JPS5837551A - 材料ウエブの検査方法及び装置 - Google Patents
材料ウエブの検査方法及び装置Info
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- JPS5837551A JPS5837551A JP57131354A JP13135482A JPS5837551A JP S5837551 A JPS5837551 A JP S5837551A JP 57131354 A JP57131354 A JP 57131354A JP 13135482 A JP13135482 A JP 13135482A JP S5837551 A JPS5837551 A JP S5837551A
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- Japan
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- web
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
- G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、透明材料ウェブ、特に平板ガラスを、同ウェ
ブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対して検
査するに当り、材料ウェブを移動する光点を用いてウェ
ブ全幅に亘り走査し、透過光及び／又は反射光を受光し
、電気信号に変換して評価することより成る透明材料ウ
ェブの検査方法及び装置に関する。
ブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対して検
査するに当り、材料ウェブを移動する光点を用いてウェ
ブ全幅に亘り走査し、透過光及び／又は反射光を受光し
、電気信号に変換して評価することより成る透明材料ウ
ェブの検査方法及び装置に関する。
本発明による透明材料ウェブとは、プラスチック、有機
ガラス、特に板ガラスのことである。外ガラスは、平板
ガラスとして無端バンドの形で多量に機械的に製造され
るので、当然欠陥源を可及的に小さくする努力がなされ
る結果平板ガラスの製造時には検査装置に対する要求が
大きい。従って本発明は平板ガラスの検査の例について
記載されるが、本発明はこれに限定されるものではな
い。
ガラス、特に板ガラスのことである。外ガラスは、平板
ガラスとして無端バンドの形で多量に機械的に製造され
るので、当然欠陥源を可及的に小さくする努力がなされ
る結果平板ガラスの製造時には検査装置に対する要求が
大きい。従って本発明は平板ガラスの検査の例について
記載されるが、本発明はこれに限定されるものではな
い。
例えばフロートガラス装置で平板ガラスを製造する際、
最大の注意を、払ってもなお依然として、大抵透明な微
細石のガラスウェブ中への侵入が起こる。同様に頻発す
る他の欠陥は、微細分布状態でメルト中に存在する気泡
である。これら二種類の欠陥は、一定の大きさに達する
と、完全にガラスによって一包含されていてもガラスウ
ェブの表面変形を惹起する。表面変形は、例えば西独国
特許出願公開第２４１１４０７号明細書に記載されてい
るような電子光学的検査装置及び方法によって極めて良
好に検出することができる。しかしこれは、欠陥がガラ
スウェブの表面を変化させない程小さい場合、特に微小
内部気泡（ｋｅｒｎｂｌ、ａｓｅ ）の場合には一該当
せず、従ってこれらの内部気泡は、特に被検表面が１０
０％清浄でない場合には常用装置によっては検出されな
い。
最大の注意を、払ってもなお依然として、大抵透明な微
細石のガラスウェブ中への侵入が起こる。同様に頻発す
る他の欠陥は、微細分布状態でメルト中に存在する気泡
である。これら二種類の欠陥は、一定の大きさに達する
と、完全にガラスによって一包含されていてもガラスウ
ェブの表面変形を惹起する。表面変形は、例えば西独国
特許出願公開第２４１１４０７号明細書に記載されてい
るような電子光学的検査装置及び方法によって極めて良
好に検出することができる。しかしこれは、欠陥がガラ
スウェブの表面を変化させない程小さい場合、特に微小
内部気泡（ｋｅｒｎｂｌ、ａｓｅ ）の場合には一該当
せず、従ってこれらの内部気泡は、特に被検表面が１０
０％清浄でない場合には常用装置によっては検出されな
い。
フロートガラスの検査は、連続的に動いて行く材料ウェ
ブの全幅を移動光点を用いて走査するこ七によって行な
われる。この移動光点は一般に、高い輝度を得るために
レーザー放射装置によって発生されるが、この際同放射
装置は旋回する金属化多角形体に向けられるので、光束
は同多角形体の高旋回数の結果として高速で平板ガラス
上を動きながら移動光点をつくる。光束の一部はすでに
ガラスウェブの表面で反射されており、他の一部分はガ
ラスウェブ中に入射し、ガラスウェブの下面によって反
射され、光線の大部分は屈折後にガラスウェブを透過す
る従って本発明は、材料ウェブの表面変形を惹起しない
透明材料ウェブ中の欠陥を検出するという課題を基礎に
している。特に所謂内部気泡、つまり材料ウェブの中心
部に程度の差こそあれ存在していて、極めて微細である
ためにその大きさと比較して厚い材料ウェブの層によっ
ておおわれている気泡を検出することが要求される。
ブの全幅を移動光点を用いて走査するこ七によって行な
われる。この移動光点は一般に、高い輝度を得るために
レーザー放射装置によって発生されるが、この際同放射
装置は旋回する金属化多角形体に向けられるので、光束
は同多角形体の高旋回数の結果として高速で平板ガラス
上を動きながら移動光点をつくる。光束の一部はすでに
ガラスウェブの表面で反射されており、他の一部分はガ
ラスウェブ中に入射し、ガラスウェブの下面によって反
射され、光線の大部分は屈折後にガラスウェブを透過す
る従って本発明は、材料ウェブの表面変形を惹起しない
透明材料ウェブ中の欠陥を検出するという課題を基礎に
している。特に所謂内部気泡、つまり材料ウェブの中心
部に程度の差こそあれ存在していて、極めて微細である
ためにその大きさと比較して厚い材料ウェブの層によっ
ておおわれている気泡を検出することが要求される。
この課題は、透明材料ウェブ、特性平板ガラスを、同ウ
ェブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対して
検査するに当り、材料ウェブを移動する光点を用いてウ
ェブ全幅に亘って走査し、透過光及び／又は反射光を受
光し、電気信号に変換して評価することより成る透明材
料ウェブの検査方法において、走査サイクルの間付加的
にウェブ側方から出射する光線を検出し、電気・ぐルス
に変換して、評価に利用することを特徴とする前記検査
方法によって解決される西独国特許出願公開第２４１１
４０７号明細書に記載された種類の欠陥検査装置は、移
動光点を用いて大抵比較的高速で動く材料ウェブの全幅
に亘り表面欠陥を走査するものである。該検査装置は、
透明材料の場合には、上面ならびに下面の欠陥を上から
の材料ウェブの走査で検出することのできる調節可能の
感度を有する。
ェブ中に包含された異物又は気泡のような欠陥に対して
検査するに当り、材料ウェブを移動する光点を用いてウ
ェブ全幅に亘って走査し、透過光及び／又は反射光を受
光し、電気信号に変換して評価することより成る透明材
料ウェブの検査方法において、走査サイクルの間付加的
にウェブ側方から出射する光線を検出し、電気・ぐルス
に変換して、評価に利用することを特徴とする前記検査
方法によって解決される西独国特許出願公開第２４１１
４０７号明細書に記載された種類の欠陥検査装置は、移
動光点を用いて大抵比較的高速で動く材料ウェブの全幅
に亘り表面欠陥を走査するものである。該検査装置は、
透明材料の場合には、上面ならびに下面の欠陥を上から
の材料ウェブの走査で検出することのできる調節可能の
感度を有する。
この場合には材料ウェブ中に包含された内部気泡及び微
細な包含異物は、表面の変形が行なう程強い光反射を行
なわない、つまりこれらの欠陥によって形成された信号
は、材料ウェブ上に存在する微細なダスト粒子によって
形成される信号と同じ位に微弱である。しかしこれらの
信号は検査装置の評価ステルジョンでカットされ、この
カットの限界値は信号のレベルについて調節ｕｆ能であ
る。従って感度は、表面汚染が欠陥信号を形成しなくな
るまで低下されてしまうしかしガラスウェブ中に内部気
泡又は微細石が包含されている場合には、入射光点は気
泡中で又は微細石の表面で反射されて材料ウェブ中を引
続き導かれる。従って、この場合には材料ウェブ自体は
光導体として働く。内部気泡、従って微細気泡及び包含
微細石は大体において球状を呈するので、それらに入射
する光束はその側方の動き、従って入射角の変化に応じ
て、少なくとも一回は材料ウェブ中の走査線に平行にも
反射され、このようにして右又は左の側縁に達し、そこ
で該光線は短時間輝いている明るい光点として見えるよ
うになる。
細な包含異物は、表面の変形が行なう程強い光反射を行
なわない、つまりこれらの欠陥によって形成された信号
は、材料ウェブ上に存在する微細なダスト粒子によって
形成される信号と同じ位に微弱である。しかしこれらの
信号は検査装置の評価ステルジョンでカットされ、この
カットの限界値は信号のレベルについて調節ｕｆ能であ
る。従って感度は、表面汚染が欠陥信号を形成しなくな
るまで低下されてしまうしかしガラスウェブ中に内部気
泡又は微細石が包含されている場合には、入射光点は気
泡中で又は微細石の表面で反射されて材料ウェブ中を引
続き導かれる。従って、この場合には材料ウェブ自体は
光導体として働く。内部気泡、従って微細気泡及び包含
微細石は大体において球状を呈するので、それらに入射
する光束はその側方の動き、従って入射角の変化に応じ
て、少なくとも一回は材料ウェブ中の走査線に平行にも
反射され、このようにして右又は左の側縁に達し、そこ
で該光線は短時間輝いている明るい光点として見えるよ
うになる。
しかしこの場合欠陥そのものに関する情報−はなお形成
され得ない、つまり欠陥大きさは側縁で輝く前記光点に
！つで表示され得ない。従ってまた当該材料ウェブを分
離しなければならないか又は欠陥大きさが最小であるか
ら同ウェブをなお使用しつるかどうかを決定することも
できない。従ってウェブ側方から出射する光線を検出し
、パルスに変換し４評価装置の制御に利用するのである
、つまり光点が被検材料ウェブの片側又は両側から出射
する瞬間に、欠陥を定位し、その大きさについて認識す
ることができる。被検材料ウェブの標準的表面汚染は欠
陥表示を形成しない。
され得ない、つまり欠陥大きさは側縁で輝く前記光点に
！つで表示され得ない。従ってまた当該材料ウェブを分
離しなければならないか又は欠陥大きさが最小であるか
ら同ウェブをなお使用しつるかどうかを決定することも
できない。従ってウェブ側方から出射する光線を検出し
、パルスに変換し４評価装置の制御に利用するのである
、つまり光点が被検材料ウェブの片側又は両側から出射
する瞬間に、欠陥を定位し、その大きさについて認識す
ることができる。被検材料ウェブの標準的表面汚染は欠
陥表示を形成しない。
移動光点は有利にはレーザー放射装置によって発生され
る、それというのもこのようにして比較的高いエネルギ
ーが与えられうるからである、つまり比較的幅広い材料
ウェブの走査が縁に至る不利な効率損失なしに可能にな
るからである。
る、それというのもこのようにして比較的高いエネルギ
ーが与えられうるからである、つまり比較的幅広い材料
ウェブの走査が縁に至る不利な効率損失なしに可能にな
るからである。
前記方法を実施するための装置は有利には、材料ウェブ
を移動する光点を用いて走査する少なくとも１個の検査
装置、反射光及び／又は透過光を受光する受光器及び回
器に配置された評価ステーションから構成され、被検材
料ウェブの側方に付加的に少なくとも１個の光電子増倍
管が配置されているという特徴を有する。
を移動する光点を用いて走査する少なくとも１個の検査
装置、反射光及び／又は透過光を受光する受光器及び回
器に配置された評価ステーションから構成され、被検材
料ウェブの側方に付加的に少なくとも１個の光電子増倍
管が配置されているという特徴を有する。
単−光電、子増倍管を付加的に被検透明材料つ装置、例
えば西独国特許出願公開第２４１１４０７号明細書によ
る装置：＝、付加的光電子増倍管を介して調節され得、
これによってガラスウェブ中の内部気泡及び混在物を検
出する。この場合光電子増倍管は有利には、移動光点に
よって被検材料ウェブ上に描かれる走査線の高さに配置
されている、それというのもガラスウェブに入射する光
線は成程種々の方面に反射されるけれども、走査線に平
行な距離が最短距離であって、該光線が材料側縁の範囲
でそこから出射するすべての点のうち走査線（・′）領
域が最大輝度、ひいては最強にして最も明瞭なパルスを
生ずるからである。
えば西独国特許出願公開第２４１１４０７号明細書によ
る装置：＝、付加的光電子増倍管を介して調節され得、
これによってガラスウェブ中の内部気泡及び混在物を検
出する。この場合光電子増倍管は有利には、移動光点に
よって被検材料ウェブ上に描かれる走査線の高さに配置
されている、それというのもガラスウェブに入射する光
線は成程種々の方面に反射されるけれども、走査線に平
行な距離が最短距離であって、該光線が材料側縁の範囲
でそこから出射するすべての点のうち走査線（・′）領
域が最大輝度、ひいては最強にして最も明瞭なパルスを
生ずるからである。
検査を実施するための好ましい装置は、被検材料ウェブ
の端面に並置される光電子増倍管が被検材料ウェブの縦
縁の上部に配置されており、鏡面が同縦縁の下部に配置
されているという特徴を有する。
の端面に並置される光電子増倍管が被検材料ウェブの縦
縁の上部に配置されており、鏡面が同縦縁の下部に配置
されているという特徴を有する。
内部気泡又は混在物によって材料ウェブ中を導かれる光
は材料ウェブの未加工縁から出射し、ここで制御される
。つまり光は側方及び上下方向へと進むので、光電子増
倍管を完全に側方配置するとその捕捉に難点が生じる。
は材料ウェブの未加工縁から出射し、ここで制御される
。つまり光は側方及び上下方向へと進むので、光電子増
倍管を完全に側方配置するとその捕捉に難点が生じる。
しかし縦線下部に鏡面を単に配置することによって、材
料□ウェブの未加工端面から出射する光量の比較的大き
な部分も該鏡面によって捕捉され、材料ウェブ上部に配
置され更に上方へ直接出射する光でも負荷される光電子
増倍管に反射される。
料□ウェブの未加工端面から出射する光量の比較的大き
な部分も該鏡面によって捕捉され、材料ウェブ上部に配
置され更に上方へ直接出射する光でも負荷される光電子
増倍管に反射される。
これによって光の捕捉は著しく改善される。
次に本発明を図面により詳述する。
材料ウェブ１は、モーター９によって駆動されるロール
８によって検査装置２の下に移動される。検査装置２は
反射光受光装置３及び透過光受光装置３ を包含する。
８によって検査装置２の下に移動される。検査装置２は
反射光受光装置３及び透過光受光装置３ を包含する。
両受光装置は評価ステーションキに接続されているが、
同ステーションはまた材料ウェブ１の側方に配置された
光電子増倍管５，５″ によっても負荷される。
同ステーションはまた材料ウェブ１の側方に配置された
光電子増倍管５，５″ によっても負荷される。
検査装置２の中に配置されたレーザー放射装置１４は旋
回する鏡車１５上に光点１０を結ぶ。
回する鏡車１５上に光点１０を結ぶ。
内部気泡の形の欠陥が材料ウェブ１中に生じる場合には
、走査光１ｓ１６はもはや反射走査光線１６ として受
光装置３に達せず、大体において走査ＩＩ！Ａ７に沿う
光束１１又は１２として導出されて材料ウェブｌの端面
６に導かれ、そこから走査光線は光電子増倍管５，５′
に入射し、得られる。ａルスは評価ステーションキに伝
送される。光電子増倍管５，５ はケーブル１７及び１
８によって評価ステーション仝に接続されている。同様
に受光装置３と評価ステーション４との間には電線１９
が伸びている。
、走査光１ｓ１６はもはや反射走査光線１６ として受
光装置３に達せず、大体において走査ＩＩ！Ａ７に沿う
光束１１又は１２として導出されて材料ウェブｌの端面
６に導かれ、そこから走査光線は光電子増倍管５，５′
に入射し、得られる。ａルスは評価ステーションキに伝
送される。光電子増倍管５，５ はケーブル１７及び１
８によって評価ステーション仝に接続されている。同様
に受光装置３と評価ステーション４との間には電線１９
が伸びている。
走査光、１１１６が内部気泡１３に入射すると、光は内
部気泡によって転向されて材料ウェブ１の端面６の範囲
で出射する。この出射光線は限定されていないので、材
料、ウェブ１の縁部範囲には主として水平方向に調整さ
れる鏡２７及び主として垂直方向に調整される鏡２δが
可動のホルダ２９上に配置されており、この際二つの鏡
は、これらの鏡に入射する光が材料ウェブの縁部範囲の
上に配置された光電子増倍管５に投射されるように調整
される。
部気泡によって転向されて材料ウェブ１の端面６の範囲
で出射する。この出射光線は限定されていないので、材
料、ウェブ１の縁部範囲には主として水平方向に調整さ
れる鏡２７及び主として垂直方向に調整される鏡２δが
可動のホルダ２９上に配置されており、この際二つの鏡
は、これらの鏡に入射する光が材料ウェブの縁部範囲の
上に配置された光電子増倍管５に投射されるように調整
される。
第１図は本発明による検査装置の略示斜視図であり、第
２図は縁における鏡装置の詳細断面図である。 ｌ・・・材料ウェブ、２・・・検査装置、３，３ ・・
・受光装置、Φ・・・評価ステーション、５，５ ・・
・光電子増倍管、６・・・端面、１０・・・光点、１３
・・・内部気泡、１４・・・レーザー放射装置、２７，
２８・・・鏡
２図は縁における鏡装置の詳細断面図である。 ｌ・・・材料ウェブ、２・・・検査装置、３，３ ・・
・受光装置、Φ・・・評価ステーション、５，５ ・・
・光電子増倍管、６・・・端面、１０・・・光点、１３
・・・内部気泡、１４・・・レーザー放射装置、２７，
２８・・・鏡
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透明材料ウェイ、特に平板ガラスを該ウェブ中に包
含された異物又は気泡のような欠陥に対して検査するに
当り、材料ウェブを移動光点を用いて該ウェブ全幅に亘
って走査し、透過光及び／又は反射光を受光し、電気信
号に変換して評価することより成る透明材料ウェブの検
査方法において、走査サイクルの間付加的にウェブの側
方から出射する光線を検出し、電気・ξルスに変換して
、評価するために利用することを特徴とする前記透明材
料ウェブの検査方法。 ２、移動光点をレーザー放射袋１置によって発生させる
特許請求の範囲第１項、記載の方法。 ３、透明材料ウェブ、特に平板ガラスを移動光点を用い
て該ウェブ全幅に亘って走査し、透変換して評価するこ
とより成る、該材料ウェブをその中に包含された異物又
は気泡のような欠陥に対して検査する方法を実施するた
めの、材料ウェブ（１）を移動光点を用いて走査する少
なくとも１個の検査装置（２）、反射光及び／透過光を
受光する受光装置（３）、及び受光装置に配置されたＰ
＃Ｉステーション（４）から成る装置において、被検材
料ウェブ（１）の少なくとも一つの端面の側方に少なく
とも１個の光電子増倍管が付加的に配置されていること
を特徴とする前記装置。 牛、光電子増倍管（５）が、移動光点（１ｏ）に、よっ
て被検材料ウェブ上に描かれる走査線（７）の高さに配
置されている特許請求の範囲第３項記載の装置。 ５ 光電子増倍管（５，５）が、被検透明材料ウェブの
縦縁上部に配置されており、同縦縁下部に少なくとも１
個の鏡面が配置されている特許請求の範囲第３又は４項
記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3129808A DE3129808C2 (de) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | Verfahren zum Prüfen von transparenten Materialbahnen |
| DE31298087 | 1981-07-29 | ||
| DE32232152 | 1982-06-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5837551A true JPS5837551A (ja) | 1983-03-04 |
Family
ID=6137938
Family Applications (6)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57131354A Pending JPS5837551A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 材料ウエブの検査方法及び装置 |
| JP57131356A Pending JPS5860243A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ウエブの検査方法 |
| JP57131359A Pending JPS5860246A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
| JP57131357A Pending JPS5860244A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法 |
| JP57131355A Pending JPS5860242A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ウエブの検査方法及び装置 |
| JP57131358A Pending JPS5860245A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
Family Applications After (5)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57131356A Pending JPS5860243A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ウエブの検査方法 |
| JP57131359A Pending JPS5860246A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
| JP57131357A Pending JPS5860244A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法 |
| JP57131355A Pending JPS5860242A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ウエブの検査方法及び装置 |
| JP57131358A Pending JPS5860245A (ja) | 1981-07-29 | 1982-07-29 | 透明材料ストリツプの検査法及び検査装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (6) | JPS5837551A (ja) |
| DE (1) | DE3129808C2 (ja) |
| ZA (1) | ZA825433B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6457154A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Nikon Corp | Defect inspecting apparatus |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3316172A1 (de) * | 1983-05-04 | 1984-11-08 | Mahlo GmbH & Co KG, 8424 Saal | Verfahren und vorrichtung zur kontrolle der farbaufnahmefaehigkeit von textilien |
| DE3341539A1 (de) * | 1983-11-17 | 1985-05-30 | Focke & Co, 2810 Verden | Einrichtung zur ueberwachung und steuerung von bahnen in verpackungsmaschinen |
| DE3565893D1 (en) * | 1984-12-14 | 1988-12-01 | Flachglas Ag | Method and device for inspecting transparent strip material, in particular flat glass ribbons |
| JPS61207951A (ja) * | 1985-03-12 | 1986-09-16 | Nec Corp | 透明物体欠陥検査装置 |
| DE3806385A1 (de) | 1988-02-29 | 1989-09-07 | Feldmuehle Ag | Verfahren und vorrichtung zum pruefen von transparenten bahnen |
-
1981
- 1981-07-29 DE DE3129808A patent/DE3129808C2/de not_active Expired
-
1982
- 1982-07-28 ZA ZA825433A patent/ZA825433B/xx unknown
- 1982-07-29 JP JP57131354A patent/JPS5837551A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131356A patent/JPS5860243A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131359A patent/JPS5860246A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131357A patent/JPS5860244A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131355A patent/JPS5860242A/ja active Pending
- 1982-07-29 JP JP57131358A patent/JPS5860245A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6457154A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Nikon Corp | Defect inspecting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5860246A (ja) | 1983-04-09 |
| JPS5860242A (ja) | 1983-04-09 |
| DE3129808A1 (de) | 1983-02-17 |
| JPS5860244A (ja) | 1983-04-09 |
| DE3129808C2 (de) | 1983-06-16 |
| ZA825433B (en) | 1983-06-29 |
| JPS5860243A (ja) | 1983-04-09 |
| JPS5860245A (ja) | 1983-04-09 |
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