JP2003298946A - 画素信号処理方法および装置、撮像装置 - Google Patents

画素信号処理方法および装置、撮像装置

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JP2003298946A JP2002102108A JP2002102108A JP2003298946A JP 2003298946 A JP2003298946 A JP 2003298946A JP 2002102108 A JP2002102108 A JP 2002102108A JP 2002102108 A JP2002102108 A JP 2002102108A JP 2003298946 A JP2003298946 A JP 2003298946A
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勉 春田
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幸弘 安井
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電流出力型の撮像素子を使用する場合におい
て、増幅率やリニアリティが良好かつ簡易な構成で、F
PN抑制機能を実現できるようにする。 【解決手段】 カレントミラー70の入力側のNchMO
SトランジスタQ71を電圧動作点設定部として機能さ
せ、画素信号線電位(水平信号線20の電圧)をGND
付近で常に安定にする。これで、固体撮像素子3内の増
幅トランジスタは増幅率やリニアリティが良好になる。
カレントコピア90を電流サンプリング部として機能さ
せ、カレントミラー70を介して固体撮像素子3の信号
電流IINを受け取り、リセット期間の画素信号を電流成
分のままサンプリングする。検出期間の電流成分とサン
プリングしたリセット期間の電流成分であるオフセット
電流との差を求めることで、画素信号内に含まれるオフ
セット成分を取り除き、純粋な信号Isigだけを出力端子
Ioutに取り出し、FPN抑制機能を実現する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子の画
素信号処理方法および装置、並びに撮像装置に関する。
より詳細には、CMOS型撮像素子や増幅型撮像素子な
ど、画素にて得た画素信号を電流で出力する電流出力方
式の固体撮像素子から出力された画素信号を処理するた
めの処理方法および装置、並びにこの固体撮像素子およ
び画素信号処理装置を具備した撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、固体撮像装置は、フォトダイオ
ードなどで構成された各受光素子で光電変換を行ない、
発生した電荷を検出回路によって検出し、その後増幅
し、順次出力する。この検出回路は、検出動作とリセッ
ト動作を交互に行なう場合が殆どで、リセットノイズと
いわれるノイズ信号を発生し、その影響で画素ごとにオ
フセット成分を生じる。また、この検出回路が受光素子
ごとに設けられている、いわゆる増幅型固体撮像素子の
場合には、この検出回路自体のばらつきが問題となり、
固定パターンノイズ(FPN;Fixed Pattern Noise )
といわれるノイズ信号の発生原因となる。このFPN信
号は既知である相関2重サンプリング(Correlated Dou
ble Sampling:以下CDSという)といわれる信号処理
方式によって取り除くことができる。
【0003】ここで、FPN抑制機能(CDS処理機
能)の方法にはいくつかあるが、検出した信号とリセッ
ト時の信号を何らかの方法で引き算し、差分のみを出力
するようにすることが多い。また、この引き算はサンプ
リングを必要とするため電圧信号で行なわれる場合が殆
どである。したがって、たとえばCMOS型撮像素子や
増幅型撮像素子に代表されるX−Yアドレス型の固体撮
像素子のように、画素信号を電流の形態で出力する電流
出力型の固体撮像素子の場合には、電流電圧変換回路
(以下I/V変換回路という)を用いて電圧信号に変換
する必要がある。この場合、I/V変換回路、サンプリ
ング回路、減算回路など、複雑なアナログ信号処理を必
要とするため、どうしても回路規模が大きくなってしま
うという問題がある。
【0004】一方で、電流信号のままでFPN抑制機能
を実現するという発想もある。電流信号の場合は加算や
減算が簡単に行なえるという特徴があるため、CDSの
ような減算処理は比較的簡単に済んでしまう可能性があ
る。たとえば、“IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVI
CE,VOL44,No10「On-Focal-Plane Signal Processingfor
Current-Mode Active Pixel Sensors;以下文献1とい
う)”には、図10(A)に示すように、2セル構成の
カレントコピアを用いてFPN抑制機能を実現する方法
が紹介されている。この構成の動作を簡単に説明する。
文献1には、図10(B)、図10(C)に示すよう
に、2つの駆動方法が紹介されている。
【0005】図10(B)に示す駆動方法においては、
はじめに制御信号Φ1,Φ1S(対応する逆極性信号も
含む;以下同様)にてnチャネルのカレントコピア(電
流記憶セル)を入力フェーズ、制御信号Φ2,Φ2Sに
てpチャネルのカレントコピアを出力フェーズにした状
態で画素をリセットし、nチャネルのカレントコピアに
オフセット電流Ioffを流し込み、これを記憶する。その
後、制御信号Φ1,Φ1Sにてnチャネルのカレントコ
ピアを出力フェーズ、制御信号Φ2,Φ2Sにてpチャ
ネルのカレントコピアを入力フェーズにしてフォトダイ
オードから信号を読み出すと、“Ioff−Isig”が画素か
ら流し込まれる。ここで、nチャネルのカレントコピア
は先に記憶した電流Ioffを引き込むため、pチャネルの
カレントコピアに信号Isigのみが流れ込むことになる。
これを記憶し、出力してやることでオフセット電流Ioff
を除去し、FPNを除去した本来の信号Isigを出力する
ことができる。
【0006】ただし、この図10(B)に示す駆動方法
の場合において注意しなければいけないのは、画素の出
力信号線の電位が、それぞれのフェーズによって変化し
てしまう可能性があることである。すなわち、nチャネ
ルのカレントコピアが入力フェーズにある場合には、n
チャネルのトランジスタがゲートとドレインを接続した
ダイオード接続となるため、信号線の電位はnチャネル
トランジスタのVth+その時の電流値とトランジスタサ
イズに応じたバイアス値となり、比較的GNDレベルに
近い電位となり易い。
【0007】一方、nチャネルカレントコピアが出力フ
ェーズ、pチャネルカレントコピアが入力フェーズにあ
る場合、pチャネルのトランジスタがダイオード接続と
なるため、信号線の電位は、VDD−pチャネルトラン
ジスタのVth−その時の電流値とトランジスタサイズに
応じたバイアス値となり、比較的電源電圧に近いレベル
になり易い。
【0008】このように、それぞれのフェーズにおいて
信号線の電位の決まり方が違うため、電位が大きく変動
してしまう可能性がある。たとえば特開2000−30
7958号の「固体撮像素子およびその画素信号処理方
法」(以下文献2という)において述べられているよう
に、各画素内に増幅用トランジスタをもつ増幅型の固体
撮像素子においては、その信号線の電位は増幅トランジ
スタの増幅率に大きく影響を与えるため、信号線の電位
が大きく変動することは好ましくない。
【0009】さらに、大きな増幅率を確保しようとした
場合、nチャネルの増幅トランジスタを画素内に配置し
ている場合には、信号線の電位はできるだけGNDレベ
ルに近い方がよいことになる。このような事情を考慮す
ると、図10(B)に示すような駆動方法を用いてFP
N抑制機能を実現することは、信号線の電位変動という
観点から好ましくなく、画素信号のリニアリティの悪化
や、信号量の低下といった問題を引き起こす可能性があ
る。
【0010】一方、図10(C)に示す駆動方法におい
ては、はじめに制御信号Φ1,Φ1Sにてnチャネルの
カレントコピアを入力フェーズ、制御信号Φ2,Φ2S
にてpチャネルのカレントコピアを出力フェーズにした
状態で画素信号“Ioff−Isig”をnチャネルのカレント
コピアに記憶、次に制御信号Φ1にて画素信号線と本回
路を切り離した状態で、nチャネルのカレントコピアに
記憶した電流“Ioff−Isig”をpチャネルのカレントコ
ピアに転送し記憶する。
【0011】この間に画素をリセットしておく。リセッ
ト終了後、今度は制御信号Φ1,Φ1Sにてnチャネル
のカレントコピアを入力フェーズ、制御信号Φ2,Φ2
Sにてpチャネルのカレントコピアを出力フェーズにし
た状態で画素信号Ioffをnチャネルのカレントコピアに
記憶する。
【0012】最後に制御信号Φ1によって画素信号線を
切り離した状態で、nチャネルのカレントコピア、pチ
ャネルのカレントコピアをともに出力フェーズにし、さ
らに制御信号Φ3によりスイッチを開くことで、“Iout
=(Ioff−Isig)−Ioff=−Isig”となって、オフセッ
ト成分Ioffを除去し、FPN(固定パターンノイズ)を
除去した信号Isigを出力することができる。
【0013】この図10(C)に示す駆動方法の場合に
注意しなければならないのは、制御信号Φ1によって画
素信号線を回路と切り離す時間が必ず必要になるという
ことで、その間画素信号線の電位は非常に不安定とな
る。また、画素信号“Ioff−Isig”とリセット時の信号
Ioffを独立にサンプリングするため、必ず2つのカレン
トコピア90が必要になり、さらに、記憶−転送−記憶
−出力と全部で4つのフェーズが必要のため、制御が非
常に複雑になるという問題がある。
【0014】なお、文献1に示されている回路におい
て、その駆動方法を変形することで、前段側の1つのカ
レントコピアを用いて、FPN(固定パターンノイズ)
を除去した信号Isigを出力することができる点も開示さ
れている。しかしながら、この場合においても、制御信
号Φ1を切り替えることが必要であり、依然として、信
号線の電位変動という問題を引き起こすので、固体撮像
素子内の増幅トランジスタは高い増幅率を保つことがで
きず、リニアリティも悪化する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
電流出力型の固体撮像素子を使用する場合には、CDS
処理などのFPN抑圧のための処理が必要であり、この
場合に、電流信号を電圧信号に変換してから公知のCD
S処理を施すのでは、複雑なアナログ信号処理を必要と
する。
【0016】また、この電流出力型の固体撮像素子にお
いては、信号を電流のままで扱うことでFPN抑圧処理
を簡単化できる可能性があるが、従来報告されているC
DS処理などの方法では、画素信号線の電位変動が大き
い、または不安定、といった問題を抱えている。
【0017】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、電流出力型の固体撮像素子を使用する場合にお
いて、信号線の電位を安定した状態にしつつ、固定パタ
ーンノイズを除去した電流信号を取得することのできる
画素信号検出方法および装置、並びに撮像装置を提供す
ることを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係る
画素信号処理方法は、固体撮像素子の各画素から画素信
号線を介して出力される電流信号に含まれているオフセ
ット成分を抑制する画素信号処理方法であって、画素信
号線の電圧を予め定められたほぼ一定の電圧に維持した
状態で、画素信号線を介して出力される電流信号を、こ
の電流信号の形態のままで受け取るようにした。
【0019】そして、画素ごとに、受け取った電流信号
におけるリセット期間の成分をサンプリングし、このサ
ンプリングした成分と電流信号における検出期間の成分
との差を求め、これにより、オフセット成分が抑制され
た信号成分を抽出するようにした。
【0020】本発明に係る画素信号処理装置は、前記本
発明に係る画素信号処理方法を実施する装置であって、
記画素信号線の電圧を予め定められたほぼ一定の電圧に
維持する電圧動作点設定部と、電圧動作点設定部により
画素信号線の電圧動作点が一定の電圧に維持された状態
で、画素信号線を介して出力される電流信号を、この電
流信号の形態のままで受け取り、画素ごとに、受け取っ
た電流信号におけるリセット期間の成分をサンプリング
し、このサンプリングした成分と電流信号における検出
期間の成分との差を求め、これにより、オフセット成分
が抑制された信号成分を抽出する電流サンプリング部と
を備えた。
【0021】ここで、電圧動作点設定部は、画素信号線
を介して出力される電流信号を受け取り、この受け取っ
た電流信号の大きさに対応する大きさの電流信号を電流
サンプリング部に向けて出力する電流/電流変換部を有
するものとしてもよい。
【0022】この電流/電流変換部は、画素信号線に接
続された入力側の素子と電流サンプリング部側に配され
た出力側の素子とがミラー接続されたカレントミラー回
路を含むものであることが望ましい。
【0023】この場合、カレントミラー回路を構成する
出力側の素子の電流出力端子と電流サンプリング部との
間に、制御入力端子を有するトランジスタを直列に設け
るなど、カレントミラー回路の定電流特性を向上させる
定電流特性向上部を設けるとよい。またこの場合、トラ
ンジスタの制御入力端子を制御することで、カレントミ
ラー回路を構成する出力側の素子の入出力端子間電圧
(たとえばソース−ドレイン間電圧)をほぼ一定に維持
するとよい。
【0024】また、本発明に係る画素信号処理装置にお
いては、電流サンプリング部を、サンプリングの処理と
差を求める処理とを1度だけ行なうことで、オフセット
成分が抑制された信号成分を抽出するものとしてもよ
い。
【0025】また、電流サンプリング部を、リセット期
間に対応する入力フェーズ時に電流信号におけるリセッ
ト期間の電流成分を受けて保持し、検出期間に対応する
出力フェーズ時には入力フェーズ時に保持した電流成分
を出力する、電流入出力端子を有するカレントコピアを
具備したものとしてもよい。この場合、電流信号におけ
る検出期間には、電流サンプリング部は、検出期間の電
流成分とカレントコピアの電流入出力端子から出力され
る電流成分との差を求めることで、オフセット成分が抑
制された信号成分を抽出する。
【0026】なお、カレントコピアの電流入出力端子と
電圧動作点設定部との間に、制御入力端子を有するトラ
ンジスタを直列に設けるなど、カレントコピアの電流保
持特性を向上させる電流保持特性向上部を設けるとよ
い。またこの場合、トランジスタの制御入力端子を制御
することで、カレントコピアの入出力端子の電圧(たと
えばセルの主要部であるトランジスタのソース−ドレイ
ン間電圧)をほぼ一定に維持するとよい。
【0027】また、本発明に係る画素信号処理装置にお
いては、電流サンプリング部を、電流信号をオンオフす
るスイッチ素子と、リセット期間におけるスイッチ素子
のオン時に電流信号を受けて当該電流信号に応じた電圧
を保持する容量素子と、電圧動作点設定部に接続された
入力側の素子と出力側の素子とがミラー接続されたカレ
ントミラー回路とを具備するものとしてもよい。
【0028】この場合、電流信号における検出期間に
は、電流サンプリング部は、カレントミラー回路の出力
側の素子から出力される検出期間の成分と容量素子が保
持している電圧に応じた電流成分との差を求めること
で、オフセット成分が抑制された信号成分を抽出する。
【0029】また、本発明に係る画素信号処理装置にお
いては、電流サンプリング部を、電流信号をオンオフす
るスイッチ素子と、リセット期間におけるスイッチ素子
のオン時に電流信号を受けて当該電流信号に応じた電圧
を保持する容量素子と、容量素子の側に配された入力側
の素子と出力側の素子とがミラー接続されたカレントミ
ラー回路とを具備するものとしてもよい。
【0030】この場合、電流信号における検出期間に
は、電流サンプリング部は、検出期間の電流成分と、容
量素子が保持している電圧に応じた電流成分であって、
カレントミラー回路の出力側の素子から出力された電流
成分との差を求めることで、オフセット成分が抑制され
た信号成分を抽出する。
【0031】本発明に係る撮像装置は、各画素からの電
流信号を画素信号線を介して出力する固体撮像素子と、
本発明に係る画素信号処理装置とを具備したものであ
る。
【0032】
【作用】上記構成においては、電圧動作点設定部によ
り、電流出力型の固体撮像素子の画素信号線の電圧を予
め定められたほぼ一定の電圧に維持しておく。そしてこ
の状態で、電流サンプリング部は、画素信号線を介して
出力される電流信号を、電流信号の形態のままで受け取
る。つまり、画素信号線の電圧レベルを一定に維持した
まま画素信号を読み出した後、たとえばカレントコピア
やスイッチ素子および容量素子からなるサンプルホール
ド回路などにより、リセット期間の画素信号を電流成分
のままサンプリングする。そして、検出期間の電流成分
とサンプリングしたリセット期間の電流成分であるオフ
セット電流との差を求めることで、画素信号内に含まれ
るオフセット成分を取り除き、純粋な信号だけを取り出
す。
【0033】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について詳細に説明する。
【0034】図1は、電流出力方式の固体撮像素子と本
発明に係る画素信号処理装置の一例である電流信号検出
部とを備えた撮像装置の第1実施形態の構成例を示す図
である。この撮像装置1は、固体撮像素子3として、た
とえばCMOS型撮像素子を備えている。また撮像装置
1は、固体撮像素子3の後段に、電圧動作点設定部7お
よび電流サンプリング部9を具備した電流信号検出部5
を備えている。なお、固体撮像素子3と電流信号検出部
5とを1つの半導体基板上に形成してもよい。
【0035】図1において、固体撮像素子3を構成する
感光部10の単位画素11は、フォトダイオード12、
増幅用トランジスタ13、垂直選択用トランジスタ1
4、およびリセット用トランジスタ15によって構成さ
れている。これらトランジスタ13〜15として、本例
では、NchMOSトランジスタが用いられている。単位
画素11がX方向(列方向)およびY方向(行方向)に
配列されて画素部を構成している。なお、ここでは、図
面の簡略化のために、m行n列の画素のみを示してい
る。
【0036】単位画素11において、垂直選択用トラン
ジスタ14のゲート電極には垂直走査回路16から垂直
選択線17を通して垂直走査パルスφVmが与えられ、
リセット用トランジスタ15のゲート電極には垂直走査
回路16から垂直リセット線18を通して垂直リセット
パルスφVR mが与えられる。また、フォトダイオード
12で光電変換された信号電荷は増幅用トランジスタ1
3で信号電流に変換され、垂直選択用トランジスタ14
を通して垂直信号線19に出力される。
【0037】垂直信号線19と水平信号線20との間に
は、水平選択用トランジスタ21が接続されている。こ
の水平選択用トランジスタ21のゲート電極には、水平
走査回路22から水平走査パルスφHnが与えられる。
これにより、画素11から垂直信号線19に出力された
信号電流は、水平選択用トランジスタ21を通して水平
信号線20に流れる。
【0038】水平信号線20の一方の端部には、電流信
号検出部5が接続され、その内部の電圧動作点設定部7
および電流サンプリング部9を介して、さらに電流電圧
変換回路24が接続されている。電流サンプリング部9
は、画素信号線の一例である水平信号線20を通じて画
素信号を電流として受け取り、その電流をサンプリング
することによって、電流信号中に含まれているオフセッ
ト電流を取り除き、純粋な信号だけを取り出す。これに
より、画素信号内に含まれるFPN(固定パターンノイ
ズ)を抑圧する。
【0039】電圧動作点設定部7は、電流信号検出部5
における電流信号の検出(サンプリング)時に、水平信
号線20の電圧を略一定レベル(たとえばGNDレベル
付近)に安定に保つ。電流電圧変換回路24は、水平信
号線20から電流信号検出部5を通して入力される信号
電流を信号電圧に変換して出力する。
【0040】図2は、本発明に係る画素信号処理装置の
一例である電流信号検出部5の第1実施形態の構成例を
示す図である。ここで図2(A)は、その回路図、図2
(B)は動作を説明するためのタイミングチャートであ
る。第1実施形態の構成では、電圧動作点設定部7とし
てカレントミラー70を使用し、電流サンプリング部9
としてカレントコピア(電流記憶セル)90を使用した
点に特徴を有する。
【0041】カレントミラー70は、固体撮像素子3の
画素信号線の一例である水平信号線20を介して出力さ
れる電流信号を受け取り、この受け取った電流信号の大
きさに対応する大きさの電流信号を出力する電流/電流
変換部の一例である。
【0042】このカレントミラー70は、図2(A)に
示すように、ドレインおよびゲートが水平信号線20に
共通に接続され、かつソースが電位の基準であるグラン
ドに接続された入力側の素子としてのNchMOSトラン
ジスタQ71と、このNchMOSトランジスタQ71と
ゲートが共通に接続され、かつソースがグランド(GN
D)に接続された出力側の素子としてのNchMOSトラ
ンジスタQ72とから構成されている。すなわち、固体
撮像素子3から信号が流れてくる画素信号線20をNch
MOSトランジスタQ71,Q72からなるカレントミ
ラー70に接続する。両NchMOSトランジスタQ7
1,Q72としては同じ特性のものが用いられる。
【0043】また、図2(A)に示すように、カレント
コピア90は、入出力端子としてのドレインがNchMO
SトランジスタQ72のドレインと接続され、ソースが
電源線VDDに接続されたPchMOSトランジスタQ9
1と、このPchMOSトランジスタQ91のゲートと電
源線VDDとの間に接続されたサンプリング用の容量素
子C91と、PchMOSトランジスタQ91のゲートと
ドレイン間に接続されたスイッチ素子SW91と、Pch
MOSトランジスタQ91のドレインと電流出力端子Io
utとの間に接続されたスイッチ素子SW92とから構成
されている。
【0044】すなわち、先ず、カレントミラー70の出
力、つまりNchMOSトランジスタQ72のドレイン端
子を、PchMOSトランジスタQ91のドレイン端子に
接続する。PchMOSトランジスタQ91のゲートに
は、サンプリング用の容量素子C91が電源電圧VDD
との間に接続され、また、ゲートとドレインの間にスイ
ッチ素子SW91が挿入され、カレントコピア90とし
て構成される。
【0045】NchMOSトランジスタQ72とPchMO
SトランジスタQ91のドレイン端子同士をつないだノ
ードの先には、スイッチ素子SW92が接続され、出力
端子Ioutに接続される。
【0046】ここで、図2(A1)に示すように、スイ
ッチ素子SW91を導通状態、スイッチ素子SW92を
非導通状態に制御するとカレントコピア90は入力フェ
ーズとなり、図2(A2)に示すように、スイッチ素子
SW91を非導通状態、スイッチ素子SW92を導通状
態に制御するとカレントコピア90は出力フェーズとな
る。
【0047】なお、この図2(A)の例では、固体撮像
素子3が増幅トランジスタ13としてNchMOSトラン
ジスタを備えているので、これに応じて、カレントミラ
ー70としてNchMOSトランジスタを、カレントコピ
ア90としてPchMOSトランジスタをそれぞれ使用し
ているが、固体撮像素子3が、増幅トランジスタ13と
してPchMOSトランジスタを備えている場合には、カ
レントミラー70およびカレントコピア90の形態も、
図2(A)にて使用しているトランジスタのNchとPch
の極性を反転させたものを使用すればよい。
【0048】図2(B)には、固体撮像素子3の出力信
号波形IINと合わせて、スイッチ素子SW91の制御パ
ルスΦRST、スイッチ素子SW92の制御パルスΦD
ET、および出力端子Ioutに現れる出力信号波形Ioutと
が示されている。ただし、制御パルスΦRST,ΦDE
Tは、ハイ(H)期間にそれぞれのスイッチ素子を導通
状態(オン)、ロー(L)期間に非導通状態(オフ)に
制御するものとする。このΦRSTとΦDETのスイッ
チ制御によって、PchMOSトランジスタQ91および
容量素子C91はカレントコピアとして動作する。
【0049】固体撮像素子3から水平信号線20を介し
て、カレントミラー70のNchMOSトランジスタQ
71に、図2(B)に示す信号波形の信号電流IINが供
給される。この信号波形は、電流出力型の固体撮像素子
の一般的な出力信号波形と同じである。たとえば、1画
素期間内にはリセット期間と検出期間とがあり、リセッ
ト期間にはオフセット成分の信号Ioffが、検出期間には
検出電流“Ioff−Isig”が出力される。その差分である
Isigが本来必要な信号電流となる。
【0050】固体撮像素子3から出力されたこの信号電
流IINは、画素信号線20を介してNchMOSトランジ
スタQ71,Q72から構成されるカレントミラー70
に供給される。カレントミラー70は入力と出力の電流
が同じになるように働くため、NchMOSトランジスタ
Q71に入力された信号電流は、そのままNchMOSト
ランジスタQ72のドレインに現れる。
【0051】固体撮像素子3の出力信号IINがリセット
期間にあるときには、図2(A1)に示すように、制御
パルスΦRSTのH期間によってスイッチ素子SW91
を導通状態、制御パルスΦDETのL期間によってスイ
ッチ素子SW92を非導通状態に制御する。このときカ
レントコピア90は入力フェーズとなり、固体撮像素子
3からカレントミラー70を介して流れてきた電流Ioff
をすべて入力する。
【0052】そして、このときの信号電流(オフセット
成分)Ioffの大きさに応じた電圧がPchMOSトランジ
スタQ91のゲート端子に現れ、次の瞬間スイッチ素子
SW91を非導通状態にすることで、そのときのゲート
電圧を容量素子C91が記憶する。このカレントコピア
90は出力フェーズとなり、先に入力したオフセット電
流Ioffを記憶し、そのまま流し続けようとする。
【0053】この状態で次に固体撮像素子3の出力信号
IINは検出期間に移り、“Ioff−Isig”という信号がカ
レントミラー70を介して流れ込んでくるが、カレント
コピア90は出力フェーズにあるため、先に容量素子C
91に記憶した電流Ioffを流し続けようとする。このと
きスイッチ素子SW92を導通状態にしてやることで、
カレントコピア90の記憶した電流Ioffと、カレントミ
ラー70を介して流れ込んでくる信号電流“Ioff−Isi
g”の差分だけがIout端子に現れることになる。すなわ
ち、“Iout=Ioff−(Ioff−Isig)=Isig”となり、オ
フセット成分Ioffを含まない純粋な信号IsigだけがIout
端子に現れることになる。
【0054】このように、図2に示した第1実施形態の
構成を用いることで、FPNの原因となるオフセット電
流Ioffを取り除き、本来の信号成分Isigだけを出力端子
Ioutから電流信号Ioutとして取り出すことができ、電流
モードのCDS処理機能(すなわちFPN抑制機能)を
実現することができる。なお、この出力電流信号は連続
波となっていないが、電流電圧変換回路24によるI/
V変換後にサンプル・アンド・ホールド回路によって連
続信号に変換されるのは、従来の撮像装置と変わりがな
い。
【0055】この回路は、NchMOSトランジスタQ7
1,Q72からなる1つのカレントミラー70と、Pch
MOSトランジスタQ91、容量素子C91、およびス
イッチ素子SW91,SW92からなる1つのカレント
コピア90だけで構成され、非常に回路構成が簡単で素
子数が少ないという特徴を持つ。また、電流サンプリン
グ部9として機能するカレントコピア90に対する制御
も、リセット期間中に記憶、検出期間中に出力と、2つ
のフェーズを持つだけなので、非常に制御が簡単である
という特徴をもつ。
【0056】また、画素信号線20の電位は、カレント
ミラー70を構成するダイオード接続されたNchMOS
トランジスタQ71によって常に決定され、NchMOS
トランジスタQ71のVth+その時の電流値とトランジ
スタサイズに応じたバイアス値となる。トランジスタの
Vthとサイズを適切に選択することよってGND付近で
常に安定にすることができる。そして、これにより、固
体撮像素子3内の増幅トランジスタ13は常に良好な増
幅率を保ち、リニアリティの悪化を防ぐことができる。
【0057】図3は、電流信号検出部5の第2実施形態
の構成例を示す図である。この第2実施形態の電流信号
検出部5は、図2に示した第1実施形態の構成を基本と
し、さらに、カレントミラー70の出力となるNchMO
SトランジスタQ72と直列に、本発明に係る定電流特
性向上部として機能するNchMOSトランジスタQ7
3、カレントコピア90を形成するPchMOSトランジ
スタQ91と直列に、本発明に係る電流保持特性向上部
として機能するPchMOSトランジスタQ92を、それ
ぞれ備えている。すなわち、NchMOSトランジスタQ
72のドレイン側にNchMOSトランジスタQ73が、
PchMOSトランジスタQ91のドレイン側にPchMO
SトランジスタQ92が、それぞれ直列に挿入されてい
る。
【0058】スイッチ素子SW91は、PchMOSトラ
ンジスタQ91のゲート端子と、PchMOSトランジス
タQ92のドレイン端子との間に挿入されている。Nch
MOSトランジスタQ73のゲートにはバイアス電圧B
Nが、PchMOSトランジスタQ92のゲートにはバイ
アス電圧BPが供給される。
【0059】カレントミラー70は、一般的に、入力さ
れた電流をそのまま出力側にも流すように働くが、いわ
ゆるアーリ効果(チャンネル長変調効果)のためドレイ
ン電圧依存性があるので、出力側のトランジスタのドレ
イン電圧の変動が大きい場合は、トランジスタの出力コ
ンダクタンスの影響で出力電流に誤差を生ずる。これを
解決するために挿入されたのがNchMOSトランジスタ
Q73で、NchMOSトランジスタQ72と直列に挿入
することでカレントミラー70の出力側の電位変動を抑
え、定電流特性を向上させることができる。なお、Nch
MOSトランジスタQ73のゲートには、バイアス電圧
BNとして、任意の定電圧を加えてもよいし、あるいは
動作中にアクティブに変化するような電圧を加えてもよ
い。
【0060】また、カレントコピア90は、一般的に、
入力フェーズにあるときの電流をそのまま記憶し、出力
フェーズでも同じ電流を流し続けるように働くが、やは
りアーリ効果により、カレントコピア90を構成するト
ランジスタ(カレントコピアセル)のドレイン電圧の変
動が大きい場合には、トランジスタの出力コンダクタン
スの影響で出力フェーズの電流に誤差を生じ電流保持特
性が低下する。つまり、カレントコピア90のサンプリ
ングの精度が低下する。
【0061】これを解決するために挿入されたのがPch
MOSトランジスタQ92で、PchMOSトランジスタ
Q91と直列に挿入することでトランジスタのドレイン
端の電圧変動を抑え、サンプリングの精度を高くし、カ
レントコピアの電流保持特性を向上させることができ
る。なお、PchMOSトランジスタQ92のゲートに
は、バイアス電圧BPとして、任意の定電圧を加えても
よいし、あるいは動作中にアクティブに変化するような
電圧を加えるてもよい。
【0062】この第2実施形態の構成によれば、ドレイ
ン端の電圧変動を抑えたことの効果によって、カレント
ミラー70の流す電流、およびカレントコピア90の流
す電流の誤差が少なくなり、より高精度な電流モードの
CDS処理機能を実現することができ、FPN抑圧効果
が増加する。
【0063】図4は、電流信号検出部5の第3実施形態
の構成例を示す図である。この第3実施形態の電流信号
検出部5は、図3に示した第2実施形態の構成を基本と
し、さらに、NchMOSトランジスタQ73のゲート電
圧を作るためのNchMOSトランジスタQ74および定
電流源I71、さらにPchMOSトランジスタQ92の
ゲート電圧を作るためのPchMOSトランジスタQ93
および定電流源I91を備えている。
【0064】すなわち、NchMOSトランジスタQ74
のゲート端子がNchMOSトランジスタQ72のドレイ
ン端子に、ドレイン端子がNchMOSトランジスタQ7
3のゲート端子にそれぞれ接続される。また、NchMO
SトランジスタQ74のドレイン端子には、定電流源I
71が接続される。
【0065】さらに、PchMOSトランジスタQ93の
ゲート端子がPchMOSトランジスタQ91のドレイン
端子に、ドレイン端子がPchMOSトランジスタQ92
のゲート端子にそれぞれ接続される。また、PchMOS
トランジスタQ93のドレイン端子には、定電流源I9
1が接続される。
【0066】ここで、カレントミラー70側において、
NchMOSトランジスタQ74には定電流源I71から
常に一定の電流が供給されるため、NchMOSトランジ
スタQ74が飽和領域で動作している場合には、そのド
レイン電圧にかかわらず常に一定のゲート−ソース間電
圧Vgsが発生している。ただし、ゲート端子は、NchM
OSトランジスタQ72のドレイン端子に接続されてい
るため、結果的には、カレントミラー70を構成する出
力側の素子であるNchMOSトランジスタQ72のドレ
イン電圧が常に一定値になるように、NchMOSトラン
ジスタQ73のゲート電圧が決まる。
【0067】これにより、カレントミラー70の定電流
特性はNchMOSトランジスタQ73のゲート電圧BN
を単純に定電圧で押さえるよりもずっと高くなり、カレ
ントミラー70の出力電流の誤差を減らすことができ
る。つまり、カレントミラー回路の定電流特性を向上さ
せることができる。
【0068】また、カレントコピア90側において、P
chMOSトランジスタQ93には定電流源I91から常
に一定の電流が供給されるため、PchMOSトランジス
タQ93が飽和領域で動作している場合には、そのドレ
イン電圧にかかわらず常に一定のゲート−ソース間電圧
が発生している。ただし、ゲート端子は、PchMOSト
ランジスタQ91のドレイン端子に接続されているた
め、結果的には、カレントコピア90の入出力端子であ
るPchMOSトランジスタQ91のドレインの端子電圧
が常に一定値になるように、PchMOSトランジスタQ
92のゲート電圧が決まる。
【0069】これにより、カレントコピア90のサンプ
リングの精度はPchMOSトランジスタQ92のゲート
電圧BPを単純に定電圧で押さえるよりもずっと高くな
り、カレントコピア90の出力電流の誤差を減らすこと
ができる。つまり、カレントコピア90の電流保持特性
を向上させることができる。
【0070】この第3実施形態の構成によれば、ドレイ
ン電圧が常に一定値になるように作用する効果により、
第2実施形態の構成に比べてさらに高い精度で電流モー
ドのCCDS処理機能を実現することができ、FPN抑
圧効果が一層増大する。
【0071】図5は、電流信号検出部5の第4実施形態
の構成例を示す図である。ここで、図5(A)はその基
本形、図5(B)は変形例を示す。第4実施形態の電流
信号検出部5は、図2に示した第1実施形態の構成にお
けるスイッチ素子SW91,SW92を、トランジスタ
を用いて構成したものである。
【0072】図5(A)に示すように、カレントコピア
90のサンプリングに用いられているスイッチ素子SW
91は、PchMOSトランジスタQ94,Q95によっ
て構成されており、PchMOSトランジスタQ95のソ
ースとドレインは短絡され、かつPchMOSトランジス
タQ94,Q95には位相が逆の制御パルスが加えられ
る。
【0073】PchMOSトランジスタQ94,Q95の
うち、制御パルスΦDETとしての通常のスイッチ動作
を行なっているのがPchMOSトランジスタQ94で、
ゲートに加えられる制御パルスがL期間(=GNDレベ
ル)であれば導通、H期間(=VDDレベル)であれば
非導通の状態を作り出す。すなわち、図2(B)に示し
た制御パルスΦDETとは逆極性の制御電圧をゲートに
供給する。
【0074】ただし、このようにトランジスタを用いて
サンプリング用のスイッチ素子を構成した場合に問題と
なるのが、一般的にフィードスルーノイズといわれてい
るノイズを発生することである。具体的には、PchMO
SトランジスタQ94が導通状態から非導通状態に遷移
するとき、トランジスタの空乏層に蓄えられた電荷や、
ゲート−ソース間の寄生容量に蓄えられた電荷が容量素
子C91に吐き出され、結果的に容量素子C91に記憶
された電位に誤差を生じてしまうことがある。
【0075】これを解決するために用いられているのが
PchMOSトランジスタQ95で、ソース−ドレイン間
を短絡し、PchMOSトランジスタQ94とは逆相の制
御パルスをゲートに加えている。すなわち、PchMOS
トランジスタQ94が非導通状態に遷移するときに、P
chMOSトランジスタQ95は導通状態に遷移し、この
ときPchMOSトランジスタQ94が吐き出した電荷を
PchMOSトランジスタQ95が吸い込むことになり、
結果的に容量素子C91へ電荷が吐き出されることを防
ぐことで、電位誤差を減らすことができる。
【0076】なお、図5(A)に示した例では、スイッ
チ素子SW91の代わりにPchMOSトランジスタだけ
を用いているが、図5(B)に示すように、PchMOS
トランジスタQ94aとNchMOSトランジスタQ94
bとを並列に接続し、ソースとドレインとを互い違いに
接続したいわゆるCMOSスイッチの構成としてもよ
い。
【0077】そしてこの場合、フィードスルーノイズ対
策のために入れているPchMOSトランジスタQ95に
ついても、PchMOSトランジスタQ95aとNchMO
SトランジスタQ95bとを並列にCMOSスイッチの
構成で接続して使用する。また、一般的にフィードスル
ーノイズ対策に用いられるトランジスタのサイズは、ス
イッチに用いられているトランジスタサイズの半分程度
にする場合が多い。
【0078】一方、スイッチ素子SW92は、PchMO
SトランジスタQ97とNchMOSトランジスタQ98
によって、一般的にCMOSスイッチといわれている構
成で接続されており、やはり位相が逆の制御パルスが加
えられる。ゲートに加えられる制御パルスによって、導
通、非導通の状態を作り出すことができる。なお、場合
によっては、PchMOSトランジスタQ97のみ、もし
くはNchMOSトランジスタQ98のみで構成してもよ
い。
【0079】図6は、電流信号検出部5の第5実施形態
の構成例を示す図である。この第5実施形態の電流信号
検出部5は、電圧動作点設定部の一例である2段構成の
カレントミラー70を、従来技術で示した2セル構成の
カレントコピアと組み合わせたものである。
【0080】第5実施形態のカレントミラー70は、1
段目のカレントミラーを構成するNchMOSトランジス
タQ72のドレイン側に、ドレインおよびゲートが共通
に接続され、かつソースが電源VDDに接続されたPch
MOSトランジスタQ75と、このPchMOSトランジ
スタQ75とゲートが共通に接続され、かつソースが電
源VDDに接続されたPchMOSトランジスタQ76と
から構成された2段目のカレントミラー70bを備えて
いる。両PchMOSトランジスタQ75,Q76として
は同じ特性のものが用いられる。
【0081】この第5実施形態の構成においては、固体
撮像素子3から画素信号線20を介して流れてくる信号
電流IINを、NchMOSトランジスタQ71,Q72か
らなる1段目のカレントミラー70aで受け、さらにこ
の信号電流IINを、PchMOSトランジスタQ75,Q
76からなる2段目のカレントミラー70bを経由し
て、カレントコピア90に供給する。
【0082】そして、この第5実施形態の構成における
電流信号の検出手法は図*1に示した従来構成と同じで
あり、オフセット成分Ioffを含まない純粋な信号Isigだ
けがIout端子に現れる。また、画素信号線20の電位
は、1段目のカレントミラー70aを構成するダイオー
ド接続されたNchMOSトランジスタQ71によって常
にほぼ一定の値に保持されるので、第1実施形態と同様
に、固体撮像素子3内の増幅トランジスタ13は常に良
好な増幅率を保ち、リニアリティの悪化を防ぐことがで
きる。
【0083】図7は、電流信号検出部5の第6実施形態
の構成例を示す図である。ここで図7(A)は、その回
路図、図7(B)は動作を説明するためのタイミングチ
ャートである。この第6実施形態の電流信号検出部5
は、電圧動作点設定部7として第1〜第5実施形態と同
様にカレントミラー70を使用する一方、電流サンプリ
ング部9として、第1〜第5実施形態のカレントコピア
90に代えて、電流信号をオンオフするスイッチ素子S
W81、スイッチ素子SW81のオン時に電流信号を受
けて当該電流信号に応じた電圧を保持する容量素子C8
1、およびカレントミラー80、スイッチ素子SW81
がオンしているときに他のトランジスタとの間でカレン
トミラーを形成するトランジスタQ83を使用する点に
特徴を有する。スイッチ素子SW81および容量素子C
81からなるサンプル・アンド・ホールド回路と、カレ
ントミラーとによって、カレントコピア90と同様の作
用をさせるものである。
【0084】カレントミラー80は、電圧動作点設定部
7として機能するカレントミラー70の構成要素である
NchMOSトランジスタQ72のドレイン側に、ドレイ
ンおよびゲートが共通に接続され、かつソースが電源V
DDに接続された入力側の素子であるPchMOSトラン
ジスタQ81と、このPchMOSトランジスタQ81と
ゲートが共通に接続され、かつソースが電源VDDに接
続された出力側の素子であるPchMOSトランジスタQ
82とから構成されている。両PchMOSトランジスタ
Q81,Q82としては同じ特性のものが用いられる。
【0085】また、NchMOSトランジスタQ71のゲ
ートは、スイッチ素子SW81を介して容量素子C81
の一端およびNchMOSトランジスタQ83のゲートに
接続されている。容量素子C81の他端およびNchMO
SトランジスタQ83のソースは、電圧基準であるGN
Dに接続されている。
【0086】スイッチ素子SW81には、これを制御す
る制御パルスΦRSTが供給され、制御パルスΦRST
がH期間のみスイッチ素子SW81は導通(オン)する
ものとする。図7(B)に示すように、固体撮像素子3
の出力電流がリセット期間にあるときのみ、スイッチ素
子SW81を導通(オン)させる。スイッチ素子SW8
1がオンしているとき、NchMOSトランジスタQ7
1,Q83はカレントミラーを形成する。
【0087】次に、この第6実施形態の電流信号検出部
5の動作を説明する。先ず、NchMOSトランジスタQ
71,Q72はカレントミラー70を形成しており、N
chMOSトランジスタQ72はNchMOSトランジスタ
Q71の受け取った信号電流IINをそのまま流すように
動作する。さらに、NchMOSトランジスタQ72の出
力電流は、PchMOSトランジスタQ81,Q82から
形成されたカレントミラー80に入力され、PchMOS
トランジスタQ82ドレインにそのまま出力電流として
現れる。
【0088】たとえば、固体撮像素子3の出力電流がリ
セット期間にあるときには、カレントミラー70は、オ
フセット電流IoffをそのままPchMOSトランジスタQ
81,Q82からなるカレントミラー80に入力し、さ
らにカレントミラー80は、リセット期間のオフセット
電流IoffをそのままNchMOSトランジスタQ83や出
力端子Ioutに向けて出力する。
【0089】また、このリセット期間には、スイッチ素
子SW81を介してNchMOSトランジスタQ71,Q
83のゲート同士が接続されカレントミラーを形成する
ため、リセット期間のオフセット電流Ioffが、そのまま
NchMOSトランジスタQ83のドレインに現れる。ま
た、このとき、NchMOSトランジスタQ71のゲート
は、スイッチ素子SW81を介して容量素子C81と接
続されるので、NchMOSトランジスタQ71のゲート
電圧は容量素子C81に記憶保持される。
【0090】ここで、NchMOSトランジスタQ83と
PchMOSトランジスタQ82の電流の差分が出力端子
Ioutに出力されることになるが、この時点ではNchMO
SトランジスタQ83とPchMOSトランジスタQ82
はお互い同じ大きさのオフセット電流Ioffを流している
ため、図7(B)に示すように、出力電流Ioutは“0”
である。
【0091】次に、固体撮像素子3の出力電流が検出期
間では、スイッチ素子SW81は非導通状態(オフ)に
ある。このとき、リセット期間にNchMOSトランジス
タQ71が流していた電流に対応するゲート電圧が容量
素子C81に記憶保持され、NchMOSトランジスタQ
83のゲートに供給されている。このため、NchMOS
トランジスタQ83は、スイッチ素子SW81がオフの
ときにも、容量素子C81に記憶された電圧に対応する
電流を流す。
【0092】NchMOSトランジスタQ71,Q81を
同じサイズにしておくと、スイッチ素子SW81がオフ
時にもNchMOSトランジスタQ83は、結果的に固体
撮像素子3のリセット期間のオフセット電流Ioffを記憶
し、流し続ける。つまり、NchMOSトランジスタQ8
3は、先のリセット期間のオフセット電流Ioffを記憶し
たままである。
【0093】また、検出期間には、NchMOSトランジ
スタQ72はNchMOSトランジスタQ71とカレント
ミラーを形成しているため、検出期間の検出電流“Ioff
−Isig”をそのままPchMOSトランジスタQ81,Q
82からなるカレントミラー80に入力し、さらにカレ
ントミラー80は、検出期間の検出電流“Ioff−Isig”
をそのままNchMOSトランジスタQ83や出力端子Io
utに向けて出力する。
【0094】ここで、NchMOSトランジスタQ83と
PchMOSトランジスタQ82の電流の差分が出力端子
Ioutに出力されることになるため、図7(B)に示すよ
うに、“Iout=(Ioff−Isig)−Ioff=−Isig”となっ
て、信号成分だけが出力端子Ioutから出力されることに
なる。つまり、リセット期間のオフセット電流IoffをN
chMOSトランジスタQ83から流し、検出期間の検出
電流“Ioff−Isig”をPchMOSトランジスタQ81,
Q82からなるカレントミラー80で折り返して流すこ
とで引き算を行なうことで、オフセット成分Ioffを含ま
ない純粋な信号成分“−Isig”を生成するようにしてい
る。
【0095】要するに、電流サンプリング部9は、電流
信号IINにおける検出期間には、カレントミラー80の
出力側の素子であるPchMOSトランジスタQ82から
出力される電流成分“Ioff−Isig”と容量素子C81が
保持している電圧に応じた電流成分Ioffとの差を求める
ことで、オフセット成分が抑制された信号成分“−Isi
g”を抽出する。
【0096】このように、電流サンプリング部9として
カレントコピアを用いない第6実施形態の構成において
も、カレントコピアを用いた第1〜第5実施形態と出力
電流の向きが逆にはなるが、FPNの原因となるオフセ
ット電流Ioffを取り除き、本来の信号成分“−Isig”だ
けを出力端子Ioutから電流信号Ioutとして取り出すこと
ができ、電流モードのCDS回路としての機能を果たす
ことができる。
【0097】なお、第1〜第5実施形態と異なり、リセ
ット期間にスイッチ素子SW81への制御信号ΦRST
がオフのときには、リセットノイズ成分が出力端子Iout
に現れるが、連続した信号電圧にする過程、すなわち、
電流電圧変換回路24によるI/V変換後にサンプル・
アンド・ホールド回路によって連続信号に変換される過
程で、取り除くことができるので問題とならない。
【0098】また、この第6実施形態の回路も、NchM
OSトランジスタQ71,Q72からなる1つのカレン
トミラー70と、スイッチ素子SW81、容量素子C8
1、およびPchMOSトランジスタQ81,Q82から
なる1つのカレントミラー80、並びにスイッチ素子S
W81がオンしているときにNchMOSトランジスタQ
71との間でカレントミラーを形成するNchMOSトラ
ンジスタQ83で構成される電流サンプリング部9だけ
で構成され、第1〜第5実施形態とほぼ同様に非常に回
路構成が簡単で素子数が少ないという特徴を持つ。ま
た、電流サンプリング部9の制御も、リセット期間中に
記憶、検出期間中に出力と、2つのフェーズを持つだけ
なので、非常に制御が簡単であるという特徴をもつ。
【0099】図8は、電流信号検出部5の第7実施形態
の構成例を示す図である。この第7実施形態の電流信号
検出部5は、リセット期間にNchMOSトランジスタQ
71が流していた電流に対応したゲート電圧を容量素子
C81に記憶保持し、NchMOSトランジスタQ83の
ゲートに供給する点では、図7に示した第6実施形態の
構成と同様である。
【0100】一方、カレントミラー80は、入力側の素
子であるPchMOSトランジスタQ81のドレインが容
量素子C81と接続されたNchMOSトランジスタQ8
3のドレインと接続され、出力側の素子であるPchMO
SトランジスタQ82のドレインがカレントミラー70
の出力側の素子であるNchMOSトランジスタQ72の
ドレインと接続されている点が図7に示した第6実施形
態の構成と異なる。
【0101】つまり、第6実施形態では、リセット期間
のオフセット電流IoffをNchMOSトランジスタQ83
から流し、検出期間の検出電流“Ioff−Isig”をカレン
トミラー80で折り返して流すことで引き算を行なって
いたが、第7実施形態の場合には、リセット期間のオフ
セット電流Ioffをカレントミラー80で折り返し、検出
期間の検出電流“Ioff−Isig”をNchMOSトランジス
タQ83から流すことで引き算を行なっている。第7実
施形態の場合には、出力電流Ioutの向きが第6実施形態
の場合と逆になるが、基本的な動作およびそれより得ら
れる効果は、第6実施形態と同様である。
【0102】第6および第7実施形態の構成において
も、精度向上のために、第2実施形態で示したように、
カレントミラーの出力側に直列にトランジスタを挿入し
てもよい。また、さらなる精度向上のために、第3実施
形態で示したように、直列に接続したトランジスタのゲ
ート電圧を制御する回路を付加してもよい。さらに、ス
イッチ素子SW81を、MOSトランジスタを用いて形
成することもできる。この場合、第4実施形態で示した
ように、フィードスルー対策用のトランジスタを直列に
付加してもよい。
【0103】以上説明したように、上記の各実施形態に
よれば、部品点数が少なく簡単な回路で電流モードでの
FPN抑制機能を実現することができる。また、制御信
号が少なく、複雑な制御を必要としないため、制御回路
も簡単化することができる。
【0104】さらに、第5実施形態を除く各実施形態の
ように、サンプリング処理を一度しか行なわない構成と
することができるため、サンプリングに必要な容量素子
も1つだけでよく、半導体中に作りこむ場合において、
そのレイアウト面積を小さく抑えることができる。つま
り、電圧動作点設定部や電流サンプリング部を撮像部
(受光部/画素部)と同一の半導体基板に形成した一体
型の固体撮像素子そのものを撮像装置とすることができ
る。
【0105】また、画素信号線である水平信号線の電位
を、電圧動作点設定部により常に一定値に抑えているた
め、電流サンプリング部におけるFPN抑制処理のすべ
ての時間において、画素信号線の電位は安定である。た
とえば、実施形態で示したように、ダイオード接続され
たNchトランジスタで押さえることで、GNDレベル付
近に保つことができる。これにより、固体撮像素子内の
増幅トランジスタは高い増幅率を保つことができ、リニ
アリティも良好に保つことができる。
【0106】また、カレントミラーやカレントコピアの
出力に直列にトランジスタを挿入する、さらには直列に
挿入したトランジスタのゲート電圧を制御することで、
その定電流特性を向上させたり、サンプリングの精度を
高くすることができる。これにより、出力コンダクタン
スの大きいプロセスで作られたトランジスタを用いなけ
ればならない場合にも、FPN抑制機能の精度を良好に
保つことができる。また、サンプリング用のスイッチ素
子としてトランジスタを用いる場合にも、フィードスル
ーノイズ対策用のトランジスタを同時に付加すること
で、サンプリングの精度の低下を防ぐことができる。
【0107】以上、本発明を実施の形態を用いて説明し
たが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲
には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更また
は改良を加えることができ、そのような変更または改良
を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、
上記の実施形態は、クレームにかかる発明を限定するも
のではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の
組合せの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らな
い。
【0108】たとえば、第1〜第5実施形態では、電流
サンプリング部としてカレントコピア(電流記憶セル)
を使用していたが、その構成は、各実施形態で示したも
のに限らず、他の構成のものを使用してもよい。
【0109】また、電流サンプリング部は、上記実施形
態の構成のものに限らず、固体撮像素子からの出力電流
における、リセット期間のオフセット成分を保持してお
き、検出期間の検出電流成分との差を取ることで、オフ
セット成分を抑制もしくは除去する機能を備えたもので
あればよい。
【0110】また、カレントミラーやカレントコピアの
出力に直列にトランジスタを挿入したり、その挿入した
トランジスタのゲート電圧を制御することで、定電流特
性を向上させたりサンプリング精度を高くしていたが、
たとえばソース抵抗付きカレントミラー回路、カスコー
ド型カレントミラー回路、あるいはウィルソン型カレン
トミラー回路など、アーリ効果による影響を低減するた
めの公知の手法を採用することもできる。
【0111】つまり、カレントミラー回路自体が、本発
明に係る定電流特性向上部を備えている構成としてもよ
い。なお、ソース抵抗付きカレントミラー回路の場合、
ソース抵抗比によって、電流/電流変換部として機能す
るカレントミラーに、入出力が“1対1”に限らず、電
流ゲインを設定することができる。
【0112】また、電圧動作点設定部として機能させた
カレントミラーは、入出力変換係数が“1”のものとし
て説明したが、これに限らず、電流ゲインを有する構成
としてもよい。さらに電圧動作点設定部は、カレントミ
ラーを利用したものに限らず、他の構成としてもよい。
【0113】図9は、上記変形例を包括的に示した撮像
装置を示すブロック図である。たとえば、図9(A)に
示すように、固体撮像素子3の水平信号線20と接続さ
れ、この水平信号線20を介して出力される電流信号I
INを受け取る1次側の電流源7a、この電流源7aの受
け取った信号電流IINを変換係数αにて信号電流IINの
大きさに対応する大きさの電流信号IIN2として電流サ
ンプリング部9側に出力する2次側の電流源7bとを具
備した電流/電流変換部を、電圧動作点設定部7として
利用してもよい。
【0114】また、2次側の電流源7bの後段に電流ア
ンプ7cを設け、電流ゲインAIにてさらに所望のゲイ
ン(“1”でもよい)を持たせて電流サンプリング部9
に出力する構成としてもよい。
【0115】また、図9(B)に示すように、固体撮像
素子3の画素信号線(水平信号線20)とサンプル&ホ
ールドなどによる電流サンプリング部9との接続ポイン
トにおける電圧を監視して、基準電圧Vrefとなるよう
に、一定に保持するフィードバック制御型の電圧動作点
設定部7とを組み合わせた構成としてもよい。
【0116】なお図9(A)において、電流源7a,7
bの電圧基準は、GNDに限らず、任意の基準電圧Vref
としてよい。また、電流源7a,7bは、上記各実施形
態で示したように、ミラー接続されたカレントミラー回
路としてもかまわない。
【0117】また上記実施形態では、MOSトランジス
タを用いて電圧動作点設定部や電流サンプリング部を構
成した例を説明したが、接合(Junction)型電界効果ト
ランジスタやバイポーラ(Bipolar )型トランジスタを
用いた構成であってもよい。
【0118】さらに、上記実施形態では感光部が行列状
(2次元状)に配されたエリアセンサを例に説明した
が、これに限らず、ラインセンサであってもよい。
【0119】また、上記実施形態で述べた各回路を、こ
れらとは相補関係となるものに変形可能なのはいうまで
もない。
【0120】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、電圧動
作点設定部により、電流出力型の固体撮像素子の画素信
号線の電圧を予め定められたほぼ一定の電圧に維持して
おくようにしたので、固体撮像素子内の増幅トランジス
タは高い増幅率を保つことができ、リニアリティも良好
に保つことができる。
【0121】また、電流サンプリング部は、画素信号線
を介して出力される電流信号を、電流信号の形態のまま
受け取り、リセット期間の画素信号を電流成分のまま
(直接に)サンプリングする。そして、検出期間の電流
成分とサンプリングしたリセット期間の電流成分である
オフセット電流との差を求めることで、画素信号内に含
まれるオフセット成分を取り除き、純粋な信号だけを取
り出す。電流モードのままでFPN抑制機能を実現する
ことができるので、電流/電圧変換回路が不要で、コン
パクトな回路で固定パターンノイズ(FPN)を抑圧す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】電流出力方式の固体撮像素子と本発明に係る画
素信号処理装置の一例である電流信号検出部とを備えた
撮像装置の第1実施形態の構成例を示す図である。
【図2】本発明に係る画素信号処理装置の一例である電
流信号検出部の第1実施形態の構成例を示す図である。
【図3】電流信号検出部の第2実施形態の構成例を示す
図である。
【図4】電流信号検出部の第3実施形態の構成例を示す
図である。
【図5】電流信号検出部の第4実施形態の構成例を示す
図である。
【図6】電流信号検出部の第5実施形態の構成例を示す
図である。
【図7】電流信号検出部の第6実施形態の構成例を示す
図である。
【図8】電流信号検出部の第7実施形態の構成例を示す
図である。
【図9】撮像装置の変形例を包括的に示したブロック図
である。
【図10】固定パターンノイズの抑制機能を実現する従
来の構成例を示す図である。
【符号の説明】
1…撮像装置、3…固体撮像素子、5…電流信号検出
部、7…電圧動作点設定、9…電流サンプリング部、1
0…感光部、11…単位画素、12…フォトダイオー
ド、13…増幅用トランジスタ、14…垂直選択用トラ
ンジスタ、15…セット用トランジスタ、16…垂直走
査回路、17…垂直選択線、18…垂直リセット線、1
9…垂直信号線、20…水平信号線(画素信号線)、2
1…水平選択用トランジスタ、22…水平走査回路、2
4…電流電圧変換回路、70,70a,70b,80…
カレントミラー、90…カレントコピア、C81,C9
1…容量素子、Q71,Q72,Q73,Q74,Q8
3,Q98…NchMOSトランジスタ、Q75,Q7
6,Q81,Q82,Q91,Q92,Q93,Q9
4,Q95,Q97……PchMOSトランジスタ、SW
81,SW91,SW92…スイッチ素子、I71,I
91…定電流源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安井 幸弘 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 ソニー・エルエスアイ・デザイン株式会 社内 (72)発明者 久松 康秋 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 ソニー・エルエスアイ・デザイン株式会 社内 Fターム(参考) 4M118 AA05 AA10 AB01 BA14 CA02 DD09 DD10 5C024 CX04 GY31 HX13 HX29 HX40

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固体撮像素子の各画素から画素信号線を
    介して出力される電流信号に含まれているオフセット成
    分を抑制する画素信号処理方法であって、 前記画素信号線の電圧を予め定められたほぼ一定の電圧
    に維持した状態で、当該画素信号線を介して出力される
    前記電流信号を、この電流信号の形態のままで受け取
    り、 前記画素ごとに、受け取った前記電流信号におけるリセ
    ット期間の成分をサンプリングし、このサンプリングし
    た成分と前記電流信号における検出期間の成分との差を
    求め、 これにより、前記オフセット成分が抑制された信号成分
    を抽出することを特徴とする画素信号処理方法。
  2. 【請求項2】 固体撮像素子の各画素から画素信号線を
    介して出力される電流信号に含まれているオフセット成
    分を抑制する画素信号処理装置であって、 前記画素信号線の電圧を予め定められたほぼ一定の電圧
    に維持する電圧動作点設定部と、 前記電圧動作点設定部により前記画素信号線の電圧動作
    点が前記一定の電圧に維持された状態で、当該画素信号
    線を介して出力される前記電流信号を、この電流信号の
    形態のままで受け取り、前記画素ごとに、受け取った前
    記電流信号におけるリセット期間の成分をサンプリング
    し、このサンプリングした成分と前記電流信号における
    検出期間の成分との差を求め、これにより、前記オフセ
    ット成分が抑制された信号成分を抽出する電流サンプリ
    ング部とを備えたことを特徴とする画素信号処理装置。
  3. 【請求項3】 前記電圧動作点設定部は、前記画素信号
    線を介して出力される電流信号を受け取り、この受け取
    った電流信号の大きさに対応する大きさの電流信号を前
    記電流サンプリング部に向けて出力する電流/電流変換
    部を有することを特徴とする請求項2に記載の画素信号
    処理装置。
  4. 【請求項4】 前記電流/電流変換部は、前記画素信号
    線に接続された入力側の素子と前記電流サンプリング部
    側に配された出力側の素子とがミラー接続されたカレン
    トミラー回路を含むことを特徴とする請求項3に記載の
    画素信号処理装置。
  5. 【請求項5】 前記カレントミラー回路を構成する前記
    出力側の素子の電流出力端子と前記電流サンプリング部
    との間に、前記カレントミラー回路の定電流特性を向上
    させる定電流特性向上部を備えていることを特徴とする
    請求項4に記載の画素信号処理装置。
  6. 【請求項6】 前記定電流特性向上部は、前記出力側の
    素子の電流出力端子と前記電流サンプリング部との間に
    直列に接続された、制御入力端子を有するトランジスタ
    を具備することを特徴とする請求項5に記載の画素信号
    処理装置。
  7. 【請求項7】 前記定電流特性向上部は、前記トランジ
    スタの前記制御入力端子を制御することで、前記カレン
    トミラー回路を構成する前記出力側の素子の入出力端子
    間電圧をほぼ一定に維持することを特徴とする請求項6
    に記載の画素信号処理装置。
  8. 【請求項8】 前記電流サンプリング部は、前記サンプ
    リングの処理と前記差を求める処理とを1度だけ行なう
    ことで、前記オフセット成分が抑制された信号成分を抽
    出することを特徴とする請求項2に記載の画素信号処理
    装置。
  9. 【請求項9】 前記電流サンプリング部は、前記リセッ
    ト期間に対応する入力フェーズ時に前記電流信号におけ
    る前記リセット期間の電流成分を受けて保持し、前記検
    出期間に対応する出力フェーズ時には前記入力フェーズ
    時に保持した電流成分を出力する、電流入出力端子を有
    するカレントコピアを具備し、 前記電流信号における検出期間には、当該検出期間の成
    分と前記カレントコピアの前記電流入出力端子から出力
    される成分との差を求めることを特徴とする請求項2に
    記載の画素信号処理装置。
  10. 【請求項10】 前記カレントコピアの前記電流入出力
    端子と前記電圧動作点設定部との間に、前記カレントコ
    ピアの電流保持特性を向上させる電流保持特性向上部を
    備えていることを特徴とする請求項9に記載の画素信号
    処理装置。
  11. 【請求項11】 前記電流保持特性向上部は、前記カレ
    ントコピアの前記電流入出力端子と前記電圧動作点設定
    部との間に直列に接続された、制御入力端子を有するト
    ランジスタを具備することを特徴とする請求項10に記
    載の画素信号処理装置。
  12. 【請求項12】 前記電流保持特性向上部は、前記トラ
    ンジスタの前記制御入力端子を制御することで、前記カ
    レントコピアの前記入出力端子の電圧をほぼ一定に維持
    することを特徴とする請求項11に記載の画素信号処理
    装置。
  13. 【請求項13】 前記電流サンプリング部は、前記電流
    信号をオンオフするスイッチ素子と、前記リセット期間
    における前記スイッチ素子のオン時に前記電流信号を受
    けて当該電流信号に応じた電圧を保持する容量素子と、
    前記電圧動作点設定部に接続された入力側の素子と出力
    側の素子とがミラー接続されたカレントミラー回路とを
    具備し、 前記電流信号における検出期間には、前記カレントミラ
    ー回路の前記出力側の素子から出力される当該検出期間
    の成分と前記容量素子が保持している電圧に応じた電流
    成分との差を求めることを特徴とする請求項2に記載の
    画素信号処理装置。
  14. 【請求項14】 前記電流サンプリング部は、前記電流
    信号をオンオフするスイッチ素子と、前記リセット期間
    における前記スイッチ素子のオン時に前記電流信号を受
    けて当該電流信号に応じた電圧を保持する容量素子と、
    前記容量素子の側に配された入力側の素子と出力側の素
    子とがミラー接続されたカレントミラー回路とを具備
    し、 前記電流信号における検出期間には、当該検出期間の成
    分と、前記容量素子が保持している電圧に応じた電流成
    分であって、前記カレントミラー回路の前記出力側の素
    子から出力された電流成分との差を求めることを特徴と
    する請求項2に記載の画素信号処理装置。
  15. 【請求項15】 各画素からの電流信号を画素信号線を
    介して出力する固体撮像素子と、 前記画素信号線の電圧を予め定められたほぼ一定の電圧
    に維持する電圧動作点設定部と、 前記電圧動作点設定部により前記画素信号線の電圧動作
    点が前記一定の電圧に維持された状態で、当該画素信号
    線を介して出力される前記電流信号を、この電流信号の
    形態のままで受け取り、前記画素ごとに、受け取った前
    記電流信号におけるリセット期間の成分をサンプリング
    し、このサンプリングした成分と前記電流信号における
    検出期間の成分との差を求め、これにより、前記オフセ
    ット成分が抑制された信号成分を抽出する電流サンプリ
    ング部とを備えたことを特徴とする撮像装置。
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