JP2003331574A - 磁気ランダムアクセスメモリ - Google Patents

磁気ランダムアクセスメモリ

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 書き込み電流パルス形状を調整し、書き込み
特性の安定化を図る。 【解決手段】 設定回路23には、書き込みワード/ビ
ット線電流の供給/遮断タイミング、大きさ、及び、そ
の時間的変化(電流波形)を決定する設定データが登録
される。書き込み電流波形制御回路24は、この設定デ
ータに基づいて、書き込みワード線ドライブ信号WWL
DRV、書き込みワード線シンク信号WWLSNK、書
き込みビット線ドライブ信号WBLDRV及び書き込み
ビット線シンク信号WBLSNKを生成する。書き込み
ワード/ビット線電流の電流波形は、チップ毎又はメモ
リセルアレイ毎に制御される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、トンネル型磁気抵
抗(Tunneling Magneto Resistive)効果により“1”,
“0”−情報を記憶するTMR素子を利用してメモリセ
ルを構成した磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM: Magn
etic Random Access Memory)に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、新たな原理により情報を記憶する
メモリが数多く提案されているが、そのうちの一つに、
Roy Scheuerlein et.al.によって提案されたトンネル型
磁気抵抗(Tunneling Magneto Resistive: 以後、TMRと
表記する。) 効果を利用したメモリがある(例えば、IS
SCC2000 Technical Digest p.128「A 10ns Read and Wr
ite Non-Volatile Memory Array Using a Magnetic Tun
nel Junction and FET Switch in each Cell」を参
照)。
【0003】磁気ランダムアクセスメモリは、TMR素
子により“1”,“0”−情報を記憶する。TMR素子
は、図109に示すように、2つの磁性層(強磁性層)
により絶縁層(トンネルバリア)を挟んだ構造を有す
る。TMR素子に記憶される情報は、2つの磁性層のス
ピンの向きが平行か又は反平行かによって判断される。
【0004】ここで、図110に示すように、平行と
は、2つの磁性層のスピンの向き(磁化の方向)が同じ
であることを意味し、反平行とは、2つの磁性層のスピ
ンの向きが逆向きであることを意味する(矢印の向きが
スピンの向きを示している。)。
【0005】なお、通常、2つの磁性層の一方側には、
反強磁性層が配置される。反強磁性層は、一方側の磁性
層のスピンの向きを固定し、他方側のスピンの向きのみ
を変えることにより情報を容易に書き換えるための部材
である。
【0006】スピンの向きが固定された磁性層は、固定
層又はピン層と呼ばれる。また、書き込みデータに応じ
て、スピンの向きを自由に変えることができる磁性層
は、自由層又は記憶層と呼ばれる。
【0007】図110に示すように、2つの磁性層のス
ピンの向きが平行となった場合、これら2つの磁性層に
挟まれた絶縁層(トンネルバリア)のトンネル抵抗は、
最も低くなる。この状態が“1”−状態である。また、
2つの磁性層のスピンの向きが反平行となった場合、こ
れら2つの磁性層に挟まれた絶縁層(トンネルバリア)
のトンネル抵抗は、最も高くなる。この状態が“0”−
状態である。
【0008】次に、図111を参照しつつ、TMR素子
に対する書き込み動作原理について簡単に説明する。
【0009】TMR素子は、互いに交差する書き込みワ
ード線とデータ選択線(読み出し/書き込みビット線)
との交点に配置される。そして、書き込みは、書き込み
ワード線及びデータ選択線に電流を流し、両配線に流れ
る電流により作られる磁界を用いて、TMR素子のスピ
ンの向きを平行又は反平行にすることにより達成され
る。
【0010】例えば、TMR素子の磁化容易軸がX方向
であり、X方向に書き込みワード線が延び、X方向に直
交するY方向にデータ選択線が延びている場合、書き込
み時には、書き込みワード線に、一方向に向かう電流を
流し、データ選択線に、書き込みデータに応じて、一方
向又は他方向に向かう電流を流す。
【0011】データ選択線に一方向に向かう電流を流す
とき、TMR素子のスピンの向きは、平行(“1”−状
態)となる。一方、データ選択線に他方向に向かう電流
を流すとき、TMR素子のスピンの向きは、反平行
(“0”−状態)となる。
【0012】TMR素子のスピンの向きが変わるしくみ
は、次の通りである。
【0013】図112のTMR曲線に示すように、TM
R素子の長辺(Easy-Axis)方向に磁界Hyをかける
と、TMR素子の抵抗値は、例えば、17%程度変化す
る。この変化率、即ち、変化の前後の抵抗値の比は、M
R比と呼ばれる。
【0014】なお、MR比は、磁性層の性質により変化
する。現在では、MR比が50%程度のTMR素子も得
られている。
【0015】TMR素子には、Easy-Axis方向の磁界H
yとHard-Axis方向の磁界Hxとの合成磁界がかかる。
図113の実線に示すように、Hard-Axis方向の磁界H
xの強さによって、TMR素子の抵抗値を変えるために
必要なEasy-Axis方向の磁界Hyの強さも変化する。こ
の現象を利用することにより、アレイ状に配置されるメ
モリセルのうち、選択された書き込みワード線及び選択
されたデータ選択線の交点に存在するTMR素子のみに
データを書き込むことができる。
【0016】この様子をさらに図113のアステロイド
曲線を用いて説明する。TMR素子のアステロイド曲線
は、例えば、図113の実線で示すようになる。即ち、
Easy-Axis方向の磁界HyとHard-Axis方向の磁界Hxと
の合成磁界の強さがアステロイド曲線(実線)の外側
(例えば、黒丸の位置)にあれば、磁性層のスピンの向
きを反転させることができる。
【0017】逆に、Easy-Axis方向の磁界HyとHard-Ax
is方向の磁界Hxとの合成磁界の強さがアステロイド曲
線(実線)の内側(例えば、白丸の位置)にある場合に
は、磁性層のスピンの向きを反転させることはできな
い。
【0018】従って、Easy-Axis方向の磁界Hyの強さ
とHard-Axis方向の磁界Hxの強さを変え、合成磁界の
強さのHx−Hy平面内における位置を変えることによ
り、TMR素子に対するデータの書き込みを制御でき
る。
【0019】なお、読み出しは、選択されたTMR素子
に電流を流し、そのTMR素子の抵抗値を検出すること
により容易に行うことができる。
【0020】例えば、TMR素子に直列にスイッチ素子
を接続し、選択された読み出しワード線に接続されるス
イッチ素子のみをオン状態として電流経路を作る。その
結果、選択されたTMR素子のみに電流が流れるため、
そのTMR素子のデータを読み出すことができる。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】磁気ランダムアクセス
メモリにおいては、上述ように、データ書き込みは、例
えば、書き込みワード線とデータ選択線(読み出し/書
き込みビット線)に,それぞれ、書き込み電流を流し、
これにより発生する合成磁界をTMR素子に作用させる
ことにより行う。
【0022】ここで、書き込み動作に関しては、TMR
素子に常に正確に書き込みデータを書き込むこと、即
ち、書き込み特性の安定化が要求される。書き込み特性
の安定化は、特に、TMR素子に記憶されているデータ
(TMR素子の状態)と書き込みデータとが異なる場合
に重要となる。つまり、このような場合には、TMR素
子の記憶層の磁化状態(スピンの向き)を安定して反転
させなければならない。
【0023】従来、書き込み特性の安定化という観点か
ら創出された書き込み方法としては、例えば、USP6,08
1,445 「Method to Write/Read MRAM Arrays」 に記載さ
れている方法が知られている。
【0024】この方法は、図114に示すように、ま
ず、Hard-Axis方向の磁界HxをTMR素子に作用さ
せ、TMR層の記憶層の端部の磁化方向をHard-Axis方
向に揃えた後()、Easy-Axis方向の磁界HyをTM
R素子に作用させる()、という方法である。
【0025】即ち、この方法では、書き込みワード線に
書き込み電流が流れた後に、書き込みビット線に書き込
みデータに応じた向きを有する書き込み電流が流れるこ
とになる。但し、TMR素子の磁化容易軸(Easy-Axi
s)は、書き込みワード線が延びる方向を向いているも
のとする。
【0026】このように、Easy-Axis方向の磁界Hyを
TMR素子に作用させる前に、Hard-Axis方向の磁界H
xをTMR素子に作用させ、TMR素子の記憶層の端部
の磁化方向をHard-Axis方向に揃えておく(不安定化し
ておく)のは、このようにすることで、TMR素子の記
憶層の磁化反転に必要とされるEasy-Axis方向の磁界H
yを弱くできる、即ち、書き込みビット線に流す書き込
み電流を小さくできるからである。
【0027】なお、TMR素子の記憶層の端部の磁化方
向をHard-Axis方向に不安定化しておくと、磁化反転に
必要とされるEasy-Axis方向の磁界Hyを弱くできる理
由は、明らかではないが、図115に示すように、TM
R素子の記憶層の磁化反転が記憶層の端部から始まるこ
とによる、と考えられている。
【0028】ところで、USP6,081,445 には、Hard-Axis
方向の磁界HxをTMR素子に作用させた後に、Easy-A
xis方向の磁界HyをTMR素子に作用させる、といっ
た点のみが開示される。この場合、TMR素子の記憶層
の磁化が十分に反転しなかったり、また、書き込み動作
終了後にTMR素子の記憶層の端部の磁化方向がHard-A
xis方向を向いたままであったりするなどの問題が生じ
る。
【0029】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、その目的は、磁気ランダムアクセス
メモリにおいて、書き込み電流を書き込みワード/ビッ
ト線に供給するタイミングや、書き込み電流の電流値の
時間的変化(パルス形状)などを工夫することにより、
TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行い、書き込み
特性の向上を図ることにある。
【0030】
【課題を解決するための手段】(1) 本発明の磁気ラ
ンダムアクセスメモリの書き込み方法は、容易軸及び困
難軸を有する磁気抵抗効果素子に、前記困難軸に平行な
第1磁界を作用させ、その後、前記磁気抵抗効果素子
に、前記第1磁界よりも弱い前記困難軸に平行な第2磁
界と前記容易軸に平行な第3磁界とを同時に作用させ
る、というステップから構成される。
【0031】前記第1及び第2磁界は、時間的に連続し
て、前記磁気抵抗効果素子に作用する。
【0032】前記第1磁界から前記第2磁界への変化
は、磁界の強さがアナログ的又はデジタル的に変化する
ように行われる。
【0033】前記第1及び第2磁界は、前記容易軸に平
行な方向に流れる第1書き込み電流により発生し、前記
第3磁界は、前記困難軸に平行な方向に流れる第2書き
込み電流により発生する。
【0034】前記第1及び第2磁界は、前記第1書き込
み電流の電流値を時間的に変化させることにより得られ
る。
【0035】前記第3磁界の向きは、前記磁気抵抗効果
素子に対する書き込みデータの値を決定する。
【0036】 本発明の磁気ランダムアクセスメモリ
の書き込み方法は、容易軸及び困難軸を有する磁気抵抗
効果素子に、前記困難軸に平行な第1磁界と前記容易軸
に平行な第2磁界とを同時に作用させ、その後、前記磁
気抵抗効果素子に、前記第2磁界よりも強い前記容易軸
に平行な第3磁界を作用させる、というステップから構
成される。
【0037】前記第2及び第3磁界は、時間的に連続し
て、前記磁気抵抗効果素子に作用する。
【0038】前記第2磁界から前記第3磁界への変化
は、磁界の強さがアナログ的又はデジタル的に変化する
ように行われる。
【0039】前記第1磁界は、前記容易軸に平行な方向
に流れる第1書き込み電流により発生し、前記第2及び
第3磁界は、前記困難軸に平行な方向に流れる第2書き
込み電流により発生する。
【0040】前記第2及び第3磁界は、前記第2書き込
み電流の電流値を時間的に変化させることにより得られ
る。
【0041】前記第2及び第3磁界の向きは、前記磁気
抵抗効果素子に対する書き込みデータの値を決定する。
【0042】 本発明の磁気ランダムアクセスメモリ
の書き込み方法は、容易軸及び困難軸を有する磁気抵抗
効果素子に、前記困難軸に平行な第1磁界を作用させ、
その後、前記磁気抵抗効果素子に、前記困難軸に平行な
第2磁界と前記容易軸に平行な第3磁界とを同時に作用
させ、その後、前記磁気抵抗効果素子に、前記容易軸に
平行な第4磁界を作用させる、というステップから構成
される。
【0043】前記第1及び第2磁界は、同じ強さを有
し、時間的に連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用す
る。
【0044】前記第3及び第4磁界は、同じ強さを有
し、時間的に連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用す
る。
【0045】前記第2磁界は、前記第1磁界よりも弱
く、かつ、前記第1及び第2磁界は、時間的に連続し
て、前記磁気抵抗効果素子に作用する。
【0046】前記第1磁界から前記第2磁界への変化
は、磁界の強さがアナログ的又はデジタル的に変化する
ように行われる。
【0047】前記第4磁界は、前記第3磁界よりも強
く、かつ、前記第3及び第4磁界は、時間的に連続し
て、前記磁気抵抗効果素子に作用する。
【0048】前記第3磁界から前記第4磁界への変化
は、磁界の強さがアナログ的又はデジタル的に変化する
ように行われる。
【0049】前記第1及び第2磁界は、前記容易軸に平
行な方向に流れる第1書き込み電流により発生し、前記
第3及び第4磁界は、前記困難軸に平行な方向に流れる
第2書き込み電流により発生する。
【0050】前記第3及び第4磁界の向きは、前記磁気
抵抗効果素子に対する書き込みデータの値を決定する。
【0051】 本発明の磁気ランダムアクセスメモリ
の書き込み方法は、容易軸及び困難軸を有する磁気抵抗
効果素子に、前記困難軸に平行な第1磁界と前記容易軸
に平行な第2磁界とを同時に作用させ、その後、前記磁
気抵抗効果素子に、前記困難軸に平行な第3磁界と前記
第2磁界よりも強い前記容易軸に平行な第4磁界とを同
時に作用させ、その後、前記磁気抵抗効果素子に、前記
第3磁界よりも弱い前記困難軸に平行な第5磁界と前記
容易軸に平行な第6磁界とを同時に作用させる、という
ステップから構成される。
【0052】前記第1及び第3磁界は、同じ強さを有す
る。
【0053】前記第3磁界は、前記1磁界よりも弱い。
【0054】前記第1磁界から前記第3磁界への変化及
び前記第3磁界から前記第5磁界への変化は、磁界の強
さがアナログ的又はデジタル的に変化するように行われ
る。
【0055】前記第1、第3及び第5磁界は、時間的に
連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用する。
【0056】前記第4及び第6磁界は、同じ強さを有す
る。
【0057】前記第6磁界は、前記4磁界よりも強い。
【0058】前記第2磁界から前記第4磁界への変化及
び前記第4磁界から前記第6磁界への変化は、磁界の強
さがアナログ的又はデジタル的に変化するように行われ
る。
【0059】前記第2、第4及び第6磁界は、時間的に
連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用する。
【0060】前記第1、第3及び第5磁界は、前記容易
軸に平行な方向に流れる第1書き込み電流により発生
し、前記第2、第4及び第6磁界は、前記困難軸に平行
な方向に流れる第2書き込み電流により発生する。
【0061】前記第2、第4及び第6磁界の向きは、前
記磁気抵抗効果素子に対する書き込みデータの値を決定
する。
【0062】(2) 本発明の磁気ランダムアクセスメ
モリは、互いに交差する第1及び第2書き込み線と、前
記第1及び第2書き込み線の交差点に配置される磁気抵
抗効果素子と、前記第1書き込み線に第1書き込み電流
を供給するための第1ドライバと、前記第2書き込み線
に第2書き込み電流を供給するための第2ドライバと、
前記第1書き込み電流を制御するための第1設定データ
及び前記第2書き込み電流を制御するための第2設定デ
ータが登録される設定回路と、前記第1設定データに依
存して前記第1ドライバの動作を制御し、前記第2設定
データに依存して前記第2ドライバの動作を制御する電
流波形制御回路とを備える。
【0063】本発明の磁気ランダムアクセスメモリは、
さらに、前記第1書き込み電流を吸収する第1シンカー
と、前記第2書き込み電流を吸収する第2シンカーとを
備え、前記電流波形制御回路は、前記第1及び第2シン
カーの動作を制御する。
【0064】前記電流波形制御回路は、前記第1ドライ
バの動作を終了させた後に、前記第1シンカーの動作を
終了させる。
【0065】前記電流波形制御回路は、前記第2ドライ
バの動作を終了させた後に、前記第2シンカーの動作を
終了させる。
【0066】前記第1設定データは、前記第1書き込み
線に対する前記第1書き込み電流の電流供給/遮断タイ
ミングを決定するデータである。
【0067】前記電流波形制御回路は、異なる遅延時間
を有する複数の遅延回路を有し、前記第1設定データに
基づいて前記複数の遅延回路のうちの1つを選択し、書
き込み動作の開始/終了を指示する書き込み信号を、選
択された遅延回路により一定時間だけ遅らせることによ
り、前記第1書き込み電流の電流供給/遮断タイミング
を決定する。
【0068】前記第2設定データは、前記第2書き込み
線に対する前記第2書き込み電流の電流供給/遮断タイ
ミングを決定するデータである。
【0069】前記電流波形制御回路は、異なる遅延時間
を有する複数の遅延回路を有し、前記第2設定データに
基づいて前記複数の遅延回路のうちの1つを選択し、書
き込み動作の開始/終了を指示する書き込み信号を、選
択された遅延回路により一定時間だけ遅らせることによ
り、前記第2書き込み電流の電流供給/遮断タイミング
を決定する。
【0070】前記第2書き込み電流の向きは、書き込み
データの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流の電
流供給/遮断タイミングは、前記第2書き込み電流の向
きに応じて変化する。
【0071】前記第2書き込み電流の向きは、書き込み
データの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流の電
流供給/遮断タイミングは、前記第2書き込み電流の向
きによらず一定である。
【0072】前記第1設定データは、前記第1書き込み
線に対する前記第1書き込み電流の電流波形を決定する
データである。
【0073】前記第1ドライバは、複数の電流供給源を
有し、前記電流波形制御回路は、前記第1設定データに
基づいて前記複数の電流供給源の動作を制御することに
より、前記第1書き込み電流の電流波形を決定する。
【0074】前記電流波形制御回路は、前記複数の電流
供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記複数
の波形生成回路は、前記第1設定データに基づいて、前
記複数の電流供給源の動作を制御する複数のパルス信号
を出力する。
【0075】前記第1ドライバは、複数の電流供給源を
有し、前記電流波形制御回路は、前記複数の電流供給源
の動作のタイミングを決定し、前記第1設定データは、
前記複数の電流供給源の動作の有無を決定する。
【0076】前記電流波形制御回路は、前記複数の電流
供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記複数
の波形生成回路は、前記複数の電流供給源の動作のタイ
ミングを決定する複数のパルス信号を出力する。
【0077】前記複数の電流供給源の電流供給能力は、
互いに等しい。
【0078】前記複数の電流供給源の電流供給能力は、
互いに異なる。
【0079】前記第2設定データは、前記第2書き込み
線に対する前記第2書き込み電流の電流波形を決定する
データである。
【0080】前記第2ドライバは、複数の電流供給源を
有し、前記電流波形制御回路は、前記第2設定データに
基づいて前記複数の電流供給源の動作を制御することに
より、前記第2書き込み電流の電流波形を決定する。
【0081】前記電流波形制御回路は、前記複数の電流
供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記複数
の波形生成回路は、前記第2設定データに基づいて、前
記複数の電流供給源の動作を制御する複数のパルス信号
を出力する。
【0082】前記第2ドライバは、複数の電流供給源を
有し、前記電流波形制御回路は、前記複数の電流供給源
の動作のタイミングを決定し、前記第2設定データは、
前記複数の電流供給源の動作の有無を決定する。
【0083】前記電流波形制御回路は、前記複数の電流
供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記複数
の波形生成回路は、前記複数の電流供給源の動作のタイ
ミングを決定する複数のパルス信号を出力する。
【0084】前記複数の電流供給源の電流供給能力は、
互いに等しい。
【0085】前記複数の電流供給源の電流供給能力は、
互いに異なる。
【0086】前記第2書き込み電流の向きは、書き込み
データの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流の電
流波形は、前記第2書き込み電流の向きに応じて変化す
る。
【0087】前記第2書き込み電流の向きは、書き込み
データの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流の電
流波形は、前記第2書き込み電流の向きによらず、同じ
である。
【0088】前記設定回路は、通常動作時に、前記第1
及び第2設定データを出力する出力回路と、テスト動作
時に、前記第1及び第2設定データに代えて、前記第1
及び第2書き込み電流を制御する第1及び第2テストデ
ータを転送する転送回路とを有する。
【0089】前記設定回路は、前記第1及び第2設定デ
ータを半永久的に記憶するための記憶素子を有してい
る。
【0090】前記記憶素子は、レーザ溶断型ヒューズで
ある。
【0091】前記記憶素子は、磁気抵抗効果素子であ
る。
【0092】前記記憶素子は、磁気抵抗効果素子のトン
ネルバリアの破壊の有無によりデータを記憶するアンチ
ヒューズである。
【0093】前記第1及び第2設定データを前記アンチ
ヒューズに電気的にプログラムする回路を有する。
【0094】前記磁気抵抗効果素子は、容易軸と困難軸
を有し、前記容易軸は、前記第1書き込み線が延びる方
向に平行で、前記困難軸は、前記第2書き込み線が延び
る方向に平行である。
【0095】前記第1書き込み線は、書き込みワード線
であり、前記第2書き込み線は、書き込みビット線であ
る。
【0096】前記磁気抵抗効果素子は、2つの強磁性層
と、前記2つの強磁性層の間に配置されるトンネルバリ
ア層とを有するトンネル磁気抵抗効果素子である。
【0097】 本発明の磁気ランダムアクセスメモリ
は、複数の第1書き込み線と、前記複数の第1書き込み
線に交差する複数の第2書き込み線と、前記複数の第1
書き込み線と前記複数の第2書き込み線の交差点に配置
される複数の磁気抵抗効果素子と、前記複数の第1書き
込み線に対応した複数の第1ドライバと、前記複数の第
2書き込み線に対応した複数の第2ドライバと、前記複
数の第1書き込み線に流れる第1書き込み電流を制御す
るための第1設定データ及び前記複数の第2書き込み線
に流れる第2書き込み電流を制御するための第2設定デ
ータが登録される設定回路と、前記第1設定データに依
存して前記複数の第1ドライバの動作を制御し、前記第
2設定データに依存して前記複数の第2ドライバの動作
を制御する電流波形制御回路とを備える。
【0098】前記第1設定データは、前記第1書き込み
電流の電流供給/遮断タイミング又は電流波形を、前記
複数の第1書き込み線単位で制御するデータであり、前
記第2設定データは、前記第2書き込み電流の電流供給
/遮断タイミング又は電流波形を、前記複数の第2書き
込み線単位で制御するデータである。
【0099】前記第1設定データは、前記第1書き込み
電流の電流供給/遮断タイミング又は電流波形を、前記
複数の第1書き込み線の各々に対して個別に制御するデ
ータであり、前記第2設定データは、前記第2書き込み
電流の電流供給/遮断タイミング又は電流波形を、前記
複数の第2書き込み線の各々に対して個別に制御するデ
ータである。
【0100】前記第2書き込み電流の向きは、書き込み
データの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流の電
流供給/遮断タイミング又は電流波形は、前記第2書き
込み電流の向きに応じて変化する。
【0101】前記第2書き込み電流の向きは、書き込み
データの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流の電
流供給/遮断タイミング又は電流波形は、前記第2書き
込み電流の向きによらず一定である。
【0102】前記複数の第1書き込み線、前記複数の第
2書き込み線、前記複数の磁気抵抗効果素子、前記複数
の第1ドライバ、及び、前記複数の第2ドライバによ
り、1つのセルアレイブロックが構成される場合に、複
数のセルアレイブロックが半導体基板上に積み重ねら
れ、かつ、前記設定回路及び前記電流波形制御回路は、
前記複数のセルアレイブロックに共有される。
【0103】前記複数の第1書き込み線、前記複数の第
2書き込み線、前記複数の磁気抵抗効果素子、前記複数
の第1ドライバ、前記複数の第2ドライバ、前記設定回
路、及び、前記電流波形制御回路により、1つのセルア
レイブロックが構成される場合に、複数のセルアレイブ
ロックが半導体基板上に積み重ねられる。
【0104】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の磁気ランダムアクセスメモリの例について詳細に説
明する。
【0105】1. 書き込み原理(TMR素子に対する
磁界の印加方法) まず、本発明の磁気ランダムアクセスメモリの書き込み
原理、即ち、TMR素子(MTJ)に対する磁界Hx,H
yの印加方法について説明する。
【0106】本発明に関わる書き込み原理では、TMR
素子の磁化方向が反転し易くなるように、書き込み電流
を供給するタイミング、即ち、磁界Hx,Hyの印加タ
イミングや、書き込み電流の電流値の時間的変化、即
ち、磁界Hx,Hyの強さの時間的変化などについて検
討している。
【0107】(1) 実施例1 本例の書き込み原理では、Easy-Axis方向の磁界Hyを
TMR素子に作用させる前に、TMR素子の記憶層の端
部の磁区の磁化方向をHard-Axis方向に揃えておくため
の手法、及び、Easy-Axis方向の磁界HyをTMR素子
に作用させた後においては、TMR素子の記憶層の端部
の磁区の磁化方向が完全にEasy-Axis方向を向くように
するための手法を提案する。
【0108】これらの手法の共通のポイントは、Hard-A
xis方向の磁界Hxの強さを時間的に変化させる点にあ
る。
【0109】具体的には、まず、図1に示すように、Ea
sy-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作用させる前
に、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard
-Axis方向に揃えておくに十分な強さの磁界HxをTM
R素子に作用させ、TMR層の記憶層の端部の磁区の磁
化方向をHard-Axis方向に揃える()。
【0110】この後、図2に示すように、書き込みデー
タに応じた向きを有するEasy-Axis方向の磁界HyをT
MR素子に作用させ、TMR素子の磁化方向をEasy-Axi
s方向に向ける。この時、TMR素子の記憶層の端部の
磁区の磁化方向が完全にEasy-Axis方向を向くように、H
ard-Axis方向の磁界Hxは、磁界HyをTMR素子に作
用させる前の磁界Hxよりも弱くなるように設定される
()。
【0111】図3は、実施例1の書き込み原理を実現す
るための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につい
て簡単に示している。
【0112】磁界Hx,Hyの発生タイミングや強さ
は、互いに交差する書き込みワード線及び書き込みビッ
ト線に流す書き込み電流の電流供給タイミングや大きさ
によって決定される。例えば、Hard-Axis方向の磁界H
xの強さを時間的に変化させるには、書き込みワード線
に流す書き込み電流の大きさを時間的に変化させればよ
い。但し、TMR素子の磁化容易軸(Easy-Axis)は、
書き込みワード線が延びる方向を向いているものとす
る。
【0113】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流す。書き込み電流Ip1に
より、Hard-Axis方向の磁界Hxが発生し、TMR層の
記憶層の端部の磁区の磁化方向がHard-Axis方向に揃う
(ステップST1)。
【0114】この後、書き込みワード線に、一定方向の
向きの書き込み電流Ip2(<Ip1)を流し、書き込
みビット線に、書き込みデータに応じた向きの書き込み
電流Ip3を流す。書き込み電流Ip2,Ip3によ
り、合成磁界Hx+Hyが発生し、TMR層の記憶層の
磁化方向が反転する(ステップST2)。
【0115】なお、書き込み電流Ip1から書き込み電
流Ip2への変化(磁界Hxの変化→)は、磁界の
強さがアナログ的に変化するように行っても、又は、デ
ジタル的に変化するように行ってもよい。
【0116】この動作原理を実行するための回路方式、
即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き込みビ
ット線に供給するタイミングや、書き込み電流の大きさ
(波形)などを決定する回路については、後に詳述す
る。
【0117】このように、本例の書き込み原理では、Ea
sy-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作用させる前
に、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard
-Axis方向に揃えておくに十分な強さの磁界HxをTM
R素子に作用させている。また、Easy-Axis方向の磁界
HyをTMR素子に作用させるときには、Hard-Axis方
向の磁界Hxは、磁界Hyを発生させる前の磁界Hxよ
りも弱くなるように設定される。
【0118】従って、Easy-Axis方向の磁界HyをTM
R素子に作用させた後においても、TMR素子の記憶層
の端部の磁区の磁化方向がHard-Axis方向を向いたまま
である、という事態が発生することがなく、かつ、TM
R素子の記憶層の磁化反転に関しては、それを確実に行
うことができ、書き込み特性を向上できる。
【0119】(2) 実施例2 書き込み動作終了後においても、TMR素子の記憶層の
端部の磁区の磁化方向が、図95に示すように、Hard-A
xis方向を向いていると、その端部の磁区の磁化方向
は、TMR素子の固定層の磁化方向と直交することにな
る。そして、この部分におけるMR比は、TMR素子の
磁化状態(固定層の磁化方向と記憶層の磁化方向との関
係)が平行又は反平行となったときのMR比の約半分と
なり、結果として、TMR素子のMR比を悪化させる原
因となる。
【0120】そこで、本例の書き込み原理では、Hard-A
xis方向の磁界Hxにより、TMR素子の記憶層の端部
の磁区の磁化方向がHard-Axis方向に揃っていることを
前提として、この後、Easy-Axis方向の磁界Hyによ
り、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向を完全
にEasy-Axis方向を向かせるための手法を提案する。
【0121】この手法のポイントは、Hard-Axis方向の
磁界Hxを消滅させた後においても、Easy-Axis方向の
磁界HyをTMR素子に作用させ続ける点にある。
【0122】具体的には、まず、図4に示すように、Ha
rd-Axis方向の磁界HxをTMR素子に作用させ、TM
R素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard-Axis方
向に揃える()。
【0123】次に、図5に示すように、書き込みデータ
に応じた向きを有するEasy-Axis方向の磁界HyをTM
R素子に作用させる。この時、Hard-Axis方向の磁界H
xは、そのまま継続して発生しているため、TMR素子
には、合成磁界Hx+Hyが作用することになる
()。
【0124】この後、図6に示すように、Hard-Axis方
向の磁界Hxのみを消滅させる。つまり、TMR素子に
は、Easy-Axis方向の磁界Hyのみが作用することにな
るため、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向
は、この磁界Hyにより、完全にEasy-Axis方向を向く
()。
【0125】図7は、実施例2の書き込み原理を実現す
るための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につい
て簡単に示している。
【0126】磁界Hx,Hyを発生させるタイミングや
消滅させるタイミングは、互いに交差する書き込みワー
ド線及び書き込みビット線に対して、書き込み電流を供
給するタイミングや遮断するタイミングによって決定さ
れる。
【0127】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流す。書き込み電流Ip1に
より、Hard-Axis方向の磁界Hxが発生し、TMR層の
記憶層の端部の磁区の磁化方向がHard-Axis方向に揃う
(ステップST1)。
【0128】次に、書き込みワード線に、書き込み電流
Ip1を流し続け、かつ、書き込みビット線に、書き込
みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流す。こ
れら書き込み電流Ip1,Ip2によって、合成磁界H
x+Hyが発生する(ステップST2)。
【0129】この後、書き込みワード線の書き込み電流
Ip1を停止させ、書き込みビット線の書き込み電流I
p2のみを流し続ける。その結果、TMR素子の記憶層
の端部の磁区の磁化方向は、磁界Hyにより、完全にEa
sy-Axis方向を向き、TMR層の記憶層の磁化方向が反
転する(ステップST3)。
【0130】なお、この動作原理を実行するための回路
方式、即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き
込みビット線に供給するタイミングや、書き込み電流の
大きさ(波形)などを決定する回路については、後に詳
述する。
【0131】このように、本例の書き込み原理では、Ha
rd-Axis方向の磁界Hxを消滅させた後においても、Eas
y-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作用させ続けるよ
うにしている。従って、Easy-Axis方向の磁界Hyを消
滅させた後に、未だ、TMR素子の記憶層の端部の磁区
の磁化方向がHard-Axis方向を向いたままである、とい
う事態が発生することがなく、かつ、TMR素子の記憶
層の磁化反転に関しては、それを確実に行うことがで
き、書き込み特性を向上できる。
【0132】(3) 実施例3 本例の書き込み原理では、Hard-Axis方向の磁界Hxに
より、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向がHa
rd-Axis方向に揃っていることを前提として、この後、E
asy-Axis方向の磁界Hyにより、TMR素子の記憶層の
端部の磁区の磁化方向を完全にEasy-Axis方向を向かせ
るための手法を提案する。
【0133】この手法のポイントは、Hard-Axis方向の
磁界Hxを消滅させた後に、Easy-Axis方向の磁界Hy
をTMR素子に作用させ続けると共に、磁界Hyの強さ
を磁界Hxの消滅前の磁界Hyよりも強くする点にあ
る。
【0134】具体的には、まず、図8に示すように、Ha
rd-Axis方向の磁界HxをTMR素子に作用させ、TM
R素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard-Axis方
向に揃える()。
【0135】次に、図9に示すように、書き込みデータ
に応じた向きを有するEasy-Axis方向の磁界HyをTM
R素子に作用させる。この時、Hard-Axis方向の磁界H
xは、そのまま継続して発生しているため、TMR素子
には、合成磁界Hx+Hyが作用することになる
()。
【0136】この後、図10に示すように、Hard-Axis
方向の磁界Hxのみを消滅させ、TMR素子に、Easy-A
xis方向の磁界Hyのみを作用させる。また、この時、
磁界Hyの強さは、磁界Hxの消滅前の磁界Hyよりも
強くする。この磁界Hyによって、TMR素子の記憶層
の端部の磁区の磁化方向は、完全にEasy-Axis方向を向
く()。
【0137】図11は、実施例3の書き込み原理を実現
するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につ
いて簡単に示している。
【0138】磁界Hx,Hyの発生/消滅のタイミング
や強さは、互いに交差する書き込みワード線及び書き込
みビット線に流す書き込み電流の供給/遮断のタイミン
グや大きさによって決定される。
【0139】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流す。書き込み電流Ip1に
より、Hard-Axis方向の磁界Hxが発生し、TMR層の
記憶層の端部の磁区の磁化方向がHard-Axis方向に揃う
(ステップST1)。
【0140】次に、書き込みワード線に、書き込み電流
Ip1を流し続け、かつ、書き込みビット線に、書き込
みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流す。こ
れら書き込み電流Ip1,Ip2によって、合成磁界H
x+Hyが発生する(ステップST2)。
【0141】この後、書き込みワード線の書き込み電流
Ip1を停止させ、書き込みビット線に、書き込み電流
Ip3(>Ip2)を流す。その結果、TMR素子の記
憶層の端部の磁区の磁化方向は、磁界Hyにより、完全
にEasy-Axis方向を向き、TMR層の記憶層の磁化方向
が反転する(ステップST3)。
【0142】なお、書き込み電流Ip2から書き込み電
流Ip3への変化(磁界Hyの変化→)は、磁界の
強さがアナログ的に変化するように行っても、又は、デ
ジタル的に変化するように行ってもよい。
【0143】この動作原理を実行するための回路方式、
即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き込みビ
ット線に供給するタイミングや、書き込み電流の大きさ
(波形)などを決定する回路については、後に詳述す
る。
【0144】このように、本例の書き込み原理では、Ha
rd-Axis方向の磁界Hxを消滅させた後においても、Eas
y-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作用させ続けるよ
うにしている。しかも、Hard-Axis方向の磁界Hxを消
滅させた後のEasy-Axis方向の磁界Hyは、磁界Hxの
消滅前の磁界Hyよりも強くなっている。
【0145】従って、Easy-Axis方向の磁界Hyを消滅
させた後に、未だ、TMR素子の記憶層の端部の磁区の
磁化方向がHard-Axis方向を向いたままである、という
事態が発生することがなく、かつ、TMR素子の記憶層
の磁化反転に関しては、それを確実に行うことができ、
書き込み特性を向上できる。
【0146】(4) 実施例4 本例の書き込み原理では、Easy-Axis方向の磁界Hyを
TMR素子に作用させる前に、TMR素子の記憶層の端
部の磁区の磁化方向をHard-Axis方向に揃えておくため
の手法、及び、Easy-Axis方向の磁界HyをTMR素子
に作用させた後においては、TMR素子の記憶層の端部
の磁区の磁化方向が完全にEasy-Axis方向を向くように
するための手法を提案する。
【0147】本例の書き込み原理は、実施例1の書き込
み原理と実施例3の書き込み原理とを組み合わせたもの
である。そのポイントは、Hard-Axis方向の磁界Hxの
強さ及びEasy-Axis方向の磁界Hyの強さを時間的に変
化させる点、及び、Hard-Axis方向の磁界Hxを消滅さ
せた後に、Easy-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作
用させ続ける点にある。
【0148】具体的には、まず、図12に示すように、
Easy-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作用させる前
に、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard
-Axis方向に揃えておくに十分な強さの磁界HxをTM
R素子に作用させ、TMR層の記憶層の端部の磁区の磁
化方向をHard-Axis方向に揃える()。
【0149】次に、図13に示すように、書き込みデー
タに応じた向きを有するEasy-Axis方向の磁界HyをT
MR素子に作用させ、TMR素子の磁化方向をEasy-Axi
s方向に向ける。この時、TMR素子の記憶層の端部の
磁区の磁化方向が完全にEasy-Axis方向を向くように、H
ard-Axis方向の磁界Hxは、磁界HyをTMR素子に作
用させる前の磁界Hxよりも弱くなるように設定される
()。
【0150】この後、図14に示すように、Hard-Axis
方向の磁界Hxのみを消滅させ、TMR素子に、Easy-A
xis方向の磁界Hyのみを作用させる。この時、磁界H
yの強さは、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方
向が完全にEasy-Axis方向を向くように、磁界Hxの消
滅前の磁界Hyよりも強くする()。
【0151】図15は、実施例4の書き込み原理を実現
するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につ
いて簡単に示している。
【0152】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流す。書き込み電流Ip1に
より、Hard-Axis方向の磁界Hxが発生し、TMR層の
記憶層の端部の磁区の磁化方向がHard-Axis方向に揃う
(ステップST1)。
【0153】次に、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip2(<Ip1)を流し、書き込み
ビット線に、書き込みデータに応じた向きの書き込み電
流Ip3を流す。書き込み電流Ip2,Ip3により、
合成磁界Hx+Hyが発生する(ステップST2)。
【0154】この後、書き込みワード線の書き込み電流
Ip2を停止させ、書き込みビット線に、書き込み電流
Ip4(>Ip3)を流す。その結果、TMR素子の記
憶層の端部の磁区の磁化方向は、磁界Hyにより、完全
にEasy-Axis方向を向き、TMR層の記憶層の磁化方向
が反転する(ステップST3)。
【0155】なお、書き込み電流Ip1から書き込み電
流Ip2への変化(磁界Hxの変化→)は、磁界の
強さがアナログ的に変化するように行っても、又は、デ
ジタル的に変化するように行ってもよい。
【0156】また、書き込み電流Ip3から書き込み電
流Ip4への変化(磁界Hyの変化→)について
も、磁界の強さがアナログ的に変化するように行って
も、又は、デジタル的に変化するように行ってもよい。
【0157】この動作原理を実行するための回路方式、
即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き込みビ
ット線に供給するタイミングや、書き込み電流の大きさ
(波形)などを決定する回路については、後に詳述す
る。
【0158】このように、本例の書き込み原理では、Ea
sy-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作用させる前
に、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard
-Axis方向に揃えておくに十分な強さの磁界HxをTM
R素子に作用させている。また、Easy-Axis方向の磁界
HyをTMR素子に作用させるときには、Hard-Axis方
向の磁界Hxは、磁界Hyを発生させる前の磁界Hxよ
りも弱くなるように設定される。
【0159】さらに、本例の書き込み原理では、Hard-A
xis方向の磁界Hxを消滅させた後においても、Easy-Ax
is方向の磁界HyをTMR素子に作用させ続けるように
している。しかも、Hard-Axis方向の磁界Hxを消滅さ
せた後のEasy-Axis方向の磁界Hyは、磁界Hxの消滅
前の磁界Hyよりも大きい。
【0160】従って、Easy-Axis方向の磁界Hyを消滅
させた後に、未だ、TMR素子の記憶層の端部の磁区の
磁化方向がHard-Axis方向を向いたままである、という
事態が発生することがなく、かつ、TMR素子の記憶層
の磁化反転に関しては、それを確実に行うことができ、
書き込み特性を向上できる。
【0161】(5) 実施例5 本例の書き込み原理では、Hard-Axis方向の磁界HxとE
asy-Axis方向の磁界Hyとを同時に発生/消滅させると
共に、Easy-Axis方向の磁界Hyの強さを時間的に変化
させる手法について提案する。
【0162】本例の手法のポイントは、Hard-Axis方向
の磁界Hxの強さを常に一定とし、かつ、磁界Hx,H
yの発生当初においては、Easy-Axis方向の磁界Hyを
小さな値に設定し、その後、Easy-Axis方向の磁界Hy
を大きな値に変化させる点にある。
【0163】具体的には、まず、図16に示すように、
TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard-Axi
s方向に揃えるに十分な強さの磁界HxをTMR素子に
作用させると共に、書き込みデータに応じた向きを有す
るEasy-Axis方向の小さな磁界HyをTMR素子に作用
させる。この段階では、TMR素子は、磁界Hxによる
影響を大きく受けるため、TMR層の記憶層の端部の磁
区の磁化方向は、Hard-Axis方向に揃う()。
【0164】この後、図17に示すように、Easy-Axis
方向の磁界Hyを十分に大きな値に変化させ、合成磁界
Hx,Hyにより、TMR素子の記憶層の磁化方向を反
転させる。このときの磁界Hxの強さと磁界Hyの強さ
は、同じであっても、又は、異なっていてもよい
()。
【0165】図18は、実施例5の書き込み原理を実現
するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につ
いて簡単に示している。
【0166】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流し、書き込みビット線に、
書き込みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流
す。ここで、書き込み電流Ip2は、書き込み電流Ip
1よりも十分に小さな値となっている。大きな値を有す
る書き込み電流Ip1により、Hard-Axis方向の磁界H
xが発生し、TMR層の記憶層の端部の磁区の磁化方向
がHard-Axis方向に揃う(ステップST1)。
【0167】この後、書き込みビット線に、十分に大き
な値を有する書き込み電流Ip3(>Ip2)を流す
と、書き込み電流Ip1,Ip3により、合成磁界Hx
+Hyが発生する。その結果、TMR素子の記憶層の端
部の磁区の磁化方向は、磁界Hyにより、完全にEasy-A
xis方向を向き、TMR層の記憶層の磁化方向が反転す
る(ステップST2)。
【0168】なお、書き込み電流Ip2から書き込み電
流Ip3への変化(磁界Hyの変化→)は、磁界の
強さがアナログ的に変化するように行っても、又は、デ
ジタル的に変化するように行ってもよい。
【0169】この動作原理を実行するための回路方式、
即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き込みビ
ット線に供給するタイミングや、書き込み電流の大きさ
(波形)などを決定する回路については、後に詳述す
る。
【0170】このように、本例の書き込み原理では、Ea
sy-Axis方向の磁界Hyを段階的に変化させているた
め、大きな磁界Hyを発生させるために、急激に、書き
込みビット線に大きな書き込み電流を流す必要がない。
つまり、書き込みビット線に流れる書き込み電流(の大
きさ)の急激な変化がないため、インダクタンス成分に
よるノイズを低減することができる。
【0171】(6) 実施例6 本例の書き込み原理では、Hard-Axis方向の磁界HxとE
asy-Axis方向の磁界Hyとを同時に発生/消滅させると
共に、Hard-Axis方向の磁界Hxの強さとEasy-Axis方向
の磁界Hyの強さを、共に、時間的に変化させる手法に
ついて提案する。
【0172】本例の手法のポイントは、磁界Hx,Hy
の発生当初においては、Hard-Axis方向の磁界Hxを大
きな値とし、Easy-Axis方向の磁界Hyを小さな値に設
定すると共に、その後、Easy-Axis方向の磁界Hyを大
きな値に変化させ、さらに、その後、Hard-Axis方向の
磁界Hxを小さな値に変化させる点にある。
【0173】具体的には、まず、図19に示すように、
TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard-Axi
s方向に揃えるに十分な強さの磁界HxをTMR素子に
作用させると共に、書き込みデータに応じた向きを有す
るEasy-Axis方向の小さな磁界HyをTMR素子に作用
させる。この段階では、TMR素子は、磁界Hxによる
影響を大きく受けるため、TMR層の記憶層の端部の磁
区の磁化方向は、Hard-Axis方向に揃う()。
【0174】次に、図20に示すように、Easy-Axis方
向の磁界Hyを十分に大きな値に変化させ、合成磁界H
x,Hyにより、TMR素子の記憶層の磁化方向を反転
させる。このときの磁界Hxの強さと磁界Hyの強さ
は、同じであっても、又は、異なっていてもよい
()。
【0175】この後、図21に示すように、Hard-Axis
方向の磁界Hxを十分に小さな値に変化させ、合成磁界
Hx,Hyにより、TMR層の記憶層の端部の磁区の磁
化方向を完全にEasy-Axis方向に向ける()。
【0176】図22は、実施例6の書き込み原理を実現
するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につ
いて簡単に示している。
【0177】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流し、書き込みビット線に、
書き込みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流
す。ここで、書き込み電流Ip2は、書き込み電流Ip
1よりも十分に小さな値となっている。大きな値を有す
る書き込み電流Ip1により、Hard-Axis方向の磁界H
xが発生し、TMR層の記憶層の端部の磁区の磁化方向
がHard-Axis方向に揃う(ステップST1)。
【0178】次に、書き込みビット線に、十分に大きな
値を有する書き込み電流Ip3(>Ip2)を流すと、
書き込み電流Ip1,Ip3により、合成磁界Hx+H
yが発生する(ステップST2)。
【0179】この後、書き込みワード線に、十分に小さ
な値を有する書き込み電流Ip4(<Ip1)を流す
と、書き込み電流Ip3,Ip4により、合成磁界Hx
+Hyが発生する。その結果、TMR素子の記憶層の端
部の磁区の磁化方向は、磁界Hyにより、完全にEasy-A
xis方向を向き、TMR層の記憶層の磁化方向が反転す
る(ステップST3)。
【0180】なお、書き込み電流Ip2から書き込み電
流Ip3への変化(磁界Hyの変化→)は、磁界の
強さがアナログ的に変化するように行っても、又は、デ
ジタル的に変化するように行ってもよい。
【0181】また、書き込み電流Ip1から書き込み電
流Ip4への変化(磁界Hxの変化→)について
も、磁界の強さがアナログ的に変化するように行って
も、又は、デジタル的に変化するように行ってもよい。
【0182】この動作原理を実行するための回路方式、
即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き込みビ
ット線に供給するタイミングや、書き込み電流の大きさ
(波形)などを決定する回路については、後に詳述す
る。
【0183】このように、本例の書き込み原理では、Ha
rd-Axis方向の磁界Hxを段階的に弱くし、Easy-Axis方
向の磁界Hyを段階的に強くしている。このため、大き
な磁界Hx,Hyを発生/消滅させるために、急激に、
書き込みワード/ビット線に大きな書き込み電流を流し
たり、又は、それを遮断したりする必要がない。つま
り、書き込みワード/ビット線に流れる書き込み電流
(の大きさ)の急激な変化がないため、インダクタンス
成分によるノイズを低減できる。
【0184】(7) 実施例7 本例の書き込み原理では、Hard-Axis方向の磁界HxとE
asy-Axis方向の磁界Hyとを同時に発生/消滅させると
共に、Hard-Axis方向の磁界Hxの強さとEasy-Axis方向
の磁界Hyの強さを、共に、時間的に変化させる手法に
ついて提案する。
【0185】本例の手法のポイントは、磁界Hx,Hy
の発生当初においては、Hard-Axis方向の磁界Hxを十
分に大きな値とし、Easy-Axis方向の磁界Hyを小さな
値に設定し、その後、Hard-Axis方向の磁界Hxを十分
に大きな値から大きな値に変化させ、Easy-Axis方向の
磁界Hyを大きな値に変化させ、さらに、その後、Hard
-Axis方向の磁界Hxを小さな値に変化させる点にあ
る。
【0186】つまり、本例の書き込み原理では、Hard-A
xis方向の磁界Hxは、3段階で次第に弱くなってい
き、Easy-Axis方向の磁界Hyは、2段階で次第に強く
なっていく。
【0187】具体的には、まず、図23に示すように、
TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard-Axi
s方向に揃えるに十分な強さの磁界HxをTMR素子に
作用させると共に、書き込みデータに応じた向きを有す
るEasy-Axis方向の小さな磁界HyをTMR素子に作用
させる。この段階では、TMR素子は、磁界Hxによる
影響を大きく受けるため、TMR層の記憶層の端部の磁
区の磁化方向は、Hard-Axis方向に揃う()。
【0188】次に、図24に示すように、Hard-Axis方
向の磁界Hxを十分に大きな値から大きな値に変化させ
る(磁界Hxを少し弱くする)と共に、Easy-Axis方向
の磁界Hyを大きな値に変化させる。このときの磁界H
xの強さと磁界Hyの強さは、同じであっても、又は、
異なっていてもよい()。
【0189】この後、図25に示すように、Hard-Axis
方向の磁界Hxを十分に小さな値に変化させる。そし
て、合成磁界Hx,Hyにより、TMR層の記憶層の端
部の磁区の磁化方向を完全にEasy-Axis方向に向ける
()。
【0190】図26は、実施例7の書き込み原理を実現
するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につ
いて簡単に示している。
【0191】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流し、書き込みビット線に、
書き込みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流
す。ここで、書き込み電流Ip2は、書き込み電流Ip
1よりも十分に小さな値となっている。大きな値を有す
る書き込み電流Ip1により、Hard-Axis方向の磁界H
xが発生し、TMR層の記憶層の端部の磁区の磁化方向
がHard-Axis方向に揃う(ステップST1)。
【0192】次に、書き込みワード線に書き込み電流I
p3(<Ip1)を流し、書き込みビット線に書き込み
電流Ip4(>Ip2)を流すと、書き込み電流Ip
3,Ip4により、合成磁界Hx+Hyが発生する(ス
テップST2)。
【0193】この後、書き込みワード線に、書き込み電
流Ip5(<Ip3)を流すと、書き込み電流Ip4,
Ip5により、合成磁界Hx+Hyが発生する。その結
果、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向は、磁
界Hyにより、Easy-Axis方向を向き、TMR層の記憶
層の磁化方向が反転する(ステップST3)。
【0194】なお、書き込み電流Ip1から書き込み電
流Ip3への変化及び書き込み電流Ip3から書き込み
電流Ip5への変化(磁界Hxの変化→→)は、
磁界の強さがアナログ的に変化するように行っても、又
は、デジタル的に変化するように行ってもよい。
【0195】また、書き込み電流Ip2から書き込み電
流Ip4への変化(磁界Hyの変化→)について
も、磁界の強さがアナログ的に変化するように行って
も、又は、デジタル的に変化するように行ってもよい。
【0196】この動作原理を実行するための回路方式、
即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き込みビ
ット線に供給するタイミングや、書き込み電流の大きさ
(波形)などを決定する回路については、後に詳述す
る。
【0197】このように、本例の書き込み原理では、Ha
rd-Axis方向の磁界Hxを、3段階で、次第に弱くし、E
asy-Axis方向の磁界Hyを、2段階で、次第に強くして
いる。このため、大きな磁界Hx,Hyを発生/消滅さ
せるために、急激に、書き込みワード/ビット線に大き
な書き込み電流を流したり、又は、それを遮断したりす
る必要がない。つまり、書き込みワード/ビット線に流
れる書き込み電流(の大きさ)の急激な変化がないた
め、インダクタンス成分によるノイズを低減できる。
【0198】(8) 実施例8 本例の書き込み原理では、Hard-Axis方向の磁界HxとE
asy-Axis方向の磁界Hyとを同時に発生/消滅させると
共に、Hard-Axis方向の磁界Hxの強さとEasy-Axis方向
の磁界Hyの強さを、共に、時間的に変化させる手法に
ついて提案する。
【0199】本例の手法のポイントは、磁界Hx,Hy
の発生当初においては、Hard-Axis方向の磁界Hxを十
分に大きな値とし、Easy-Axis方向の磁界Hyを小さな
値に設定し、その後、Hard-Axis方向の磁界Hxを十分
に大きな値から大きな値に変化させ、Easy-Axis方向の
磁界Hyを大きな値に変化させ、さらに、その後、Hard
-Axis方向の磁界Hxを小さな値に変化させ、Easy-Axis
方向の磁界Hyを十分に大きな値に変化させる点にあ
る。
【0200】つまり、本例の書き込み原理では、Hard-A
xis方向の磁界Hxについては、3段階で次第に弱くな
っていき、Easy-Axis方向の磁界Hyについては、3段
階で次第に強くなっていく。
【0201】具体的には、まず、図27に示すように、
TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向をHard-Axi
s方向に揃えるに十分な強さの磁界HxをTMR素子に
作用させると共に、書き込みデータに応じた向きを有す
るEasy-Axis方向の小さな磁界HyをTMR素子に作用
させる。この段階では、TMR素子は、磁界Hxによる
影響を大きく受けるため、TMR層の記憶層の端部の磁
区の磁化方向は、Hard-Axis方向に揃う()。
【0202】次に、図28に示すように、Hard-Axis方
向の磁界Hxを十分に大きな値から大きな値に変化させ
る(磁界Hxを少し弱くする)と共に、Easy-Axis方向
の磁界Hyを大きな値に変化させる。このときの磁界H
xの強さと磁界Hyの強さは、同じであっても、又は、
異なっていてもよい()。
【0203】この後、図29に示すように、Hard-Axis
方向の磁界Hxを十分に小さな値に変化させ、Easy-Axi
s方向の磁界Hyを大きな値から十分に大きな値に変化
させる(磁界Hyをさらに強くする)。その結果、TM
R層の記憶層の端部の磁区の磁化方向は、合成磁界H
x,Hyにより、Easy-Axis方向に向く()。
【0204】図30は、実施例8の書き込み原理を実現
するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につ
いて簡単に示している。
【0205】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流し、書き込みビット線に、
書き込みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流
す。ここで、書き込み電流Ip2は、書き込み電流Ip
1よりも十分に小さな値となっている。大きな値を有す
る書き込み電流Ip1により、Hard-Axis方向の磁界H
xが発生し、TMR層の記憶層の端部の磁区の磁化方向
がHard-Axis方向に揃う(ステップST1)。
【0206】次に、書き込みワード線に書き込み電流I
p3(<Ip1)を流し、書き込みビット線に書き込み
電流Ip4(>Ip2)を流すと、書き込み電流Ip
3,Ip4により、合成磁界Hx+Hyが発生する(ス
テップST2)。
【0207】この後、書き込みワード線に、書き込み電
流Ip5(<Ip3)を流し、書き込みビット線に、書
き込み電流Ip6(>Ip4)を流すと、書き込み電流
Ip5,Ip6により、合成磁界Hx+Hyが発生す
る。その結果、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化
方向は、磁界Hyにより、Easy-Axis方向を向き、TM
R層の記憶層の磁化方向が反転する(ステップST
3)。
【0208】なお、書き込み電流Ip1から書き込み電
流Ip3への変化及び書き込み電流Ip3から書き込み
電流Ip5への変化(磁界Hxの変化→→)は、
磁界の強さがアナログ的に変化するように行っても、又
は、デジタル的に変化するように行ってもよい。
【0209】また、書き込み電流Ip2から書き込み電
流Ip4への変化及び書き込み電流Ip4から書き込み
電流Ip6への変化(磁界Hyの変化→→)につ
いても、磁界の強さがアナログ的に変化するように行っ
ても、又は、デジタル的に変化するように行ってもよ
い。
【0210】この動作原理を実行するための回路方式、
即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き込みビ
ット線に供給するタイミングや、書き込み電流の大きさ
(波形)などを決定する回路については、後に詳述す
る。
【0211】このように、本例の書き込み原理では、Ha
rd-Axis方向の磁界Hxを、3段階で、次第に弱くし、E
asy-Axis方向の磁界Hyを、3段階で、次第に強くして
いる。このため、磁界Hx,Hyを発生/消滅させるた
めに、急激に、書き込みワード/ビット線に大きな書き
込み電流を流したり、又は、それを遮断したりする必要
がない。つまり、書き込みワード/ビット線に流れる書
き込み電流(の大きさ)の急激な変化がないため、イン
ダクタンス成分によるノイズを低減できる。
【0212】(9) 実施例9 本例の書き込み原理では、合成磁界Hx+Hyの向き及
び強さを、それぞれアナログ的に変化させる手法につい
て提案する。
【0213】本例の手法のポイントは、Hard-Axis方向
の磁界Hxを、十分に大きな値からアナログ的に次第に
小さくしていく点、及び、Easy-Axis方向の磁界Hy
を、十分に大きな値までアナログ的に次第に大きくして
いく点にある。
【0214】つまり、本例の書き込み原理では、合成磁
界Hx+Hyの向き及び強さは、アナログ的に変化す
る。
【0215】具体的には、図31及び図32に示すよう
に、まず、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向
をHard-Axis方向に揃えるに十分な強さの磁界HxをT
MR素子に作用させる。そして、磁界Hxの強さを一定
に保ちつつ、書き込みデータに応じた向きを有するEasy
-Axis方向の磁界HyをTMR素子に作用させる。磁界
Hyは、磁界Hxが一定の間(時刻tまで)、アナログ
的に次第に大きくなっていく()。
【0216】時刻tで、合成磁界Hx+Hyの強さは、
最大となり、その値は、アステロイド曲線の外に存在す
ることになるため、TMR素子の記憶層の磁化が反転さ
れる状態となる。
【0217】この後、図31及び図32に示すように、
磁界Hyの強さを一定に保ちつつ、磁界Hxをアナログ
的に次第に小さくしていく()。
【0218】このような合成磁界Hx+Hyのアナログ
的変化により、データ書き込みが実行される。
【0219】図33は、実施例9の書き込み原理を実現
するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理につ
いて簡単に示している。
【0220】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流し、書き込みビット線に、
書き込みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流
す。ここで、書き込み電流Ip1の値は、一定を維持し
ており、かつ、書き込み電流Ip2の値は、アナログ的
に次第に大きくなる(ステップST1)。
【0221】次に、書き込み電流Ip2の値を一定に
し、かつ、書き込み電流Ip1の値を、アナログ的に次
第に小さくする(ステップST2)。
【0222】これにより、合成磁界Hx+Hyの向き及
び強さは、アナログ的に変化することになるため、書き
込みを確実に行うことができる。
【0223】なお、この動作原理を実行するための回路
方式、即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き
込みビット線に供給するタイミングや、書き込み電流の
大きさ(波形)などを決定する回路については、後に詳
述する。
【0224】(10) 実施例10 本例の書き込み原理では、実施例9と同様に、合成磁界
Hx+Hyの向き及び強さを、それぞれアナログ的に変
化させる手法について提案する。
【0225】本例の手法のポイントは、Hard-Axis方向
の磁界Hx及びEasy-Axis方向の磁界Hyを、合成磁界
Hx+Hyの大きさが実質的に一定となるような条件の
下で変化させ、合成磁界Hx+Hyの向きをアナログ的
に変化させるようにした点にある。
【0226】具体的には、図34及び図35に示すよう
に、まず、TMR素子の記憶層の端部の磁区の磁化方向
をHard-Axis方向に揃えるに十分な強さの磁界HxをT
MR素子に作用させる。そして、磁界Hxの強さを、ア
ナログ的に次第に小さくしていくと共に、書き込みデー
タに応じた向きを有するEasy-Axis方向の磁界Hyを、
アナログ的に次第に大きくする()。
【0227】この後、図34及び図35に示すように、
さらに、磁界Hxの強さを、アナログ的に次第に小さく
していくと共に、Easy-Axis方向の磁界Hyを、アナロ
グ的に次第に大きくする()。
【0228】このような合成磁界Hx+Hyのアナログ
的変化により、データ書き込みが実行される。
【0229】図36は、実施例10の書き込み原理を実
現するための磁気ランダムアクセスメモリの動作原理に
ついて簡単に示している。
【0230】まず、書き込みワード線に、一定方向の向
きの書き込み電流Ip1を流し、書き込みビット線に、
書き込みデータに応じた向きの書き込み電流Ip2を流
す。ここで、書き込み電流Ip1の値は、アナログ的に
次第に小さくし、かつ、書き込み電流Ip2の値は、ア
ナログ的に次第に大きくする(ステップST1)。
【0231】ここで、書き込み動作中、例えば、合成磁
界Hx+Hyの強さが、常に、実質的に一定となるよう
に、書き込み電流Ip1,Ip2の値を変化させること
も可能である。例えば、書き込み電流Ip1(磁界H
x)の値は、時間tに対して、α・cos t で変化
するように設定し、書き込み電流Ip2(磁界Hy)の
値は、時間tに対して、β・sin t で変化するよ
うに設定してもよい(α及びβは、定数)。
【0232】これにより、合成磁界Hx+Hyの向き
は、アナログ的に変化することになるため、書き込みを
確実に行うことができる。
【0233】なお、この動作原理を実行するための回路
方式、即ち、書き込み電流を書き込みワード線及び書き
込みビット線に供給するタイミングや、書き込み電流の
大きさ(波形)などを決定する回路については、後に詳
述する。
【0234】(11) その他 実施例1〜10で説明した書き込み原理は、磁気ランダ
ムアクセスメモリ(チップ又はブロック)内のハードウ
ェアにより実現される。書き込み原理は、磁気ランダム
アクセスメモリごとに特定されていてもよいし、また、
プログラミングにより、書き込み原理や、書き込み電流
の供給/遮断タイミング・大きさなどを設定できるよう
にしてもよい。
【0235】プログラミングにより書き込み原理などを
設定する場合には、例えば、プログラミング素子とし
て、レーザ溶断型ヒューズ、TMR素子(MTJ)や、T
MR素子のトンネルバリアを破壊するアンチヒューズな
どを使用することができる。なお、磁気ランダムアクセ
スメモリのテストモードにおいて、本発明の書き込み原
理をテストするための機能を設けてもよい。
【0236】書き込み電流は、書き込みワード/ビット
線の一端に接続されるドライバから供給され、その他端
に接続されるシンカーに吸収される。ここで、書き込み
電流の遮断に際して、ドライバの機能を停止させた後、
一定期間後に、シンカーの機能を停止させれば、書き込
みワード/ビット線の電位を完全に0Vにすることがで
きる。
【0237】これらプログラミング、テストモード、及
び、ドライバ/シンカーの動作停止時期に関しては、次
の回路方式の項目において詳述する。
【0238】2. 回路方式 以下では、上述の実施例1〜10に関わる書き込み原理
を実現するための磁気ランダムアクセスメモリの回路方
式の例について説明する。
【0239】(1) チップ毎又はセルアレイ毎に設定す
る場合 まず、磁気ランダムアクセスメモリのチップ毎又はメモ
リセルアレイ毎に、書き込み原理や、書き込み電流の供
給/遮断タイミング・大きさなどを設定するための回路
について説明する。
【0240】 回路例1 回路例1は、書き込みワード/ビット線に対する書き込
み電流の電流供給/遮断タイミングをプログラミングに
より設定できる機能を設けた磁気ランダムアクセスメモ
リに関する。
【0241】i. 全体構成 図37は、回路例1に関わる磁気ランダムアクセスメモ
リの主要部の構成を示している。
【0242】磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)
11は、それ自体で1つのメモリチップを構成していて
もよいし、また、特定機能を有するチップ内の1つのブ
ロックであってもよい。メモリセルアレイ(データセ
ル)12は、実際に、データを記憶する機能を有し、レ
ファレンスセルアレイ13は、読み出し動作時に、読み
出しデータの値を判定するための基準を決める機能を有
する。
【0243】メモリセルアレイ12及びレファレンスセ
ルアレイ13からなるセルアレイのX方向の2つの端部
のうちの1つには、ロウデコーダ&ドライバ(ロウデコ
ーダ&書き込みワード線ドライバ,ロウデコーダ&読み
出しワード線ドライバ)14が配置され、他の1つに
は、書き込みワード線シンカー15が配置される。
【0244】ロウデコーダ&ドライバ14は、書き込み
動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複数の
書き込みワード線のうちの1つを選択し、かつ、選択さ
れた1つの書き込みワード線に、書き込み電流を供給す
る機能を有する。書き込みワード線シンカー15は、書
き込み動作時、例えば、選択された1つの書き込みワー
ド線に供給された書き込み電流を吸収する機能を有す
る。
【0245】ロウデコーダ&ドライバ14は、読み出し
動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複数の
読み出しワード線(書き込みワード線と一体化されてい
てもよい)のうちの1つを選択し、かつ、選択された1
つの読み出しワード線に、読み出し電流を流す機能を有
する。センスアンプ20は、例えば、この読み出し電流
を検出して、読み出しデータを判定する。
【0246】メモリセルアレイ12のY方向の2つの端
部のうちの1つには、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー16Aが配置され、他の1つに
は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シン
カー(カラムトランスファゲート、カラムデコーダを含
む)17Aが配置される。
【0247】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A,17Aは、書き込み動作時、例え
ば、カラムアドレス信号に基づいて、複数の書き込みビ
ット線(又はデータ選択線)のうちの1つを選択し、か
つ、選択された1つの書き込みビット線に、書き込みデ
ータに応じた向きを有する書き込み電流を流す機能を有
する。カラムトランスファゲート及びカラムデコーダ
は、読み出し動作時、カラムアドレス信号により選択さ
れたデータ選択線をセンスアンプ20に電気的に接続す
る機能を有する。
【0248】レファレンスセルアレイ13のY方向の2
つの端部のうちの1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16B
が配置され、他の1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー(カラ
ムトランスファゲート、カラムデコーダを含む)17B
が配置される。
【0249】レファレンスセル用カラムデコーダ&書き
込みビット線ドライバ/シンカー16B,17Bは、レ
ファレンスセルアレイ13にレファレンスデータを記憶
させる機能を有する。カラムトランスファゲート及びカ
ラムデコーダは、読み出し動作時、レファレンスデータ
を読み出し、これをセンスアンプ20に転送する機能を
有する。
【0250】アドレスレシーバ18は、アドレス信号を
受け、例えば、ロウアドレス信号を、ロウデコーダ&ド
ライバ14に転送し、カラムアドレス信号を、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16A,
17Aに転送する。データ入力レシーバ19は、書き込
みデータを、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A,17Aに転送する。また、出力ド
ライバ21は、センスアンプ20で検出された読み出し
データを、磁気ランダムアクセスメモリ11の外部へ出
力する。
【0251】制御回路22は、/CE(Chip Enable)
信号、/WE(Write Enable)信号及び/OE(Output
Enable)信号を受け、磁気ランダムアクセスメモリ1
1の動作を制御する。例えば、制御回路22は、書き込
み動作時、書き込み信号WRITEを、書き込み電流波
形制御回路24に与える。書き込み電流波形制御回路2
4は、書き込み信号WRITEを受けると、例えば、設
定回路23に予めプログラムされた設定データに基づい
て、書き込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ(電
流波形)などを決定する。
【0252】具体的には、書き込み電流波形制御回路2
4は、書き込み動作時、ロウデコーダ&ドライバ14
に、書き込みワード線ドライブ信号WWLDRVを与
え、書き込みワード線シンカー15に、書き込みワード
線シンク信号WWLSNKを与え、カラムデコーダ&書
き込みビット線ドライバ/シンカー16A,17Aに、
書き込みビット線ドライブ信号WBLDRV及び書き込
みビット線シンク信号WBLSNKを与える。
【0253】書き込み動作時、例えば、ロウデコーダ&
ドライバ14については、書き込みワード線ドライブ信
号WWLDRVが“H”のときに動作状態となり、同様
に、書き込みワード線シンカー15及びカラムデコーダ
&書き込みビット線ドライバ/シンカー16A,17A
については、それぞれ、書き込みワード線シンク信号W
WLSNK、書き込みビット線ドライブ信号WBLDR
V及び書き込みビット線シンク信号WBLSNKが
“H”のときに動作状態となるようにする。
【0254】このようにすれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WWLDRV、書き込みワード線シンク信号W
WLSNK、書き込みビット線ドライブ信号WBLDR
V及び書き込みビット線シンク信号WBLSNKが
“H”になるタイミングを、書き込み電流波形制御回路
24で制御することにより、書き込み電流の供給/遮断
タイミング(磁界Hx,Hyの印加タイミング)を決定
し、実施例1〜10の書き込み原理を実現することがで
きる。
【0255】書き込み電流の電流吸収タイミングに関し
ては、例えば、シンク信号WWLSNK,WBLSNK
が“H”から“L”になるタイミングを、ドライブ信号
WWLDRV,WBLDRVが“H”から“L”になる
タイミングよりも遅らせることにより、書き込みワード
/ビット線の電位を完全に0Vにする、といったことも
可能にできる。
【0256】これらの信号WWLDRV,WWLSN
K,WBLDRV,WBLSNKが“H”になるタイミ
ングは、設定回路23に予めプログラムされた設定デー
タに基づいて決定される。プログラミング素子として
は、例えば、レーザ溶断型ヒューズ、TMR素子(MT
J)や、TMR素子のトンネルバリアを破壊するアンチ
ヒューズなどを使用することができる。
【0257】磁気ランダムアクセスメモリのテストモー
ドにおいては、例えば、データ入出力端子から入力され
る設定データに基づいて、書き込み電流の供給/遮断タ
イミング、大きさ(電流波形)などを決定することもで
きる。設定データは、アドレス端子から入力させるよう
にしてもよい。
【0258】なお、磁気ランダムアクセスメモリの回路
例1に関しては、主として、設定回路23及び書き込み
電流波形制御回路24に特徴を有する。
【0259】そこで、以下では、設定回路23、書き込
み電流波形制御回路24、及び、書き込み電流波形制御
回路24の出力信号を受けるドライバ/シンカー14,
1516A,17Aの回路例について説明する。
【0260】ii. ロウデコーダ&書き込みワード線ド
ライバ/シンカー 図38は、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ/
シンカーの回路例を示している。
【0261】ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
(1ロウ分)14は、NANDゲート回路TND1及び
PチャネルMOSトランジスタTP1から構成される。
PチャネルMOSトランジスタTP1のゲートは、NA
NDゲート回路TND1の出力端子に接続され、そのソ
ースは、電源端子VDDに接続され、そのドレインは、
書き込みワード線WWLi(i=1,・・・)の一端に
接続される。
【0262】書き込みワード線シンカー(1ロウ分)1
5は、NチャネルMOSトランジスタTN1から構成さ
れる。NチャネルMOSトランジスタTN1のソース
は、接地端子VSSに接続され、そのドレインは、書き
込みワード線WWLi(i=1,・・・)の他端に接続
される。
【0263】NANDゲート回路TND1には、複数ビ
ットから構成されるロウアドレス信号(ロウi毎に異な
る)及び書き込みワード線ドライブ信号WWLDRVが
入力され、NチャネルMOSトランジスタTN1のゲー
トには、書き込みワード線シンク信号WWLSNKが入
力される。
【0264】選択されたロウiでは、ロウアドレス信号
の全てのビットが“H”となる。このため、選択された
ロウiでは、書き込みワード線ドライブ信号WWLDR
Vが“H”となったときに、PチャネルMOSトランジ
スタTP1がオン状態となる。また、書き込みワード線
シンク信号WWLSNKが“H”となると、Nチャネル
MOSトランジスタTN1がオン状態となる。
【0265】PチャネルMOSトランジスタTP1とN
チャネルMOSトランジスタTN1が共にオン状態とな
ると、書き込み電流は、ロウデコーダ&書き込みワード
線ドライバ14から、書き込みワード線WWLiを経由
して、書き込みワード線シンカー15に向かって流れ
る。
【0266】このようなロウデコーダ&書き込みワード
線ドライバ/シンカーによれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WWLDRV及び書き込みワード線シンク信号
WWLSNKが“H”又は“L”になるタイミングを制
御することにより、選択されたロウi内の書き込みワー
ド線WWLiに書き込み電流を流すタイミング及びその
書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流を遮断
するタイミングを制御することができる。
【0267】また、書き込みワード線ドライブ信号WW
LDRVを“L”に設定した後、書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを“L”に設定すれば、書き込み動
作後の書き込みワード線WWLiの電位を完全に0Vに
することができる。
【0268】iii. カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー 図39は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0269】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16Aは、NANDゲート
回路QND1、ANDゲート回路QAD1、Pチャネル
MOSトランジスタQP1及びNチャネルMOSトラン
ジスタQN1から構成される。
【0270】PチャネルMOSトランジスタQP1のゲ
ートは、NANDゲート回路QND1の出力端子に接続
され、そのソースは、電源端子VDDに接続され、その
ドレインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の一端に接続される。NチャネルMOSトランジス
タQN1のゲートは、ANDゲート回路QAD1の出力
端子に接続され、そのソースは、接地端子VSSに接続
され、そのドレインは、書き込みビット線WBLiの一
端に接続される。
【0271】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)17Aは、NANDゲート
回路QND2、ANDゲート回路QAD2、Pチャネル
MOSトランジスタQP2及びNチャネルMOSトラン
ジスタQN2から構成される。
【0272】PチャネルMOSトランジスタQP2のゲ
ートは、NANDゲート回路QND2の出力端子に接続
され、そのソースは、電源端子VDDに接続され、その
ドレインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の他端に接続される。NチャネルMOSトランジス
タQN2のゲートは、ANDゲート回路QAD2の出力
端子に接続され、そのソースは、接地端子VSSに接続
され、そのドレインは、書き込みビット線WBLiの他
端に接続される。
【0273】NANDゲート回路QND1,QND2に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)及び書き込みビット線ドライブ信号
WBLDRVが入力される。ANDゲート回路QAD
1,QAD2には、複数ビットから構成されるカラムア
ドレス信号(カラムi毎に異なる)及び書き込みビット
線シンク信号WBLSNKが入力される。
【0274】また、NANDゲート回路QND1及びA
NDゲート回路QAD2には、書き込みデータDATA
(“H”又は“L”)が入力され、NANDゲート回路
QND2及びANDゲート回路QAD1には、書き込み
データDATAの反転信号bDATAが入力される。
【0275】選択されたカラムiでは、カラムアドレス
信号の全てのビットが“H”となる。このため、選択さ
れたカラムiでは、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRV及び書き込みビット線シンク信号WBLSNK
が“H”になったとき、書き込みデータDATAの値に
応じた向きを有する書き込み電流が、書き込みビット線
WBLiに流れる。
【0276】例えば、書き込みデータDATAが“1”
(=“H”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タQP1及びNチャネルMOSトランジスタQN2がオ
ン状態となるため、カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー16Aからカラムデコーダ&書き込
みビット線ドライバ/シンカー17Aに向かう書き込み
電流が流れる。
【0277】また、書き込みデータDATAが“0”
(=“L”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タQP2及びNチャネルMOSトランジスタQN1がオ
ン状態となるため、カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー17Aからカラムデコーダ&書き込
みビット線ドライバ/シンカー16Aに向かう書き込み
電流が流れる。
【0278】このようなカラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカーによれば、書き込みビット線ド
ライブ信号WBLDRV及び書き込みビット線シンク信
号WBLSNKが“H”又は“L”になるタイミングを
制御することにより、選択されたカラムi内の書き込み
ビット線WBLiに書き込み電流を流すタイミング及び
その書き込みビット線WBLiに流れる書き込み電流を
遮断するタイミングを制御することができる。
【0279】また、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRVを“L”に設定した後、書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“L”に設定すれば、書き込み動
作後の書き込みビット線WBLiの電位を完全に0Vに
することができる。
【0280】iv. 書き込み電流波形制御回路 次に、書き込みワード線ドライブ信号WWLDRV、書
き込みワード線シンク信号WWLSNK、書き込みビッ
ト線ドライブ信号WBLDRV及び書き込みビット線シ
ンク信号WBLSNKを生成する書き込み電流波形制御
回路の例について説明する。
【0281】図40は、書き込み電流波形制御回路の例
を示している。書き込み電流波形制御回路24は、書き
込みワード線ドライバ/シンカー・トリガ回路25及び
書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路26
から構成される。
【0282】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み信号WRITE及びタイミン
グ制御信号WS<0>〜WS<3>,bWS<0>〜b
WS<3>に基づいて、書き込みワード線ドライブ信号
WWLDRV及び書き込みワード線シンク信号WWLS
NKを生成する。
【0283】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITE及びタイミン
グ制御信号BS<0>〜BS<3>,bBS<0>〜b
BS<3>に基づいて、書き込みビット線ドライブ信号
WBLDRV及び書き込みビット線シンク信号WBLS
NKを生成する。
【0284】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0285】書き込みワード線WWLiに対する書き込
み電流の供給/遮断のタイミング、即ち、書き込みワー
ド線ドライブ信号WWLDRV及び書き込みワード線シ
ンク信号WWLSNKを“H”又は“L”にするタイミ
ングは、タイミング制御信号WS<0>〜WS<3>,
bWS<0>〜bWS<3>により決定される。
【0286】書き込みビット線WBLiに対する書き込
み電流の供給/遮断のタイミング、即ち、書き込みビッ
ト線ドライブ信号WBLDRV及び書き込みビット線シ
ンク信号WBLSNKを“H”又は“L”にするタイミ
ングは、タイミング制御信号BS<0>〜BS<3>,
bBS<0>〜bBS<3>により決定される。
【0287】タイミング制御信号WS<0>〜WS<3
>,bWS<0>〜bWS<3>,BS<0>〜BS<
3>,bBS<0>〜bBS<3>は、後述する設定回
路により生成される。
【0288】v. 書き込みワード線ドライバ/シンカー
・トリガ回路 図41は、書き込みワード線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路の例を示している。
【0289】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ングを決定する電流供給/遮断タイミング決定回路25
Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定する電
流吸収タイミング決定回路25Yとから構成される。
【0290】電流供給/遮断タイミング決定回路25X
は、書き込み信号WRITEが“H”になった後、書き
込みワード線ドライブ信号WWLDRVを“H”にする
タイミングを決定し、かつ、書き込み信号WRITEが
“L”になった後、書き込みワード線ドライブ信号WW
LDRVを“L”にするタイミングを決定する。
【0291】電流供給/遮断タイミング決定回路25X
は、複数(本例では、4つ)の遅延回路DWS<0>〜
DWS<3>、トランスファゲートTGWS<0>〜T
GWS<3>及びインバータI1,I2から構成され
る。
【0292】遅延回路DWS<0>〜DWS<3>は、
それぞれ、入力信号(書き込み信号WRITE)に対し
て異なる遅延量を有する。遅延回路DWS<0>〜DW
S<3>の遅延量は、それぞれ、一定の差で又は規則的
に異なっていてもよいし、また、ランダムに異なってい
てもよい。
【0293】トランスファゲートTGWS<0>〜TG
WS<3>は、複数の遅延回路DWS<0>〜DWS<
3>のうちの1つを選択するために、電流供給/遮断タ
イミング決定回路25X内に設けられる。即ち、書き込
み動作時には、タイミング制御信号の複数の相補信号ペ
アWS<j>,bWS<j>(j=0,1,2,3)の
うちの1ペアが選択される。
【0294】選択された相補信号ペアは、WS<j>=
“H”、bWS<j>=“L”となり、他の相補信号ペ
アは、WS<j>=“L”、bWS<j>=“H”とな
るため、書き込み信号WRITEは、選択された1つの
遅延回路DWS<j>のみを経由して、書き込みワード
線ドライブ信号WWLDRVとして、書き込みワード線
ドライバ/シンカー・トリガ回路25から出力される。
【0295】このように、書き込み信号WRITEが
“H”又は“L”になるタイミングを、遅延回路DWS
<0>〜DWS<3>のうちの1つにより一定期間だけ
遅らせることで、書き込みワード線ドライブ信号WWL
DRVを“H”又は“L”にするタイミング、即ち、書
き込み電流の電流供給/遮断タイミングを制御すること
ができる。
【0296】なお、本例では、遅延回路DWS<0>〜
DWS<3>は、4つであるが、当然に、その数を多く
すればするほど、選択できる遅延量の数が多くなり、書
き込み電流の電流供給/遮断タイミングを細かく制御で
きる。但し、この場合、遅延回路を選択するためのタイ
ミング制御信号の数も増える。
【0297】電流吸収タイミング決定回路25Yは、N
ANDゲート回路ND1及び遅延回路27から構成され
る。
【0298】電流吸収タイミング決定回路25Yは、書
き込みワード線ドライブ信号WWLDRVが“H”にな
るとほぼ同時に、書き込みワード線シンク信号WWLS
NKを“H”にし、書き込みワード線ドライブ信号WW
LDRVが“L”になった後、遅延回路27により決ま
る遅延時間後に、書き込みワード線シンク信号WWLS
NKを“L”にする。
【0299】このように、書き込みワード線ドライブ信
号WWLDRVを“L”にした後、一定のインターバル
を経た後に、書き込みワード線シンク信号WWLSNK
を“L”にすることにより、書き込み動作後に、書き込
みワード線WWLiを完全に0Vにすることができる。
【0300】vi. 書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路 図42は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路の例を示している。
【0301】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ングを決定する電流供給/遮断タイミング決定回路26
Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定する電
流吸収タイミング決定回路26Yとから構成される。
【0302】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、書き込み信号WRITEが“H”になった後、書き
込みビット線ドライブ信号WBLDRVを“H”にする
タイミングを決定し、かつ、書き込み信号WRITEが
“L”になった後、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRVを“L”にするタイミングを決定する。
【0303】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、複数(本例では、4つ)の遅延回路DBS<0>〜
DBS<3>、トランスファゲートTGBS<0>〜T
GBS<3>及びインバータI3,I4から構成され
る。
【0304】遅延回路DBS<0>〜DBS<3>は、
それぞれ、入力信号(書き込み信号WRITE)に対し
て異なる遅延量を有する。遅延回路DBS<0>〜DB
S<3>の遅延量は、それぞれ、一定の差で又は規則的
に異なっていてもよいし、また、ランダムに異なってい
てもよい。
【0305】トランスファゲートTGBS<0>〜TG
BS<3>は、複数の遅延回路DBS<0>〜DBS<
3>のうちの1つを選択するために、電流供給/遮断タ
イミング決定回路26X内に設けられる。即ち、書き込
み動作時には、タイミング制御信号の複数の相補信号ペ
アBS<j>,bBS<j>(j=0,1,2,3)の
うちの1ペアが選択される。
【0306】選択された相補信号ペアは、BS<j>=
“H”、bBS<j>=“L”となり、他の相補信号ペ
アは、BS<j>=“L”、bBS<j>=“H”とな
るため、書き込み信号WRITEは、選択された1つの
遅延回路DBS<j>のみを経由して、書き込みビット
線ドライブ信号WBLDRVとして、書き込みビット線
ドライバ/シンカー・トリガ回路26から出力される。
【0307】このように、書き込み信号WRITEが
“H”又は“L”になるタイミングを、遅延回路DBS
<0>〜DBS<3>のうちの1つにより一定期間だけ
遅らせることで、書き込みビット線ドライブ信号WBL
DRVを“H”又は“L”にするタイミング、即ち、書
き込み電流の電流供給/遮断タイミングを制御すること
ができる。
【0308】なお、本例では、遅延回路DBS<0>〜
DBS<3>は、4つであるが、当然に、その数を多く
すればするほど、選択できる遅延量の数が多くなり、書
き込み電流の電流供給/遮断タイミングを細かく制御で
きる。但し、この場合、遅延回路を選択するためのタイ
ミング制御信号の数も増える。
【0309】電流吸収タイミング決定回路26Yは、N
ANDゲート回路ND2及び遅延回路28から構成され
る。
【0310】電流吸収タイミング決定回路26Yは、書
き込みビット線ドライブ信号WBLDRVが“H”にな
るとほぼ同時に、書き込みビット線シンク信号WBLS
NKを“H”にし、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRVが“L”になった後、遅延回路28により決ま
る遅延時間後に、書き込みビット線シンク信号WBLS
NKを“L”にする。
【0311】このように、書き込みビット線ドライブ信
号WBLDRVを“L”にした後、一定のインターバル
を経た後に、書き込みビット線シンク信号WBLSNK
を“L”にすることにより、書き込み動作後に、書き込
みビット線WBLiを完全に0Vにすることができる。
【0312】vii. 設定回路 次に、図40乃至図42に示されるタイミング制御信号
WS<0>〜WS<3>,bWS<0>〜bWS<3
>,BS<0>〜BS<3>,bBS<0>〜bBS<
3>を生成する設定回路について説明する。
【0313】図43は、設定回路の例を示している。設
定回路23は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミン
グを決定する設定データがプログラムされるレジスタ<
0>〜<3>と、レジスタ<0>〜<3>の出力信号T
D<0>〜TD<3>,bTD<0>〜bTD<3>を
デコードして、タイミング制御信号WS<0>〜WS<
3>,bWS<0>〜bWS<3>,BS<0>〜BS
<3>,bBS<0>〜bBS<3>を出力するデコー
ダWS<0>〜WS<3>,BS<0>〜BS<3>か
ら構成される。
【0314】レジスタ<0>,<1>には、書き込みワ
ード線WWLiに対する書き込み電流の電流供給/遮断
タイミングを決定する設定データがプログラムされる。
図41に示すように、書き込みワード線ドライバ/シン
カー・トリガ回路25内の遅延回路(電流供給/遮断タ
イミング)DWS<0>〜DWS<3>が4つ存在する
場合には、これらを選択するために、最低、2ビットの
設定データが必要となる。
【0315】そこで、本例では、書き込みワード線WW
Liに対する書き込み電流の電流供給/遮断タイミング
を決定するために、2つのレジスタ<0>,<1>を用
意し、レジスタ<0>,<1>に、それぞれ1ビットの
設定データをプログラムする。
【0316】なお、D<0>,D<1>は、テストモー
ド時に、磁気ランダムアクセスメモリの外部から入力さ
れる設定データである。テストモード時には、この設定
データに基づいて、書き込みワード線WWLiに対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミングを決定でき
る。
【0317】レジスタ<0>,<1>は、2ビットの相
補信号ペアTD<0>,bTD<0>,TD<1>,b
TD<1>を出力する。デコーダWS<0>〜WS<3
>は、2ビットの相補信号ペアTD<0>,bTD<0
>,TD<1>,bTD<1>をデコードし、タイミン
グ制御信号WS<0>〜WS<3>,bWS<0>〜b
WS<3>を出力する。
【0318】例えば、デコーダWS<j>は、それぞ
れ、2つの入力信号が“H”のとき、出力信号WS<j
>を“H”にし、出力信号bWS<j>を“L”にする
(j=0,1,2,3)。つまり、本例では、4つのデ
コーダWS<0>〜WS<3>のうちの1つのみに関し
て、2つの入力信号が“H”となるため、タイミング制
御信号の4つの相補信号ペアWS<j>,bWS<j>
のうちの1ペアが、WS<j>=“H”、bWS<j>
=“L”となり、残りの3つの相補信号ペアは、WS<
j>=“L”、bWS<j>=“H”となる。
【0319】同様に、レジスタ<2>,<3>には、書
き込みビット線WBLiに対する書き込み電流の電流供
給/遮断タイミングを決定する設定データがプログラム
される。図42に示すように、書き込みビット線ドライ
バ/シンカー・トリガ回路26内の遅延回路(電流供給
/遮断タイミング)DBS<0>〜DBS<3>が4つ
存在する場合には、これらを選択するために、最低、2
ビットの設定データが必要となる。
【0320】そこで、本例では、書き込みビット線WB
Liに対する書き込み電流の電流供給/遮断タイミング
を決定するために、2つのレジスタ<2>,<3>を用
意し、レジスタ<2>,<3>に、それぞれ1ビットの
設定データをプログラムする。
【0321】なお、D<2>,D<3>は、テストモー
ド時に、磁気ランダムアクセスメモリの外部から入力さ
れる設定データである。テストモード時には、この設定
データに基づいて、書き込みビット線WBLiに対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミングを決定でき
る。
【0322】レジスタ<2>,<3>は、2ビットの相
補信号ペアTD<2>,bTD<2>,TD<3>,b
TD<3>を出力する。デコーダBS<0>〜BS<3
>は、2ビットの相補信号ペアTD<2>,bTD<2
>,TD<3>,bTD<3>をデコードし、タイミン
グ制御信号BS<0>〜BS<3>,bBS<0>〜b
BS<3>を出力する。
【0323】例えば、デコーダBS<j>は、それぞ
れ、2つの入力信号が“H”のとき、出力信号BS<j
>を“H”にし、出力信号bBS<j>を“L”にする
(j=0,1,2,3)。つまり、本例では、4つのデ
コーダBS<0>〜BS<3>のうちの1つのみに関し
て、2つの入力信号が“H”となるため、タイミング制
御信号の4つの相補信号ペアBS<j>,bBS<j>
のうちの1ペアが、BS<j>=“H”、bBS<j>
=“L”となり、残りの3つの相補信号ペアは、BS<
j>=“L”、bBS<j>=“H”となる。
【0324】viii. レジスタ<j> 図43の設定回路23内のレジスタ<j>の回路例につ
いて説明する。
【0325】図44は、レジスタの回路例を示してい
る。レジスタ<j>(j=0,1,2,3)は、プログ
ラムされた設定データを、出力信号TD<j>,bTD
<j>として出力するためのプログラムデータ出力回路
29と、磁気ランダムアクセスメモリの外部から入力さ
れた設定データを、出力信号TD<j>,bTD<j>
として出力するための入力データ転送回路30とから構
成される。
【0326】プログラムデータ出力回路29は、設定デ
ータを記憶するためのレーザ溶断ヒューズ(laser blow
fuse)29を有している。レーザ溶断ヒューズ29の
切断の有無により、1ビットデータを記憶する。Pチャ
ネルMOSトランジスタP1とレーザ溶断ヒューズ29
は、電源端子VDDと接地端子VSSの間に直列接続さ
れる。PチャネルMOSトランジスタP1のゲートは、
接地端子VSSに接続されるため、PチャネルMOSト
ランジスタP1は、常に、オン状態となっている。
【0327】PチャネルMOSトランジスタP1とレー
ザ溶断ヒューズ29の接続点は、インバータI9及びト
ランスファゲートTG4を経由して、インバータI7の
入力端に接続される。インバータI7の出力信号は、b
TD<j>となり、インバータI8の出力信号は、TD
<j>となる。
【0328】入力データ転送回路30は、トランスファ
ゲートTG1〜TG3及びインバータI5,I6から構
成される。インバータI5,I6とトランスファゲート
TG3は、ラッチ回路を構成している。
【0329】通常動作モードにおける書き込み動作時に
は、テスト信号VCTESTが“L”となり、テスト信
号bVCTESTが“H”となる。このため、トランス
ファゲートTG4は、オン状態となり、トランスファゲ
ートTG1,TG2は、オフ状態となる。
【0330】従って、レーザ溶断ヒューズ29にプログ
ラムされた設定データが、トランスファゲートTG4及
びインバータI7〜I9を経由して、出力信号TD<j
>,bTD<j>として出力される。
【0331】テストモードにおける書き込み動作時に
は、テスト信号VCTESTが“H”となり、テスト信
号bVCTESTが“L”となる。このため、トランス
ファゲートTG1,TG2は、オン状態となり、トラン
スファゲートTG3,TG4は、オフ状態となる。
【0332】従って、外部端子(データ入力端子、アド
レス端子など)から入力される設定データD<j>が、
トランスファゲートTG1,TG2及びインバータI5
〜I8を経由して、出力信号TD<j>,bTD<j>
として出力される。
【0333】テストモードにおけるスタンバイ時には、
テスト信号VCTESTが“L”となり、テスト信号b
VCTESTが“H”となる。このため、トランスファ
ゲートTG1,TG2は、オフ状態となり、トランスフ
ァゲートTG3,TG4は、オン状態となる。
【0334】従って、外部端子から入力された設定デー
タD<j>は、トランスファゲートTG3及びインバー
タI5,I6からなるラッチ回路にラッチされる。この
後は、ラッチ回路にラッチされた設定データに基づい
て、書き込みテストを行うことができる。
【0335】図45は、レジスタの他の回路例を示して
いる。本例のレジスタ<j>は、図44のレジスタ<j
>と比較すると、プログラムデータ出力回路29の構成
に特徴を有する。即ち、図44のレジスタ<j>では、
設定データを記憶するための素子として、レーザ溶断ヒ
ューズ29を使用したが、本例のレジスタ<j>では、
設定データを記憶するための素子として、TMR素子
(MTJ)を使用する。
【0336】プログラムデータ出力回路29は、設定デ
ータを記憶するためのTMR素子MTJを有している。
ここで、TMR素子MTJには、設定データを、TMR
素子の磁化状態、即ち、固定層の磁化方向と記憶層の磁
化方向との関係(平行又は反平行)で記憶することがで
きるが、本例では、そのような方法を用いない。
【0337】なぜなら、設定データの値に関しては、一
度、TMR素子MTJに書き込んだ後に、再び、それを
書き換えるということがない。
【0338】また、TMR素子MTJのMR比が20〜
40%であることを考慮すると、パワーオンと同時に、
TMR素子MTJのデータを出力する設定回路では、設
定データの読み出し時に、TMR素子MTJの両端に大
きな電圧が印加され、TMR素子MTJが破壊される可
能性がある。
【0339】従って、設定データを記憶するためのTM
R素子MTJに対しては、固定層の磁化方向と記憶層の
磁化方向との関係ではなく、トンネルバリアを絶縁破壊
するか否かで、設定データをプログラムする。
【0340】TMR素子MTJの絶縁破壊を利用した設
定データのプログラム方法では、半永久的に、設定デー
タを記憶しておくことができる。
【0341】TMR素子MTJの一端は、PチャネルM
OSトランジスタP1及びNチャネルMOSトランジス
タN1を経由して電源端子VDDに接続され、その他端
は、NチャネルMOSトランジスタN2を経由して接地
端子VSSに接続される。
【0342】PチャネルMOSトランジスタP1のゲー
トは、接地端子VSSに接続され、NチャネルMOSト
ランジスタN2のゲートは、電源端子VDDに接続され
るため、これらMOSトランジスタP1,N2は、常
に、オン状態となっている。
【0343】NチャネルMOSトランジスタN1のゲー
トには、クランプ電位Vclampが入力される。クラ
ンプ電位Vclampを適切な値に設定することによ
り、設定データの読み出し時に、TMR素子MTJの電
極間に高電圧が印加されるのを防止することができる。
【0344】なお、クランプ電位Vclampを生成す
るVclamp生成回路の例を、図46に示す。本例の
Vclamp生成回路31では、クランプ電位Vcla
mpは、BGR回路の出力電圧を抵抗分割することによ
り得ている。クランプ電位Vclampは、0.3〜
0.5Vとなる。
【0345】NANDゲート回路ND4及びPチャネル
MOSトランジスタP2は、TMR素子MTJの絶縁破
壊を利用した設定データのプログラム方法を採用する場
合に必要となる要素である。
【0346】設定データのプログラム時には、プログラ
ム信号PROGが“H”となる。そして、例えば、TM
R素子MTJに設定データ“1”を書き込む場合には、
外部端子(データ入力端子、アドレス端子、専用端子な
ど)から、設定データD<j>として、“1”(=
“H”)を入力する。
【0347】この時、NANDゲート回路ND4の出力
信号は、“L”となり、PチャネルMOSトランジスタ
P2は、オン状態となる。従って、TMR素子MTJの
両端には、大きな電圧が印加され、TMR素子MTJの
トンネルバリアが破壊され、結果として、TMR素子M
TJに、設定データ“1”がプログラムされる。この場
合、TD<j>は、“L”、bTD<j>は、“H”と
なる。
【0348】一方、例えば、TMR素子MTJに設定デ
ータ“0”を書き込む場合には、外部端子(データ入力
端子、アドレス端子、専用端子など)から、設定データ
D<j>として、“0”(=“L”)を入力する。
【0349】この時、NANDゲート回路ND4の出力
信号は、“H”となり、PチャネルMOSトランジスタ
P2は、オフ状態となる。従って、TMR素子MTJの
両端には、大きな電圧が印加されることがないため、T
MR素子MTJのトンネルバリアが破壊されずに、結果
として、TMR素子MTJに、設定データ“0”がプロ
グラムされる。この場合、TD<j>は、“H”、bT
D<j>は、“L”となる。
【0350】PチャネルMOSトランジスタP1とNチ
ャネルMOSトランジスタN1の接続点は、インバータ
I9及びトランスファゲートTG4を経由して、インバ
ータI7の入力端に接続される。インバータI7の出力
信号は、bTD<j>となり、インバータI8の出力信
号は、TD<j>となる。
【0351】ix. デコーダWS<j>,BS<j> 図43の設定回路23内のデコーダWS<j>,BS<
j>の回路例について説明する。
【0352】図47は、デコーダの回路例を示してい
る。デコーダWS<j>,BS<j>(j=0,1,
2,3)は、NANDゲート回路ND3及びインバータ
I10から構成される。
【0353】NANDゲート回路ND3には、2つの入
力信号A,Bが入力され、その出力信号Dは、bWS<
j>,bBS<j>となる。インバータI10の出力信
号Cは、WS<j>,BS<j>となる。
【0354】デコーダWS<j>,BS<j>のデコー
ディング表(入力信号と出力信号との関係)を、表1に
示す。
【0355】
【表1】
【0356】x. まとめ 以上、説明したように、磁気ランダムアクセスメモリの
回路例1によれば、書き込みワード/ビット線に対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミングを、チップ毎
又はメモリセルアレイ毎に、プログラミングにより設定
できる。これにより、例えば、実施例1〜10の書き込
み原理を実現可能にし、TMR素子の記憶層の磁化反転
を確実に行い、書き込み特性の向上を図ることができ
る。
【0357】 回路例2 回路例2は、書き込みワード/ビット線に対する書き込
み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時
間的変化(電流波形)を、プログラミングにより設定で
きる機能を設けた磁気ランダムアクセスメモリに関す
る。
【0358】i. 全体構成 図48は、回路例2に関わる磁気ランダムアクセスメモ
リの主要部の構成を示している。
【0359】磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)
11は、それ自体で1つのメモリチップを構成していて
もよいし、また、特定機能を有するチップ内の1つのブ
ロックであってもよい。メモリセルアレイ(データセ
ル)12は、実際に、データを記憶する機能を有し、レ
ファレンスセルアレイ13は、読み出し動作時に、読み
出しデータの値を判定するための基準を決める機能を有
する。
【0360】メモリセルアレイ12及びレファレンスセ
ルアレイ13からなるセルアレイのX方向の2つの端部
のうちの1つには、ロウデコーダ&ドライバ(ロウデコ
ーダ&書き込みワード線ドライバ,ロウデコーダ&読み
出しワード線ドライバ)14が配置され、他の1つに
は、書き込みワード線シンカー15が配置される。
【0361】ロウデコーダ&ドライバ14は、書き込み
動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複数の
書き込みワード線のうちの1つを選択し、かつ、選択さ
れた1つの書き込みワード線に、書き込み電流を供給す
る機能を有する。書き込みワード線シンカー15は、書
き込み動作時、例えば、選択された1つの書き込みワー
ド線に供給された書き込み電流を吸収する機能を有す
る。
【0362】ロウデコーダ&ドライバ14は、読み出し
動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複数の
読み出しワード線(書き込みワード線と一体化されてい
てもよい)のうちの1つを選択し、かつ、選択された1
つの読み出しワード線に、読み出し電流を流す機能を有
する。センスアンプ20は、例えば、この読み出し電流
を検出して、読み出しデータを判定する。
【0363】メモリセルアレイ12のY方向の2つの端
部のうちの1つには、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー16Aが配置され、他の1つに
は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シン
カー(カラムトランスファゲート、カラムデコーダを含
む)17Aが配置される。
【0364】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A,17Aは、書き込み動作時、例え
ば、カラムアドレス信号に基づいて、複数の書き込みビ
ット線(又はデータ選択線)のうちの1つを選択し、か
つ、選択された1つの書き込みビット線に、書き込みデ
ータに応じた向きを有する書き込み電流を流す機能を有
する。カラムトランスファゲート及びカラムデコーダ
は、読み出し動作時、カラムアドレス信号により選択さ
れたデータ選択線をセンスアンプ20に電気的に接続す
る機能を有する。
【0365】レファレンスセルアレイ13のY方向の2
つの端部のうちの1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16B
が配置され、他の1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー(カラ
ムトランスファゲート、カラムデコーダを含む)17B
が配置される。
【0366】レファレンスセル用カラムデコーダ&書き
込みビット線ドライバ/シンカー16B,17Bは、レ
ファレンスセルアレイ13にレファレンスデータを記憶
させる機能を有する。カラムトランスファゲート及びカ
ラムデコーダは、読み出し動作時、レファレンスデータ
を読み出し、これをセンスアンプ20に転送する機能を
有する。
【0367】アドレスレシーバ18は、アドレス信号を
受け、例えば、ロウアドレス信号を、ロウデコーダ&ド
ライバ14に転送し、カラムアドレス信号を、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16A,
17Aに転送する。データ入力レシーバ19は、書き込
みデータを、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A,17Aに転送する。また、出力ド
ライバ21は、センスアンプ20で検出された読み出し
データを、磁気ランダムアクセスメモリ11の外部へ出
力する。
【0368】制御回路22は、/CE(Chip Enable)
信号、/WE(Write Enable)信号及び/OE(Output
Enable)信号を受け、磁気ランダムアクセスメモリ1
1の動作を制御する。例えば、制御回路22は、書き込
み動作時、書き込み信号WRITEを、書き込み電流波
形制御回路24に与える。書き込み電流波形制御回路2
4は、書き込み信号WRITEを受けると、例えば、設
定回路23に予めプログラムされた設定データに基づい
て、書き込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)などを決定する。
【0369】具体的には、書き込み電流波形制御回路2
4は、書き込み動作時、ロウデコーダ&ドライバ14
に、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成信
号)WP<0>〜WP<3>を与え、書き込みワード線
シンカー15に、書き込みワード線シンク信号WWLS
NKを与え、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A,17Aに、書き込みビット線ドラ
イブ信号(電流波形生成信号)BP<0>〜BP<7>
及び書き込みビット線シンク信号WBLSNKを与え
る。
【0370】書き込み動作時、例えば、ロウデコーダ&
ドライバ14については、書き込みワード線ドライブ信
号WP<0>〜WP<3>のうちの少なくとも1つが
“H”のときに動作状態となり、同様に、書き込みワー
ド線シンカー15及びカラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー16A,17Aについては、それ
ぞれ、書き込みワード線シンク信号WWLSNK、書き
込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<7>のう
ちの少なくとも1つ及び書き込みビット線シンク信号W
BLSNKが“H”のときに動作状態となるようにす
る。
【0371】このようにすれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WP<0>〜WP<3>、書き込みワード線シ
ンク信号WWLSNK、書き込みビット線ドライブ信号
BP<0>〜BP<7>及び書き込みビット線シンク信
号WBLSNKが“H”になるタイミングを、書き込み
電流波形制御回路24で制御することにより、書き込み
電流の供給/遮断タイミング(磁界Hx,Hyの印加タ
イミング)、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を
決定し、実施例1〜10の書き込み原理を実現すること
ができる。
【0372】書き込み電流の電流吸収タイミングに関し
ては、例えば、シンク信号WWLSNK,WBLSNK
が“H”から“L”になるタイミングを、ドライブ信号
WP<0>〜WP<3>,BP<0>〜BP<7>が
“H”から“L”になるタイミングよりも遅らせること
により、書き込みワード/ビット線の電位を完全に0V
にする、といったことも可能にできる。
【0373】これらの信号WP<0>〜WP<3>,W
WLSNK,BP<0>〜BP<7>,WBLSNKが
“H”になるタイミングは、設定回路23に予めプログ
ラムされた設定データに基づいて決定される。プログラ
ミング素子としては、例えば、レーザ溶断型ヒューズ、
TMR素子(MTJ)や、TMR素子のトンネルバリアを
破壊するアンチヒューズなどを使用することができる。
【0374】磁気ランダムアクセスメモリのテストモー
ドにおいては、例えば、データ入出力端子から入力され
る設定データに基づいて、書き込み電流の供給/遮断タ
イミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)など
を決定することもできる。設定データは、アドレス端子
から入力させるようにしてもよい。
【0375】なお、磁気ランダムアクセスメモリの回路
例2に関しては、主として、設定回路23及び書き込み
電流波形制御回路24に特徴を有する。
【0376】そこで、以下では、設定回路23、書き込
み電流波形制御回路24、及び、書き込み電流波形制御
回路24の出力信号を受けるドライバ/シンカー14,
1516A,17Aの回路例について説明する。
【0377】ii. ロウデコーダ&書き込みワード線ド
ライバ/シンカー 図49は、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ/
シンカーの回路例を示している。
【0378】ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
(1ロウ分)14は、ANDゲート回路AD1、NAN
Dゲート回路NDWP0〜NDWP3及びPチャネルM
OSトランジスタWP0〜WP3から構成される。Pチ
ャネルMOSトランジスタWPi(i=0,1,2,
3)のゲートは、NANDゲート回路NDWPiの出力
端子に接続され、そのソースは、電源端子VDDに接続
され、そのドレインは、書き込みワード線WWLi(i
=1,・・・)の一端に接続される。
【0379】NANDゲート回路NDWPiの2つの入
力端子の一方には、書き込みワード線ドライブ信号(電
流波形生成信号)WP<i>が入力され、他方には、A
NDゲート回路AD1の出力信号が入力される。AND
ゲート回路AD1には、複数ビットから構成されるロウ
アドレス信号(ロウi毎に異なる)が入力される。
【0380】書き込みワード線シンカー(1ロウ分)1
5は、NチャネルMOSトランジスタTN1から構成さ
れる。NチャネルMOSトランジスタTN1のソース
は、接地端子VSSに接続され、そのドレインは、書き
込みワード線WWLiの他端に接続される。Nチャネル
MOSトランジスタTN1のゲートには、書き込みワー
ド線シンク信号WWLSNKが入力される。
【0381】選択されたロウiでは、ロウアドレス信号
の全てのビットが“H”となる。このため、選択された
ロウiでは、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>
〜WP<3>のうちの少なくとも1つが“H”となった
ときに、PチャネルMOSトランジスタWP0〜WP3
のうちの少なくとも1つがオン状態となる。また、書き
込みワード線シンク信号WWLSNKが“H”となる
と、NチャネルMOSトランジスタTN1がオン状態と
なる。
【0382】PチャネルMOSトランジスタWP0〜W
P3のうちの少なくとも1つとNチャネルMOSトラン
ジスタTN1がオン状態となると、書き込み電流は、ロ
ウデコーダ&書き込みワード線ドライバ14から、書き
込みワード線WWLiを経由して、書き込みワード線シ
ンカー15に向かって流れる。
【0383】このようなロウデコーダ&書き込みワード
線ドライバ/シンカーによれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WP<0>〜WP<3>及び書き込みワード線
シンク信号WWLSNKが“H”又は“L”になるタイ
ミングを制御することで、選択されたロウi内の書き込
みワード線WWLiに対する書き込み電流の供給/遮断
タイミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)な
どを決定することができる。
【0384】また、書き込みワード線ドライブ信号WP
<0>〜WP<3>の全てを“L”に設定した後、書き
込みワード線シンク信号WWLSNKを“L”に設定す
れば、書き込み動作後の書き込みワード線WWLiの電
位を完全に0Vにすることができる。
【0385】なお、書き込み電流の大きさ又はその時間
的変化(電流波形)を制御するに当たっては、第一に、
複数のPチャネルMOSトランジスタWP0〜WP3の
サイズ(チャネル幅)、即ち、駆動能力を、全て同じ値
に設定し、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜
WP<3>を用いて、オン状態のPチャネルMOSトラ
ンジスタWP0〜WP3の数を変える、という制御方法
を使用できる。
【0386】第二に、複数のPチャネルMOSトランジ
スタWP0〜WP3のサイズ(チャネル幅)、即ち、駆
動能力を、互いに異なる値に設定し、書き込みワード線
ドライブ信号WP<0>〜WP<3>を用いて、複数の
PチャネルMOSトランジスタWP0〜WP3のうちの
1つを選択的にオン状態にする、という制御方法を使用
できる。
【0387】第三に、これら第一及び第二の方法を組み
合せた制御方法、即ち、PチャネルMOSトランジスタ
WP0〜WP3のサイズを変え、かつ、オン状態のPチ
ャネルMOSトランジスタWP0〜WP3の数を変え
て、書き込み電流の大きさの時間的変化(電流波形)を
制御する、という制御方法を使用できる。
【0388】iii. カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー 図50は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0389】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16Aは、NANDゲート
回路NDBP0〜NDBP3、ANDゲート回路AD
2,AD3、PチャネルMOSトランジスタBP0〜B
P3及びNチャネルMOSトランジスタBN0から構成
される。
【0390】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=0,1,2,3)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の一端に接続さ
れる。
【0391】NANDゲート回路NDBPi(i=0,
1,2,3)の2つの入力端子の一方には、書き込みワ
ード線ドライブ信号(電流波形生成信号)BP<i>が
入力され、他方には、ANDゲート回路AD2の出力信
号が入力される。ANDゲート回路AD2には、複数ビ
ットから構成されるカラムアドレス信号(カラムi毎に
異なる)及び書き込みデータDATAが入力される。
【0392】NチャネルMOSトランジスタBN0のゲ
ートは、ANDゲート回路AD3の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の一端に接続される。ANDゲート回路AD3に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータの反転信号bDATAが入
力される。
【0393】同様に、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー(1カラム分)17Aは、NAN
Dゲート回路NDBP4〜NDBP7、ANDゲート回
路AD4,AD5、PチャネルMOSトランジスタBP
4〜BP7及びNチャネルMOSトランジスタBN1か
ら構成される。
【0394】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=4,5,6,7)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の他端に接続さ
れる。
【0395】NANDゲート回路NDBPi(i=4,
5,6,7)の2つの入力端子の一方には、書き込みワ
ード線ドライブ信号(電流波形生成信号)BP<i>が
入力され、他方には、ANDゲート回路AD4の出力信
号が入力される。ANDゲート回路AD4には、複数ビ
ットから構成されるカラムアドレス信号(カラムi毎に
異なる)及び書き込みデータの反転信号bDATAが入
力される。
【0396】NチャネルMOSトランジスタBN1のゲ
ートは、ANDゲート回路AD5の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の他端に接続される。ANDゲート回路AD5に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータDATAが入力される。
【0397】選択されたカラムiでは、カラムアドレス
信号の全てのビットが“H”となる。このため、選択さ
れたカラムiでは、書き込みビット線ドライブ信号BP
<0>〜BP<7>の少なくとも1つ及び書き込みビッ
ト線シンク信号WBLSNKが“H”になったとき、書
き込みデータDATAの値に応じた向きを有する書き込
み電流が、書き込みビット線WBLiに流れる。
【0398】例えば、書き込みデータDATAが“1”
(=“H”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タBP0〜BP3の少なくとも1つ及びNチャネルMO
SトランジスタBN1がオン状態となるため、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16Aか
らカラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー17Aに向かう書き込み電流が流れる。
【0399】また、書き込みデータDATAが“0”
(=“L”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タBP4〜BP7の少なくとも1つ及びNチャネルMO
SトランジスタBN0がオン状態となるため、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー17Aか
らカラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー16Aに向かう書き込み電流が流れる。
【0400】このようなカラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカーによれば、書き込みビット線ド
ライブ信号BP<0>〜BP<7>の少なくとも1つ及
び書き込みビット線シンク信号WBLSNKが“H”又
は“L”になるタイミングを制御することで、選択され
たカラムi内の書き込みビット線WBLiに対する書き
込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間
的変化(電流波形)などを決定することができる。
【0401】また、書き込みビット線ドライブ信号BP
<0>〜BP<7>の全てを“L”に設定した後、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”に設定す
れば、書き込み動作後の書き込みビット線WBLiの電
位を完全に0Vにすることができる。
【0402】なお、書き込み電流の大きさ又はその時間
的変化(電流波形)を制御するに当たっては、第一に、
複数のPチャネルMOSトランジスタBP0〜BP7の
サイズ(チャネル幅)、即ち、駆動能力を、全て同じ値
に設定し、書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜
BP<7>を用いて、オン状態のPチャネルMOSトラ
ンジスタBP0〜BP7の数を変える、という制御方法
を使用できる。
【0403】第二に、複数のPチャネルMOSトランジ
スタBP0〜BP7のサイズ(チャネル幅)、即ち、駆
動能力を、互いに異なる値に設定し、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<7>を用いて、複数の
PチャネルMOSトランジスタBP0〜BP7のうちの
1つを選択的にオン状態にする、という制御方法を使用
できる。
【0404】第三に、これら第一及び第二の方法を組み
合せた制御方法、即ち、PチャネルMOSトランジスタ
BP0〜BP7のサイズを変え、かつ、オン状態のPチ
ャネルMOSトランジスタBP0〜BP7の数を変え
て、書き込み電流の大きさの時間的変化(電流波形)を
制御する、という制御方法を使用できる。
【0405】iv. 書き込み電流波形制御回路 次に、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP
<3>、書き込みワード線シンク信号WWLSNK、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<7>及
び書き込みビット線シンク信号WBLSNKを生成する
書き込み電流波形制御回路の例について説明する。
【0406】図51は、書き込み電流波形制御回路の例
を示している。書き込み電流波形制御回路24は、書き
込みワード線ドライバ/シンカー・トリガ回路25及び
書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路26
から構成される。
【0407】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み信号WRITE及び電流波形
制御信号FS<0>〜FS<7> FOR Wi(i=
0,1,2,3)に基づいて、書き込みワード線ドライ
ブ信号(電流波形生成信号)WP<0>〜WP<3>及
び書き込みワード線シンク信号WWLSNKを生成す
る。
【0408】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITE及び電流波形
制御信号FS<0>〜FS<7> FOR Bj(j=
0,1,・・・7)に基づいて、書き込みビット線ドラ
イブ信号(電流波形生成信号)BP<0>〜BP<7>
及び書き込みビット線シンク信号WBLSNKを生成す
る。
【0409】ここで、電流波形制御信号FS<0>〜F
S<7> FOR Wi,FS<0>〜FS<7> FOR
Bjにおける“FOR Wi”及び“FOR Bj”は、書き
込みワード/ビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路
25,26内の後述する複数の波形生成回路Wi,Bj
ごとに、電流波形制御信号FS<0>〜FS<7>の値
が設定されることを意味している。
【0410】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0411】書き込みワード線WWLiに対する書き込
み電流の供給/遮断のタイミング、大きさ及びその時間
的変化(電流波形)、即ち、書き込みワード線ドライブ
信号WP<0>〜WP<3>及び書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを“H”又は“L”にするタイミン
グは、電流波形制御信号FS<0>〜FS<7> FOR
Wiにより決定される。
【0412】書き込みビット線WBLiに対する書き込
み電流の供給/遮断のタイミング、大きさ及びその時間
的変化(電流波形)、即ち、書き込みビット線ドライブ
信号BP<0>〜BP<7>及び書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“H”又は“L”にするタイミン
グは、電流波形制御信号FS<0>〜FS<7> FOR
Bjにより決定される。
【0413】電流波形制御信号FS<0>〜FS<7>
FOR Wi,FS<0>〜FS<7> FOR Bjは、
後述する設定回路により生成される。
【0414】v. 書き込みワード線ドライバ/シンカー
・トリガ回路 図52は、書き込みワード線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路の例を示している。
【0415】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決定す
る電流供給/遮断タイミング決定回路25Xと、書き込
み電流の電流吸収タイミングを決定する電流吸収タイミ
ング決定回路25Yとから構成される。
【0416】電流供給/遮断タイミング決定回路25X
は、書き込み信号WRITEが“H”又は“L”になっ
た後、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP
<3>を“H”又は“L”にするタイミングを決定す
る。電流供給/遮断タイミング決定回路25Xは、複数
(本例では、4つ)の波形生成回路W0〜W3及びイン
バータIV1〜IV8から構成される。
【0417】波形生成回路W0〜W3は、それぞれ、書
き込み信号WRITE及び電流波形制御信号FS<0>
〜FS<7> FOR Wiに基づいて、書き込みワード
線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>を生成する。書
き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>
は、図49の書き込みワード線ドライバを駆動するた
め、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP<
3>の波形を合成した合成波形が、書き込みワード線W
WLiに供給される書き込み電流の波形にほぼ等しくな
る。
【0418】なお、本例では、波形生成回路W0〜W3
は、4つであるが、当然に、その数を多くすればするほ
ど、書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流の
電流波形を細かく制御できる。
【0419】電流吸収タイミング決定回路25Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND1及び遅延回
路27から構成される。
【0420】電流吸収タイミング決定回路25Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みワード線シンク信号WWLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
27により決まる遅延時間後に、書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを“L”にする。
【0421】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みワード線シンク信号WWLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みワード線WWL
iを完全に0Vにすることができる。
【0422】vi. 書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路 図53は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路の例を示している。
【0423】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決定す
る電流供給/遮断タイミング決定回路26Xと、書き込
み電流の電流吸収タイミングを決定する電流吸収タイミ
ング決定回路26Yとから構成される。
【0424】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、書き込み信号WRITEが“H”又は“L”になっ
た後、書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP
<7>を“H”又は“L”にするタイミングを決定す
る。
【0425】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、複数(本例では、8つ)の波形生成回路B0〜B7
及びインバータIV9〜IV24から構成される。
【0426】波形生成回路B0〜B7は、それぞれ、書
き込み信号WRITE及び電流波形制御信号FS<0>
〜FS<7> FOR Biに基づいて、書き込みビット
線ドライブ信号BP<0>〜BP<7>を生成する。書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<7>
は、図50の書き込みビット線ドライバを駆動する。
【0427】書き込みデータDATAが“1”(=
“H”)のとき、書き込み電流は、書き込みビット線ド
ライバ/シンカー16Aから書き込みビット線ドライバ
/シンカー17Aに向かって流れ、その電流波形は、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>の
波形を合成した合成波形にほぼ等しくなる。
【0428】書き込みデータDATAが“0”(=
“L”)のとき、書き込み電流は、書き込みビット線ド
ライバ/シンカー17Aから書き込みビット線ドライバ
/シンカー16Aに向かって流れ、その電流波形は、書
き込みビット線ドライブ信号BP<4>〜BP<7>の
波形を合成した合成波形にほぼ等しくなる。
【0429】なお、本例では、波形生成回路B0〜B7
は、8つであるが、当然に、その数を多くすればするほ
ど、書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流の
電流波形を細かく制御できる。
【0430】また、本例では、書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16Aを駆動する書き込みビット線ドライ
ブ信号BP<0>〜BP<3>と、書き込みビット線ド
ライバ/シンカー17Aを駆動する書き込みビット線ド
ライブ信号BP<4>〜BP<7>が異なるが、後述す
るように、書き込みビット線ドライバ/シンカー16
A,17Aを、書き込みビット線ドライブ信号BP<0
>〜BP<3>により共通に駆動してもよい。
【0431】電流吸収タイミング決定回路26Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND2及び遅延回
路28から構成される。
【0432】電流吸収タイミング決定回路26Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みビット線シンク信号WBLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
27により決まる遅延時間後に、書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“L”にする。
【0433】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みビット線WBL
iを完全に0Vにすることができる。
【0434】vii. 波形生成回路 次に、図52及び図53の書き込みワード/ビット線ド
ライバ/シンカー・トリガ回路25,26内の波形生成
回路Wi(i=0,1,2,3),Bj(j=0,1,
・・・7)の例について説明する。
【0435】図54は、波形生成回路の例を示してい
る。波形生成回路W0〜W3,B0〜B7は、書き込み
ワード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3
>,BP<0>〜BP<7>の立ち上がり時点(“L”
から“H”になるタイミング)を決定する立ち上がりタ
イミング決定回路32と、書き込みワード/ビット線ド
ライブ信号WP<0>〜WP<3>,BP<0>〜BP
<7>の立ち下がり時点(“H”から“L”になるタイ
ミング)を決定する立ち下がりタイミング決定回路33
とを有している。
【0436】また、波形生成回路W0〜W3,B0〜B
7は、書き込みワード/ビット線ドライブ信号WP<0
>〜WP<3>,BP<0>〜BP<7>のレベル
(“L”又は“H”)を保持するフリップフロップ回路
FF1と、フリップフロップ回路FF1の出力信号を、
書き込みワード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜W
P<3>,BP<0>〜BP<7>として出力するイン
バータ回路I13とを有している。
【0437】立ち上がりタイミング決定回路32は、直
列接続された遅延回路D0,D1,D2、NANDゲー
ト回路ND<0>〜ND<3>,ND6,ND8、イン
バータI11及び遅延回路D7から構成される。立ち下
がりタイミング決定回路33は、直列接続された遅延回
路D3,D4,D5,D6、NANDゲート回路ND<
4>〜ND<7>,ND7,ND9、インバータI12
及び遅延回路D8から構成される。
【0438】フリップフロップ回路FF1は、2つのN
ANDゲート回路ND10,ND11から構成される。
【0439】遅延回路D0〜D8は、同一の構成を有し
ていても、又は、互いに異なる構成を有していてもよ
い。また、遅延回路D0〜D8の遅延量に関しても、同
一であっても、又は、互いに異なっていてもよい。但
し、遅延回路D0〜D6に関しては、互いに同一の構成
を有し、かつ、同一の遅延量を有していれば、書き込み
電流の波形制御が容易になる。
【0440】なお、遅延回路D0〜D6の一例として、
図55及び図56に、定電流源を使用した遅延回路を示
す。定電流源回路34は、遅延回路D0〜D6に定電流
を供給する。定電流源回路34は、BGR回路から構成
される。
【0441】遅延回路D3の遅延量が遅延回路D0〜D
2の遅延量の合計よりも大きい場合には、電流波形制御
信号FS<0>〜FS<3>のうちの1つが“H”にな
ることにより、書き込みワード/ビット線ドライブ信号
WP<0>〜WP<3>,BP<0>〜BP<7>の立
ち上がり時点が決定され、電流波形制御信号FS<4>
〜FS<7>のうちの1つが“H”になることにより、
書き込みワード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜W
P<3>,BP<0>〜BP<7>の立ち下がり時点が
決定される。
【0442】遅延回路D0〜D7の遅延量が全て同じ場
合には、表2に示すような関係で、電流波形制御信号F
S<0>〜FS<3>のうちの1つ、及び、電流波形制
御信号FS<4>〜FS<7>のうちの1つが“H”に
なる。
【0443】
【表2】
【0444】そして、電流波形制御信号FS<0>〜F
S<3>のうちの1つが“H”になることにより、書き
込みワード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<
3>,BP<0>〜BP<7>の立ち上がり時点が決定
され、電流波形制御信号FS<4>〜FS<7>のうち
の1つが“H”になることにより、書き込みワード/ビ
ット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,BP<0
>〜BP<7>の立ち下がり時点が決定される。
【0445】この波形生成回路の動作について具体的に
説明する。
【表3】
【0446】まず、初期状態(状態)としては、書き
込み信号WRITEは、“L”であり、出力信号WP<
i>又はBP<j>は、“L”となっている。
【0447】この後、書き込み信号WRITEが“H”
になると(状態)、電流波形制御信号FS<0>〜F
S<3>によって決定される遅延時間が経過した後、N
ANDゲート回路ND6の出力ノードa1が“H”にな
る。なお、この遅延時間が書き込みワード線/ビット線
ドライブ信号WP<i>又はBP<j>の立ち上がり時
点を決定する。
【0448】例えば、電流波形制御信号FS<0>が
“H”、電流波形制御信号FS<1>〜FS<3>が
“L”のときには、書き込み信号WRITEが“H”に
なると、NANDゲート回路ND6の出力ノードa1が
直ちに“H”になる。電流波形制御信号FS<1>が
“H”、電流波形制御信号FS<0>,FS<2>,F
S<3>が“L”のときには、書き込み信号WRITE
が“H”になると、遅延回路D0が有する遅延時間が経
過した後に、NANDゲート回路ND6の出力ノードa
1が“H”になる。
【0449】NANDゲート回路ND6の出力ノードa
1が“H”になると、フリップフロップ回路FF1の入
力ノードc1が“H”から“L”に変化するため、フリ
ップフロップ回路FF1の出力ノードc2は、“L”と
なる。従って、波形生成回路Wi又はBjの出力信号W
P<i>又はBP<j>は、“H”となる。
【0450】この後、遅延回路D7が有する遅延時間が
経過すると(状態)、NANDゲート回路ND8の入
力ノードa2が“L”になり、フリップフロップ回路F
F1の入力ノードc1が“H”になるが、波形生成回路
Wi又はBjの出力信号WP<i>又はBP<j>は、
“H”を維持する。
【0451】次に、書き込み信号WRITEが“H”に
なった後、さらに、電流波形制御信号FS<4>〜FS
<7>によって決定される遅延時間が経過すると、NA
NDゲート回路ND7の出力ノードb1が“H”になる
(状態)。なお、この遅延時間が書き込みワード線/
ビット線ドライブ信号WP<i>又はBP<j>の立ち
下がり時点を決定する。
【0452】例えば、電流波形制御信号FS<4>が
“H”、電流波形制御信号FS<5>〜FS<7>が
“L”のときには、書き込み信号WRITEが“H”に
なった後、さらに、遅延回路D3が有する遅延時間が経
過すると、NANDゲート回路ND7の出力ノードb1
が“H”になる。電流波形制御信号FS<5>が
“H”、電流波形制御信号FS<4>,FS<6>,F
S<7>が“L”のときには、書き込み信号WRITE
が“H”になった後、さらに、遅延回路D3,D4が有
する遅延時間の合計時間が経過すると、NANDゲート
回路ND7の出力ノードb1が“H”になる。
【0453】NANDゲート回路ND7の出力ノードb
1が“H”になると、フリップフロップ回路FF1の入
力ノードd1が“H”から“L”に変化するため、フリ
ップフロップ回路FF1の出力ノードc2は、“H”と
なる。従って、波形生成回路Wi又はBjの出力信号W
P<i>又はBP<j>は、“L”となる。
【0454】この後、遅延回路D8が有する遅延時間が
経過すると(状態)、NANDゲート回路ND9の入
力ノードb2が“L”になり、フリップフロップ回路F
F1の入力ノードd1が“H”になるが、波形生成回路
Wi又はBjの出力信号WP<i>又はBP<j>は、
“L”を維持する。
【0455】最後に、書き込み信号WRITEが“H”
から“L”に変化すると(状態)、NANDゲート回
路ND8,ND9の入力ノードa1、a2、b1、b2
の値が変化し、再び、初期状態に戻る。
【0456】viii. 電流波形例 図57は、図54の波形生成回路を用いて生成した書き
込みワード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<
3>,BP<0>〜BP<7>及びそれにより得られる
書き込みワード/ビット線電流の一例を示している。
【0457】同図の波形は、後述する設定回路に登録さ
れる電流波形制御信号FS<0>〜FS<7>が以下の
場合に得られるものであり、実施例8の書き込み原理を
実現している。
【0458】波形生成回路W0: FS<0>=
“H”,FS<7>=“H” 波形生成回路W1: FS<0>=“H”,FS<6>
=“H” 波形生成回路W2: FS<0>=“H”,FS<6>
=“H” 波形生成回路W3: FS<0>=“H”,FS<4>
=“H” 波形生成回路B0: FS<0>=“H”,FS<7>
=“H” 波形生成回路B1: FS<1>=“H”,FS<7>
=“H” 波形生成回路B2: FS<1>=“H”,FS<7>
=“H” 波形生成回路B3: FS<3>=“H”,FS<7>
=“H” 但し、残りのFS<i>は、全て、“L”である。ま
た、書き込みデータDATAは、“1”(=“H”)と
仮定しているため、波形生成回路B4〜B7の出力信号
BP<4>〜BP<7>は、書き込みビット線電流に何
ら影響を与えない。書き込みデータDATAを“0”
(=“L”)と仮定したときには、波形生成回路B0〜
B3の出力信号BP<0>〜BP<3に代わり、波形生
成回路B4〜B7の出力信号BP<4>〜BP<7>が
有効となる(図50参照)。
【0459】この波形図から分かることは、書き込みワ
ード線電流の供給/遮断タイミング、大きさ及びその時
間的変化(電流波形)は、4つの書き込みワード線ドラ
イブ信号WP<0>〜WP<3>の“H”及び“L”の
組み合せにより決定されるということである。同様に、
書き込みビット線電流の供給/遮断タイミング、大きさ
及びその時間的変化(電流波形)は、4つの書き込みビ
ット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>の“H”及
び“L”の組み合せにより決定されるということであ
る。
【0460】これは、ロウデコーダ&書き込みワード線
ドライバ/シンカーが、図49に示すような構成を有
し、かつ、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ
/シンカーが、図50に示すような構成を有しているこ
とから明らかである。
【0461】書き込みワード/ビット線シンク信号WW
LSNK,WBLSNKが“H”から“L”になるタイ
ミングは、書き込みワード/ビット線ドライブ信号WP
<0>〜WP<3>,BP<0>〜BP<7>の全てが
“L”になるタイミングよりも遅くなるように、図52
及び図53の遅延回路27,28の遅延量及び図54の
遅延回路D0〜D6の遅延量が調整される。
【0462】ix. 設定回路 次に、図54に示される電流波形制御信号FS<0>〜
FS<7>を生成する設定回路について説明する。
【0463】図58は、設定回路の例を示している。設
定回路23は、書き込み電流の供給/遮断タイミング、
大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決定する設定
データがプログラムされるレジスタ<0>〜<3>と、
レジスタ<0>〜<3>の出力信号TD<0>〜TD<
3>,bTD<0>〜bTD<3>をデコードして、電
流波形制御信号FS<0>〜FS<7>を出力するデコ
ーダFS<0>〜FS<7>から構成される。
【0464】同図の設定回路23は、1つの波形生成回
路に対応して1つ設けられる。本例では、書き込みワー
ド線ドライバ/シンカー・トリガ回路内に4つの波形生
成回路W0〜W3が設けられ、書き込みビット線ドライ
バ/シンカー・トリガ回路内に8つの波形生成回路B0
〜B7が設けられるため、これに対応して、図58の設
定回路23は、12個存在する。
【0465】レジスタ<0>,<1>には、書き込みワ
ード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,
BP<0>〜BP<7>の立ち上がりタイミングを決定
する設定データがプログラムされる。書き込みワード/
ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,BP<
0>〜BP<7>の立ち上がりタイミングは、レジスタ
<0>,<1>に登録される2ビットの設定データによ
り、4通り(FS<0>〜FS<3>の1つが“H”)
だけ存在する。
【0466】なお、D<0>,D<1>は、テストモー
ド時に、磁気ランダムアクセスメモリの外部から入力さ
れる設定データである。テストモード時には、この設定
データに基づいて、書き込みワード/ビット線ドライブ
信号WP<0>〜WP<3>,BP<0>〜BP<7>
の立ち上がりタイミングを決定できる。
【0467】レジスタ<2>,<3>には、書き込みワ
ード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,
BP<0>〜BP<7>の立ち下がりタイミングを決定
する設定データがプログラムされる。書き込みワード/
ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,BP<
0>〜BP<7>の立ち下がりタイミングは、レジスタ
<2>,<3>に登録される2ビットの設定データによ
り、4通り(FS<4>〜FS<7>の1つが“H”)
だけ存在する。
【0468】なお、D<2>,D<3>は、テストモー
ド時に、磁気ランダムアクセスメモリの外部から入力さ
れる設定データである。テストモード時には、この設定
データに基づいて、書き込みワード/ビット線ドライブ
信号WP<0>〜WP<3>,BP<0>〜BP<7>
の立ち下がりタイミングを決定できる。
【0469】x. レジスタ<j> 図58の設定回路23内のレジスタ<j>の回路例につ
いて説明する。
【0470】図59は、レジスタの回路例を示してい
る。レジスタ<j>(j=0,1,2,3)は、プログ
ラムされた設定データを、出力信号TD<j>,bTD
<j>として出力するためのプログラムデータ出力回路
29と、磁気ランダムアクセスメモリの外部から入力さ
れた設定データを、出力信号TD<j>,bTD<j>
として出力するための入力データ転送回路30とから構
成される。
【0471】プログラムデータ出力回路29は、設定デ
ータを記憶するためのレーザ溶断ヒューズ(laser blow
fuse)29を有している。レーザ溶断ヒューズ29の
切断の有無により、1ビットデータを記憶する。Pチャ
ネルMOSトランジスタP1とレーザ溶断ヒューズ29
は、電源端子VDDと接地端子VSSの間に直列接続さ
れる。PチャネルMOSトランジスタP1のゲートは、
接地端子VSSに接続されるため、PチャネルMOSト
ランジスタP1は、常に、オン状態となっている。
【0472】PチャネルMOSトランジスタP1とレー
ザ溶断ヒューズ29の接続点は、インバータI9及びト
ランスファゲートTG4を経由して、インバータI7の
入力端に接続される。インバータI7の出力信号は、b
TD<j>となり、インバータI8の出力信号は、TD
<j>となる。
【0473】入力データ転送回路30は、トランスファ
ゲートTG1〜TG3及びインバータI5,I6から構
成される。インバータI5,I6とトランスファゲート
TG3は、ラッチ回路を構成している。
【0474】通常動作モードにおける書き込み動作時に
は、テスト信号VCTESTが“L”となり、テスト信
号bVCTESTが“H”となる。このため、トランス
ファゲートTG4は、オン状態となり、トランスファゲ
ートTG1,TG2は、オフ状態となる。
【0475】従って、レーザ溶断ヒューズ29にプログ
ラムされた設定データが、トランスファゲートTG4及
びインバータI7〜I9を経由して、出力信号TD<j
>,bTD<j>として出力される。
【0476】テストモードにおける書き込み動作時に
は、テスト信号VCTESTが“H”となり、テスト信
号bVCTESTが“L”となる。このため、トランス
ファゲートTG1,TG2は、オン状態となり、トラン
スファゲートTG3,TG4は、オフ状態となる。
【0477】従って、外部端子(データ入力端子、アド
レス端子など)から入力される設定データD<j>が、
トランスファゲートTG1,TG2及びインバータI5
〜I8を経由して、出力信号TD<j>,bTD<j>
として出力される。
【0478】テストモードにおけるスタンバイ時には、
テスト信号VCTESTが“L”となり、テスト信号b
VCTESTが“H”となる。このため、トランスファ
ゲートTG1,TG2は、オフ状態となり、トランスフ
ァゲートTG3,TG4は、オン状態となる。
【0479】従って、外部端子から入力された設定デー
タD<j>は、トランスファゲートTG3及びインバー
タI5,I6からなるラッチ回路にラッチされる。この
後は、ラッチ回路にラッチされた設定データに基づい
て、書き込みテストを行うことができる。
【0480】なお、設定データを記憶するための記憶素
子としては、レーザ溶断ヒューズの他に、例えば、磁化
状態によりデータを記憶するTMR素子(MTJ)や、ト
ンネルバリアを絶縁破壊するか否かでデータを記憶する
TMR素子などを使用することができる(図45参
照)。
【0481】xi. デコーダFS<k> 図58の設定回路23内のデコーダFS<k>の回路例
について説明する。
【0482】図60は、デコーダの回路例を示してい
る。デコーダFS<k>(j=0,1,・・・7)は、
NANDゲート回路ND3及びインバータI10から構
成される。
【0483】NANDゲート回路ND3には、2つの入
力信号A,Bが入力され、その出力信号は、インバータ
I10に入力される。インバータI10の出力信号C
は、FS<k>となる。
【0484】デコーダFS<k>のデコーディング表
(入力信号と出力信号との関係)を、表4に示す。
【0485】
【表4】
【0486】xii. まとめ 以上、説明したように、磁気ランダムアクセスメモリの
回路例2によれば、書き込みワード/ビット線に対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)を、チップ毎又はメモリセ
ルアレイ毎に、プログラミングにより設定できる。これ
により、例えば、実施例1〜10の書き込み原理を実現
可能にし、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行
い、書き込み特性の向上を図ることができる。
【0487】また、回路例2では、書き込みデータの値
に応じて、書き込みビット線に流れる電流の向きが変化
する。ここで、回路例2では、書き込みビット線電流の
向きに対して、個別に、書き込み電流の電流供給/遮断
タイミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を
設定できる。
【0488】つまり、書き込みデータが“1”(=
“H”)のときは、書き込みビット線ドライブ信号BP
<0>〜BP<3>により、書き込みビット線電流の電
流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化
(電流波形)が制御され、書き込みデータが“0”(=
“L”)のときは、書き込みビット線ドライブ信号BP
<4>〜BP<7>により、書き込みビット線電流の電
流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化
(電流波形)が制御される。
【0489】このように、回路例2では、TMR素子の
特性などを考慮し、書き込みビット線に流れる書き込み
電流の向きに応じて、個別に、書き込み電流の電流供給
/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化(電流波
形)を設定できるため、TMR素子の記憶層の磁化反転
を確実に行い、書き込み特性の向上を図ることができ
る。
【0490】 回路例3 回路例3は、回路例2の一部を変形した変形例であり、
書き込みワード/ビット線に対する書き込み電流の電流
供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化(電
流波形)を、プログラミングにより設定できる磁気ラン
ダムアクセスメモリに関する。
【0491】回路例3は、回路例2と比較すると、カラ
ムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー及び
書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路の構
成に特徴を有する。
【0492】即ち、ロウデコーダ&書き込みワード線ド
ライバ/シンカーについては、図49に示す回路、書き
込み電流波形制御回路内の書き込みワード線ドライバ/
シンカー・トリガ回路については、図51及び図52に
示す回路をそのまま使用することができる。
【0493】また、書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路内の波形生成回路については、図54乃
至図56に示す回路、設定回路については、図58乃至
図60に示す回路をそのまま使用することができる。
【0494】回路例2では、書き込みビット線電流の向
きに対して、個別に、書き込み電流の電流供給/遮断タ
イミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を設
定できる構成について提案した。これに対し、回路例3
では、書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大き
さ及びその時間的変化(電流波形)に関しては、チップ
毎又はメモリセルアレイ毎に設定されるのみで、書き込
みビット線電流の向きに対して、それらは変わらないよ
うな構成について提案する。
【0495】i. 全体構成 図61は、回路例3に関わる磁気ランダムアクセスメモ
リの主要部の構成を示している。
【0496】磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)
11は、それ自体で1つのメモリチップを構成していて
もよいし、また、特定機能を有するチップ内の1つのブ
ロックであってもよい。メモリセルアレイ(データセ
ル)12は、実際に、データを記憶する機能を有し、レ
ファレンスセルアレイ13は、読み出し動作時に、読み
出しデータの値を判定するための基準を決める機能を有
する。
【0497】メモリセルアレイ12及びレファレンスセ
ルアレイ13からなるセルアレイのX方向の2つの端部
のうちの1つには、ロウデコーダ&ドライバ(ロウデコ
ーダ&書き込みワード線ドライバ,ロウデコーダ&読み
出しワード線ドライバ)14が配置され、他の1つに
は、書き込みワード線シンカー15が配置される。
【0498】ロウデコーダ&ドライバ14は、書き込み
動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複数の
書き込みワード線のうちの1つを選択し、かつ、選択さ
れた1つの書き込みワード線に、書き込み電流を供給す
る機能を有する。書き込みワード線シンカー15は、書
き込み動作時、例えば、選択された1つの書き込みワー
ド線に供給された書き込み電流を吸収する機能を有す
る。
【0499】ロウデコーダ&ドライバ14は、読み出し
動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複数の
読み出しワード線(書き込みワード線と一体化されてい
てもよい)のうちの1つを選択し、かつ、選択された1
つの読み出しワード線に、読み出し電流を流す機能を有
する。センスアンプ20は、例えば、この読み出し電流
を検出して、読み出しデータを判定する。
【0500】メモリセルアレイ12のY方向の2つの端
部のうちの1つには、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー16Aが配置され、他の1つに
は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シン
カー(カラムトランスファゲート、カラムデコーダを含
む)17Aが配置される。
【0501】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A,17Aは、書き込み動作時、例え
ば、カラムアドレス信号に基づいて、複数の書き込みビ
ット線(又はデータ選択線)のうちの1つを選択し、か
つ、選択された1つの書き込みビット線に、書き込みデ
ータに応じた向きを有する書き込み電流を流す機能を有
する。カラムトランスファゲート及びカラムデコーダ
は、読み出し動作時、カラムアドレス信号により選択さ
れたデータ選択線をセンスアンプ20に電気的に接続す
る機能を有する。
【0502】レファレンスセルアレイ13のY方向の2
つの端部のうちの1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16B
が配置され、他の1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー(カラ
ムトランスファゲート、カラムデコーダを含む)17B
が配置される。
【0503】レファレンスセル用カラムデコーダ&書き
込みビット線ドライバ/シンカー16B,17Bは、レ
ファレンスセルアレイ13にレファレンスデータを記憶
させる機能を有する。カラムトランスファゲート及びカ
ラムデコーダは、読み出し動作時、レファレンスデータ
を読み出し、これをセンスアンプ20に転送する機能を
有する。
【0504】アドレスレシーバ18は、アドレス信号を
受け、例えば、ロウアドレス信号を、ロウデコーダ&ド
ライバ14に転送し、カラムアドレス信号を、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16A,
17Aに転送する。データ入力レシーバ19は、書き込
みデータを、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A,17Aに転送する。また、出力ド
ライバ21は、センスアンプ20で検出された読み出し
データを、磁気ランダムアクセスメモリ11の外部へ出
力する。
【0505】制御回路22は、/CE(Chip Enable)
信号、/WE(Write Enable)信号及び/OE(Output
Enable)信号を受け、磁気ランダムアクセスメモリ1
1の動作を制御する。例えば、制御回路22は、書き込
み動作時、書き込み信号WRITEを、書き込み電流波
形制御回路24に与える。書き込み電流波形制御回路2
4は、書き込み信号WRITEを受けると、例えば、設
定回路23に予めプログラムされた設定データに基づい
て、書き込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)などを決定する。
【0506】具体的には、書き込み電流波形制御回路2
4は、書き込み動作時、ロウデコーダ&ドライバ14
に、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成信
号)WP<0>〜WP<3>を与え、書き込みワード線
シンカー15に、書き込みワード線シンク信号WWLS
NKを与える。
【0507】また、カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー16Aに、書き込みビット線ドライ
ブ信号(電流波形生成信号)BP<0>〜BP<3>及
び書き込みビット線シンク信号WBLSNKを与え、か
つ、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シン
カー17Aに、書き込みビット線ドライブ信号(電流波
形生成信号)BP<0>〜BP<3>及び書き込みビッ
ト線シンク信号WBLSNKを与える。
【0508】書き込み動作時、例えば、ロウデコーダ&
ドライバ14については、書き込みワード線ドライブ信
号WP<0>〜WP<3>のうちの少なくとも1つが
“H”のときに動作状態となり、同様に、書き込みワー
ド線シンカー15及びカラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー16A,17Aについては、それ
ぞれ、書き込みワード線シンク信号WWLSNK、書き
込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>のう
ちの少なくとも1つ及び書き込みビット線シンク信号W
BLSNKが“H”のときに動作状態となるようにす
る。
【0509】このようにすれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WP<0>〜WP<3>、書き込みワード線シ
ンク信号WWLSNK、書き込みビット線ドライブ信号
BP<0>〜BP<3>及び書き込みビット線シンク信
号WBLSNKが“H”になるタイミングを、書き込み
電流波形制御回路24で制御することにより、書き込み
電流の供給/遮断タイミング(磁界Hx,Hyの印加タ
イミング)、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を
決定し、実施例1〜10の書き込み原理を実現すること
ができる。
【0510】書き込み電流の電流吸収タイミングに関し
ては、例えば、シンク信号WWLSNK,WBLSNK
が“H”から“L”になるタイミングを、ドライブ信号
WP<0>〜WP<3>,BP<0>〜BP<3>が
“H”から“L”になるタイミングよりも遅らせること
により、書き込みワード/ビット線の電位を完全に0V
にする、といったことも可能にできる。
【0511】これらの信号WP<0>〜WP<3>,W
WLSNK,BP<0>〜BP<3>,WBLSNKが
“H”になるタイミングは、設定回路23に予めプログ
ラムされた設定データに基づいて決定される。プログラ
ミング素子としては、例えば、レーザ溶断型ヒューズ、
TMR素子(MTJ)や、TMR素子のトンネルバリアを
破壊するアンチヒューズなどを使用することができる。
【0512】磁気ランダムアクセスメモリのテストモー
ドにおいては、例えば、データ入出力端子から入力され
る設定データに基づいて、書き込み電流の供給/遮断タ
イミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)など
を決定することもできる。設定データは、アドレス端子
から入力させるようにしてもよい。
【0513】ii. カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー 図62は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0514】回路例3のカラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカーは、回路例2のカラムデコーダ
&書き込みビット線ドライバ/シンカー(図50)と比
べると、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/
シンカー(1カラム分)17A内のNANDゲート回路
NDBP4〜NDBP7に入力される書き込みビット線
ドライブ信号が、BP<0>〜BP<3>である点に特
徴を有する。
【0515】即ち、回路例3では、カラムデコーダ&書
き込みビット線ドライバ/シンカー16A内のNAND
ゲート回路NDBP0〜NDBP3に入力される書き込
みビット線ドライブ信号と、カラムデコーダ&書き込み
ビット線ドライバ/シンカー17A内のNANDゲート
回路NDBP4〜NDBP7に入力される書き込みビッ
ト線ドライブ信号とが、同じとなっている。
【0516】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16Aは、NANDゲート
回路NDBP0〜NDBP3、ANDゲート回路AD
2,AD3、PチャネルMOSトランジスタBP0〜B
P3及びNチャネルMOSトランジスタBN0から構成
される。
【0517】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=0,1,2,3)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の一端に接続さ
れる。
【0518】NANDゲート回路NDBPi(i=0,
1,2,3)の2つの入力端子の一方には、書き込みワ
ード線ドライブ信号(電流波形生成信号)BP<i>
(i=0,1,2,3)が入力され、他方には、AND
ゲート回路AD2の出力信号が入力される。ANDゲー
ト回路AD2には、複数ビットから構成されるカラムア
ドレス信号(カラムi毎に異なる)及び書き込みデータ
DATAが入力される。
【0519】NチャネルMOSトランジスタBN0のゲ
ートは、ANDゲート回路AD3の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の一端に接続される。ANDゲート回路AD3に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータの反転信号bDATAが入
力される。
【0520】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)17Aは、NANDゲート
回路NDBP4〜NDBP7、ANDゲート回路AD
4,AD5、PチャネルMOSトランジスタBP4〜B
P7及びNチャネルMOSトランジスタBN1から構成
される。
【0521】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=4,5,6,7)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の他端に接続さ
れる。
【0522】NANDゲート回路NDBPi(i=4,
5,6,7)の2つの入力端子の一方には、書き込みワ
ード線ドライブ信号(電流波形生成信号)BP<i>
(i=0,1,2,3)が入力され、他方には、AND
ゲート回路AD4の出力信号が入力される。ANDゲー
ト回路AD4には、複数ビットから構成されるカラムア
ドレス信号(カラムi毎に異なる)及び書き込みデータ
の反転信号bDATAが入力される。
【0523】NチャネルMOSトランジスタBN1のゲ
ートは、ANDゲート回路AD5の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の他端に接続される。ANDゲート回路AD5に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータDATAが入力される。
【0524】選択されたカラムiでは、カラムアドレス
信号の全てのビットが“H”となる。このため、選択さ
れたカラムiでは、書き込みビット線ドライブ信号BP
<0>〜BP<7>の少なくとも1つ及び書き込みビッ
ト線シンク信号WBLSNKが“H”になったとき、書
き込みデータDATAの値に応じた向きを有する書き込
み電流が、書き込みビット線WBLiに流れる。
【0525】例えば、書き込みデータDATAが“1”
(=“H”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タBP0〜BP3の少なくとも1つ及びNチャネルMO
SトランジスタBN1がオン状態となるため、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16Aか
らカラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー17Aに向かう書き込み電流が流れる。
【0526】また、書き込みデータDATAが“0”
(=“L”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タBP4〜BP7の少なくとも1つ及びNチャネルMO
SトランジスタBN0がオン状態となるため、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー17Aか
らカラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー16Aに向かう書き込み電流が流れる。
【0527】このようなカラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカーによれば、書き込みビット線ド
ライブ信号BP<0>〜BP<3>の少なくとも1つ及
び書き込みビット線シンク信号WBLSNKが“H”又
は“L”になるタイミングを制御することで、選択され
たカラムi内の書き込みビット線WBLiに対する書き
込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間
的変化(電流波形)などを決定することができる。
【0528】また、書き込みビット線ドライブ信号BP
<0>〜BP<3>の全てを“L”に設定した後、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”に設定す
れば、書き込み動作後の書き込みビット線WBLiの電
位を完全に0Vにすることができる。
【0529】なお、書き込み電流の大きさ又はその時間
的変化(電流波形)を制御するに当たっては、第一に、
複数のPチャネルMOSトランジスタBP0〜BP7の
サイズ(チャネル幅)、即ち、駆動能力を、全て同じ値
に設定し、書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜
BP<3>を用いて、オン状態のPチャネルMOSトラ
ンジスタBP0〜BP7の数を変える、という制御方法
を使用できる。
【0530】第二に、複数のPチャネルMOSトランジ
スタBP0〜BP7のサイズ(チャネル幅)、即ち、駆
動能力を、互いに異なる値に設定し、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を用いて、複数の
PチャネルMOSトランジスタBP0〜BP7のうちの
1つを選択的にオン状態にする、という制御方法を使用
できる。
【0531】第三に、これら第一及び第二の方法を組み
合せた制御方法、即ち、PチャネルMOSトランジスタ
BP0〜BP7のサイズを変え、かつ、オン状態のPチ
ャネルMOSトランジスタBP0〜BP7の数を変え
て、書き込み電流の大きさの時間的変化(電流波形)を
制御する、という制御方法を使用できる。
【0532】iii. 書き込み電流波形制御回路 次に、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP
<3>、書き込みワード線シンク信号WWLSNK、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>及
び書き込みビット線シンク信号WBLSNKを生成する
書き込み電流波形制御回路の例について説明する。
【0533】図63は、書き込み電流波形制御回路の例
を示している。書き込み電流波形制御回路24は、書き
込みワード線ドライバ/シンカー・トリガ回路25及び
書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路26
から構成される。
【0534】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み信号WRITE及び電流波形
制御信号FS<0>〜FS<7> FOR Wi(i=
0,1,2,3)に基づいて、書き込みワード線ドライ
ブ信号(電流波形生成信号)WP<0>〜WP<3>及
び書き込みワード線シンク信号WWLSNKを生成す
る。
【0535】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITE及び電流波形
制御信号FS<0>〜FS<7> FOR Bj(j=
0,1,2,3)に基づいて、書き込みビット線ドライ
ブ信号(電流波形生成信号)BP<0>〜BP<3>及
び書き込みビット線シンク信号WBLSNKを生成す
る。
【0536】ここで、電流波形制御信号FS<0>〜F
S<7> FOR Wi,FS<0>〜FS<7> FOR
Bjにおける“FOR Wi”及び“FOR Bj”は、書き
込みワード/ビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路
25,26内の後述する複数の波形生成回路Wi,Bj
ごとに、電流波形制御信号FS<0>〜FS<7>の値
が設定されることを意味している。
【0537】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0538】書き込みワード線WWLiに対する書き込
み電流の供給/遮断のタイミング、大きさ及びその時間
的変化(電流波形)、即ち、書き込みワード線ドライブ
信号WP<0>〜WP<3>及び書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを“H”又は“L”にするタイミン
グは、電流波形制御信号FS<0>〜FS<7> FOR
Wiにより決定される。
【0539】書き込みビット線WBLiに対する書き込
み電流の供給/遮断のタイミング、大きさ及びその時間
的変化(電流波形)、即ち、書き込みビット線ドライブ
信号BP<0>〜BP<3>及び書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“H”又は“L”にするタイミン
グは、電流波形制御信号FS<0>〜FS<7> FOR
Bjにより決定される。
【0540】電流波形制御信号FS<0>〜FS<7>
FOR Wi,FS<0>〜FS<7> FOR Bjは、
図58乃至図60の設定回路により生成される。
【0541】iv. 書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路 図64は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路の例を示している。
【0542】回路例3の書き込みビット線ドライバ/シ
ンカー・トリガ回路は、回路例2の書き込みビット線ド
ライバ/シンカー・トリガ回路(図53)と比べると、
波形生成回路Biの数が減っている点に特徴を有する。
【0543】即ち、回路例2では、図53に示すよう
に、8つの書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜
BP<7>に対応して、8つの波形生成回路B0〜B7
が必要であったが、回路例3では、4つの書き込みビッ
ト線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>に対応して、
4つの波形生成回路B0〜B3のみを設ければよい。
【0544】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決定す
る電流供給/遮断タイミング決定回路26Xと、書き込
み電流の電流吸収タイミングを決定する電流吸収タイミ
ング決定回路26Yとから構成される。
【0545】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、書き込み信号WRITEが“H”又は“L”になっ
た後、書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP
<3>を“H”又は“L”にするタイミングを決定す
る。電流供給/遮断タイミング決定回路26Xは、複数
(本例では、4つ)の波形生成回路B0〜B3及びイン
バータIV9〜IV16から構成される。
【0546】波形生成回路B0〜B3は、それぞれ、書
き込み信号WRITE及び電流波形制御信号FS<0>
〜FS<7> FOR Biに基づいて、書き込みビット
線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を生成する。書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>
は、図61の書き込みビット線ドライバを駆動する。
【0547】書き込みデータDATAが“1”(=
“H”)のとき、書き込み電流は、書き込みビット線ド
ライバ/シンカー16Aから書き込みビット線ドライバ
/シンカー17Aに向かって流れ、その電流波形は、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>の
波形を合成した合成波形にほぼ等しくなる。
【0548】書き込みデータDATAが“0”(=
“L”)のとき、書き込み電流は、書き込みビット線ド
ライバ/シンカー17Aから書き込みビット線ドライバ
/シンカー16Aに向かって流れ、その電流波形も、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>の
波形を合成した合成波形にほぼ等しくなる。
【0549】なお、本例では、波形生成回路B0〜B3
は、4つであるが、当然に、その数を多くすればするほ
ど、書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流の
電流波形を細かく制御できる。
【0550】電流吸収タイミング決定回路26Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND2及び遅延回
路28から構成される。
【0551】電流吸収タイミング決定回路26Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みビット線シンク信号WBLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
27により決まる遅延時間後に、書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“L”にする。
【0552】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みビット線WBL
iを完全に0Vにすることができる。
【0553】v. まとめ 以上、説明したように、磁気ランダムアクセスメモリの
回路例3によれば、書き込みワード/ビット線に対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)を、チップ毎又はメモリセ
ルアレイ毎に、プログラミングにより設定できる。これ
により、例えば、実施例1〜10の書き込み原理を実現
可能にし、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行
い、書き込み特性の向上を図ることができる。
【0554】また、回路例3では、書き込みデータの値
に応じて、書き込みビット線に流れる電流の向きが変化
する。ここで、回路例3では、書き込み電流の電流供給
/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化(電流波
形)は、チップ毎又はメモリセルアレイ毎に設定し、書
き込みビット線電流の向き(書き込みデータの値)に対
しては、それらが同じとなるようにしている。
【0555】その結果、書き込みビット線ドライブ信号
の数は、回路例2の場合に比べて、半分になる。つま
り、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路
内の波形生成回路の数が減るため、書き込み電流波形制
御回路の大きさを縮小でき、チップサイズの縮小などに
貢献できる。
【0556】(2) 書き込みワード/ビット線毎に設定
する場合 次に、磁気ランダムアクセスメモリのセルアレイ内の書
き込みワード/ビット線毎に、書き込み原理や、書き込
み電流の供給/遮断タイミング・大きさなどを設定する
ための回路について説明する。
【0557】 回路例1 回路例1は、書き込みワード/ビット線に対する書き込
み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時
間的変化(電流波形)を、プログラミングにより設定で
きる機能を設けた磁気ランダムアクセスメモリに関す
る。
【0558】i. 全体構成 図65は、回路例1に関わる磁気ランダムアクセスメモ
リの主要部の構成を示している。
【0559】磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)
11は、それ自体で1つのメモリチップを構成していて
もよいし、また、特定機能を有するチップ内の1つのブ
ロックであってもよい。メモリセルアレイ(データセ
ル)12は、実際に、データを記憶する機能を有し、レ
ファレンスセルアレイ13は、読み出し動作時に、読み
出しデータの値を判定するための基準を決める機能を有
する。
【0560】メモリセルアレイ12及びレファレンスセ
ルアレイ13からなるセルアレイのX方向の2つの端部
のうちの1つには、ロウデコーダ&ドライバ(ロウデコ
ーダ&書き込みワード線ドライバ,ロウデコーダ&読み
出しワード線ドライバ)14−1が配置され、他の1つ
には、書き込みワード線シンカー15が配置される。
【0561】ロウデコーダ&ドライバ14−1は、書き
込み動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複
数の書き込みワード線のうちの1つを選択し、かつ、選
択された1つの書き込みワード線に、書き込み電流を供
給する機能を有する。書き込みワード線シンカー15
は、書き込み動作時、例えば、選択された1つの書き込
みワード線に供給された書き込み電流を吸収する機能を
有する。
【0562】ロウデコーダ&ドライバ14−1は、読み
出し動作時、例えば、ロウアドレス信号に基づいて、複
数の読み出しワード線(書き込みワード線と一体化され
ていてもよい)のうちの1つを選択し、かつ、選択され
た1つの読み出しワード線に、読み出し電流を流す機能
を有する。センスアンプ20は、例えば、この読み出し
電流を検出して、読み出しデータを判定する。
【0563】メモリセルアレイ12のY方向の2つの端
部のうちの1つには、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー16A−1が配置され、他の1つ
には、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シ
ンカー(カラムトランスファゲート、カラムデコーダを
含む)17A−1が配置される。
【0564】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A−1,17A−1は、書き込み動作
時、例えば、カラムアドレス信号に基づいて、複数の書
き込みビット線(又はデータ選択線)のうちの1つを選
択し、かつ、選択された1つの書き込みビット線に、書
き込みデータに応じた向きを有する書き込み電流を流す
機能を有する。カラムトランスファゲート及びカラムデ
コーダは、読み出し動作時、カラムアドレス信号により
選択されたデータ選択線をセンスアンプ20に電気的に
接続する機能を有する。
【0565】レファレンスセルアレイ13のY方向の2
つの端部のうちの1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16B
が配置され、他の1つには、レファレンスセル用カラム
デコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー(カラ
ムトランスファゲート、カラムデコーダを含む)17B
が配置される。
【0566】レファレンスセル用カラムデコーダ&書き
込みビット線ドライバ/シンカー16B,17Bは、レ
ファレンスセルアレイ13にレファレンスデータを記憶
させる機能を有する。カラムトランスファゲート及びカ
ラムデコーダは、読み出し動作時、レファレンスデータ
を読み出し、これをセンスアンプ20に転送する機能を
有する。
【0567】アドレスレシーバ18は、アドレス信号を
受け、例えば、ロウアドレス信号を、ロウデコーダ&ド
ライバ14−1に転送し、カラムアドレス信号を、カラ
ムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16
A−1,17A−1に転送する。データ入力レシーバ1
9は、書き込みデータを、カラムデコーダ&書き込みビ
ット線ドライバ/シンカー16A−1,17A−1に転
送する。また、出力ドライバ21は、センスアンプ20
で検出された読み出しデータを、磁気ランダムアクセス
メモリ11の外部へ出力する。
【0568】制御回路22は、/CE(Chip Enable)
信号、/WE(Write Enable)信号及び/OE(Output
Enable)信号を受け、磁気ランダムアクセスメモリ1
1の動作を制御する。例えば、制御回路22は、書き込
み動作時、書き込み信号WRITEを、書き込み電流波
形制御回路・設定回路14−2,16A−2,17A−
2に与える。
【0569】書き込み電流波形制御回路・設定回路14
−2,16A−2,17A−2は、書き込み信号WRI
TEを受けると、書き込みワード/ビット線毎に、例え
ば、設定回路に予めプログラムされた設定データに基づ
いて、書き込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及
びその時間的変化(電流波形)などを決定する。
【0570】具体的には、書き込み電流波形制御回路・
設定回路14−2は、書き込み動作時、ロウデコーダ&
ドライバ14−1に、書き込みワード線ドライブ信号
(電流波形生成信号)WP<0>〜WP<3>,WS<
0>〜WS<3>を与え、書き込みワード線シンカー1
5に、書き込みワード線シンク信号WWLSNKを与え
る。また、書き込み電流波形制御回路・設定回路16A
−2,17A−2は、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー16A−1,17A−1に、書き
込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信号)BP<
0>〜BP<7>,BS<0>〜BS<7>及び書き込
みビット線シンク信号WBLSNKを与える。
【0571】書き込み動作時、回路例1では、書き込み
ワード線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,WS<
0>〜WS<3>を用いて、ロウデコーダ&ドライバ1
4−1を駆動する。これにより、書き込みワード線毎
に、書き込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)を制御できる。
【0572】また、書き込み動作時、回路例1では、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<7>,
BS<0>〜BS<7>を用いて、書き込みビット線ド
ライバ/シンカー16A−1,17A−1を駆動する。
これにより、書き込みビット線毎に、書き込み電流の供
給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化(電流
波形)を制御できる。また、回路例1では、書き込みビ
ット線電流の向きに対して、それぞれ、個別に、書き込
み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的
変化(電流波形)を制御できる。
【0573】書き込み電流の電流吸収タイミングに関し
ては、例えば、シンク信号WWLSNK,WBLSNK
が“H”から“L”になるタイミングを、ドライブ信号
WP<0>〜WP<3>,WS<0>〜WS<3>,B
P<0>〜BP<7>,BS<0>〜BS<7>の全て
が“H”から“L”になるタイミングよりも遅らせるこ
とにより、書き込みワード/ビット線の電位を完全に0
Vにする、といったことも可能にできる。
【0574】書き込みワード線ドライブ信号WS<0>
〜WS<3>,BS<0>〜BS<7>の値は、例え
ば、設定回路に予めプログラムされた設定データに基づ
いて決定される。プログラミング素子としては、例え
ば、レーザ溶断型ヒューズ、TMR素子(MTJ)や、T
MR素子のトンネルバリアを破壊するアンチヒューズな
どを使用することができる。
【0575】磁気ランダムアクセスメモリのテストモー
ドにおいては、例えば、データ入出力端子から入力され
る設定データに基づいて、書き込み電流の供給/遮断タ
イミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)など
を決定することもできる。設定データは、アドレス端子
から入力させるようにしてもよい。
【0576】ii. ロウデコーダ&書き込みワード線ド
ライバ/シンカー 図66は、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ/
シンカーの回路例を示している。
【0577】ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
(1ロウ分)14−1は、ANDゲート回路AD1、N
ANDゲート回路NDWP0〜NDWP3及びPチャネ
ルMOSトランジスタWP0〜WP3から構成される。
PチャネルMOSトランジスタWPi(i=0,1,
2,3)のゲートは、NANDゲート回路NDWPiの
出力端子に接続され、そのソースは、電源端子VDDに
接続され、そのドレインは、書き込みワード線WWLi
(i=1,・・・)の一端に接続される。
【0578】NANDゲート回路NDWPiは、3つの
入力端子を有し、そのうちの2つには、書き込みワード
線ドライブ信号(電流波形生成信号)WP<i>,WS
<i>が入力され、残りの1つには、ANDゲート回路
AD1の出力信号が入力される。ANDゲート回路AD
1には、複数ビットから構成されるロウアドレス信号
(ロウi毎に異なる)が入力される。
【0579】書き込みワード線シンカー(1ロウ分)1
5は、NチャネルMOSトランジスタTN1から構成さ
れる。NチャネルMOSトランジスタTN1のソース
は、接地端子VSSに接続され、そのドレインは、書き
込みワード線WWLiの他端に接続される。Nチャネル
MOSトランジスタTN1のゲートには、書き込みワー
ド線シンク信号WWLSNKが入力される。
【0580】選択されたロウiでは、ロウアドレス信号
の全てのビットが“H”となる。このため、選択された
ロウiでは、入力信号としての書き込みワード線ドライ
ブ信号WP<i>及びWS<i>が共に“H”であるN
ANDゲート回路NDWPiの出力信号を受けるPチャ
ネルMOSトランジスタWPiがオン状態となる。ま
た、書き込みワード線シンク信号WWLSNKが“H”
となると、NチャネルMOSトランジスタTN1がオン
状態となる。
【0581】PチャネルMOSトランジスタWP0〜W
P3のうちの少なくとも1つとNチャネルMOSトラン
ジスタTN1がオン状態となると、例えば、書き込み電
流は、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ14−
1から、書き込みワード線WWL1を経由して、書き込
みワード線シンカー15に向かって流れる。
【0582】このようなロウデコーダ&書き込みワード
線ドライバ/シンカーによれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WP<0>〜WP<3>,WS<0>〜WS<
3>及び書き込みワード線シンク信号WWLSNKが
“H”又は“L”になるタイミングを制御することで、
選択されたロウi内の書き込みワード線WWLiに対す
る書き込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及びそ
の時間的変化(電流波形)などを決定することができ
る。
【0583】また、書き込みワード線ドライブ信号WP
<0>〜WP<3>,WS<0>〜WS<3>の全てを
“L”に設定した後、書き込みワード線シンク信号WW
LSNKを“L”に設定すれば、書き込み動作後の書き
込みワード線WWLiの電位を完全に0Vにすることが
できる。
【0584】なお、書き込み電流の大きさ又はその時間
的変化(電流波形)を制御するに当たっては、第一に、
複数のPチャネルMOSトランジスタWP0〜WP3の
サイズ(チャネル幅)、即ち、駆動能力を、全て同じ値
に設定し、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜
WP<3>,WS<0>〜WS<3>を用いて、オン状
態のPチャネルMOSトランジスタWP0〜WP3の数
を変える、という制御方法を使用できる。
【0585】第二に、複数のPチャネルMOSトランジ
スタWP0〜WP3のサイズ(チャネル幅)、即ち、駆
動能力を、互いに異なる値に設定し、書き込みワード線
ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,WS<0>〜W
S<3>を用いて、複数のPチャネルMOSトランジス
タWP0〜WP3のうちの1つを選択的にオン状態にす
る、という制御方法を使用できる。
【0586】第三に、これら第一及び第二の方法を組み
合せた制御方法、即ち、PチャネルMOSトランジスタ
WP0〜WP3のサイズを変え、かつ、オン状態のPチ
ャネルMOSトランジスタWP0〜WP3の数を変え
て、書き込み電流の大きさの時間的変化(電流波形)を
制御する、という制御方法を使用できる。
【0587】iii. カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー 図67は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0588】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16A−1は、NANDゲ
ート回路NDBP0〜NDBP3、ANDゲート回路A
D2,AD3、PチャネルMOSトランジスタBP0〜
BP3及びNチャネルMOSトランジスタBN0から構
成される。
【0589】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=0,1,2,3)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の一端に接続さ
れる。
【0590】NANDゲート回路NDBPi(i=0,
1,2,3)は、3つの入力端子を有し、そのうちの2
つには、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成
信号)BP<i>,BS<i>が入力され、残りの1つ
には、ANDゲート回路AD2の出力信号が入力され
る。ANDゲート回路AD2には、複数ビットから構成
されるカラムアドレス信号(カラムi毎に異なる)及び
書き込みデータDATAが入力される。
【0591】NチャネルMOSトランジスタBN0のゲ
ートは、ANDゲート回路AD3の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の一端に接続される。ANDゲート回路AD3に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータの反転信号bDATAが入
力される。
【0592】同様に、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー(1カラム分)17A−1は、N
ANDゲート回路NDBP4〜NDBP7、ANDゲー
ト回路AD4,AD5、PチャネルMOSトランジスタ
BP4〜BP7及びNチャネルMOSトランジスタBN
1から構成される。
【0593】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=4,5,6,7)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の他端に接続さ
れる。
【0594】NANDゲート回路NDBPi(i=4,
5,6,7)は、3つの入力端子を有し、そのうちの2
つには、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成
信号)BP<i>,BS<i>が入力され、残りの1つ
には、ANDゲート回路AD4の出力信号が入力され
る。ANDゲート回路AD4には、複数ビットから構成
されるカラムアドレス信号(カラムi毎に異なる)及び
書き込みデータの反転信号bDATAが入力される。
【0595】NチャネルMOSトランジスタBN1のゲ
ートは、ANDゲート回路AD5の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の他端に接続される。ANDゲート回路AD5に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータDATAが入力される。
【0596】選択されたカラムiでは、カラムアドレス
信号の全てのビットが“H”となる。また、選択された
カラムiでは、書き込みビット線ドライブ信号ペアBP
<i>,BS<i>の少なくとも1つが“H”となり、
書き込みビット線シンク信号WBLSNKが“H”にな
る。このため、書き込みビット線WBLiには、書き込
みデータDATAの値に応じた向きを有する書き込み電
流が流れる。
【0597】例えば、書き込みデータDATAが“1”
(=“H”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タBP0〜BP3の少なくとも1つ及びNチャネルMO
SトランジスタBN1がオン状態となるため、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー16Aか
らカラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー17Aに向かう書き込み電流が流れる。
【0598】また、書き込みデータDATAが“0”
(=“L”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タBP4〜BP7の少なくとも1つ及びNチャネルMO
SトランジスタBN0がオン状態となるため、カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー17Aか
らカラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー16Aに向かう書き込み電流が流れる。
【0599】このようなカラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカーによれば、書き込みビット線ド
ライブ信号ペアBP<i>,BS<i>の少なくとも1
つ及び書き込みビット線シンク信号WBLSNKが
“H”又は“L”になるタイミングを制御することで、
選択されたカラムi内の書き込みビット線WBLiに対
する書き込み電流の供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)などを決定することができ
る。
【0600】また、書き込みビット線ドライブ信号BP
<0>〜BP<7>,BS<0>〜BS<7>の全てを
“L”に設定した後、書き込みビット線シンク信号WB
LSNKを“L”に設定すれば、書き込み動作後の書き
込みビット線WBLiの電位を完全に0Vにすることが
できる。
【0601】なお、書き込み電流の大きさ又はその時間
的変化(電流波形)を制御するに当たっては、第一に、
複数のPチャネルMOSトランジスタBP0〜BP7の
サイズ(チャネル幅)、即ち、駆動能力を、全て同じ値
に設定し、書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜
BP<7>,BS<0>〜BS<7>を用いて、オン状
態のPチャネルMOSトランジスタBP0〜BP7の数
を変える、という制御方法を使用できる。
【0602】第二に、複数のPチャネルMOSトランジ
スタBP0〜BP7のサイズ(チャネル幅)、即ち、駆
動能力を、互いに異なる値に設定し、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<7>,BS<0>〜B
S<7>を用いて、複数のPチャネルMOSトランジス
タBP0〜BP7のうちの1つを選択的にオン状態にす
る、という制御方法を使用できる。
【0603】第三に、これら第一及び第二の方法を組み
合せた制御方法、即ち、PチャネルMOSトランジスタ
BP0〜BP7のサイズを変え、かつ、オン状態のPチ
ャネルMOSトランジスタBP0〜BP7の数を変え
て、書き込み電流の大きさの時間的変化(電流波形)を
制御する、という制御方法を使用できる。
【0604】iv. 書き込み電流波形制御回路・設定回
路 次に、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP
<3>,WS<0>〜WS<3>及び書き込みワード線
シンク信号WWLSNKを生成する書き込み電流波形制
御回路・設定回路の例、書き込みビット線ドライブ信号
BP<0>〜BP<3>,BS<0>〜BS<3>及び
書き込みビット線シンク信号WBLSNKを生成する書
き込み電流波形制御回路・設定回路の例、並びに、書き
込みビット線ドライブ信号BP<4>〜BP<7>,B
S<4>〜BS<7>及び書き込みビット線シンク信号
WBLSNKを生成する書き込み電流波形制御回路・設
定回路の例について説明する。
【0605】図68は、図65における書き込み電流波
形制御回路・設定回路14−2の例を示している。同図
では、書き込み電流波形制御回路・設定回路14−2の
1ロウ分についてのみ示す。よって、実際は、図68に
示す要素(書き込みワード線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路25及び設定回路23A)が、ロウの数だけ存在
する。
【0606】書き込み電流波形制御回路・設定回路14
−2は、書き込みワード線ドライバ/シンカー・トリガ
回路25及び設定回路23Aから構成される。
【0607】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み信号WRITEに基づいて、
書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成信号)W
P<0>〜WP<3>及び書き込みワード線シンク信号
WWLSNKを生成する。
【0608】設定回路23Aは、設定データに基づい
て、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成信
号)WS<0>〜WS<3>を出力する。設定データ
は、プログラム信号PROG、アドレス信号(ロウi)
及び入力データD<0>〜D<3>に基づいて、予め、
設定回路23A内の記憶素子(ヒューズ素子、TMR素
子など)にプログラムされる。
【0609】なお、本例では、設定データのプログラム
は、ウェハ状態、アセンブリ後の製品状態など、どのよ
うな時期に行ってもよい。アセンブリ後に、設定データ
のプログラムを行う場合には、入力データD<0>〜D
<3>は、例えば、データ入力ピン、アドレスピンや、
専用ピンなどから入力し、設定回路23Aに設定データ
を登録することができる。
【0610】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0611】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み信号WRITEが“H”にな
ると、書き込みワード線シンク信号WWLSNKを
“H”にすると共に、例えば、所定のタイミングで、書
き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>を
“H”及び“L”に設定する。
【0612】設定回路23Aは、常に、設定データに基
づく書き込みワード線ドライブ信号WS<0>〜WS<
3>を出力している。
【0613】書き込みワード線ドライブ信号WP<0>
〜WP<3>は、書き込みワード線電流の電流波形の基
となる信号である。これに対し、書き込みワード線ドラ
イブ信号WS<0>〜WS<3>は、書き込みワード線
ドライブ信号WP<0>〜WP<3>(電流波形の基と
なる信号)を選択する機能を持つ。
【0614】即ち、図66の書き込みワード線ドライバ
の構成から明らかなように、書き込みワード線ドライブ
信号WS<i>が“H”のとき、書き込みワード線ドラ
イブ信号WP<i>の波形にほぼ等しい波形を有する電
流が、書き込みワード線WWLiに供給される。
【0615】図69は、図65における書き込み電流波
形制御回路・設定回路16A−2の例を示している。同
図では、書き込み電流波形制御回路・設定回路16A−
2の1カラム分についてのみ示す。よって、実際は、図
69に示す要素(書き込みビット線ドライバ/シンカー
・トリガ回路26及び設定回路23B)が、カラムの数
だけ存在する。
【0616】書き込み電流波形制御回路・設定回路16
A−2は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路26及び設定回路23Bから構成される。
【0617】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEに基づいて、
書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信号)B
P<0>〜BP<3>及び書き込みビット線シンク信号
WBLSNKを生成する。
【0618】設定回路23Bは、設定データに基づい
て、書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信
号)BS<0>〜BS<3>を出力する。設定データ
は、プログラム信号PROG、アドレス信号(カラム
i)及び入力データD<0>〜D<3>に基づいて、予
め、設定回路23B内の記憶素子(ヒューズ素子、TM
R素子など)にプログラムされる。
【0619】なお、本例では、設定データのプログラム
は、ウェハ状態、アセンブリ後の製品状態など、どのよ
うな時期に行ってもよい。アセンブリ後に、設定データ
のプログラムを行う場合には、入力データD<0>〜D
<3>は、例えば、データ入力ピン、アドレスピンや、
専用ピンなどから入力し、設定回路23Bに設定データ
を登録することができる。
【0620】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0621】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEが“H”にな
ると、書き込みビット線シンク信号WBLSNKを
“H”にすると共に、例えば、所定のタイミングで、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を
“H”及び“L”に設定する。
【0622】設定回路23Bは、常に、書き込みビット
線ドライブ信号BS<0>〜BS<3>を出力してい
る。
【0623】書き込みビット線ドライブ信号BP<0>
〜BP<3>は、書き込みビット線電流の電流波形の基
となる信号である。これに対し、書き込みビット線ドラ
イブ信号BS<0>〜BS<3>は、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<3>(電流波形の基と
なる信号)を選択する機能を持つ。
【0624】即ち、図67の書き込みビット線ドライバ
の構成から明らかなように、書き込みビット線ドライブ
信号BS<i>が“H”のとき、書き込みビット線ドラ
イブ信号BP<i>の波形にほぼ等しい波形を有する電
流が、書き込みビット線WBLiに供給される。
【0625】図70は、図65における書き込み電流波
形制御回路・設定回路17A−2の例を示している。同
図では、書き込み電流波形制御回路・設定回路17A−
2の1カラム分についてのみ示す。よって、実際は、図
70に示す要素(書き込みビット線ドライバ/シンカー
・トリガ回路26及び設定回路23B)が、カラムの数
だけ存在する。
【0626】書き込み電流波形制御回路・設定回路17
A−2は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路26及び設定回路23Bから構成される。
【0627】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEに基づいて、
書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信号)B
P<4>〜BP<7>及び書き込みビット線シンク信号
WBLSNKを生成する。
【0628】設定回路23Bは、設定データに基づい
て、書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信
号)BS<4>〜BS<7>を出力する。設定データ
は、プログラム信号PROG、アドレス信号(カラム
i)及び入力データD<4>〜D<7>に基づいて、予
め、設定回路23B内の記憶素子(ヒューズ素子、TM
R素子など)にプログラムされる。
【0629】なお、本例では、設定データのプログラム
は、ウェハ状態、アセンブリ後の製品状態など、どのよ
うな時期に行ってもよい。アセンブリ後に、設定データ
のプログラムを行う場合には、入力データD<4>〜D
<7>は、例えば、データ入力ピン、アドレスピンや、
専用ピンなどから入力し、設定回路23Bに設定データ
を登録することができる。
【0630】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0631】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEが“H”にな
ると、書き込みビット線シンク信号WBLSNKを
“H”にすると共に、例えば、所定のタイミングで、書
き込みビット線ドライブ信号BP<4>〜BP<7>を
“H”及び“L”に設定する。
【0632】設定回路23Bは、常に、書き込みビット
線ドライブ信号BS<4>〜BS<7>を出力してい
る。
【0633】書き込みビット線ドライブ信号BP<4>
〜BP<7>は、書き込みビット線電流の電流波形の基
となる信号である。これに対し、書き込みビット線ドラ
イブ信号BS<4>〜BS<7>は、書き込みビット線
ドライブ信号BP<4>〜BP<7>(電流波形の基と
なる信号)を選択する機能を持つ。
【0634】即ち、図67の書き込みビット線ドライバ
の構成から明らかなように、書き込みビット線ドライブ
信号BS<i>が“H”のとき、書き込みビット線ドラ
イブ信号BP<i>の波形にほぼ等しい波形を有する電
流が、書き込みビット線WBLiに供給される。
【0635】v. 書き込みワード線ドライバ/シンカー
・トリガ回路 図71は、書き込みワード線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路の例を示している。
【0636】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決める
基となる書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜W
P<3>を生成する電流供給/遮断タイミング決定回路
25Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定す
る電流吸収タイミング決定回路25Yとから構成され
る。
【0637】電流供給/遮断タイミング決定回路25X
は、書き込み信号WRITEの“H”又は“L”のタイ
ミングに応じて、書き込みワード線ドライブ信号WP<
0>〜WP<3>の“H”又は“L”のタイミングを決
定する。電流供給/遮断タイミング決定回路25Xは、
複数(本例では、4つ)の波形生成回路W0〜W3及び
インバータIV1〜IV8から構成される。
【0638】波形生成回路W0〜W3は、それぞれ、書
き込み信号WRITEに基づいて、書き込みワード線ド
ライブ信号WP<0>〜WP<3>を生成する。波形生
成回路W0〜W3は、それぞれ、異なる遅延量を有す
る。波形生成回路W0〜W3の遅延量の差は、一定であ
っても、又は、ランダムであってもよい。
【0639】これにより、書き込みワード線ドライブ信
号WP<0>〜WP<3>は、例えば、書き込み信号W
RITEが“H”になった後、互いに異なるタイミング
で、“H”に変化する。
【0640】なお、本例では、波形生成回路W0〜W3
は、4つであるが、当然に、その数を多くすればするほ
ど、書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流の
電流波形を細かく制御できる。
【0641】電流吸収タイミング決定回路25Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND1及び遅延回
路27から構成される。
【0642】電流吸収タイミング決定回路25Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みワード線シンク信号WWLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
27により決まる遅延時間後に、書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを“L”にする。
【0643】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みワード線シンク信号WWLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みワード線WWL
iを完全に0Vにすることができる。
【0644】vi. 書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路 図72は、図69の書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路の例を示している。
【0645】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決める
基となる書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜B
P<3>を生成する電流供給/遮断タイミング決定回路
26Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定す
る電流吸収タイミング決定回路26Yとから構成され
る。
【0646】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、書き込み信号WRITEの“H”又は“L”のタイ
ミングに応じて、書き込みビット線ドライブ信号BP<
0>〜BP<3>の“H”又は“L”のタイミングを決
定する。電流供給/遮断タイミング決定回路26Xは、
複数(本例では、4つ)の波形生成回路B0〜B3及び
インバータIV9〜IV16から構成される。
【0647】波形生成回路B0〜B3は、それぞれ、書
き込み信号WRITEに基づいて、書き込みビット線ド
ライブ信号BP<0>〜BP<3>を生成する。波形生
成回路B0〜B3は、それぞれ、異なる遅延量を有す
る。波形生成回路B0〜B3の遅延量の差は、一定であ
っても、又は、ランダムであってもよい。
【0648】これにより、書き込みワード線ドライブ信
号BP<0>〜BP<3>は、例えば、書き込み信号W
RITEが“H”になった後、互いに異なるタイミング
で、“H”に変化する。
【0649】なお、本例では、波形生成回路B0〜B3
は、4つであるが、当然に、その数を多くすればするほ
ど、書き込みビット線WBLiに流れる書き込み電流の
電流波形を細かく制御できる。
【0650】電流吸収タイミング決定回路26Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND2及び遅延回
路28から構成される。
【0651】電流吸収タイミング決定回路26Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みビット線シンク信号WBLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
28により決まる遅延時間後に、書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“L”にする。
【0652】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みビット線WBL
iを完全に0Vにすることができる。
【0653】図73は、図70の書き込みビット線ドラ
イバ/シンカー・トリガ回路の例を示している。
【0654】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決める
基となる書き込みビット線ドライブ信号BP<4>〜B
P<7>を生成する電流供給/遮断タイミング決定回路
26Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定す
る電流吸収タイミング決定回路26Yとから構成され
る。
【0655】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、書き込み信号WRITEの“H”又は“L”のタイ
ミングに応じて、書き込みビット線ドライブ信号BP<
4>〜BP<7>の“H”又は“L”のタイミングを決
定する。電流供給/遮断タイミング決定回路26Xは、
複数(本例では、4つ)の波形生成回路B4〜B7及び
インバータIV17〜IV24から構成される。
【0656】波形生成回路B4〜B7は、それぞれ、書
き込み信号WRITEに基づいて、書き込みビット線ド
ライブ信号BP<4>〜BP<7>を生成する。波形生
成回路B4〜B7は、それぞれ、異なる遅延量を有す
る。波形生成回路B4〜B7の遅延量の差は、一定であ
っても、又は、ランダムであってもよい。
【0657】これにより、書き込みワード線ドライブ信
号BP<4>〜BP<7>は、例えば、書き込み信号W
RITEが“H”になった後、互いに異なるタイミング
で、“H”に変化する。
【0658】なお、本例では、波形生成回路B4〜B7
は、4つであるが、当然に、その数を多くすればするほ
ど、書き込みビット線WBLiに流れる書き込み電流の
電流波形を細かく制御できる。
【0659】電流吸収タイミング決定回路26Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND2及び遅延回
路28から構成される。
【0660】電流吸収タイミング決定回路26Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みビット線シンク信号WBLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
28により決まる遅延時間後に、書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“L”にする。
【0661】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みビット線WBL
iを完全に0Vにすることができる。
【0662】図72の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路26により生成された書き込みビット
線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>及び書き込みビ
ット線シンク信号WBLSNKは、図61の書き込みビ
ット線ドライバ/シンカー16A−1を駆動する。
【0663】また、図73の書き込みビット線ドライバ
/シンカー・トリガ回路26により生成された書き込み
ビット線ドライブ信号BP<4>〜BP<7>及び書き
込みビット線シンク信号WBLSNKは、図67の書き
込みビット線ドライバ/シンカー17A−1を駆動す
る。
【0664】なお、本例では、書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A−1を駆動する書き込みビット線ド
ライブ信号BP<0>〜BP<3>と、書き込みビット
線ドライバ/シンカー17A−1を駆動する書き込みビ
ット線ドライブ信号BP<4>〜BP<7>が異なる
が、書き込みビット線ドライバ/シンカー16A−1,
17A−1を、共に、書き込みビット線ドライブ信号B
P<0>〜BP<3>により駆動してもよい。
【0665】vii. 設定回路 図74は、図68の設定回路23Aの例を示している。
設定回路23Aは、設定データを記憶するためのTMR
素子MTJを有している。本例では、TMR素子MTJ
のトンネルバリアの破壊の有無により、1ビットデータ
を記憶する。なお、TMR素子MTJの磁化状態(平行
又は反平行)により、1ビットデータを記憶するように
してもよい。
【0666】TMR素子MTJの一端は、NチャネルM
OSトランジスタN2を経由して、接地点VSSに接続
される。NチャネルMOSトランジスタN2は、そのゲ
ートに電源電位VDDが印加されているため、常に、オ
ン状態である。
【0667】TMR素子MTJの他端は、NチャネルM
OSトランジスタN1及びPチャネルMOSトランジス
タP1を経由して、電源電位VDDに接続される。Pチ
ャネルMOSトランジスタP1は、そのゲートに接地電
位VSSが印加されているため、常に、オン状態であ
る。NチャネルMOSトランジスタN1のゲートには、
クランプ電位Vclampが印加される。
【0668】ゲートにクランプ電位Vclampが入力
されるNチャネルMOSトランジスタN1は、通常動作
時、即ち、書き込みに際して設定回路23Aから書き込
みワード線ドライブ信号WS<0>〜WS<3>を出力
する時に、TMR素子MTJに大きな電圧が印加されな
い(TMR素子MTJが破壊されない)ようにする機能
を有する。
【0669】なお、クランプ電位Vclampを生成す
るVclamp生成回路は、図46に示すような回路に
より構成することができる。
【0670】NANDゲート回路ND4及びPチャネル
MOSトランジスタP2は、TMR素子MTJに、書き
込み電流の電流波形などを決めるための設定データを書
き込むときに使用される。
【0671】即ち、上述したように、本例では、設定デ
ータは、トンネルバリアの破壊の有無として、半永久的
に、TMR素子MTJに記憶される。ここで、TMR素
子MTJのトンネルバリアを破壊する際には、Pチャネ
ルMOSトランジスタP2をオン状態にして、TMR素
子MTJの両端に大きな電圧を与えればよい。
【0672】プログラム信号PROGは、設定データの
書き込み時に、“H”となる信号である。例えば、プロ
グラム信号PROGは、アセンブリ後に、データ入力ピ
ンやアドレスピンなどから供給することができる。ま
た、専用ピンから、プログラム信号PROGを与えても
よい。
【0673】ロウi内の設定回路23Aに設定データを
書き込む場合には、アドレス信号(ロウi)の全てのビ
ットが“H”となる。
【0674】このため、設定データの書き込み時、ロウ
i内の設定回路23Aでは、入力データD<0>〜D<
3>の値に応じて、NANDゲート回路ND4の出力信
号の値が変化する。
【0675】例えば、入力データD<0>が“1”(=
“H”)のときは、NANDゲート回路ND4の出力信
号は、“L”となる。このため、PチャネルMOSトラ
ンジスタP2は、オン状態となり、TMR素子MTJの
トンネルバリアが破壊され、TMR素子MTJに、
“1”が記憶される。この場合、書き込みワード線ドラ
イブ信号WS<0>は、“H”となる。
【0676】また、入力データD<0>が“0”(=
“L”)のときは、NANDゲート回路ND4の出力信
号は、“H”となる。このため、PチャネルMOSトラ
ンジスタP2は、オフ状態となり、TMR素子MTJの
トンネルバリアは破壊されず、TMR素子MTJに、
“0”が記憶される。この場合、書き込みワード線ドラ
イブ信号WS<0>は、“L”となる。
【0677】このように、入力データD<0>〜D<3
>により、設定回路23Aに、設定データを書き込むこ
とができ、書き込みワード線ドライブ信号WS<0>〜
WS<3>の値が決定される。
【0678】図75は、図69の設定回路23Bの例を
示している。図76は、図70の設定回路23Bの例を
示している。図75及び図76の設定回路23Bの構成
は、共に、上述した図74の設定回路23Aと全く同じ
である。設定データは、TMR素子MTJのトンネルバ
リアの破壊の有無により、半永久的に記憶される。
【0679】プログラム信号PROGは、設定データの
書き込み時に、“H”となる。カラムi内の設定回路2
3Bに設定データを書き込む場合には、アドレス信号
(カラムi)の全てのビットが“H”となる。
【0680】このため、設定データの書き込み時、カラ
ムi内の設定回路23Bでは、入力データD<0>〜D
<3>の値に応じて、NANDゲート回路ND4の出力
信号の値が変化する。
【0681】例えば、入力データD<0>が“1”(=
“H”)のときは、NANDゲート回路ND4の出力信
号は、“L”となる。このため、PチャネルMOSトラ
ンジスタP2は、オン状態となり、TMR素子MTJの
トンネルバリアが破壊され、TMR素子MTJに、
“1”が記憶される。
【0682】この場合、書き込みビット線ドライブ信号
BS<0>は、“H”となる。
【0683】また、入力データD<0>が“0”(=
“L”)のときは、NANDゲート回路ND4の出力信
号は、“H”となる。このため、PチャネルMOSトラ
ンジスタP2は、オフ状態となり、TMR素子MTJの
トンネルバリアは破壊されず、TMR素子MTJに、
“0”が記憶される。
【0684】この場合、書き込みビット線ドライブ信号
BS<0>は、“L”となる。
【0685】このように、入力データD<0>〜D<3
>により、設定回路23Bに、設定データを書き込むこ
とができ、図75の書き込みビット線ドライブ信号BS
<0>〜BS<3>の値及び図76の書き込みビット線
ドライブ信号BS<4>〜BS<7>の値が決定され
る。
【0686】図75の設定回路23Bにより生成された
書き込みビット線ドライブ信号BS<0>〜BS<3>
は、図67の書き込みビット線ドライバ/シンカー16
A−1を駆動する。
【0687】また、図76の設定回路23Bにより生成
された書き込みビット線ドライブ信号BS<4>〜BS
<7>は、図67の書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー17A−1を駆動する。
【0688】なお、本例では、書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A−1を駆動する書き込みビット線ド
ライブ信号BS<0>〜BS<3>と、書き込みビット
線ドライバ/シンカー17A−1を駆動する書き込みビ
ット線ドライブ信号BS<4>〜BS<7>が異なる
が、書き込みビット線ドライバ/シンカー16A−1,
17A−1を、共に、書き込みビット線ドライブ信号B
S<0>〜BS<3>により駆動してもよい。
【0689】viii. 電流波形例 図77は、図65乃至図76に示す回路例1により実現
できる書き込みワード線電流の電流波形の一例を示して
いる。
【0690】この波形例は、図71の書き込みワード線
ドライバ/シンカー・トリガ回路25内の遅延回路W0
〜W3が、それぞれ異なる遅延時間を有し、かつ、図7
4の設定回路23Aが、WS<0>,WS<2>,WS
<3>=“L”、WS<1>=“H”を出力することを
前提とする。
【0691】この場合、書き込み信号WRITEが
“L”から“H”に変化した後、時刻T1の時点で、W
P<1>=“H”及びWS<1>=“H”となる。その
結果、図66のロウデコーダ&書き込みワード線ドライ
バ14−1内のNANDゲート回路NDWP1の出力信
号が“L”になり、書き込みワード線WWLiに書き込
み電流が流れる。
【0692】この波形例では、書き込みワード線電流の
供給/遮断タイミングが制御される形となっている。
【0693】但し、後述するように、書き込みワード線
ドライブ信号WP<0>〜WP<3>の波形(立ち上が
り/立ち下がり時点、パルス幅など)を自由に設定でき
るようにすれば、設定データに基づく書き込みワード線
ドライブ信号WS<0>〜WS<3>の値により、書き
込みワード線電流の供給/遮断タイミング、大きさや、
その時間的変化(電流波形)を、自由に変えることがで
きる。
【0694】図78は、図65乃至図76に示す回路例
1により実現できる書き込みビット線電流の電流波形の
一例を示している。
【0695】この波形例は、書き込みデータDATAが
“1”(=“H”)であり、図72の書き込みビット線
ドライバ/シンカー・トリガ回路26内の遅延回路B0
〜B3が、それぞれ異なる遅延時間を有し、かつ、図7
5の設定回路23Bが、BS<0>,BS<2>,BS
<3>=“L”、BS<1>=“H”を出力することを
前提とする。
【0696】なお、書き込みデータDATAが“0”
(=“L”)のときには、図73の書き込みビット線ド
ライバ/シンカー・トリガ回路26及び図70の設定回
路23Bが有効になる。
【0697】この場合、書き込み信号WRITEが
“L”から“H”に変化した後、時刻T1の時点で、B
P<1>=“H”及びBS<1>=“H”となる。その
結果、図67のカラムデコーダ&書き込みビット線ドラ
イバ/シンカー16A−1内のNANDゲート回路ND
BP1の出力信号が“L”になり、書き込みビット線W
BLiに書き込み電流が流れる。
【0698】この波形例では、書き込みビット線電流の
供給/遮断タイミングが制御される形となっている。
【0699】但し、後述するように、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<3>の波形(立ち上が
り/立ち下がり時点、パルス幅など)を自由に設定でき
るようにすれば、設定データに基づく書き込みビット線
ドライブ信号BS<0>〜BS<3>の値により、書き
込みワード線電流の供給/遮断タイミング、大きさや、
その時間的変化(電流波形)を、自由に変えることがで
きる。
【0700】ix. まとめ 以上、説明したように、磁気ランダムアクセスメモリの
回路例1によれば、書き込みワード/ビット線に対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)を、書き込みワード/ビッ
ト線毎に、プログラミングにより設定できる。これによ
り、例えば、実施例1〜10の書き込み原理を実現可能
にし、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行い、書
き込み特性の向上を図ることができる。
【0701】また、回路例1では、書き込みデータの値
に応じて、書き込みビット線に流れる電流の向きが変化
する。ここで、回路例1では、書き込みビット線電流の
向き(書き込みデータに依存)に対して、個別に、書き
込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及びその
時間的変化(電流波形)を設定できる。
【0702】つまり、書き込みデータが“1”(=
“H”)のときは、書き込みビット線ドライブ信号BP
<0>〜BP<3>により、書き込みビット線電流の電
流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化
(電流波形)が制御され、書き込みデータが“0”(=
“L”)のときは、書き込みビット線ドライブ信号BP
<4>〜BP<7>により、書き込みビット線電流の電
流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化
(電流波形)が制御される。
【0703】このように、回路例1では、書き込みワー
ド/ビット線毎に、書き込み電流の形状を設定できると
共に、TMR素子の特性などを考慮し、書き込みビット
線に流れる書き込み電流の向きに応じて、個別に、書き
込み電流の形状を設定できるため、TMR素子の記憶層
の磁化反転を確実に行い、書き込み特性の向上を図るこ
とができる。
【0704】 回路例2 回路例2は、回路例1の一部を変形した変形例であり、
書き込みワード/ビット線に対する書き込み電流の電流
供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化(電
流波形)を、書き込みワード/ビット線毎に、プログラ
ミングにより設定できる磁気ランダムアクセスメモリに
関する。
【0705】回路例2は、回路例1と比較すると、書き
込みワード線ドライバ/シンカー・トリガ回路及び書き
込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路の構成に
特徴を有する。
【0706】即ち、回路例2の全体構成は、回路例1と
同様に、図65に示すようになる。また、ロウデコーダ
&書き込みワード線ドライバ/シンカーについては、図
66に示す回路、書き込みワード線電流の電流波形を決
定する書き込み電流波形制御回路・設定回路のブロック
構成については、図68に示す回路をそのまま使用する
ことができる。
【0707】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカーについては、図67に示す回路、書き込み
ビット線電流の電流波形を決定する書き込み電流波形制
御回路・設定回路のブロック構成については、図69及
び図70に示す回路をそのまま使用することができる。
【0708】また、書き込み電流波形制御回路・設定回
路内の設定回路については、図74乃至図76に示す回
路をそのまま使用できる。
【0709】回路例2では、書き込みワード/ビット線
電流の電流波形のパターンを多くするために、書き込み
ワード/ビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路内に
波形生成回路を設け、この波形生成回路により、書き込
みワード/ビット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3
>,BP<0>〜BP<7>を生成する。
【0710】i. 書き込みワード線ドライバ/シンカー
・トリガ回路 図79は、書き込みワード線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路の例を示している。
【0711】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路25は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決める
基となる書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜W
P<3>を生成する電流供給/遮断タイミング決定回路
25Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定す
る電流吸収タイミング決定回路25Yとから構成され
る。
【0712】電流供給/遮断タイミング決定回路25X
は、書き込み信号WRITEの“H”又は“L”のタイ
ミングに応じて、書き込みワード線ドライブ信号WP<
0>〜WP<3>の“H”又は“L”のタイミングを決
定する。電流供給/遮断タイミング決定回路25Xは、
複数(本例では、4つ)の波形生成回路W0〜W3及び
インバータIV1〜IV8から構成される。
【0713】波形生成回路W0〜W3は、それぞれ、書
き込み信号WRITEに基づいて、書き込みワード線ド
ライブ信号WP<0>〜WP<3>を生成する。
【0714】波形生成回路W0〜W3は、図54に示す
回路から構成することができる。この場合、波形生成回
路W0〜W3自体が、複数の波形のなかから1つの波形
を選択することができるため、書き込みワード線ドライ
ブ信号WP<0>〜WP<3>の波形を、数多くの波形
パターンから選ぶことができ、結果として、書き込みワ
ード線電流の電流波形を自由に設定できるようになる。
【0715】また、波形生成回路W0〜W3の各々は、
特定された1つの波形のみを出力するが、それぞれの波
形、即ち、書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜
WP<3>の波形は、互いに異なるようにし、これらの
波形を、書き込みワード線ドライブ信号WS<0>〜W
S<3>により選択するようにしてもよい。
【0716】この場合の波形生成回路W0〜W3の回路
例については、後述する。
【0717】なお、本例では、波形生成回路W0〜W3
は、4つであるが、当然に、その数を多くすればするほ
ど、書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流の
電流波形を細かく制御できる。
【0718】電流吸収タイミング決定回路25Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND1及び遅延回
路27から構成される。
【0719】電流吸収タイミング決定回路25Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みワード線シンク信号WWLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
27により決まる遅延時間後に、書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを“L”にする。
【0720】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みワード線シンク信号WWLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みワード線WWL
iを完全に0Vにすることができる。
【0721】ii. 書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路 図80は、図69の書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー・トリガ回路の例を示している。
【0722】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決める
基となる書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜B
P<3>を生成する電流供給/遮断タイミング決定回路
26Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定す
る電流吸収タイミング決定回路26Yとから構成され
る。
【0723】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、書き込み信号WRITEの“H”又は“L”のタイ
ミングに応じて、書き込みビット線ドライブ信号BP<
0>〜BP<3>の“H”又は“L”のタイミングを決
定する。電流供給/遮断タイミング決定回路26Xは、
複数(本例では、4つ)の遅延回路B0〜B3及びイン
バータIV9〜IV16から構成される。
【0724】波形生成回路B0〜B3は、それぞれ、書
き込み信号WRITEに基づいて、書き込みビット線ド
ライブ信号BP<0>〜BP<3>を生成する。
【0725】波形生成回路B0〜B3は、図54に示す
回路から構成することができる。この場合、波形生成回
路B0〜B3自体が、複数の波形のなかから1つの波形
を選択することができるため、書き込みビット線ドライ
ブ信号BP<0>〜BP<3>の波形を、数多くの波形
パターンから選ぶことができ、結果として、書き込みビ
ット線電流の電流波形を自由に設定できるようになる。
【0726】また、波形生成回路B0〜B3の各々は、
特定された1つの波形のみを出力するが、それぞれの波
形、即ち、書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜
BP<3>の波形は、互いに異なるようにし、これらの
波形を、書き込みビット線ドライブ信号BS<0>〜B
S<3>により選択するようにしてもよい。
【0727】この場合の波形生成回路B0〜B3の回路
例については、後述する。
【0728】なお、本例では、遅延回路B0〜B3は、
4つであるが、当然に、その数を多くすればするほど、
書き込みビット線WBLiに流れる書き込み電流の電流
波形を細かく制御できる。
【0729】電流吸収タイミング決定回路26Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND2及び遅延回
路28から構成される。
【0730】電流吸収タイミング決定回路26Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みビット線シンク信号WBLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
28により決まる遅延時間後に、書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“L”にする。
【0731】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みビット線WBL
iを完全に0Vにすることができる。
【0732】図81は、図70の書き込みビット線ドラ
イバ/シンカー・トリガ回路の例を示している。
【0733】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み電流の電流供給/遮断タイミ
ング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を決める
基となる書き込みビット線ドライブ信号BP<4>〜B
P<7>を生成する電流供給/遮断タイミング決定回路
26Xと、書き込み電流の電流吸収タイミングを決定す
る電流吸収タイミング決定回路26Yとから構成され
る。
【0734】電流供給/遮断タイミング決定回路26X
は、書き込み信号WRITEの“H”又は“L”のタイ
ミングに応じて、書き込みビット線ドライブ信号BP<
4>〜BP<7>の“H”又は“L”のタイミングを決
定する。電流供給/遮断タイミング決定回路26Xは、
複数(本例では、4つ)の遅延回路B4〜B7及びイン
バータIV17〜IV24から構成される。
【0735】波形生成回路B4〜B7は、それぞれ、書
き込み信号WRITEに基づいて、書き込みビット線ド
ライブ信号BP<4>〜BP<7>を生成する。
【0736】波形生成回路B4〜B7は、図54に示す
回路から構成することができる。この場合、波形生成回
路B4〜B7自体が、複数の波形のなかから1つの波形
を選択することができるため、書き込みビット線ドライ
ブ信号BP<4>〜BP<7>の波形を、数多くの波形
パターンから選ぶことができ、結果として、書き込みビ
ット線電流の電流波形を自由に設定できるようになる。
【0737】また、波形生成回路B4〜B7の各々は、
特定された1つの波形のみを出力するが、それぞれの波
形、即ち、書き込みビット線ドライブ信号BP<4>〜
BP<7>の波形は、互いに異なるようにし、これらの
波形を、書き込みビット線ドライブ信号BS<4>〜B
S<7>により選択するようにしてもよい。
【0738】この場合の波形生成回路B4〜B7の回路
例については、後述する。
【0739】なお、本例では、遅延回路B4〜B7は、
4つであるが、当然に、その数を多くすればするほど、
書き込みビット線WBLiに流れる書き込み電流の電流
波形を細かく制御できる。
【0740】電流吸収タイミング決定回路26Yは、イ
ンバータIV0、NANDゲート回路ND2及び遅延回
路28から構成される。
【0741】電流吸収タイミング決定回路26Yは、書
き込み信号WRITEが“H”になるとほぼ同時に、書
き込みビット線シンク信号WBLSNKを“H”にし、
書き込み信号WRITEが“L”になった後、遅延回路
28により決まる遅延時間後に、書き込みビット線シン
ク信号WBLSNKを“L”にする。
【0742】このように、書き込み信号WRITEを
“L”にした後、一定のインターバルを経た後に、書き
込みビット線シンク信号WBLSNKを“L”にするこ
とにより、書き込み動作後に、書き込みビット線WBL
iを完全に0Vにすることができる。
【0743】図80の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路26により生成された書き込みビット
線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>及び書き込みビ
ット線シンク信号WBLSNKは、図67の書き込みビ
ット線ドライバ/シンカー16A−1を駆動する。
【0744】また、図81の書き込みビット線ドライバ
/シンカー・トリガ回路26により生成された書き込み
ビット線ドライブ信号BP<4>〜BP<7>及び書き
込みビット線シンク信号WBLSNKは、図67の書き
込みビット線ドライバ/シンカー17A−1を駆動す
る。
【0745】なお、本例では、書き込みビット線ドライ
バ/シンカー16A−1を駆動する書き込みビット線ド
ライブ信号BP<0>〜BP<3>と、書き込みビット
線ドライバ/シンカー17A−1を駆動する書き込みビ
ット線ドライブ信号BP<4>〜BP<7>が異なる
が、書き込みビット線ドライバ/シンカー16A−1,
17A−1を、共に、書き込みビット線ドライブ信号B
P<0>〜BP<3>により駆動してもよい。
【0746】iii. 波形生成回路 次に、図79乃至図81の書き込みワード/ビット線ド
ライバ/シンカー・トリガ回路25,26内の波形生成
回路Wi(i=0,1,2,3),Bj(j=0,1,
・・・7)の例について説明する。
【0747】図82乃至図89は、波形生成回路及びそ
の動作波形を示している。図82の波形生成回路は、イ
ンバータI11,I12から構成される。この波形生成
回路は、単なる遅延回路であり、書き込み信号WRIT
Eを一定時間だけ遅らせる。動作波形は、図83に示す
ようになる。
【0748】図84の波形生成回路は、インバータI1
1,I12、NANDゲート回路NA11及び遅延回路
D11から構成される。この波形生成回路は、入力信号
IN、即ち、書き込み信号WRITEが“H”になる
と、一定のパルス幅を有するパルス信号を生成し、これ
を、書き込みワード/ビット線ドライブ信号WP<i
>,BP<j>として出力する。
【0749】パルス信号のパルス幅は、遅延回路D11
の遅延時間により決定される。動作波形は、図85に示
すようになる。
【0750】図86の波形生成回路は、インバータI1
2、NANDゲート回路NA11及び遅延回路D11か
ら構成される。この波形生成回路は、入力信号IN、即
ち、書き込み信号WRITEが“H”になると、一定の
パルス幅を有するパルス信号を生成し、これを、書き込
みワード/ビット線ドライブ信号WP<i>,BP<j
>として出力する。
【0751】パルス信号のパルス幅は、遅延回路D11
の遅延時間により決定される。動作波形は、図87に示
すようになる。この波形生成回路は、例えば、図71乃
至図73の波形生成回路Wi,Bjとして使用すること
ができる。この場合、図77及び図78の波形図を実現
できる。
【0752】図88の波形生成回路は、インバータI1
1,I12、NANDゲート回路NA11及び遅延回路
D11,D12から構成される。この波形生成回路は、
入力信号IN、即ち、書き込み信号WRITEが“H”
になると、それから一定期間が経過した後に、一定のパ
ルス幅を有するパルス信号を生成する。このパルス信号
は、書き込みワード/ビット線ドライブ信号WP<i
>,BP<j>として出力される。
【0753】パルス信号が生成される時期、即ち、書き
込みワード/ビット線ドライブ信号WP<i>,BP<
j>が“H”となる時期は、遅延回路D12の遅延時間
により決定される。また、パルス信号のパルス幅は、遅
延回路D11の遅延時間により決定される。動作波形
は、図89に示すようになる。
【0754】このように、図82、図84、図86及び
図88に示す波形生成回路Wi,Bjを利用して、書き
込みワード/ビット線ドライバを構成すれば、簡単に、
書き込みワード/ビット線ドライブ信号WP<i>,B
P<j>を生成することができる。
【0755】iv. 電流波形例 図90は、回路例2(図65〜図70、図74〜図7
6、図79〜図82、図84、図86及び図88)によ
り実現できる書き込みワード線電流の電流波形の一例を
示している。
【0756】この波形例は、図79の書き込みワード線
ドライバ/シンカー・トリガ回路25内の波形生成回路
W0〜W3が、それぞれ、図90に示すような波形を有
する書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP<
3>を出力することを前提とする。例えば、WP<0>
及びWP<2>は、図84の波形生成回路により実現で
き、WP<1>は、図82の波形生成回路により実現で
き、WP<3>は、図88の波形生成回路により実現で
きる。
【0757】また、図74の設定回路23Aは、書き込
みワード線ドライブ信号WS<0>,WS<2>を、
“H”とし、書き込みワード線ドライブ信号WS<1
>,WS<3>を、“L”とするような設定データを記
憶しているものと仮定する。
【0758】この場合、書き込み信号WRITEが
“L”から“H”に変化すると、まず、WP<0>=
“H”、WS<0>=“H”、WP<2>=“H”、W
S<2>=“H”となり、図66のロウデコーダ&書き
込みワード線ドライバ14−1内のNANDゲート回路
NDWP0,NDWP2の出力信号が“L”になる。
【0759】この後、WP<0>が“L”となり、WP
<2>=“H”、WS<2>=“H”となるため、図6
6のロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ14−1
内のNANDゲート回路NDWP2の出力信号のみが
“L”になる。
【0760】これにより、図90に示すような書き込み
ワード線電流を、書き込みワード線WWLiに流すこと
ができる。
【0761】図91は、回路例2(図65〜図70、図
74〜図76、図79〜図82、図84)により実現で
きる書き込みビット線電流の電流波形の一例を示してい
る。
【0762】この波形例は、図80の書き込みビット線
ドライバ/シンカー・トリガ回路26内の波形生成回路
B0〜B3が、それぞれ、図91に示すような波形を有
する書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<
3>を出力することを前提とする。例えば、BP<0
>、BP<2>及びBP<3>は、図88の波形生成回
路により実現でき、BP<1>は、図82の波形生成回
路により実現できる。
【0763】また、図75の設定回路23Bは、書き込
みビット線ドライブ信号BS<0>,BS<2>を、
“H”とし、書き込みビット線ドライブ信号BS<1
>,BS<3>を、“L”とするような設定データを記
憶しているものと仮定する。
【0764】さらに、ここでは、書き込みデータDAT
Aは、“1”(=“H”)であると仮定する。書き込み
データDATAが“0”(=“L”)のときには、図8
1の書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路
26及び図70の設定回路23Bが有効となる。
【0765】この場合、書き込み信号WRITEが
“L”から“H”に変化した後、一定期間が経過する
と、BP<2>=“H”、BS<2>=“H”となり、
図67のカラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ1
6A−1内のNANDゲート回路NDBP2の出力信号
が“L”になる。
【0766】この後、さらに、BP<0>=“H”、B
S<0>=“H”となり、また、BP<2>=“H”、
BS<2>=“H”は、そのまま維持されているため、
図67のカラムデコーダ&書き込みワード線ドライバ1
6A−1内のNANDゲート回路NDBP0,NDBP
2の出力信号が“L”になる。
【0767】これにより、図91に示すような書き込み
ビット線電流を、書き込みビット線WBLiに流すこと
ができる。
【0768】v. まとめ 以上、説明したように、磁気ランダムアクセスメモリの
回路例2によれば、書き込みワード/ビット線に対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)を、書き込みワード/ビッ
ト線毎に、プログラミングにより設定できる。これによ
り、例えば、実施例1〜10の書き込み原理を実現可能
にし、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行い、書
き込み特性の向上を図ることができる。
【0769】また、回路例2では、書き込みワード/ビ
ット線ドライブ信号WP<0>〜WP<3>,BP<0
>〜BP<7>は、書き込みワード/ビット線ドライバ
/シンカー・トリガ回路内の波形生成回路により生成さ
れる。このため、書き込みワード/ビット線電流の電流
波形を自由に設定できる。
【0770】さらに、回路例2では、回路例1と同様
に、書き込みビット線電流の向き(書き込みデータに依
存)に対して、個別に、書き込み電流の電流供給/遮断
タイミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)を
設定できる。
【0771】このように、回路例2では、書き込みワー
ド/ビット線毎に、書き込み電流の形状を自由に設定で
きると共に、書き込みビット線に流れる書き込み電流の
向きに応じて、個別に、書き込み電流の形状を設定でき
るため、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行い、
書き込み特性の向上を図ることができる。
【0772】 回路例3 回路例3は、回路例1,2の一部を変形した変形例であ
り、書き込みワード/ビット線に対する書き込み電流の
電流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化
(電流波形)を、書き込みワード/ビット線毎に、プロ
グラミングにより設定できる磁気ランダムアクセスメモ
リに関する。
【0773】回路例3は、回路例1,2と比較すると、
カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー
及び書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路
の構成に特徴を有する。
【0774】即ち、磁気ランダムアクセスメモリの全体
構成については、図65に示すようになり、また、ロウ
デコーダ&書き込みワード線ドライバ/シンカーについ
ては、図66に示す回路をそのまま使用することができ
る。
【0775】また、書き込みワード線電流の生成に使用
される書き込み電流波形制御回路・設定回路について
は、図68、図71及び図74に示す回路、書き込みビ
ット線電流の生成に使用される書き込み電流波形制御回
路・設定回路内の設定回路については、図75及び図7
6に示す回路をそのまま使用することができる。
【0776】回路例3では、回路例1,2と同様に、書
き込みビット線電流の向きに対して、個別に、書き込み
電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間
的変化(電流波形)を設定できる。
【0777】但し、回路例3では、書き込み電流波形を
決定する際の基となる書き込みビット線ドライブ信号B
P<0>〜BP<3>を、カラムデコーダ&書き込みビ
ット線ドライバ/シンカー(1カラム分)16A−1,
17A−1の双方に与え、回路を簡略化する。
【0778】この場合においても、書き込みビット線ド
ライブ信号BS<0>〜BS<3>を用いて、一方向に
向かう書き込みビット線電流の波形を決定でき、書き込
みビット線ドライブ信号BS<4>〜BS<7>を用い
て、他方向に向かう書き込みビット線電流の波形を決定
できる。
【0779】i. カラムデコーダ&書き込みビット線ド
ライバ/シンカー 図92は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0780】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16A−1は、NANDゲ
ート回路NDBP0〜NDBP3、ANDゲート回路A
D2,AD3、PチャネルMOSトランジスタBP0〜
BP3及びNチャネルMOSトランジスタBN0から構
成される。
【0781】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=0,1,2,3)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の一端に接続さ
れる。
【0782】NANDゲート回路NDBPi(i=0,
1,2,3)は、3つの入力端子を有し、そのうちの2
つには、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成
信号)BP<i>,BS<i>が入力され、残りの1つ
には、ANDゲート回路AD2の出力信号が入力され
る。ANDゲート回路AD2には、複数ビットから構成
されるカラムアドレス信号(カラムi毎に異なる)及び
書き込みデータDATAが入力される。
【0783】NチャネルMOSトランジスタBN0のゲ
ートは、ANDゲート回路AD3の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の一端に接続される。ANDゲート回路AD3に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータの反転信号bDATAが入
力される。
【0784】同様に、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー(1カラム分)17A−1は、N
ANDゲート回路NDBP4〜NDBP7、ANDゲー
ト回路AD4,AD5、PチャネルMOSトランジスタ
BP4〜BP7及びNチャネルMOSトランジスタBN
1から構成される。
【0785】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=4,5,6,7)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の他端に接続さ
れる。
【0786】NANDゲート回路NDBPi(i=4,
5,6,7)は、3つの入力端子を有し、そのうちの2
つには、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成
信号)BP<i’>(i’=0,1,2,3),BS<
i>が入力され、残りの1つには、ANDゲート回路A
D4の出力信号が入力される。ANDゲート回路AD4
には、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号
(カラムi毎に異なる)及び書き込みデータの反転信号
bDATAが入力される。
【0787】ここで、本例では、NANDゲート回路N
DBPi(i=4,5,6,7)には、書き込みワード
線ドライブ信号BP<i’>(i’=0,1,2,3)
が入力される。つまり、カラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカー(1カラム分)16A−1,1
7A−1は、共に、書き込みワード線ドライブ信号BP
<i’>により制御される。
【0788】NチャネルMOSトランジスタBN1のゲ
ートは、ANDゲート回路AD5の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の他端に接続される。ANDゲート回路AD5に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータDATAが入力される。
【0789】ii. 書き込み電流波形制御回路・設定回
路 書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP<3
>,WS<0>〜WS<3>及び書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを生成する書き込み電流波形制御回
路・設定回路については、上述したように、図68の回
路をそのまま使用できる。ここでは、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<3>,BS<0>〜B
S<7>及び書き込みビット線シンク信号WBLSNK
を生成する書き込み電流波形制御回路・設定回路の例に
ついて説明する。
【0790】図93は、図65における書き込み電流波
形制御回路・設定回路16A−2の例を示している。同
図では、書き込み電流波形制御回路・設定回路16A−
2の1カラム分についてのみ示す。よって、実際は、図
93に示す要素(書き込みビット線ドライバ/シンカー
・トリガ回路26及び設定回路23B)が、カラムの数
だけ存在する。
【0791】書き込み電流波形制御回路・設定回路16
A−2は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路26及び設定回路23Bから構成される。
【0792】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEに基づいて、
書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信号)B
P<0>〜BP<3>及び書き込みビット線シンク信号
WBLSNKを生成する。
【0793】設定回路23Bは、設定データに基づい
て、書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信
号)BS<0>〜BS<3>を出力する。設定データ
は、プログラム信号PROG、アドレス信号(カラム
i)及び入力データD<0>〜D<3>に基づいて、予
め、設定回路23B内の記憶素子(ヒューズ素子、TM
R素子など)にプログラムされる。
【0794】設定データのプログラムは、ウェハ状態、
アセンブリ後の製品状態など、どのような時期に行って
もよい。アセンブリ後に、設定データのプログラムを行
う場合には、入力データD<0>〜D<3>は、例え
ば、データ入力ピン、アドレスピンや、専用ピンなどか
ら入力し、設定回路23Bに設定データを登録すること
ができる。
【0795】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0796】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEが“H”にな
ると、書き込みビット線シンク信号WBLSNKを
“H”にすると共に、例えば、所定のタイミングで、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を
“H”及び“L”に設定する。
【0797】設定回路23Bは、常に、書き込みビット
線ドライブ信号BS<0>〜BS<3>を出力してい
る。
【0798】書き込みビット線ドライブ信号BP<0>
〜BP<3>は、書き込みビット線電流の電流波形の基
となる信号である。これに対し、書き込みビット線ドラ
イブ信号BS<0>〜BS<3>は、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<3>(電流波形の基と
なる信号)を選択する機能を持つ。
【0799】即ち、図92の書き込みビット線ドライバ
の構成から明らかなように、書き込みビット線ドライブ
信号BS<i>が“H”のとき、書き込みビット線ドラ
イブ信号BP<i>の波形にほぼ等しい波形を有する電
流が、書き込みビット線WBLiに供給される。
【0800】図94は、図65における書き込み電流波
形制御回路・設定回路17A−2の例を示している。同
図では、書き込み電流波形制御回路・設定回路17A−
2の1カラム分についてのみ示す。よって、実際は、図
94に示す要素(書き込みビット線ドライバ/シンカー
・トリガ回路26及び設定回路23B)が、カラムの数
だけ存在する。
【0801】書き込み電流波形制御回路・設定回路17
A−2は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路26及び設定回路23Bから構成される。
【0802】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEに基づいて、
書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信号)B
P<0>〜BP<3>及び書き込みビット線シンク信号
WBLSNKを生成する。
【0803】設定回路23Bは、設定データに基づい
て、書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信
号)BS<4>〜BS<7>を出力する。設定データ
は、プログラム信号PROG、アドレス信号(カラム
i)及び入力データD<4>〜D<7>に基づいて、予
め、設定回路23B内の記憶素子(ヒューズ素子、TM
R素子など)にプログラムされる。
【0804】設定データのプログラムは、ウェハ状態、
アセンブリ後の製品状態など、どのような時期に行って
もよい。アセンブリ後に、設定データのプログラムを行
う場合には、入力データD<4>〜D<7>は、例え
ば、データ入力ピン、アドレスピンや、専用ピンなどか
ら入力し、設定回路23Bに設定データを登録すること
ができる。
【0805】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0806】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEが“H”にな
ると、書き込みビット線シンク信号WBLSNKを
“H”にすると共に、例えば、所定のタイミングで、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を
“H”及び“L”に設定する。
【0807】設定回路23Bは、常に、書き込みビット
線ドライブ信号BS<4>〜BS<7>を出力してい
る。
【0808】書き込みビット線ドライブ信号BP<0>
〜BP<3>は、書き込みビット線電流の電流波形の基
となる信号である。
【0809】ここで、図93の書き込み電流波形制御回
路・設定回路16A−2内の書き込みビット線ドライバ
/シンカー・トリガ回路26と、図94の書き込み電流
波形制御回路・設定回路17A−2内の書き込みビット
線ドライバ/シンカー・トリガ回路26は、共に、書き
込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を出
力している。
【0810】つまり、書き込みビット線電流の電流波形
を決定する基となる信号は、書き込みビット線電流の向
き(書き込みデータ)によらず、同じとなる。これによ
り、書き込み電流波形制御回路・設定回路16A−2,
17A−2の構成を簡略化できる。
【0811】また、図93の書き込み電流波形制御回路
・設定回路16A−2内の書き込みビット線ドライバ/
シンカー・トリガ回路26の構成と、図94の書き込み
電流波形制御回路・設定回路17A−2内の書き込みビ
ット線ドライバ/シンカー・トリガ回路26の構成は、
完全に、同一となる。例えば、図72の回路を、ビット
線ドライバ/シンカー・トリガ回路26として使用でき
る。
【0812】従って、レイアウト的に可能ならば、図9
3の書き込み電流波形制御回路・設定回路16A−2内
の書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路2
6と、図94の書き込み電流波形制御回路・設定回路1
7A−2内の書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26とを、1つにまとめても構わない。
【0813】なお、書き込みビット線ドライブ信号BS
<4>〜BS<7>は、書き込みビット線ドライブ信号
BP<0>〜BP<3>(電流波形の基となる信号)を
選択する機能を持つので、書き込みビット線電流の向き
に応じて、異なる電流波形を実現することができる。
【0814】iii. まとめ 以上、説明したように、磁気ランダムアクセスメモリの
回路例3によれば、書き込みワード/ビット線に対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)を、書き込みワード/ビッ
ト線毎に、プログラミングにより設定できる。これによ
り、例えば、実施例1〜10の書き込み原理を実現可能
にし、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行い、書
き込み特性の向上を図ることができる。
【0815】また、回路例3では、書き込みビット線ド
ライブ信号BS<0>〜BS<7>により、書き込みビ
ット線電流の向き(書き込みデータに依存)に対して、
個別に、書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大
きさ及びその時間的変化(電流波形)を設定できると共
に、書き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<
3>を、書き込みビット線電流の向きによらず、共有化
する。
【0816】従って、回路例3では、書き込み電流波形
制御回路・設定回路の構成を簡略化することができる。
【0817】 回路例4 回路例4は、回路例1,2の一部を変形した変形例であ
り、書き込みワード/ビット線に対する書き込み電流の
電流供給/遮断タイミング、大きさ及びその時間的変化
(電流波形)を、書き込みワード/ビット線毎に、プロ
グラミングにより設定できる磁気ランダムアクセスメモ
リに関する。
【0818】回路例4は、回路例1,2と比較すると、
カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカ
ー、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリガ回路
及び書き込みビット線電流に関する設定データを記憶す
る設定回路の構成に特徴を有する。
【0819】即ち、磁気ランダムアクセスメモリの全体
構成については、図65に示すようになり、また、ロウ
デコーダ&書き込みワード線ドライバ/シンカーについ
ては、図66に示す回路、書き込みワード線電流の生成
に使用される書き込み電流波形制御回路・設定回路につ
いては、図68、図71及び図74に示す回路をそのま
ま使用することができる。
【0820】回路例1,2では、書き込みビット線電流
の向きに対して、個別に、書き込み電流の電流供給/遮
断タイミング、大きさ及びその時間的変化(電流波形)
を設定できる構成について提案した。これに対し、回路
例4では、書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、
大きさ及びその時間的変化(電流波形)に関しては、書
き込みワード/ビット線毎に設定できるが、書き込みビ
ット線電流の向きに対しては、それらは変わらないよう
な構成について提案する。
【0821】i. カラムデコーダ&書き込みビット線ド
ライバ/シンカー 図95は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0822】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16A−1は、NANDゲ
ート回路NDBP0〜NDBP3、ANDゲート回路A
D2,AD3、PチャネルMOSトランジスタBP0〜
BP3及びNチャネルMOSトランジスタBN0から構
成される。
【0823】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=0,1,2,3)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の一端に接続さ
れる。
【0824】NANDゲート回路NDBPi(i=0,
1,2,3)は、3つの入力端子を有し、そのうちの2
つには、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成
信号)BP<i>,BS<i>が入力され、残りの1つ
には、ANDゲート回路AD2の出力信号が入力され
る。ANDゲート回路AD2には、複数ビットから構成
されるカラムアドレス信号(カラムi毎に異なる)及び
書き込みデータDATAが入力される。
【0825】NチャネルMOSトランジスタBN0のゲ
ートは、ANDゲート回路AD3の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の一端に接続される。ANDゲート回路AD3に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータの反転信号bDATAが入
力される。
【0826】同様に、カラムデコーダ&書き込みビット
線ドライバ/シンカー(1カラム分)17A−1は、N
ANDゲート回路NDBP4〜NDBP7、ANDゲー
ト回路AD4,AD5、PチャネルMOSトランジスタ
BP4〜BP7及びNチャネルMOSトランジスタBN
1から構成される。
【0827】PチャネルMOSトランジスタBPi(i
=4,5,6,7)のゲートは、NANDゲート回路N
DBPiの出力端子に接続され、そのソースは、電源端
子VDDに接続され、そのドレインは、共通に、書き込
みビット線WBLi(i=1,・・・)の他端に接続さ
れる。
【0828】NANDゲート回路NDBPi(i=4,
5,6,7)は、3つの入力端子を有し、そのうちの2
つには、書き込みワード線ドライブ信号(電流波形生成
信号)BP<i’>,BS<i’>(i’=0,1,
2,3)が入力され、残りの1つには、ANDゲート回
路AD4の出力信号が入力される。ANDゲート回路A
D4には、複数ビットから構成されるカラムアドレス信
号(カラムi毎に異なる)及び書き込みデータの反転信
号bDATAが入力される。
【0829】ここで、本例では、NANDゲート回路N
DBPi(i=4,5,6,7)には、書き込みワード
線ドライブ信号BP<i’>,BS<i’>(i’=
0,1,2,3)が入力される。つまり、カラムデコー
ダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー(1カラム
分)16A−1,17A−1は、共に、書き込みワード
線ドライブ信号BP<i’>,BS<i’>により制御
される。
【0830】NチャネルMOSトランジスタBN1のゲ
ートは、ANDゲート回路AD5の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、接地端子VSSに接続され、そのド
レインは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・
・)の他端に接続される。ANDゲート回路AD5に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)、書き込みビット線シンク信号WB
LSNK及び書き込みデータDATAが入力される。
【0831】ii. 書き込み電流波形制御回路・設定回
路 書き込みワード線ドライブ信号WP<0>〜WP<3
>,WS<0>〜WS<3>及び書き込みワード線シン
ク信号WWLSNKを生成する書き込み電流波形制御回
路・設定回路については、上述したように、図68の回
路をそのまま使用できる。ここでは、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<3>,BS<0>〜B
S<3>及び書き込みビット線シンク信号WBLSNK
を生成する書き込み電流波形制御回路・設定回路の例に
ついて説明する。
【0832】図96は、図65における書き込み電流波
形制御回路・設定回路16A−2の例を示している。同
図では、書き込み電流波形制御回路・設定回路16A−
2の1カラム分についてのみ示す。よって、実際は、図
96に示す要素(書き込みビット線ドライバ/シンカー
・トリガ回路26及び設定回路23B)が、カラムの数
だけ存在する。
【0833】書き込み電流波形制御回路・設定回路16
A−2は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路26及び設定回路23Bから構成される。
【0834】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEに基づいて、
書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信号)B
P<0>〜BP<3>及び書き込みビット線シンク信号
WBLSNKを生成する。
【0835】設定回路23Bは、設定データに基づい
て、書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信
号)BS<0>〜BS<3>を出力する。設定データ
は、プログラム信号PROG、アドレス信号(カラム
i)及び入力データD<0>〜D<3>に基づいて、予
め、設定回路23B内の記憶素子(ヒューズ素子、TM
R素子など)にプログラムされる。
【0836】設定データのプログラムは、ウェハ状態、
アセンブリ後の製品状態など、どのような時期に行って
もよい。アセンブリ後に、設定データのプログラムを行
う場合には、入力データD<0>〜D<3>は、例え
ば、データ入力ピン、アドレスピンや、専用ピンなどか
ら入力し、設定回路23Bに設定データを登録すること
ができる。
【0837】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0838】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEが“H”にな
ると、書き込みビット線シンク信号WBLSNKを
“H”にすると共に、例えば、所定のタイミングで、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を
“H”及び“L”に設定する。
【0839】設定回路23Bは、常に、書き込みビット
線ドライブ信号BS<0>〜BS<3>を出力してい
る。
【0840】書き込みビット線ドライブ信号BP<0>
〜BP<3>は、書き込みビット線電流の電流波形の基
となる信号である。これに対し、書き込みビット線ドラ
イブ信号BS<0>〜BS<3>は、書き込みビット線
ドライブ信号BP<0>〜BP<3>(電流波形の基と
なる信号)を選択する機能を持つ。
【0841】即ち、図95の書き込みビット線ドライバ
の構成から明らかなように、書き込みビット線ドライブ
信号BS<i>が“H”のとき、書き込みビット線ドラ
イブ信号BP<i>の波形にほぼ等しい波形を有する電
流が、書き込みビット線WBLiに供給される。
【0842】図97は、図65における書き込み電流波
形制御回路・設定回路17A−2の例を示している。同
図では、書き込み電流波形制御回路・設定回路17A−
2の1カラム分についてのみ示す。よって、実際は、図
97に示す要素(書き込みビット線ドライバ/シンカー
・トリガ回路26及び設定回路23B)が、カラムの数
だけ存在する。
【0843】書き込み電流波形制御回路・設定回路17
A−2は、書き込みビット線ドライバ/シンカー・トリ
ガ回路26及び設定回路23Bから構成される。
【0844】書き込みビット線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEに基づいて、
書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信号)B
P<0>〜BP<3>及び書き込みビット線シンク信号
WBLSNKを生成する。
【0845】設定回路23Bは、設定データに基づい
て、書き込みビット線ドライブ信号(電流波形生成信
号)BS<0>〜BS<3>を出力する。設定データ
は、プログラム信号PROG、アドレス信号(カラム
i)及び入力データD<0>〜D<3>に基づいて、予
め、設定回路23B内の記憶素子(ヒューズ素子、TM
R素子など)にプログラムされる。
【0846】設定データのプログラムは、ウェハ状態、
アセンブリ後の製品状態など、どのような時期に行って
もよい。アセンブリ後に、設定データのプログラムを行
う場合には、入力データD<0>〜D<3>は、例え
ば、データ入力ピン、アドレスピンや、専用ピンなどか
ら入力し、設定回路23Bに設定データを登録すること
ができる。
【0847】書き込み信号WRITEは、書き込み動作
時に“H”となる信号である。
【0848】書き込みワード線ドライバ/シンカー・ト
リガ回路26は、書き込み信号WRITEが“H”にな
ると、書き込みビット線シンク信号WBLSNKを
“H”にすると共に、例えば、所定のタイミングで、書
き込みビット線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>を
“H”及び“L”に設定する。
【0849】設定回路23Bは、常に、書き込みビット
線ドライブ信号BS<0>〜BS<3>を出力してい
る。
【0850】書き込みビット線ドライブ信号BP<0>
〜BP<3>は、書き込みビット線電流の電流波形の基
となる信号である。書き込みビット線ドライブ信号BS
<0>〜BS<3>は、書き込みビット線ドライブ信号
BP<0>〜BP<3>を選択する機能を持つ。
【0851】ここで、図96の書き込み電流波形制御回
路・設定回路16A−2と、図97の書き込み電流波形
制御回路・設定回路17A−2は、共に、書き込みビッ
ト線ドライブ信号BP<0>〜BP<3>,BS<0>
〜BS<3>及び書き込みビット線シンク信号WBLS
NKを出力している。つまり、書き込みビット線電流の
電流波形は、書き込みビット線電流の向き(書き込みデ
ータ)によらず、同じとなる。
【0852】また、図96の書き込み電流波形制御回路
・設定回路16A−2の構成と、図97の書き込み電流
波形制御回路・設定回路17A−2の構成は、完全に、
同一となる。例えば、図72の回路を、ビット線ドライ
バ/シンカー・トリガ回路26として、図75の回路
を、設定回路23Bとして、それぞれ使用できる。
【0853】従って、レイアウト的に可能ならば、図9
6の書き込み電流波形制御回路・設定回路16A−2
と、図97の書き込み電流波形制御回路・設定回路17
A−2とを、1つにまとめても構わない。
【0854】iii. まとめ 以上、説明したように、磁気ランダムアクセスメモリの
回路例4によれば、書き込みワード/ビット線に対する
書き込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及び
その時間的変化(電流波形)を、書き込みワード/ビッ
ト線毎に、プログラミングにより設定できる。これによ
り、例えば、実施例1〜10の書き込み原理を実現可能
にし、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行い、書
き込み特性の向上を図ることができる。
【0855】また、回路例4では、書き込みビット線ド
ライブ信号BP<0>〜BP<3>,BS<0>〜BS
<3>を、書き込みビット線電流の向き(書き込みデー
タ)によらず、共有化しているため、書き込み電流波形
制御回路・設定回路の構成を簡略化することができる。
【0856】(3) メモリセルアレイを積み重ねる場合 近年では、メモリセル(TMR素子)の高集積化を実現
するため、半導体基板(チップ)上にメモリセルアレイ
を複数段に積み重ねるセルアレイ構造が数多く提案され
ている。
【0857】本発明に関わる書き込み原理及びこれを実
現する回路方式については、上述した通りであるが、こ
れらを、複数段に積み重ねられたメモリセルアレイを有
する磁気ランダムアクセスメモリに適用することも可能
である。
【0858】i. チップ毎又はセルアレイ毎に設定する
場合 まず、書き込みワード/ビット線電流の電流波形をチッ
プ毎又はセルアレイ毎に設定する場合の例について説明
する。
【0859】図98は、複数段に積み重ねられたメモリ
セルアレイを有する磁気ランダムアクセスメモリの概略
を示している。
【0860】これは、上述の「 (1) チップ毎又はセル
アレイ毎に設定する場合」の回路例1〜3を、複数段に
積み重ねられたメモリセルアレイを有する磁気ランダム
アクセスメモリに適用した場合に相当する。
【0861】半導体基板(磁気ランダムアクセスメモリ
チップ)11A上には、n(nは、複数)段に、メモリ
セルアレイ12−1,12−2,・・・12−nが積み
重ねられている。ここで、メモリセルアレイ12−1,
12−2,・・・12−nは、それぞれ、周辺回路の一
部、例えば、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
/シンカー、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカーなどを含んでいるものとする。
【0862】入力データは、データ入力レシーバ19を
経由して、セレクタ34に入力される。セレクタ34
は、入力データを、選択されたメモリセルアレイ12−
iに転送する。なお、セレクタ34の代わりに、デマル
チプレクサを用いてもよい。
【0863】出力データは、メモリセルアレイ12−
1,12−2,・・・12−nのセンスアンプ20か
ら、セレクタ35を経由して、データ出力ドライバ21
に転送される。セレクタ35は、選択されたメモリセル
アレイ12−iのセンスアンプ20からの出力データ
を、データ出力ドライバ21に転送する。なお、セレク
タ35の代わりに、マルチプレクサを用いてもよい。
【0864】設定回路23には、書き込みワード/ビッ
ト線電流の電流波形を決定する設定データが記憶され
る。また、書き込み電流波形制御回路24は、制御回路
22からの書き込み信号WRITE及び設定回路23か
らの設定データに基づいて、実際に、書き込みワード/
ビット線電流の電流波形を決定する。
【0865】電流波形は、全てのメモリセルアレイで共
通であってもよいし(チップ毎の設定)、メモリセルア
レイ毎に異なるようにしてもよい(メモリセルアレイ毎
の設定)。後者の場合には、設定回路23及び書き込み
電流波形制御回路24は、メモリセルアレイ毎に設けら
れる。
【0866】書き込み電流波形制御回路24は、書き込
みワード/ビット線ドライブ信号をメモリセルアレイ1
2−1,12−2,・・・12−nに出力する。
【0867】ii. 書き込みワード/ビット線毎に設定
する場合 次に、書き込みワード/ビット線電流の電流波形を書き
込みワード/ビット線毎に設定する場合の例について説
明する。
【0868】図99は、複数段に積み重ねられたメモリ
セルアレイを有する磁気ランダムアクセスメモリの概略
を示している。
【0869】これは、上述の「 (2) 書き込みワード/
ビット線毎に設定する場合」の回路例1〜4を、複数段
に積み重ねられたメモリセルアレイを有する磁気ランダ
ムアクセスメモリに適用した場合に相当する。
【0870】半導体基板(磁気ランダムアクセスメモリ
チップ)11A上には、n(nは、複数)段に、メモリ
セルアレイ12−1,12−2,・・・12−nが積み
重ねられている。ここで、メモリセルアレイ12−1,
12−2,・・・12−nは、それぞれ、周辺回路の一
部、例えば、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
/シンカー、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカーなどを含んでいるものとする。
【0871】入力データは、データ入力レシーバ19を
経由して、セレクタ34に入力される。セレクタ34
は、入力データを、選択されたメモリセルアレイ12−
iに転送する。なお、セレクタ34の代わりに、デマル
チプレクサを用いてもよい。
【0872】出力データは、メモリセルアレイ12−
1,12−2,・・・12−nのセンスアンプ20か
ら、セレクタ35を経由して、データ出力ドライバ21
に転送される。セレクタ35は、選択されたメモリセル
アレイ12−iのセンスアンプ20からの出力データ
を、データ出力ドライバ21に転送する。なお、セレク
タ35の代わりに、マルチプレクサを用いてもよい。
【0873】制御回路22からの書き込み信号WRIT
Eは、メモリセルアレイ12−1,12−2,・・・1
2−nに供給される。メモリセルアレイ12−1,12
−2,・・・12−nは、それぞれ、書き込み電流波形
制御回路・設定回路を有している。
【0874】書き込み電流波形制御回路・設定回路内の
設定回路には、書き込みワード/ビット線電流の電流波
形を決定する設定データが記憶される。また、書き込み
電流波形制御回路・設定回路は、書き込み信号WRIT
E及び設定データに基づいて、書き込みワード/ビット
線毎に、実際に、書き込みワード/ビット線電流の電流
波形を決定する。
【0875】iii. まとめ 以上、説明したように、本発明に関わる書き込み原理及
びそれを実現する回路方式は、複数段に積み重ねられた
メモリセルアレイを有する磁気ランダムアクセスメモリ
にも適用可能である。
【0876】従って、このような複数段に積み重ねられ
たメモリセルアレイを有する磁気ランダムアクセスメモ
リにおいても、書き込みワード/ビット線に対する書き
込み電流の電流供給/遮断タイミング、大きさ及びその
時間的変化(電流波形)を、書き込みワード/ビット線
毎に、プログラミングにより設定できる。これにより、
TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に行い、書き込み
特性の向上を図ることができる。
【0877】(4) 実施例9のためのワード線/ビット
線ドライバ/シンカー 実施例9は、書き込みワード線電流の大きさ及び書き込
みビット線電流の大きさをアナログ的に変化させ、合成
磁界Hx+Hyの向き及び強さをアナログ的に変化させ
る例である。
【0878】これを実現するためのロウデコーダ&書き
込みワード線ドライバ/シンカーとカラムデコーダ&書
き込みビット線ドライバ/シンカーについて説明する。
【0879】 ロウデコーダ&書き込みワード線ドラ
イバ/シンカー 図100は、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0880】ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
(1ロウ分)14は、NANDゲート回路TND1、P
チャネルMOSトランジスタTP1,TPa〜TPd、
NチャネルMOSトランジスタTNa〜TNc及びキャ
パシタCP1から構成される。
【0881】PチャネルMOSトランジスタTP1のゲ
ートは、NANDゲート回路TND1の出力端子に接続
され、そのソースは、PチャネルMOSトランジスタT
Paを経由して電源端子VDDに接続され、そのドレイ
ンは、書き込みワード線WWLi(i=1,・・・)の
一端に接続される。
【0882】書き込みワード線シンカー(1ロウ分)1
5は、NチャネルMOSトランジスタTN1から構成さ
れる。NチャネルMOSトランジスタTN1のソース
は、接地端子VSSに接続され、そのドレインは、書き
込みワード線WWLi(i=1,・・・)の他端に接続
される。
【0883】NANDゲート回路TND1には、複数ビ
ットから構成されるロウアドレス信号(ロウi毎に異な
る)及び書き込みワード線ドライブ信号WWLDRVが
入力され、NチャネルMOSトランジスタTN1のゲー
トには、書き込みワード線シンク信号WWLSNKが入
力される。
【0884】選択されたロウiでは、ロウアドレス信号
の全てのビットが“H”となる。このため、選択された
ロウiでは、書き込みワード線ドライブ信号WWLDR
Vが“H”となったときに、PチャネルMOSトランジ
スタTP1がオン状態となる。また、書き込みワード線
シンク信号WWLSNKが“H”となると、Nチャネル
MOSトランジスタTN1がオン状態となる。
【0885】PチャネルMOSトランジスタTP1とN
チャネルMOSトランジスタTN1が共にオン状態とな
ると、書き込みワード線電流は、ロウデコーダ&書き込
みワード線ドライバ14から、書き込みワード線WWL
iを経由して、書き込みワード線シンカー15に向かっ
て流れる。
【0886】ここで、本例では、書き込みワード線WW
Liに流れる書き込みワード線電流の大きさは、Pチャ
ネルMOSトランジスタTPaのゲート電位VPGWに
よって決定される。VPGWは、キャパシタCP1の一
端の電位であるが、その電位は、制御信号bWWLCT
R及びリセット信号RESETが共に“L”になると、
アナログ的に変化する。
【0887】即ち、リセット信号RESETが“L”の
とき、制御信号bWWLCTRが“L”になると、定電
流i1は、カレントミラー回路TNa,TNb及びカレ
ントミラー回路TPb,TPcを経由して、キャパシタ
CP1に供給される。その結果、キャパシタCP1の一
端の電位VPGWは、次第に上昇し、書き込みワード線
電流は、次第に小さくなる。
【0888】このようなロウデコーダ&書き込みワード
線ドライバ/シンカーによれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WWLDRV及び書き込みワード線シンク信号
WWLSNKが“H”又は“L”になるタイミングを制
御することにより、選択されたロウi内の書き込みワー
ド線WWLiに書き込み電流を流すタイミング及びその
書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流を遮断
するタイミングを制御することができる。
【0889】また、書き込みワード線WWLiに流れる
書き込み電流の大きさは、PチャネルMOSトランジス
タTPaのゲート電位VPGWを制御することにより、
アナログ的に変化させることができる。なお、VPGW
の電位変化範囲を規定すれば、書き込みワード線WWL
iに流れる書き込み電流の大きさは、VPGWの値に正
確に比例した形で、変化させることができる。
【0890】さらに、書き込みワード線ドライブ信号W
WLDRVを“L”に設定した後、書き込みワード線シ
ンク信号WWLSNKを“L”に設定すれば、書き込み
動作後の書き込みワード線WWLiの電位を完全に0V
にすることができる。
【0891】なお、定電流i1は、例えば、図102に
示すような定電流回路により生成される。
【0892】 カラムデコーダ&書き込みビット線ド
ライバ/シンカー 図101は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカーの回路例を示している。
【0893】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16Aは、NANDゲート
回路QND1、ANDゲート回路QAD1、Pチャネル
MOSトランジスタQP1,TPa,TPb、Nチャネ
ルMOSトランジスタQN1,TNa,TNb,TNd
及びキャパシタCP2から構成される。
【0894】PチャネルMOSトランジスタQP1のゲ
ートは、NANDゲート回路QND1の出力端子に接続
され、そのソースは、PチャネルMOSトランジスタT
Paを経由して電源端子VDDに接続され、そのドレイ
ンは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・・)の
一端に接続される。NチャネルMOSトランジスタQN
1のゲートは、ANDゲート回路QAD1の出力端子に
接続され、そのソースは、接地端子VSSに接続され、
そのドレインは、書き込みビット線WBLiの一端に接
続される。
【0895】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)17Aは、NANDゲート
回路QND2、ANDゲート回路QAD2、Pチャネル
MOSトランジスタQP2,TPe及びNチャネルMO
SトランジスタQN2から構成される。
【0896】PチャネルMOSトランジスタQP2のゲ
ートは、NANDゲート回路QND2の出力端子に接続
され、そのソースは、PチャネルMOSトランジスタT
Peを経由して電源端子VDDに接続され、そのドレイ
ンは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・・)の
他端に接続される。NチャネルMOSトランジスタQN
2のゲートは、ANDゲート回路QAD2の出力端子に
接続され、そのソースは、接地端子VSSに接続され、
そのドレインは、書き込みビット線WBLiの他端に接
続される。
【0897】NANDゲート回路QND1,QND2に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)及び書き込みビット線ドライブ信号
WBLDRVが入力される。ANDゲート回路QAD
1,QAD2には、複数ビットから構成されるカラムア
ドレス信号(カラムi毎に異なる)及び書き込みビット
線シンク信号WBLSNKが入力される。
【0898】また、NANDゲート回路QND1及びA
NDゲート回路QAD2には、書き込みデータDATA
(“H”又は“L”)が入力され、NANDゲート回路
QND2及びANDゲート回路QAD1には、書き込み
データDATAの反転信号bDATAが入力される。
【0899】選択されたカラムiでは、カラムアドレス
信号の全てのビットが“H”となる。このため、選択さ
れたカラムiでは、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRV及び書き込みビット線シンク信号WBLSNK
が“H”になったとき、書き込みデータDATAの値に
応じた向きを有する書き込みビット線電流が、書き込み
ビット線WBLiに流れる。
【0900】例えば、書き込みデータDATAが“1”
(=“H”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タQP1及びNチャネルMOSトランジスタQN2がオ
ン状態となるため、カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー16Aからカラムデコーダ&書き込
みビット線ドライバ/シンカー17Aに向かう書き込み
ビット線電流が流れる。
【0901】また、書き込みデータDATAが“0”
(=“L”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タQP2及びNチャネルMOSトランジスタQN1がオ
ン状態となるため、カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー17Aからカラムデコーダ&書き込
みビット線ドライバ/シンカー16Aに向かう書き込み
ビット線電流が流れる。
【0902】ここで、本例では、書き込みビット線WB
Liに流れる書き込み電流の大きさは、PチャネルMO
SトランジスタTPa,TPeのゲート電位VPGBに
よって決定される。VPGBは、キャパシタCP2の一
端の電位であるが、その電位は、制御信号WBLCTR
が“H”、リセット信号RESETが“L”になると、
アナログ的に変化する。
【0903】即ち、リセット信号RESETの反転信号
bRESETが“H”のとき、制御信号WBLCTRが
“H”になると、定電流j1は、カレントミラー回路T
Na,TNbを経由して、NチャネルMOSトランジス
タTNdに流れる。この電流は、キャパシタCP2の一
端の電荷を放電する。その結果、キャパシタCP2の一
端の電位VPGBは、次第に低下し、書き込みビット線
電流は、次第に大きくなる。
【0904】このようなカラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカーによれば、書き込みビット線ド
ライブ信号WBLDRV及び書き込みビット線シンク信
号WBLSNKが“H”又は“L”になるタイミングを
制御することにより、選択されたカラムi内の書き込み
ビット線WBLiに書き込み電流を流すタイミング及び
その書き込みビット線WBLiに流れる書き込み電流を
遮断するタイミングを制御することができる。
【0905】また、書き込みビット線WBLiに流れる
書き込み電流の大きさは、PチャネルMOSトランジス
タTPa,TPeのゲート電位VPGBを制御すること
により、アナログ的に変化させることができる。なお、
VPGBの電位変化範囲を規定すれば、書き込みビット
線WBLiに流れる書き込み電流の大きさは、VPGB
の値に正確に比例した形で、変化させることができる。
【0906】さらに、書き込みビット線ドライブ信号W
BLDRVを“L”に設定した後、書き込みビット線シ
ンク信号WBLSNKを“L”に設定すれば、書き込み
動作後の書き込みビット線WBLiの電位を完全に0V
にすることができる。
【0907】なお、定電流j1は、例えば、図102に
示すような定電流回路により生成される。
【0908】 動作波形例 図103は、図100の書き込みワード線ドライバ/シ
ンカー及び図101の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの動作波形例を示している。
【0909】書き込みワード線ドライブ信号WWLDR
V及び書き込みワード線シンク信号WWLSNKが
“H”になると、書き込みワード線電流が書き込みワー
ド線WWLiに流れる。
【0910】リセット信号RESETが“L”及び制御
信号bWWLCTRが“L”になると、図100のキャ
パシタCP1が次第に充電されるため、VPGWの値
は、次第に上昇していく。
【0911】このVPGWの変化に対応して、書き込み
ワード線電流も、アナログ的に変化する。
【0912】一方、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRV及び書き込みビット線シンク信号WBLSNK
が“H”になると、書き込みビット線電流が書き込みビ
ット線WBLiに流れる。
【0913】リセット信号RESETが“L”及び制御
信号WBLCTRが“H”になると、図101のキャパ
シタCP2の電荷が次第に放電されるため、VPGBの
値は、次第に低下していく。
【0914】このVPGBの変化に対応して、書き込み
ビット線電流も、アナログ的に変化する。
【0915】(5) 実施例10のためのワード線/ビッ
ト線ドライバ/シンカー 実施例10は、書き込みワード線電流の大きさ及び書き
込みビット線電流の大きさをアナログ的に変化させ、合
成磁界Hx+Hyの強さを一定としつつ、その向きをア
ナログ的に変化させる例である。
【0916】これを実現するためのロウデコーダ&書き
込みワード線ドライバ/シンカーとカラムデコーダ&書
き込みビット線ドライバ/シンカーについて説明する。
【0917】 ロウデコーダ&書き込みワード線ドラ
イバ/シンカー 図104は、ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
/シンカーの回路例を示している。
【0918】ロウデコーダ&書き込みワード線ドライバ
(1ロウ分)14は、NANDゲート回路TND1及び
PチャネルMOSトランジスタTP1,TPaから構成
される。PチャネルMOSトランジスタTP1のゲート
は、NANDゲート回路TND1の出力端子に接続さ
れ、そのソースは、PチャネルMOSトランジスタTP
aを経由して電源端子VDDに接続され、そのドレイン
は、書き込みワード線WWLi(i=1,・・・)の一
端に接続される。
【0919】書き込みワード線シンカー(1ロウ分)1
5は、NチャネルMOSトランジスタTN1から構成さ
れる。NチャネルMOSトランジスタTN1のソース
は、接地端子VSSに接続され、そのドレインは、書き
込みワード線WWLi(i=1,・・・)の他端に接続
される。
【0920】NANDゲート回路TND1には、複数ビ
ットから構成されるロウアドレス信号(ロウi毎に異な
る)及び書き込みワード線ドライブ信号WWLDRVが
入力され、NチャネルMOSトランジスタTN1のゲー
トには、書き込みワード線シンク信号WWLSNKが入
力される。
【0921】選択されたロウiでは、ロウアドレス信号
の全てのビットが“H”となる。このため、選択された
ロウiでは、書き込みワード線ドライブ信号WWLDR
Vが“H”となったときに、PチャネルMOSトランジ
スタTP1がオン状態となる。また、書き込みワード線
シンク信号WWLSNKが“H”となると、Nチャネル
MOSトランジスタTN1がオン状態となる。
【0922】PチャネルMOSトランジスタTP1とN
チャネルMOSトランジスタTN1が共にオン状態とな
ると、書き込みワード線電流は、ロウデコーダ&書き込
みワード線ドライバ14から、書き込みワード線WWL
iを経由して、書き込みワード線シンカー15に向かっ
て流れる。
【0923】ここで、本例では、書き込みワード線WW
Liに流れる書き込みワード線電流の大きさは、Pチャ
ネルMOSトランジスタTPaのゲート電位VPGWに
よって決定される。VPGWは、例えば、図106に示
すようなVPGW生成回路により生成される。
【0924】リセット信号RESETが“L”のとき、
制御信号bWCTRが“L”になると、定電流i1は、
カレントミラー回路TNa,TNb及びカレントミラー
回路TPb,TPcを経由して、キャパシタCP1に供
給される。その結果、NチャネルMOSトランジスタT
Ngに多くの電流が流れ、VPGBは、低下する。
【0925】一方、制御信号WCTRは、“H”である
ため、定電流j1は、NチャネルMMOSトランジスタ
TNf,TNgに流れる電流を決定する。つまり、上述
のように、NチャネルMOSトランジスタTNgに多く
の電流が流れ、VPGBが低下すると、VPGWは、上
昇する。その結果、書き込みワード線電流は、次第に小
さくなる。
【0926】本例では、書き込みワード線電流と書き込
みビット線電流の合計値は、定電流j1により決定され
る。また、定電流i1は、書き込みビット線電流の値を
決定する。即ち、書き込みワード線電流の値は、書き込
みワード線電流と書き込みビット線電流の合計値から書
き込みビット線電流の値を引いた値となる。
【0927】このようなロウデコーダ&書き込みワード
線ドライバ/シンカーによれば、書き込みワード線ドラ
イブ信号WWLDRV及び書き込みワード線シンク信号
WWLSNKが“H”又は“L”になるタイミングを制
御することにより、選択されたロウi内の書き込みワー
ド線WWLiに書き込み電流を流すタイミング及びその
書き込みワード線WWLiに流れる書き込み電流を遮断
するタイミングを制御することができる。
【0928】また、書き込みワード線WWLiに流れる
書き込み電流の大きさは、PチャネルMOSトランジス
タTPaのゲート電位VPGWを制御することにより、
アナログ的に変化させることができる。なお、VPGW
の電位変化範囲を規定すれば、書き込みワード線WWL
iに流れる書き込み電流の大きさは、VPGWの値に正
確に比例した形で、変化させることができる。
【0929】さらに、書き込みワード線ドライブ信号W
WLDRVを“L”に設定した後、書き込みワード線シ
ンク信号WWLSNKを“L”に設定すれば、書き込み
動作後の書き込みワード線WWLiの電位を完全に0V
にすることができる。
【0930】なお、定電流i1は、例えば、図107に
示すような定電流回路により生成される。
【0931】 カラムデコーダ&書き込みビット線ド
ライバ/シンカー 図105は、カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカーの回路例を示している。
【0932】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)16Aは、NANDゲート
回路QND1、ANDゲート回路QAD1、Pチャネル
MOSトランジスタQP1,TPa及びNチャネルMO
SトランジスタQN1から構成される。
【0933】PチャネルMOSトランジスタQP1のゲ
ートは、NANDゲート回路QND1の出力端子に接続
され、そのソースは、PチャネルMOSトランジスタT
Paを経由して電源端子VDDに接続され、そのドレイ
ンは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・・)の
一端に接続される。NチャネルMOSトランジスタQN
1のゲートは、ANDゲート回路QAD1の出力端子に
接続され、そのソースは、接地端子VSSに接続され、
そのドレインは、書き込みビット線WBLiの一端に接
続される。
【0934】カラムデコーダ&書き込みビット線ドライ
バ/シンカー(1カラム分)17Aは、NANDゲート
回路QND2、ANDゲート回路QAD2、Pチャネル
MOSトランジスタQP2,TPe及びNチャネルMO
SトランジスタQN2から構成される。
【0935】PチャネルMOSトランジスタQP2のゲ
ートは、NANDゲート回路QND2の出力端子に接続
され、そのソースは、PチャネルMOSトランジスタT
Peを経由して電源端子VDDに接続され、そのドレイ
ンは、書き込みビット線WBLi(i=1,・・・)の
他端に接続される。NチャネルMOSトランジスタQN
2のゲートは、ANDゲート回路QAD2の出力端子に
接続され、そのソースは、接地端子VSSに接続され、
そのドレインは、書き込みビット線WBLiの他端に接
続される。
【0936】NANDゲート回路QND1,QND2に
は、複数ビットから構成されるカラムアドレス信号(カ
ラムi毎に異なる)及び書き込みビット線ドライブ信号
WBLDRVが入力される。ANDゲート回路QAD
1,QAD2には、複数ビットから構成されるカラムア
ドレス信号(カラムi毎に異なる)及び書き込みビット
線シンク信号WBLSNKが入力される。
【0937】また、NANDゲート回路QND1及びA
NDゲート回路QAD2には、書き込みデータDATA
(“H”又は“L”)が入力され、NANDゲート回路
QND2及びANDゲート回路QAD1には、書き込み
データDATAの反転信号bDATAが入力される。
【0938】選択されたカラムiでは、カラムアドレス
信号の全てのビットが“H”となる。このため、選択さ
れたカラムiでは、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRV及び書き込みビット線シンク信号WBLSNK
が“H”になったとき、書き込みデータDATAの値に
応じた向きを有する書き込み電流が、書き込みビット線
WBLiに流れる。
【0939】例えば、書き込みデータDATAが“1”
(=“H”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タQP1及びNチャネルMOSトランジスタQN2がオ
ン状態となるため、カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー16Aからカラムデコーダ&書き込
みビット線ドライバ/シンカー17Aに向かう書き込み
電流が流れる。
【0940】また、書き込みデータDATAが“0”
(=“L”)のときには、PチャネルMOSトランジス
タQP2及びNチャネルMOSトランジスタQN1がオ
ン状態となるため、カラムデコーダ&書き込みビット線
ドライバ/シンカー17Aからカラムデコーダ&書き込
みビット線ドライバ/シンカー16Aに向かう書き込み
電流が流れる。
【0941】ここで、本例では、書き込みビット線WB
Liに流れる書き込みビット線電流の大きさは、Pチャ
ネルMOSトランジスタTPa,TPeのゲート電位V
PGBによって決定される。VPGBは、例えば、図1
06に示すようなVPGB生成回路により生成される。
【0942】このようなカラムデコーダ&書き込みビッ
ト線ドライバ/シンカーによれば、書き込みビット線ド
ライブ信号WBLDRV及び書き込みビット線シンク信
号WBLSNKが“H”又は“L”になるタイミングを
制御することにより、選択されたカラムi内の書き込み
ビット線WBLiに書き込み電流を流すタイミング及び
その書き込みビット線WBLiに流れる書き込み電流を
遮断するタイミングを制御することができる。
【0943】また、書き込みビット線WBLiに流れる
書き込み電流の大きさは、PチャネルMOSトランジス
タTPa,TPeのゲート電位VPGBを制御すること
により、アナログ的に変化させることができる。なお、
VPGBの電位変化範囲を規定すれば、書き込みビット
線WBLiに流れる書き込み電流の大きさは、VPGB
の値に正確に比例した形で、変化させることができる。
【0944】さらに、書き込みビット線ドライブ信号W
BLDRVを“L”に設定した後、書き込みビット線シ
ンク信号WBLSNKを“L”に設定すれば、書き込み
動作後の書き込みビット線WBLiの電位を完全に0V
にすることができる。
【0945】なお、定電流j1は、例えば、図107に
示すような定電流回路により生成される。
【0946】 動作波形例 図108は、図104の書き込みワード線ドライバ/シ
ンカー及び図105の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの動作波形例を示している。
【0947】書き込みワード線ドライブ信号WWLDR
V及び書き込みワード線シンク信号WWLSNKが
“H”になると、書き込みワード線電流が書き込みワー
ド線WWLiに流れる。
【0948】リセット信号RESETが“L”及び制御
信号bWCTRが“L”になると、図105のVPGB
の値は、低下し、図104のVPGWの値は、上昇す
る。VPGWの変化に対応して、書き込みワード線電流
も、アナログ的に変化する。本例では、書き込みワード
線電流の値は、書き込みワード線電流と書き込みビット
線電流の合計値から書き込みビット線電流の値を引いた
値となっている。
【0949】一方、書き込みビット線ドライブ信号WB
LDRV及び書き込みビット線シンク信号WBLSNK
が“H”になると、書き込みビット線電流が書き込みビ
ット線WBLiに流れる。
【0950】リセット信号RESETが“L”及び制御
信号WCTRが“H”になると、図105のVPGBの
値は、低下する。VPGBの変化に対応して、書き込み
ビット線電流も、アナログ的に変化する。
【0951】3. その他 本発明の書き込み原理及びそれを実現する回路方式は、
セルアレイ構造のタイプにかかわらず、いかなる磁気ラ
ンダムアクセスメモリにも適用できる。
【0952】例えば、図111に示すようなクロスポイ
ント型のセルアレイ構造を有する磁気ランダムアクセス
メモリは、もちろんのこと、1つ又はそれ以上のTMR
素子に1つの読み出し選択スイッチ(MOSトランジス
タ)を接続したセルアレイ構造を有する磁気ランダムア
クセスメモリにも、本発明の書き込み原理及びそれを実
現する回路方式を適用できる。
【0953】また、クロスポイント型ではないが、読み
出し選択スイッチを有しない磁気ランダムアクセスメモ
リ、読み出しビット線と書き込みビットを別々に設けた
磁気ランダムアクセスメモリや、1つのTMR素子に複
数ビットを記憶させるようにした磁気ランダムアクセス
メモリなどにも、本発明の書き込み原理及びそれを実現
する回路方式を適用できる。
【0954】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の磁気ラ
ンダムアクセスメモリによれば、書き込み電流を書き込
みワード/ビット線に供給するタイミングや、書き込み
電流の電流値の時間的変化(パルス形状)などを工夫す
ることにより、TMR素子の記憶層の磁化反転を確実に
行い、書き込み特性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に関わる書き込み原理の実施例1の一ス
テップを示す図。
【図2】本発明に関わる書き込み原理の実施例1の一ス
テップを示す図。
【図3】本発明に関わる書き込み原理の実施例1の全ス
テップを示す図。
【図4】本発明に関わる書き込み原理の実施例2の一ス
テップを示す図。
【図5】本発明に関わる書き込み原理の実施例2の一ス
テップを示す図。
【図6】本発明に関わる書き込み原理の実施例2の一ス
テップを示す図。
【図7】本発明に関わる書き込み原理の実施例2の全ス
テップを示す図。
【図8】本発明に関わる書き込み原理の実施例3の一ス
テップを示す図。
【図9】本発明に関わる書き込み原理の実施例3の一ス
テップを示す図。
【図10】本発明に関わる書き込み原理の実施例3の一
ステップを示す図。
【図11】本発明に関わる書き込み原理の実施例3の全
ステップを示す図。
【図12】本発明に関わる書き込み原理の実施例4の一
ステップを示す図。
【図13】本発明に関わる書き込み原理の実施例4の一
ステップを示す図。
【図14】本発明に関わる書き込み原理の実施例4の一
ステップを示す図。
【図15】本発明に関わる書き込み原理の実施例4の全
ステップを示す図。
【図16】本発明に関わる書き込み原理の実施例5の一
ステップを示す図。
【図17】本発明に関わる書き込み原理の実施例5の一
ステップを示す図。
【図18】本発明に関わる書き込み原理の実施例5の全
ステップを示す図。
【図19】本発明に関わる書き込み原理の実施例6の一
ステップを示す図。
【図20】本発明に関わる書き込み原理の実施例6の一
ステップを示す図。
【図21】本発明に関わる書き込み原理の実施例6の一
ステップを示す図。
【図22】本発明に関わる書き込み原理の実施例6の全
ステップを示す図。
【図23】本発明に関わる書き込み原理の実施例7の一
ステップを示す図。
【図24】本発明に関わる書き込み原理の実施例7の一
ステップを示す図。
【図25】本発明に関わる書き込み原理の実施例7の一
ステップを示す図。
【図26】本発明に関わる書き込み原理の実施例7の全
ステップを示す図。
【図27】本発明に関わる書き込み原理の実施例8の一
ステップを示す図。
【図28】本発明に関わる書き込み原理の実施例8の一
ステップを示す図。
【図29】本発明に関わる書き込み原理の実施例8の一
ステップを示す図。
【図30】本発明に関わる書き込み原理の実施例8の全
ステップを示す図。
【図31】本発明に関わる書き込み原理の実施例9を示
す図。
【図32】実施例9に関して、磁界の強さの変化の様子
を示す図。
【図33】本発明に関わる書き込み原理の実施例9の全
ステップを示す図。
【図34】本発明に関わる書き込み原理の実施例10を
示す図。
【図35】実施例10に関して、磁界の強さの変化の様
子を示す図。
【図36】本発明に関わる書き込み原理の実施例10の
全ステップを示す図。
【図37】実施例1〜10をチップ毎又はセルアレイ毎
に実現するMRAMの回路例1の全体構成を示す図。
【図38】回路例1の書き込みワード線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図39】回路例1の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図40】回路例1の書き込み電流波形制御回路の例を
示す図。
【図41】回路例1の書き込みワード線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図42】回路例1の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図43】回路例1の設定回路の例を示す図。
【図44】回路例1の設定回路内のレジスタの例を示す
図。
【図45】回路例1の設定回路内のレジスタの例を示す
図。
【図46】回路例1に使用されるVclamp生成回路
の例を示す図。
【図47】回路例1の設定回路内のデコーダの例を示す
図。
【図48】実施例1〜10をチップ毎又はセルアレイ毎
に実現するMRAMの回路例2の全体構成を示す図。
【図49】回路例2の書き込みワード線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図50】回路例2の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図51】回路例2の書き込み電流波形制御回路の例を
示す図。
【図52】回路例2の書き込みワード線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図53】回路例2の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図54】回路例2に使用される波形生成回路の例を示
す図。
【図55】回路例2に使用される波形生成回路内の遅延
回路の例を示す図。
【図56】回路例2に使用される定電流源回路の例を示
す図。
【図57】回路例2に関わるMRAMの動作の例を示す
波形図。
【図58】回路例2の設定回路の例を示す図。
【図59】回路例2の設定回路内のレジスタの例を示す
図。
【図60】回路例2の設定回路内のデコーダの例を示す
図。
【図61】実施例1〜10をチップ毎又はセルアレイ毎
に実現するMRAMの回路例3の全体構成を示す図。
【図62】回路例3の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図63】回路例3の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図64】回路例3の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図65】実施例1〜10を書き込みワード/ビット線
毎に実現するMRAMの回路例1の全体構成を示す図。
【図66】回路例1の書き込みワード線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図67】回路例1の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図68】回路例1の書き込み電流波形制御回路・設定
回路の例を示す図。
【図69】回路例1の書き込み電流波形制御回路・設定
回路の例を示す図。
【図70】回路例1の書き込み電流波形制御回路・設定
回路の例を示す図。
【図71】回路例1の書き込みワード線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図72】回路例1の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図73】回路例1の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図74】回路例1の設定回路の例を示す図。
【図75】回路例1の設定回路の例を示す図。
【図76】回路例1の設定回路の例を示す図。
【図77】回路例1に関わるMRAMの動作の例を示す
波形図。
【図78】回路例1に関わるMRAMの動作の例を示す
波形図。
【図79】回路例2の書き込みワード線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図80】回路例2の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図81】回路例2の書き込みビット線ドライバ/シン
カー・トリガ回路の例を示す図。
【図82】回路例2に使用される波形生成回路の例を示
す図。
【図83】図82の波形生成回路の動作波形を示す図。
【図84】回路例2に使用される波形生成回路の例を示
す図。
【図85】図84の波形生成回路の動作波形を示す図。
【図86】回路例2に使用される波形生成回路の例を示
す図。
【図87】図86の波形生成回路の動作波形を示す図。
【図88】回路例2に使用される波形生成回路の例を示
す図。
【図89】図88の波形生成回路の動作波形を示す図。
【図90】回路例2に関わるMRAMの動作の例を示す
波形図。
【図91】回路例2に関わるMRAMの動作の例を示す
波形図。
【図92】回路例3の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図93】回路例3の書き込み電流波形制御回路・設定
回路の例を示す図。
【図94】回路例3の書き込み電流波形制御回路・設定
回路の例を示す図。
【図95】回路例4の書き込みビット線ドライバ/シン
カーの例を示す図。
【図96】回路例4の書き込み電流波形制御回路・設定
回路の例を示す図。
【図97】回路例4の書き込み電流波形制御回路・設定
回路の例を示す図。
【図98】本発明に関わる回路方式を複数段に積み重ね
られたメモリセルアレイを有するMRAMに適用した場
合の概略を示す図。
【図99】本発明に関わる回路方式を複数段に積み重ね
られたメモリセルアレイを有するMRAMに適用した場
合の概略を示す図。
【図100】実施例9に適用される書き込みワード線ド
ライバ/シンカーの例を示す図。
【図101】実施例9に適用される書き込みビット線ド
ライバ/シンカーの例を示す図。
【図102】定電流源回路の例を示す図。
【図103】図100及び図101の回路の動作波形を
示す図。
【図104】実施例10に適用される書き込みワード線
ドライバ/シンカーの例を示す図。
【図105】実施例10に適用される書き込みビット線
ドライバ/シンカーの例を示す図。
【図106】VPGW,VPGB生成回路の例を示す
図。
【図107】定電流源回路の例を示す図。
【図108】図104及び図105の回路の動作波形を
示す図。
【図109】TMR素子の構造例を示す図。
【図110】TMR素子の2つの状態を示す図。
【図111】磁気ランダムアクセスメモリの書き込み動
作原理を示す図。
【図112】TMR曲線を示す図。
【図113】アステロイド曲線を示す図。
【図114】TMR素子の記憶層の磁化方向を示す図。
【図115】従来の書き込み原理の例を示す図。
【符号の説明】
11 :磁気ランダムアクセスメ
モリ、 12,12−1〜12−n :メモリセルアレイ、 13 :レファレンスセルアレ
イ、 14,14−1 :ロウデコーダ&書き込み
ワード線ドライバ、 15 :書き込みワード線シンカ
ー、 16A,16A−1,17A,17A−1 :カラムデ
コーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー、 16B,17B :レファレンスセル用カラ
ムデコーダ&書き込みビット線ドライバ/シンカー、 18 :アドレスレシーバ、 19 :データ入力レシーバ、 20 :センスアンプ、 21 :データ出力ドライバ、 22 :制御回路、 23 :設定回路、 24 :書き込み電流波形制御回
路、 25 :書き込みワード線ドライ
バ/シンカー・トリガ回路、 25X,26X :電流供給/遮断タイミン
グ決定回路、 25Y,26Y :電流吸収タイミング決定
回路、 26 :書き込みビット線ドライ
バ/シンカー・トリガ回路、 27,28 :遅延回路、 29 :プログラムデータ出力回
路、 30 :入力データ転送回路、 31 :Vclamp生成回路、 32 :立ち上がりタイミング決
定回路、 33 :立ち下がりタイミング決
定回路、 34 :定電流源回路。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成15年5月9日(2003.5.9)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0326
【補正方法】変更
【補正内容】
【0326】プログラムデータ出力回路29は、設定デ
ータを記憶するためのレーザ溶断ヒューズ(laser blow
fuse)29Aを有している。レーザ溶断ヒューズ29
の切断の有無により、1ビットデータを記憶する。P
チャネルMOSトランジスタP1とレーザ溶断ヒューズ
29Aは、電源端子VDDと接地端子VSSの間に直列
接続される。PチャネルMOSトランジスタP1のゲー
トは、接地端子VSSに接続されるため、PチャネルM
OSトランジスタP1は、常に、オン状態となってい
る。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0327
【補正方法】変更
【補正内容】
【0327】PチャネルMOSトランジスタP1とレー
ザ溶断ヒューズ29Aの接続点は、インバータI9及び
トランスファゲートTG4を経由して、インバータI7
の入力端に接続される。インバータI7の出力信号は、
bTD<j>となり、インバータI8の出力信号は、T
D<j>となる。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0330
【補正方法】変更
【補正内容】
【0330】従って、レーザ溶断ヒューズ29Aにプロ
グラムされた設定データが、トランスファゲートTG4
及びインバータI7〜I9を経由して、出力信号TD<
j>,bTD<j>として出力される。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0471
【補正方法】変更
【補正内容】
【0471】プログラムデータ出力回路29は、設定デ
ータを記憶するためのレーザ溶断ヒューズ(laser blow
fuse)29Aを有している。レーザ溶断ヒューズ29
の切断の有無により、1ビットデータを記憶する。P
チャネルMOSトランジスタP1とレーザ溶断ヒューズ
29Aは、電源端子VDDと接地端子VSSの間に直列
接続される。PチャネルMOSトランジスタP1のゲー
トは、接地端子VSSに接続されるため、PチャネルM
OSトランジスタP1は、常に、オン状態となってい
る。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0472
【補正方法】変更
【補正内容】
【0472】PチャネルMOSトランジスタP1とレー
ザ溶断ヒューズ29Aの接続点は、インバータI9及び
トランスファゲートTG4を経由して、インバータI7
の入力端に接続される。インバータI7の出力信号は、
bTD<j>となり、インバータI8の出力信号は、T
D<j>となる。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0475
【補正方法】変更
【補正内容】
【0475】従って、レーザ溶断ヒューズ29Aにプロ
グラムされた設定データが、トランスファゲートTG4
及びインバータI7〜I9を経由して、出力信号TD<
j>,bTD<j>として出力される。
【手続補正8】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図44
【補正方法】変更
【補正内容】
【図44】
【手続補正9】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図45
【補正方法】変更
【補正内容】
【図45】
【手続補正10】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図59
【補正方法】変更
【補正内容】
【図59】
【手続補正11】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図74
【補正方法】変更
【補正内容】
【図74】
【手続補正12】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図75
【補正方法】変更
【補正内容】
【図75】
【手続補正13】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図76
【補正方法】変更
【補正内容】
【図76】

Claims (80)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 容易軸及び困難軸を有する磁気抵抗効果
    素子に、前記困難軸に平行な第1磁界を作用させ、その
    後、 前記磁気抵抗効果素子に、前記第1磁界よりも弱い前記
    困難軸に平行な第2磁界と前記容易軸に平行な第3磁界
    とを同時に作用させることを特徴とする磁気ランダムア
    クセスメモリの書き込み方法。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2磁界は、時間的に連続
    して、前記磁気抵抗効果素子に作用することを特徴とす
    る請求項1記載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込
    み方法。
  3. 【請求項3】 前記第1磁界から前記第2磁界への変化
    は、磁界の強さがアナログ的に変化するように行われる
    ことを特徴とする請求項1記載の磁気ランダムアクセス
    メモリの書き込み方法。
  4. 【請求項4】 前記第1磁界から前記第2磁界への変化
    は、磁界の強さがデジタル的に変化するように行われる
    ことを特徴とする請求項1記載の磁気ランダムアクセス
    メモリの書き込み方法。
  5. 【請求項5】 前記第1及び第2磁界は、前記容易軸に
    平行な方向に流れる第1書き込み電流により発生し、前
    記第3磁界は、前記困難軸に平行な方向に流れる第2書
    き込み電流により発生することを特徴とする請求項1記
    載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込み方法。
  6. 【請求項6】 前記第1及び第2磁界は、前記第1書き
    込み電流の電流値を時間的に変化させることにより得ら
    れることを特徴とする請求項5記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  7. 【請求項7】 前記第3磁界の向きは、前記磁気抵抗効
    果素子に対する書き込みデータの値を決定することを特
    徴とする請求項1記載の磁気ランダムアクセスメモリの
    書き込み方法。
  8. 【請求項8】 容易軸及び困難軸を有する磁気抵抗効果
    素子に、前記困難軸に平行な第1磁界と前記容易軸に平
    行な第2磁界とを同時に作用させ、その後、 前記磁気抵抗効果素子に、前記第2磁界よりも強い前記
    容易軸に平行な第3磁界を作用させることを特徴とする
    磁気ランダムアクセスメモリの書き込み方法。
  9. 【請求項9】 前記第2及び第3磁界は、時間的に連続
    して、前記磁気抵抗効果素子に作用することを特徴とす
    る請求項8記載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込
    み方法。
  10. 【請求項10】 前記第2磁界から前記第3磁界への変
    化は、磁界の強さがアナログ的に変化するように行われ
    ることを特徴とする請求項8記載の磁気ランダムアクセ
    スメモリの書き込み方法。
  11. 【請求項11】 前記第2磁界から前記第3磁界への変
    化は、磁界の強さがデジタル的に変化するように行われ
    ることを特徴とする請求項8記載の磁気ランダムアクセ
    スメモリの書き込み方法。
  12. 【請求項12】 前記第1磁界は、前記容易軸に平行な
    方向に流れる第1書き込み電流により発生し、前記第2
    及び第3磁界は、前記困難軸に平行な方向に流れる第2
    書き込み電流により発生することを特徴とする請求項8
    記載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込み方法。
  13. 【請求項13】 前記第2及び第3磁界は、前記第2書
    き込み電流の電流値を時間的に変化させることにより得
    られることを特徴とする請求項12記載の磁気ランダム
    アクセスメモリの書き込み方法。
  14. 【請求項14】 前記第2及び第3磁界の向きは、前記
    磁気抵抗効果素子に対する書き込みデータの値を決定す
    ることを特徴とする請求項8記載の磁気ランダムアクセ
    スメモリの書き込み方法。
  15. 【請求項15】 容易軸及び困難軸を有する磁気抵抗効
    果素子に、前記困難軸に平行な第1磁界を作用させ、そ
    の後、 前記磁気抵抗効果素子に、前記困難軸に平行な第2磁界
    と前記容易軸に平行な第3磁界とを同時に作用させ、そ
    の後、 前記磁気抵抗効果素子に、前記容易軸に平行な第4磁界
    を作用させることを特徴とする磁気ランダムアクセスメ
    モリの書き込み方法。
  16. 【請求項16】 前記第1及び第2磁界は、同じ強さを
    有し、時間的に連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用
    することを特徴とする請求項15記載の磁気ランダムア
    クセスメモリの書き込み方法。
  17. 【請求項17】 前記第3及び第4磁界は、同じ強さを
    有し、時間的に連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用
    することを特徴とする請求項15記載の磁気ランダムア
    クセスメモリの書き込み方法。
  18. 【請求項18】 前記第2磁界は、前記第1磁界よりも
    弱く、かつ、前記第1及び第2磁界は、時間的に連続し
    て、前記磁気抵抗効果素子に作用することを特徴とする
    請求項15記載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込
    み方法。
  19. 【請求項19】 前記第1磁界から前記第2磁界への変
    化は、磁界の強さがアナログ的に変化するように行われ
    ることを特徴とする請求項18記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  20. 【請求項20】 前記第1磁界から前記第2磁界への変
    化は、磁界の強さがデジタル的に変化するように行われ
    ることを特徴とする請求項18記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  21. 【請求項21】 前記第4磁界は、前記第3磁界よりも
    強く、かつ、前記第3及び第4磁界は、時間的に連続し
    て、前記磁気抵抗効果素子に作用することを特徴とする
    請求項15記載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込
    み方法。
  22. 【請求項22】 前記第3磁界から前記第4磁界への変
    化は、磁界の強さがアナログ的に変化するように行われ
    ることを特徴とする請求項21記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  23. 【請求項23】 前記第3磁界から前記第4磁界への変
    化は、磁界の強さがデジタル的に変化するように行われ
    ることを特徴とする請求項21記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  24. 【請求項24】 前記第1及び第2磁界は、前記容易軸
    に平行な方向に流れる第1書き込み電流により発生し、
    前記第3及び第4磁界は、前記困難軸に平行な方向に流
    れる第2書き込み電流により発生することを特徴とする
    請求項15記載の磁気ランダムアクセスメモリの書き込
    み方法。
  25. 【請求項25】 前記第3及び第4磁界の向きは、前記
    磁気抵抗効果素子に対する書き込みデータの値を決定す
    ることを特徴とする請求項15記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  26. 【請求項26】 容易軸及び困難軸を有する磁気抵抗効
    果素子に、前記困難軸に平行な第1磁界と前記容易軸に
    平行な第2磁界とを同時に作用させ、その後、 前記磁気抵抗効果素子に、前記困難軸に平行な第3磁界
    と前記第2磁界よりも強い前記容易軸に平行な第4磁界
    とを同時に作用させ、その後、 前記磁気抵抗効果素子に、前記第3磁界よりも弱い前記
    困難軸に平行な第5磁界と前記容易軸に平行な第6磁界
    とを同時に作用させることを特徴とする磁気ランダムア
    クセスメモリの書き込み方法。
  27. 【請求項27】 前記第1及び第3磁界は、同じ強さを
    有することを特徴とする請求項26記載の磁気ランダム
    アクセスメモリの書き込み方法。
  28. 【請求項28】 前記第3磁界は、前記1磁界よりも弱
    いことを特徴とする請求項26記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  29. 【請求項29】 前記第1磁界から前記第3磁界への変
    化及び前記第3磁界から前記第5磁界への変化は、磁界
    の強さがアナログ的に変化するように行われることを特
    徴とする請求項28記載の磁気ランダムアクセスメモリ
    の書き込み方法。
  30. 【請求項30】 前記第1磁界から前記第3磁界への変
    化及び前記第3磁界から前記第5磁界への変化は、磁界
    の強さがデジタル的に変化するように行われることを特
    徴とする請求項28記載の磁気ランダムアクセスメモリ
    の書き込み方法。
  31. 【請求項31】 前記第1、第3及び第5磁界は、時間
    的に連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用することを
    特徴とする請求項26記載の磁気ランダムアクセスメモ
    リの書き込み方法。
  32. 【請求項32】 前記第4及び第6磁界は、同じ強さを
    有することを特徴とする請求項26記載の磁気ランダム
    アクセスメモリの書き込み方法。
  33. 【請求項33】 前記第6磁界は、前記4磁界よりも強
    いことを特徴とする請求項26記載の磁気ランダムアク
    セスメモリの書き込み方法。
  34. 【請求項34】 前記第2磁界から前記第4磁界への変
    化及び前記第4磁界から前記第6磁界への変化は、磁界
    の強さがアナログ的に変化するように行われることを特
    徴とする請求項33記載の磁気ランダムアクセスメモリ
    の書き込み方法。
  35. 【請求項35】 前記第2磁界から前記第4磁界への変
    化及び前記第4磁界から前記第6磁界への変化は、磁界
    の強さがデジタル的に変化するように行われることを特
    徴とする請求項33記載の磁気ランダムアクセスメモリ
    の書き込み方法。
  36. 【請求項36】 前記第2、第4及び第6磁界は、時間
    的に連続して、前記磁気抵抗効果素子に作用することを
    特徴とする請求項26記載の磁気ランダムアクセスメモ
    リの書き込み方法。
  37. 【請求項37】 前記第1、第3及び第5磁界は、前記
    容易軸に平行な方向に流れる第1書き込み電流により発
    生し、前記第2、第4及び第6磁界は、前記困難軸に平
    行な方向に流れる第2書き込み電流により発生すること
    を特徴とする請求項26記載の磁気ランダムアクセスメ
    モリの書き込み方法。
  38. 【請求項38】 前記第2、第4及び第6磁界の向き
    は、前記磁気抵抗効果素子に対する書き込みデータの値
    を決定することを特徴とする請求項26記載の磁気ラン
    ダムアクセスメモリの書き込み方法。
  39. 【請求項39】 互いに交差する第1及び第2書き込み
    線と、前記第1及び第2書き込み線の交差点に配置され
    る磁気抵抗効果素子と、前記第1書き込み線に第1書き
    込み電流を供給するための第1ドライバと、前記第2書
    き込み線に第2書き込み電流を供給するための第2ドラ
    イバと、前記第1書き込み電流を制御するための第1設
    定データ及び前記第2書き込み電流を制御するための第
    2設定データが登録される設定回路と、前記第1設定デ
    ータに依存して前記第1ドライバの動作を制御し、前記
    第2設定データに依存して前記第2ドライバの動作を制
    御する電流波形制御回路とを具備することを特徴とする
    磁気ランダムアクセスメモリ。
  40. 【請求項40】 請求項39記載の磁気ランダムアクセ
    スメモリにおいて、さらに、前記第1書き込み電流を吸
    収する第1シンカーと、前記第2書き込み電流を吸収す
    る第2シンカーとを具備し、前記電流波形制御回路は、
    前記第1及び第2シンカーの動作を制御することを特徴
    とする磁気ランダムアクセスメモリ。
  41. 【請求項41】 前記電流波形制御回路は、前記第1ド
    ライバの動作を終了させた後に、前記第1シンカーの動
    作を終了させることを特徴とする請求項40記載の磁気
    ランダムアクセスメモリ。
  42. 【請求項42】 前記電流波形制御回路は、前記第2ド
    ライバの動作を終了させた後に、前記第2シンカーの動
    作を終了させることを特徴とする請求項40記載の磁気
    ランダムアクセスメモリ。
  43. 【請求項43】 前記第1設定データは、前記第1書き
    込み線に対する前記第1書き込み電流の電流供給/遮断
    タイミングを決定するデータであることを特徴とする請
    求項39記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  44. 【請求項44】 前記電流波形制御回路は、異なる遅延
    時間を有する複数の遅延回路を有し、前記第1設定デー
    タに基づいて前記複数の遅延回路のうちの1つを選択
    し、書き込み動作の開始/終了を指示する書き込み信号
    を、選択された遅延回路により一定時間だけ遅らせるこ
    とにより、前記第1書き込み電流の電流供給/遮断タイ
    ミングを決定することを特徴とする請求項43記載の磁
    気ランダムアクセスメモリ。
  45. 【請求項45】 前記第2設定データは、前記第2書き
    込み線に対する前記第2書き込み電流の電流供給/遮断
    タイミングを決定するデータであることを特徴とする請
    求項39記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  46. 【請求項46】 前記電流波形制御回路は、異なる遅延
    時間を有する複数の遅延回路を有し、前記第2設定デー
    タに基づいて前記複数の遅延回路のうちの1つを選択
    し、書き込み動作の開始/終了を指示する書き込み信号
    を、選択された遅延回路により一定時間だけ遅らせるこ
    とにより、前記第2書き込み電流の電流供給/遮断タイ
    ミングを決定することを特徴とする請求項45記載の磁
    気ランダムアクセスメモリ。
  47. 【請求項47】 前記第2書き込み電流の向きは、書き
    込みデータの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流
    の電流供給/遮断タイミングは、前記第2書き込み電流
    の向きに応じて変化することを特徴とする請求項45記
    載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  48. 【請求項48】 前記第2書き込み電流の向きは、書き
    込みデータの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流
    の電流供給/遮断タイミングは、前記第2書き込み電流
    の向きによらず一定であることを特徴とする請求項45
    記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  49. 【請求項49】 前記第1設定データは、前記第1書き
    込み線に対する前記第1書き込み電流の電流波形を決定
    するデータであることを特徴とする請求項39記載の磁
    気ランダムアクセスメモリ。
  50. 【請求項50】 前記第1ドライバは、複数の電流供給
    源を有し、前記電流波形制御回路は、前記第1設定デー
    タに基づいて前記複数の電流供給源の動作を制御するこ
    とにより、前記第1書き込み電流の電流波形を決定する
    ことを特徴とする請求項49記載の磁気ランダムアクセ
    スメモリ。
  51. 【請求項51】 前記電流波形制御回路は、前記複数の
    電流供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記
    複数の波形生成回路は、前記第1設定データに基づい
    て、前記複数の電流供給源の動作を制御する複数のパル
    ス信号を出力することを特徴とする請求項50記載の磁
    気ランダムアクセスメモリ。
  52. 【請求項52】 前記第1ドライバは、複数の電流供給
    源を有し、前記電流波形制御回路は、前記複数の電流供
    給源の動作のタイミングを決定し、前記第1設定データ
    は、前記複数の電流供給源の動作の有無を決定すること
    を特徴とする請求項49記載の磁気ランダムアクセスメ
    モリ。
  53. 【請求項53】 前記電流波形制御回路は、前記複数の
    電流供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記
    複数の波形生成回路は、前記複数の電流供給源の動作の
    タイミングを決定する複数のパルス信号を出力すること
    を特徴とする請求項52記載の磁気ランダムアクセスメ
    モリ。
  54. 【請求項54】 前記複数の電流供給源の電流供給能力
    は、互いに等しいことを特徴とする請求項50又は52
    記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  55. 【請求項55】 前記複数の電流供給源の電流供給能力
    は、互いに異なることを特徴とする請求項50又は52
    記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  56. 【請求項56】 前記第2設定データは、前記第2書き
    込み線に対する前記第2書き込み電流の電流波形を決定
    するデータであることを特徴とする請求項39記載の磁
    気ランダムアクセスメモリ。
  57. 【請求項57】 前記第2ドライバは、複数の電流供給
    源を有し、前記電流波形制御回路は、前記第2設定デー
    タに基づいて前記複数の電流供給源の動作を制御するこ
    とにより、前記第2書き込み電流の電流波形を決定する
    ことを特徴とする請求項56記載の磁気ランダムアクセ
    スメモリ。
  58. 【請求項58】 前記電流波形制御回路は、前記複数の
    電流供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記
    複数の波形生成回路は、前記第2設定データに基づい
    て、前記複数の電流供給源の動作を制御する複数のパル
    ス信号を出力することを特徴とする請求項57記載の磁
    気ランダムアクセスメモリ。
  59. 【請求項59】 前記第2ドライバは、複数の電流供給
    源を有し、前記電流波形制御回路は、前記複数の電流供
    給源の動作のタイミングを決定し、前記第2設定データ
    は、前記複数の電流供給源の動作の有無を決定すること
    を特徴とする請求項56記載の磁気ランダムアクセスメ
    モリ。
  60. 【請求項60】 前記電流波形制御回路は、前記複数の
    電流供給源に対応した複数の波形生成回路を有し、前記
    複数の波形生成回路は、前記複数の電流供給源の動作の
    タイミングを決定する複数のパルス信号を出力すること
    を特徴とする請求項59記載の磁気ランダムアクセスメ
    モリ。
  61. 【請求項61】 前記複数の電流供給源の電流供給能力
    は、互いに等しいことを特徴とする請求項57又は59
    記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  62. 【請求項62】 前記複数の電流供給源の電流供給能力
    は、互いに異なることを特徴とする請求項57又は59
    記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  63. 【請求項63】 前記第2書き込み電流の向きは、書き
    込みデータの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流
    の電流波形は、前記第2書き込み電流の向きに応じて変
    化することを特徴とする請求項56記載の磁気ランダム
    アクセスメモリ。
  64. 【請求項64】 前記第2書き込み電流の向きは、書き
    込みデータの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流
    の電流波形は、前記第2書き込み電流の向きによらず同
    じであることを特徴とする請求項56記載の磁気ランダ
    ムアクセスメモリ。
  65. 【請求項65】 前記設定回路は、通常動作時に、前記
    第1及び第2設定データを出力する出力回路と、テスト
    動作時に、前記第1及び第2設定データに代えて、前記
    第1及び第2書き込み電流を制御する第1及び第2テス
    トデータを転送する転送回路とを有することを特徴とす
    る請求項39記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  66. 【請求項66】 前記設定回路は、前記第1及び第2設
    定データを半永久的に記憶するための記憶素子を有して
    いることを特徴とする請求項39記載の磁気ランダムア
    クセスメモリ。
  67. 【請求項67】 前記記憶素子は、レーザ溶断型ヒュー
    ズであることを特徴とする請求項66記載の磁気ランダ
    ムアクセスメモリ。
  68. 【請求項68】 前記記憶素子は、磁気抵抗効果素子で
    あることを特徴とする請求項66記載の磁気ランダムア
    クセスメモリ。
  69. 【請求項69】 前記記憶素子は、磁気抵抗効果素子の
    トンネルバリアの破壊の有無によりデータを記憶するア
    ンチヒューズであることを特徴とする請求項66記載の
    磁気ランダムアクセスメモリ。
  70. 【請求項70】 前記第1及び第2設定データを前記ア
    ンチヒューズに電気的にプログラムする回路を有するこ
    とを特徴とする請求項69記載の磁気ランダムアクセス
    メモリ。
  71. 【請求項71】 前記磁気抵抗効果素子は、容易軸と困
    難軸を有し、前記容易軸は、前記第1書き込み線が延び
    る方向に平行で、前記困難軸は、前記第2書き込み線が
    延びる方向に平行であることを特徴とする請求項39記
    載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  72. 【請求項72】 前記第1書き込み線は、書き込みワー
    ド線であり、前記第2書き込み線は、書き込みビット線
    であることを特徴とする請求項39記載の磁気ランダム
    アクセスメモリ。
  73. 【請求項73】 前記磁気抵抗効果素子は、2つの強磁
    性層と、前記2つの強磁性層の間に配置されるトンネル
    バリア層とを有するトンネル磁気抵抗効果素子であるこ
    とを特徴とする請求項39記載の磁気ランダムアクセス
    メモリ。
  74. 【請求項74】 複数の第1書き込み線と、前記複数の
    第1書き込み線に交差する複数の第2書き込み線と、前
    記複数の第1書き込み線と前記複数の第2書き込み線の
    交差点に配置される複数の磁気抵抗効果素子と、前記複
    数の第1書き込み線に対応した複数の第1ドライバと、
    前記複数の第2書き込み線に対応した複数の第2ドライ
    バと、前記複数の第1書き込み線に流れる第1書き込み
    電流を制御するための第1設定データ及び前記複数の第
    2書き込み線に流れる第2書き込み電流を制御するため
    の第2設定データが登録される設定回路と、前記第1設
    定データに依存して前記複数の第1ドライバの動作を制
    御し、前記第2設定データに依存して前記複数の第2ド
    ライバの動作を制御する電流波形制御回路とを具備する
    ことを特徴とする磁気ランダムアクセスメモリ。
  75. 【請求項75】 前記第1設定データは、前記第1書き
    込み電流の電流供給/遮断タイミング又は電流波形を、
    前記複数の第1書き込み線単位で制御するデータであ
    り、前記第2設定データは、前記第2書き込み電流の電
    流供給/遮断タイミング又は電流波形を、前記複数の第
    2書き込み線単位で制御するデータであることを特徴と
    する請求項74記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  76. 【請求項76】 前記第1設定データは、前記第1書き
    込み電流の電流供給/遮断タイミング又は電流波形を、
    前記複数の第1書き込み線の各々に対して個別に制御す
    るデータであり、前記第2設定データは、前記第2書き
    込み電流の電流供給/遮断タイミング又は電流波形を、
    前記複数の第2書き込み線の各々に対して個別に制御す
    るデータであることを特徴とする請求項74記載の磁気
    ランダムアクセスメモリ。
  77. 【請求項77】 前記第2書き込み電流の向きは、書き
    込みデータの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流
    の電流供給/遮断タイミング又は電流波形は、前記第2
    書き込み電流の向きに応じて変化することを特徴とする
    請求項74記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  78. 【請求項78】 前記第2書き込み電流の向きは、書き
    込みデータの値に応じて変化し、前記第2書き込み電流
    の電流供給/遮断タイミング又は電流波形は、前記第2
    書き込み電流の向きによらず一定であることを特徴とす
    る請求項74記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  79. 【請求項79】 前記複数の第1書き込み線、前記複数
    の第2書き込み線、前記複数の磁気抵抗効果素子、前記
    複数の第1ドライバ、及び、前記複数の第2ドライバに
    より、1つのセルアレイブロックが構成される場合に、
    複数のセルアレイブロックが半導体基板上に積み重ねら
    れ、かつ、前記設定回路及び前記電流波形制御回路は、
    前記複数のセルアレイブロックに共有されることを特徴
    とする請求項74記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
  80. 【請求項80】 前記複数の第1書き込み線、前記複数
    の第2書き込み線、前記複数の磁気抵抗効果素子、前記
    複数の第1ドライバ、前記複数の第2ドライバ、前記設
    定回路、及び、前記電流波形制御回路により、1つのセ
    ルアレイブロックが構成される場合に、複数のセルアレ
    イブロックが半導体基板上に積み重ねられることを特徴
    とする請求項74記載の磁気ランダムアクセスメモリ。
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