JP3137484B2 - 半導体ペレットのピックアップ装置 - Google Patents
半導体ペレットのピックアップ装置Info
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- JP3137484B2 JP3137484B2 JP35823492A JP35823492A JP3137484B2 JP 3137484 B2 JP3137484 B2 JP 3137484B2 JP 35823492 A JP35823492 A JP 35823492A JP 35823492 A JP35823492 A JP 35823492A JP 3137484 B2 JP3137484 B2 JP 3137484B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- bonding arm
- semiconductor pellet
- bonding
- opening
- Prior art date
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- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ペレットのピッ
クアップ装置に関し、特にボンディングアームと吸着ノ
ズルとの相対移動を検出できる機能を有する装置に関す
る。
クアップ装置に関し、特にボンディングアームと吸着ノ
ズルとの相対移動を検出できる機能を有する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造においては、半導体ペ
レットをリードフレームや基板にボンディングすること
が行なわれ、この作業で半導体ペレットのピックアップ
装置が用いられる。この装置は、先端に吸着ノズルを保
持するボンディングアームを有し、吸着ノズルを用いて
供給部に置かれた半導体ペレットをピックアップし、リ
ードフレームまで搬送してボンディングするものであ
る。
レットをリードフレームや基板にボンディングすること
が行なわれ、この作業で半導体ペレットのピックアップ
装置が用いられる。この装置は、先端に吸着ノズルを保
持するボンディングアームを有し、吸着ノズルを用いて
供給部に置かれた半導体ペレットをピックアップし、リ
ードフレームまで搬送してボンディングするものであ
る。
【０００３】ところで従来のピックアップ装置は、例え
ば実公昭６３−２５７３３号公報に記載されているごと
く、ボンディングアームに対して吸着ノズルをピックア
ップ方向に相対移動できるように保持するとともに、ボ
ンディングアームと吸着ノズルとの相対移動の有無を、
両者間に設けた電気接点間の導通有無により検出するも
のであった。
ば実公昭６３−２５７３３号公報に記載されているごと
く、ボンディングアームに対して吸着ノズルをピックア
ップ方向に相対移動できるように保持するとともに、ボ
ンディングアームと吸着ノズルとの相対移動の有無を、
両者間に設けた電気接点間の導通有無により検出するも
のであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記構成にお
いては、接点が腐食したり、ごみが付着した場合、対を
成す接点間にて導通不良を生じ、ボンディングアームに
対する吸着ノズルの相対移動の有無を正確に検出できな
くなるという欠点を有していた。
いては、接点が腐食したり、ごみが付着した場合、対を
成す接点間にて導通不良を生じ、ボンディングアームに
対する吸着ノズルの相対移動の有無を正確に検出できな
くなるという欠点を有していた。
【０００５】本発明は、ボンディングアームに対する吸
着ノズルの相対移動の有無を確実に検出することができ
る半導体ペレットのピックアップ装置を提供することを
目的とする。
着ノズルの相対移動の有無を確実に検出することができ
る半導体ペレットのピックアップ装置を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体ペレッ
トを吸着保持する吸着ノズルと、この吸着ノズルを前記
半導体ペレットのピックアップ方向に相対移動自在に支
持するボンデイングアームと、このボンディングアーム
に対して前記吸着ノズルをそのノズル先端方向に付勢す
る付勢部材と、前記ボンディングアームと前記吸着ノズ
ルとの間に設けられ両者の相対移動時に開孔される開孔
部と、この開孔部に所定の流体圧を印加する流体圧印加
手段と、前記開孔部の開閉に伴う前記流体圧の印加経路
における圧力変化を検知する検知手段とを具備すること
を特徴とする。
トを吸着保持する吸着ノズルと、この吸着ノズルを前記
半導体ペレットのピックアップ方向に相対移動自在に支
持するボンデイングアームと、このボンディングアーム
に対して前記吸着ノズルをそのノズル先端方向に付勢す
る付勢部材と、前記ボンディングアームと前記吸着ノズ
ルとの間に設けられ両者の相対移動時に開孔される開孔
部と、この開孔部に所定の流体圧を印加する流体圧印加
手段と、前記開孔部の開閉に伴う前記流体圧の印加経路
における圧力変化を検知する検知手段とを具備すること
を特徴とする。
【０００７】
【作用】ボンディングアームと吸着ノズルとが相対移動
を生じた時には、開孔部より圧力流体が漏れ、これによ
り流体圧の印加経路における圧力が変化する。そしてこ
の圧力変化を検知手段が検知する。
を生じた時には、開孔部より圧力流体が漏れ、これによ
り流体圧の印加経路における圧力が変化する。そしてこ
の圧力変化を検知手段が検知する。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例を図面を用いて説明する。図
１は本発明の一実施例の模式図、図２は図１とは動作状
態の異なる模式図である。
１は本発明の一実施例の模式図、図２は図１とは動作状
態の異なる模式図である。
【０００９】ピックアップ装置１０は、駆動装置１１に
よって垂直軸１２を中心として回動並びに上下動させら
れるボンディングアーム１３を有し、ボンディングアー
ム１３の先端部には吸着ノズル１４を備えている。この
吸着ノズル１４は、ボンディングアーム１３に対して半
導体ペレット１５のピックアップ方向である上下方向に
相対移動自在に支持されるとともに、ばね１６により、
吸着ノズル１４の上端に水平状態で設けたフランジ１７
がボンディングアーム１３のストッパ１８に付勢状態と
される。またストッパ１８には、その厚み方向に貫通穴
１９が設けられる。この貫通穴１９は、一端がストッパ
１８におけるフランジ１７との当接面に開孔され、他端
は連通管２０を通じて圧縮ポンプ２１に連通している。
ここで、圧縮ポンプ２１が供給する流体圧によりフラン
ジ１７が押上られる力は、ばね１６による付勢力より小
となるように設定される。２２は、継手２３を介して連
通管２０に接続された圧力センサで、連通管２０内の圧
力変化を検出し、その検出信号は制御装置２４に送られ
るようになっている。
よって垂直軸１２を中心として回動並びに上下動させら
れるボンディングアーム１３を有し、ボンディングアー
ム１３の先端部には吸着ノズル１４を備えている。この
吸着ノズル１４は、ボンディングアーム１３に対して半
導体ペレット１５のピックアップ方向である上下方向に
相対移動自在に支持されるとともに、ばね１６により、
吸着ノズル１４の上端に水平状態で設けたフランジ１７
がボンディングアーム１３のストッパ１８に付勢状態と
される。またストッパ１８には、その厚み方向に貫通穴
１９が設けられる。この貫通穴１９は、一端がストッパ
１８におけるフランジ１７との当接面に開孔され、他端
は連通管２０を通じて圧縮ポンプ２１に連通している。
ここで、圧縮ポンプ２１が供給する流体圧によりフラン
ジ１７が押上られる力は、ばね１６による付勢力より小
となるように設定される。２２は、継手２３を介して連
通管２０に接続された圧力センサで、連通管２０内の圧
力変化を検出し、その検出信号は制御装置２４に送られ
るようになっている。
【００１０】次に作動について説明する。
【００１１】まず、駆動装置１１によりボンディングア
ーム１３が回動して、図１に示すように、供給部Ａにお
ける所定の半導体ペレット１５の上方に吸着ノズル１４
が位置付けられる。次にボンディングアーム１３は下降
し、吸着ノズル１４が半導体ペレット１５に当接する。
ーム１３が回動して、図１に示すように、供給部Ａにお
ける所定の半導体ペレット１５の上方に吸着ノズル１４
が位置付けられる。次にボンディングアーム１３は下降
し、吸着ノズル１４が半導体ペレット１５に当接する。
【００１２】ここで、吸着ノズル１４が半導体ペレット
１５に当接するまでは、吸着ノズル１４とボンディング
アーム１３との間に相対移動が生じないため、貫通穴１
９の一端は、吸着ノズル１４のフランジ１７にて閉塞さ
れている。ところが、吸着ノズル１４が半導体ペレット
１５に当接した後におけるボンディングアーム１３の下
降により、図２に示すように、吸着ノズル１４はボンデ
ィングアーム１３に対して相対的に上動し、フランジ１
７とストッパ１８間に隙間ｔを生じる。従って、今まで
吸着ノズル１４のフランジ１７にて閉塞されていた貫通
穴１９からは圧縮空気が漏れ、これにより連通管２０の
圧力は急激に減少する。そこで、圧力センサ２２はこの
圧力変化を検出し、検出信号を制御装置２４に送る。制
御装置２４においては、圧力センサ２２からの検出信号
に基づいて吸着ノズル１４が半導体ペレット１５に当接
したタイミングを得てボンディングアーム１３の下降を
停止させ、以後上昇させて吸着ノズル１４にて半導体ペ
レット１５をピックアップする。なお、このタイミング
は、吸着ノズル１４への吸引力の付与や、供給部Ａの下
方に設けられる不図示の突き上げ針の上昇タイミングと
しても用いられる。
１５に当接するまでは、吸着ノズル１４とボンディング
アーム１３との間に相対移動が生じないため、貫通穴１
９の一端は、吸着ノズル１４のフランジ１７にて閉塞さ
れている。ところが、吸着ノズル１４が半導体ペレット
１５に当接した後におけるボンディングアーム１３の下
降により、図２に示すように、吸着ノズル１４はボンデ
ィングアーム１３に対して相対的に上動し、フランジ１
７とストッパ１８間に隙間ｔを生じる。従って、今まで
吸着ノズル１４のフランジ１７にて閉塞されていた貫通
穴１９からは圧縮空気が漏れ、これにより連通管２０の
圧力は急激に減少する。そこで、圧力センサ２２はこの
圧力変化を検出し、検出信号を制御装置２４に送る。制
御装置２４においては、圧力センサ２２からの検出信号
に基づいて吸着ノズル１４が半導体ペレット１５に当接
したタイミングを得てボンディングアーム１３の下降を
停止させ、以後上昇させて吸着ノズル１４にて半導体ペ
レット１５をピックアップする。なお、このタイミング
は、吸着ノズル１４への吸引力の付与や、供給部Ａの下
方に設けられる不図示の突き上げ針の上昇タイミングと
しても用いられる。
【００１３】吸着ノズル１４に吸引保持された半導体ペ
レット１５は、駆動装置１１によりボンディングアーム
１３が回動させられて不図示のリードフレーム上方に位
置付けられ、そしてボンディングアーム１３が下降して
所定の位置にボンディングされる。なお、このボンディ
ングのために吸着ノズル１４が下降する際においても、
吸着保持した半導体ペレット１５がリードフレームに接
触した以後のボンディングアーム１３の下降により、ボ
ンディングアーム１３と吸着ノズル１４との間には相対
移動を生じ、貫通穴１９から圧縮空気が漏れ、連通管２
０にて圧力変化を生じることとなる。従って、この圧力
変化を圧力センサ２２が検出することにて、吸着ノズル
１４に吸引保持された半導体ペレット１５がリードフレ
ームに当接したタイミングを得、このタイミングに基づ
いてボンディングアーム１３の下降量、つまりばね１６
の収縮量を設定し、必要なボンディング力を得るように
なっている。
レット１５は、駆動装置１１によりボンディングアーム
１３が回動させられて不図示のリードフレーム上方に位
置付けられ、そしてボンディングアーム１３が下降して
所定の位置にボンディングされる。なお、このボンディ
ングのために吸着ノズル１４が下降する際においても、
吸着保持した半導体ペレット１５がリードフレームに接
触した以後のボンディングアーム１３の下降により、ボ
ンディングアーム１３と吸着ノズル１４との間には相対
移動を生じ、貫通穴１９から圧縮空気が漏れ、連通管２
０にて圧力変化を生じることとなる。従って、この圧力
変化を圧力センサ２２が検出することにて、吸着ノズル
１４に吸引保持された半導体ペレット１５がリードフレ
ームに当接したタイミングを得、このタイミングに基づ
いてボンディングアーム１３の下降量、つまりばね１６
の収縮量を設定し、必要なボンディング力を得るように
なっている。
【００１４】上記実施例によれば、ボンディングアーム
１３と吸着ノズル１４とが相対的移動することによって
生じる連通管２０における圧力変化を圧力センサ２２に
て検出するようにしているので、フランジ１７やストッ
パ１８にごみ等が付着したとしても、ボンディングアー
ム１３に対する吸着ノズル１４の相対移動の有無を確実
に検出することができる。またこれにより、ボンディン
グアーム１３の移動量の設定が正確に行なえるため、半
導体ペレット１５にダメージを与えたり、ボンディング
力不足により不良品が発生することを防止できる。
１３と吸着ノズル１４とが相対的移動することによって
生じる連通管２０における圧力変化を圧力センサ２２に
て検出するようにしているので、フランジ１７やストッ
パ１８にごみ等が付着したとしても、ボンディングアー
ム１３に対する吸着ノズル１４の相対移動の有無を確実
に検出することができる。またこれにより、ボンディン
グアーム１３の移動量の設定が正確に行なえるため、半
導体ペレット１５にダメージを与えたり、ボンディング
力不足により不良品が発生することを防止できる。
【００１５】なお上記実施例においては、貫通孔１９の
一端を圧縮ポンプ２１と接続して正圧力を印加する例を
説明したが、真空ポンプに接続して貫通孔１９に負圧力
を印加するようにしてもよい。この時に印加させる負圧
力は、ボンディングアーム１３に対する吸着ノズル１４
の相対移動に支障を来さない程度の圧力とする必要があ
る。
一端を圧縮ポンプ２１と接続して正圧力を印加する例を
説明したが、真空ポンプに接続して貫通孔１９に負圧力
を印加するようにしてもよい。この時に印加させる負圧
力は、ボンディングアーム１３に対する吸着ノズル１４
の相対移動に支障を来さない程度の圧力とする必要があ
る。
【発明の効果】本発明によれば、ボンディングアームに
対する吸着ノズルの相対移動の有無を確実に検出するこ
とができる。
対する吸着ノズルの相対移動の有無を確実に検出するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例の模式図である。
【図２】図１とは動作状態の異なる模式図である。
１０ ピックアップ装置 １１ 駆動装置 １３ ボンディングアーム １４ 吸着ノズル １５ 半導体ペレット １６ ばね １７ フランジ １８ ストッパ １９ 貫通穴 ２０ 連通管 ２１ 圧縮ポンプ ２２ 圧力センサ ２４ 制御装置
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ペレットを吸着保持する吸着ノズ
ルと、この吸着ノズルを前記半導体ペレットのピックア
ップ方向に相対移動自在に支持するボンデイングアーム
と、このボンディングアームに対して前記吸着ノズルを
そのノズル先端方向に付勢する付勢部材と、前記ボンデ
ィングアームと前記吸着ノズルとの間に設けられ両者の
相対移動時に開孔される開孔部と、この開孔部に所定の
流体圧を印加する流体圧印加手段と、前記開孔部の開閉
に伴う前記流体圧の印加経路における圧力変化を検知す
る検知手段とを具備することを特徴とする半導体ペレッ
トのピックアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35823492A JP3137484B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 半導体ペレットのピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35823492A JP3137484B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 半導体ペレットのピックアップ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06196515A JPH06196515A (ja) | 1994-07-15 |
| JP3137484B2 true JP3137484B2 (ja) | 2001-02-19 |
Family
ID=18458239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35823492A Expired - Fee Related JP3137484B2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 半導体ペレットのピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3137484B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101786842B1 (ko) * | 2015-12-02 | 2017-10-18 | 삼우산기 주식회사 | 진동형 노즐 및 이를 구비한 소화기 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030054436A (ko) * | 2001-12-24 | 2003-07-02 | 김두철 | 픽커의 진공압력 감지장치 |
| CN103926731B (zh) * | 2014-04-01 | 2017-01-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种夹持装置及其夹持方法 |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP35823492A patent/JP3137484B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101786842B1 (ko) * | 2015-12-02 | 2017-10-18 | 삼우산기 주식회사 | 진동형 노즐 및 이를 구비한 소화기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06196515A (ja) | 1994-07-15 |
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