JP2005030240A - ドライ真空ポンプ - Google Patents

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Kunihiko Nakajima
邦彦 中島
Toshihiko Kanetani
利彦 金谷
Ritsu Honma
立 本間
Taichi Sumiyoshi
太一 住吉
Ryuji Itoyama
竜二 糸山
Shozo Matsuyama
省三 松山
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Kawasaki Thermal Engineering Co Ltd
Tokyo Gas Co Ltd
Ulvac Kiko Inc
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Kawasaki Thermal Engineering Co Ltd
Tokyo Gas Co Ltd
Ulvac Kiko Inc
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Abstract

【課題】日常的なメンテナンスを不要としてランニングコストの上昇を回避し、廃油処理の問題も生ずることのなく、しかも迅速なスタートアップがなし得る吸収式冷凍機の抽気ポンプにも利用できるダイアフラム式真空ポンプを提供する。
【解決手段】ダイアフラム式ドライ真空ポンプAであって、ダイアフラム3がポンプヘッド内面倣い型ダイアフラムとされ、かつ弁体11c,21cが低不着水材とされてなるものである。また、吸気弁機構10および排気弁機構20は、ポンプヘッド2の外表面2bに配設されている。これにより、ダイアフラム3が上死点に到達した時点におけるデッドスペースDが著しく小さくなって、到達真空度が向上するとともに、弁体11c,21cに付着した水滴が蒸発が継続することによる真空度の悪化が防止される。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はドライ真空ポンプに関する。さらに詳しくは、到達真空度を向上できかつ迅速な起動がなし得るダイアフラム式ドライ真空ポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
吸収式冷凍機においては蒸発器および吸収器を収納している胴内を所定の真空度とするため、抽気ラインにより前記胴内の抽気がなされている(図7参照)。
【0003】
この抽気ラインに設けられている抽気ポンプには、従来、抽気端における圧力と到達真空度との関係から、一般的にウェット真空ポンプが用いられている。
【0004】
しかしながら、ウェット真空ポンプは前記胴内の不凝縮ガスを抽気する際、同胴内の飽和水蒸気も同時に吸引し、その吸引された飽和水蒸気が抽気ポンプ内で凝縮するため、抽気ポンプに用いられている潤滑油を白濁させて到達真空度を低下させるといった問題や、潤滑不良により回転部が固着するといった問題などが生じている。
【0005】
これらの問題の発生を未然に防止するため、吸収式冷凍機においては、抽気ポンプに対して潤滑油の点検・交換および分解点検が日常的になされている。それがため、吸収式冷凍機のランニングコストの上昇を招来するという別の問題が発生している。
【0006】
また、交換した潤滑油、つまり廃油をいかに処理するかも環境保全上、重要な課題となっている。
【0007】
かかる課題を解決すべく抽気ポンプをウェット真空ポンプからダイアフラム式ドライ真空ポンプに転用することも考えられるが、既存のダイアフラム式ドライ真空ポンプは、図9に示すように、ダイアフラム3´が上死点に達したとき(同図(a)参照)に、ポンプヘッド2´との間で画成されるポンプ室F´のデッドスペースD´が大きくなるため、所望の到達真空度が得られないという問題がある。なお、同図(b)は、ダイアフラム3´が下死点にあるときを示す。また、各符号4´、10´、20´はそれぞれコネクティングロッド、吸気弁、排気弁を示す。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、日常的なメンテナンスを不要としてランニングコストの上昇を回避し、廃油処理の問題も生ずることがなく、しかも迅速なスタートアップがなし得る吸収式冷凍機の抽気ポンプにも利用できるダイアフラム式真空ポンプを提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のドライ真空ポンプは、ダイアフラム式ドライ真空ポンプであって、ダイアフラムがポンプヘッド内面倣い型ダイアフラムとされ、弁体が低不着水材とされてなることを特徴とする。
【0010】
本発明のドライ真空ポンプにおいては、吸気弁機構および排気弁機構が、ポンプヘッドの外表面に配設されてなるのが好ましい。
【0011】
また、本発明のドライ真空ポンプにおいては、ダイアフラムが、中央に駆動部との連結部が形成された芯材を有する、周辺部に変形部が形成されてなる円板状部材とされてなるのが好ましい。
【0012】
さらに、本発明のドライ真空ポンプにおいては、低不着水材が例えばテフロンを基材としてなるものとされる。
【0013】
【作用】
本発明のドライ真空ポンプは、前記の如く構成されているので、ポンプ室のデッドスペースが著しく小さくなって到達真空度が向上する。また、弁体に付着している水滴が少なく、たとえ弁体に水滴が付着してもそれが弁体の開閉の際の振動により容易に弁体から飛散するので、弁体から水滴が継続して蒸発することによる真空度の悪化が抑制される。
【0014】
それ結果、従来、到達真空度の関係からウェット真空ポンプが用いられている機器にもドライ真空ポンプを適用できて、そのメンテナンスの簡素化が図られるとともに、その迅速なスタートアップがなし得る。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【0016】
図1に、本発明の一実施形態に係るドライ真空ポンプを示す。
【0017】
ドライ真空ポンプ(以下、単にポンプという)Aは、内径が軸方向各位置で多段に変わる円筒体形状とされたケーシング1と、ケーシング1に一端開口を塞ぐように装着されるポンプヘッド2と、ポンプヘッド2との間でポンプ室Fを画成するケーシング1の軸方向に往復動可能なダイアフラム3と、電動機(図示省略)に駆動されてダイアフラム3をケーシング1の軸方向に往復動させるコネクティングロッド4とを主要構成要素として備えてなるものとされる。
【0018】
ケーシング1は、ダイアフラム3を往復動可能に収納するダイアフラム収納部1aを有するとともに、そのポンプヘッド2側の端部にはポンプヘッド2との間でダイアフラム3の周縁部分を全周に亘って挟み込むようにして固定するダイアフラム固定部1bが設けられるものとされる。
【0019】
ポンプヘッド2は、図1に示すように、ダイアフラム3との間でポンプ室Fを画成する一方表面(ケーシング1側表面、以下内面という)2aが、例えば球面状に形成された厚肉の円板状部材とされる。
【0020】
また、ポンプヘッド2には、ポンプ室F内部と外部とを連通させるようにして吸気孔5および排気孔6が穿設されており、他方表面側(反ケーシング1側)には、吸気孔5および排気孔6をダイアフラム3の往復動に応じて開閉するための吸気弁機構10および排気弁機構20を収納する弁機構収納部2bが形成されている。
【0021】
ダイアフラム3は、金属製のコア(芯材)3aを内部に包み込むようにクロロプレンゴム、ニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴムおよびフッ素ゴムなどの合成ゴムを円形薄板状に、外径側に所定幅の変形部3bが形成されるよう成型してなるものとされる。
【0022】
コア3aは、ダイアフラム3が上死点にあるとき(図2参照)にダイアフラム3のポンプヘッド2側の面、つまりポンプ室Fを画成するようにポンプヘッド内面2aと対向する面(以下、ポンプヘッド対向面という)3cがポンプヘッド内面2aに沿うように、一方表面(ポンプヘッド2側の面)がポンプヘッド2の内面2aと同程度の曲率を有する球面状に形成された円板状の部材とされる。
【0023】
また、コア3aの他方表面側には、コネクティングロッド4の直動部4aにコア3aを取り付け可能なように、直動部4aに設けられた雄ネジと螺合する雌ネジ穴3dを有するボス部3eが一体的に形成されている。つまり、コア(芯材)3aには駆動部との連結部が形成されている。
【0024】
変形部3bは、周縁部分がケーシング1のダイアフラム固定部1bとポンプヘッド2との間で挟み込まれるようにして全周に亘って気密に固定されている。
【0025】
図2に、ポンプAのダイアフラム3が上死点にある場合を示す。図3に、ポンプAのダイアフラム3が下死点にある場合を示す。
【0026】
図2に示すように、ダイアフラム3は、上死点においてポンプヘッド対向面3cがポンプヘッド内面2aに沿うようにされ、これにより上死点においてポンプ室Fの容積をできるかぎり小さくすることができる。つまり、ダイアフラム3が上死点にあるときのポンプ室Fの容積であるデッドスペースDが、可能なかぎり小さくなるようにされている。
【0027】
なお、このように、ポンプヘッド対向面3cがポンプヘッド内面2a沿うよう形成されて、上死点においてポンプ室FのデッドスペースDを可能なかぎり小さくするようにされているダイアフラム3を、本明細書ではポンプヘッド内面倣い型ダイアフラムということにする。
【0028】
コネクティングロッド4は、電動機出力軸(不図示である)に装着される偏心軸4bにより回転運動を往復運動に変え、ダイアフラム3に往復運動を伝えるものとされる。なお、図中、符号4cはバランスウエイトを示す。
【0029】
図4に、吸気弁機構10および排気弁機構20に使用される吸気弁11および排気弁21を示す。なお、吸気弁11と排気弁21とは同一の形状・構成とされるので、ここでは1つの弁のみを図示し、両者を一括して弁と称して説明する。
【0030】
弁11、21はテフロンなどの水に対する表面張力が小さくて水滴の付着が少ない低不着水材からなり、円形の枠部11a、21aと、枠部11a、21aの円周上の一箇所を起点に中央まで延びるように形成される、先端に円板状の孔閉塞部11b、21bが設けられた弁体11c、21cとを有する薄板状部材とされる。なお、本実施形態では、枠部11a、21aは円形とされているが、枠部11a、21aの形状は前記に限定されるものではなく、各種形状とでき例えば四角形とすることもできる。
【0031】
ここで、弁11、21は低不着水材とされているので、たとえ弁体11c、21cに水滴が付着したとしても、その付着した水滴は弁体11c、21cの開閉の際の振動により容易に弁体11c、21cから容易に飛散させることができる。そのため、弁体11c、21cに付着した水滴の蒸発が継続されることによる真空度の悪化が抑制され、迅速に高真空度とすることができる。
【0032】
図5および図6に、吸気弁機構10および排気弁機構20の詳細を示す。図5はポンプAの排気行程における吸気弁機構10および排気弁機構20を示し、図6は吸気行程における吸気弁機構10および排気弁機構20を示している。
【0033】
吸気弁機構10は、吸気弁11と、吸気弁11をポンプヘッド2の外面2b側に留める吸気弁リテーナ12とからなる逆止弁とされている。
【0034】
吸気弁リテーナ12は、例えばアルミ合金からなる円形厚板部材とされ、弁体11cを揺動可能に収納する弁室12aと、弁室12aの周囲に形成される弁枠押圧部12bと、一端が弁室12aに開口し他端が反ポンプヘッド2側表面に開口して弁室12aを外部と連通させる吸気連通孔12cと、を有するものとされる。
【0035】
弁室12aは、例えばポンプヘッド2側表面を吸気孔5をカバーするように円形に刳りぬくようにして形成される。弁枠押圧部12bは、吸気弁11の枠部11aと全周に亘って密着するように当接し、枠部11aをポンプヘッド外面2bに向かって押圧して枠部11aとポンプヘッド外面2bとの間隙をシールする。
【0036】
また、排気弁機構20は、前掲の排気弁21と、排気弁21をポンプヘッド2の外面2b側に留める排気弁リテーナ22とからなる逆止弁とされている。
【0037】
排気弁リテーナ22は、例えばアルミ合金からなる円形厚板部材とされ、弁体21cを揺動可能に収納する弁室22aと、弁室22aの周囲に形成される弁枠押圧部22bと、一端が弁室22aに開口し他端が反ポンプヘッド2側表面に開口する排気連通孔22cとを有するものとされる。
【0038】
弁室22aは、例えばポンプヘッド2側表面を排気孔6をカバーするように円形に刳りぬくようにして形成される。弁枠押圧部22bは、排気弁21の枠部21aと全周に亘って密着するように当接し、枠部21aをポンプヘッド外面2bに向かって押圧して枠部21aとポンプヘッド外面2bとの間隙をシールする。
【0039】
図5に示すように、吸気弁機構10においては、ポンプAの排気行程においてポンプ室F内部の圧力が外部圧力を上回り弁体11cがポンプヘッド外面2bから離れる方向に揺動したときに、孔閉塞部11bによって閉塞される位置に吸気連通孔12cが配設されている。一方、排気弁機構20においては、ポンプAの排気行程においてポンプ室F内部の圧力が外部圧力を上回り弁体21cがポンプヘッド外面2bから離れる方向に揺動したときに、孔閉塞部21bが排気連通孔22cを閉塞しないよう弁室22aの深さおよび排気連通孔22cの径が設定されている。
【0040】
また、図6に示すように、吸気弁機構10においては、吸気行程において外部圧力がポンプ室内部の圧力を上回り弁体11cがポンプヘッド外面2b側に揺動したときに、孔閉塞部11bが吸気孔5を閉塞しない位置に吸気弁11が吸気弁リテーナ12により留められている。一方、排気弁機構20においては、吸気行程において外部圧力がポンプ室内部の圧力を上回り弁体21cがポンプヘッド外面2b側に揺動したときに、孔閉塞部21bが排気孔6を閉塞する位置に排気弁21が排気弁リテーナ22によって留められている。
【0041】
このように、本実施形態のポンプAは、上死点においてダイアフラム3のポンプヘッド対向面3cがポンプヘッド内面2aに沿うよう形成され、また逆止弁である吸気弁機構10および排気弁機構20、特に吸気弁機構10がポンプヘッド内面2aではなくポンプヘッド外面2bに設けられるので、ダイアフラム3をポンプヘッド2の内面2bに倣わせることができ、上死点におけるポンプ室Fの容積を極限まで小さくすることが可能となる。また吸気弁11および排気弁21をテフロンなどの低不着水材としているので、弁体11c,21cに付着した水滴が蒸発することによる真空度の低下も抑制できる。
【0042】
それ故、本実施形態のポンプA1は、デッドスペースDを従来よりも著しく小さくすることができ、かつ、弁体11c,21cに付着した水滴が継続して蒸発することによる真空度の低下も抑制されるので、ダイアフラム式のドライ真空ポンプでありながら高真空(例えば、絶対圧力で約1.3kPa)を達成することが可能となるとともに、迅速なスタートアップがなし得る。
【0043】
したがって、図7に示すような吸収式冷凍機Bの抽気ラインaに設けられる抽気ポンプbとして、一般に使用されるウェット型真空ポンプに代えてポンプAを使用した場合にも、所要の真空度を維持することが可能となる。また、ウェット型真空ポンプを使用する場合に問題となる、飽和水蒸気の吸引による潤滑油の劣化や回転部の固着を回避することができ、メンテナンスが容易となる。
【0044】
【実施例】
次に、本発明をより具体的な実施例に基づいてより具体的に説明する。
【0045】
実施例
弁体がテフロンとされた実施形態のポンプの運転時間の経過に伴う真空度を計測し、その結果を図8にグラフで示す。
【0046】
比較例
図9に示す従来のダイアフラム式ドライ真空ポンプの運転時間の経過に伴う真空度を計測し、その結果を図8にグラフで併せて示す。
【0047】
図8より、実施例では運転開始後8秒程度で目標とされる真空度3.5kPaに到達し、しかも最終到達真空度が1.3kPa程度であるのに対し、比較例では目標とされる真空度に到達するまでに30秒程度を要し、しかもその到達真空度で飽和しているのがわかる。
【0048】
このことから、実施例の真空ポンプは、迅速なスタートアップがなし得、しかも高度の真空が得られるのがわかる。
【0049】
以上、本発明を実施形態および実施例に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態よび実施例のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施形態では本発明の真空ポンプを吸収式冷凍機に適用する場合について説明されているが、本発明の真空ポンプの適用は吸収式冷凍機に限定されるものではなく、従来よりウェット真空ポンプが用いられている機器に好適に適用することができる。
【0050】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によればドライ真空ポンプによる到達真空度を著しく向上できるとともに、その迅速な起動がなし得るという優れた効果が得られる。
【0051】
また、本発明のドライ真空ポンプは、到達真空度が著しく向上ししかもその迅速な起動がなし得るので、従来、到達真空度の関係でウェット真空ポンプが用いられていた機器にも適用可能であるという優れた効果を奏する。その場合、適用された機器における迅速な起動を確保しながらそのメンテナンスを簡素化できるという優れた効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るドライ真空ポンプの概略図である。
【図2】同実施形態のドライ真空ポンプにおいて、ダイアフラムが上死点にあるときの概略図である。
【図3】同実施形態のドライ真空ポンプにおいて、ダイアフラムが下死点にあるときの概略図である。
【図4】同実施形態のドライ真空ポンプの弁機構に使用される弁の詳細構成を示す平面図である。
【図5】同ドライ真空ポンプの弁機構の動作説明図あって、ダイアフラムが上死点にあるときを示す。
【図6】同ドライ真空ポンプの弁機構の動作説明図あって、ダイアフラムが下死点にあるときを示す。
【図7】本実施形態のドライ真空ポンプが適用される吸収式冷凍機の概略図である。
【図8】実施例および比較例のスタートアップ時の到達真空度と時間の関係を示すグラフである。
【図9】従来のドライ真空ポンプの概略構成を示す模式図であって、同(a)はダイアフラムが上死点にあるときを示し、同(b)はダイアフラムが下死点にあるときを示す。
【符号の説明】
A ドライ真空ポンプ
B 吸収式冷凍機
D デッドスペース
1 ケーシング
2 ポンプヘッド
3 ダイアフラム
4 コネクティングロッド
5 吸気孔
6 排気孔
10、30 吸気弁機構
20、40 排気弁機構

Claims (4)

  1. ダイアフラム式ドライ真空ポンプであって、ダイアフラムがポンプヘッド内面倣い型ダイアフラムとされ、弁体が低不着水材とされてなることを特徴とするドライ真空ポンプ。
  2. 吸気弁機構および排気弁機構が、ポンプヘッドの外表面に配設されてなることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
  3. ダイアフラムが、中央に駆動部との連結部が形成された芯材を有する、周辺部に変形部が形成されてなる円板状部材とされてなることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
  4. 低不着水材がテフロンを基材としてなるものであることを特徴とする請求項1記載のドライ真空ポンプ。
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