JP2003318478A - 光通信装置 - Google Patents

光通信装置

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JP2003318478A
JP2003318478A JP2002125534A JP2002125534A JP2003318478A JP 2003318478 A JP2003318478 A JP 2003318478A JP 2002125534 A JP2002125534 A JP 2002125534A JP 2002125534 A JP2002125534 A JP 2002125534A JP 2003318478 A JP2003318478 A JP 2003318478A
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light
optical
optical waveguide
waveguide
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Takeshi Okada
毅 岡田
Hiromi Nakanishi
裕美 中西
Miki Kuhara
美樹 工原
Akira Yamaguchi
章 山口
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 双方向光通信装置において、送信部からの光
が基板底面で反射されるのを減らし、送信部からの光が
受信部のフォトダイオードに入って感知されてしまう光
学的クロストークを減らすこと。 【解決手段】 基板と、基板の上に設けた光導波路と、
光導波路の前端面に設けた光ファイバと、光導波路の終
端の基板面に設置した発光素子と、光導波路の中間に設
けた波長選択フィルターと、波長選択フィルターで反射
された光を受光するために基板の上に設けられた受光素
子とを含んだ光通信装置において、基板底面を粗面にし
て底面で反射される光を減らす。また、光導波路の幅を
細くして黒色などの光吸収性樹脂で光導波路を覆い、導
波路のクラッドに入った光が側方へ漏れるのを樹脂によ
って吸収する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は送信部の光が受信
部に入ってクロストークを引き起こすことのないように
した光通信装置に関する。既に実用化されている光送受
信モジュールは、金属パッケージに収容されたLDを含
む送信部と金属パッケージに収容されたPDを含む受信
部が分離しており、その間のクロストークは充分に抑え
られている。
【0002】送信部の円筒状の金属パッケージには円盤
状のステム、ステムのポールに固定された半導体レーザ
(LD)、ステム底部に固定されたモニタ用フォトダイ
オード、レンズを保持する円筒状のレンズホルダー、フ
ァイバ端に取り付けたフェルールを保持するフェルール
ホルダー、ファイバの曲がりを緩和するためにベンドリ
ミッタ等が設けられる。
【0003】受信部の円筒状の金属パッケージには円盤
状のステム、ステムの中央部に固定された上面入射型の
受光素子(PD)、レンズを保持するレンズホルダー、
ファイバ端に取り付けたフェルールを保持するフェルー
ルホルダー、ファイバの曲がりを緩和するベンドリミッ
タなどが納められる。信号を伝送する光ファイバにはY
分岐があり、そこにWDMが付いている。WDMによっ
て送信光と受信光を分離する。
【0004】分岐後の光ファイバの一端が送信部の金属
パッケージに、他端が受信部の金属パッケージにつなが
っている。そのような光送受信モジュールはもともと受
信部と送信部が分離しており送信光と受信光はパッケー
ジの外部にあるWDMによって分離する。必要によって
は誘電体多層膜よりなるフィルタを追加することもあ
る。そのようになっているからLDからの強烈な送信光
がPDの受光部へ入るという恐れはなかった。
【0005】しかし別々の金属パッケージに収容された
部品をもつ光送受信モジュールはコスト高になり小型化
にも向いていない、という欠点がある。また空間伝搬す
るからレンズが集光用に不可欠となる。部品点数が多く
て嵩高くてコスト高というのでは光通信系が広く一般に
普及しにくい。より小型、安価であって、しかもより高
い周波数で動作するような光送受信モジュールが要望さ
れる。
【0006】
【従来の技術】コスト低減、小型化のためにはSi基板
の上にY型など分岐導波路を形成しWDMで特定波長の
光を反射するようにして各分岐の終端にPD、LDを振
り分けて実装するというような表面実装型(Surface Mo
untable Type)の光通信装置が提案されている。分岐導
波路を使って、それぞれの終端に受光素子と発光素子を
取り付けるのでクロストークを低くできる。しかし横方
向に分岐を持つものは構造が複雑であり横幅も広くなり
小型化という点では中途半端である。
【0007】そこで導波路あるいは光ファイバは一本で
あって終端にLDを中間にPDを設置して、導波路・光
ファイバの途中に波長選択性ミラーを設けて受信光だけ
を反射してPDへ入射するという直線型の表面実装光通
信装置も提案されるようになってきた。
【0008】そのような非分岐単線型の光導波路、光フ
ァイバを持つ光通信装置においては、送受信間のクロス
トークが問題になる。送信部の強い光が感度の高い受信
部に混入すると受信部が誤動作をする。送信部と受信部
を光学的に遮断しなければならない。しかし同一のSi
基板の上にLDとPDを搭載しているのだから光学的に
両者を遮断するのは難しい。
【0009】クロストークというのは二つの意味があ
る。電気的なクロストークと光学的なクロストークであ
る。ここでは主に光学的なクロストークを問題にする。
電気的クロストークも低減するような工夫も与える。
【0010】例えば、LDの発する光は1.3μmで、
これが光ファイバを通って局側へ伝送される。局側から
は1.55μmの受信光が光ファイバ内を伝送されてき
て光送受信モジュールのPDに入るというように波長配
分がなされている。そこで用いられるPDはInGaA
s受光層を持ち1.3μm光にも充分な感度を持ってい
る。だからLDの光が入れば、これを感受してしまう。
【0011】同一光導波路・光ファイバを双方向に送受
信光が伝搬する場合は特にLD光が漏れてPDに入ると
いう可能性が高くなる。LDの前端面から出て光ファイ
バ・光導波路に入らず斜めに進みPDへ側方から入ると
いう可能性がある。LDの後端面から出てパッケージの
壁面で反射されてPDへ斜め上方から入るということも
ある。光ファイバから斜め上に漏れてPDに入るという
こともあろう。光ファイバ端、光導波路端で反射されて
PDに入るということもある。LDから光ファイバを伝
搬し波長選択ミラーで反射され斜め下方へ出た送信光が
基板の底面で乱反射され、上に向かいPDに入るという
ことがありうる。
【0012】LDからPDに到る迷光はLDやPDの個
々の配置によって千差万別である。表面実装型の光送受
信モジュールにおいては、そのように様々なLDの迷光
がPDへ入る可能性がある。それがクロストークを引き
起こす。伝送すべき信号のレートが増えるとクロストー
ク低減への要求水準が一層厳しくなる。クロストークを
抑制するために幾つかの提案がなされている。
【0013】 特開平11−248978号「双方向
光半導体装置」
【0014】は受光素子の上面に不透明樹脂を塗布し、
光ファイバと受光素子の間の空間に不透明樹脂の塊を設
け、Si基板の底面に高反射層を設けるようにしてい
る。3つの工夫によってクロストークを防ごうとするも
のである。
【0015】LDの後方光が斜め上に向かい金属製パッ
ケージの底面で反射されて斜め上からPDを射るが、そ
れは受光素子上面の樹脂で防ぐことができる。LDから
光ファイバへ入った光の一部が波長選択ミラーで下方へ
反射され基板底面へ向かうものは高反射層で綺麗に反射
されるのでPDに入らない。光ファイバから斜め上に出
るものはPDとの間に設けた不透明樹脂の塊で防ぐこと
ができるという訳である。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は従来例の
モジュールを試作した訳ではないが、従来例はLDか
らPDに到る経路についてその一部を考案している。そ
れより他にもっと有力なLDからPDへの経路が存在す
る。そのような経路を経た迷光を含めて全てのクロスト
ークの原因を抑制しなければならない。
【0017】図1に表面実装型光送受信モジュールにお
いてPDに入るLD光で本発明者が重視する経路を示
す。矩形平板のSi基板2の上に直線光導波路3が形成
してある。その終端にLD4があり送信光を発し光導波
路3へ送り込むようになっている。光導波路3の中間に
は斜め上向きに波長選択フィルター5があって受信光を
選択的に上斜めに反射して裏面入射型フォトダイオード
(PD)6に入射させるようになっている。この図でP
D6は基板から上に浮いているように見えるが実際には
基板の上にサブマウントを付け、その上にPDを置いて
ある。サブマウントを省略しPDへ入る光線を分かりや
すく描いている。
【0018】光導波路の始端には光ファイバ7が突き合
わせ接合している。光導波路3は屈折率の高いコア8と
屈折率の低いクラッド9からなっている。LDが発する
送信光をλ1とし、PDが受信すべき受信光をλ2とす
る。しかしPDはλ1にも感度があるものとする。
【0019】LD4から斜め下に出た光線BCはSi基
板2の底面20のC点で反射されてCDと直進してPD
6に入る。光線BCDが第1の迷光の可能性を与える。
【0020】LD4から斜め下に出た別の光線BEはS
i基板2の底面20でのE点で反射されて、さらに基板
2の前端面22のF点で反射され斜め下方からPD6に
入る。光線BEFGが第2の迷光の可能性を与える。
【0021】LD4から光導波路3に入った光であって
も波長選択フィルター5によって一部が反射されHIと
進み基板2の底面20で反射される。それがI点から上
向き(IJ)にPD6に入る。光線BHIJが第3の迷
光の可能性を与える。
【0022】そのような迷光は何れも基板の底面に反射
されるものである。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明の光通信装置は基
板底面の反射を減退させるために基板の底面を粗面化す
る。基板の底面を粗面化するとLD光の反射が減退する
からPDへの迷光が減少する。
【0024】基板の底面を粗面化して、さらに光吸収性
の樹脂を塗布する。あるいは光吸収性の接着剤によって
パッケージに固定する。樹脂、接着剤が光を吸収するの
で反射自体が減少する。
【0025】光導波路のクラッドを狭くして、その上に
黒色など光吸収性のある樹脂を塗布する。クラッドを狭
くしてLD光がクラッドを伝わってPDへ入る経路を閉
ざす。またLDと光導波路の境界部分で基板を縦断する
のも効果がある。それは光学的クロストークとともに電
気的クロストークも減らすことができる。
【0026】
【発明の実施の形態】[1.基板底面粗面化(図2)]
Si基板はミラーウエハーから切断したものであり、も
ともと底面は極めて平坦平滑で反射率も高い。本発明は
そこでSi基板の底面を粗面化する。例えば平均粒径が
10μm〜30μmの研磨紙によってSi基板の底面を
研磨して粗面化する。もっと荒い粒径の研磨紙によって
研磨してもよい。研磨するだけでなく化学薬品でエッチ
ングして粗面化することもできる。
【0027】図2にそのような粗面化したモジュールの
断面図を示す。Si基板2の底面20が粗面になってい
る。Si基板2の上に光導波路3が形成され、その終端
にLD4が固定され、中間に波長選択フィルター5があ
ってλ2を反射し、PD6にλ2を入射するようになっ
ている。実際には基板の上にサブマウントがあって、そ
の上にPDが固定されているのであるがサブマウントの
図示を省略している。
【0028】光導波路3の前端には光ファイバ7があっ
て、これは双方向に信号光を伝送する。加入者側のモジ
ュールの場合は、LD4の送信光を局側へ伝送し、局側
からの光をPD6へ伝送するようになっている。
【0029】底面が粗面化されているので、LDから斜
め下へ出た光線BCは底面で殆ど反射されない。殆どが
ここで消滅する。たとえ反射されても乱反射なのでPD
に殆ど到達しない。LDから斜め下へ出た別の光線BE
は反射されない。底面で反射されないから端面22でも
反射されずPDへは向かわない。LD4を出て光導波路
3に一端入った光が波長選択フィルター5によって下向
きに反射されても底面が粗面化されているから、そこで
殆ど消えてしまう。だから光線BHIがPDに入らない
ようになる。
【0030】[2.基板底面粗面化、吸収性樹脂塗布
(図3)]図3は粗面化した基板の底面に光吸収性(黒
色など)の接着剤(例えばエポキシ系の接着剤に吸収材
(遮光性フィラー)を添加したもの)を塗布しパッケー
ジに接着したものの断面図を示す。基板2の上に光導波
路3があり、その終端にLD4、中間に斜めに波長選択
フィルター5、上方にPD6があるという構造は変わら
ない。それに加えて基板2の底面20を粗面化してあ
る。
【0031】そこまでは前例と同じである。さらに粗面
化した底面20に不透明吸収性(黒色など)の接着剤2
3を塗布しパッケージ24の底面25に接着する。パッ
ケージの底面25は図3のように粗面化すると、さらに
良い。この接着剤23は基板をパッケージに接着すると
いう作用と底面に到るLD光を吸収するという両方の作
用がある。
【0032】[3.基板底面粗面化、Y分岐導波路(図
4)]直線導波路の終端にLDが中間に波長選択フィル
ターとPDという場合に底面を粗面化したものを図1に
示したが、Y分岐を持つモジュールでも底面粗面化は有
効である。そのようなモジュールは
【0033】 特開平11−68705号「双方向W
DM光送受信モジュール」などによって提案されたもの
である。
【0034】そのようなY分岐モジュールに本発明を適
用したものを図4に示す。基板2の上に光導波路層があ
るが直線でなくY分岐導波路32、33、34となって
いる。導波路32の始端には光ファイバ7が結合してい
る。分岐点には波長選択フィルター5があってλ2は反
射し、λ1は透過する。導波路33の終端にLD4があ
り送信光(λ1)を発振する。導波路34の終端にはP
D6があって受信光(λ2)を受信する。LD4のλ1
光は導波路33、波長選択フィルター5、導波路32、
光ファイバ7というように伝送される。光ファイバ7か
ら出た受信光は導波路32を通り、波長選択フィルター
5で反射され導波路34に入りPD6に入射する。
【0035】その場合もLD4の光が下向きに出て基板
2の底面20で反射されることもある。それで底面20
を粗面化する。その効果は図2に示したものと同様であ
る。但し波長選択フィルター5が下向きでなく横向きに
傾いたものだからLD4の光が基板の底面に向かって反
射される可能性は少ない。だから底面粗面化はLD4を
出てすぐに基板2の底面20に向かい、そこで反射する
迷光を防ぐ効果がある。
【0036】[4.多チャンネル基板底面粗面化(図
5)]図2の基板粗面化の手法は1チャンネルの光送受
信モジュールに限らず多チャンネルの光送受信モジュー
ルにも使用する事ができる。図5には多チャンネル光送
受信モジュールの背面図を示す。これは4チャンネルの
場合であるが8チャンネル、16チャンネルでも同様で
ある。光導波路・LD・PD・フィルタよりなる送受信
器の組が4つ平行に並んでいる。これも基板の底面を粗
面化してありLDの光が強く反射されないようになって
いる。それは同じチャンネルのLD・PD間でのクロス
トークの防止という作用がある。しかし、それだけでは
ない。基板が共通だから隣接チャンネル間のクロストー
ク抑制の効果もある。
【0037】[5.狭クラッド、黒色樹脂(クラッド幅
WをPD幅Uより狭くして光吸収性樹脂によって光導波
路を覆う)(図6〜8)]光導波路は基板の全面に形成
し、その一部に6μm角のコアを設けて伝送路とするも
のである。6μmのコアに上下に10μm厚みのクラッ
ドが存在する。だから厚みは26μmである。コアのな
い部分はクラッド層だけで26μmの厚さの層が存在す
るのである。そのような一様クラッド構造をここでは改
良する事にする。
【0038】図6に示すように光導波路のクラッド幅W
を狭くして黒色の樹脂によってクラッドを覆うようにす
るのも効果的である。どれほど狭くするのか?それはP
Dの横幅Uよりも狭くするのである。W<Uである。
【0039】これはこれまでに説明したものと少し違
う。これまでのものは基板底面での反射を減らすものだ
ったから底面を粗面化したのである。これはLD4から
出て光ファイバコアに入らずクラッドを伝搬しフィルタ
などで反射されPD6に入る迷光を減らすための工夫で
ある。
【0040】そのような経路はこれまで想定されていな
かった。LDの迷光として上部へもれてしまうものと底
面に向かってしまうものだけが、これまで考慮されてい
たと言える。しかし、それ以外に光導波路のクラッドへ
入り、それが迷光となる場合もあるだろうと本発明者は
思う。
【0041】LD4は極めて狭い面積(0.1〜0.2
μm×1〜2μm)の発光部(ストライプ端部)を持っ
ている。当然に出射面での広がりは大きくて30度程度
の広がりがある。すると一部のLD光はクラッドに入る
ことになる。クラッドは透明なので減衰せずに伝わる。
その一部は散乱されてフィルタに反射されてPDに入る
ということがありうる。
【0042】そのような水平的な迷光を抑制するために
クラッドの幅Wを基板幅でなくPD幅Uよりも狭くする
(W<U)のである。Si基板の幅は例えば1500μ
m程度ある。PDの幅Uは300μm〜500μmであ
る。だからクラッド幅Wを300μm程度かそれより小
さくするということである。単に狭くするのではなくて
黒色の樹脂(光吸収性の塗料、接着剤、顔料などでもよ
い)を光導波路に塗布するのである。
【0043】図6はそのようなモジュールの斜視図、図
7は縦断面図、図8は光導波路に直角に切った縦断面図
を示す。クラッド35が狭い幅を持ち、基板面に光導波
路非存在部36が生じている。クラッド35と光導波路
非存在部36の上に黒色樹脂37を塗布している。黒色
樹脂37を黒く書くと内部がわからないので打点によっ
て示した。クラッドの側方へ漏れたLD光は黒色樹脂3
7によって吸収される。それによってPD6に入る迷光
がさらに減少する。
【0044】[6.多チャンネル、狭クラッド、黒色樹
脂(クラッド幅WをPD幅Uより狭くして光吸収性樹脂
によって光導波路を覆う)(図9〜11)]狭クラッド
黒色被覆は実は単チャンネルよりも多チャンネルにおい
て効果が大きい。図9に多チャンネルに狭クラッド黒色
樹脂被覆の適用例を示す。図9は斜視図、図10、図1
1は断面図である。多チャンネルにした場合LDからク
ラッドへ入った光が隣接PDへ入るというチャンネル間
のクロストークの可能性がある。クラッド幅を狭くして
黒色樹脂37によって間を埋めるようにすると隣接クラ
ッドから入ってくるようなLD光がなくなる。隣接チャ
ンネル間のクロストークを抑制する上で極めて効果的な
のである。
【0045】[7.基板を絶縁板に載せLD部分を切り
放す(図12)]図12に示すようにSi基板2を絶縁
性板40、例えばLCP(液晶ポリマー)パッケージに
接着する。そしてLD4の搭載されている部分と光導波
路3のある部分をダイシングによって切り離す。切り溝
42が絶縁性板40まで到るように切断する。絶縁性板
40があるのでモジュールの一体性は損なわれない。
【0046】Si基板2と周辺樹脂の屈折率が違うか
ら、LD4からの斜め下方へ向かう光線(図1のBC光
線、BE光線)が切り溝42によって大部分反射され
る。だから基板の底面に到る光量が減る。それが粗面化
底面でさらに減衰する。
【0047】Si基板2をLD4と光導波路3の間で切
断しているから、LDの強い駆動電流が、PDに影響を
及ぼすのを防ぐことができる。つまり電気的なクロスト
ークを低減するというような望外の効果もある。
【0048】1.25Gbpsの高速伝送レートにおい
て、図12の改良によって2dBものノイズ低減効果が
あることを確認した。それは光学的クロストーク抑制と
電気的クロストーク抑制の両方の効果が重なったもので
ある。
【0049】
【発明の効果】表面実装型の光送受信モジュールにおい
て基板の底面を粗面化したので底面でのLD光の反射を
減らすことができる。PDへ入る迷光を減少させること
ができクロストークを減少させることができる。
【0050】粗面化した基板の底面に光吸収性の樹脂
(接着剤、塗料などでもよい)を塗布するとさらに底面
でLD光の吸収が増え、PDへ到る迷光を減らすことが
できる。
【0051】光導波路のクラッド幅を狭くして黒色の樹
脂(接着剤、塗料、顔料でもよい)を塗布するから側方
へ広がったLD光がクラッドへ入りPDに到るというこ
とを防ぐことができる。それによってもクロストークを
減らすことができる。
【0052】さらに基板を絶縁板に張り付けLDの部分
を切断すると光学的、電気的クロストークを減退させる
ことに効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】直線導波路の終端にLDを、中間に波長選択フ
ィルターとPDを設けた双方向同時通信のための光通信
装置においてLD光が迷光としてPDに入射する経路を
説明するための縦断面図。
【図2】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化した本発明の第1の実施形態にかかる
直線導波路型光通信装置の縦断面図。
【図3】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化し光吸収樹脂を塗布してパッケージに
接着した本発明の第2の実施形態にかかる直線導波路型
光通信装置の縦断面図。
【図4】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化した本発明の第3の実施形態にかかる
Y分岐型光通信装置の斜視図。
【図5】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化した本発明の第4の実施形態にかかる
パラレル多チャンネル型光通信装置の背面図。
【図6】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化しクラッド層を狭くし光吸収性樹脂を
塗布した本発明の第5の実施形態にかかる直線導波路型
光通信装置の斜視図。
【図7】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化しクラッド層を狭くし光吸収性樹脂を
塗布した本発明の第5の実施形態にかかる直線導波路型
光通信装置の軸線に沿った縦断面図。
【図8】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化しクラッド層を狭くし光吸収性樹脂を
塗布した本発明の第5の実施形態にかかる直線導波路型
光通信装置の軸線に直角な面で切った縦断面図。
【図9】LDからPDへのクロストークを減らすために
基板底面を粗面化しクラッド層を狭くし光吸収性樹脂を
塗布した本発明の第6の実施形態にかかるパラレル多チ
ャンネル光通信装置の斜視図。
【図10】LDからPDへのクロストークを減らすため
に基板底面を粗面化しクラッド層を狭くし光吸収性樹脂
を塗布した本発明の第6の実施形態にかかるパラレル多
チャンネル光通信装置の軸線に直角な面で切断した縦断
面図。
【図11】LDからPDへのクロストークを減らすため
に基板底面を粗面化しクラッド層を狭くし光吸収性樹脂
を塗布した本発明の第6の実施形態にかかるパラレル多
チャンネル光通信装置のPDを通る軸線に直角な面で切
断した縦断面図。
【図12】Si基板を絶縁板に張り付けてLDと光導波
路の境界からSi基板を絶縁板に到るまで切り欠いた光
通信装置の縦断面図。
【符号の説明】
2 Si基板 3 光導波路 4 LD 5 波長選択フィルター 6 PD 7 光ファイバ 8 コア 9 クラッド 20 基板底面 22 基板前端面 23 光吸収性接着剤 24 パッケージ 25 パッケージ底面 26 パッケージ側面 32〜34 y分岐光導波路 35 狭くされたクラッド 36 光導波路非存在部 37 光吸収性樹脂 40 絶縁性板 42 切り溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 工原 美樹 大阪府大阪市此花区島屋一丁目1番3号住 友電気工業株式会社大阪製作所内 (72)発明者 山口 章 大阪府大阪市此花区島屋一丁目1番3号住 友電気工業株式会社大阪製作所内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA02 BA24 DA03 DA04 DA06 DA16 5F049 MA01 NA20 NB01 RA07 TA03 TA13 TA14 TA20 5F073 AB15 AB25 AB28 BA02 EA29 FA13 FA17

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、基板の上に設けた光導波路と、
    光導波路の前端面に設けた光ファイバと、光導波路の終
    端の基板面に設置した発光素子と、光導波路の中間に設
    けた波長選択フィルターと、波長選択フィルターで反射
    された光を受光するために基板の上に設けられた受光素
    子とを含み、基板底面を粗面にした事を特徴とする光通
    信装置。
  2. 【請求項2】 粗面化した基板底面に光吸収性の樹脂、
    接着剤、顔料、塗料のいずれかを塗布したことを特徴と
    する請求項1に記載の光通信装置。
  3. 【請求項3】 光導波路のクラッド層幅WをPDの幅U
    より狭くし光導波路に光吸収性の樹脂、接着剤、顔料、
    塗料のいずれかを塗布したことを特徴とする請求項1ま
    たは2に記載の光通信装置。
  4. 【請求項4】 同一基板の上に複数の光導波路、LD、
    PD、波長選択フィルターが設けられた多チャンネル型
    の光送受信モジュールである事を特徴とする請求項1〜
    3の何れかに記載の光通信装置。
  5. 【請求項5】 基板を絶縁板に接着しLDと光導波路の
    境界において基板を切断した事を特徴とする請求項1〜
    4の何れかに記載の光通信装置。
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