JP2003282641A - 電子部品の熱圧着装置 - Google Patents

電子部品の熱圧着装置

Info

Publication number
JP2003282641A
JP2003282641A JP2002087872A JP2002087872A JP2003282641A JP 2003282641 A JP2003282641 A JP 2003282641A JP 2002087872 A JP2002087872 A JP 2002087872A JP 2002087872 A JP2002087872 A JP 2002087872A JP 2003282641 A JP2003282641 A JP 2003282641A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding member
guide rail
thermocompression bonding
bonding tool
compression bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002087872A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3791440B2 (ja
Inventor
Yasuto Onizuka
安登 鬼塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2002087872A priority Critical patent/JP3791440B2/ja
Publication of JP2003282641A publication Critical patent/JP2003282641A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3791440B2 publication Critical patent/JP3791440B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱圧着ツールやその保持部材が熱膨張して
も、小さな力で熱圧着ツールを下降、上昇させて、低荷
重で電子部品を基板に熱圧着することができる電子部品
の熱圧着装置を提供すること。 【解決手段】 横長の熱圧着ツール10と、熱圧着ツー
ル10が取り付けられた保持部材9と、保持部材9を上
下動させるシリンダ6と、保持部材9の上下動を案内す
る複数の案内手段とを備え、複数の案内手段が、垂直な
ガイドレール13と、ガイドレール13に沿って上下方
向にスライドするスライダ12から成る保持部材9の横
方向への変位を許容しない固定案内手段と、垂直なガイ
ドレール13と、ガイドレール13に沿って上下方向に
スライドするスライダ12’と、スライダの水平方向の
スライドを案内する水平なガイドレール13から成る保
持部材9の横方向への変位を許容する可動案内手段とか
ら成る。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を横長の
熱圧着ツールにより基板に熱圧着する電子部品の熱圧着
装置に関するものである。 【0002】 【従来の技術】液晶パネルのような表示パネルなどの基
板に、フリップチップやフィルムキャリアパッケージな
どの電子部品をボンディングする電子部品の熱圧着装置
として、熱圧着ツールを用いるものが知られている。 【0003】図5は従来の電子部品の熱圧着装置の正面
図、図6は従来の電子部品の熱圧着装置の断面図であ
る。図5、図6において、2枚のガラス板を貼り合わせ
た表示パネル1は可動テーブル2に支持されており、そ
の縁部には電子部品Pが前工程で仮付けされている。表
示パネル1の縁部は、基台3に設けられた支持部4に下
方から支持されている。 【0004】本体フレーム5の上部には上下動手段とし
てのシリンダ6がそのロッド7を下向きにして配設され
ている。ロッド7の下端部にはヘッド部8が取り付けら
れている。ヘッド部8は、ロッド7の下端部に取り付け
られた板状の保持部材9と、保持部材9の下部に取り付
けられた横長の熱圧着ツール10を有している。熱圧着
ツール10にはこれを加熱するヒータ11が内蔵されて
いる。 【0005】保持部材9の背面にはスライダ12が設け
られており、スライダ12は本体フレーム5の前面に設
けられた垂直なガイドレール13に上下方向にスライド
自在に嵌合している。図5に示すように、熱圧着ツール
10は横長の長尺であるため、スライダ12やガイドレ
ール13から成る熱圧着ツール10の上下動を案内する
案内手段は横方向に複数箇所(本例では左右に2箇所)
設けられている。シリンダ6のセンターCから左右のス
ライダ12、ガイドレール13までの距離L1,L2は
等距離となっている。勿論、スライダ12やガイドレー
ル13は3箇所以上設けられる場合もある。 【0006】この従来の電子部品の熱圧着装置は上記の
ような構成より成り、次にその動作を説明する。図6に
示すように可動テーブル2を駆動して表示パネル1の縁
部を支持部4に支持させ、電子部品Pを熱圧着ツール1
0の直下に位置させる。熱圧着ツール10はヒータ11
により高温度(一般には400℃程度)に加熱されてい
る。 【0007】そこでシリンダ6のロッド7を下方へ突出
させて熱圧着ツール10を下降させ、電子部品Pを表示
パネル1に押し付けて熱圧着してボンディングし、次い
でロッド7は上方へ引き込んで熱圧着ツール10は上昇
する。表示パネル1の複数の辺の縁部(一般には、直交
する2つの辺の縁部)の上面には、電子部品Pの下面に
形成された端子が接続される電極が狭ピッチで多数並設
されており、電子部品はこれらの電極上に複数個並設し
てボンディングされる。図5に示すような横長の熱圧着
ツール10を用いれば、複数個の電子部品Pを同時に一
括して表示パネル1の縁部にボンディングできるので、
作業能率が向上する。 【0008】 【発明が解決しようとする課題】以上のようにこの種の
電子部品の熱圧着装置は、高温に加熱された横長の熱圧
着ツール10をガイドレール13に沿って下降、上昇さ
せて電子部品Pを表示パネル1などの基板にボンディン
グするようになっている。 【0009】ところが熱圧着ツール10はヒータ11な
どの加熱手段により高温に加熱されるため、熱圧着ツー
ル10やこれから伝熱される保持部材9は横方向に熱膨
張する。図5において、矢印aは熱圧着ツール10や保
持部材9が横方向に熱膨張することをあらわしている。 【0010】保持部材9がこのように横方向(矢印a方
向)に熱膨張すると、その背面に取り付けられたスライ
ダ12も同方向へ変位し、左右のスライダ12の間隔T
1はこの熱膨張によってわずかに大きくなる。一方、ガ
イドレール13の間隔T2は変化しない。 【0011】上記熱膨張によるスライダ12の側方への
変位量(左右のスライダ12の間隔T1の広がり量)は
わずかであるが、スライダ12はガイドレール13にが
たつきなくしっかり嵌合させて機械精度を確保している
ため、上述のようにスライダ12が保持部材9の熱膨張
によって横方向へ変位すると、スライダ12とガイドレ
ール13の摺接摩擦力は大きくなってスライダ12はガ
イドレール13に沿ってスムーズに上下動することは困
難となる。 【0012】そこで従来は、上記摺接摩擦力に打ち克つ
ために、シリンダ6のロッド7の下方への突出力を大き
くし、大きな力で無理に熱圧着ツール10を下降、上昇
させていた。 【0013】しかしながらこのようにロッド7の下方へ
の突出力を大きくすると、熱圧着ツール10が電子部品
Pに加える荷重は過大となり、電子部品Pにダメージを
与えたり、最悪の場合には電子部品Pを破壊しかねない
という問題点があった。 【0014】そこで本発明は上記従来の問題点を解消
し、熱圧着ツールやその保持部材が熱膨張しても、小さ
な力で熱圧着ツールを下降、上昇させて、低荷重で電子
部品を基板に熱圧着することができる電子部品の熱圧着
装置を提供することを目的とする。 【0015】 【課題を解決するための手段】本発明の電子部品の熱圧
着装置は、横長の熱圧着ツールと、この熱圧着ツールが
取り付けられた保持部材と、この保持部材を上下動させ
る上下動手段と、保持部材の上下動を案内する複数の案
内手段とを備え、この複数の案内手段が、垂直なガイド
レールとこのガイドレールに沿って上下方向にスライド
するスライダから成る保持部材の横方向への変位を許容
しない固定案内手段と、垂直なガイドレールとこのガイ
ドレールに沿って上下方向にスライドするスライダとこ
のスライダの水平方向のスライドを案内する水平なガイ
ドレールから成る保持部材の横方向への変位を許容する
可動案内手段とから成る。 【0016】本発明の電子部品の熱圧着装置によれば、
熱圧着ツールや保持部材の熱膨張にともなうスライダの
横方向の変位は、スライダが水平なガイドレールに沿っ
て側方へスライドすることにより吸収、許容されるの
で、垂直なガイドレールとの間に上記従来のような大き
な摺接摩擦力が発生することはない。したがって熱圧着
ツールを上下動手段の小さな力でスムーズに下降、上昇
させ、電子部品を低荷重で基板に熱圧着することができ
る。 【0017】 【発明の実施の形態】(実施の形態1)図1は本発明の
実施の形態1における電子部品の熱圧着装置の正面図、
図2は本発明の実施の形態1における固定案内手段側の
側面図、図3は本発明の実施の形態1における可動案内
手段側の側面図である。各図において、上記従来手段と
同一要素には同一符号を付している。 【0018】図1、図2において、表示パネル1は可動
テーブル2に支持されており、その複数の辺の縁部に
は、電子部品Pが前工程で複数個並設して仮付けされて
いる。表示パネル1の縁部は、基台3に設けられた支持
部4に下方から支持されている。 【0019】本体フレーム5の上部には上下動手段とし
てのシリンダ6がそのロッド7を下向きにして配設され
ている。ロッド7の下端部にはヘッド部8が取り付けら
れている。ヘッド部8は、ロッド7の下端部に取り付け
られた板状の保持部材9と、保持部材9の下部に取り付
けられた横長の熱圧着ツール10を有している。熱圧着
ツール10にはこれを加熱する加熱手段としてのヒータ
11が内蔵されている。 【0020】図2は固定案内手段側の側面図であって、
図6に示す従来例と同構造である。すなわち、保持部材
9の背面にはスライダ12が設けられており、スライダ
12は本体フレーム5の前面に設けられた垂直なガイド
レール13に上下方向にスライド自在に嵌合している。
図1に示すように、熱圧着ツール10は横長の長尺であ
るため、スライダ12やガイドレール13は横方向に複
数箇所(本例では左右に2箇所)設けられている。なお
本発明で横方向とは、図1において、左右方向(ガイド
レール13の並設方向)である。T1,T2は、常温下
における左右のスライダ12間およびガイドレール13
間の間隔である。 【0021】図3は、可動案内手段側の側面図であっ
て、保持部材9の背面には水平なガイドレール20が設
けられている(図1も参照)。スライダ12’の一方の
面は垂直なガイドレール13にスライド自在に嵌合し、
他方の面は水平なガイドレール20に水平方向(横方
向)にスライド自在に嵌合している。 【0022】この電子部品の熱圧着装置は上記のような
構成より成り、次にその動作を説明する。図2に示すよ
うに可動テーブル2を駆動して表示パネル1の縁部を支
持部4に支持させ、電子部品Pを熱圧着ツール10の直
下に位置させる。熱圧着ツール10はヒータ11により
高温度(一般には400℃程度)に加熱されている。 【0023】そこでシリンダ6のロッド7を下方へ突出
させて熱圧着ツール10を下降させ、電子部品Pを表示
パネル1に押し付けて熱圧着してボンディングし、次い
でロッド7は上方へ引き込んで熱圧着ツール10は上昇
する。表示パネル1の複数の辺の縁部(一般には、直交
する2つの辺の縁部)の上面には、電子部品Pの下面に
形成された端子が接続される電極が狭ピッチで多数並設
されており、電子部品Pはこれらの電極上に複数個並設
してボンディングされる。図1に示すような横長の熱圧
着ツール10を用いれば、複数個の電子部品Pを同時に
一括して表示パネル1の縁部にボンディングできる。 【0024】さて、熱圧着ツール10はヒータ11など
の加熱手段により高温に加熱されているため、熱圧着ツ
ール10やこれから伝熱される保持部材9は横方向に熱
膨張することは上述したとおりである。図1において、
このような熱膨張が生じると、固定案内手段側のスライ
ダ12は横方向へ変位せず、常温下での位置を維持する
が、可動案内手段側のスライダ12’は水平なガイドレ
ール20に沿って側方へスライド(矢印b)して変位
し、これによりこの熱膨張を吸収する。このように可動
案内手段側のスライダ12’が矢印b方向へ変位するこ
とにより(すなわち上記間隔T1が上記熱膨張により広
がることにより)、保持部材9や熱圧着ツール10の横
方向(矢印a方向)への変位(熱膨張)は許容される。
したがって左右のスライダ12,12’とガイドレール
13の間には上記従来のような大きな摺接摩擦力は発生
しないので、シリンダ6のロッド7を小さな力で下降、
上昇させることにより、熱圧着ツール10をスムーズに
下降、上昇させることができ、よって低荷重で電子部品
Pにダメージを与えることなく、電子部品Pを表示パネ
ル1に熱圧着してボンディングすることができる。 【0025】(実施の形態2)図4は本発明の実施の形
態2における電子部品の熱圧着装置の正面図である。実
施の形態2では、ガイドレール13は3本並列されてお
り、中央のガイドレール13とスライダ12が固定案内
手段、左右のガイドレール13とスライダ12’が可動
案内手段となっている。シリンダ6のセンターCから各
案内手段までの距離L1,L2は等しい。 【0026】したがって熱圧着ツール10や保持部材9
(図2、図3を参照)が横方向aへ熱膨張すると、中央
のスライダ12は変位しないが、左右のスライダ12’
は側方へ変位し(矢印b)、実施の形態1と同様の作用
効果を奏する。 【0027】 【発明の効果】以上説明したように本発明の電子部品の
熱圧着装置によれば、熱圧着ツールや保持部材の横方向
への熱膨張は、可動案内手段側のスライダが水平なガイ
ドレールに沿って横方向へスライドすることにより許
容、吸収されるので、垂直なガイドレールとの間に上記
従来のような大きな摺接摩擦力が発生することはない。
したがって熱圧着ツールを上下動手段の小さな力でスム
ーズに下降、上昇させ、電子部品を低荷重で基板に熱圧
着することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】本発明の実施の形態1における電子部品の熱圧
着装置の正面図 【図2】本発明の実施の形態1における固定案内手段側
の側面図 【図3】本発明の実施の形態1における可動案内手段側
の側面図 【図4】本発明の実施の形態2における電子部品の熱圧
着装置の正面図 【図5】従来の電子部品の熱圧着装置の正面図 【図6】従来の電子部品の熱圧着装置の断面図 【符号の説明】 1 表示パネル 6 シリンダ 9 保持部材 10 熱圧着ツール 12,12’ スライダ 13 ガイドレール

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】横長の熱圧着ツールと、この熱圧着ツール
    が取り付けられた保持部材と、この保持部材を上下動さ
    せる上下動手段と、保持部材の上下動を案内する複数の
    案内手段とを備え、この複数の案内手段が、垂直なガイ
    ドレールとこのガイドレールに沿って上下方向にスライ
    ドするスライダから成る保持部材の横方向への変位を許
    容しない固定案内手段と、垂直なガイドレールとこのガ
    イドレールに沿って上下方向にスライドするスライダと
    このスライダの水平方向のスライドを案内する水平なガ
    イドレールから成る保持部材の横方向への変位を許容す
    る可動案内手段とから成ることを特徴とする電子部品熱
    圧着装置。
JP2002087872A 2002-03-27 2002-03-27 電子部品の熱圧着装置 Expired - Fee Related JP3791440B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002087872A JP3791440B2 (ja) 2002-03-27 2002-03-27 電子部品の熱圧着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002087872A JP3791440B2 (ja) 2002-03-27 2002-03-27 電子部品の熱圧着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003282641A true JP2003282641A (ja) 2003-10-03
JP3791440B2 JP3791440B2 (ja) 2006-06-28

Family

ID=29233914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002087872A Expired - Fee Related JP3791440B2 (ja) 2002-03-27 2002-03-27 電子部品の熱圧着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3791440B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107457283A (zh) * 2017-09-14 2017-12-12 深圳市沃阳精密科技有限公司 一种高效热压整形系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107457283A (zh) * 2017-09-14 2017-12-12 深圳市沃阳精密科技有限公司 一种高效热压整形系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP3791440B2 (ja) 2006-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100786631B1 (ko) 디스플레이 패널 또는 프로브 블록의 지지틀
US20180053664A1 (en) Bonding device for chip on film and display panel and bonding method for the same
CN106663635B (zh) 安装装置
JP4632037B2 (ja) 熱圧着装置及び半導体装置の搭載装置
CN103426798B (zh) 用于在晶粒键合期间加热衬底的装置
CN112185915A (zh) 一种用于集成电路封装过程中的散热设备
KR20160127807A (ko) 압착 헤드, 그것을 사용한 실장 장치 및 실장 방법
CN211279742U (zh) 一种贴膜机
JP3791440B2 (ja) 電子部品の熱圧着装置
KR20170026907A (ko) 윈도우용 글래스 성형 장치 및 윈도우를 갖는 전자장치의 제조 방법
JP4007031B2 (ja) 電子部品のボンディング方法
CN109049667A (zh) 自动导热抹贴膜机的送料固定装置
TWI244419B (en) Wire bonder with a downholder for pressing the fingers of a system carrier onto a heating plate
JP3848893B2 (ja) 部品の基板への部品押圧接合装置及び接合方法
CN111587027B (zh) 一种终端及散热控制方法
CN210334802U (zh) 一种新型玻璃面板镭射机
KR102343647B1 (ko) 유연디스플레이 소자 본딩 테이블 구조
CN217477885U (zh) 一种双工位散热片料盘移动装置
CN218939606U (zh) 一种半导体芯片用自动共晶机
CN218163084U (zh) 压头组件及cof邦定设备
KR101382267B1 (ko) 자동 평탄조정이 가능한 본딩 툴 및 자동 평탄조정 방법
JPH10242212A (ja) チップの熱圧着装置
TWI705744B (zh) 壓合機構
JP2004335509A (ja) ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置
KR102079165B1 (ko) 전자소자 본딩 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040426

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050201

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050706

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050920

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20051206

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060124

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20060222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060314

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060327

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100414

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110414

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120414

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130414

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130414

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140414

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees