JP2003329602A - 連続的に移動する透明材料のストリップの欠陥を検出するための方法と装置 - Google Patents
連続的に移動する透明材料のストリップの欠陥を検出するための方法と装置Info
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Abstract
行カット又はトリミングを要することなく、テスト光を
透明材料の連続的に移動するストリップに入射可能な方
法と装置を提供する。 【解決手段】 連続的に移動する透明材料のストリップ
の欠陥を検出する方法であって、前記方法は以下の工
程:すなわち、a)前記連続的に移動するストリップの
移動方向に対して横方向に単色光ビームを伝える工程
と;b)透明液体により前記単色光ビームを前記連続的
に移動するストリップに結合する工程であって、前記透
明液体は、該単色光ビームが該透明液体を介して該移動
するストリップに達するように、前記単色光ビームを発
生する光源と前記連続的に移動するストリップとの間に
配置する工程と;c)前記移動するストリップに存在す
る欠陥によって前記単色光ビームから散乱された光を検
出する工程と;d)工程c)で該単色光ビームから散乱
された前記光を評価し、該単色光ビームから散乱された
前記光を処理して制御信号を発生する工程とからなる。
Description
明材料のストリップ、特に薄いガラスストリップ又は帯
の欠陥又は不良部をその移動方向に対して該ストリップ
を横切って透過され、該欠陥又は不良部から出る光ビー
ムの散乱光を検出し、評価し、処理して制御信号を作り
出す細い光ビームによって検出するための方法と装置に
関する。
製造ではかなり重要である。100μmより大きなサイ
ズの欠陥は消費者に受け入れられないため、確実に検出
する必要がある。かなりの程度まで、熟練者による従来
の目視検査に加えてより経済的で確実な機械テスト法が
使用されている。光が発光装置と受光装置との間に通さ
れる透光法が高速ストリップ速度ではその要件に合致し
ない。これらのストリップ速度は現在の製造プラントで
は10m/分に達し、測定用の投光時間は150マイク
ロ秒の範囲にある。また、使用可能な光強度では、オン
ライン欠陥テストに限界がある。また、テスト光がスト
リップの縁に沿って当てられ、該ストリップは光ガイド
として使用される。光は、光ガイドとして使用されるガ
ラス繊維の場合のように周囲大気でストリップの境界面
に繰り返して反射される。
月22日の日本特許公開公報、平10−339705に
開示されている。この文献によれば、約4m/分で連続
的に移動するガラスパネルの被検出欠陥を測定する。光
を該パネルの双方の長手方向端部に通し、欠陥又は不良
部から出た散乱光を、ガラスの上下に配置された垂直リ
ニアセンサによって捕捉する。このリニアセンサから出
た信号を電気解析装置で処理する。表面に付着した不要
な粒子を欠陥検出から排除するために、光が側縁部に傾
斜して導入され、さらにガラスと周囲大気との間の境界
面で内部反射によって外側から内側まで通される必要が
ある。光源としてハロゲンランプを使用する場合、スト
リップ中央での吸収のために、例えば1.2m幅のスト
リップで縁部の値の5%まで入射テスト光の強度が大き
く低下することを考慮に入れる必要がある。従って、解
析時に、全体の縁部幅の欠陥サイズを得られた散乱光か
ら正確に判定するために高価なコンピュータ補正が必要
とされる。入射テスト光の必要な初期強度がストリップ
幅と速度の増大と共に大きくする必要があり、最終的に
工学的限界に達するためにこの公知方法はあるストリッ
プ幅と速度に制限される。
の入射が、丸くなった縁部や制御されていない製造状態
では可能でないため、側縁部をトリミングしたものを前
提としている。連続的に移動する方向とは反対の方向
に、カットした位置から制御不可能にガラスが割れて廃
棄物を生成するため、長いストリップの縁部のトリミン
グは可能ではない。従って、連続的に移動するストリッ
プのオンラインテストではトリミングを使用することが
できない。その上、公知方法は、光電池で前進移動時に
検出されテストプロセスを開始及び停止させる制御信号
を生成するために使用されるトリミングされた長い両縁
部と先端部及び後端部を有するガラスパネル対象とする
だけで、連続的に移動するストリップでの欠陥テストを
対象としていなかった。
御されていない両横縁部の、予めのカット又はトリミン
グを要することなく、テスト光を透明材料の連続的に移
動するストリップに入射可能な上記型式の方法と装置を
提供することが本発明の目的である。さらに、0.3な
いし2mmの範囲の厚さと、少なくとも2mのストリッ
プ幅の薄いガラスストリップにおいて、10m/秒以下
の製造速度でサイズが>50μmの材料欠陥を検出する
ための装置と方法を提供することが本発明の他の目的で
ある。
ビームが使用され、光源とストリップとの間に配置され
た透明液体で該ストリップに結合される。本発明の第1
実施形態によれば、光ビームをストリップの表面に傾斜
して結合され、屈折率がストリップ周囲の雰囲気、通常
は空気である、の屈折率より大きい液体が使用される。
従って、光ビームの入射角度を、ストリップの中央部に
隣接する液体領域によって光がストリップの上面に結合
されるように、選択することができる。ストリップの下
面で反射された光は、液体領域の外側にある領域、即ち
ストリップ又はシートの上面に当たる。従って、この光
は反射して戻され、ストリップから出てゆかない。言い
換えれば、光ビームが十分大きな角度Δで周囲雰囲気の
屈折率より大きな屈折率の液体を通してストリップ表面
に垂直に結合されると、ストリップの下側で反射される
光が液体界面の外側のストリップ上面領域に当たる程大
きい反射角を材料のストリップ内に形成することが可能
である。従って、光は光ガイドで生じる全反射のよう
に、ストリップに「保持捕捉」される。そして、光はさ
らにストリップの連続的に移動する方向に対し、横にガ
イドされる。種々のテストにより、欠陥を検出するため
に要する光出力は上記界面状態のもとでストリップに結
合することが可能である。
ームがストリップの表面に平行なストリップにその側縁
部で結合され、屈折率がストリップの材料の屈折率に略
対応する液体が使用される。この考えは、液体とストリ
ップとの間の界面で屈折を起こさずに光をストリップの
側縁部に連続的に結合できるように、光源と走行ストリ
ップとの間のスペースを完全に満たす液体が光源とスト
リップとの間に配置された場合、製造条件のばらつきや
丸みをもった側縁部に対してのテスト光の結合に伴う困
難が克服できるという知見に基づいている。さらに、こ
の方法の好ましい実施形態の詳細を従属方法請求項でよ
り詳しく説明する。例えば、光源と移動ストリップを、
透明液体が、該透明液体を通る光ビームの近傍で該液体
だけの表面張力で保持されるように、互いに所定距離に
離間することができる。該光源とストリップとの間のこ
の距離は、ローラー又は摺動部材などの適当な機械的手
段で一定に保持することができる。
源には移動するストリップの側縁部を囲むU字形ガイド
を装備することができ、該U字形ガイドを介して光ビー
ムが該移動するストリップに結合され、該U字形ガイド
は、透明液体が該U字形ガイドと移動するストリップと
の間で透明液体だけの表面張力で保持されるように、移
動するストリップの上下面にわたり延在する脚部を有す
る。また、該透明液体の保持を補助するためにシール装
置を使用することができる。しかし、移動するストリッ
プで運ばれてしまった透明液体部を本方法の2つの実施
形態では貯蔵槽から補充することができる。本方法の2
つの実施形態において、単色光ビームは400ないし1
000nmの範囲の波長を好適に有する。この波長は、
最少量の単色光が移動ストリップの透明材料に吸収され
るように、この範囲内で選択される。単色光ビームは、
レーザー光ビームの焦点が該光ビームを結合する他の縁
部とは反対側の移動ストリップ縁部の近傍にあるよう
に、及び/又は測定通路に沿った光吸収を最小にするよ
うな収束角でわずかに収斂するレーザー光ビームである
ときに該波長が有利である。
料のストリップ、特に薄いガラスストリップの欠陥を検
出するための装置は、透明材料のストリップを移動方向
に連続的に搬送するための手段と;単色光ビームを発生
する光源と;前記光ビームが移動ストリップの縁領域に
ガイドされるための光ガイドシステムと;前記単色光ビ
ームが移動するストリップに結合されるように該単色光
ビームを発生する光源と移動するストリップとの間に配
置された透明液体と;前記移動するストリップの欠陥に
よって該光ビームから散乱した光用受光装置であって、
該受光装置は前記移動するストリップの移動方向を横切
る方向にストリップの全幅にわたり延在しており;欠陥
のサイズと位置に基づいて前記光ビームから散乱した光
を電気的に解析するための手段と、前記欠陥を該移動す
るストリップ上にマーキングし、移動ストリップが該欠
陥に基づいて是正されるよう装置を制御するための制御
信号を作るために該光ビームから散乱した光を処理する
ための手段と、からなっている。
れば、前記透明液体は該移動するストリップの側縁部面
と前記光ガイドシステムの固定端部との間に配置され、
該固定端部は移動するストリップの面に平行に延びてい
る。この実施形態では、透明液体は移動するストリップ
を囲む雰囲気の屈折率より大きな屈折率を有する。該装
置はまたプリズムを備え、透明液体は該プリズムと、移
動するストリップの側縁部面との間に配置される。本発
明に係る装置の第2の好ましい実施形態は移動するスト
リップの縁領域を取り囲むU字形ガイドを備え、透明液
体は移動するストリップと該U字形ガイドとの間に配置
され、該U字形ガイドの脚部は前記光ガイドシステムの
端部を取り囲んでいる。この実施形態では、透明液体は
移動するストリップの透明材料の屈折率に略等しい屈折
率を有する。この光ビームは移動するストリップの縁部
面を介して移動するストリップに結合されている。本発
明の目的、特徴及び利点は以下の好ましい実施形態によ
り添付図面を参照してより詳細に説明される。
垂直に、すなわちY軸方向に製造速度で連続的に移動す
るテストすべきガラスストリップ1の縁領域が示されて
いる。X軸はストリップ幅方向であって、移動方向に対
して横に延びており、一方、Z軸はストリップの上面に
垂直に延びている。従って、検出すべき欠陥又は不良位
置は図1aに示された座標系により特定され、制御信号
の発生用に処理される。透明液体2は、不完全に示され
た光ガイドシステム(図2、3)の端部と移動するスト
リップ1の上面との間に配置され、ガラスストリップ1
の屈折率α1は、通常空気である周囲の雰囲気3の屈折
率α3より大きい。レーザー14からの単色光ビーム1
1が液体2を介して屈折率α2でガラスストリップ1に
結合されている。該単色光ビーム11はガラス面に対し
垂線方向に屈折され、図1aに示したようにガラスと空
気との間の下境界面で反射される。液体と接触した部分
を越えた位置の上境界面(ガラス/空気)に達した光ビ
ーム11’はガラスストリップ1から出ないかあるいは
通過しないで、再度反射され、続いてさらに、繰り返し
の反射によりガラスストリップ1の反対側縁部にX方向
にガイドされる。従ってガイドストリップ1は光ガイド
として作用し、そこでは光ビーム1がガラスと空気との
間の上下境界面での内部反射のために捕捉されたままに
なっている。このように、テスト光を、製造に依存した
不規則な端面をさらに処理することなく、欠陥又は不良
検出又は測定用の横の縁領域でガラスストリップに結合
可能である。
体(空気)を介して光がガラスストリップ1に結合され
た場合には、該ストリップに結合された光ビーム11は
下境界面では反射されず、図1bに示したようにストリ
ップから完全に通過する。図2の破断図からガラススト
リップ又はシート1がローラ6などに搬送又は支持され
ることは明らかである。光ガイド系5はガラスストリッ
プ1の上面に平行な面を備えたプリズム4を備えてい
る。透明液体2は本発明によれば、プリズム4とガラス
ストリップ1との間に配置されており、この透明な液体
2は周囲の(空気)雰囲気3より大きい屈折率を有して
いる。該液体2はある表面張力を有し、この表面張力に
よって該液体が固定プリズム4と図の平面に対して垂直
に移動するガラスストリップ1との間に保持される。該
液体がまた必要とされる限り、ガラスストリップ上を摺
動したりあるいは擦動したりする密閉手段を設けること
ができる。ガラスストリップの縁部は、ガラスストリッ
プに異物により生じた引っかききずは問題とならぬよう
に、造形時はガラスストリップの縁が切り離され処分さ
れる。
ー14からの単色光ビーム11が、加工されていない縁
部面を介してガラストリップ1に、その上面に平行に結
合されている。また、光ガイドシステム、この場合レン
ズ7が端部に取り付けられるU字形ガイド8が設けられ
ている。このガイド8は脚部Lでガラスストリップ1の
縁領域を包囲し、ガラスストリップのガラスと略同じ屈
折率を有する液体2を密閉する。そのため、光屈折が、
不規則に形成された液体/ガラス境界面に生ぜず、テス
ト光が移動方向に対して横方向にガラスストリップに実
用的にはロスなく結合することができる。また、ここで
もガラスストリップは光ガイドとして機能する。光は光
ガイドから周囲雰囲気(空気)に漏れ出すことができな
い。液体2はまた、表面張力のために、固定ガイド8内
に保持される。またシールをさらに設けることも可能で
あることが分かる。
いる。受光装置17はガラスストリップの欠陥Dによっ
て光ビーム11から散乱した光を検出する。この受光装
置17は欠陥のサイズと位置に関する情報を含む電子信
号を発生させ、この電子信号は、制御装置22に結合さ
れた電子解析装置21に入力される。電子解析装置21
は受光装置17からの電子信号を処理し、制御装置22
は、欠陥をマーキングし、あるいは引き続いての加工作
業時に連続的に移動するストリップの変形を制御するた
めの信号を発生させる。最後に、2つの実施形態では、
移動するガラスストリップによって装置から持ち去られ
る透明液体2の量を貯蔵槽からの液体で補充することが
できるようになっている。
走行するストリップ又は帯の欠陥を検出する方法と装置
において具体化されているように例示され、記載されて
いるが、種々の改良と変更は本発明の精神から何ら逸脱
することなく行うことができるため、図示された詳細内
容に限定することを意図するものではない。他の解析無
しで、前述内容が本発明の要旨を十分に示しているた
め、他人は現在の知識を応用することによって先行技術
の観点からこの発明の一般的あるいは特殊な態様の本質
的な特性をかなり構成する機能を省略せずに、種々の用
途に本発明を容易に適用することができる。
透明材料のストリップに結合するための原理を説明する
模式断面図である。
合された領域の破断断面図である。
透明材料のストリップの側面縁部に結合するための結合
領域の概略断面図である。
Claims (32)
- 【請求項1】 連続的に移動する透明材料のストリップ
の欠陥を検出する方法であって、前記方法は以下の工
程: a)前記連続的に移動するストリップに、移動方向に対
して横方向に単色光ビームを伝える工程と; b)透明液体により前記単色光ビームを前記連続的に移
動するストリップに結合する工程と、前記透明液体は、
該単色光ビームが該透明液体を介して該移動するストリ
ップ内に到達するように、前記単色光ビームを発生する
光源と前記連続的に移動するストリップとの間に配置さ
れており; c)前記移動するストリップに存在する欠陥によって前
記単色光ビームから散乱された光を検出する工程と; d)工程c)で該単色光ビームから散乱された前記光を
評価し、該単色光ビームから散乱された前記光を処理し
て制御信号を発生する工程と;からなる方法。 - 【請求項2】 前記単色光ビームは前記連続的に移動す
るストリップの縁領域を介して前記ストリップに結合さ
れる請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】 前記単色光ビームは、該単色光ビームが
通過する前記ストリップの上面に対して傾斜している請
求項2に記載の方法。 - 【請求項4】 前記透明液体は、前記連続的に移動する
ストリップ周囲の雰囲気の屈折率より大きい屈折率を有
する請求項3に記載の方法。 - 【請求項5】 前記光源と前記連続的に移動するストリ
ップは、前記透明液体が該透明液体だけの表面張力によ
って該透明液体を通る光ビームの近傍に保持されるよう
に互いにある距離に離間される請求項4に記載の方法。 - 【請求項6】 前記光源と前記連続的に移動するストリ
ップとの間の前記距離が適切な機械的手段で一定に保持
される請求項5に記載の方法。 - 【請求項7】 前記光源は、前記移動するストリップ上
にローラ又は摺動部材で支持され、前記移動するストリ
ップはローラに載っている請求項6に記載の方法。 - 【請求項8】 前記光ビームは、前記連続的に移動する
ストリップの上面に平行な方向に伝わり、前記ストリッ
プの縁部面を通る請求項2に記載の方法。 - 【請求項9】 前記透明な液体は、前記連続的に移動す
る透明材料のストリップの屈折率に略等しい屈折率を有
する請求項8に記載の方法。 - 【請求項10】 前記光源には該連続的に移動するスト
リップの前記縁部領域を包囲するU字形ガイドが設けら
れており、前記U字形ガイドは複数の脚部を有し、前記
複数の脚部は、前記透明な液体が前記U字形ガイドと前
記連続的に移動するストリップとの間で前記透明な液体
の表面張力だけで支持されるように前記連続的に移動す
るストリップの上面と底面から離間されている請求項9
に記載の方法。 - 【請求項11】 前記U字形ガイドと前記連続的に移動
するストリップとの間で前記透明な液体を更に密閉する
ために、前記U字形ガイドと前記連続的に移動するスト
リップとの間に密閉装置を設けることをさらに有する請
求項10に記載の方法。 - 【請求項12】 光源に対して前記連続的に移動するス
トリップの移動によって持ち去られる前記透明な液体の
部分を貯蔵槽から前記透明な液体の他の部分で補充する
工程をさらに有する請求項10に記載の方法。 - 【請求項13】 機械的装置で前記移動するストリップ
を前記U字形ガイドの脚部間に機械的に配置する工程を
さらに有する請求項10に記載の方法。 - 【請求項14】 前記機械的装置がローラ又は摺動部材
からなる請求項13に記載の方法。 - 【請求項15】 前記光源と前記移動するストリップと
の間の前記透明な液体の保持の補助を行うようにさらに
密閉装置を前記移動するストリップと前記光源との間に
設ける工程をさらに有する請求項5に記載の方法。 - 【請求項16】 光源に対して前記連続的に移動するス
トリップの移動によって持ち去られた前記透明な液体の
部分を貯蔵槽から前記透明な液体の他の部分で補充する
工程をさらに有する請求項5に記載の方法。 - 【請求項17】 前記単色光ビームが400ないし10
00nmの範囲にある波長を有する単色光からなる請求
項1に記載の方法。 - 【請求項18】 前記波長は、最少量の単色光しか前記
移動するストリップの前記透明材料に吸収されないよう
に選択される請求項17に記載の方法。 - 【請求項19】 前記単色光ビームは収斂が少ないレー
ザー光ビームである請求項1に記載の方法。 - 【請求項20】 測定路に沿った光吸収が補正され及び
/又は前記レーザー光の焦点が、前記光ビームが結合さ
れたストリップの端部と反対側の端部近傍にあるよう
に、前記収斂が少ないレーザー光ビームの収斂を選択す
る工程をさらに有する請求項19に記載の方法。 - 【請求項21】 前記移動するストリップの前記移動方
向にみて、前記光ビームが前記移動するストリップに結
合される部位で0.5ないし3mmの幅を有する請求項
1に記載の方法。 - 【請求項22】 前記移動するストリップの前記移動方
向にみて、10μmの範囲の幅を有する散乱光観察用の
窓を設ける工程をさらに有する請求項1に記載の方法。 - 【請求項23】 前記評価工程が、該光ビームから散乱
された前記光を強度と欠陥部位に関して電子的に解析す
る工程を有し、前記光ビームから散乱された光を処理す
る工程が、欠陥マーキング用のマーキング信号とカッテ
ィング装置の制御用カッティング信号の少なくとも1つ
を発生する工程を有する請求項1に記載の方法。 - 【請求項24】 前記光ビームから散乱された光の処理
時に、前記連続的に移動するストリップの全幅に対して
発生する光吸収を必要に応じて補正する工程をさらに有
する請求項1に記載の方法。 - 【請求項25】 前記連続的に移動する透明材料のスト
リップが薄いガラスストリップである請求項1に記載の
方法。 - 【請求項26】 連続的に移動する特に薄い透明材料の
ガラスストリップの欠陥を検出する装置であって、前記
装置は、該透明材料のストリップを移動方向に連続的に
搬送するための手段と;単色光ビームを発生する光源
と;前記光ビームを該連続的に移動するストリップの縁
領域にガイドする光ガイドシステムと;前記単色光ビー
ムが該連続的に移動するストリップに結合されるように
該単色光ビームを発生する前記光源と前記移動するスト
リップとの間に配置された透明液体と;前記移動するス
トリップの欠陥によって該単色光ビームから散乱した光
用受光装置と、該受光装置は前記移動するストリップの
移動方向に対して横方向の全幅にわたり延在しているも
のであり;欠陥のサイズと位置により前記光ビームから
散乱した光を電子的に解析するための手段と、前記欠陥
を該移動するストリップにマーキングし、移動ストリッ
プが該欠陥に基づき是正される装置を制御するための制
御信号を作るために該光ビームから散乱した前記光を処
理するための手段とからなる装置。 - 【請求項27】 前記透明液体は前記連続的に移動する
ストリップの上面の縁側と前記光ガイドシステムの静止
端部との間に配置されており、前記静止端部は該連続的
に移動するストリップの前記上面に平行に延びており、
該透明液体は該移動するストリップ周囲の雰囲気の屈折
率より大きな屈折率を有する請求項26に記載の装置。 - 【請求項28】 プリズムをさらに備え、前記透明液体
は前記プリズムと該連続的に移動するストリップの上面
の縁側に配置されている請求項27に記載の装置。 - 【請求項29】 前記連続的に移動するストリップから
所定距離に前記静止端部を保持する手段をさらに備え、
前記保持する手段はローラ又は摺動部材から構成されて
いる請求項28に記載の装置。 - 【請求項30】 前記連続的に移動するストリップの前
記縁部領域を包囲するU字形ガイドをさらに備え、前記
透明液体が該連続的に移動するストリップと該U字形ガ
イドとの間に配置されており、前記光ガイドシステムの
端部が該U字形ガイドに配置されており、前記透明液体
は該連続的に移動するストリップの透明材料の屈折率に
略等しい屈折率を有し、該光ビームは該連続的に移動す
るストリップの上面に平行な該連続的に移動するストリ
ップの前記縁部領域に結合される請求項26に記載の装
置。 - 【請求項31】 前記U字形ガイドは該移動するストリ
ップ上方に延びる1つの脚部と該移動するストリップ下
方に延びる他の1つの脚部を有し、ローラ又は摺動部材
によって前記移動するストリップから所定距離で保持さ
れる請求項30に記載の装置。 - 【請求項32】 前記透明液体を補充する液体貯蔵槽を
さらに備える請求項26に記載の装置。
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