JP2003300273A - 表面処理方法及び真空表面処理装置 - Google Patents
表面処理方法及び真空表面処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】透明バリア膜の優れたバリア効果を維持したま
ま、簡素な工程により、親インク性などの機能性を具備
させることが可能な表面処理方法及びその方法を実施さ
せるための真空表面処理装置を提供する。 【解決手段】送出ロール２と成膜ドラム３と巻取ロール
４とを有し、真空室１を第１成膜領域７と第２成膜領域
８とに隔離する隔壁６と、反応性蒸着により透明バリア
膜の成膜を行うため電子銃１１で加熱される蒸発源材料
９を収容したルツボ１０と酸素ガスを導入するガス導入
口１２と、蒸着重合法によるポリ尿素膜の成膜を行うた
め蒸着重合反応の各原料モノマーを混合する混合槽１５
とを備える真空表面処理装置を用いて、送出開始後の長
尺基体５に対して透明バリア膜の成膜を行う第１工程
と、巻取終了前の透明バリア膜付きの長尺基体５に対し
て蒸着重合法によりポリ尿素膜の成膜を行う第２工程と
を連続して行う。
ま、簡素な工程により、親インク性などの機能性を具備
させることが可能な表面処理方法及びその方法を実施さ
せるための真空表面処理装置を提供する。 【解決手段】送出ロール２と成膜ドラム３と巻取ロール
４とを有し、真空室１を第１成膜領域７と第２成膜領域
８とに隔離する隔壁６と、反応性蒸着により透明バリア
膜の成膜を行うため電子銃１１で加熱される蒸発源材料
９を収容したルツボ１０と酸素ガスを導入するガス導入
口１２と、蒸着重合法によるポリ尿素膜の成膜を行うた
め蒸着重合反応の各原料モノマーを混合する混合槽１５
とを備える真空表面処理装置を用いて、送出開始後の長
尺基体５に対して透明バリア膜の成膜を行う第１工程
と、巻取終了前の透明バリア膜付きの長尺基体５に対し
て蒸着重合法によりポリ尿素膜の成膜を行う第２工程と
を連続して行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチック等の
透明基体上に形成された透明バリア膜に、例えば、イン
クによる印刷や書き込みを可能とする表面処理方法及び
この方法を実施するための真空表面処理方法に関する。
透明基体上に形成された透明バリア膜に、例えば、イン
クによる印刷や書き込みを可能とする表面処理方法及び
この方法を実施するための真空表面処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】透明バリア膜は、スライスハム、レトル
ト食品などの食品のフィルム包装、シャンプー、入浴剤
などのトイレタリ商品や輸血バッグなどの医薬品の容器
包装分野で使用されており、この種のフィルムには、特
に、外観が完全に無色透明であること、酸素透過率及び
水蒸気透湿度が小さく温度や湿度に対して安定なバリア
性を示すこと、高い耐熱性を有してレトルト殺菌処理や
電子レンジによる調理・加熱が可能であること等の特性
が求められており、この種の透明バリア膜の材質として
は、シリカまたはアルミナを用いることが多い。
ト食品などの食品のフィルム包装、シャンプー、入浴剤
などのトイレタリ商品や輸血バッグなどの医薬品の容器
包装分野で使用されており、この種のフィルムには、特
に、外観が完全に無色透明であること、酸素透過率及び
水蒸気透湿度が小さく温度や湿度に対して安定なバリア
性を示すこと、高い耐熱性を有してレトルト殺菌処理や
電子レンジによる調理・加熱が可能であること等の特性
が求められており、この種の透明バリア膜の材質として
は、シリカまたはアルミナを用いることが多い。
【０００３】そして、このような透明バリア膜の形成方
法として、従来、特開２００１−１９２８０８号公報に
おいて、電子ビーム蒸着や誘導加熱蒸着を用いた反応性
蒸着により、送出・巻取装置で走行中の長尺基体上に、
上記の特性を具備したアルミナから成る透明バリア膜の
形成を行うものが知られている。
法として、従来、特開２００１−１９２８０８号公報に
おいて、電子ビーム蒸着や誘導加熱蒸着を用いた反応性
蒸着により、送出・巻取装置で走行中の長尺基体上に、
上記の特性を具備したアルミナから成る透明バリア膜の
形成を行うものが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の用
途、特に食品包装用途では、包装面上に、文字、数字及
び図柄などの表示情報の印刷・印字や書き込みを求めら
れることが多いが、一般に、シリカやアルミナ材質はこ
のためのインクをはじいてしまう。このため、包装面に
対して直接のインク印刷等を行うことは容易ではない。
そして、印刷等の表示のためには、透明バリア膜から成
る包装面を形成した後に、その包装面上にさらに親イン
ク性の表面処理剤を塗布して印刷可能な表面とするか、
若しくは印刷可能な材質のラミネートフィルムを別に用
意してこれを被覆するなどの煩雑な作業が必要となる。
途、特に食品包装用途では、包装面上に、文字、数字及
び図柄などの表示情報の印刷・印字や書き込みを求めら
れることが多いが、一般に、シリカやアルミナ材質はこ
のためのインクをはじいてしまう。このため、包装面に
対して直接のインク印刷等を行うことは容易ではない。
そして、印刷等の表示のためには、透明バリア膜から成
る包装面を形成した後に、その包装面上にさらに親イン
ク性の表面処理剤を塗布して印刷可能な表面とするか、
若しくは印刷可能な材質のラミネートフィルムを別に用
意してこれを被覆するなどの煩雑な作業が必要となる。
【０００５】即ち、親インク性を有する表面処理剤とし
ては、ポリ尿素などの高分子を用いるのが一般的であ
り、このような高分子膜を形成するものとして、例え
ば、特開２００１−２６１８６７号公報のものは、上記
従来のものと同様に送出・巻取装置で走行中の長尺基体
の表面に蒸着重合により高分子の被膜を行っている。こ
のため、このものにより親インク性を具備するために
は、あらかじめ透明バリア膜を表面層として形成した長
尺基体に、上記のような高分子被膜を行うこととなり、
装置構成上の工程が増加する。
ては、ポリ尿素などの高分子を用いるのが一般的であ
り、このような高分子膜を形成するものとして、例え
ば、特開２００１−２６１８６７号公報のものは、上記
従来のものと同様に送出・巻取装置で走行中の長尺基体
の表面に蒸着重合により高分子の被膜を行っている。こ
のため、このものにより親インク性を具備するために
は、あらかじめ透明バリア膜を表面層として形成した長
尺基体に、上記のような高分子被膜を行うこととなり、
装置構成上の工程が増加する。
【０００６】さらに、この場合、基体上の透明バリア膜
面は、その形成直後に収納される巻取ロール及び高分子
膜形成時の送出を行う送出ロールの２回にわたり、走行
のための張力を加えられたまま基体の裏面と接触、圧接
されるので、膜表面にクラックが発生して、水分や酸素
に対するバリア効果が低減するおそれがある。
面は、その形成直後に収納される巻取ロール及び高分子
膜形成時の送出を行う送出ロールの２回にわたり、走行
のための張力を加えられたまま基体の裏面と接触、圧接
されるので、膜表面にクラックが発生して、水分や酸素
に対するバリア効果が低減するおそれがある。
【０００７】本発明は、上記問題点に鑑み、透明バリア
膜の優れたバリア効果を維持したまま、簡素な工程によ
り、例えば親インク性などの機能性を具備することが可
能な表面処理方法及びその方法を実施させるための真空
表面処理装置を提供することを課題としている。
膜の優れたバリア効果を維持したまま、簡素な工程によ
り、例えば親インク性などの機能性を具備することが可
能な表面処理方法及びその方法を実施させるための真空
表面処理装置を提供することを課題としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、真空室内で基体の送出及び巻取手段によ
り走行中の長尺基体に対する表面処理方法として、送出
開始後の長尺基体に対して透明バリア膜の成膜を行う第
１工程と、この第１工程に引き続いて、巻取終了前の透
明バリア膜付きの長尺基体に対して、蒸着重合法により
高分子膜の成膜を行う。
め、本発明は、真空室内で基体の送出及び巻取手段によ
り走行中の長尺基体に対する表面処理方法として、送出
開始後の長尺基体に対して透明バリア膜の成膜を行う第
１工程と、この第１工程に引き続いて、巻取終了前の透
明バリア膜付きの長尺基体に対して、蒸着重合法により
高分子膜の成膜を行う。
【０００９】これによれば、透明バリア膜の成膜を行う
第１工程と高分子被膜の成膜を行う第２工程とを、長尺
基体の送出と巻取との間に連続して行うので、ロール内
で透明バリア膜が基体の裏面と機械的に接触する頻度が
軽減される。このため、そのバリア効果の低下を抑制し
つつ、透明バリア膜が形成された基体に対して、親イン
ク性などを有する機能性高分子膜を被覆することができ
る。このようにして、基体表面を、印刷等が可能な機能
膜面とすることができる。さらに、上記の第１工程と第
２工程とを連続して行うので装置構成も簡素化できる。
第１工程と高分子被膜の成膜を行う第２工程とを、長尺
基体の送出と巻取との間に連続して行うので、ロール内
で透明バリア膜が基体の裏面と機械的に接触する頻度が
軽減される。このため、そのバリア効果の低下を抑制し
つつ、透明バリア膜が形成された基体に対して、親イン
ク性などを有する機能性高分子膜を被覆することができ
る。このようにして、基体表面を、印刷等が可能な機能
膜面とすることができる。さらに、上記の第１工程と第
２工程とを連続して行うので装置構成も簡素化できる。
【００１０】この場合、この透明バリア膜の材質とし
て、ＳｉＯ2またはＡｌ2Ｏ3を用いることが望ましい。
両者とも透明バリア膜としての特性を満たすものであ
り、特に、ＳｉＯ2膜の場合は、Ａｌ2Ｏ3膜を用いると
きのように焼却時にアルミ箔が残渣となることもなく、
環境面からの要請にも適している。
て、ＳｉＯ2またはＡｌ2Ｏ3を用いることが望ましい。
両者とも透明バリア膜としての特性を満たすものであ
り、特に、ＳｉＯ2膜の場合は、Ａｌ2Ｏ3膜を用いると
きのように焼却時にアルミ箔が残渣となることもなく、
環境面からの要請にも適している。
【００１１】さらに、この場合、この透明バリア膜の成
膜を、真空蒸着法またはスパッタリング法により行うこ
とが望ましい。特に、真空蒸着法を用いる場合、上記Ａ
ｌ2Ｏ3膜形成時には誘導加熱法や電子線蒸着法を、上記
ＳｉＯ2膜形成時には抵抗加熱法や電子線蒸着法を用い
ることが多い。
膜を、真空蒸着法またはスパッタリング法により行うこ
とが望ましい。特に、真空蒸着法を用いる場合、上記Ａ
ｌ2Ｏ3膜形成時には誘導加熱法や電子線蒸着法を、上記
ＳｉＯ2膜形成時には抵抗加熱法や電子線蒸着法を用い
ることが多い。
【００１２】一方、高分子膜の成膜は、この高分子の各
原料モノマーを混合して成る混合ガスを用いた蒸着重合
により行うことが望ましい。これは、各原料モノマーを
それぞれ直接に基体上に蒸着させる場合、走行中の長尺
基体上では、原料モノマーを均一に重合反応させること
が難しく、形成される高分子膜に反応むらが生じるおそ
れがある。このような事態を回避するため、このもので
は、各原料モノマーガスを混合してから蒸着させてい
る。
原料モノマーを混合して成る混合ガスを用いた蒸着重合
により行うことが望ましい。これは、各原料モノマーを
それぞれ直接に基体上に蒸着させる場合、走行中の長尺
基体上では、原料モノマーを均一に重合反応させること
が難しく、形成される高分子膜に反応むらが生じるおそ
れがある。このような事態を回避するため、このもので
は、各原料モノマーガスを混合してから蒸着させてい
る。
【００１３】さらに、上記したような透明バリア膜と高
分子膜との連続成膜を行うため、真空室内に、送出ロー
ルと成膜ドラムと巻取ロールとを有する送出及び巻取手
段と、真空室を第１成膜領域と第２成膜領域とに隔離す
ると共に成膜ドラムを第１ドラム面と第２ドラム面とに
隔離する隔壁と、第１成膜領域で透明バリア膜の成膜を
行うための成膜手段と、第２成膜領域で蒸着重合法によ
る高分子膜の成膜を行うための蒸着重合手段とを備える
真空表面処理装置を構成した。
分子膜との連続成膜を行うため、真空室内に、送出ロー
ルと成膜ドラムと巻取ロールとを有する送出及び巻取手
段と、真空室を第１成膜領域と第２成膜領域とに隔離す
ると共に成膜ドラムを第１ドラム面と第２ドラム面とに
隔離する隔壁と、第１成膜領域で透明バリア膜の成膜を
行うための成膜手段と、第２成膜領域で蒸着重合法によ
る高分子膜の成膜を行うための蒸着重合手段とを備える
真空表面処理装置を構成した。
【００１４】このものは、第１成膜領域において、上記
した誘導加熱法や抵抗加熱法、電子線蒸着法により、第
１ドラム面上を走行する基体に対してＡｌ2Ｏ3膜若しく
はＳｉＯ2膜から成る透明バリア膜を形成し、さらに、
これに連続して第２成膜領域において、蒸着重合法によ
りポリ尿素などの機能性高分子膜を形成するものであ
る。
した誘導加熱法や抵抗加熱法、電子線蒸着法により、第
１ドラム面上を走行する基体に対してＡｌ2Ｏ3膜若しく
はＳｉＯ2膜から成る透明バリア膜を形成し、さらに、
これに連続して第２成膜領域において、蒸着重合法によ
りポリ尿素などの機能性高分子膜を形成するものであ
る。
【００１５】この構成の装置を用いると、長尺基体が送
出及び巻取手段の間で１回走行する間に、透明バリア膜
と高分子膜との連続成膜を行うことができ、装置構成が
簡素化できる。また、透明バリア膜に対する機械的接触
の機会も軽減できる。
出及び巻取手段の間で１回走行する間に、透明バリア膜
と高分子膜との連続成膜を行うことができ、装置構成が
簡素化できる。また、透明バリア膜に対する機械的接触
の機会も軽減できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の長尺基体に対す
る真空表面処理装置の概略図である。本装置は巻取式連
続成膜装置であり、透明バリア膜及び高分子膜の成膜を
行うためのものである。図１を参照して、真空成膜室１
内に、送出ロール２と成膜ドラム３と巻取ロール４とを
備える送出・巻取手段が設けられている。長尺誘電体か
ら成る基体５は、送出ロール２から繰り出され、成膜ド
ラム３へと送られ、次いで成膜ドラム２の回転に伴われ
て連続走行し、巻取ロール４に巻き取られるように構成
されている。
る真空表面処理装置の概略図である。本装置は巻取式連
続成膜装置であり、透明バリア膜及び高分子膜の成膜を
行うためのものである。図１を参照して、真空成膜室１
内に、送出ロール２と成膜ドラム３と巻取ロール４とを
備える送出・巻取手段が設けられている。長尺誘電体か
ら成る基体５は、送出ロール２から繰り出され、成膜ド
ラム３へと送られ、次いで成膜ドラム２の回転に伴われ
て連続走行し、巻取ロール４に巻き取られるように構成
されている。
【００１７】ここで、基体５として用いられる長尺誘電
体は、プラスチック又はガラスからなるものであればよ
く、プラスチックとしては特に制限はないが、代表的な
ものとして以下のようなものがある。ポリオレフィン
（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン
等）、ポリエステル（例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレート等）、ポリアミド、
ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、エチレン酢酸ビ
ニル共重合体、ポリスチレン等、及びこれらの共重合体
や、他の単量体との共重合体のような、好ましくは透明
な基体を作製できるもので有れば特に限定されない。基
体の形状も、特に制限はされず、例えばフィルムであっ
ても、シートであってもよく、また、ロール状の長尺で
あっても、カットシートであってもよい。
体は、プラスチック又はガラスからなるものであればよ
く、プラスチックとしては特に制限はないが、代表的な
ものとして以下のようなものがある。ポリオレフィン
（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン
等）、ポリエステル（例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリブチレンテレフタレート等）、ポリアミド、
ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、エチレン酢酸ビ
ニル共重合体、ポリスチレン等、及びこれらの共重合体
や、他の単量体との共重合体のような、好ましくは透明
な基体を作製できるもので有れば特に限定されない。基
体の形状も、特に制限はされず、例えばフィルムであっ
ても、シートであってもよく、また、ロール状の長尺で
あっても、カットシートであってもよい。
【００１８】一方、真空成膜室１内を横切って隔壁６が
設けられている。この隔壁６は、真空成膜室１を、下方
の第１成膜領域７と上方の第２成膜領域８とに隔離する
ものであると同時に、成膜ドラム３を、第１ドラム面３
ａと第２ドラム面３ｂとに隔離するものである。
設けられている。この隔壁６は、真空成膜室１を、下方
の第１成膜領域７と上方の第２成膜領域８とに隔離する
ものであると同時に、成膜ドラム３を、第１ドラム面３
ａと第２ドラム面３ｂとに隔離するものである。
【００１９】また、成膜ドラム３の下方には、蒸発源材
料９を収容するための蒸発用ルツボ１０が設置され、蒸
発源材料９を電子ビーム銃１１で加熱できるように設け
ている。さらに、第１成膜室７の側面には反応ガス導入
口１２が設けられ、導入口１２より酸素ガスが供給され
る。
料９を収容するための蒸発用ルツボ１０が設置され、蒸
発源材料９を電子ビーム銃１１で加熱できるように設け
ている。さらに、第１成膜室７の側面には反応ガス導入
口１２が設けられ、導入口１２より酸素ガスが供給され
る。
【００２０】一方、隔壁６の上側の第２成膜領域８内に
は、第２ドラム面３ｂと対向する開口部１３ａを有する
混合槽１３が配置されている。混合槽１３には、その背
面から成膜室外部の第１蒸発源１４と第２蒸発源１５と
がそれぞれガス導入管１４ａ及び１５ａを介して接続さ
れており、第１蒸発源１４中の原料モノマーＡと第２蒸
発源１５中の原料モノマーＢとが、ガス導入管１４ａ及
び１５ａ上の図外の導入弁を介して混合槽１３中におい
て気体状態で混合される。
は、第２ドラム面３ｂと対向する開口部１３ａを有する
混合槽１３が配置されている。混合槽１３には、その背
面から成膜室外部の第１蒸発源１４と第２蒸発源１５と
がそれぞれガス導入管１４ａ及び１５ａを介して接続さ
れており、第１蒸発源１４中の原料モノマーＡと第２蒸
発源１５中の原料モノマーＢとが、ガス導入管１４ａ及
び１５ａ上の図外の導入弁を介して混合槽１３中におい
て気体状態で混合される。
【００２１】このとき、混合槽１３内に邪魔板や分散板
などを用いたガス混合促進用部材を設けると、上記の原
料モノマーＡ及びＢの両モノマーガスの混合が効果的に
促進される。
などを用いたガス混合促進用部材を設けると、上記の原
料モノマーＡ及びＢの両モノマーガスの混合が効果的に
促進される。
【００２２】基体５に対して成膜を行うに際しては、最
初に、ルツボ１０に蒸発源材料９として、例えば、純度
９９．７％のアルミニウムを充填し、また、ガス導入管
１４ａ及び１５ａ上の導入弁（図示せず）を閉じた状態
で、第１蒸発源１４に原料モノマーＡとして４，４’−
ジアミノジフェニルメタン（ＭＤＡ）などのジアミノ成
分を、第２蒸発源１５に原料モノマーＢとして４，４’
−ジフェニルメタンジイソシアナート（ＭＤＩ）などの
ジイソシアナート成分を、それぞれ充填しておく。そし
て、成膜室１に付属して設けた図外の真空ポンプにより
排気作動して内部を所定圧力まで到達までさせた後に、
反応ガス導入口１２より１００ｓｃｃｍに流量制御して
酸素ガスを導入する。このとき、第１成膜領域７内の圧
力は１０ -2Ｐａに保たれている。また、成膜ドラム３を
−３０℃〜１０℃に冷却する。
初に、ルツボ１０に蒸発源材料９として、例えば、純度
９９．７％のアルミニウムを充填し、また、ガス導入管
１４ａ及び１５ａ上の導入弁（図示せず）を閉じた状態
で、第１蒸発源１４に原料モノマーＡとして４，４’−
ジアミノジフェニルメタン（ＭＤＡ）などのジアミノ成
分を、第２蒸発源１５に原料モノマーＢとして４，４’
−ジフェニルメタンジイソシアナート（ＭＤＩ）などの
ジイソシアナート成分を、それぞれ充填しておく。そし
て、成膜室１に付属して設けた図外の真空ポンプにより
排気作動して内部を所定圧力まで到達までさせた後に、
反応ガス導入口１２より１００ｓｃｃｍに流量制御して
酸素ガスを導入する。このとき、第１成膜領域７内の圧
力は１０ -2Ｐａに保たれている。また、成膜ドラム３を
−３０℃〜１０℃に冷却する。
【００２３】この状態で、送出・巻取手段を作動させ
て、長尺誘電体から成る基体５を走行させる。そして、
電子銃１１により、ルツボ１０内のアルミニウムから成
る蒸発源材料９を加熱、溶融、蒸発させ、反応ガス導入
口１２より供給する酸素ガスとの反応性蒸着を行って、
第１ドラム面３ａ上を走行する基体５にＡｌ2Ｏ3若しく
はＡｌ2Ｏ3-X（Ｘ＝０または１）から成る透明バリア膜
の成膜を行う。このときの透明バリア膜の膜厚は６００
〜８００Åである。
て、長尺誘電体から成る基体５を走行させる。そして、
電子銃１１により、ルツボ１０内のアルミニウムから成
る蒸発源材料９を加熱、溶融、蒸発させ、反応ガス導入
口１２より供給する酸素ガスとの反応性蒸着を行って、
第１ドラム面３ａ上を走行する基体５にＡｌ2Ｏ3若しく
はＡｌ2Ｏ3-X（Ｘ＝０または１）から成る透明バリア膜
の成膜を行う。このときの透明バリア膜の膜厚は６００
〜８００Åである。
【００２４】一方、第２成膜領域８では、ガス導入管１
４ａ及び１５ａ上の導入弁（図示せず）を開放しなが
ら、第１蒸発源１４中のＭＤＡを２００℃で蒸発させる
と共に、第２蒸発源１５中のＭＤＩを１５０℃で蒸発さ
せて混合槽１３で混合させ、その開口部１３ａから混合
ガスの状態で成膜ドラム３方向に蒸着させる。そして、
第２ドラム面３ａ上を走行する基体５上で蒸着重合反応
の生成物たる高分子としてポリ尿素膜の成膜を行う。こ
のときのポリ尿素膜の膜厚は５０〜１００Åである。ま
た、第２成膜領域８内の圧力は１０-1Ｐａに保たれてい
る。
４ａ及び１５ａ上の導入弁（図示せず）を開放しなが
ら、第１蒸発源１４中のＭＤＡを２００℃で蒸発させる
と共に、第２蒸発源１５中のＭＤＩを１５０℃で蒸発さ
せて混合槽１３で混合させ、その開口部１３ａから混合
ガスの状態で成膜ドラム３方向に蒸着させる。そして、
第２ドラム面３ａ上を走行する基体５上で蒸着重合反応
の生成物たる高分子としてポリ尿素膜の成膜を行う。こ
のときのポリ尿素膜の膜厚は５０〜１００Åである。ま
た、第２成膜領域８内の圧力は１０-1Ｐａに保たれてい
る。
【００２５】このとき、混合槽１３においては、ＭＤＡ
とＭＤＩとの重合反応が開始されないように公知の温度
制御手段などにより制御する必要がある。
とＭＤＩとの重合反応が開始されないように公知の温度
制御手段などにより制御する必要がある。
【００２６】このようにして基体５上に透明バリア膜と
ポリ尿素から成る高分子膜との連続成膜を行って形成し
たフィルムは、透明バリア膜本来の所望の酸素透過率や
水蒸気透湿度を維持しており、また、インクを用いた印
刷等による表示が可能である。
ポリ尿素から成る高分子膜との連続成膜を行って形成し
たフィルムは、透明バリア膜本来の所望の酸素透過率や
水蒸気透湿度を維持しており、また、インクを用いた印
刷等による表示が可能である。
【００２７】なお、本実施の形態では、第１成膜領域７
における反応性蒸着法として、蒸発源材料にアルミニウ
ムを用い、このアルミニウムに対して電子線蒸着を行っ
たが、この電子線蒸着の替りにルツボ１０にコイルを巻
回して加熱できるように装置構成を変更して、誘導加熱
による真空蒸着法を採用しても良い。
における反応性蒸着法として、蒸発源材料にアルミニウ
ムを用い、このアルミニウムに対して電子線蒸着を行っ
たが、この電子線蒸着の替りにルツボ１０にコイルを巻
回して加熱できるように装置構成を変更して、誘導加熱
による真空蒸着法を採用しても良い。
【００２８】また、電子線蒸着によるものにおいても、
本実施の形態では、アルミニウムに対して電子線蒸着と
反応性蒸着とを行ってＡｌ2Ｏ3若しくはＡｌ2Ｏ3-X（Ｘ
＝０または１）の成膜を行ったが、蒸発源材料にアルミ
ナ（Ａｌ2Ｏ3）を用いこれに酸素ガスを反応させるよう
にしても良い。このようにすれば、電子線照射により還
元されて酸素欠乏の傾向にあるアルミナに酸素を補給す
ることになり、基体５上で行うＡｌ2Ｏ3の成膜の効率が
向上する。
本実施の形態では、アルミニウムに対して電子線蒸着と
反応性蒸着とを行ってＡｌ2Ｏ3若しくはＡｌ2Ｏ3-X（Ｘ
＝０または１）の成膜を行ったが、蒸発源材料にアルミ
ナ（Ａｌ2Ｏ3）を用いこれに酸素ガスを反応させるよう
にしても良い。このようにすれば、電子線照射により還
元されて酸素欠乏の傾向にあるアルミナに酸素を補給す
ることになり、基体５上で行うＡｌ2Ｏ3の成膜の効率が
向上する。
【００２９】また、Ａｌ2Ｏ3膜の成膜を行う替りに、Ｓ
ｉＯX膜の成膜を行うものとしても良い。この場合の真
空蒸着法としては、電子線法、誘導加熱法、抵抗過熱法
のいずれを用いても良い。
ｉＯX膜の成膜を行うものとしても良い。この場合の真
空蒸着法としては、電子線法、誘導加熱法、抵抗過熱法
のいずれを用いても良い。
【００３０】さらに、第１成膜領域７における成膜方法
は、上記の真空蒸着方法に限定されず、スパッタ成膜に
より、Ａｌ2Ｏ3膜やＳｉＯX膜の成膜を行うものとして
も良い。
は、上記の真空蒸着方法に限定されず、スパッタ成膜に
より、Ａｌ2Ｏ3膜やＳｉＯX膜の成膜を行うものとして
も良い。
【００３１】また、本実施の形態では、第２成膜領域８
における成膜材料をポリ尿素から成る高分子としたが、
それぞれの所望の機能性に応じて、ポリ尿素以外にも例
えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポ
リアゾメチン、ポリエステルその他の高分子を用いるこ
とができる。
における成膜材料をポリ尿素から成る高分子としたが、
それぞれの所望の機能性に応じて、ポリ尿素以外にも例
えば、ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポ
リアゾメチン、ポリエステルその他の高分子を用いるこ
とができる。
【００３２】そして、本実施の形態においては、ポリ尿
素膜に印刷等が可能なインク材料に対して、ポリ尿素が
親インク性を有するとしたが、このようなインク材料
は、水性インクとして一般に用いられているものであれ
ば特に限定されるものではない。即ち、一般の水性イン
ク材料であれば、ポリ尿素膜表面に印刷等の表示が可能
である。
素膜に印刷等が可能なインク材料に対して、ポリ尿素が
親インク性を有するとしたが、このようなインク材料
は、水性インクとして一般に用いられているものであれ
ば特に限定されるものではない。即ち、一般の水性イン
ク材料であれば、ポリ尿素膜表面に印刷等の表示が可能
である。
【００３３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の表面処理方法及びこれを実施するための真空表面処理
装置は、走行中の長尺基体に対して、この基体が１回走
行する間に、Ａｌ2Ｏ3またはＳｉＯ2から成る透明バリ
ア膜と、親インク性等の機能性を有するポリ尿素などの
高分子膜との連続成膜を行うため、簡便な工程により、
透明バリア膜の優れたバリア効果を維持しながら、基体
フィルム表面の印刷等を可能とする機能性を具備させる
ことができる。
の表面処理方法及びこれを実施するための真空表面処理
装置は、走行中の長尺基体に対して、この基体が１回走
行する間に、Ａｌ2Ｏ3またはＳｉＯ2から成る透明バリ
ア膜と、親インク性等の機能性を有するポリ尿素などの
高分子膜との連続成膜を行うため、簡便な工程により、
透明バリア膜の優れたバリア効果を維持しながら、基体
フィルム表面の印刷等を可能とする機能性を具備させる
ことができる。
【図１】本発明の真空表面処理装置の概略図
１ 真空成膜室
２ 送出ロール
３ 成膜ドラム ３ａ 第１ドラム面 ３ｂ 第２
ドラム面 ４ 巻取ロール ５ 長尺基体 ６ 隔壁 ７ 第１成膜領域 ８ 第２成膜領域 ９ 蒸発源材料 １０ ルツボ １１ 電子銃 １２ ガス導入口 １３ 混合槽 １４ 第１蒸発源 １５ 第２蒸発源
ドラム面 ４ 巻取ロール ５ 長尺基体 ６ 隔壁 ７ 第１成膜領域 ８ 第２成膜領域 ９ 蒸発源材料 １０ ルツボ １１ 電子銃 １２ ガス導入口 １３ 混合槽 １４ 第１蒸発源 １５ 第２蒸発源
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 4D075 AE03 BB56Y BB85Y CA35
CA42 DA04 DA06 DB13 DB36
DB37 DB38 DB40 DB48 DB53
DC30 DC36 DC38 EB05 EB24
EB32 EB35 EB38 EB39 EB47
4F100 AA19B AA20B AB10 AK01C
AK41 AK46 AK49 AK51 AT00A
BA03 BA07 BA10A BA10C
EH66C JD01B JN01B
4J031 CA22 CA28 CA47 CE06
4K029 AA11 BA44 BA46 BC00 BC08
CA02 CA06 CA11
Claims (5)
- 【請求項１】真空室内で基体の送出及び巻取手段により
走行中の長尺基体に対する表面処理方法において、送出
開始後の前記長尺基体に対して透明バリア膜の成膜を行
う第１工程と、該第１工程に引き続き、巻取終了前の前
記透明バリア膜付きの長尺基体に対して、蒸着重合法に
より高分子膜の成膜を行う第２工程とから成ることを特
徴とする表面処理方法。 - 【請求項２】前記透明バリア膜は、ＳｉＯ2またはＡｌ2
Ｏ3から成ることを特徴とする請求項１に記載の表面処
理方法。 - 【請求項３】前記透明バリア膜の成膜を、真空蒸着法ま
たはスパッタリング法により行うことを特徴とする請求
項１または２に記載の表面処理方法。 - 【請求項４】前記高分子膜の成膜を、該高分子の各原料
モノマーから成る混合ガスの蒸着重合により行うことを
特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の表面
処理方法。 - 【請求項５】前記表面処理方法を用いるために、前記真
空室内に、送出ロールと成膜ドラムと巻取ロールとを有
する送出及び巻取手段と、前記真空室を第１成膜領域と
第２成膜領域とに隔離すると共に前記成膜ドラムを第１
ドラム面と第２ドラム面とに隔離する隔壁と、前記第１
成膜領域で透明バリア膜の成膜を行うための成膜手段
と、前記第２成膜領域で蒸着重合法による高分子膜の成
膜を行うための蒸着重合手段とを備えることを特徴とす
る真空表面処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002108021A JP2003300273A (ja) | 2002-04-10 | 2002-04-10 | 表面処理方法及び真空表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002108021A JP2003300273A (ja) | 2002-04-10 | 2002-04-10 | 表面処理方法及び真空表面処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003300273A true JP2003300273A (ja) | 2003-10-21 |
Family
ID=29391904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002108021A Pending JP2003300273A (ja) | 2002-04-10 | 2002-04-10 | 表面処理方法及び真空表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003300273A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006182847A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 全芳香族ポリエステル膜およびその製造方法 |
| WO2007111076A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シートおよび透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007111075A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007111098A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及びその製造方法 |
| WO2007111074A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007111092A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シートおよび透明バリア性シートの製造方法 |
| JP2011001617A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Ulvac Japan Ltd | 成膜方法および成膜装置 |
| CN102002674A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-04-06 | 东莞星晖真空镀膜塑胶制品有限公司 | 一种透明塑胶制品的表面真空镀膜工艺 |
| US20150147471A1 (en) * | 2013-02-08 | 2015-05-28 | Nitto Denko Corporation | Method for producing transparent gas barrier film and apparatus for producing transparent gas barrier film |
| CN106929806A (zh) * | 2016-10-25 | 2017-07-07 | 广东振华科技股份有限公司 | 高阻隔纳米无机非金属薄膜、其制备方法以及真空卷绕镀膜设备 |
| CN107217233A (zh) * | 2017-04-24 | 2017-09-29 | 无锡市司马特贸易有限公司 | 聚合物真空镀膜机 |
-
2002
- 2002-04-10 JP JP2002108021A patent/JP2003300273A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006182847A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 全芳香族ポリエステル膜およびその製造方法 |
| WO2007111076A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シートおよび透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007111075A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007111098A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及びその製造方法 |
| WO2007111074A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シート及び透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007111092A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シートおよび透明バリア性シートの製造方法 |
| JP2011001617A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Ulvac Japan Ltd | 成膜方法および成膜装置 |
| CN102002674A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-04-06 | 东莞星晖真空镀膜塑胶制品有限公司 | 一种透明塑胶制品的表面真空镀膜工艺 |
| US20150147471A1 (en) * | 2013-02-08 | 2015-05-28 | Nitto Denko Corporation | Method for producing transparent gas barrier film and apparatus for producing transparent gas barrier film |
| CN106929806A (zh) * | 2016-10-25 | 2017-07-07 | 广东振华科技股份有限公司 | 高阻隔纳米无机非金属薄膜、其制备方法以及真空卷绕镀膜设备 |
| CN107217233A (zh) * | 2017-04-24 | 2017-09-29 | 无锡市司马特贸易有限公司 | 聚合物真空镀膜机 |
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