JPS5860242A - 透明材料ウエブの検査方法及び装置 - Google Patents
透明材料ウエブの検査方法及び装置Info
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- JPS5860242A JPS5860242A JP57131355A JP13135582A JPS5860242A JP S5860242 A JPS5860242 A JP S5860242A JP 57131355 A JP57131355 A JP 57131355A JP 13135582 A JP13135582 A JP 13135582A JP S5860242 A JPS5860242 A JP S5860242A
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、透明材料ウェブ、特に平板ガラスを、該ウェ
ブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対して検
査するに当り、材料ウェブを移動−する光点を用いて該
ウェブ全幅に亘って走査し、透過光及び／又は反射光を
受光し、電気信号に変換して評価することより成る透明
材料ウェブの検査方法及び装置に関する。
ブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対して検
査するに当り、材料ウェブを移動−する光点を用いて該
ウェブ全幅に亘って走査し、透過光及び／又は反射光を
受光し、電気信号に変換して評価することより成る透明
材料ウェブの検査方法及び装置に関する。
本発明による透明材料ウェブとは、プラスチック、有機
ガラス、特に板ガラスのことである。板ガラスは、平板
ガラスとして無端パンｒの形で多量に機械的に製造され
るので、当然欠陥源を可及的に小さくする努力がなされ
る結果、平板ガラスの製造の際には検査装置に対する要
求が大きい。従って本発−明は平板ガラスの例について
記載されるが、本発明はこれに限定されるものではない
。
ガラス、特に板ガラスのことである。板ガラスは、平板
ガラスとして無端パンｒの形で多量に機械的に製造され
るので、当然欠陥源を可及的に小さくする努力がなされ
る結果、平板ガラスの製造の際には検査装置に対する要
求が大きい。従って本発−明は平板ガラスの例について
記載されるが、本発明はこれに限定されるものではない
。
例えばフロートガラス装置で板ガラスを製造する際、最
大の注意を払ってもなお依然としてガラスウェブ中への
大抵透明な微細石の侵入が起こる。同様に頻発する他の
欠陥は、メルト中に微細分布状態で存在する気泡である
。これら二種類の欠陥は、一定の大きさに達すると完全
にガラスによって包含されていてもガラスウェブの表面
変形を惹起する。しかし表面変形は、例えば西独国特許
出願公開第２４１１４０７号明細書に記−載されている
ような電子光学的検査装置及び方法によって極めて良好
に検出することができる。しかしこれは、欠陥がガラス
ウェブの表面を変、化させない程小さい場合、特に微小
内部気泡（ｋθｒｎｂｌａｓｅ ）の場合には該当せず
、従ってこれらの内部気泡は、特に被検表面が１００％
清浄でない場合には常用装置によって検出されな−い。
大の注意を払ってもなお依然としてガラスウェブ中への
大抵透明な微細石の侵入が起こる。同様に頻発する他の
欠陥は、メルト中に微細分布状態で存在する気泡である
。これら二種類の欠陥は、一定の大きさに達すると完全
にガラスによって包含されていてもガラスウェブの表面
変形を惹起する。しかし表面変形は、例えば西独国特許
出願公開第２４１１４０７号明細書に記−載されている
ような電子光学的検査装置及び方法によって極めて良好
に検出することができる。しかしこれは、欠陥がガラス
ウェブの表面を変、化させない程小さい場合、特に微小
内部気泡（ｋθｒｎｂｌａｓｅ ）の場合には該当せず
、従ってこれらの内部気泡は、特に被検表面が１００％
清浄でない場合には常用装置によって検出されな−い。
フロートガラスの検査は、連続的に動いていく材料ウェ
ブの全幅を移動光点を用いて走査することによって行な
われる。この移動光点は一般に高い輝度を得るためにレ
ーザー放射装置によって発生されるが、この際同装置は
旋回する金属化多角形体に向けられるので、光束は同多
角形体の高旋回数の結果として高速で平板ガラス上を動
きながら移動光点をつくる。光束の一部はガラスウェブ
表面上ですでに反射されており、他の一部分はガラスウ
ェブ中に入射し、ガラスウェブの下面によって反射され
、光束の大部分は屈折後にガラスウェブを透過する。ガ
ラスウェブの着色されている場合には光束の少なくとも
一部分は濾光除去される。
ブの全幅を移動光点を用いて走査することによって行な
われる。この移動光点は一般に高い輝度を得るためにレ
ーザー放射装置によって発生されるが、この際同装置は
旋回する金属化多角形体に向けられるので、光束は同多
角形体の高旋回数の結果として高速で平板ガラス上を動
きながら移動光点をつくる。光束の一部はガラスウェブ
表面上ですでに反射されており、他の一部分はガラスウ
ェブ中に入射し、ガラスウェブの下面によって反射され
、光束の大部分は屈折後にガラスウェブを透過する。ガ
ラスウェブの着色されている場合には光束の少なくとも
一部分は濾光除去される。
従って本発明は、材料ウェブの表面変形をもたらさない
透明着色材料ウェブ中の欠陥を検出す・るという課題を
基礎にしている。特に所謂内部気泡、つまり材料ウェブ
の中心部に程度の差こそあれ存在していて、極めて微細
であるためにその大きさと比較して厚いウェブ層によっ
ておおわれている気泡を検出することが要求される。
透明着色材料ウェブ中の欠陥を検出す・るという課題を
基礎にしている。特に所謂内部気泡、つまり材料ウェブ
の中心部に程度の差こそあれ存在していて、極めて微細
であるためにその大きさと比較して厚いウェブ層によっ
ておおわれている気泡を検出することが要求される。
この課題は、透明材料ウーエブ、特に平板ガラスを、同
ウェブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対し
て検査するに当り、材料ウェブを移動光点を用いてウェ
ブ全幅に亘って走査し、透過光及び／又は反射光を受光
し、電気信号に変換して評価することより成る透明材料
の検査方法において、該移動光点が被検材料ウェブの色
を有しかつ走査サイクルの間付加的にウェブ側方から出
射する光線を検出し、電気・ぞルスに変換して評価のた
めに利用することを特徴とする前記検査方法によって解
決される。
ウェブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対し
て検査するに当り、材料ウェブを移動光点を用いてウェ
ブ全幅に亘って走査し、透過光及び／又は反射光を受光
し、電気信号に変換して評価することより成る透明材料
の検査方法において、該移動光点が被検材料ウェブの色
を有しかつ走査サイクルの間付加的にウェブ側方から出
射する光線を検出し、電気・ぞルスに変換して評価のた
めに利用することを特徴とする前記検査方法によって解
決される。
西独国特許出願公開第２４１１４０７号に記載された種
類の欠陥検査装置は、移動光点を用いて大抵比較的高速
で動く材料ウェブの全幅に亘り表面欠陥を走査するもの
である。該検査装置は、透明材料の場合には、上面なら
びに下面あ欠陥を上からの材料ウーブの走査で検出する
ことのできる調節可能の感度を有する。この場合には、
材゛料つェブ中に包含された内部気泡及び微細な包含異
物は、表面の変形が行なう程強い光反射を行なわない、
つまりこれらの欠陥によって形成された信号は、材料ウ
ェブ上に存在する微細ダスト粒子によって形成される信
号と同じ位に微弱である。しかしこれらの信号は検査装
置の評価ステーションでカットされ、カットの限界値は
信号の高さで調節可能である。従って感度は、表面汚染
が欠陥信号を形成しなくなるまで低下されてしまう。
類の欠陥検査装置は、移動光点を用いて大抵比較的高速
で動く材料ウェブの全幅に亘り表面欠陥を走査するもの
である。該検査装置は、透明材料の場合には、上面なら
びに下面あ欠陥を上からの材料ウーブの走査で検出する
ことのできる調節可能の感度を有する。この場合には、
材゛料つェブ中に包含された内部気泡及び微細な包含異
物は、表面の変形が行なう程強い光反射を行なわない、
つまりこれらの欠陥によって形成された信号は、材料ウ
ェブ上に存在する微細ダスト粒子によって形成される信
号と同じ位に微弱である。しかしこれらの信号は検査装
置の評価ステーションでカットされ、カットの限界値は
信号の高さで調節可能である。従って感度は、表面汚染
が欠陥信号を形成しなくなるまで低下されてしまう。
しかしガラスウェブ中に内部気泡又は微細石が包含され
ている場合には、入射光点は気泡中又は微細石表面で反
射されて材料ウェブ中を引続き導光される。つまりこの
場合には材料ウェブ自体は光導体として働く。内部気泡
、つまり微細気泡及び包含微細石は大体において球状を
呈するので、それらに入射する光束はその側方の動き、
ひいては入射角の変化に応じて少なくとも１回は材料ウ
ェブ中０走査線に平行に反射され、このようにして右又
は左の側縁に達し、そこで該光束は短時間輝いている明
るい光点として見えるようになる。
ている場合には、入射光点は気泡中又は微細石表面で反
射されて材料ウェブ中を引続き導光される。つまりこの
場合には材料ウェブ自体は光導体として働く。内部気泡
、つまり微細気泡及び包含微細石は大体において球状を
呈するので、それらに入射する光束はその側方の動き、
ひいては入射角の変化に応じて少なくとも１回は材料ウ
ェブ中０走査線に平行に反射され、このようにして右又
は左の側縁に達し、そこで該光束は短時間輝いている明
るい光点として見えるようになる。
この場合本発明は、移動光点が被検材料ウェブの色を有
することを意図している。常用板ガラスは、メルト中の
微痕跡量の鉄に原因して薄縁がかった着色を呈するが、
それは板ガテスの端間を観察する場合にわずかに確認さ
れうるにすぎない。板ガラスは、光点がガラス側面から
見えるようになる前にガラス中を進行しなければならな
い行路が比較的長いためにカラ！−フィルターとして働
く。つまり前記基本着色の場合入射する赤色光は一定の
進行距離を経た後ではフィルター効果によりガラス中で
消滅されている、すなわち濾光されている。これに対し
て該着色に一致する波長の光は濾光されずに普通の吸収
のみを受け、従って僅かな損失で側面に達する・従って
被検材料ウェブの有する同一色で放射するレーザー放射
装置を使用することによって、同放射装置の出力をより
小さく選定し、それによってエネルギー及び材料コスト
を節減し、同時に最適効果を保証することができる。
することを意図している。常用板ガラスは、メルト中の
微痕跡量の鉄に原因して薄縁がかった着色を呈するが、
それは板ガテスの端間を観察する場合にわずかに確認さ
れうるにすぎない。板ガラスは、光点がガラス側面から
見えるようになる前にガラス中を進行しなければならな
い行路が比較的長いためにカラ！−フィルターとして働
く。つまり前記基本着色の場合入射する赤色光は一定の
進行距離を経た後ではフィルター効果によりガラス中で
消滅されている、すなわち濾光されている。これに対し
て該着色に一致する波長の光は濾光されずに普通の吸収
のみを受け、従って僅かな損失で側面に達する・従って
被検材料ウェブの有する同一色で放射するレーザー放射
装置を使用することによって、同放射装置の出力をより
小さく選定し、それによってエネルギー及び材料コスト
を節減し、同時に最適効果を保証することができる。
しかしこの場合欠陥そのものに関する情報はなお形成さ
れ得ない、つまり欠陥の大きさは側面で輝く光点により
表示され得ない。従ってまた、当該材料ウェブを分離し
なければならないか又は欠陥大きさが最小であるから同
ウェブをなお使用しうるかどうかを決定することもでき
ない。従ってウェブ側方から出射する光線を検出し、パ
ルスに変換し、評価装置の制御のために利用するのであ
る、光点が被検材料ウェブの片側又は両側から出射する
時間に、欠陥を定位しかつその大きさについて認識する
ことができる。被検材料ウェブの標準的表面汚染は欠陥
表示を形成しない。
れ得ない、つまり欠陥の大きさは側面で輝く光点により
表示され得ない。従ってまた、当該材料ウェブを分離し
なければならないか又は欠陥大きさが最小であるから同
ウェブをなお使用しうるかどうかを決定することもでき
ない。従ってウェブ側方から出射する光線を検出し、パ
ルスに変換し、評価装置の制御のために利用するのであ
る、光点が被検材料ウェブの片側又は両側から出射する
時間に、欠陥を定位しかつその大きさについて認識する
ことができる。被検材料ウェブの標準的表面汚染は欠陥
表示を形成しない。
移動光点は有利にはレーザー放射装置によって発生され
る、それというのもこのようにして比較的高いエネルギ
ーを与えることができるからである、つまり比較的幅広
い材料ウェブの走査が縁部への不利な効率損失なしに可
能になるからである。
る、それというのもこのようにして比較的高いエネルギ
ーを与えることができるからである、つまり比較的幅広
い材料ウェブの走査が縁部への不利な効率損失なしに可
能になるからである。
前記方法を実施するための装置は有利には、材料ウェブ
を移動光点で走査する少なくとも１個の検査装置、反射
光及び／又は透過光を受光する受光装置及び同装置に配
置された評価ステーションから構成され、被検材料ウェ
ブの側方に付加的に少なくとも１個の光電子増倍管が配
置されているという特徴を有する。
を移動光点で走査する少なくとも１個の検査装置、反射
光及び／又は透過光を受光する受光装置及び同装置に配
置された評価ステーションから構成され、被検材料ウェ
ブの側方に付加的に少なくとも１個の光電子増倍管が配
置されているという特徴を有する。
単一光電子増倍管を付加的に被検透明材料ウェブの縦側
に配置すればすでに内部気泡の検出はすでに可能になる
、つ−まり従来直列的に使用された検査装置、例えば西
独国特許出願公開第２４１１４０７号明細書記載の装置
は、該付加的光電子増倍管を介して制御され得、これに
よってガラスウェブ中の内部気泡及び混在物を検出する
。この場合有利には光電子増倍管は、被検材料ウェブ上
に移動光点に描かれる走査線の高さに配置されている。
に配置すればすでに内部気泡の検出はすでに可能になる
、つ−まり従来直列的に使用された検査装置、例えば西
独国特許出願公開第２４１１４０７号明細書記載の装置
は、該付加的光電子増倍管を介して制御され得、これに
よってガラスウェブ中の内部気泡及び混在物を検出する
。この場合有利には光電子増倍管は、被検材料ウェブ上
に移動光点に描かれる走査線の高さに配置されている。
それというのもガラスウェブ中に入射する光束は成程種
々の方面に反射されるけれども、走査線に平行な距離が
最短距離であって、該光束が材料側線の範囲でそこから
出射するすべての点のうち走査線の領域が最大輝度、ひ
いては最強にして明瞭なパルスを生ずるからである。
々の方面に反射されるけれども、走査線に平行な距離が
最短距離であって、該光束が材料側線の範囲でそこから
出射するすべての点のうち走査線の領域が最大輝度、ひ
いては最強にして明瞭なパルスを生ずるからである。
次に本発明を図面により詳述する。
材料ウェブ１は、モーター９によって駆動されるロール
８によって検査装置２の下に移動される。検査装置２は
反射受光装置３及び透過光゛受光装置３′を包含する。
８によって検査装置２の下に移動される。検査装置２は
反射受光装置３及び透過光゛受光装置３′を包含する。
両受光装置は評価ステーションキに接続されているが、
同ステーションはまた材料ウェブｌの側方に配置された
光電子増倍管５，５′ によっても負荷される。検査
装置２の中に配置されたレーザー放射装置１４は旋回す
る鏡車１５上に光点を結ぶ。
同ステーションはまた材料ウェブｌの側方に配置された
光電子増倍管５，５′ によっても負荷される。検査
装置２の中に配置されたレーザー放射装置１４は旋回す
る鏡車１５上に光点を結ぶ。
内部気泡の形の欠陥が材料ウェブ中に生じる場合には、
走査光線１６はもはや反射走査光線１６ として受光装
置３に達せず、大体において走査線７に沿う光束１１又
は１２として導出されて材料ウェブ１の端面として導か
れ、そこから該走査光線は光電子増倍管５，５ に入射
し、得られるパルスは評価ステーション牛に伝送される
。光電子増倍管５，５ はケーブル１７及び１８によっ
て評価ステーション牛に接続されている。同様に受光装
置３と評価ステーションΦとの間には電線１９が伸びて
いる。
走査光線１６はもはや反射走査光線１６ として受光装
置３に達せず、大体において走査線７に沿う光束１１又
は１２として導出されて材料ウェブ１の端面として導か
れ、そこから該走査光線は光電子増倍管５，５ に入射
し、得られるパルスは評価ステーション牛に伝送される
。光電子増倍管５，５ はケーブル１７及び１８によっ
て評価ステーション牛に接続されている。同様に受光装
置３と評価ステーションΦとの間には電線１９が伸びて
いる。
図面は本発明による検査装置の暗示斜視図である：
１・・・材料ウェブ、２・・・検査装置、３，３ ・・
・受光装置、４・・・評価ステーション、５，５ ・・
・光電子増倍管、６・・・端面、δ・・・ロール、９・
・・モーター、１０・・・光点、１２・・・走査線、１
３・・・内部気泡、１４・・・レーザー放射装置、１５
・・・鏡車、１６・・・走査光線、↓７．１８・・・ケ
ーブル、１９・・・電線。 手続補正書（方式） 昭和５７年１１月 ／７ 日 特許庁長官慇 １、事件の表示 昭和５７年特許願第１３１３５５号２
、発明の名称 透明材料ウェブの検査方法及び装置 ３、補正をする者 事件との関係：特許出願人 名称 フエルトミューレ・アクチェンゲゼルシャフ
ト４、復代理人 ５、 補正命令の日付 昭和５７年１０月２６日 （発送日）６、補正の対象 図 面
・受光装置、４・・・評価ステーション、５，５ ・・
・光電子増倍管、６・・・端面、δ・・・ロール、９・
・・モーター、１０・・・光点、１２・・・走査線、１
３・・・内部気泡、１４・・・レーザー放射装置、１５
・・・鏡車、１６・・・走査光線、↓７．１８・・・ケ
ーブル、１９・・・電線。 手続補正書（方式） 昭和５７年１１月 ／７ 日 特許庁長官慇 １、事件の表示 昭和５７年特許願第１３１３５５号２
、発明の名称 透明材料ウェブの検査方法及び装置 ３、補正をする者 事件との関係：特許出願人 名称 フエルトミューレ・アクチェンゲゼルシャフ
ト４、復代理人 ５、 補正命令の日付 昭和５７年１０月２６日 （発送日）６、補正の対象 図 面
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透明材料ウェブ、特に平板ガラスを該ウェブ中に包
含された異物又は気泡のような欠陥に対して検査するに
当り、材料ウェブを移動光点を用いて該ウェブ全幅に亘
って走査し、透過光及び／又は反射光を受光し、電気信
号に変換して評価することより成る透明材料ウェブの検
査方法において、移動光点が被検材料ウェブの色を有し
、走査サイクルの間付加的にウェブの側方から出射する
光線を検出し、電気パルスに変換して評価のために利用
することを特徴とする前記透明材料ウェブの検査方法。 ２、移動光点をレーザー放射装置によって発生させる特
許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、透明材料ウェブ、特に平板ガラスを該ウェブの色を
有する移動光点を用いて該ウェブ全幅に亘って走査し、
透過光及び／又は反射光を受光し、電気信号に変換して
評価することより成る、該材料ウェブをその中に包含さ
れた異物又は気泡のような欠陥に対して検査する方法を
実施するための、材料ウェブ（１）を移動光点を用いて
走査する少なくとも１個の検査装置（２）、反射光及び
／又は透過光を受光する受光装置（３）及びこの受光装
置に配置された評価ステーション（４）から成る装置に
おいて、被検材料ウェブ（１）の少なくとも一つの端面
の側方に少なくとも１個の光電子増倍管が付加的に配置
されていることを特徴とする前記装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3129808A DE3129808C2 (de) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | Verfahren zum Prüfen von transparenten Materialbahnen |
| DE31298087 | 1981-07-29 | ||
| DE32232152 | 1982-06-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5860242A true JPS5860242A (ja) | 1983-04-09 |
Family
ID=6137938
Family Applications (6)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57131359A Pending JPS5860246A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
| JP57131357A Pending JPS5860244A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法 |
| JP57131356A Pending JPS5860243A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ウエブの検査方法 |
| JP57131354A Pending JPS5837551A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 材料ウエブの検査方法及び装置 |
| JP57131355A Pending JPS5860242A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ウエブの検査方法及び装置 |
| JP57131358A Pending JPS5860245A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
Family Applications Before (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57131359A Pending JPS5860246A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
| JP57131357A Pending JPS5860244A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法 |
| JP57131356A Pending JPS5860243A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ウエブの検査方法 |
| JP57131354A Pending JPS5837551A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 材料ウエブの検査方法及び装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57131358A Pending JPS5860245A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (6) | JPS5860246A (ja) |
| DE (1) | DE3129808C2 (ja) |
| ZA (1) | ZA825433B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207951A (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-16 | Nec Corp | 透明物体欠陥検査装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3316172A1 (de) * | 1983-05-04 | 1984-11-08 | Mahlo GmbH & Co KG, 8424 Saal | Verfahren und vorrichtung zur kontrolle der farbaufnahmefaehigkeit von textilien |
| DE3341539A1 (de) * | 1983-11-17 | 1985-05-30 | Focke & Co, 2810 Verden | Einrichtung zur ueberwachung und steuerung von bahnen in verpackungsmaschinen |
| DE3565893D1 (en) * | 1984-12-14 | 1988-12-01 | Flachglas Ag | Method and device for inspecting transparent strip material, in particular flat glass ribbons |
| JPH0833354B2 (ja) * | 1987-08-28 | 1996-03-29 | 株式会社ニコン | 欠陥検査装置 |
| DE3806385A1 (de) | 1988-02-29 | 1989-09-07 | Feldmuehle Ag | Verfahren und vorrichtung zum pruefen von transparenten bahnen |
-
1981
- 1981-07-29 DE DE3129808A patent/DE3129808C2/de not_active Expired
-
1982
- 1982-07-28 ZA ZA825433A patent/ZA825433B/xx unknown
- 1982-07-29 JP JP57131359A patent/JPS5860246A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131357A patent/JPS5860244A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131356A patent/JPS5860243A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131354A patent/JPS5837551A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131355A patent/JPS5860242A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131358A patent/JPS5860245A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61207951A (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-16 | Nec Corp | 透明物体欠陥検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ZA825433B (en) | 1983-06-29 |
| JPS5860243A (ja) | 1983-04-09 |
| JPS5860246A (ja) | 1983-04-09 |
| JPS5837551A (ja) | 1983-03-04 |
| JPS5860245A (ja) | 1983-04-09 |
| JPS5860244A (ja) | 1983-04-09 |
| DE3129808C2 (de) | 1983-06-16 |
| DE3129808A1 (de) | 1983-02-17 |
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