JP2003297881A - ボールグリッドアレイの光処理方法 - Google Patents

ボールグリッドアレイの光処理方法

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JP2003297881A JP2002101274A JP2002101274A JP2003297881A JP 2003297881 A JP2003297881 A JP 2003297881A JP 2002101274 A JP2002101274 A JP 2002101274A JP 2002101274 A JP2002101274 A JP 2002101274A JP 2003297881 A JP2003297881 A JP 2003297881A
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勝 諸岡
Masayoshi Mikami
正芳 三上
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Ushio Inc
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Ushio Denki KK
Ushio Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】BGAとプリント基板のハンダ接合方法であっ
て、上記問題をともに解決できる新規は方法を提供する
ことである。 【解決手段】各々の電極が接合するようにプリント基板
(b)上にボールグリッドアレイ(W)を配置して、こ
のボールグリッドアレイ(W)の前記プリント基板
(B)とは反対側の面に対して、光エネルギーを照射さ
せ、前記電極(52)間に存在するハンダ(50)を溶
融させて両者を接合あるいは剥離することを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はボールグリッドア
レイの光処理方法に関し、特に、携帯電話などにおいて
ICパッケージを有するボールグリッドアレイ(BG
A)を基板に接合配置させる光処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、携帯電話の内部構造であって半
導体素子が基板に接合配置される状態を概略的に表すも
のである。携帯電話のケーシング40の中にプリント基
板Bと半導体素子Sが配置される。携帯電話の大きさ
は、可能な限り小型化することが求められるため、半導
体素子は基板上で密集することとなる。一般に、ICチ
ップなどの半導体素子をプリント基板に実装する方法と
して、リードフレームを使ったICパッケージを回路基
板にハンダで接合する方法と、ICパッケージをハンダ
ボールによって回路基板にハンダ付けする方法が存在す
る。近年は、LSIの高集積化に伴い、入出力端子の数
の増大しており、また、端子のピッチも狭くなっている
ことから、後者の方法、すなわち、BGAによる接合方
法が多く用いられている。
【0003】図5はBGA方式によりICパッケージと
回路基板を接合する状態を模式的に示すものである。I
Cパッケージ50の一面には電極が形成されており、こ
の電極の上にボール状のハンダ51が塗布されている。
回路基板Bは配置させるべきICパッケージの電極と対
応して電極パターンが形成されている。図においては、
ICパッケージ50を逆さま(反転させて)にして回路
基板Bにセッティングすることになる。
【0004】図6はICパッケージ50が回路基板B上
にセッティングされた状態を模式的に表すものであり、
ICパッケージ50の電極52と、回路基板Bの電極5
3がハンダ51を介して積層されている。この組立体を
ハンダの融点以上の温度に加熱するリフロー処理させる
ことで、ハンダを溶融させて、ICパッケージ50の電
極と回路基板Bの電極がハンダを介して電気的に接合さ
れる。
【0005】しかしながら、上記リフロー処理は、例え
ば、加熱炉の中に上記組立体を挿入、あるいは流して行
なうものであるが、以下のような問題を生じる。第1
に、リフロー処理は設備が大型となり、設置面積が大き
くなるというだけでなく、処理時間も長く、処理コスト
も高いという問題がある。第2に、厳密な温度制御が困
難であり、ハンダの融点に至らない場合はハンダが十分
に溶融しておらず電気的非接触を生じることがあり、ま
た、加熱温度が高すぎる場合にはパッケージなどに影響
を及ぼすこともある。特に、前記したようにハンダはI
Cパッケージと回路基板の間に挟まれるように位置する
ので、内部に塗布されたハンダと外部に塗布されたハン
ダでは加熱条件が異なることがある。第3に、携帯電話
など高密度でICパッケージが内蔵された装置の場合
に、1つのICが故障したとき、当該故障したICパッ
ケージのみを取り除いて、その部分にのみ新たなICパ
ッケージを装着できると経済的な利用が可能となる。こ
の取り外しは、再度、ハンダを溶融させることで可能と
なるが、多数のICパッケージが装着された装置におい
て故障したICパッケージに使われているハンダのみを
溶融することは事実上不可能であった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、BGAとプリント基板のハンダ接合方法
であって、上記問題をともに解決できる新規は方法を提
供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明のボールグリッドアレイの光処理方法は、
各々の電極が接合するようにプリント基板上にボールグ
リッドアレイを配置して、このボールグリッドアレイの
前記プリント基板とは反対側の面に対して、光エネルギ
ーを照射させ、前記電極間に存在するハンダを溶融させ
て両者を接合あるいは剥離することを特徴とする。さら
に、前記光エネルギーの照射は、前記ハンダの軟化温度
以上であって、かつ、前記ボールグリッドアレイのパッ
ケージの耐熱温度以下に制御しながら照射することを特
徴とする。
【0008】
【作用】本発明に係るボールグリッドアレイの光処理方
法は、ICパッケージの裏面、すなわちハンダが塗布さ
れた面の反対面に対し、キセノンランプやレーサ装置か
らの放射光を照射させることを特徴とする。この光処理
方法では、リフロー処理のように大きな加熱炉を必要と
するものではなく、卓上型の光照射装置で処理すること
ができる。また、照射面積を加熱対象とするICパッケ
ージの面積にほぼ等しくなるよう調整できるので、エネ
ルギー効率が高くなるばかりか、他の領域に影響を及ぼ
すことなく照射処理できるので密集配置されたICパッ
ケージの中から特定のICパッケージのみを取り外し、
さらに新規にICパッケージを装着できるので、極めて
経済的な修理が可能となる。
【0009】
【発明の実施の形態】図1は本発明にかかる光処理方法
を実施するための光ハンダ装置の概略構成図を示す。光
ハンダ装置の全体構成は光照射部1、ステージ2、概略
筒状の反射部材3より構成される。光照射部1には光源
としてキセノンランプ、ハロゲンランプ、YAGレーザ
が内蔵されており、この光源からの放射光が楕円集光ミ
ラーなどの光学素子を介して光照射部1から集光光が出
射される。光照射部1は、外部に光源を配置して光ファ
イバーで導光することもできるが、この実施例のように
光源を内蔵することで高いエネルギー効率を得ることが
できる。なお、より好ましくは、光源としてウシオ電機
製のミラー一体型キセノンランプを採用することができ
る。このランプを内蔵することで例えば300Wのラン
プ入力に対して最大約30W(変換効率10%)の照射
エネルギーを得ることができ、ランプが極めて小型であ
るため光照射部全体も小型にすることができる。このミ
ラー一体型キセノンランプそのものについては、例え
ば、特許第3158873号、特許第2823800
号、特許第3183145号、特許第3183151号
などがある。また、光照射部1の中にはシャッターが設
けられ、ランプの点灯とは別にシャッターの開閉によ
り、光照射部1から放射を制御する。
【0010】ステージ2には、処理対象物であるBGA
組立体Wがセッテングされる。このBGA組立体Wは、
図5、図6で説明した組立体であって、プリント基板
B、ボール状のハンダ51、ICパッケージ50から構
成される。ステージ2は、例えばステンレスで構成さ
れ、図示略のXY軸移動機構、回転移動機構や昇降機構
によって、X軸、Y軸、Z軸、回転軸方向に移動でき
る。
【0011】ICパッケージ50は、例えば液晶ポリマ
ー等の樹脂から構成されるもので、一例をあげると、大
きさ10mm×10mm、高さ5mmであり、その一面
には電極が、例えば100個形成されている。プリント
基板Bは、例えば、ポリイミド樹脂からなるものであ
り、一面にはICパッケージと同じ数だけの電極が形成
されている。なお、プリント基板は、一般的な板状プリ
ント基板だけではなく、フレキシブルなテープ状基板な
ど含む広い意味のものである。
【0012】ハンダ51は、例えば、クリームハンダが
使われる。ここで、「クリームハンダ」とは錫、鉛など
の材料にフラックスやその他の不純物を混ぜてクリーム
状の形態としたものであり、ハンダ接合すべき基板に予
め形成されている酸化膜をハンダ処理時に剥離するとと
もに、ハンダ処理中においても酸化膜を発生させないと
いう大きな利点を有している。また、クリームハンダを
使うことで処理雰囲気を不活性ガス雰囲気とする必要は
なくなるので、装置の構成が簡略化するという利点もあ
る。このようなハンダ51は、上記電極の大きさにほぼ
等しく対応するものであり、ボール状のものは、例えば
φ0.5mm〜1.0mmのものが適用される。ただ
し、ハンダ51はクリームハンダに限定されるものでは
なく、Au基ハンダなどその他のハンダ材料を使用する
こともできる。また、狭義のハンダのみを意味するので
はなく、接着剤的作用を有する材料も含まれる。
【0013】筒状反射部材3は、例えば、ステンレスか
ら断面方形状のものであり、開口面積15mm×15m
m、長さ180mmのものであって、その内面は光反射
特性を有する。この反射部材3は、図1に示すように、
光照射部1から放射される集光光が一度集光した後に、
フレキシブル基板W上の全ての接合領域を一括照射でき
るだけの広がりを形成した位置において、良好に当該基
板を照射できるための長さと開口径を有している。単位
面積当たりの照射量は低下するが、照射時間を長くする
ことで、全ての接合箇所においてハンダを溶融させてB
GA50とプリント基板Bを接合することができる。
【0014】反射部材3は、通常、被処理対象物が方形
状であることから、断面方形状のものが適用されるが、
これに限定されるものではなく、断面円形状、断面楕円
形状であってもかまわない。また、図2に示すように断
面積の大きさを可変できるものであってもかまわない。
すなわち、反射部材3の一つの壁31を図示の矢印方向
に移動することで、照射面積Dを変化させることができ
る。なお、照射面積を変化させる構造は、図に示す構造
に限定されるものではなく、他のさまざまな構造が適用
できる。
【0015】また、BGA50の全領域に対して照射す
る方法として、筒状反射部材3を使うことなく、例え
ば、光照射部1から平行光を出射させることも考えられ
る。しかしながら、光照射部1から平行光を放射させる
場合には、コンデンサレンズなどの高価な光学部材を必
要として、また、処理対象物は照射面積は処理対象物毎
に異なる場合もあり、このような場合に平行光の放射面
積を変更することはさらに複雑な機構を要することにな
る。この点において、筒状反射部材は、極めて安価で簡
単な構造であり、また、筒状部材を取り替えるだけで対
象物ごとに最適な処理をすることができる。
【0016】このような光ハンダ装置によって、BGA
組立体WのICパッケージの裏面、すなわち、ハンダが
塗布された面と反対面にきわめて効率的に光照射させる
ことができる。図1に基づいて説明するならば、BGA
組立体WのICパッケージの裏面Xに対して、照射光を
当該裏面Xの大きさに対応させて調整することになる。
さらに、ハンダ51の軟化点温度(溶融温度、あるいは
融点ともいう)以上まで加熱するとともに、ICパッケ
ージの性能維持限界温度に到達しない範囲内に温度制御
することになる。このような光照射方法は、ハンダに直
接的に光照射するのではなく、ICパッケージの照射す
るとともに、そこからの伝導熱を利用してハンダを溶融
するという画期的な方法であり、照射時間が5〜10秒
程度と短くなるため、ICパッケージを傷めることなく
良好に処理できるものである。
【0017】ここで、ハンダの軟化点温度は、前記した
クリームハンダでは、例えば220℃程度であり、一
方、ICパッケージの性能維持限界温度は、前記した液
晶ポリマ樹脂では、例えば300℃である。
【0018】このような光照射方法は、新規にプリント
基板にICパッケージを装着する場合は、プリント基板
上の複数のICパッケージを仮置きして、ステージ2を
可動して順次に照射処理することができる。また、既に
装着されたICパーケッジを取り外す場合は、当該IC
パッケージに対して光照射させるとともに、ハンダが溶
融した状態でICパッケージをハンドリングまたはロボ
ットなどを使い取り外すことができる。
【0019】次に、本発明の効果を示す実験について説
明する。図1に示す光ハンダ装置において、照射対象と
なるICパッケージの裏面Xの温度、このICパッケ
ージから1mm離れた位置における温度、このICパ
ッケージの隣に配置されるICパッケージであって9m
m離れた位置の温度を測定した。この位置は具体的に
は図4に示しており、温度、温度、温度は、各々
位置、位置、位置の温度を示す。すなわち、この
実験は、照射対象であるICパッケージS1に対して、
その近傍に与える熱的影響を測定するものである。実験
結果を図3に示し、縦軸は各位置の温度を表し、横軸は
照射開始からの経過時間を表す。照射対象であるICパ
ッケージS1の温度は、わずか5秒でハンダの溶融温度
である250℃近傍まで昇温させることができ、その一
方で、その周辺位置は実質的に熱的影響を及ぼしておら
ず、特に、隣接して配置される素子、この場合ICパッ
ケージS2はほとんど熱的に影響を及ぼさないことが示
される。なお、実験につかったハンダは、溶融温度24
0℃の鉛フリー型ハンダであり、温度は各々の位置に熱
電対を配置させて測定した。
【0020】以上、説明したように、この発明にかかる
ボールグリッドアレイの光処理方法は、照射対象となる
ボールグリッドアレイの前記プリント基板と対向する面
とは反対側の面から、光エネルギーを照射させ、電極間
に存在するハンダを溶融させて両者を接合あるいは剥離
するものであるから、以下の効果を有する。第1に、リ
フロー処理をする場合に比べて設備が格段に小型、簡易
化し、処理時間も短く、処理コストも格段に低くなる。
第2に、照射対象物の温度制御が厳密にできるようにな
り、非対象ハンダを良好に溶融させることができる。第
3に、携帯電話など高密度でICパッケージが内蔵され
た場合などにおいて、1のICパッケージのみを取り外
し、新規に装着するという作業が可能となり、極めて経
済的な処理方法が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る光処理方法を実施するための光
ハンダ装置を示す。
【図2】この発明に係る光処理方法を実施するための光
ハンダ装置に使う反射部材を示す。
【図3】本発明の効果を表す実験に関する説明図を示
す。
【図4】この発明に係る光処理方法を説明するための図
面を表す。
【図5】この発明に係る光処理方法を説明するための図
面を表す。
【図6】この発明に係る光処理方法を説明するためのハ
ンダの状態を示す。
【符号の説明】
1 光照射部 2 ステージ 3 筒状反射部材 50 ICパッケージ 51 ハンダ 52 電極 B プリント基板 W BGA組立体

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ボールグリッドアレイの光処理方法におい
    て、 各々の電極が接合するようにプリント基板上にボールグ
    リッドアレイを配置して、 このボールグリッドアレイの前記プリント基板とは反対
    側の面に対して、光エネルギーを照射させ、 前記電極間に存在するハンダを溶融させて両者を接合あ
    るいは剥離することを特徴とするボールグリッドアレイ
    の光処理方法。
  2. 【請求項2】前記光エネルギーの照射は、前記ハンダの
    軟化温度以上であって、かつ、前記ボールグリッドアレ
    イのパッケージの耐熱温度以下に制御しながら照射する
    ことを特徴とする請求項1のボールグリッドアレイの光
    処理方法。
JP2002101274A 2002-04-03 2002-04-03 ボールグリッドアレイの光処理方法 Pending JP2003297881A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008098501A (ja) * 2006-10-13 2008-04-24 Mitsubishi Materials Corp パワーモジュール用基板の製造方法およびパワーモジュール用基板の製造装置
WO2008081939A1 (ja) * 2006-12-28 2008-07-10 I-Pulse Kabushiki Kaisha レーザリフロー装置
JP2008277406A (ja) * 2007-04-26 2008-11-13 I-Pulse Co Ltd レーザリフロー装置
CN103453329A (zh) * 2012-05-28 2013-12-18 海洋王照明科技股份有限公司 具有破冰功能的灯具

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008098501A (ja) * 2006-10-13 2008-04-24 Mitsubishi Materials Corp パワーモジュール用基板の製造方法およびパワーモジュール用基板の製造装置
WO2008081939A1 (ja) * 2006-12-28 2008-07-10 I-Pulse Kabushiki Kaisha レーザリフロー装置
JP2008277406A (ja) * 2007-04-26 2008-11-13 I-Pulse Co Ltd レーザリフロー装置
CN103453329A (zh) * 2012-05-28 2013-12-18 海洋王照明科技股份有限公司 具有破冰功能的灯具

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