24 国立大学法人東北大学 抵抗変化型素子を備えた記憶回路
JPWO2016186086A1 (ja) * 2015-05-15 2018-04-05 国立大学法人東北大学 抵抗変化型素子を備えた記憶回路
US10665282B2 (en) 2015-05-15 2020-05-26 Tohoku University Memory circuit provided with variable-resistance element
US11514964B2 (en) 2017-12-08 2022-11-29 Tohoku University Storage circuit provided with variable resistance elements, reference voltage circuit and sense amplifier
US11705176B2 (en) 2020-08-07 2023-07-18 Tohoku University Storage circuit provided with variable resistance type elements, and its test device

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