JP2003328952A - ドライ真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 日常的なメンテナンスを不要としてランニン
グコストの上昇を回避し、しかも廃油処理の問題も生ず
ることのない、吸収式冷凍機の抽気ポンプとして利用で
きるダイアフラム式真空ポンプを提供する。 【解決手段】 ダイアフラム式ドライ真空ポンプＡであ
って、ダイアフラム３がポンプヘッド内面倣い型ダイア
フラムとされ、また吸気弁機構１０および排気弁機構２
０は、ポンプヘッド２の外表面２ｂに配設されている。
これにより、ダイアフラム３が上死点に到達した時点に
おけるデッドスペースＤが著しく小さくなって、到達真
空度が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はドライ真空ポンプに
関する。さらに詳しくは、到達真空度を向上できるダイ
アフラム式ドライ真空ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】吸収式冷凍機においては蒸発器および吸
収器を収納している胴内を所定の真空度とするため、抽
気ラインにより前記胴内の抽気がなされている（図７参
照）。

【０００３】この抽気ラインに設けられている抽気ポン
プには、従来、抽気端における圧力と到達真空度との関
係から、一般的にウェット真空ポンプが用いられてい
る。

【０００４】しかしながら、ウェット真空ポンプは前記
胴内の不凝縮ガスを抽気する際、同胴内の飽和水蒸気も
同時に吸引し、その吸引された飽和水蒸気が抽気ポンプ
内で凝縮するため、抽気ポンプに用いられている潤滑油
を白濁させて到達真空度を低下させるといった問題や、
潤滑不良により回転部が固着するといった問題などが生
じている。

【０００５】これらの問題の発生を未然に防止するた
め、吸収式冷凍機においては、抽気ポンプに対して潤滑
油の点検・交換および分解点検が日常的になされてい
る。それがため、吸収式冷凍機のランニングコストの上
昇を招来するという別の問題が発生している。

【０００６】また、交換した潤滑油、つまり廃油をいか
に処理するかも環境保全上、重要な課題となっている。

【０００７】かかる課題を解決すべく抽気ポンプをウェ
ット真空ポンプからダイアフラム式ドライ真空ポンプに
転用することも考えられるが、既存のダイアフラム式ド
ライ真空ポンプは、図１１に示すように、ダイアフラム
３´が上死点に達したとき（同図（ａ）参照）に、ポン
プヘッド２´との間で画成されるポンプ室Ｆ´のデッド
スペースＤ´が大きくなるため、所望の到達真空度が得
られないという問題がある。なお、同図（ｂ）は、ダイ
アフラム３´が下死点にあるときを示す。また、各符号
４´、１０´、２０´はそれぞれコネクティングロッ
ド、吸気弁、排気弁を示す。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、日常的なメンテ
ナンスを不要としてランニングコストの上昇を回避し、
しかも廃油処理の問題も生ずることのない、吸収式冷凍
機の抽気ポンプとして利用できるダイアフラム式真空ポ
ンプを提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のドライ真空ポン
プは、ダイアフラム式ドライ真空ポンプであって、ダイ
アフラムがポンプヘッド内面倣い型ダイアフラムとされ
てなることを特徴とする。

【００１０】本発明のドライ真空ポンプにおいては、吸
気弁機構および排気弁機構が、ポンプヘッドの外表面に
配設されてなるのが好ましい。

【００１１】また、本発明のドライ真空ポンプにおいて
は、吸気弁機構が、枠部と、該枠部からその中心に向け
て延伸された弁体と、該弁体の先端部に形成された孔閉
塞部とを有する弁を備え、前記孔閉塞部が、排気工程に
おいて吸気連通孔を塞ぐようにされてもよく、また排気
弁機構が、枠部と、該枠部からその中心に向けて延伸さ
れた弁体と、該弁体の先端部に形成された孔閉塞部とを
有する弁を備え、前記孔閉塞部が、吸気工程において排
気連通孔を塞ぐようにされてもよい。

【００１２】あるいは、本発明のドライ真空ポンプにお
いては、吸気弁機構が、球形の弁体と、該弁体を所定範
囲で移動可能に保持する吸気弁保持手段を備え、前記弁
体が、排気工程において吸気連通孔を塞ぐようにされて
もよく、また排気弁機構が、球形の弁体と、該弁体を所
定範囲で移動可能に保持する排気弁保持手段を備え、前
記弁体が、吸気工程において排気連通孔を塞ぐようにさ
れてもよい。

【００１３】さらに、本発明のドライ真空ポンプにおい
ては、ダイアフラムが、中央に駆動部との連結部が形成
された芯材を有する、周辺部に変形部が形成されてなる
円板状部材とされてなるのが好ましい。

【００１４】

【作用】本発明のドライ真空ポンプは、前記の如く構成
されているので、ポンプ室のデッドスペースが著しく小
さくなって到達真空度が向上する。

【００１５】また、本発明のドライ真空ポンプは、到達
真空度が向上しているので、従来、到達真空度の関係か
らウェット真空ポンプが用いられている機器にもドライ
真空ポンプを適用できて、そのメンテナンスの簡素化が
図られる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。

【００１７】実施形態１ 図１に、本発明の実施形態１に係るドライ真空ポンプを
示す。

【００１８】ドライ真空ポンプ（以下、単にポンプとい
う）Ａは、内径が軸方向各位置で多段に変わる円筒体形
状とされたケーシング１と、ケーシング１に一端開口を
塞ぐように装着されるポンプヘッド２と、ポンプヘッド
２との間でポンプ室Ｆを画成するケーシング１の軸方向
に往復動可能なダイアフラム３と、電動機（図示省略）
に駆動されてダイアフラム３をケーシング１の軸方向に
往復動させるコネクティングロッド４とを主要構成要素
として備えてなるものとされる。

【００１９】ケーシング１は、ダイアフラム３を往復動
可能に収納するダイアフラム収納部１ａを有するととも
に、そのポンプヘッド２側の端部にはポンプヘッド２と
の間でダイアフラム３の周縁部分を全周に亘って挟み込
むようにして固定するダイアフラム固定部１ｂが設けら
れるものとされる。

【００２０】ポンプヘッド２は、図１に示すように、ダ
イアフラム３との間でポンプ室Ｆを画成する一方表面
（ケーシング１側表面、以下内面という）２ａが、例え
ば球面状に形成された厚肉の円板状部材とされる。

【００２１】また、ポンプヘッド２には、ポンプ室Ｆ内
部と外部とを連通させるようにして吸気孔５および排気
孔６が穿設されており、他方表面側（反ケーシング１
側）には、吸気孔５および排気孔６をダイアフラム３の
往復動に応じて開閉するための吸気弁機構１０および排
気弁機構２０を収納する弁機構収納部２ｂが形成されて
いる。

【００２２】ダイアフラム３は、金属製のコア（芯材）
３ａを内部に包み込むようにクロロプレンゴム、ニトリ
ルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴムおよびフッ
素ゴムなどの合成ゴムを円形薄板状に、外径側に所定幅
の変形部３ｂが形成されるよう成型してなるものとされ
る。

【００２３】コア３ａは、ダイアフラム３が上死点にあ
るとき（図２参照）にダイアフラム３のポンプヘッド２
側の面、つまりポンプ室Ｆを画成するようにポンプヘッ
ド内面２ａと対向する面（以下、ポンプヘッド対向面と
いう）３ｃがポンプヘッド内面２ａに沿うように、一方
表面（ポンプヘッド２側の面）がポンプヘッド２の内面
２ａと同程度の曲率を有する球面状に形成された円板状
の部材とされる。

【００２４】また、コア３ａの他方表面側には、コネク
ティングロッド４の直動部４ａにコア３ａを取り付け可
能なように、直動部４ａに設けられた雄ネジと螺合する
雌ネジ穴３ｄを有するボス部３ｅが一体的に形成されて
いる。つまり、コア（芯材）３ａには駆動部との連結部
が形成されている。

【００２５】変形部３ｂは、周縁部分がケーシング１の
ダイアフラム固定部１ｂとポンプヘッド２との間で挟み
込まれるようにして全周に亘って気密に固定されてい
る。

【００２６】図２に、ポンプＡのダイアフラム３が上死
点にある場合を示す。図３に、ポンプＡのダイアフラム
３が下死点にある場合を示す。

【００２７】図２に示すように、ダイアフラム３は、上
死点においてポンプヘッド対向面３ｃがポンプヘッド内
面２ａに沿うようにされ、これにより上死点においてポ
ンプ室Ｆの容積をできるかぎり小さくすることができ
る。つまり、ダイアフラム３が上死点にあるときのポン
プ室Ｆの容積であるデッドスペースＤが、可能なかぎり
小さくなるようにされている。

【００２８】なお、このように、ポンプヘッド対向面３
ｃがポンプヘッド内面２ａ沿うよう形成されて、上死点
においてポンプ室ＦのデッドスペースＤを可能なかぎり
小さくするようにされているダイアフラム３を、本明細
書ではポンプヘッド内面倣い型ダイアフラムということ
にする。

【００２９】コネクティングロッド４は、電動機出力軸
（不図示である）に装着される偏心軸４ｂにより回転運
動を往復運動に変え、ダイアフラム３に往復運動を伝え
るものとされる。なお、図中、符号４ｃはバランスウエ
イトを示す。

【００３０】図４に、吸気弁機構１０および排気弁機構
２０に使用される吸気弁１１および排気弁２１を示す。
なお、吸気弁１１と排気弁２１とは同一の形状・構成と
されるので、ここでは１つの弁のみを図示し、両者を一
括して弁と称して説明する。

【００３１】弁１１、２１は合成ゴムからなり、円形の
枠部１１ａ、２１ａと、枠部１１ａ、２１ａの円周上の
一箇所を起点に中央まで延びるように形成される、先端
に円板状の孔閉塞部１１ｂ、２１ｂが設けられた弁体１
１ｃ、２１ｃとを有する薄板状部材とされる。なお、実
施形態１では、枠部１１ａ、２１ａは円形とされている
が、枠部１１ａ、２１ａの形状は前記に限定されるもの
ではなく、各種形状とでき例えば四角形とすることもで
きる。

【００３２】図５および図６に、吸気弁機構１０および
排気弁機構２０の詳細を示す。図５はポンプＡの排気行
程における吸気弁機構１０および排気弁機構２０を示
し、図６は吸気行程における吸気弁機構１０および排気
弁機構２０を示している。

【００３３】吸気弁機構１０は、吸気弁１１と、吸気弁
１１をポンプヘッド２の外面２ｂ側に留める吸気弁リテ
ーナ１２とからなる逆止弁とされている。

【００３４】吸気弁リテーナ１２は、例えばアルミ合金
からなる円形厚板部材とされ、弁体１１ｃを揺動可能に
収納する弁室１２ａと、弁室１２ａの周囲に形成される
弁枠押圧部１２ｂと、一端が弁室１２ａに開口し他端が
反ポンプヘッド２側表面に開口して弁室１２ａを外部と
連通させる吸気連通孔１２ｃと、を有するものとされ
る。

【００３５】弁室１２ａは、例えばポンプヘッド２側表
面を吸気孔５をカバーするように円形に刳りぬくように
して形成される。弁枠押圧部１２ｂは、吸気弁１１の枠
部１１ａと全周に亘って密着するように当接し、枠部１
１ａをポンプヘッド外面２ｂに向かって押圧して枠部１
１ａとポンプヘッド外面２ｂとの間隙をシールする。

【００３６】また、排気弁機構２０は、前掲の排気弁２
１と、排気弁２１をポンプヘッド２の外面２ｂ側に留め
る排気弁リテーナ２２とからなる逆止弁とされている。

【００３７】排気弁リテーナ２２は、例えばアルミ合金
からなる円形厚板部材とされ、弁体２１ｃを揺動可能に
収納する弁室２２ａと、弁室２２ａの周囲に形成される
弁枠押圧部２２ｂと、一端が弁室２２ａに開口し他端が
反ポンプヘッド２側表面に開口する排気連通孔２２ｃと
を有するものとされる。

【００３８】弁室２２ａは、例えばポンプヘッド２側表
面を排気孔６をカバーするように円形に刳りぬくように
して形成される。弁枠押圧部２２ｂは、排気弁２１の枠
部２１ａと全周に亘って密着するように当接し、枠部２
１ａをポンプヘッド外面２ｂに向かって押圧して枠部２
１ａとポンプヘッド外面２ｂとの間隙をシールする。

【００３９】図５に示すように、吸気弁機構１０におい
ては、ポンプＡの排気行程においてポンプ室Ｆ内部の圧
力が外部圧力を上回り弁体１１ｃがポンプヘッド外面２
ｂから離れる方向に揺動したときに、孔閉塞部１１ｂに
よって閉塞される位置に吸気連通孔１２ｃが配設されて
いる。一方、排気弁機構２０においては、ポンプＡの排
気行程においてポンプ室Ｆ内部の圧力が外部圧力を上回
り弁体２１ｃがポンプヘッド外面２ｂから離れる方向に
揺動したときに、孔閉塞部２１ｂが排気連通孔２２ｃを
閉塞しないよう弁室２２ａの深さおよび排気連通孔２２
ｃの径が設定されている。

【００４０】また、図６に示すように、吸気弁機構１０
においては、吸気行程において外部圧力がポンプ室内部
の圧力を上回り弁体１１ｃがポンプヘッド外面２ｂ側に
揺動したときに、孔閉塞部１１ｂが吸気孔５を閉塞しな
い位置に吸気弁１１が吸気弁リテーナ１２により留めら
れている。一方、排気弁機構２０においては、吸気行程
において外部圧力がポンプ室内部の圧力を上回り弁体２
１ｃがポンプヘッド外面２ｂ側に揺動したときに、孔閉
塞部２１ｂが排気孔６を閉塞する位置に排気弁２１が排
気弁リテーナ２２によって留められている。

【００４１】このように、実施形態１のポンプＡは、上
死点においてダイアフラム３のポンプヘッド対向面３ｃ
がポンプヘッド内面２ａに沿うよう形成され、また逆止
弁である吸気弁機構１０および排気弁機構２０、特に吸
気弁機構１０がポンプヘッド内面２ａではなくポンプヘ
ッド外面２ｂに設けられるので、ダイアフラム３をポン
プヘッド２の内面２ｂに倣わせることができ、上死点に
おけるポンプ室Ｆの容積を極限まで小さくすることが可
能となる。これによって、デッドスペースＤを従来より
も著しく小さくすることができるので、ダイアフラム式
のドライ真空ポンプでありながら高真空（例えば、絶対
圧力で約１０ｍｍＨｇ）を達成することが可能となる。

【００４２】したがって、図７に示すような吸収式冷凍
機Ｂの抽気ラインａに設けられる抽気ポンプｂとして、
一般に使用されるウェット型真空ポンプに代えてポンプ
Ａを使用した場合にも、所要の真空度を維持することが
可能となる。また、ウェット型真空ポンプを使用する場
合に問題となる、飽和水蒸気の吸引による潤滑油の劣化
や回転部の固着を回避することができ、メンテナンスが
容易となる。

【００４３】実施形態２ 図８および図９に、本発明の実施形態２に係るドライ真
空ポンプの要部を断面図で示し、このドライ真空ポンプ
（以下、単にポンプという）Ａ１は、実施形態１の吸気
弁機構１０および排気弁機構２０を改変し、吸気弁機構
３０および排気弁機構４０としたものであって、その余
の構成は実施形態１と同様とされる。ここで、図８は吸
気行程におけるポンプＡ１を示し、図９は排気行程にお
けるポンプＡ１を示す。

【００４４】吸気弁機構３０は、ポンプヘッド２Ａの外
面２Ａｂ側に設けられて吸気孔５Ａを開閉するボール逆
止弁とされ、球形の弁体（ボール弁）３１と、弁体３１
を所定範囲で移動可能に保持する吸気弁リテーナ３２と
から構成される。

【００４５】吸気弁リテーナ３２は、吸気孔５Ａと連通
して弁体３１を移動可能に収納する弁室３２ａと、弁室
３２ａを外部と連通させる吸気連通孔３２ｂと、弁体３
１を弁室３２ａの吸気連通孔３２ｂ開口に向かって付勢
するバネ３２ｃとを有するものとされる。

【００４６】排気弁機構４０は、ポンプヘッド２Ａの外
面２Ａｂ側に設けられ排気孔６Ａを開閉するボール逆止
弁とされ、球形の弁体（ボール弁）４１と、弁体４１を
所定範囲で移動可能に保持する排気弁リテーナ４２とか
ら構成される。

【００４７】排気弁リテーナ４２は、外部と連通し弁体
４１を移動可能に収納する弁室４２ａと、排気孔６Ａと
弁室４２ａとを連通させる排気連通孔４２ｂと、弁体４
１を弁室４２ａの排気連通孔４２ｂ開口に向かって付勢
するバネ４２ｃとを有するものとされる。

【００４８】図８に示すポンプＡ１の吸気行程におい
て、吸気弁機構３０では、弁体３１が内外の圧力差によ
り、バネ３２ｃの付勢力に抗して弁室３２ａの吸気連通
孔３２ｂ開口から離れる方向に移動し、吸気孔５Ａが開
放される。一方、排気弁機構４０では、弁体４１が内外
の圧力差およびバネ４２ｃの付勢力により、弁室４２ａ
の排気連通孔４２ｂ開口に向かって押圧され排気連通孔
４２ｂを閉塞するものとされる。

【００４９】また、図９に示すポンプＡ１の排気行程に
おいて、吸気弁機構３０では、弁体３１が内外の圧力差
およびバネ３２ｃの付勢力により、弁室３２ａの吸気連
通孔３２ｂ開口に向かって押圧され吸気連通孔３２ｂを
閉塞するものとされる。一方、排気弁機構４０では、弁
体４１が内外の圧力差により、バネ４２ｃの付勢力に抗
して弁室４２ａの排気連通孔４２ｂ開口から離れる方向
に移動し、排気孔６Ａが開放される。

【００５０】このように、実施形態２においては、吸気
弁機構３０および排気弁機構４０がポンプヘッド２Ａの
外面２Ａｂ側に設けられるものとされるので、ダイアフ
ラム３Ａとポンプヘッド２Ａとの距離をより小さくする
ことができ、実施形態１と同様の効果を奏することが可
能となる。

【００５１】また、吸気弁機構３０および排気弁機構４
０がボール逆止弁とされるので、吸気弁機構３０および
排気弁機構４０の耐久性が向上し、吸気弁機構３０およ
び排気弁機構４０のメンテンナスの頻度を低減できると
いう効果も奏する。

【００５２】

【実施例】図１０に、実施形態１、２に即した実機によ
る到達真空度（単位はキロ・パスカル）を実施例として
示し、併せて従来型のダイアフラム式ドライ真空ポンプ
による到達真空度を比較例として示す。

【００５３】同図において、曲線Ｌ１は実施例における
到達真空度とポンプ運転時間（単位は秒）との関係を示
し、曲線Ｌ２は比較例における到達真空度とポンプ運転
時間との関係を示す。

【００５４】同図に示すように、実施例においては到達
真空度は約１．３３ｋｐａで、その到達時間は運転開始
後約２７秒であった。これに対し、比較例においては到
達真空度は約３．５ｋｐａで、その到達時間は２３秒で
あった。

【００５５】このように、実施形態１、２に即したドラ
イ真空ポンプにおいては、到達真空度および安定性が各
段に向上していることが分かる。

【００５６】以上、本発明を実施形態に基づいて説明し
てきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるも
のではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態
では本発明の真空ポンプを吸収式冷凍機に適用する場合
について説明されているが、本発明の真空ポンプの適用
は吸収式冷凍機に限定されるものではなく、従来よりウ
ェット真空ポンプが用いられている機器に好適に適用す
ることができる。

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればド
ライ真空ポンプによる到達真空度を著しく向上できると
いう優れた効果が得られる。

【００５８】また、本発明のドライ真空ポンプは、到達
真空度が著しく向上しているので、従来、到達真空度の
関係でウェット真空ポンプが用いられていた機器にも適
用可能であるという優れた効果を奏する。その場合、適
用された機器におけるメンテナンスを簡素化できるとい
う優れた効果も奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るドライ真空ポンプの
概略図である。

【図２】実施形態１のドライ真空ポンプにおいて、ダイ
アフラムが上死点にあるときの概略図である。

【図３】実施形態１のドライ真空ポンプにおいて、ダイ
アフラムが下死点にあるときの概略図である。

【図４】実施形態１のドライ真空ポンプの弁機構に使用
される弁の詳細構成を示す平面図である。

【図５】同ドライ真空ポンプの弁機構の動作説明図あっ
て、ダイアフラムが上死点にあるときを示す。

【図６】同ドライ真空ポンプの弁機構の動作説明図あっ
て、ダイアフラムが下死点にあるときを示す。

【図７】実施形態１のドライ真空ポンプが適用される吸
収式冷凍機の概略図である。

【図８】本発明の実施形態２に係るドライ真空ポンプの
要部断面図であって、ダイアフラムが下死点にあるとき
を示す。

【図９】本発明の実施形態２に係るドライ真空ポンプの
要部断面図であって、ダイアフラムが上死点にあるとき
を示す。

【図１０】実施形態に即したドライ真空ポンプによる真
空到達度の測定結果を実施例として、従来型のドライ真
空ポンプのそれを比較例として対比させて示すグラフ図
である。

【図１１】従来のドライ真空ポンプの概略構成を示す模
式図であって、同（ａ）はダイアフラムが上死点にある
ときを示し、同（ｂ）はダイアフラムが下死点にあると
きを示す。

【符号の説明】

Ａ ドライ真空ポンプ Ｂ 吸収式冷凍機 Ｄ デッドスペース １ ケーシング ２ ポンプヘッド ３ ダイアフラム ４ コネクティングロッド ５ 吸気孔 ６ 排気孔 １０、３０ 吸気弁機構 ２０、４０ 排気弁機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 茂 東京都港区海岸一丁目５番20号 東京瓦斯 株式会社内 (72)発明者 関川 敦司 東京都港区海岸一丁目５番20号 東京瓦斯 株式会社内 (72)発明者 金谷 利彦 大阪市東淀川区東中島１丁目18番31号 新 星和新大阪ビル 川重冷熱工業株式会社内 (72)発明者 高畠 修蔵 滋賀県草津市青地町1000番地 川重冷熱工 業株式会社滋賀工場内 (72)発明者 鈴木 和彦 滋賀県草津市青地町1000番地 川重冷熱工 業株式会社滋賀工場内 (72)発明者 田中 博文 神奈川県横浜市港北区新横浜２−７−19 天幸ビル50 アルバック機工株式会社内 (72)発明者 糸山 竜二 神奈川県横浜市港北区新横浜２−７−19 天幸ビル50 アルバック機工株式会社内 Ｆターム(参考） 3H077 AA12 CC02 CC09 DD02 EE02 EE37 FF12

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイアフラム式ドライ真空ポンプであっ
   て、ダイアフラムがポンプヘッド内面倣い型ダイアフラ
   ムとされてなることを特徴とするドライ真空ポンプ。
2. 【請求項２】 吸気弁機構および排気弁機構が、ポンプ
   ヘッドの外表面に配設されてなることを特徴とする請求
   項１記載のドライ真空ポンプ。
3. 【請求項３】 吸気弁機構が、枠部と、該枠部からその
   中心に向けて延伸された弁体と、該弁体の先端部に形成
   された孔閉塞部とを有する弁を備え、 前記孔閉塞部が、排気工程において吸気連通孔を塞ぐよ
   うにされてなることを特徴とする請求項２記載のドライ
   真空ポンプ。
4. 【請求項４】 排気弁機構が、枠部と、該枠部からその
   中心に向けて延伸された弁体と、該弁体の先端部に形成
   された孔閉塞部とを有する弁を備え、 前記孔閉塞部が、吸気工程において排気連通孔を塞ぐよ
   うにされてなることを特徴とする請求項２記載のドライ
   真空ポンプ。
5. 【請求項５】 吸気弁機構が、球形の弁体と、該弁体を
   所定範囲で移動可能に保持する吸気弁保持手段を備え、 前記弁体が、排気工程において吸気連通孔を塞ぐように
   されてなることを特徴とする請求項２記載のドライ真空
   ポンプ。
6. 【請求項６】 排気弁機構が、球形の弁体と、該弁体を
   所定範囲で移動可能に保持する排気弁保持手段を備え、 前記弁体が、吸気工程において排気連通孔を塞ぐように
   されてなることを特徴とする請求項２記載のドライ真空
   ポンプ。
7. 【請求項７】 ダイアフラムが、中央に駆動部との連結
   部が形成された芯材を有する、周辺部に変形部が形成さ
   れてなる円板状部材とされてなることを特徴とする請求
   項１記載のドライ真空ポンプ。