JP2003282619A - 微小ボール吸着保持装置 - Google Patents
微小ボール吸着保持装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】吸着孔にボールが吸着されているか否か（ボー
ルの有無）の差圧を容易に検出できる微小ボール吸着保
持装置を提供すること。 【解決手段】微小ボール保持装置に以下の手段を採用し
た。第１に、微小ボールを吸着保持する吸着孔が形成さ
れた吸着ヘッドと、吸着ヘッドに吸引通路にて接続され
て吸着孔に吸引力を発生させる真空源と、吸着孔の吸引
圧力の変動を検出する圧力検出手段を備えた微小ボール
保持装置とする。第２に、上記圧力検出手段の検出結果
に基づいて吸着ヘッドへの微小ボール保持の有無を検出
する。第３に、真空源と吸着孔を接続する吸引通路の途
中に、吸引通路の断面積を縮小させる絞り部材を設け
る。第４に、絞り部材と吸着孔の間の圧力を圧力検出手
段により検出する。
ルの有無）の差圧を容易に検出できる微小ボール吸着保
持装置を提供すること。 【解決手段】微小ボール保持装置に以下の手段を採用し
た。第１に、微小ボールを吸着保持する吸着孔が形成さ
れた吸着ヘッドと、吸着ヘッドに吸引通路にて接続され
て吸着孔に吸引力を発生させる真空源と、吸着孔の吸引
圧力の変動を検出する圧力検出手段を備えた微小ボール
保持装置とする。第２に、上記圧力検出手段の検出結果
に基づいて吸着ヘッドへの微小ボール保持の有無を検出
する。第３に、真空源と吸着孔を接続する吸引通路の途
中に、吸引通路の断面積を縮小させる絞り部材を設け
る。第４に、絞り部材と吸着孔の間の圧力を圧力検出手
段により検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微小ボールを被搭
載物の搭載面に搭載する装置における微小ボール吸着保
持装置の改良に関するもので、微小半田ボールマウント
装置における吸着ヘッドの吸着ボールを正確に検出する
ことを主眼に開発されたものである。
載物の搭載面に搭載する装置における微小ボール吸着保
持装置の改良に関するもので、微小半田ボールマウント
装置における吸着ヘッドの吸着ボールを正確に検出する
ことを主眼に開発されたものである。
【０００２】
【従来の技術】微小半田ボールマウント装置において、
吸着ヘッド先端に吸着された半田ボールの有無を検出す
る手段として、従来よりレーザーセンサ等の光学センサ
が使用されていた。しかし、上記手段にてボールの有無
を検出する場合、検出装置の構成及び動作制御が複雑な
ものとなり、より簡単に吸着ヘッドのボール吸着の有無
を検出する手段が模索されていた。
吸着ヘッド先端に吸着された半田ボールの有無を検出す
る手段として、従来よりレーザーセンサ等の光学センサ
が使用されていた。しかし、上記手段にてボールの有無
を検出する場合、検出装置の構成及び動作制御が複雑な
ものとなり、より簡単に吸着ヘッドのボール吸着の有無
を検出する手段が模索されていた。
【０００３】そこで吸着ヘッド先端に吸着されたボール
の有無を検出するために吸引通路内の圧力の変化に着目
し、該圧力を検出する手段が考えられる。しかし、半田
ボールは近年微小化してきており、かようにボールが微
小の場合、ボール吸着による吸引通路内の圧力変動を検
出することが難しいと言う問題点を有していた。すなわ
ち、ボール径が直径１ｍｍ以下と微小な場合、吸着ヘッ
ドの吸着孔の穴径（直径）は、これより小さく０．５ｍ
ｍ以下となり、吸着孔が開放されても吸引通路内の真空
度は高く、ボールにより吸着孔が塞がれても圧力変動の
差は極小さく検出できない場合が生じるのである。
の有無を検出するために吸引通路内の圧力の変化に着目
し、該圧力を検出する手段が考えられる。しかし、半田
ボールは近年微小化してきており、かようにボールが微
小の場合、ボール吸着による吸引通路内の圧力変動を検
出することが難しいと言う問題点を有していた。すなわ
ち、ボール径が直径１ｍｍ以下と微小な場合、吸着ヘッ
ドの吸着孔の穴径（直径）は、これより小さく０．５ｍ
ｍ以下となり、吸着孔が開放されても吸引通路内の真空
度は高く、ボールにより吸着孔が塞がれても圧力変動の
差は極小さく検出できない場合が生じるのである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、真空源と吸
着ヘッドの吸着孔を接続する吸引通路の途中に、吸引通
路の断面積を縮小させる絞り部材を設けることにより、
吸着孔にボールが吸着されているか否か（ボールの有
無）に基づく圧力変動を容易に検出できる微小ボール吸
着保持装置を提供しようとするものである。
着ヘッドの吸着孔を接続する吸引通路の途中に、吸引通
路の断面積を縮小させる絞り部材を設けることにより、
吸着孔にボールが吸着されているか否か（ボールの有
無）に基づく圧力変動を容易に検出できる微小ボール吸
着保持装置を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、微小ボール保持装置に以下の手段を採用し
た。第１に、微小ボールを吸着保持する吸着孔が形成さ
れた吸着ヘッドと、吸着ヘッドに吸引通路にて接続され
て吸着孔に吸引力を発生させる真空源と、吸着孔の吸引
圧力の変動を検出する圧力検出手段を備えた微小ボール
保持装置とする。第２に、上記圧力検出手段の検出結果
に基づいて吸着ヘッドへの微小ボール保持の有無を検出
する。第３に、真空源と吸着孔を接続する吸引通路の途
中に、吸引通路の断面積を縮小させる絞り部材を設け
る。第４に、絞り部材と吸着孔の間の圧力を圧力検出手
段により検出する。
決するため、微小ボール保持装置に以下の手段を採用し
た。第１に、微小ボールを吸着保持する吸着孔が形成さ
れた吸着ヘッドと、吸着ヘッドに吸引通路にて接続され
て吸着孔に吸引力を発生させる真空源と、吸着孔の吸引
圧力の変動を検出する圧力検出手段を備えた微小ボール
保持装置とする。第２に、上記圧力検出手段の検出結果
に基づいて吸着ヘッドへの微小ボール保持の有無を検出
する。第３に、真空源と吸着孔を接続する吸引通路の途
中に、吸引通路の断面積を縮小させる絞り部材を設け
る。第４に、絞り部材と吸着孔の間の圧力を圧力検出手
段により検出する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って、実施例と共
に本発明の実施の形態について説明する。実施例では、
本発明における微小ボールとして半田ボール５、被搭載
物としてウエハ１が選択されている。実施例では直径１
ｍｍ以下の半田ボール５が用いられている。具体的には
０．１ｍｍの半田ボールが用いられている。勿論、本発
明における微小ボールが上記半田ボールに限定されるも
のではない。
に本発明の実施の形態について説明する。実施例では、
本発明における微小ボールとして半田ボール５、被搭載
物としてウエハ１が選択されている。実施例では直径１
ｍｍ以下の半田ボール５が用いられている。具体的には
０．１ｍｍの半田ボールが用いられている。勿論、本発
明における微小ボールが上記半田ボールに限定されるも
のではない。
【０００７】図３は、本発明の１実施例である微小半田
ボール搭載装置の全体を示す斜視説明図であり、該微小
半田ボール搭載装置には、本発明における吸着ヘッドと
なる半田ボール５を真空吸引して保持する吸着ノズル６
と、ウエハ１を載置するＸ−Ｙテーブル４と、半田ボー
ル５を一個ずつ繰り出すボール供給装置８と、図示され
ていない真空源が設けられている。
ボール搭載装置の全体を示す斜視説明図であり、該微小
半田ボール搭載装置には、本発明における吸着ヘッドと
なる半田ボール５を真空吸引して保持する吸着ノズル６
と、ウエハ１を載置するＸ−Ｙテーブル４と、半田ボー
ル５を一個ずつ繰り出すボール供給装置８と、図示され
ていない真空源が設けられている。
【０００８】Ｘ−Ｙテーブル４は、Ｘ軸駆動テーブル２
及びＹ軸駆動テーブル３上に設置されており、平面移動
可能に構成され、搭載位置に位置する半田ボール５を保
持した吸着ノズル６に対して、ウエハ１を位置合わせす
るようになっている。
及びＹ軸駆動テーブル３上に設置されており、平面移動
可能に構成され、搭載位置に位置する半田ボール５を保
持した吸着ノズル６に対して、ウエハ１を位置合わせす
るようになっている。
【０００９】真空源としては、真空ポンプ２２が用いら
れている。該真空ポンプ２２は、開閉弁２４により切り
替えられ、半田ボール５を吸着ノズル６の吸着孔１４に
吸引保持するための必要十分な吸引力を発生させるため
の負圧源となる。尚、図中２３は、吸着ノズル６が半田
ボール５を搭載した後に、開閉弁２５にて接続され真空
を破壊するための圧縮エアー源である。又、図中２６
は、上記真空破壊後に吸着ノズル６内を大気圧とするた
めの大気開放弁である。
れている。該真空ポンプ２２は、開閉弁２４により切り
替えられ、半田ボール５を吸着ノズル６の吸着孔１４に
吸引保持するための必要十分な吸引力を発生させるため
の負圧源となる。尚、図中２３は、吸着ノズル６が半田
ボール５を搭載した後に、開閉弁２５にて接続され真空
を破壊するための圧縮エアー源である。又、図中２６
は、上記真空破壊後に吸着ノズル６内を大気圧とするた
めの大気開放弁である。
【００１０】吸着ノズル６は、一個の半田ボール５を吸
着保持するよう吸着孔１４が一個だけ形成されたノズル
である。実施例での吸着孔１４の穴径（直径）は、半田
ボール５の直径より小さく、具体的には直径０．１ｍｍ
の半田ボール５で、吸着孔１４の穴径（直径）は、０．
０５６ｍｍ（単位ミリメートル）である。
着保持するよう吸着孔１４が一個だけ形成されたノズル
である。実施例での吸着孔１４の穴径（直径）は、半田
ボール５の直径より小さく、具体的には直径０．１ｍｍ
の半田ボール５で、吸着孔１４の穴径（直径）は、０．
０５６ｍｍ（単位ミリメートル）である。
【００１１】吸着ノズル６は、真空ポンプ２２と、本発
明における吸引通路の一部となるエアーホース１２によ
り接続されている。実施例でのエアーホース１２は、外
径１．８ｍｍで、内径１．０ｍｍのものが用いられてい
る。尚、吸引通路は、エアーホース１２及び吸着ノズル
６内の吸引通路２８、及び後述する連結金具１７内の吸
引通路１８を含むものである。
明における吸引通路の一部となるエアーホース１２によ
り接続されている。実施例でのエアーホース１２は、外
径１．８ｍｍで、内径１．０ｍｍのものが用いられてい
る。尚、吸引通路は、エアーホース１２及び吸着ノズル
６内の吸引通路２８、及び後述する連結金具１７内の吸
引通路１８を含むものである。
【００１２】真空ポンプ２２と吸着孔１４を接続する吸
引通路の途中には、吸引通路の断面積を縮小させる絞り
部材として、図２に示されるように吸着孔１４と同程度
の開口断面積を有する絞り穴１５を穿設した絞りプレー
ト１６を設けている。
引通路の途中には、吸引通路の断面積を縮小させる絞り
部材として、図２に示されるように吸着孔１４と同程度
の開口断面積を有する絞り穴１５を穿設した絞りプレー
ト１６を設けている。
【００１３】絞り部材を設けることにより、絞り部材か
ら吸着孔１４までの吸引通路内からの吸引流量は低下す
る。絞り部材により縮小された吸引通路の断面積が、上
記例のように吸着孔１４の開口断面積とほぼ同じであれ
ば、絞り部材からの吸引流量と吸着孔１４からの吸引流
量は近似してその間の真空度は低下するので、真空源で
ある真空ポンプ２２から絞り部材までの吸引通路内の内
部圧力に対して顕著な差圧を生じる。この状態で吸着孔
１４が半田ボール５によって塞がれると、絞り部材から
吸着孔１４までの吸引通路内の圧力は真空源から絞り部
材までの吸引通路内の真空度と等しくなるので、吸引圧
力の変動を検出することにより吸着孔１４に半田ボール
５が吸着保持されているか否かを検出することが可能と
なる。
ら吸着孔１４までの吸引通路内からの吸引流量は低下す
る。絞り部材により縮小された吸引通路の断面積が、上
記例のように吸着孔１４の開口断面積とほぼ同じであれ
ば、絞り部材からの吸引流量と吸着孔１４からの吸引流
量は近似してその間の真空度は低下するので、真空源で
ある真空ポンプ２２から絞り部材までの吸引通路内の内
部圧力に対して顕著な差圧を生じる。この状態で吸着孔
１４が半田ボール５によって塞がれると、絞り部材から
吸着孔１４までの吸引通路内の圧力は真空源から絞り部
材までの吸引通路内の真空度と等しくなるので、吸引圧
力の変動を検出することにより吸着孔１４に半田ボール
５が吸着保持されているか否かを検出することが可能と
なる。
【００１４】実施例での絞りプレート１６の板厚は０．
０５ｍｍで、絞り穴１５の穴径（直径）も、吸着孔１４
の穴径（直径）０．０５６ｍｍに近似した０．０５ｍｍ
とされている。ボール吸着保持のため真空源の吸引力を
有効に作用させるためには、絞り穴１５の開口面積は吸
着孔１４の開口断面積とほぼ同じかそれ以上に大きくす
ることが望ましい。勿論、絞り穴１５の開口面積は、吸
着孔１４より小さくてもボール吸着に支障がなければ問
題はなく、又、絞り穴１５の開口面積が吸着孔１４より
大きくても、ボール吸着の有無による圧力変動を検出で
きるレベルで有れば問題はない。尚、絞り部材は、実施
例では絞りプレート１６という別部材を準備している
が、同じ大きさの吸着孔１４を有する吸着ノズルを利用
することもできる。
０５ｍｍで、絞り穴１５の穴径（直径）も、吸着孔１４
の穴径（直径）０．０５６ｍｍに近似した０．０５ｍｍ
とされている。ボール吸着保持のため真空源の吸引力を
有効に作用させるためには、絞り穴１５の開口面積は吸
着孔１４の開口断面積とほぼ同じかそれ以上に大きくす
ることが望ましい。勿論、絞り穴１５の開口面積は、吸
着孔１４より小さくてもボール吸着に支障がなければ問
題はなく、又、絞り穴１５の開口面積が吸着孔１４より
大きくても、ボール吸着の有無による圧力変動を検出で
きるレベルで有れば問題はない。尚、絞り部材は、実施
例では絞りプレート１６という別部材を準備している
が、同じ大きさの吸着孔１４を有する吸着ノズルを利用
することもできる。
【００１５】絞りプレート１６は、吸着ノズル６の吸着
孔１４の穴径に合わせて、交換可能なるよう連結金具１
７間に交換可能に挟持されている。連結金具１７には、
当然吸引通路１８が形成されると共に、押さえ金具１９
と受け金具２０に分割され、両者を止めボルト２１で着
脱自在に固定したものとされている。押さえ金具１９は
吸引通路１８が直径４ｍｍで下流側に向かってテーパ状
に直径１ｍｍに絞られ、その下流側に絞りプレート１６
が配置されている。受け金具２０の吸引通路１８の直径
は２ｍｍである。尚、上記吸着ノズルを絞り部材として
利用する場合には、連結金具１７の受け金具２０の吸引
通路１８にねじ込んで固定する。
孔１４の穴径に合わせて、交換可能なるよう連結金具１
７間に交換可能に挟持されている。連結金具１７には、
当然吸引通路１８が形成されると共に、押さえ金具１９
と受け金具２０に分割され、両者を止めボルト２１で着
脱自在に固定したものとされている。押さえ金具１９は
吸引通路１８が直径４ｍｍで下流側に向かってテーパ状
に直径１ｍｍに絞られ、その下流側に絞りプレート１６
が配置されている。受け金具２０の吸引通路１８の直径
は２ｍｍである。尚、上記吸着ノズルを絞り部材として
利用する場合には、連結金具１７の受け金具２０の吸引
通路１８にねじ込んで固定する。
【００１６】更に、吸着孔１４と絞りプレート１６の間
の吸引通路の途中に、吸着ノズル６の内部圧力の変化を
検出する圧力センサ７が接続されている。図示の実施例
では絞りプレート１６より若干吸着ノズル６側によった
連結金具１７に装着されている。
の吸引通路の途中に、吸着ノズル６の内部圧力の変化を
検出する圧力センサ７が接続されている。図示の実施例
では絞りプレート１６より若干吸着ノズル６側によった
連結金具１７に装着されている。
【００１７】圧力センサ７は、絞りプレート１６と吸着
孔１４の間の圧力を検出するのである。該検出結果に基
づいて吸着孔１４への半田ボール５の保持の有無を検出
する。実施例では、半田ボール吸着有りで、内部圧力マ
イナス１１．７ｋｐａ（単位キロパスカル）、半田ボー
ル吸着無しで内部圧力マイナス６．４ｋｐａとなった。
孔１４の間の圧力を検出するのである。該検出結果に基
づいて吸着孔１４への半田ボール５の保持の有無を検出
する。実施例では、半田ボール吸着有りで、内部圧力マ
イナス１１．７ｋｐａ（単位キロパスカル）、半田ボー
ル吸着無しで内部圧力マイナス６．４ｋｐａとなった。
【００１８】微小半田ボール搭載装置には、吸着ノズル
６の移動装置として、Ｚ軸移動装置９とＸ軸移動装置１
０を有している。Ｚ軸移動装置９は、吸着ノズル６をウ
エハ１の搭載面に接近隔離させる昇降装置であり、Ｘ軸
移動装置１０は、水平移動装置である。このＺ軸移動装
置９とＸ軸移動装置１０により、吸着ノズル６を、ボー
ル供給装置８がボールを供給する位置とＸーＹテーブル
４上のウエハ１のボール搭載位置に移動させて、供給動
作及び搭載動作を行う。勿論吸着ノズル６の位置の移動
は、相対的なものであっても良いこと勿論である。
６の移動装置として、Ｚ軸移動装置９とＸ軸移動装置１
０を有している。Ｚ軸移動装置９は、吸着ノズル６をウ
エハ１の搭載面に接近隔離させる昇降装置であり、Ｘ軸
移動装置１０は、水平移動装置である。このＺ軸移動装
置９とＸ軸移動装置１０により、吸着ノズル６を、ボー
ル供給装置８がボールを供給する位置とＸーＹテーブル
４上のウエハ１のボール搭載位置に移動させて、供給動
作及び搭載動作を行う。勿論吸着ノズル６の位置の移動
は、相対的なものであっても良いこと勿論である。
【００１９】図１及び図３中符号１３は、吸着ノズル６
をＸ軸移動装置１０に取り付けるための取付アームであ
る。そして、このＺ軸移動装置９及びＸ軸移動装置１０
は、制御装置１１により制御されている。
をＸ軸移動装置１０に取り付けるための取付アームであ
る。そして、このＺ軸移動装置９及びＸ軸移動装置１０
は、制御装置１１により制御されている。
【００２０】実施例で吸着ノズル６をウエハ１に接近さ
せるためには、Ｚ軸移動装置９を用いている。従って、
ウエハ１への接近離隔の方向は実施例では上下方向であ
るが、これに限定されるものではない。
せるためには、Ｚ軸移動装置９を用いている。従って、
ウエハ１への接近離隔の方向は実施例では上下方向であ
るが、これに限定されるものではない。
【００２１】尚、Ｘ軸移動装置１０は、吸着ノズル６が
ボール供給装置８へ半田ボール５を取りに行くために用
いられるもので、Ｘ軸方向のみの移動装置である。
ボール供給装置８へ半田ボール５を取りに行くために用
いられるもので、Ｘ軸方向のみの移動装置である。
【００２２】次に、本実施例における微小半田ボール搭
載装置の動作手順について、図４のフロー図に従って説
明する。先ず、Ｘ軸移動装置１０が作動し、吸着ノズル
６はボール供給装置８上方に移動する。次に、開閉弁２
４を開いて吸着孔１４に吸引力を発生させると共に、Ｚ
軸移動装置９の作動により、吸着ノズル６は下降し、ボ
ール供給装置８より半田ボール５を吸着孔１４に吸着
し、半田ボール５を吸着したら、再びＺ軸移動装置９に
より上昇する。
載装置の動作手順について、図４のフロー図に従って説
明する。先ず、Ｘ軸移動装置１０が作動し、吸着ノズル
６はボール供給装置８上方に移動する。次に、開閉弁２
４を開いて吸着孔１４に吸引力を発生させると共に、Ｚ
軸移動装置９の作動により、吸着ノズル６は下降し、ボ
ール供給装置８より半田ボール５を吸着孔１４に吸着
し、半田ボール５を吸着したら、再びＺ軸移動装置９に
より上昇する。
【００２３】上昇位置で圧力センサ７の信号を入力して
ボール吸着保持の有無を検出する。半田ボール５の吸着
有り（ＹＥＳ）を検出した場合、吸着ノズル６はＸ軸移
動装置１０によりウエハ１上のボール搭載位置上方に移
動する。圧力センサ７が吸着無し（ＮＯ）を検出した場
合、Ｚ軸移動装置９により吸着ノズル６を下降させて再
度、ボール吸着動作を繰り返す。
ボール吸着保持の有無を検出する。半田ボール５の吸着
有り（ＹＥＳ）を検出した場合、吸着ノズル６はＸ軸移
動装置１０によりウエハ１上のボール搭載位置上方に移
動する。圧力センサ７が吸着無し（ＮＯ）を検出した場
合、Ｚ軸移動装置９により吸着ノズル６を下降させて再
度、ボール吸着動作を繰り返す。
【００２４】ボール搭載位置上方に移動した吸着ノズル
６が、Ｚ軸移動装置９の作動によりウエハ１上のボール
搭載位置に下降し、半田ボール５をウエハ１上に搭載
し、開閉弁２４を閉じ、開閉弁２５を開き圧縮エアーを
供給して真空破壊し、吸着保持していた半田ボール５を
解放する。
６が、Ｚ軸移動装置９の作動によりウエハ１上のボール
搭載位置に下降し、半田ボール５をウエハ１上に搭載
し、開閉弁２４を閉じ、開閉弁２５を開き圧縮エアーを
供給して真空破壊し、吸着保持していた半田ボール５を
解放する。
【００２５】その後、開閉弁２５を閉じ、大気開放弁２
６を開き、大気開放してから吸着ノズル６をＺ軸移動装
置９により上昇させる。上昇位置で大気開放弁２６を閉
じ、開閉弁２４を開き、吸着ノズル６の吸着孔１４に吸
引力を発生させてから、圧力センサ７の信号を入力し、
ボール吸着保持の有無を検出する。このとき、吸着有り
（吸着ＯＦＦに対しＮＯ）が検出されたら、吸着ノズル
６をＺ軸移動装置９により下降させて、再度、ボール搭
載動作を繰り返す。
６を開き、大気開放してから吸着ノズル６をＺ軸移動装
置９により上昇させる。上昇位置で大気開放弁２６を閉
じ、開閉弁２４を開き、吸着ノズル６の吸着孔１４に吸
引力を発生させてから、圧力センサ７の信号を入力し、
ボール吸着保持の有無を検出する。このとき、吸着有り
（吸着ＯＦＦに対しＮＯ）が検出されたら、吸着ノズル
６をＺ軸移動装置９により下降させて、再度、ボール搭
載動作を繰り返す。
【００２６】吸着無し（吸着ＯＦＦに対してＹＥＳ）が
検出された場合、開閉弁２４を閉じて吸引を解除し、一
連の動作を完了する。尚、搭載動作と吸着有無の検出
は、数回繰り返すようにしても良いし、２回目の搭載動
作で成功しなかった場合には動作を停止させて警報信号
を出力するようにしても良い。
検出された場合、開閉弁２４を閉じて吸引を解除し、一
連の動作を完了する。尚、搭載動作と吸着有無の検出
は、数回繰り返すようにしても良いし、２回目の搭載動
作で成功しなかった場合には動作を停止させて警報信号
を出力するようにしても良い。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、如上のように構成され、吸着
孔につながる吸引通路内の圧力変化に注目し、圧力変化
で微小ボールの保持の有無を判定するものであるため、
装置構成及び動作制御を簡素化することが可能となっ
た。
孔につながる吸引通路内の圧力変化に注目し、圧力変化
で微小ボールの保持の有無を判定するものであるため、
装置構成及び動作制御を簡素化することが可能となっ
た。
【００２８】更に、真空源と吸着孔を接続する吸引通路
の途中に、吸引通路の断面積を縮小させる絞り部材を設
け、絞り部材と吸着孔の間の圧力を圧力検出手段により
検出するものであるので、圧力検出手段が圧力変動を容
易に検出することができ、正確なボール吸着の有無を判
断できるもののとなった。
の途中に、吸引通路の断面積を縮小させる絞り部材を設
け、絞り部材と吸着孔の間の圧力を圧力検出手段により
検出するものであるので、圧力検出手段が圧力変動を容
易に検出することができ、正確なボール吸着の有無を判
断できるもののとなった。
【図１】絞りプレート装着位置を示す説明図
【図２】吸着孔と絞りプレートの関係を示す説明図
【図３】本実施例に係る微小半田ボール搭載装置の全体
を示す斜視説明図
を示す斜視説明図
【図４】微小半田ボール搭載装置の動作手順を示すフロ
ー図
ー図
１．．．．．．ウエハ
２．．．．．．Ｘ軸駆動テーブル
３．．．．．．Ｙ軸駆動テーブル
４．．．．．．Ｘ−Ｙテーブル
５．．．．．．半田ボール
６．．．．．．吸着ノズル
７．．．．．．圧力センサ
８．．．．．．ボール供給装置
９．．．．．．Ｚ軸移動装置
１０．．．．．Ｘ軸移動装置
１１．．．．．制御装置
１２．．．．．エアーホース
１３．．．．．取付アーム
１４．．．．．吸着孔
１５．．．．．絞り穴
１６．．．．．絞りプレート
１７．．．．．連結金具
１８，２８．．吸引通路
１９．．．．．押さえ金具
２０．．．．．受け金具
２１．．．．．ボルト
２２．．．．．真空ポンプ
２３．．．．．圧縮エアー源
２４，２５．．開閉弁
２６．．．．．大気開放弁
Claims (2)
- 【請求項１】微小ボールを吸着保持する吸着孔が形成さ
れた吸着ヘッドと、吸着ヘッドに吸引通路にて接続され
て吸着孔に吸引力を発生させる真空源と、吸着孔の吸引
圧力の変動を検出する圧力検出手段を備え、圧力検出手
段の検出結果に基づいて吸着ヘッドへの微小ボール保持
の有無を検出する微小ボール吸着保持装置において、真
空源と吸着孔を接続する吸引通路の途中に、吸引通路の
断面積を縮小させる絞り部材を設け、絞り部材と吸着孔
の間の圧力を圧力検出手段により検出することを特徴と
する微小ボール吸着保持装置。 - 【請求項２】絞り部材で縮小される断面積が、上記吸着
孔の開口断面積とほぼ同じか、それ以上に大きいことを
特徴とする請求項１記載の微笑ボール吸着保持装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002088468A JP3855231B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 微小ボール吸着保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002088468A JP3855231B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 微小ボール吸着保持装置 |
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| JP3855231B2 JP3855231B2 (ja) | 2006-12-06 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002088468A Expired - Fee Related JP3855231B2 (ja) | 2002-03-27 | 2002-03-27 | 微小ボール吸着保持装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016039434A1 (ja) * | 2014-09-12 | 2016-03-17 | 日本精工株式会社 | 玉軸受の組立方法及び組立装置、並びにその組立方法で製造した玉軸受 |
-
2002
- 2002-03-27 JP JP2002088468A patent/JP3855231B2/ja not_active Expired - Fee Related
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