JP2003307192A - 多段ルーツポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化および製作が容易な多段ルーツポ
ンプを提供すること。 【解決手段】 容積の小さいポンプ室から順に下流端側
第１ポンプ室Ｐ５、下流端側第２ポンプ室Ｐ４、…、と
名付けた場合に、下流端壁３側から上流端壁２側に向か
って順次下流端側第１ポンプ室Ｐ５、下流端側第２ポン
プ室Ｐ４、下流端側第３ポンプ室Ｐ３が形成されるとと
もに、前記下流端側第１ポンプ室Ｐ５と下流端側第２ポ
ンプ室Ｐ４との間の仕切壁１１を下流端側第１仕切壁１
１、前記下流端側第２ポンプ室Ｐ４と下流端側第３ポン
プ室Ｐ３との間の仕切壁８を下流端側第２仕切壁８と名
付けた場合に、下流端側第１仕切壁１１は前記下流端壁
３および下流端側第２仕切壁８とは別体に構成されたケ
ーシングＣを備えた多段ルーツポンプ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造プロセ
ス等において使用される多段ルーツポンプに関し、特
に、多段に配置された複数のポンプ室の配置や形成方法
等を工夫することによって優れた特性が得られる多段ル
ーツポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は多段ルーツポンプの従来例の縦断
面図である。図９は前記図８の多段ルーツポンプの横断
面の説明図で、図９Ａはポンプ室の断面図で前記図８の
IＸＡ−IＸＡ線断面図、図９Ｂはギヤ室の断面図で前記
図８のIＸＢ−IＸＢ線断面図、である。図８、図９にお
いて、多段ルーツポンプ０１は、互いに離れて配置され
た上流端壁０２および下流端壁０３を有している。上流
端壁０２の外端面にはモータＭを収容するモータ室０２
ａが形成されており、モータ室０２ａの外端は上流端カ
バー０４により閉塞されている。下流端壁０３の外端面
には駆動軸Ａ１に装着されたギヤＧ１、従動軸Ａ２に装
着されたギヤＧ２（図示せず）および潤滑油等を収容す
るギヤ室０３ａ（図８、図９Ｂ参照）が形成されてい
る。ギヤＧ１，Ｇ２を収容するギヤ室０３ａの外端は下
流端カバー０５により閉塞されている。

【０００３】前記両端壁０２，０３間には仕切壁形成ブ
ロックＢが配置されており、仕切壁形成ブロックＢは下
ブロックＢａおよび上ブロックＢｂに分割して構成され
ている。仕切壁形成ブロックＢは複数の仕切壁０６，０
７，０８，０９および外壁０１０を有しており、下ブロ
ックＢａは各仕切壁０６〜０９の下半分である下部仕切
壁０６ａ〜０９ａおよび外壁０１０の下半分である下部
外壁０１０ａにより構成され、上ブロックＢｂは各仕切
壁０６〜０９の上半分である上部仕切壁０６ｂ〜０９ｂ
および外壁０１０の上半分である上部外壁０１０ｂによ
り構成されている。前記両端壁０２，０３および仕切壁
０６〜０９の間にはそれぞれ第１ポンプ室Ｐ１〜第５ポ
ンプ室Ｐ５が形成されている。なお、前記両端壁０２，
０３、仕切壁形成ブロックＢ、上流端カバー０４、下流
端カバー０５等によりケーシングＣが構成されている。
ケーシングＣには、各ポンプ室Ｐ１〜Ｐ５の上端部にそ
れぞれ接続する吸気孔Ｐ１ａ〜Ｐ５ａおよび下端部にそ
れぞれ接続する排気孔Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂが形成されてい
る。そして、前記各仕切壁０６〜０９の外周部分にはそ
れぞれ、上流側のポンプ室Ｐ１〜Ｐ４の排気孔Ｐ１ｂ〜
Ｐ４ｂと下流側のポンプ室Ｐ２〜Ｐ５の吸気孔Ｐ２ａ〜
Ｐ５ａとを連通させる連通路Ｓ１〜Ｓ４が形成されてい
る。

【０００４】前記ポンプ室形成壁０２，０６〜０９，０
３を貫通して平行な駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２が回転
可能に支持されており、駆動軸Ａ１はモータＭにより回
転駆動される。駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２には前記ギ
ヤ室０３ａ内においてギヤＧ１およびＧ２が装着されて
いる。したがって、駆動軸Ａ１が回転するとギヤＧ１、
Ｇ２を介して従動軸Ａ２も回転する。前記駆動軸Ａ１お
よび従動軸Ａ２には、それぞれ前記各ポンプ室Ｐ１〜Ｐ
５内部に収容されたポンプロータＲ１ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５
ａ，Ｒ５ｂが設けられている。前記各ポンプロータＲ１
ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５ａ，Ｒ５ｂは前記駆動軸Ａ１および従
動軸Ａ２と一体的に回転し、その回転時に、各ポンプ室
Ｐ１〜Ｐ５の吸気孔Ｐ１ａ〜Ｐ５ａから吸気した気体を
排気孔Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂに排気する。

【０００５】前記従来の多段ルーツポンプ０１は、上流
側（真空側）の第１ポンプ室Ｐ１から下流側（大気側）
の第５ポンプ室Ｐ５まで、その順に並んで配置されてい
る。このため、各ポンプ室Ｐ１〜Ｐ５の仕切壁０６〜０
９部分での圧力差が小さくなっている。この結果、各仕
切壁０６〜０９での戻り（気体漏れ）量が少なくなり、
排気効率が向上する。この従来例の多段ルーツポンプ０
１では、モータ室０２ａは第１ポンプ室Ｐ１の外端側に
配置され、ギヤ室０３ａは第５ポンプ室Ｐ５の外端側に
配置されている。そして、ギヤ室０３ａの潤滑油が第５
ポンプ室側に流入するのを防止するため、下流端壁の軸
貫通部はシールされている。

【０００６】前記モータ室０２ａは上流端壁０２の軸貫
通孔を介して第１ポンプ室Ｐ１に接続されるので、第１
ポンプ室Ｐ１とほぼ同じ圧力（真空）になり、モータ室
０２ａ内のモータＭのモータロータ部が真空断熱され
る。図１０はモータ室０２ａ内の圧力とモータＭのロー
タ表面温度の相関を示す図である。図１０から分かるよ
うに、真空状態ではモータロータ部の熱が逃げ難くなる
ので、モータロータ温度が上昇する。前記モータ温度が
上昇すると、モータＭで使用している磁石の特性が劣化
することがある。そこで、モータ室０２ａにガスパージ
を行い、モータロータ部の温度上昇を抑えることが可能
であるが、多段ルーツポンプ０１の到達圧力性能に影響
を与えるため、パージガス量（注入ガス量）は少量に制
限される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前記多段ルーツポンプ
０１においては、ケーシングＣの外壁あるいは各ポンプ
室Ｐ１〜Ｐ５の仕切壁内部に、連通路を形成することに
よって上流側ポンプ室とその下流側の各ポンプ室との連
通を行っている。そして、ケーシングＣ内部に連通路を
形成するため、ケーシングＣを分割したり、複雑な中子
を使用した鋳物により製作している。また、複数のポン
プ室Ｐ１〜Ｐ５の中の上流端部のポンプ室Ｐ１は、別体
に形成された上流端壁０２および仕切壁０６のうちのい
ずれかの端面に形成し、下流端部のポンプ室Ｐ５は、別
体に形成された下流端壁０３および仕切壁０９のいずれ
かの端面に形成している。しかし、上流端のポンプ室Ｐ
１と下流端のポンプ室Ｐ５との間の中間部のポンプ室
は、下ブロックＢａおよび上ブロックＢｂの隣接する仕
切壁０６〜０９間に中子を用いて鋳造したポンプ室を切
削刃により切削して形成したり、中子を使用せずに切削
加工のみにより形成したりしている。

【０００８】前記各ポンプ室Ｐ１〜Ｐ５は、下流端側に
行くに従って気体が圧縮されるので、そのポンプ室の仕
切壁間の間隔が段々短くなる。下流端のポンプ室（すな
わち、容積が最小のポンプ室）Ｐ５は、別体に形成され
た下流端壁０３および仕切壁０９のいずれかの端面に形
成しているので、その仕切壁間の間隔よりも分厚い切削
工具を使用して、容易に切削可能である。しかしなが
ら、下流端から２番目のポンプ室Ｐ４は、一体形成され
た下ブロックＢａの下部仕切壁０８ａと０９ａとの間、
および、上ブロックＢｂの上部仕切壁０８ｂと０９ｂと
の間に中子を用いて形成したポンプ室（一体形成された
仕切壁０８ａおよび０９ａ間、または、０８ｂおよび０
９ｂ間の空間）を切削して形成しなければならない。こ
の場合、前記仕切壁０８ａおよび０９ｂ間または仕切壁
０８ｂおよび０９ｂ間の間隔よりも薄い切削工具を使用
する必要がある。したがって、このポンプ室Ｐ４のよう
に両側の仕切壁が一体形成されているポンプ室は、仕切
壁間の間隔を狭くすることは容易ではない。

【０００９】前記多段ルーツポンプ０１の駆動に必要な
エネルギは、下流端のポンプ室の排気量が多くなる程大
きくなるので、必要エネルギを小さくするには、下流端
のポンプ室Ｐ５の容積を小さくすることが望ましい。下
流端のポンプ室Ｐ５の容積を小さくするためには、その
前段（上流側）のポンプ室Ｐ４の容積も小さくしなけれ
ばならない。その場合、ポンプ室Ｐ４の仕切壁間の間隔
を狭く形成しなければならないが、前記従来の多段ルー
ツポンプ０１のように、ポンプ室Ｐ４の両端面を形成す
る一対の仕切壁が一体成形されている場合には、前記一
対の仕切壁間の間隔よりも厚さの薄い切削刃を使用しな
ければならなかった。薄い切削刃は破損し易いため、従
来の構成の多段ルーツポンプ０１は小型化に限界があっ
た。

【００１０】また前述したように、前記モータ室０２ａ
は上流端壁０２の軸貫通孔を介して第１ポンプ室Ｐ１に
接続されるので、第１ポンプ室Ｐ１とほぼ同じ圧力（真
空）になり、モータ室０２ａ内のモータＭのロータ部が
真空断熱される。このため、モータ室０２ａは高真空と
なる第１ポンプ室Ｐ１に隣接して配置されるのは、望ま
しいことではない。

【００１１】本発明は、前述の問題点に鑑み、次の記載
内容（Ｏ01）〜（Ｏ03）を課題とする。（Ｏ01）小型化
および製作が容易な多段ルーツポンプを提供すること。
（Ｏ02）ルーツポンプの上流端壁にモータ室を形成して
も、モータ室が高真空となるのを防止することが可能な
多段ルーツポンプを提供すること。（Ｏ03）多段ルーツ
ポンプを形成するケーシングの隣接する３個の仕切壁お
よび前記３個の隣接する各仕切壁の間に形成される２個
のポンプ室を有するケーシング構成部材である仕切壁形
成ブロックとして、上下に２分割したものを使用するこ
とによりケーシングの構成部材の分割数を少なくすると
ともに、前記各仕切壁の上流側および下流側に形成され
る各ポンプ室を連通させる全連通孔を切削加工により形
成できるようにすること。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の多段ルーツポンプ（１）は、互いに離れて
配置された上流端壁（２）および下流端壁（３）と前記
両端壁（２，３）間に配置された複数の仕切壁（６〜
８，１１）および外壁（９，１２）を有し上下に分割さ
れた仕切壁形成ブロック（Ｂ）とを有し、前記上流端壁
（２）、複数の仕切壁（６〜８，１１）および下流端壁
（３）の各壁の間にそれぞれ吸気孔（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）
および排気孔（Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂ）に接続するポンプ室
（Ｐ１〜Ｐ５）を形成するケーシング（Ｃ）と、前記上
流端壁（２）、複数の仕切壁（６〜８，１１）、および
下流端壁（３）を貫通する平行な一対の回転軸（Ａ１，
Ａ２）と、前記各ポンプ室（Ｐ１〜Ｐ５）内にそれぞれ
配置され且つ前記一対の回転軸（Ａ１，Ａ２）にそれぞ
れ設けられて、回転時に前記吸気孔（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）
から吸気した気体を前記排気孔（Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂ）から
排出する一対のポンプロータ（Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５
ａ，Ｒ５ｂ）と、前記複数のポンプ室（Ｐ１〜Ｐ５）に
おいて容積の大きいポンプ室（Ｐ１）から順次容積の小
さいポンプ室（Ｐ２，Ｐ３，…）に気体が移送されるよ
うに各ポンプ室間を連通させる連通路（Ｓ１〜Ｓ４）
と、を備えた多段ルーツポンプ（１）において、次の構
成要件（Ａ01）を備えたことを特徴とする。（Ａ01）
ｍ，ｎをそれぞれ正の整数とし且つｍ≦（ｎ／２）とし
て容積の大きいポンプ室から順に第１ポンプ室、第２ポ
ンプ室、…、第ｍポンプ室、第ｍ＋１ポンプ室、第ｍ＋
２ポンプ室、…、第ｎ−１ポンプ室、第ｎポンプ室と名
付けた場合に、前記上流端壁側から前記下流端壁側に向
かって順次第ｍポンプ室、第ｍ−１ポンプ室、第ｍ−２
ポンプ室、…、第１ポンプ室、第ｍ＋１ポンプ室、第ｍ
＋２ポンプ室、…、第ｎ−１ポンプ室、第ｎポンプ室が
形成された前記ケーシングＣ。

【００１３】前記構成要件（Ａ01）を備えた本発明の多
段ルーツポンプ１では、例えばｍ＝２、ｎ＝５とするこ
とができる。その場合、前記上流端壁（２）側から前記
下流端壁（３）側に向かって順次第２ポンプ室（第ｍポ
ンプ室）、第１ポンプ室（すなわち、第ｍ−１ポンプ
室）、第３ポンプ室（第ｍ＋１ポンプ室）、第４ポンプ
室（第ｍ＋２ポンプ室、すなわち、第ｎ−１ポンプ
室）、第５ポンプ室（第ｎポンプ室）が形成されている
ので、上流端壁（２）の外端側に部品収容室（例えばモ
ータ室等）（Ｈｂ）を形成した場合、部品収容室（Ｈ
ｂ）は高真空の第１ポンプ室（Ｐ１）よりも低真空（高
圧）の第ｍポンプ室（Ｐｍ、ｍ＝２）に隣接することに
なる。このため、部品収容室（Ｈｂ）内の圧力を比較的
高圧に保持することができるので、部品収容室（Ｈｂ）
内に発熱部品（モータロータＭｂ等）が収容されている
場合、高真空の場合よりも熱伝達が良くなるので、熱を
外部に逃がし易い。すなわち、部品の真空断熱による温
度上昇を防止することができる。なお、ｍが大きくなる
と第１ポンプ室と第ｍ＋１ポンプ室との圧力差が大きく
なって気体の逆流が生じ易くなるので、ｍ≦（１／２）
ｎと設定するのが好ましい。

【００１４】なお前記構成要件（Ａ01）を備えた本発明
の多段ルーツポンプ（１）では、例えばｍ＝３、ｎ＝６
とすることができる。その場合、前記上流端壁（２）側
から前記下流端壁（３）側に向かって順次第３ポンプ室
（第ｍポンプ室、ｍ＝３）、第２ポンプ室（第ｍ−１ポ
ンプ室）、第１ポンプ室（第ｍ−２ポンプ室）、第４ポ
ンプ室（第ｍ＋１ポンプ室）、第５ポンプ室（第ｍ＋２
ポンプ室、すなわち、第ｎ−１ポンプ室、ｎ＝６）、第
６ポンプ室（第ｎポンプ室）が形成されているので、上
流端壁（２）の外端側に部品収容室（例えばモータ室
等）（Ｈｂ）を形成した場合、部品収容室（Ｈｂ）は高
真空の第１ポンプ室（Ｐ１）よりも低真空（高圧）の第
ｍポンプ室（ｍ＝３）に隣接することになる。このた
め、部品収容室（Ｈｂ）内の圧力を比較的高圧に保持す
ることができるので、部品収容室（Ｈｂ）内に発熱部品
（モータロータＭｂ等）が収容されている場合、高真空
の場合よりも熱伝達が良くなるので、熱を外部に逃がし
易い。すなわち、部品の真空断熱による温度上昇を防止
することができる。

【００１５】前記構成要件（Ａ01）を備えた本発明にお
いて、次の構成要件（Ａ0101）を備えることが可能であ
る。（Ａ0101）上流端壁（２）および下流端壁（３）と
前記両端壁（２，３）間に配置された複数の仕切壁（６
〜８，１１）を上流端壁（２）側に近い仕切壁（６）か
ら順に第１仕切壁、第２仕切壁、…、と名付けた場合
に、上下に２分割された下ブロック（Ｂ１ａ）および上
ブロック（Ｂ１ｂ）により構成されるとともに前記第１
仕切壁（６）〜第３仕切壁（８）と外壁（９）とを有し
且つ前記第１仕切壁（６）〜第３仕切壁（８）の間に第
１ポンプ室（Ｐ１）および第３ポンプ室（Ｐ３）を形成
する仕切壁形成ブロック（Ｂ）。

【００１６】前記構成要件（Ａ0101）を備えた本発明の
多段ルーツポンプ（１）では、上下に２分割された下ブ
ロック（Ｂ１ａ）および上ブロック（Ｂ１ｂ）により構
成された仕切壁形成ブロック（Ｂ１）は、第１仕切壁
（６）〜第３仕切壁（８）と外壁（９）とを有し且つ前
記第１仕切壁（６）〜第３仕切壁（８）の間に第１ポン
プ室（Ｐ１）および第３ポンプ室（Ｐ３）を形成する。
すなわち、上下２つの仕切壁ブロック（Ｂ１ａ，Ｂ１
ｂ）により３つの仕切壁（６〜８）および２つのポンプ
室（Ｐ１，Ｐ３）を形成しているので、複数の各仕切壁
毎に上下に２分割する場合に比較して、ケーシング
（Ｃ）を構成する部材（仕切壁形成ブロック等）の個数
（すなわち、部品点数）を減少させることができる。

【００１７】前記構成要件（Ａ01）または（Ａ01），
（Ａ0101）を備えた本発明において、次の構成要件（Ａ
0102）を備えることが可能である。（Ａ0102）ケーシン
グ（Ｃ）の外側に配置されるとともに、前記第２ポンプ
室（Ｐ２）の排気孔（Ｐ２ｂ）と前記第３ポンプ室（Ｐ
３）の吸気孔（Ｐ３ａ）とを接続する接続管（Ｌ）。

【００１８】前記構成要件（Ａ0102）を備えた本発明の
多段ルーツポンプ（１）では、第２ポンプ室（Ｐ２）か
ら第３ポンプ室（Ｐ３）に吸引される気体は前記接続管
（Ｌ）を通過する間に冷却されて圧力が低下する。この
ため、第３ポンプ室（Ｐ３）のポンプ排気効率が向上す
る。

【００１９】前記構成要件（Ａ01）または（Ａ01），
（Ａ0101）を備えた本発明において、次の構成要件（Ａ
0103）を備えることが可能である。（Ａ0103）前記第２
仕切壁（７）の中央部を上下に伸びる上下連通孔（Ｓ２
ａ）と、前記上下連通孔（Ｓ２ａ）の下端部と第２ポン
プ室（Ｐ２）の排気孔（Ｐ２ｂ）とを連通させる排気側
連通孔（Ｓ２ｂ）と、前記上下連通孔（Ｓ２ａ）の上端
部と第３ポンプ室（Ｐ３）の吸気孔（Ｐ３ａ）とを連通
させる吸気側連通孔（Ｓ２ｃ）とを有する前記仕切壁形
成ブロック（Ｂ１）。

【００２０】前記構成要件（Ａ0103）を備え本発明の多
段ルーツポンプ（１）では、前記第２ポンプ室（Ｐ２）
と第３ポンプ室（Ｐ３）とは、前記第２仕切壁（７）の
中央部を上下に伸びる上下連通孔（Ｓ２ａ）と、前記上
下連通孔（Ｓ２ａ）の下端部と第２ポンプ室（Ｐ２）の
排気孔（Ｐ２ｂ）とを連通させる排気側連通孔（Ｓ２
ｂ）と、前記上下連通孔（Ｓ２ａ）の上端部と第３ポン
プ室（Ｐ３）とを連通させる吸気側連通孔（Ｓ２ｃ）と
により連通させることができる。この場合、前記ケーシ
ング（Ｃ）の外側に配置した接続管（Ｌ）を使用する必
要がなくなるので、多段ルーツポンプ（１）全体をコン
パクトに構成することが可能となる。

【００２１】また、本発明の多段ルーツポンプ（１）
は、互いに離れて配置された上流端壁（２）および下流
端壁（３）と前記両端壁（２，３）間に配置された複数
の仕切壁（６〜８，１１）および外壁（９，１２）を有
し上下に分割された仕切壁形成ブロック（Ｂ）とを有
し、前記上流端壁（２）、複数の仕切壁（６〜８，１
１）および下流端壁（３）の各壁の間にそれぞれ吸気孔
（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）および排気孔（Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂ）に
接続するポンプ室（Ｐ１〜Ｐ５）を形成するケーシング
（Ｃ）と、前記上流端壁（２）、複数の仕切壁（６〜
８，１１）、および下流端壁（３）を貫通する平行な一
対の回転軸（Ａ１，Ａ２）と、前記各ポンプ室（Ｐ１〜
Ｐ５）内にそれぞれ配置され且つ前記一対の回転軸（Ａ
１，Ａ２）にそれぞれ設けられて、回転時に前記吸気孔
（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）から吸気した気体を前記排気孔（Ｐ
１ｂ〜Ｐ５ｂ）から排出する一対のポンプロータ（Ｒ１
ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５ａ，Ｒ５ｂ）と、前記複数のポンプ室
（Ｐ１〜Ｐ５）において容積の大きいポンプ室（Ｐ１）
から順次容積の小さいポンプ室（Ｐ２，Ｐ３，…）に気
体が移送されるように各ポンプ室間を連通させる連通路
（Ｓ１〜Ｓ４）と、を備えた多段ルーツポンプ（１）に
おいて、次の構成要件（Ａ03），（Ａ04）を備えたこと
を特徴とする。（Ａ03）容積の小さいポンプ室から順に
下流端側第１ポンプ室（Ｐ５）、下流端側第２ポンプ室
（Ｐ４）、…、と名付けた場合に、前記下流端壁（３）
側から前記上流端壁（２）側に向かって順次下流端側第
１ポンプ室（Ｐ５）、下流端側第２ポンプ室（Ｐ４）、
下流端側第３ポンプ室（Ｐ３）が形成された前記ケーシ
ング（Ｃ）、（Ａ04）前記下流端側第１ポンプ室（Ｐ
５）と下流端側第２ポンプ室（Ｐ４）との間の仕切壁
（１１）を下流端側第１仕切壁（１１）、前記下流端側
第２ポンプ室（Ｐ４）と下流端側第３ポンプ室（Ｐ３）
との間の仕切壁（８）を下流端側第２仕切壁（８）と名
付けた場合に、下流端側第１仕切壁（１１）は前記下流
端壁（３）および下流端側第２仕切壁（８）とは別体に
構成された前記ケーシング（Ｃ）。

【００２２】前記構成要件（Ａ03），（Ａ04）を備えた
本発明の多段ルーツポンプ（１）では、下流端側第１仕
切壁（１１）は前記下流端壁（３）および下流端側第２
仕切壁（８）とは別体に構成されているので、下流端側
第１ポンプ室（Ｐ５）は下流端壁（３）または下流端側
第１仕切壁（１１）の端面に形成することができる。し
たがって、下流端側第１ポンプ室（Ｐ５）は、互いに別
体に形成された前記下流端壁（３）または下流端側第１
仕切壁（１１）のいずれかの端面に形成することができ
るので、ロータ厚み方向の幅が狭いポンプ室であっても
切削加工により容易に形成することができる。また、下
流端側第２ポンプ室（Ｐ４）は、互いに別体に形成され
た前記下流端側第１仕切壁（１１）または下流端側第２
仕切壁（８）のいずれかの端面に形成することができる
ので、ロータ厚み方向の幅が狭いポンプ室であっても切
削加工により容易に形成することができる。

【００２３】また、本発明の多段ルーツポンプ（１）
は、互いに離れて配置された上流端壁（２）および下流
端壁（３）と前記両端壁（２，３）間に配置された複数
の仕切壁（６〜８，１１）および外壁（９，１２）を有
し上下に分割された仕切壁形成ブロック（Ｂ）とを有
し、前記上流端壁（２）、複数の仕切壁（６〜８，１
１）および下流端壁（３）の各壁の間にそれぞれ吸気孔
（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）および排気孔（Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂ）に
接続するポンプ室（Ｐ１〜Ｐ５）を形成するケーシング
（Ｃ）と、前記上流端壁（２）、複数の仕切壁（６〜
８，１１）、および下流端壁（３）を貫通する平行な一
対の回転軸（Ａ１，Ａ２）と、前記各ポンプ室（Ｐ１〜
Ｐ５）内にそれぞれ配置され且つ前記一対の回転軸（Ａ
１，Ａ２）にそれぞれ設けられて、回転時に前記吸気孔
（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）から吸気した気体を前記排気孔（Ｐ
１ｂ〜Ｐ５ｂ）から排出する一対のポンプロータ（Ｒ１
ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５ａ，Ｒ５ｂ）と、前記複数のポンプ室
（Ｐ１〜Ｐ５）において容積の大きいポンプ室（Ｐ１）
から順次容積の小さいポンプ室（Ｐ２，Ｐ３，…）に気
体が移送されるように各ポンプ室間を連通させる連通路
（Ｓ１〜Ｓ４）と、を備えた多段ルーツポンプ（１）に
おいて、次の構成要件（Ａ05），（Ａ06）を備えたこと
を特徴とする多段ルーツポンプ、（Ａ05）連続して配置
された３個の仕切壁（６〜８）を有し且つ上下に２分割
された下ブロック（Ｂ１ａ）および上ブロック（Ｂ１
ｂ）により構成された前記仕切壁形成ブロック（Ｂ
１）、（Ａ06）ｑを正の整数（例えばｑ＝１）とした場
合に前記連続して配置された３個の仕切壁（６〜８）を
前記上流端壁（２）側から下流端壁（３）側に第ｑ仕切
壁（ｑ＝１の場合は第１仕切壁）（６）、第ｑ＋１仕切
壁（７）、第ｑ＋２仕切壁（８）と名付け、且つ前記第
ｑ仕切壁の上流側に形成されるポンプ室を第ｑポンプ室
（例えばｑ＝１の場合は第１ポンプ室）、前記第ｑ＋１
仕切壁の上流側に形成されるポンプ室を第ｑ＋１ポンプ
室、前記第ｑ＋２仕切壁の上流側に形成されるポンプ室
を第ｑ＋２ポンプ室、前記第ｑ＋２仕切壁の下流側に形
成されるポンプ室を第ｑ＋３ポンプ室と名付けた場合
に、前記第ｑポンプ室の排気孔と第ｑ＋1ポンプ室の吸
気孔との連通孔は前記第ｑ仕切壁の上流側端面に形成さ
れ、前記第ｑ＋２ポンプ室の排気孔と第ｑ＋３ポンプ室
の吸気孔とは前記第ｑ＋２仕切壁の下流側端面に形成さ
れ、前記第ｑ＋１ポンプ室と第ｑ＋２ポンプ室とを連通
させる連通孔は前記第ｑ＋１仕切壁の中央部を上下に延
びる上下連通孔と、前記上下連通孔の下端部と前記第ｑ
＋１ポンプ室の排気孔とを連通させる排気側連通孔と、
前記上下連通孔の上端部と前記第ｑ＋２ポンプ室の吸気
孔とを連通させる吸気側連通孔とにより形成された前記
仕切壁形成ブロック。

【００２４】前記構成要件（Ａ05），（Ａ06）を備えた
本発明の多段ルーツポンプ（１）を後述の実施の形態２
および３に対応させて説明すると、次の作用を奏する。
前記構成要件（Ａ05），（Ａ06）を備えた本発明の多段
ルーツポンプでは、例えば前記ｑ＝１の場合、前記第ｑ
ポンプ室（例えばｑ＝１の場合は第１ポンプ室Ｐ１）の
排気孔（Ｐ１ｂ）と第ｑ＋1ポンプ室（第２ポンプ室Ｐ
２）の吸気孔（Ｐ２ａ）との連通孔は前記第ｑ仕切壁
（第１仕切壁６）の上流側端面に形成され、前記第ｑ＋
２ポンプ室（第３ポンプ室Ｐ３）の排気孔（Ｐ３ｂ）と
第ｑ＋３ポンプ室（第４ポンプ室Ｐ４）の吸気孔（Ｐ４
ａ）との連通孔は前記第ｑ＋２仕切壁（第３仕切壁８）
の下流側端面に形成される。前記第ｑ仕切壁（第１仕切
壁６）の上流側端面および前記第ｑ＋２仕切壁（第３仕
切壁８）の下流側端面は外部に露出するので、それらの
端面に形成される連通孔は切削加工により容易に形成す
ることができる。また、前記第ｑ＋１ポンプ室（第２ポ
ンプ室Ｐ２）と第ｑ＋２ポンプ室（第３ポンプ室Ｐ３）
とを連通させる上下連通孔（Ｓ２ａ）は下ブロック（Ｂ
１ａ）および上ブロック（Ｂ１ｂ）の分割面から容易に
切削加工することかできる。また、前記上下連通孔（Ｓ
２ａ）の下端部と前記第ｑ＋１ポンプ室（第２ポンプ室
Ｐ２）の排気孔（Ｐ２ｂ）とを連通させる排気側連通孔
（Ｓ２ｂ）と、前記上下連通孔（Ｓ２ａ）の上端部と前
記第ｑ＋２ポンプ室（第３ポンプ室Ｐ３）の吸気孔（Ｐ
３ａ）とを連通させる吸気側連通孔（Ｓ２ｃ）も前記仕
切壁形成ブロック（Ｂ１）の外側面から切削加工により
容易に形成することができる。したがって、連続して配
置された３個の仕切壁（６〜８）を有し且つ上下に２分
割された下ブロック（Ｂ１ａ）および上ブロック（Ｂ１
ｂ）により構成された前記仕切壁形成ブロック（Ｂ１）
において、各仕切り壁（６〜８）の上流側のポンプ室と
下流側のポンプ室とを連通させる連通孔を複雑な中子を
使用することなく切削加工により容易に形成することが
できる。しかも、３個の仕切壁（６〜８）を有する仕切
壁形成ブロック（Ｂ１）を２分割するだけなので、多段
ルーツポンプ（１）のケーシング（Ｃ）の部品数（分割
数）の少なくすることができる。

【００２５】また、本発明の多段ルーツポンプ（１）
は、互いに離れて配置された上流端壁（２）および下流
端壁（３）と前記両端壁（２，３）間に配置された複数
の仕切壁（６〜８，１１）および外壁（９，１２）を有
し上下に分割された仕切壁形成ブロック（Ｂ）とを有
し、前記上流端壁（２）、複数の仕切壁（６〜８，１
１）および下流端壁（３）の各壁の間にそれぞれ吸気孔
（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）および排気孔（Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂ）に
接続するポンプ室（Ｐ１〜Ｐ５）を形成するケーシング
（Ｃ）と、前記上流端壁（２）、複数の仕切壁（６〜
８，１１）、および下流端壁（３）を貫通する平行な一
対の回転軸（Ａ１，Ａ２）と、前記各ポンプ室（Ｐ１〜
Ｐ５）内にそれぞれ配置され且つ前記一対の回転軸（Ａ
１，Ａ２）にそれぞれ設けられて、回転時に前記吸気孔
（Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ）から吸気した気体を前記排気孔（Ｐ
１ｂ〜Ｐ５ｂ）から排出する一対のポンプロータ（Ｒ１
ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５ａ，Ｒ５ｂ）と、前記複数のポンプ室
（Ｐ１〜Ｐ５）において容積の大きいポンプ室（Ｐ１）
から順次容積の小さいポンプ室（Ｐ２，Ｐ３，…）に気
体が移送されるように各ポンプ室間を連通させる連通路
（Ｓ１〜Ｓ４）と、を備えた多段ルーツポンプ（１）に
おいて、次の構成要件（Ａ07）を備えたことを特徴とす
る多段ルーツポンプ、（Ａ07）前記仕切壁形成ブロック
（Ｂ１）により形成されるポンプ室（Ｐ１；Ｐ３）の下
端部において前記一対の回転軸（Ａ１，Ａ２）の軸間の
中心位置の両側に下方に延びて形成され、前記下方に延
びた部分の下端部において前記仕切壁形成ブロック（Ｂ
１）の軸方向の端面に開口して形成された一対の前記排
気孔（Ｐ１ｂ，Ｐ１ｂ；Ｐ３ｂ，Ｐ３ｂ）と、前記一対
の排気孔（Ｐ１ｂ，Ｐ１ｂ；Ｐ３ｂ，Ｐ３ｂ）の開口部
から外側に円弧状に延びるように前記端面に形成され且
つ上端部において下流側のポンプ室（Ｐ２； Ｐ４）の
吸気孔（Ｐ２ａ；Ｐ４ａ）に連通する連通孔（Ｓ１，Ｓ
１；Ｓ３，Ｓ３）とが形成された前記仕切壁形成ブロッ
ク（Ｂ１）。

【００２６】前記構成要件（Ａ07）を備えた本発明の多
段ルーツポンプ（１）を後述の実施の形態１に対応させ
て説明すると、次の作用を奏する。前記仕切壁形成ブロ
ック（Ｂ１）の軸方向の端面に一対の連通孔（Ｓ１，Ｓ
１；Ｓ３，Ｓ３）を形成するので、前記連通孔（Ｓ１，
Ｓ１；Ｓ３，Ｓ３）を切削加工により容易に形成するこ
とができる。また、前記仕切壁形成ブロック（Ｂ１）の
軸方向の端面に形成された前記一対の連通孔（Ｓ１，Ｓ
１；Ｓ３，Ｓ３）の下端部は、前記一対の回転軸（Ａ
１，Ａ２）の軸間の中心位置の下方の両側に配置され
る。したがって、前記端面において前記一対の連通孔
（Ｓ１，Ｓ１；Ｓ３，Ｓ３）の下端部の間の部分には前
記連通孔（Ｓ１，Ｓ１；Ｓ３，Ｓ３）は形成されていな
い。したがって、前記下端部の端面部分は、前記一対の
連通孔（Ｓ１，Ｓ１；Ｓ３，Ｓ３）以外の連通孔（Ｓ２
ｂ）等を形成するために使用することができる。また、
前記下端部の端面部分に接合する他の仕切壁形成ブロッ
ク（Ｂ２）の端面部分には排気孔（Ｐ４ｂ）等を形成す
るために使用することができる。このため、仕切り壁形
成ブロック（Ｂ１，Ｂ２）の連通孔や排気孔等を容易に
形成することができるようになるので、ケーシング
（Ｃ）の構成を簡素化することが可能となり、小型化も
容易になる。

【００２７】

【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら、本発明
の実施の形態を説明するが、本発明は以下の実施の形態
に限定されるものではない。 （実施の形態１）図１は本発明の多段ルーツポンプの実
施の形態１の説明図であり、図１Ａは正断面図で図１Ｃ
のＩＡ−ＩＡ線断面図、図１Ｂは平断面図で前記図１Ａ
のＩＢ−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１ＡのＩＣ−Ｉ
Ｃ線断面図、図１Ｄは前記図１ＡのＩＤ−ＩＤ線断面図
である。図２は前記図１Ａの拡大図である。図３は前記
図１Ｂの拡大図である。図４は前記図１Ｃおよび図１Ｄ
の拡大図であり、図４Ａは前記図１Ｃの拡大図、図４Ｂ
は前記図１Ｄの拡大図である。

【００２８】図１〜図４において、多段ルーツポンプ１
は、互いに離れて配置された上流端壁２および下流端壁
３を有している。上流端壁２の外端面にはモータＭを収
容するモータハウジングＨが連結されている。前記モー
タハウジングＨは前記上流端壁２の外端面に接合する接
合壁Ｈａと、その外端側に形成されたモータ室（部品収
容室）Ｈｂとを有している。モータ室Ｈｂの外端は上流
端カバー４により閉塞されている。下流端壁３は、内端
側のポンプ室形成壁３ａと外端側のベアリング装着壁３
ｂとを有しており、その外端面側には下流端カバー５が
連結されている。下流端カバー５には、前記ベアリング
装着壁３ｂとの間にギヤＧ１，Ｇ２および潤滑油等を収
容するギヤ室５ａが形成されている。

【００２９】前記両端壁２および３の間にはケーシング
部材（ケーシングＣを構成する部材）としての仕切壁形
成ブロックＢが配置されており、仕切壁形成ブロックＢ
は前記上流端壁２側に配置された上流側の仕切壁形成ブ
ロック（以下、「上流側ブロック」という）Ｂ１と下流
端壁３側に配置された下流側の仕切壁形成ブロック（以
下「下流側ブロック」という）Ｂ２とを有している。上
流側ブロックＢ１は上流端側から下流端側に向かって順
次配置された複数の仕切壁６，７，８（すなわち、第１
仕切壁６、第２仕切壁７、第３仕切壁８）および前記複
数の各仕切壁６〜８の外周部を連結する外壁９を有して
いる。前記上流側ブロックＢ１は下ブロックＢ１ａおよ
び上ブロックＢ１ｂに分割されており、組み立て時には
それらの接合面にはＯリングシールまたは液状シール
（接着剤）などが設けられる。前記上流側ブロックＢ１
の下ブロックＢ１ａは各仕切壁６〜８の下半分である下
部仕切壁６ａ〜８ａおよび外壁９の下半分である下部外
壁９ａにより形成され、前記上ブロックＢ１ｂは各仕切
壁６〜８の上半分である上部仕切壁６ｂ〜８ｂおよび外
壁９の上半分である上部外壁９ｂにより形成されてい
る。

【００３０】また、前記下流側ブロックＢ２は仕切壁
（すなわち、第４仕切壁）１１およびその外周部に設け
た外壁１２を有している。前記下流側ブロックＢ２は下
ブロックＢ２ａおよび上ブロックＢ２ｂに分割されてい
る。前記下流側ブロックＢ２の下ブロックＢ２ａは仕切
壁１１の下半分である下部仕切壁１１ａおよび外壁１２
の下半分である下部外壁１２ａにより形成され、前記上
ブロックＢ２ｂは仕切壁１１の上半分である上部仕切壁
１１ｂおよび外壁１２の上半分である上部外壁１１ｂに
より形成されている。

【００３１】前記両端壁２，３、仕切壁６〜８および１
１の間にはそれぞれ上流端側から下流端側に向かって順
次第２ポンプ室Ｐ２、第１ポンプ室Ｐ１、第３〜第５ポ
ンプ室Ｐ３〜Ｐ５が形成されている。第２ポンプ室Ｐ２
は上流端壁２の端面に形成された凹部とこの凹部を閉塞
する上流側ブロックＢ１の仕切壁６の端面とにより形成
されている。第１ポンプ室Ｐ１は上流側ブロックＢ１の
仕切壁６と７との間に形成され、第３ポンプ室Ｐ３は仕
切壁７と８との間に形成されている。第４ポンプ室Ｐ４
は下流側ブロックＢ２の仕切壁１１の上流側端面に形成
された凹部とこの凹部を閉塞する前記上流側ブロックＢ
１の仕切壁８の下流側端面とにより形成されている。ま
た、第５ポンプ室Ｐ５は下流端壁３の上流側端面に形成
された凹部とこの凹部を閉塞する前記下流側ブロックＢ
２の仕切壁１１の下流側端面とにより形成されている。

【００３２】なお、前記上流端カバー４、モータハウジ
ングＨ、上流端壁２、仕切壁形成ブロックＢ、下流端壁
３、下流端カバー５等によりケーシングＣが構成されて
いる。図２、図３において、前記モータハウジングＨの
モータ室Ｈｂに収容されたモータＭは、ステータＭａお
よびモータロータＭｂを有している。駆動軸Ａ１は、前
記接合壁Ｈａ、上流端壁２、仕切壁６〜８，１１、およ
び下流端壁３を貫通している。前記上流端壁２の駆動軸
貫通孔には、その外端面側に前記駆動軸Ａ１を回転可能
に支持するベアリング１６およびリング状のシール１７
が装着されている。前記ベアリング１６の外端側には、
前記駆動軸Ａ１の外周にスペーサ１８およびモータロー
タＭｂが装着されている。前記駆動軸Ａ１およびモータ
ロータＭｂは、それらの外端部がキー１９（図３参照）
により回転不能に連結されるとともに、それらの外端に
は軸端プレート２０が当接している。軸端プレート２０
と駆動軸Ａ１とは連結ネジＮにより連結されている。前
記ステータＭａとモータロータＭｂとの間にはモータロ
ータＭｂの周囲を囲むケース２１配置されており、ケー
ス２１はモータハウジングＨに固定されている。ケース
２１内部はその外側に対して気密にシールされている。

【００３３】前記モータハウジングＨの内の内部に図示
しないパージガス供給管からパージガス（例えば窒素ガ
ス）が供給される。供給されたパージガスは前記ケース
２１内部に流入し、モータＭのロータＭｂで発熱した熱
を外部に伝達する作用をする。また、ケース２１内部の
窒素ガスの圧力が第２ポンプ室Ｐ２の圧力に比較して高
くなると、前記窒素ガスは、ベアリング１６およびシー
ル１７から第２ポンプ室Ｐ２にリークされる。したがっ
て、モータ室Ｈｂのケース２１内部は、第２ポンプ室Ｐ
２とほぼ同じ圧力（低圧）になるが、第１ポンプ室Ｐ１
よりも高圧であるので、モータＭのロータ部が真空断熱
されることを防止している。また、モータハウジングＨ
には、その内部の前記モータＭを駆動するための電力供
給用の電源ケーブル接続用コネクタＨｅが設けられいて
る。

【００３４】図３において、前記ケーシングＣには、前
記上流端壁２、仕切壁６〜８，１１、および下流端壁３
を貫通して従動軸Ａ２が回転可能に支持されている。前
記上流端壁２の従動軸貫通孔には、その外端面側に前記
従動軸Ａ２を回転可能に支持するベアリング１６および
リング状のシール１７が装着されている。この従動軸Ａ
２のためのベアリング１６およびシール１７は、前記駆
動軸Ａ１のものと同様に構成されている。

【００３５】図３において、本実施の形態１の多段ルー
ツポンプ１では、前記下流端壁３のベアリング装着壁３
ｂには前記駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２が貫通する貫通
孔が形成されており、各貫通孔にはそれぞれベアリング
ケース２６が装着されている。各ベアリングケース２６
の内端部に対応して前記駆動軸Ａ１またはＢにはシール
用円筒部材２７が装着されている。各ベアリングケース
２６にはそれぞれ、内端部側から外端部側に向かって順
次リング状のシール２８およびベアリング２９，２９が
装着されている。前記ベアリングケース２６の外端面に
は、抜け止めプレート３０が図示しないネジにより固定
されており、前記外端側に配置されたベアリング２９が
外端側に移動するのを防止している。前記シール２８
は、ギヤ室５ａの潤滑油が第５ポンプ室側に流入するの
を防止する機能を有している。

【００３６】駆動軸Ａ１には前記ベアリングケース２６
の外端側にギヤＧ１が装着されており、前記ギヤＧ１は
キー３１、抜止プレート３２およびネジＮ等により駆動
軸Ａ１の外端部に固定されている。従動軸Ａ２には前記
ベアリングケース２６の外端側に円筒状カラー３５およ
びギヤＧ２および抜止リング３６が順次装着されてお
り、抜止リング３６の外端面には潤滑油攪拌部材３７が
配置されている。前記潤滑油攪拌部材３７および抜止リ
ング３６はそれらを貫通するネジＮ等により前記ギヤＧ
２および従動軸Ａ２に固定されている。そして、駆動軸
Ａ１が回転するとギヤＧ１、Ｇ２を介して従動軸Ａ２が
回転する。

【００３７】図２において、前記ケーシングＣの上流端
壁２には、前記第２ポンプ室Ｐ２の上端部に前記駆動軸
Ａ１および従動軸Ａ２の軸間の中心部の上方に吸気孔Ｐ
２ａが上方に延びて形成されている。また、上流端壁２
の下端部には下方に延びる排気孔Ｐ２ｂが形成されてお
り、この排気孔Ｐ２ｂは下方に延びる部分とその下端か
ら上流端側に延びる部分とを有している。そして排気孔
Ｐ２ｂの下流端（前記上流端側に延びる部分の外端）は
上流端壁２の下端部の上流側端面に接続する接続管Ｔ１
に接続している。接続管Ｔ１は逆止弁Ｖ１を介して排気
管Ｔ２に接続されている。

【００３８】前記ケーシングＣの上流側ブロックＢ１に
は、前記ポンプ室Ｐ１の上端部に吸気孔Ｐ１ａが形成さ
れており、この吸気孔Ｐ１ａは吸気管Ｔ３を介して図示
しない真空チャンバに接続されている。なお、吸気孔Ｐ
１ａは前記駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２の軸間の中央部
上方に形成されている。図３、図４において、ポンプ室
Ｐ１の下端部には前記駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２の軸
間の中心位置の両側に一対の排気孔Ｐ１ｂ，Ｐ１ｂが下
方に延びて形成されている。前記一対の排気孔Ｐ１ｂ，
Ｐ１ｂはその下端部において前記軸間の中心から離れる
方向に広がり且つ上流側に延びて形成されている。そし
て、排気孔Ｐ１ｂ，Ｐ１ｂの下流端は上流側ブロックＢ
１の上流側端面に開口している。上流側ブロックＢ１の
外壁９の上流側端面には前記一対の排気孔Ｐ１ｂ，Ｐ１
ｂの下流端から半円状の連通溝Ｓ１，Ｓ１が形成されて
いる。連通溝Ｓ１，Ｓ１はポンプ室Ｐ１よりも下方から
上方に延びており、上方位置において合流し且つ前記第
２ポンプ室Ｐ２の吸気孔Ｐ２ａに連通している。

【００３９】図２〜図４において、上流側ブロックＢ１
には、前記第３、第４ポンプ室の上端部に前記駆動軸Ａ
１および従動軸Ａ２の軸間の中心部の上方に吸気孔Ｐ３
ａ、Ｐ４ａが上方に延びて形成されている。また、前記
第３ポンプ室Ｐ３の下端部には、前記ポンプ室Ｐ１の下
端部に設けた一対の排気孔Ｐ１ｂ，Ｐ１ｂと同様の一対
の排気孔Ｐ３ｂ，Ｐ３ｂが下方に延びて形成されてい
る。前記一対の排気孔Ｐ３ｂ，Ｐ３ｂはその下端部にお
いて前記軸間の中心から離れる方向に広がり且つ下流側
に延びて形成されている。そして、排気孔Ｐ３ｂ，Ｐ３
ｂの下流端は上流側ブロックＢ１の下流側端面に開口し
ている。

【００４０】前記上流側ブロックＢ１の第２仕切壁７に
は、その中央部（前記駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２の中
間部）を上下に伸びる上下連通孔Ｓ２ａが形成されてい
る。また、上流側ブロックＢ１の下部外壁９ａには上流
側ブロックＢ１の上流側端面に１端部が開口し且つ他端
部が前記上下連通孔Ｓ２ｂの下端部に連通する排気側連
通孔Ｓ２ｂが形成され、上流側ブロックＢ１の上部外壁
９ｂには、前記上下連通孔Ｓ２ａの上端部と第３ポンプ
室Ｐ３の吸気孔Ｐ３ａとを連通させる吸気側連通孔Ｓ２
ｃが形成されている。したがって、第２ポンプ室Ｐ２の
排気孔Ｐ２ｂは、順次前記排気側連通孔Ｓ２ｂ、上下連
通孔Ｓ２ａおよび吸気側連通孔Ｓ２ｃを介して第３ポン
プ室Ｐ３の吸気孔Ｐ３ａに接続している。

【００４１】前記上流側ブロックＢ１の仕切壁８の下流
側端面には、前記第３ポンプ室Ｐ３の排気孔Ｐ３ｂ，Ｐ
３ｂの下流端から半円状の連通溝Ｓ３，Ｓ３が形成され
ている。前記連通溝Ｓ３，Ｓ３はポンプ室Ｐ３よりも下
方から上方に延びており、上方位置において合流してい
る。

【００４２】前記下流側ブロックＢ２の仕切壁１１の上
流側端面に形成された第４ポンプ室Ｐ４の上端には上方
に延びる吸気孔Ｐ４ａが形成されている。この吸気孔Ｐ
４ａの上端部には前記連通孔Ｓ３，Ｓ３の上端部が連通
している。第４ポンプ室Ｐ４の下端部には下方に延びる
排気孔Ｐ４ｂが形成されており、この排気孔Ｐ４ｂは下
方に延びる部分とその下端から下流端側に延びる部分と
を有している。そして排気孔Ｐ４ｂの下流端（前記下流
端側に延びる部分の外端）は仕切壁１１の下流側端面
（図２、図３で右端面）の下端部に開口している。前記
仕切壁１１の下流側端面には、前記第４ポンプ室Ｐ４の
排気孔Ｐ４ｂの下流端から円形の連通溝Ｓ４が形成され
ている。連通溝Ｓ４はポンプ室Ｐ４よりも下方から上方
に延びており、上方位置において合流している。

【００４３】前記下流端壁３の上流側端面には、前記第
５ポンプ室Ｐ５を形成する凹部と、前記第５ポンプ室Ｐ
５の上端に上方に延びて形成された吸気孔Ｐ５ａと、こ
の吸気孔Ｐ５ａの上端部に接続する円形の連通溝Ｓ４が
形成されている。この下流端壁３の上流側端面に形成さ
れた連通溝Ｓ４は前記前記仕切壁１１の下流側端面に形
成された連通溝Ｓ４と接合するように形成されている。
したがって、前記第４ポンプ室Ｐ４の排気孔Ｐ４ｂから
排気された気体は、前記接合する円形の連通孔Ｓ４，Ｓ
４を通って吸気孔Ｐ５ａからポンプ室Ｐ５に吸気され
る。

【００４４】下流端壁３には第５ポンプ室Ｐ５の下部中
央部に排気孔Ｐ５ｂが形成されており、排気孔Ｐ５ｂの
下流端は下流端壁３の下端面に開口している。前記排気
孔Ｐ５ｂの下流端は接続管Ｔ４および逆止弁Ｖ２を介し
て前記排気管Ｔ２に接続されている。

【００４５】前記駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２には、そ
れぞれ前記各ポンプ室Ｐ１〜Ｐ５内部に収容されたポン
プロータＲ１ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５ａ，Ｒ５ｂが設けられて
いる。前記各ポンプロータＲ１ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ５ａ，Ｒ
５ｂは前記駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２と一体的に回転
し、その回転時に、各ポンプ室Ｐ１〜Ｐ５の吸気孔Ｐ１
ａ〜Ｐ５ａから吸気した気体を排気孔Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂに
排気する。

【００４６】本実施の形態１の多段ルーツポンプ１は、
上流側（真空側）の第１ポンプ室Ｐ１と下流側（大気
側）の第３ポンプ室Ｐ３との間に第２ポンプ室Ｐ２が配
置されていないので、第１ポンプ室Ｐ１と第３ポンプ室
Ｐ３との間の圧力差が大きくなる。前記圧力差が大きく
なると逆流が生じてポンプ性能が低下するので、第１ポ
ンプ室Ｐ１と第３ポンプ室Ｐ３との間の仕切り壁７を貫
通する駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２の軸貫通孔の内周面
にリング状の圧力調節溝７Ａおよび７Ｂを形成してい
る。そして、前記圧力調節溝７Ａ，７Ｂに前記第１ポン
プ室Ｐ１および第３ポンプ室Ｐ３の圧力の中間の圧力を
導入するため、前記圧力調節溝７Ａ，７Ｂと前記連通溝
Ｓ１とを連通させる連通溝Ｌ１が設けられている。この
場合、前記圧力調節溝７Ａ，７Ｂは第２ポンプ室Ｐ２の
吸入孔Ｐ２ａの圧力と同じ圧力（前記第１ポンプ室Ｐ１
および第３ポンプ室Ｐ３の圧力の中間の圧力）となる。

【００４７】（実施の形態１の作用）前記構成を備えた
実施の形態１の多段ルーツポンプでは、前記上流端壁２
側から前記下流端壁３側に向かって順次第２ポンプ室Ｐ
２、第１ポンプ室Ｐ１、第３ポンプ室Ｐ３、…が形成さ
れているので、上流端壁２の外端側に配置したモータ室
Ｈｂは、第１ポンプ室Ｐ１よりも低真空（高圧）の第２
ポンプ室Ｐ２に隣接することになる。このため、モータ
室Ｈｂ内の圧力を比較的高圧に保持することができるの
で、モータ室Ｈｂ内のモータロータＭｂで発熱した熱の
熱伝達率が高真空の場合よりも高くなるので、熱を外部
に逃がし易い。

【００４８】また、ケーシング部材（ケーシングＣの構
成部材）である仕切壁形成ブロックＢは、上流側ブロッ
クＢ１および下流側ブロックＢ２を有しており、前記上
流側ブロックＢ１は下側ブロックＢ１ａおよび上側ブロ
ックＢ１ｂに２分割され、前記下流側ブロックＢ２は下
側ブロックＢ２ａおよび上側ブロックＢ２ｂに２分割さ
れている。そして、上流側ブロックＢ１は、第１仕切壁
６〜第３仕切壁８と外壁９とを有し且つ前記第１仕切壁
６〜第３仕切壁８の間に第１ポンプ室Ｐ１および第３ポ
ンプ室Ｐ３を形成する。すなわち、上下２つのケーシン
グ部材Ｂ１ａ，Ｂ１ｂにより３つの仕切壁６〜８および
２つのポンプ室Ｐ１，Ｐ３を形成しているので、各仕切
壁６〜８毎に上下に２分割したケーシング部材（ケーシ
ングＣの構成部材）を使用する場合と比較して、ケーシ
ングＣを構成するケーシング部材の個数（すなわち、部
品点数）を減少させることができる。

【００４９】また、前記第１ポンプ室Ｐ１の両側に配置
された第２ポンプ室Ｐ２と第３ポンプ室Ｐ３とは、前記
第２仕切壁７の中央部を上下に伸びる上下連通孔Ｓ２ａ
と、前記上下連通孔Ｓ２ａの下端部と第１ポンプ室Ｐ１
とを連通させる排気側連通孔Ｓ２ｂと、前記上下連通孔
Ｓ２ａの上端部と第３ポンプ室Ｐ３とを連通させる吸気
側連通孔Ｓ２ｃとにより連通させている。この場合、前
記第２ポンプ室Ｐ２の排気孔Ｐ２ｂと前記第３ポンプ室
Ｐ３の吸気孔Ｐ３ａとを接続する接続管を、ケーシング
の外側に配置する必要がなくなるので、多段ルーツポン
プ全体をコンパクトに構成することが可能となる。

【００５０】前記実施の形態１において、容積の一番小
さなポンプ室Ｐ５（すなわち、下流端側第１ポンプ室）
と容積の２番目に小さなポンプ室Ｐ４（すなわち、下流
端側第２ポンプ室）との間の仕切壁１１（下流端側第１
仕切壁）は、その上流側の仕切壁８および下流側の下流
端壁３とは別体に構成されているので、ポンプ室Ｐ５
（下流端側第１ポンプ室）は下流端壁３または仕切壁１
１（すなわち、下流端側第１仕切壁）の端面に形成する
ことができる。したがって、容積の一番小さなポンプ室
Ｐ５（下流端側第１ポンプ室）は、互いに別体に形成さ
れた前記下流端壁３または仕切壁１１（下流端側第１仕
切壁）のいずれかの端面に形成することができるので、
ロータ厚み方向の幅が狭いポンプ室であっても容易に形
成することができる。また、前記ポンプ室Ｐ５に接続す
る吸気孔Ｐ５ａと、それに接続する連通路孔Ｓ４も、前
記仕切壁１１（下流端側第１仕切壁）または下流端壁８
のいずれかの端面に形成することができるので、それら
の形成が容易になる。

【００５１】また、容積の２番目に小さなポンプ室Ｐ４
（下流端側第２ポンプ室）は仕切り壁１１（下流端側第
１仕切壁）または仕切壁８（下流端側第２仕切壁）の端
面に形成することができる。したがって、容積の２番目
に小さなポンプ室Ｐ４（下流端側第２ポンプ室）は、互
いに別体に形成された前記仕切壁１１（下流端側第１仕
切壁）または仕切壁８（下流端側第２仕切壁）のいずれ
かの端面に形成することができるので、ロータ厚み方向
の幅が狭いポンプ室であっても容易に形成することがで
きる。また、前記ポンプ室Ｐ４に接続する吸気孔Ｐ４ａ
または排気孔Ｐ４ｂと、それらに接続する連通路孔Ｓ３
またはＳ４も、前記仕切壁１１（下流端側第１仕切壁）
または仕切壁８（下流端側第２仕切壁）のいずれかの端
面に形成することができるので、それらの形成が容易に
なる。

【００５２】（実施の形態２）図５は本発明の実施の形
態２の説明図で、前記実施の形態１の図２に対応する図
である。なお、この実施の形態２の説明において、前記
実施の形態１の構成要素に対応する構成要素には同一の
符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施の
形態２は、下記の点で前記実施の形態１と相違している
が、他の点では前記実施の形態１と同様に構成されてい
る。実施の形態１の図２では、上流端壁２から下流側に
向かって順に第２ポンプ室Ｐ２、第１ポンプ室Ｐ１、第
３ポンプ室Ｐ３の順序で配置されていたのに対し、図５
に示す本実施の形態２では、第１ポンプ室Ｐ１，第２ポ
ンプ室Ｐ２、第３ポンプ室Ｐ３の順序で配置されてい
る。そして、上流側のポンプ室Ｐ１の一対の排気孔Ｐ１
ｂ，Ｐ１ｂは前記実施の形態１と同様に、ポンプ室Ｐ１
の下端部において前記駆動軸Ａ１および従動軸Ａ２の軸
間の中心位置の両側において下方に延びて形成されてい
る。前記一対の排気孔Ｐ１ｂ，Ｐ１ｂから下流側のポン
プ室Ｐ２の吸気孔Ｐ２ａへの連通溝Ｓ１，Ｓ１は仕切壁
６の上流側端面に形成されている。

【００５３】また、上流側の第２ポンプ室Ｐ２の排気孔
Ｐ２ｂは、第２ポンプ室Ｐ２の下端中央部から下方に延
びている。前記排気孔Ｐ２ｂとその下流側のポンプ室Ｐ
３の吸気孔Ｐ３ａとを連通させる連通孔の構成は、仕切
壁７の中央部を上下方向に延びる上下連通孔Ｓ２ａと、
前記上下連通孔Ｓ２ａの下端および第２ポンプ室Ｐ２の
排気孔Ｐ２ｂを連通させる排気側連通孔Ｓ２ｂと、前記
上下連通孔Ｓ２ａの上端および第３ポンプ室Ｐ３の吸気
孔Ｐ３ａを連通させる吸気側連通孔Ｓ２ｃとにより構成
されている。本実施の形態２では、前記排気側連通孔Ｓ
２ｂおよび吸気側連通孔Ｓ２ｃは前記仕切壁ブロックＢ
１の外壁９の外側面から切削加工された孔により形成さ
れている。なお、本実施の形態２では、前記実施の形態
１のリング状の圧力調節溝７Ａ，７Ｂおよび、前記圧力
調節溝７Ａ，７Ｂと前記連通溝Ｓ１とを連通させる連通
溝Ｌ１は省略されている。また、仕切壁形成ブロックＢ
１の下部ブロックＢ１ａの外壁に開口する排気側連通孔
Ｓ２ｂに接続間管１が接続されており、接続管Ｔ１は、
逆止弁Ｖ１を介して排気管Ｔ２に接続される。

【００５４】（本実施の形態２の作用）前記構成を備え
た本実施の形態２では、高真空（低圧）の第１ポンプ室
Ｐ１から順次圧力が高くなる第２〜第５ポンプ室Ｐ２〜
Ｐ５の順序で配置されているため、隣接するポンプ室間
の圧力差が小さいので、前記実施の形態１のリング状の
圧力調節溝７Ａ，７Ｂを省略しても気体の逆流が生じ難
くなっている。また、本実施の形態２では、前記排気側
連通孔Ｓ２ｂおよび吸気側連通孔Ｓ２ｃは前記仕切壁ブ
ロックＢ１の外壁９の外側面から切削加工により容易に
形成することができる。

【００５５】（実施の形態３）図６は本発明の実施の形
態３の説明図で、前記実施の形態２の図５に対応する図
である。なお、この実施の形態３の説明において、前記
実施の形態２の構成要素に対応する構成要素には同一の
符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施の
形態３は、下記の点で前記実施の形態２と相違している
が、他の点では前記実施の形態２と同様に構成されてい
る。前記実施の形態２の図５では、前記吸気側連通孔Ｓ
２ｃは、前記仕切壁ブロックＢ１の外壁９の外側面から
切削加工により形成されているのに対し、本実施の形態
３では第３仕切壁８の下流側端面側から切削加工により
形成されている。この切削加工も第３仕切壁８の下流側
端面から容易に行うことができる。

【００５６】（実施の形態４）図７は本発明の実施の形
態４の説明図で、前記実施の形態１の図２に対応する図
である。なお、この実施の形態４の説明において、前記
実施の形態１の構成要素に対応する構成要素には同一の
符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施の
形態４は、下記の点で前記実施の形態１と相違している
が、他の点では前記実施の形態１と同様に構成されてい
る。実施の形態１の図２では、第２ポンプ室Ｐ２の排気
孔Ｐ２ｂと第３ポンプ室Ｐ３の排気孔Ｐ３ａとの接続は
ケーシングＣの上流側ブロックＢ１の内部に形成した連
通孔Ｓ２ａ〜Ｓ２ｃにより行っていたのに対し、図７示
す実施の形態４では、第２ポンプ室Ｐ２の排気孔Ｐ２ｂ
と第３ポンプ室Ｐ３の排気孔Ｐ３ａとの接続はケーシン
グＣの外部に配置した接続管Ｌにより連通している。

【００５７】（実施の形態４の作用）前記構成を備えた
実施の形態の多段ルーツポンプ１では、第２ポンプ室Ｐ
２から第３ポンプ室Ｐ３に吸引される気体は前記接続管
Ｌにより冷却されて圧力が低下する。このため、第３ポ
ンプ室のポンプの排気効率が向上する。

【００５８】（変更例）以上、本発明の実施の形態を詳
述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるもの
ではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の
範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明
の変更例を下記に例示する。（Ｈ01）本発明は、ポンプ
室の個数が５個以外の多段ルーツポンプにも適用可能で
ある。（Ｈ02）前記実施例において１個のポンプ室に２
個の排気を設けた構成を示したが、吸気孔も前記排気孔
と同様に、１個のポンプ室に２個の吸気孔を設けること
が可能である。

【００５９】

【発明の効果】前述の本発明の多段ルーツポンプは、下
記の効果（Ｅ01），（Ｅ02）を奏することができる。
（Ｅ01）下流端第１仕切壁を、その下流側の下流端壁お
よび上流側の下流端第２仕切壁とは別体に構成したの
で、容積が一番小さな下流端第１ポンプ室を下流端壁の
上流側端面または下流端第１仕切壁の下流側端面に形成
することができ、また、容積が２番目に小さな下流端第
２ポンプ室を下流端第１仕切壁壁の上流側端面または下
流端第２仕切壁の下流側端面に形成することができる。
このため、ポンプ室のポンプロータ軸方向の幅が小さい
ポンプ室であっても容易に形成することができるので、
小型化および製作が容易な多段ルーツポンプを提供する
ことができる。（Ｅ02）一番低圧（一番高真空）の第１
ポンプ室よりも高圧（低真空）のポンプ室（例えば、第
２ポンプ室または第３ポンプ室等）を上流端壁側に形成
したので、前記上流端壁の外端側に部品収納室を形成し
てその部品収納室にモータ等の発熱部品を配置しても、
前記部品収納室の圧力が比較的上昇し難いので、前記発
熱部品が真空断熱による熱量蓄積による昇温するのを防
止することができる。（Ｅ03）多段ルーツポンプを形成
するケーシングの隣接する３個の仕切壁および前記３個
の隣接する各仕切壁の間に形成される２個のポンプ室を
有するケーシング構成部材である仕切壁形成ブロックを
上下に２分割して形成することによりケーシングの構成
部材の分割数を少なくするとともに、前記各仕切壁の上
流側および下流側に形成される各ポンプ室を連通させる
全連通孔を切削加工により形成することができる。した
がって、複雑な中子を使用せずにケーシングの構成部材
を容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の多段ルーツポンプの実施の形
態１の説明図であり、図１Ａは正断面図で図１ＣのＩＡ
−ＩＡ線断面図、図１Ｂは平断面図で前記図１ＡのＩＢ
−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１ＡのＩＣ−ＩＣ線断
面図、図１Ｄは前記図１ＡのＩＤ−ＩＤ線断面図であ
る。

【図２】 図２は前記図１Ａの拡大図である。

【図３】 図３は前記図１Ｂの拡大図である。

【図４】 図４は前記図１Ｃおよび図１Ｄの拡大図であ
り、図４Ａは前記図１Ｃの拡大図、図４Ｂは前記図１Ｄ
の拡大図である。

【図５】 図５は本発明の実施の形態２の説明図で、前
記実施の形態１の図２に対応する図である。

【図６】 図６は本発明の実施の形態３の説明図で、前
記実施の形態２の図５に対応する図である。

【図７】 図７は本発明の実施の形態４の説明図で、前
記実施の形態１の図２に対応する図である。

【図８】 図８は多段ルーツポンプの従来例の縦断面図
である。

【図９】 図９は前記図８の多段ルーツポンプの横断面
の説明図で、図９Ａはポンプ室の断面図で前記図８のI
ＸＡ−IＸＡ線断面図、図９Ｂはギヤ室の断面図で前記
図８のIＸＢ−IＸＢ線断面図、である。

【図１０】 図１０はモータ室０２ａ内の圧力とモータ
Ｍのロータ表面温度の相関を示す図である。

【符号の説明】

Ａ１…駆動軸（回転軸）、Ａ２…従動軸（回転軸）、Ｂ
…仕切壁形成ブロック、Ｂ１ａ…下ブロック、Ｂ１ｂ…
上ブロック、Ｃ…ケーシング、Ｓ１〜Ｓ４…連通路、Ｓ
２ａ…上下連通孔、Ｓ２ｂ…排気側連通孔、Ｓ２ｃ…吸
気側連通孔、Ｐ１〜Ｐ５…ポンプ室、Ｐ１ａ〜Ｐ５ａ…
吸気孔、Ｐ１ｂ〜Ｐ５ｂ…排気孔、Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ〜Ｒ
５ａ，Ｒ５ｂ…ポンプロータ、Ｌ…接続管、１…多段ル
ーツポンプ、２…上流端壁、３…下流端壁、６…仕切壁
（第１仕切壁）７…仕切壁（第２仕切壁）８…仕切壁
（第３仕切壁）１１…仕切壁（第４仕切壁）９，１２…
外壁。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 秀明 長野県佐久市根々井15−10 樫山工業株式 会社内 (72)発明者 美斉津 昌行 長野県佐久市根々井15−10 樫山工業株式 会社内 (72)発明者 渡辺 豊 長野県佐久市根々井15−10 樫山工業株式 会社内 Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA09 AA15 AB01 AB02 AB06 AB08 BB43 CC03 CC09 CC54 CC62 CC85

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに離れて配置された上流端壁および
   下流端壁と前記両端壁間に配置された複数の仕切壁およ
   び外壁を有し上下に分割された仕切壁形成ブロックとを
   有し、前記上流端壁、複数の仕切壁および下流端壁の各
   壁の間にそれぞれ吸気孔および排気孔に接続するポンプ
   室を形成するケーシングと、 前記上流端壁、複数の仕切壁、および下流端壁を貫通す
   る平行な一対の回転軸と、 前記各ポンプ室内にそれぞれ配置され且つ前記一対の回
   転軸にそれぞれ設けられて、回転時に前記吸気孔から吸
   気した気体を前記排気孔から排出する一対のポンプロー
   タと、 前記複数のポンプ室において容積の大きいポンプ室から
   順次容積の小さいポンプ室に気体が移送されるように各
   ポンプ室間を連通させる連通路と、を備えた多段ルーツ
   ポンプにおいて、次の構成要件（Ａ01）を備えたことを
   特徴とする多段ルーツポンプ、 （Ａ01）ｍ，ｎをそれぞれ正の整数とし且つｍ≦（ｎ／
   ２）として容積の大きいポンプ室から順に第１ポンプ
   室、第２ポンプ室、…、第ｍポンプ室、第ｍ＋１ポンプ
   室、第ｍ＋２ポンプ室、…、第ｎ−１ポンプ室、第ｎポ
   ンプ室と名付けた場合に、前記上流端壁側から前記下流
   端壁側に向かって順次第ｍポンプ室、第ｍ−１ポンプ
   室、第ｍ−２ポンプ室、…、第１ポンプ室、第ｍ＋１ポ
   ンプ室、第ｍ＋２ポンプ室、…、第ｎ−１ポンプ室、第
   ｎポンプ室が形成された前記ケーシング。
2. 【請求項２】 次の構成要件（Ａ02）を備えたことを特
   徴とする請求項１記載の多段ルーツポンプ、 （Ａ02）前記ｍおよびｎはｍ＝２、ｎ＝５であり、前記
   上流端壁側から前記下流端壁側に向かって順次第２ポン
   プ室、第１ポンプ室、第３ポンプ室、第４ポンプ室およ
   び第５ポンプ室が形成された前記ケーシング。
3. 【請求項３】 互いに離れて配置された上流端壁および
   下流端壁と前記両端壁間に配置された複数の仕切壁およ
   び外壁を有し上下に分割された仕切壁形成ブロックとを
   有し、前記上流端壁、複数の仕切壁および下流端壁の各
   壁の間にそれぞれ吸気孔および排気孔に接続するポンプ
   室を形成するケーシングと、 前記上流端壁、複数の仕切壁、および下流端壁を貫通す
   る平行な一対の回転軸と、 前記各ポンプ室内にそれぞれ配置され且つ前記一対の回
   転軸にそれぞれ設けられて、回転時に前記吸気孔から吸
   気した気体を前記排気孔から排出する一対のポンプロー
   タと、 前記複数のポンプ室において容積の大きいポンプ室から
   順次容積の小さいポンプ室に気体が移送されるように各
   ポンプ室間を連通させる連通路と、を備えた多段ルーツ
   ポンプにおいて、次の構成要件（Ａ03），（Ａ04）を備
   えたことを特徴とする多段ルーツポンプ、（Ａ03）容積
   の小さいポンプ室から順に下流端側第１ポンプ室、下流
   端側第２ポンプ室、…、と名付けた場合に、前記下流端
   壁側から前記上流端壁側に向かって順次下流端側第１ポ
   ンプ室、下流端側第２ポンプ室、下流端側第３ポンプ室
   が形成された前記ケーシング、（Ａ04）前記下流端側第
   １ポンプ室と下流端側第２ポンプ室との間の仕切壁を下
   流端側第１仕切壁、前記下流端側第２ポンプ室と下流端
   側第３ポンプ室との間の仕切壁を下流端側第２仕切壁と
   名付けた場合に、下流端側第１仕切壁は前記下流端壁お
   よび下流端側第２仕切壁とは別体に構成された前記ケー
   シング。
4. 【請求項４】 互いに離れて配置された上流端壁および
   下流端壁と前記両端壁間に配置された複数の仕切壁およ
   び外壁を有し上下に分割された仕切壁形成ブロックとを
   有し、前記上流端壁、複数の仕切壁および下流端壁の各
   壁の間にそれぞれ吸気孔および排気孔に接続するポンプ
   室を形成するケーシングと、 前記上流端壁、複数の仕切壁、および下流端壁を貫通す
   る平行な一対の回転軸と、 前記各ポンプ室内にそれぞれ配置され且つ前記一対の回
   転軸にそれぞれ設けられて、回転時に前記吸気孔から吸
   気した気体を前記排気孔から排出する一対のポンプロー
   タと、 前記複数のポンプ室において容積の大きいポンプ室から
   順次容積の小さいポンプ室に気体が移送されるように各
   ポンプ室間を連通させる連通路と、を備えた多段ルーツ
   ポンプにおいて、次の構成要件（Ａ05），（Ａ06）を備
   えたことを特徴とする多段ルーツポンプ、（Ａ05）連続
   して配置された３個の仕切壁を有し且つ上下に２分割さ
   れた下ブロックおよび上ブロックにより構成された前記
   仕切壁形成ブロック、（Ａ06）ｑを正の整数とした場合
   に前記連続して配置された３個の仕切壁を前記上流端壁
   側から下流端壁側に第ｑ仕切壁、第ｑ＋１仕切壁、第ｑ
   ＋２仕切壁と名付け、且つ前記第ｑ仕切壁の上流側に形
   成されるポンプ室を第ｑポンプ室、前記第ｑ＋１仕切壁
   の上流側に形成されるポンプ室を第ｑ＋１ポンプ室、前
   記第ｑ＋２仕切壁の上流側に形成されるポンプ室を第ｑ
   ＋２ポンプ室、前記第ｑ＋２仕切壁の下流側に形成され
   るポンプ室を第ｑ＋３ポンプ室と名付けた場合に、前記
   第ｑポンプ室の排気孔と第ｑ＋1ポンプ室の吸気孔との
   連通孔は前記第ｑ仕切壁の上流側端面に形成され、前記
   第ｑ＋２ポンプ室の排気孔と第ｑ＋３ポンプ室の吸気孔
   とは前記第ｑ＋２仕切壁の下流側端面に形成され、前記
   第ｑ＋１ポンプ室と第ｑ＋２ポンプ室とを連通させる連
   通孔は前記第ｑ＋１仕切壁の中央部を上下に延びる上下
   連通孔と、前記上下連通孔の下端部と前記第ｑ＋１ポン
   プ室の排気孔とを連通させる排気側連通孔と、前記上下
   連通孔の上端部と前記第ｑ＋２ポンプ室の吸気孔とを連
   通させる吸気側連通孔とにより形成された前記仕切壁形
   成ブロック。
5. 【請求項５】 互いに離れて配置された上流端壁および
   下流端壁と前記両端壁間に配置された複数の仕切壁およ
   び外壁を有し上下に分割された仕切壁形成ブロックとを
   有し、前記上流端壁、複数の仕切壁および下流端壁の各
   壁の間にそれぞれ吸気孔および排気孔に接続するポンプ
   室を形成するケーシングと、 前記上流端壁、複数の仕切壁、および下流端壁を貫通す
   る平行な一対の回転軸と、 前記各ポンプ室内にそれぞれ配置され且つ前記一対の回
   転軸にそれぞれ設けられて、回転時に前記吸気孔から吸
   気した気体を前記排気孔から排出する一対のポンプロー
   タと、 前記複数のポンプ室において容積の大きいポンプ室から
   順次容積の小さいポンプ室に気体が移送されるように各
   ポンプ室間を連通させる連通路と、を備えた多段ルーツ
   ポンプにおいて、次の構成要件（Ａ07）を備えたことを
   特徴とする多段ルーツポンプ、（Ａ07）前記仕切壁形成
   ブロックにより形成されるポンプ室の下端部において前
   記一対の回転軸の軸間の中心位置の両側に下方に延びて
   形成され、前記下方に延びた部分の下端部において前記
   仕切壁形成ブロックの軸方向の端面に開口して形成され
   た一対の前記排気孔と、前記一対の排気孔の開口部から
   外側に円弧状に延びるように前記端面に形成され且つ上
   端部において下流側のポンプ室の吸気孔に連通する連通
   孔とが形成された前記仕切壁形成ブロック。