CH535430A - Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln

Info

Publication number
CH535430A
CH535430A CH231471A CH231471A CH535430A CH 535430 A CH535430 A CH 535430A CH 231471 A CH231471 A CH 231471A CH 231471 A CH231471 A CH 231471A CH 535430 A CH535430 A CH 535430A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
dust
particles
detection
Prior art date
Application number
CH231471A
Other languages
English (en)
Inventor
Fred Dr Mast
Rossi Renato
Roche Ulrich Dr La
A Knus Jean
Original Assignee
Gretag Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gretag Ag filed Critical Gretag Ag
Priority to CH231471A priority Critical patent/CH535430A/de
Priority to US00224721A priority patent/US3767306A/en
Priority to CA134,404A priority patent/CA954717A/en
Priority to DE19722206597 priority patent/DE2206597A1/de
Priority to FR7204841A priority patent/FR2125896A5/fr
Priority to GB682172A priority patent/GB1376017A/en
Publication of CH535430A publication Critical patent/CH535430A/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
    • G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
CH231471A 1971-02-17 1971-02-17 Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln CH535430A (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH231471A CH535430A (de) 1971-02-17 1971-02-17 Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln
US00224721A US3767306A (en) 1971-02-17 1972-02-09 Method and apparatus for detecting dust particles by partial embedment in a layer whose surface is deformed by the particles and measuring radiation scattered by the particles with a schieren optical system
CA134,404A CA954717A (en) 1971-02-17 1972-02-10 Method and apparatus for detecting dust particles
DE19722206597 DE2206597A1 (de) 1971-02-17 1972-02-11 Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln
FR7204841A FR2125896A5 (de) 1971-02-17 1972-02-14
GB682172A GB1376017A (en) 1971-02-17 1972-02-14 Method and apparatus for detecting particles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH231471A CH535430A (de) 1971-02-17 1971-02-17 Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH535430A true CH535430A (de) 1973-03-31

Family

ID=4230893

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH231471A CH535430A (de) 1971-02-17 1971-02-17 Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3767306A (de)
CA (1) CA954717A (de)
CH (1) CH535430A (de)
DE (1) DE2206597A1 (de)
FR (1) FR2125896A5 (de)
GB (1) GB1376017A (de)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4121247A (en) * 1977-04-21 1978-10-17 Eastman Kodak Company Population and profile display of transparent bodies in a transparent mass
US4215939A (en) * 1977-12-22 1980-08-05 Owens-Illinois, Inc. Glue drop detector
DE2932461A1 (de) * 1979-08-10 1981-02-26 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur beurteilung der qualitaet des systems wischblatt/scheibenoberflaeche
US4402607A (en) * 1980-05-16 1983-09-06 Gca Corporation Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces
US4441124A (en) * 1981-11-05 1984-04-03 Western Electric Company, Inc. Technique for inspecting semiconductor wafers for particulate contamination
US4863268A (en) * 1984-02-14 1989-09-05 Diffracto Ltd. Diffractosight improvements
US4636073A (en) * 1984-10-31 1987-01-13 International Business Machines Corporation Universal calibration standard for surface inspection systems
US5206700A (en) * 1985-03-14 1993-04-27 Diffracto, Ltd. Methods and apparatus for retroreflective surface inspection and distortion measurement
US5061068A (en) * 1990-02-22 1991-10-29 Research Triangle Institute Process for detection of sub-micron particulate contamination on a bare (planar) substrate
US5168322A (en) * 1991-08-19 1992-12-01 Diffracto Ltd. Surface inspection using retro-reflective light field
US5745238A (en) * 1992-12-22 1998-04-28 International Business Machines Corporation Apparatus and method for non-destructive inspection and/or measurement
JPH06349916A (ja) * 1993-04-30 1994-12-22 Applied Materials Inc 基板上の粒子検出方法及び装置
JP3168961B2 (ja) * 1997-10-06 2001-05-21 住友電気工業株式会社 ダイヤモンド基板及びダイヤモンド基板の評価方法並びにダイヤモンド表面弾性波フィルタ
JP3919149B2 (ja) * 2000-03-24 2007-05-23 パイオニア株式会社 光ヘッド装置
DE10221945C1 (de) * 2002-05-13 2003-07-31 Schott Glas Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung von Fehlstellen in einem kontinuierlich fortbewegten Band aus transparentem Material
FR2993372B1 (fr) * 2012-07-13 2015-04-10 Commissariat Energie Atomique Procede et systeme de reconstruction de proprietes optiques d'objets diffractants baignant dans un milieu liquide
CN103604731A (zh) * 2013-11-25 2014-02-26 中煤科工集团重庆研究院有限公司 抗污染的粉尘检测机构
JP7309640B2 (ja) * 2020-03-18 2023-07-18 株式会社東芝 光学検査装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2604809A (en) * 1948-06-01 1952-07-29 Mitchell Reginald Fawn Optical means for evaluating surface finish by measurement of differential light scattering in a schlieren type optical system
US2850239A (en) * 1952-08-16 1958-09-02 American Optical Corp Counting device
US2950648A (en) * 1954-03-03 1960-08-30 Georgia Tech Res Inst Microscope for viewing substantially transparent objects
US2918216A (en) * 1956-08-31 1959-12-22 Rca Corp Particle counting apparatus
US2977847A (en) * 1957-04-29 1961-04-04 Univ Ohio State Res Found Optical system for microscopes or similar instruments
US3335413A (en) * 1963-12-19 1967-08-08 Gen Electric Wide band optical recording and narrow band reproduction on a thermo-plastic medium
SE315760B (de) * 1966-04-27 1969-10-06 Saab Ab

Also Published As

Publication number Publication date
DE2206597A1 (de) 1972-08-31
CA954717A (en) 1974-09-17
US3767306A (en) 1973-10-23
GB1376017A (en) 1974-12-04
FR2125896A5 (de) 1972-09-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT327823B (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen von flussigkeiten
AT341460B (de) Verfahren und vorrichtung zur wiedergewinnung von kunststoffen
AT331139B (de) Verfahren und vorrichtung zum raffen von zylindrischen hullen
AT334492B (de) Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen umwandlung von kohlenwasserstoffen
AT317028B (de) Verfahren und Einrichtung zur Förderung von gashaltigen Flüssigkeiten
AT336518B (de) Verfahren und vorrichtung zur begasung von flussigkeiten
CH535430A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung von staubförmigen Partikeln
CH529347A (de) Verfahren zur Feststellung von diskreten Teilchen in einer Flüssigkeit und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH535593A (de) Verfahren und Vorrichtung zum Vermischen von Gasen und Flüssigkeiten
CH544295A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Mengenmessung von Schüttgut
AT327968B (de) Vorrichtung und verfahren zur reduktion von teilchenformigem metallerz zu metallteilchen
AT322589B (de) Verfahren und vorrichtung zur reduktion von zerkleinertem erz
CH532780A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Analyse von Flüssigkeiten
AT322590B (de) Verfahren und vorrichtung zur reduktion von metallerzteilchen
CH546030A (de) Verfahren und vorrichtung zur aufheizung von plasma
AT338163B (de) Verfahren und vorrichtung zur verarbeitung von schlacken
CH558661A (de) Verfahren und vorrichtung zum filtern von luft.
CH543360A (de) Verfahren zur Verringerung der Dichte von Kunststoffteilchen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
CH545184A (de) Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Verarbeitung von Kunststoffen
AT300542B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Hertellung von Faservliesen
AT328469B (de) Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen filtration von flussigkeiten
AT303073B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Filtration von Suspensionen
AT326802B (de) Verfahren und vorrichtung zur erwarmung von flüssigkeiten
CH513441A (de) Verfahren und Einrichtung zur Rückgewinnung von Tonerteilchen
AT327253B (de) Verfahren und vorrichtung zur verhuttung von eisenerzen

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased