CN114793443A - 泵设备 - Google Patents

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Abstract

本发明的方面涉及一种用于泵壳体（1）的定子部件（5）。定子部件（5）具有多个流体入口通道（19‑n），用于将流体输送到相应的泵送腔室（11‑n）。流体入口通道（19‑n）每个具有入口端口（21‑n），用于将流体输送到泵送腔室（11‑n）中。提供多个流体传输通道（31‑n），用于将流体输送到流体入口通道（19‑n）中的相应一个。流体传输通道（31‑n）每个具有用于接收所泵送的流体的入口。定子部件（5）适于接收至少一个密封构件（43），用于阻止流体输送到泵送腔室（11‑n）中相关联的一个中。本发明的方面涉及泵壳体（1）、盖板（9）和泵（3）。本发明的方面还涉及一种转换定子部件（5、7）的方法。

Description

泵设备
技术领域
本公开涉及泵设备。本发明的方面和实施例提供了用于泵壳体的定子部件、用于泵壳体的盖板、泵壳体和泵。
背景技术
某些真空系统（诸如质谱系统）可以包括多个真空腔室。压力通过连续的腔室逐级降低。每个腔室经由限制件与相邻的腔室连通，并且需要单独的泵送来提供所需的真空。这些系统的泵送常规地使用多个泵来执行，每个腔室一个或多个泵。可以有高真空泵（诸如涡轮分子泵），用于泵送最高的真空腔室，而较低的真空腔室则由其它较低的真空泵泵送，诸如涡旋泵或罗茨泵。涡轮泵是次级泵，并且其本身由诸如涡旋泵的泵支持。
图9示意性地示出了多级真空泵103。真空泵103包括七个级172。随着真空泵103内的压力增加，真空泵103的各级在尺寸上逐渐减小。真空泵103包括连接到入口级112的流体输入入口113；和连接到出口级172的排出口117。流体以相对低的压力在流体输入入口113处输入，并被泵送通过串联的每一级，并在大气压力下在排出口117处输出。如图9中的流动箭头所示，流体被依次泵送通过每一级。
将期望提供一种成本和空间高效的泵，其将适合于差动泵送多个腔室。
发明内容
本发明的方面和实施例提供了如所附权利要求中所要求保护的用于泵壳体的定子部件、用于泵壳体的盖板、泵壳体和泵。
根据本发明的一个方面，提供了一种用于泵壳体的定子部件，该定子部件包括：
多个流体入口通道，用于将流体输送到相应的泵送腔室，每个流体入口通道具有用于将流体输送到泵送腔室中的入口端口；和
多个流体传输通道，用于将流体输送到流体入口通道中的相应一个，每个流体传输通道具有用于接收所泵送的流体的入口；
其中，定子部件适于接收至少一个密封构件，用于阻止流体输送到泵送腔室中相关联的一个中。
在使用中，所述至少一个密封构件可以与定子部件协作以形成基本上不漏流体的密封。密封构件由此阻止流体输送到泵送腔室中。由此修改了通过泵的流体输送。定子部件可以用于多级泵，例如多级容积式泵。该泵例如可以是罗茨泵、爪式泵或螺杆泵。定子部件在多级真空泵中具有特殊的应用。
流体传输通道可以被配置成接收来自另一个泵送腔室的泵送流体。流体传输通道入口可被配置成从形成在单独的定子部件中的流体传输通道接收所泵送的流体。举例来说，泵壳体可以包括第一和第二定子部件。
定子部件可以包括用于接收密封构件的座。该座可以被配置成与密封构件协作以形成基本上不漏流体的密封。当密封构件安置于座中时，该密封构件可以形成基本上不漏流体的密封。该座可以包括用于与密封构件协作的密封表面。密封表面可以基本上是平面的。诸如垫圈或密封剂的密封装置可以任选地设置在密封构件和座之间。
该座可以至少部分地围绕入口端口或流体传输通道入口延伸。例如，座可以包括环形密封表面或由环形密封表面组成，该环形密封表面至少部分围绕入口端口或流体传输通道入口延伸。
座可以包括凹部。密封构件的至少一部分可以位于凹部中，以形成基本上不漏流体的密封。密封表面可以形成在凹部上。
定子部件可以包括半壳定子部件。定子部件可以包括用于紧固到第二半壳定子部件的第一半壳定子部件。第一半壳定子部件和第二半壳定子部件可以形成多个泵送腔室。第一半壳定子部件可以是泵壳体中的上部部件；并且第二半壳定子部件可以是泵壳体中的下部部件。第一半壳定子部件可以安装在第二半壳定子部件的顶部上。
根据本发明的另一方面，提供了一种定子组件，其包括如本文所述的定子部件和密封构件。密封构件和定子部件可以彼此协作以阻止流体输送到泵送腔室。
密封构件可以是可移除的，例如以使得泵能够以多种操作模式配置。替代地，密封构件可以紧固在适当位置。
密封构件可以至少基本上密封流体传输通道，以阻止流体输送到流体入口通道。密封构件可以设置在流体传输通道的入口或出口处或靠近流体传输通道的入口或出口。密封构件可以任选地设置在流体传输通道入口处或靠近流体传输通道入口。密封构件可以设置在第一半壳定子部件和第二半壳定子部件之间。密封构件可以包括密封板。密封板可以位于形成在流体传输通道入口处或流体传输通道出口处的座中。座可以是凹入的。
定子组件可以包括用于将密封构件紧固在适当位置的紧固装置。紧固装置可以包括一个或多个机械紧固件；或者粘合紧固件。密封构件可以是流体传输通道中的限制配合。
密封构件可以至少基本上密封入口端口，以阻止流体输送到泵送腔室。密封构件可以包括用于密封入口端口的密封板。
密封构件可以包括用于封闭流体入口通道的插入物。插入物可以延伸穿过流体入口通道以形成密封。
密封构件可以包括流体输入入口，用于允许流体从外部流体源进入泵送腔室。流体输入入口可以包括入口端口。外部流体源可以不同于流体传输通道和流体入口通道。
定子组件可以包括紧固到定子部件的盖板。盖板可以限定流体入口通道的侧壁。例如，形成在定子部件中的流体入口通道可以是由盖板封闭的敞开通道。密封构件可以设置在盖板上。密封构件可以安装到盖板。替代地，密封构件可以与盖板一体形成。
在一种变型中，盖板和密封构件可以彼此分离。盖板和密封构件可以相互协作以形成密封。盖板可以将密封构件保持在适当位置。
根据本发明的另外的方面，提供了一种用于泵壳体的定子部件，该定子部件包括：
多个流体出口通道，用于输送来自相应泵送腔室的泵送流体，每个流体出口通道具有用于接收来自泵送腔室的泵送流体的出口端口；和
多个流体传输通道，用于从流体出口通道中的相应一个输送流体，每个流体传输通道具有用于输送泵送流体的出口；
其中，定子部件适于接收密封构件，该密封构件用于阻止泵送流体通过流体传输通道出口的输送。
根据本发明的又一方面，提供了一种用于紧固到泵壳体的定子部件的盖板，该盖板包括用于定位在定子部件的流体传输通道中以阻止流体输送到泵送腔室的密封构件。
密封构件可以与盖板一体形成。
盖板可以包括用于允许流体从外部流体源进入泵送腔室的流体入口。
根据本发明的另一方面，提供了一种泵，该泵包括泵壳体，该泵壳体具有如本文所述的定子部件。
根据本发明的又一方面，提供了一种转换用于泵壳体的定子部件的方法。定子部件可以包括多个流体入口通道，用于将流体输送到相应的泵送腔室。定子部件可以包括多个流体传输通道，用于将流体输送到流体入口通道中的相应一个。该方法可包括在定子部件中形成座，该座用于接收至少一个密封构件以阻止流体输送到泵送腔室中的相关联的一个。该座可以通过执行机加工操作（诸如钻孔和/或铣削）在定子部件中形成。
该座可以包括环形密封表面或由环形密封表面组成，该环形密封表面至少部分地围绕流体入口通道中的一个的入口延伸。替代地或附加地，座可以包括环形密封表面或由环形密封表面组成，该环形密封表面至少部分地围绕流体传输通道入口中的一个延伸。座的形成可以包括在定子部件中形成凹部。
根据本发明的另一方面，提供了一种用于泵壳体的定子部件。定子部件可以包括用于从泵送腔室输送流体的多个流体出口通道，以及用于从流体出口通道输送泵送流体的多个流体传输通道。可以提供分流通道，用于将所泵送的流体从出口通道中的第一者分流到出口通道中的第二者。
根据本发明的另一方面，提供了一种转换用于泵壳体的定子部件的方法。定子部件可以包括用于从泵送腔室输送流体的多个流体出口通道。定子部件可以包括多个流体传输通道，用于从流体出口通道输送所泵送的流体。该方法可包括在定子部件中形成分流通道，用于将所泵送的流体从出口通道中的第一者分流到出口通道中的第二者。可以使用一种或多种机加工操作（例如钻孔和/或铣削）来形成分流通道。
在组装好的泵壳中，每个出口通道可以与泵送腔室中的相应一个相关联。
对出口通道中的第一者和出口通道中的第二者的提及并不旨在推断出口通道或相关联的泵送腔室相对于彼此的特定顺序或接近度。出口通道可以彼此相邻。例如，出口通道中的第一者可以与第一泵送腔室相关联，并且出口通道中的第二者可以与第二泵送腔室相关联。在这种布置中，分流通道可以被配置成绕过第二泵送腔室。替代地，出口通道可以彼此隔开（分离）。例如，一个或多个中间出口通道可以设置在出口通道中的第一者和出口通道中的第二者之间。在这种布置中，分流通道可以被配置成绕过该中间泵送腔室或每个中间泵送腔室。
根据本发明的另外的方面，提供了一种用于紧固到泵壳体的定子部件的盖板。盖板可以包括流体输入入口，用于允许流体从外部流体源进入泵送腔室。
根据本发明的另外的方面，提供了一种转换用于根据本发明的泵壳体中的盖板的方法。该转换可以包括在盖板中形成流体输入入口，用于允许流体从外部流体源进入泵送腔室。流体输入入口可以形成用于泵壳的第二入口。流体输入入口可以被配置成将流体引入形成在泵壳体中的第二泵送腔室中。
根据本发明的另外的方面，提供了一种泵，其包括：泵壳体，泵壳体包括多个泵送腔室，用于将流体输送到泵送腔室中的第一者中的第一流体输入入口；和用于将流体输送到泵送腔室中的第二者中的第二流体输入入口。该泵可以包括用于控制向第一流体输入入口的流体供应的第一控制阀；和用于控制向第二流体输入入口的流体供应的第二控制阀。
第一和第二控制阀可能够彼此独立地控制。该泵可能够配置成在第一控制阀打开且第二控制阀关闭的情况下操作。相反，泵可能够配置成在第二控制阀打开且第一控制阀关闭的情况下操作。
对泵送腔室中的第一者和泵送腔室中的第二者的提及并不旨在推断泵送腔室相对于彼此的特定顺序或接近度。泵送腔室可以彼此相邻，也可以彼此间隔开。例如，一个或多个中间泵送腔室可以设置在泵送腔室中的所述第一者和泵送腔室中的所述第二者之间。
可以提供泵控制单元来控制第一和第二控制阀的操作。泵控制单元可以包括控制器，例如包括至少一个电子处理器和存储器装置。
该泵可以是真空泵。该泵可以是多级容积式真空泵。
在本申请的范围内，很明显，在前面的段落中、在权利要求中和/或在下面的描述和附图中阐述的各个方面、实施例、示例和替代方案以及特别是其单独的特征，可以独立地或以任何组合的方式采用。也就是说，所有实施例和/或任何实施例的特征可以以任何方式和/或组合进行组合，除非这些特征是不兼容的。申请人保留改变任何最初提交的权利要求或相应地提交任何新权利要求的权利，包括修改任何最初提交的权利要求以从属于和/或结合任何其他权利要求的任何特征的权利，尽管最初并未以这种方式要求权利。
附图说明
现在将参考附图，仅通过示例的方式描述本发明的一个或多个实施例，其中：
图1示出了根据本发明实施例的多级真空泵的示意性表示；
图2示出了包括图1所示多级真空泵的第一和第二定子部件的定子组件的透视图；
图3示出了第一定子部件和用于接收密封构件以密封入口端口的凹部的放大视图；
图4示出了盖板下侧的透视图，该盖板结合有位于图3所示座中的密封构件；
图5示出了图4所示盖板的端视图；
图6示出了第一定子部件的一种变型，其结合有单独的密封构件来密封入口端口；
图7和图8示出了第一定子部件的另一种变型，其结合有密封板以密封流体传输通道；和
图9示出了已知的多级真空泵。
具体实施方式
本文参照附图描述了根据本发明实施例的泵壳体1。图1中示出了包括泵壳体1的泵3。例如，泵3可以是罗茨泵。泵3是多级容积泵。在本实施例中，泵3是多级容积真空泵。
泵壳体1包括第一定子部件5、第二定子部件7和盖板9。如图2所示，第一定子部件5和第二定子部件7形成泵壳体1的定子组件。在本实施例中，第一定子部件5和第二定子部件7分别是第一和第二半壳定子部件。第一定子部件5安装在第二定子部件7的顶部上。如图1所示，盖板9安装在第一定子部件5的上表面上。第一定子部件5和第二定子部件7和盖板9使用机械紧固件（诸如螺栓）组装。第一定子部件5和第二定子部件7被机加工、铸造或以其他方式形成。
第一定子部件5和第二定子部件7在泵壳体1中限定多个泵送腔室11-n。泵送腔室11-n每个形成泵3的一级。本实施例中的泵3具有对应于七（7）级的七（7）个泵送腔室11-1、11-2、11-3、...11-7。特别地，泵3包括第一级12、第二级22、第三级32、第四级42、第五级52、第六级62和第七级72。泵3的各级在本文中参照它们在泵壳体1内的位置。泵3中的泵送腔室11-n的尺寸逐渐减小；第一泵送腔室11-1具有最大的容积，并且第七泵送腔室11-7具有最小的容积。泵壳体1包括连接到第一级12的第一流体输入入口13；连接到第二级22的第二流体输入入口15；和连接到第七级72的排出口17。第一外部流体源和第二外部流体源分别连接到第一流体输入入口13和第二流体输入入口15。在使用中，第一外部流体源和第二外部流体源供应第一流体流和第二流体流。如本文所述，通过泵3所泵送的流体不必穿过泵3的所有级12、22、32、42、52、62、72。此外，流体不必被依次泵送通过级12、22、32、42、52、62、72中的每一者。在变型中，第二流体输入入口15可以连接到其他中间级32、42、52、62中的一者。
本实施例中的泵3有效地将七级用作两个六级泵。第一个六级泵将流体从第一流体输入入口13经由第一级12通过第三级32、第四级42、第五级52、第六级62和第七级72泵送到排出口30。第二六级泵通过第二流体输入入口15经由第二级22、通过第三级32、第四级42、第五级52、第六级62和第七级72将流体引入排出口30。因此，在本实施例中，第三级32、第四级42、第五级52、第六级62和第七级72由来自第一流体输入入口13和第二流体输入入口15中的每一者的流体输入共享。第一级12仅泵送从第一流体输入入口13输入的流体；第二级22仅泵送从第二流体输入入口15输入的流体。
第一定子部件5包括多个流体入口通道19-n，流体入口通道19-n每个与泵送腔室11-n中的一个相关联。流体入口通道19-n每个包括用于将流体输送到相关联的泵送腔室11-n中的入口端口21-n。如图2所示，入口通道19-n在第一定子部件5的顶部（如图所示）外表面23上敞开。第二定子部件7包括多个流体出口通道25-n，所泵送的流体通过这些通道排出。流体出口通道25-n每个都具有出口端口（未示出），用于从泵送腔室11-n中相关联的一个排出流体。出口端口在第二定子部件7的底部（如图所示）外表面29上敞开。
第一定子部件5和第二定子部件7限定用于在泵送腔室11-n之间输送流体的流体传输通道31-n。特别地，流体传输通道31-n被配置成将流体从流体出口通道25-n输送到相应的流体入口通道19-n。第一流体传输通道31-1被布置成将流体从第一泵送腔室11-1的第一出口通道25-1（在图1中以虚线示出）输送到第二泵送腔室11-2的第二入口通道19-2。第二流体传输通道31-2被布置成将流体从第二泵送腔室11-2的第二出口通道25-2输送到第三泵送腔室11-3的第三入口通道19-3。对于每个泵送腔室11-n重复这种模式，使得在使用中，流体依次通过每个中间泵送腔室11-n从第一泵送腔室11-1泵送到第七泵送腔室11-7。
每个流体传输通道31-n都形成在第一定子部件5和第二定子部件7两者中。流体传输通道31-n的第一（上部）部段形成在第一定子部件5中，以将流体输送到入口通道19-n。流体传输通道31-n的第二（下部）部段形成在第二定子部件7中，以输送来自出口通道25-n的流体。流体传输通道31-n的第一部段具有传输通道入口33-n，用于接收来自形成在流体传输通道33-n的第二部段中的传输通道出口的流体。在本实施例中，入口流体传输通道31-n基本上正交于顶部和底部外表面23、29延伸，以有助于制造和清洁。
入口通道19-n被成形为将流体从传输通道31-n输送到相应的泵送腔室11-n中。流体从入口通道19-n经由入口端口21-n被引入到泵送腔室11-n中。在本实施例中，每个入口通道19-n在横向方向上延伸跨过泵壳体1的大部分宽度。入口通道19-n呈形成在第一定子部件5的顶部外表面23中的一个或多个槽（或凹槽）的形式。如图2所示，本实施例中的第一和入口通道19-1、19-2每个包括由中间壁隔开的一对槽。盖板9紧固到第一定子部件5，以封闭槽的敞开的顶部部分。图3示出了用于将流体输送到第二泵送腔室11-2中的第二入口端口21-2。
出口通道25-n被成形为将所泵送的流体从出口端口输送到相应的传输通道31-n。所泵送的流体通过出口端口从泵送腔室11-n排出并进入出口通道25-n中。出口通道25-n可以相对于泵壳体1的纵向轴线成锐角倾斜，用于将所泵送的流体输送到与下一个泵送腔室11-n相关联的输送通道31-n。替代地，或者另外，输送通道31-n可以相对于泵壳体的纵向轴线成锐角倾斜。
如上所述，第一流体和第二流体流连接到第一流体输入入口13和第二流体输入入口15。第一流体输入入口13被配置成允许流体从第一外部流体源进入第一泵送腔室11-1中；并且第二流体输入入口15被配置成允许流体从第二外部流体源进入第二泵送腔室11-2中。本实施例中的泵3包括第一控制阀37和第二控制阀39，用于选择性地控制向第一流体输入入口13和第二流体输入入口15的流体供应。第一控制阀37和第二控制阀39可以彼此独立地被控制。可以提供控制器来控制第一控制阀37和第二控制阀39。
提供分流通道（或旁路导管）41用于将所泵送的流体从第一出口通道25-1分流到第二出口通道25-2。分流通道41绕过第一传输通道31-1，从而有效地绕过第二泵送腔室11-2。本实施例中的分流通道41形成在第二定子部件7中。分流通道41可以例如包括用于在第一出口通道25-1和第二出口通道25-2之间建立流体路径的孔或管道。流体从第一出口通道25-1分流到第二出口通道25-2，并被允许进入第二传输通道31-2中。在一种变型中，分流通道41可被配置成将流体从第一泵送腔室11-1输送到其它泵送腔室11-n中的一个。例如，分流通道41可被配置成将第一出口通道25-1与第三出口通道25-3连接起来。
泵壳体1包括密封构件43（如图1所示），用于阻止流体从第一泵送腔室11-1经由第一传输通道31-1输送到第二泵送腔室11-2。在本实施例中，密封构件43被配置成至少基本上密封第二入口端口21-2，流体通过该第二入口端口21-2被输送到第二泵送腔室11-2中。密封构件43呈围绕第二入口端口21-2的周边延伸的插入物的形式。如图3所示，第一定子部件5包括座45，用于与密封构件43协作以形成密封。本实施例中的座45包括用于接收密封构件43的一部分的凹部。座45限定用于与密封构件43协作的密封表面47。密封构件43由此形成密封，该密封可操作以阻止流体通过第二入口端口21-2的输送。在本实施例中，密封构件43与盖板9一体形成。当组装泵壳体1时，密封构件43被紧固在适当位置。通过一体地形成密封构件43和盖板9，当组装泵壳体1时，密封构件43不能被省略。在一种变型中，密封构件43可以是单独的部件，例如安装到盖板9。泵壳体1可以包括密封装置，诸如密封剂或垫圈，以增强由密封构件43建立的密封。
本实施例中的密封构件43还形成第二流体输入入口15，以允许流体从第二外部流体源进入第二泵送腔室11-2中。如图4和5所示，第二流体输入入口15包括延伸穿过盖板9的入口孔49。盖板9包括用于连接第二外部流体源的连接器51。在本实施例中，连接器51与盖板9一体形成。入口孔49延伸穿过连接器51。连接器51包括用于连接第二外部流体源的一个或多个紧固件（未示出）。
通过将第一定子部件5安装在第二定子部件7上以形成泵送腔室11-n来组装泵壳体1。盖板9紧固到第一定子部件5。密封构件43位于座45中并密封第二入口端口21-2。密封构件43形成第二流体输入入口15，用于接收来自第二外部源的流体。
现在将描述泵3的操作。第一流体流经由第一流体输入入口13被供应到第一泵送腔室11-1。第二流体流经由第二流体输入入口15被供应到第二泵送腔室11-1。第一控制阀37和第二控制阀39被致动以控制第一流体和第二流体的供应。第一控制阀37和第二控制阀39可以同时打开，使得第一流体和第二流体流被同时提供给泵3。在本实施例中，第一流体和第二流体可以在第三泵送腔室11-3内混合。在一种变型中，第一控制阀37和第二控制阀39中的一者可以打开，并且第一控制阀37和第二控制阀39中的另一者可以关闭。这使得泵3能够被配置成选择性地泵送第一流体和第二流体中的一者。泵3被配置成差动地泵送多个腔室。第一入口13被配置成连接到较低的真空腔室，并且第二入口15被配置成充当真空泵的前级泵，该真空泵泵送较高的真空腔室。泵3被配置成以比通过第二入口15更高的气体流速泵送通过第一入口13。泵3被配置成通过第一入口13泵送的气体流速可以是通过第二入口15的气体流速的大于十（10）倍。
在上述实施例中，密封构件43设置在盖板9上。在一种变型中，密封构件43可以是位于第二流体入口通道19-2中以密封第二入口端口21-2的单独部件。这个变型如在图6中图示。盖板9安装到第一定子部件5，由此将密封构件43保持在适当位置。
现在将参照图7和8描述泵壳体1的另一个实施例。相同的附图标记用于相同的部件。本文的描述将集中在与先前实施例的不同之处。
参照图1至6描述的泵壳体1包括用于密封第二入口端口21-2的密封构件43。在本实施例中，密封构件43被配置成密封第一传输通道31-1。如图7所示，密封构件43包括安装在传输通道入口33-1中的密封板。密封构件43由此设置在第一定子部件5和第二定子部件7之间的界面处。第一定子部件5包括用于接收密封板的座45。座45包括形成在第一定子部件5的下表面中的凹部。当第一定子部件5被紧固到第二定子部件7时，密封构件43被固定在适当位置。
将理解的是，该实施例可以通过在第二定子部件5中形成座45来修改。例如，座45可以形成在第二定子部件7的上表面中。
可以提供单独的连接器51用于将第二外部流体源连接到第二泵送腔室11-2。例如，连接器51可以通向第二入口通道19-2。
如上所述，第一定子部件5和第二定子部件7可以使用适当的技术形成，诸如机加工和/或铸造。根据本发明的另外的方面，提供了一种转换现有技术的泵壳体（1）的第一定子部件（5）和/或第二定子部件（7）以实施本文描述的至少一些特征的方法。
本发明的一个实施例可以涉及一种转换第一定子部件（5）的方法，该第一定子部件包括用于将流体输送到相应泵送腔室（11-n）的多个流体入口通道（19-n），以及用于将流体输送到流体入口通道（19-n）中的相应一个的多个流体传输通道（31-n）。转换过程可包括在定子部件（5）中形成座（45），该座用于接收至少一个密封构件（43）以阻止流体输送到泵送腔室（11-n）中相关联的一个中。如本文所述，座（45）可包括或由环形密封表面（47）组成，该环形密封表面（47）至少部分地围绕流体入口通道（19-n）中的一个的入口端口（21-n）延伸。替代地或附加地，座（45）可以包括或由环形密封表面（47）组成，该环形密封表面至少部分地围绕流体传输通道入口（33-n）中的一个延伸。座（45）可以通过在定子部件（5）中形成凹部来形成，例如通过铣削第一定子部件（5）的表面。座（45）可以包括或由基本平面的表面组成。
本发明的实施例可以涉及一种转换第二定子部件（7）的方法，该第二定子部件包括用于从泵送腔室（11-n）输送流体的多个流体出口通道（25-n），以及用于从流体出口通道（25-n）输送泵送流体的多个流体传输通道（31-n）。该方法可以包括在定子部件（5）中形成分流通道（41），用于将所泵送的流体从出口通道（25-n）中的第一个分流到出口通道（25-n）中的第二个。分流通道（41）可以使用一种或多种机加工操作形成，例如钻孔和/或铣削。如本文所述，出口通道（25-n）与组装好的泵壳体中的相应泵送腔室（11-n）相关联。出口通道（25-n）中的第一个可以与第一泵送腔室（11-1）相关联，并且出口通道（25-n）中的第二个可以与第二泵送腔室（11-2）相关联。在这种布置中，分流通道（41）可以被配置成绕过第二泵送腔室（11-2）。替代地，出口通道（25-n）可以彼此间隔开。例如，一个或多个中间出口通道（25-n）可以设置在出口通道（25-n）中的第一个和出口通道（25-n）中的第二个之间。在这种布置中，分流通道（41）可以被配置成绕过该中间泵送腔室或每个中间泵送腔室（11-n）。
应当理解，在不脱离本申请的范围的情况下，可以对本发明进行各种改变和修改。
附图标记 部件
1 泵壳体
3 泵
5 第一定子部件
7 第二定子部件
9 盖板
11-n 泵送腔室
12, 22, 32, 42, 52, 62, 72 泵级
13 第一流体输入入口
15 第二流体输入入口
17 排出口
19-n 流体入口通道
21-n 入口端口（用于泵送腔室）
23 顶部外表面
25-n 流体出口通道
27-n 出口端口（来自泵送腔室）
29-n 底部外表面
31-n 流体传输通道
33-n 传输通道入口
37 第一控制阀
39 第二控制阀
41 分流通道（旁路导管）
43 密封构件
45 座
47 密封表面
49 入口孔
51 连接器
。

Claims (20)

1.一种用于泵壳体（1）的定子部件（5），所述定子部件（5）包括：
多个流体入口通道（19-n），用于将流体输送到相应的泵送腔室（11-n），每个流体入口通道（19-n）具有用于将流体输送到所述泵送腔室（11-n）中的入口端口（21-n）；和
多个流体传输通道（31-n），用于将流体输送到所述流体入口通道（19-n）中的相应一个，每个流体传输通道（31-n）具有用于接收所泵送的流体的入口（33-n）;
其中，所述定子部件（5）适于接收至少一个密封构件（43），用于阻止流体输送到所述泵送腔室（11-n）中相关联的一个中。
2.根据权利要求1所述的定子部件（5），包括用于接收所述密封构件（43）以形成基本上不漏流体的密封的座（45）。
3.根据权利要求2所述的定子部件（5），其中，所述座（45）包括环形密封表面（47）或由环形密封表面（47）组成，所述环形密封表面至少部分地围绕所述入口端口（21-n）或所述流体传输通道入口（33-n）延伸。
4.根据权利要求2或3所述的定子部件（5），其中，所述座（45）包括凹部。
5.根据前述权利要求中任一项所述的定子部件（5），其中，所述定子部件（5）包括用于紧固到所述第二半壳定子部件（7）的第一半壳定子部件（5）。
6.一种用于泵壳体（1）的定子组件，所述定子组件包括如前述权利要求中任一项所述的定子部件（5）和密封构件（43），所述密封构件（43）和所述定子部件（5）相互协作以阻止流体输送到所述泵送腔室（11-n）。
7.根据权利要求6所述的定子组件，其中，所述密封构件（43）至少基本上密封所述流体传输通道（31-n），以阻止流体输送到所述流体入口通道（19-n），所述密封构件（43）任选地设置在所述流体传输通道入口（33-n）处。
8.根据权利要求6所述的定子组件，其中，所述密封构件（43）至少基本上密封所述入口端口（21-n），以阻止流体输送到所述泵送腔室（11-n）。
9.根据权利要求8所述的定子组件，其中，所述密封构件（43）包括流体输入入口（13、15），用于允许流体从外部流体源进入所述泵送腔室（11-n）。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的定子组件，包括紧固到所述定子部件（5）的盖板（9），其中，所述密封构件（43）设置在所述盖板（9）上。
11.根据权利要求10所述的定子组件，其中，所述密封构件（43）与所述盖板（9）一体形成。
12.一种用于泵壳体（1）的定子部件（7），所述定子部件（7）包括：
多个流体出口通道（25-n），用于输送来自相应泵送腔室（11-n）的泵送流体，每个流体出口通道（25-n）具有出口端口（27-n），用于接收来自所述泵送腔室（11-n）的所泵送的流体；和
多个流体传输通道（31-n），用于从流体出口通道（25-n）中的相应一个输送流体，每个流体传输通道（31-n）具有用于输送所泵送的流体的出口；
其中，所述定子部件（7）适于接收密封构件（43），用于阻止通过所述流体传输通道出口的输送所泵送的流体。
13.一种用于紧固到泵壳体（1）的定子部件（5）的盖板（9），所述盖板（9）包括用于定位在所述定子部件（5）的流体传输通道（31-n）中以阻止流体输送到泵送腔室（11-n）的密封构件（43）。
14.根据权利要求13所述的盖板（9），其中密封构件（43）与所述盖板（9）一体形成。
15.根据权利要求13或14所述的盖板（9），包括用于允许流体从外部流体源进入泵送腔室（11-n）的流体入口（49）。
16.一种泵（3），包括具有根据权利要求1至6或权利要求12中任一项所述的定子部件（5）的泵壳体（1）。
17.根据权利要求16所述的泵（3），其中，所述泵是多级容积式真空泵。
18.一种转换用于泵壳体（1）的定子部件（5）的方法，所述定子部件（5）包括用于将流体输送到相应泵送腔室（11-n）的多个流体入口通道（19-n），以及用于将流体输送到所述流体入口通道（19-n）中的相应一个的多个流体输送通道（31-n）；
其中，所述方法包括在定子部件（5）中形成座（45），所述座用于接收至少一个密封构件（43）以阻止流体输送到所述泵送腔室（11-n）中的相关联的一个中。
19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述座（45）包括或由环形密封表面（47）组成，所述环形密封表面（47）至少部分地围绕所述流体入口通道（19-n）中的一个的入口端口（21-n）延伸；和/或所述座（45）包括环形密封表面（47）或由环形密封表面（47）组成，所述环形密封表面至少部分地围绕流体传输通道入口（33-n）中的一个延伸；所述座（45）的形成可以任选地包括在定子部件（5）中形成凹部。
20.一种转换用于泵壳体（1）的定子部件（7）的方法，所述定子部件（7）包括用于从泵送腔室（11-n）输送流体的多个流体出口通道（25-n），以及用于从流体出口通道（25-n）输送所泵送的流体的多个流体传输通道（31-n）；
其中，所述方法包括在定子部件（7）中形成分流通道（41），用于将所泵送的流体从所述出口通道（25-n）中的第一者分流到所述出口通道（25-n）中的第二者。
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