JP2003279520A - ガス検出装置及びガス検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ダイアフラム様の支持基板上に、
検出対象ガスの有無により電気抵抗値が変化する膜状酸
化物、及び、膜状酸化物を加熱するための通電加熱体を
形成したセンサ素子を用いて、数ｐｐｍから数ｐｐｂと
いうような低濃度の揮発性有機化合物が空気中に存在す
ることを高感度且つ簡単に検出することができるガス検
出技術を提供することを目的とする。 【解決手段】 通電加熱体への通電駆動の開始後、揮発
性有機化合物に対する膜状酸化膜の検出感度が有意に得
られる所定の経過時間範囲内の膜状酸化物の電気抵抗値
を用いて、揮発性有機化合物の検出を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜状の支持膜の
外周部又は両端部が支持部材により支持されたダイアフ
ラム構造の支持基板上に、検出対象ガスの有無により電
気抵抗値が変化する膜状酸化物、及び、前記膜状酸化物
を加熱するための通電加熱体を形成したセンサ素子と、
前記膜状酸化物の温度が低温状態から高温状態に変化す
るように、前記通電加熱体を通電駆動する通電駆動手段
と、前記膜状酸化物の温度が高温状態に変化したときの
前記膜状酸化物の電気抵抗値に基づいて、前記検出対象
ガスの有無を検出する検出部とを備えたガス検出装置及
びそのガス検出装置において実行されるガス検出方法に
関し、特に、検出対象ガスとしてのホルムアルデヒドな
どの揮発性有機化合物を検出するためのガス検出装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】上記のような揮発性有機化合物（ＶＯ
Ｃ）とは、沸点範囲が０〜３８０℃の有機化合物であ
り、このような揮発性有機化合物として、エタノールや
メタノールを含むアルコール類、ホルムアルデヒドやア
セトアルデヒドを含むアルデヒド類、及び、アセトンを
含むケトン類等があり、中でも、ホルムアルデヒド、ト
ルエン、キシレン、クロロホルム、パラジクロロベンゼ
ン等の揮発性有機化合物は、特に人間の嗅覚で感じない
ような数ｐｐｍから数ｐｐｂという濃度でも、長期に渡
りそのような雰囲気中で暮らすことで、健康被害を引き
起こすと指摘されている。そして、近年の住宅の高気密
化などに伴い、住居内において、空気中に低濃度のガス
状揮発性有機化合物が長期に渡り存在することが問題と
なっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、低濃度
の揮発性有機化合物が空気中に存在することを高感度に
検知することができる有効なガス検出装置が存在せず、
このようなガス検出装置が望まれている。

【０００４】従って、本発明は、上記の事情に鑑みて、
数ｐｐｍから数ｐｐｂというような低濃度の揮発性有機
化合物が空気中に存在することを高感度且つ簡単に検出
することができるガス検出技術を提供することを目的と
する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】〔構成１〕上記の目的を
達成するための本発明に係るガス検出装置は、特許請求
の範囲の欄の請求項１に記載した如く、薄膜状の支持膜
の外周部又は両端部が支持部材により支持されたダイア
フラム構造の支持基板上に、検出対象ガスの有無により
電気抵抗値が変化する膜状酸化物、及び、前記膜状酸化
物を加熱するための通電加熱体を形成したセンサ素子
と、前記膜状酸化物の温度が低温状態から高温状態に変
化するように、前記通電加熱体を通電駆動する通電駆動
手段と、前記膜状酸化物の温度が高温状態に変化したと
きの前記膜状酸化物の電気抵抗値に基づいて、前記検出
対象ガスの有無を検出する検出部とを備えたガス検出装
置であって、前記検出対象ガスを揮発性有機化合物と
し、前記検出部が、前記通電駆動手段による前記通電加
熱体への通電駆動の開始後、前記揮発性有機化合物に対
する前記膜状酸化膜の検出感度が有意に得られる所定の
経過時間範囲内の前記膜状酸化物の電気抵抗値を用い
て、前記揮発性有機化合物の検出を行うことを特徴とす
る。

【０００６】また、上記の目的を達成するための本発明
に係るガス検出方法は、上記構成１のガス検出装置によ
り好適に実行されるものであり、特許請求の範囲の欄の
請求項３に記載した如く、薄膜状の支持膜の外周部又は
両端部が支持部材により支持されたダイアフラム構造の
支持基板上に、検出対象ガスとしての揮発性有機化合物
の有無により電気抵抗値が変化する膜状酸化物と、前記
膜状酸化物を加熱するための通電加熱体とを形成したセ
ンサ素子を用いて、前記通電加熱体への通電駆動の開始
後、前記揮発性有機化合物に対する前記膜状酸化膜の検
出感度が有意に得られる所定の経過時間範囲内の前記膜
状酸化物の電気抵抗値を用いて、前記揮発性有機化合物
の検出を行うことを特徴とする。

【０００７】〔作用効果〕本願発明者らは、極めて低熱
容量のセンサ素子において、検出対象ガスとしての揮発
性有機化合物の有無により電気抵抗値が変化する膜状酸
化物を設け、膜状酸化物が低温である上記低温状態から
膜状酸化物が高温である高温状態とするべく、通電加熱
体への通電駆動を開始した直後において、膜状酸化物の
電気抵抗値が揮発性有機化合物が多く存在する場合には
著しく低下するということを発見し、その発見により、
通電加熱体への通電駆動の開始後、所定の経過時間範囲
内において、膜状酸化膜の検出感度が揮発性有機化合物
に対して有意に得られるという新知見を得、本発明を完
成するに至った。

【０００８】即ち、上記構成１のガス検出装置及びガス
検出方法によれば、検出部において、通電駆動手段によ
り通電加熱体への通電駆動の開始後の上記所定の経過時
間範囲内の膜状酸化物の電気抵抗値を用いて揮発性有機
化合物の検出することができる。従って、低濃度の揮発
性有機化合物が空気中に存在する場合において、その揮
発性有機化合物を、通電駆動開始後の上記所定の経過時
間範囲内における膜状酸化物の電気抵抗値の低下により
高感度に検出することができる。

【０００９】〔構成２〕本発明に係るガス検出装置は、
特許請求の範囲の欄の請求項２に記載した如く、上記構
成１のガス検出装置の構成に加えて、前記センサ素子
が、前記通電駆動手段による前記通電加熱体への通電駆
動の開始から前記膜状酸化物の温度が前記高温状態とな
るまでの応答時間が５０ミリ秒以下となるように構成さ
れ、前記検出部が、前記通電駆動手段による前記通電加
熱体への通電駆動の開始後、２０ミリ秒以上２００ミリ
秒以下の経過時間範囲内の前記酸化物電気抵抗値を用い
て、前記揮発性有機化合物の検出を行なうように構成さ
れていることを特徴とする。

【００１０】また、本発明に係るガス検出方法は、上記
構成２のガス検出装置により好適に実行されるものであ
り、特許請求の範囲の欄の請求項５に記載した如く、上
記構成１のガス検出方法の構成に加えて、前記センサ素
子が、前記通電駆動手段による前記通電加熱体への通電
駆動の開始から前記膜状酸化物の温度が前記高温状態と
なるまでの応答時間が５０ミリ秒以下となるように構成
され、前記通電駆動手段による前記通電加熱体への通電
駆動の開始後、２０ミリ秒以上２００ミリ秒以下の経過
時間範囲内の前記酸化物電気抵抗値を用いて、前記揮発
性有機化合物の検出を行なうことを特徴とする。

【００１１】〔作用効果〕前述のように、通電加熱体へ
の通電駆動の開始後から所定の経過時間範囲内におい
て、膜状酸化膜の検出感度が揮発性有機化合物に対して
有意に得られる理由は、低温状態においてセンサ素子に
吸着していた揮発性有機化合物が、通電加熱体への通電
駆動を開始して高温状態に移行することで、センサ素子
から脱離し、さらに、上記所定の経過時間範囲内におい
てその脱離した揮発性有機化合物が膜状酸化物近傍に滞
留するため、膜状酸化物近傍の揮発性有機化合物の濃度
が一時的に高くなるからであると考えられる。

【００１２】よって、センサ素子の熱容量が大きかった
り、通電加熱体の加熱量が小さかったりして、通電駆動
手段による通電加熱体への通電駆動の開始から膜状酸化
物の温度が前記高温状態となるまでの応答時間が比較的
長い場合には、センサ素子から揮発性有機化合物が少し
ずつ脱離して、上記膜状酸化物近傍において、揮発性有
機化合物の一時的な濃度上昇が極めて小さくなり、揮発
性有機化合物を高感度に検出することができなくなる。

【００１３】そこで、上記構成２のガス検出装置及びガ
ス検出方法によれば、通電駆動手段による通電加熱体へ
の通電駆動の開始から膜状酸化物の温度が高温状態とな
るまでの応答時間が５０ミリ秒以下となるように、セン
サ素子を構成することで、通電加熱体への通電駆動の開
始後２０ミリ秒経過時から通電駆動開始後２００ミリ秒
経過時までの経過時間範囲内において、センサ素子から
揮発性有機化合物が瞬時に脱離することで、膜状酸化膜
近傍において一時的な揮発性有機化合物の大幅な濃度上
昇を発生させることができ、その大幅な濃度上昇は膜状
酸化物の電気抵抗の低下として良好に検出することがで
きるので、低濃度の揮発性有機化合物でも高感度で検出
することができる。

【００１４】さらに、上記のように通電加熱体への通電
駆動を開始して瞬時に高温状態に移行ことで、膜状酸化
物近傍にセンサ素子から瞬時に脱離した揮発性有機化合
物により大幅な濃度上昇を発生させて、揮発性有機化合
物を検出する場合には、高温状態に移行する前の低温状
態において、センサ素子に充分な揮発性有機化合物が吸
着されている方が好ましい。そこで、前記通電駆動手段
を、前記膜状酸化物の温度を例えば５秒間以上低温状態
とした後に、前通電加熱体への通電駆動を開始して、前
記膜状酸化物の温度を高温状態とするように構成するこ
とが好ましい。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るガス検出装置
の実施形態について詳細を説明する。

【００１６】〔センサ素子〕図１に本発明の実施形態に
用いた薄膜状のセンサ素子２０の構造を示す。センサ素
子２０は、薄膜状の支持層５（支持膜の一例）の外周部
又は両端部がＳｉ基板１（支持部材）により支持された
ダイアフラム構造の支持基板上に、検出対象ガスの有無
により電気抵抗値が変化する膜状酸化物のガス検知層１
０、及び、ガス検知層１０を加熱するためのヒータ層７
（通電加熱体）を形成して構成されている。

【００１７】次に、センサ素子２０の製造方法を説明す
る。両面に熱酸化膜２が３００ｎｍ形成されたＳｉ基板
１の表面に、ダイアフラム構造の支持層５となるＳｉＮ
膜３及びＳｉＯ₂膜４を、順次プラズマＣＶＤ法にて、
夫々１５０ｎｍ及び１μｍ形成する。

【００１８】次に、この支持層５の上に、ＰｔＷ膜から
なるヒータ層７を０．５μｍ形成し、ウエットエッチン
グによりヒータパターンを形成する。そして、ヒータ層
７の上に、ＳｉＯ₂絶縁膜からなる絶縁層８を、スパッ
タ法により２．０μｍ形成し、さらに、ヒータ層７と後
述の電極９の接合個所をＨＦにてエッチングして窓明け
を行なう。

【００１９】次に、Ｐｔ／Ｔａ（２００ｎｍ／５０ｎ
ｍ）膜をガス検知層１０の電極１１として成膜し、それ
をウエットエッチングによりパターニングする。ここで
ＴａはＳｉＯ₂とＰｔ膜間の接合層としての役割をも
つ。

【００２０】さらに、絶縁層８及び電極１１の上に、ガ
ス検知層１０としてスパッタ法によりガス検知層１０と
してのＳｎＯ₂膜をリフトオフ法により０．１〜１０μ
ｍの厚さにて形成する。次に、アルミナ粒子にＰｔ及び
Ｐｄ触媒を７．５ｗｔ％担持させた粉末を、バインダと
ともにペーストとし、それをスクリーン印刷によりガス
検知層１０としてのＳｎＯ₂膜の表面に塗布した後に焼
成して、約３０μｍ厚の選択燃焼層１２を形成する。最
後に基板の裏面からドライエッチングによりＳｉを４０
０μｍ径（ダイアフラム直径）の大きさにて完全に除去
しダイアフラム構造とする。

【００２１】〔ガス検出方法〕次に、本発明のガス検出
装置におけるガス検出方法について図面に基づいて説明
する。ガス検出装置には、図１に示すように、ガス検知
層１０の温度が低温状態から高温状態に変化するよう
に、ヒータ層７を電極９を介して通電駆動する通電駆動
手段３０と、ガス検知層１０の温度が高温状態に変化し
たときのガス検知層１０の電気抵抗値を電極１１を介し
て検知して、検知した電気抵抗値に基づいて、検出対象
ガスとしての有無を検出する検出部３２とが設けられて
いる。

【００２２】さらに、検出対象ガスが揮発性有機化合物
としての例えばエタノールとされ、検出部３２が、通電
駆動手段３０によるヒータ層７への通電駆動の開始後、
揮発性有機化合物に対するガス検知層１０の検出感度が
有意に得られる所定の経過時間範囲内の膜状酸化物の電
気抵抗値を用いて、揮発性有機化合物の検出を行うよう
に構成されている。

【００２３】詳しくは、上記通電駆動手段３０は、ヒー
タ層７の通電駆動を停止してガス検知層１０を室温（低
温）とする低温状態と、ヒータ層７の通電駆動を実施し
てガス検知層１０を所定の温度に加熱する高温状態とを
繰り返し行なうように構成されている。さらに、上記ヒ
ータ層７の通電駆動を停止する時間（以下、ヒータＯＦ
Ｆ時間と呼ぶ。）と、上記ヒータ層７の通電駆動を実施
する時間（以下、ヒータＯＮ時間と呼ぶ。）とは、任意
の時間に設定することができる。

【００２４】また、図２に示すように、上記低温状態か
ら上記高温状態に移行するべく、ヒータ層７への通電駆
動を開始した直後において、ガス検知層１０の電気抵抗
値が揮発性有機化合物としてのエタノールが存在する場
合に著しく低下し、さらに、ヒータ層７への通電駆動の
開始後の所定の経過時間範囲内において、ガス検知層１
０の検出感度が揮発性有機化合物に対して有意に得られ
る。

【００２５】そこで、検出部３２は、上記揮発性有機化
合物の検出を行なうべく、上記通電駆動手段３０により
ヒータ層７の通電駆動を開始後の所定の経過時間範囲内
におけるガス検知層１０の電気抵抗値を検出し、揮発性
有機化合物の存在をその電気抵抗値の低下として検出す
るのである。尚、図２のグラフ図は、ヒータＯＮ時間と
ヒータＯＦＦ時間との和を３０ｓｅｃとしてＯＮ時間を
変化させ、ＯＮ時間の最後に計測したガス検知層１０の
電気抵抗値と、ＯＮ時間である経過時間との関係を示す
ものである。

【００２６】また、このようにヒータ層７への通電駆動
の開始後から所定の経過時間範囲内において、ガス検知
層１０の検出感度が揮発性有機化合物に対して有意に得
られる理由は、低温状態においてセンサ素子２０に吸着
していた揮発性有機化合物が、ヒータ層７への通電駆動
を開始して高温状態に移行することで、センサ素子２０
から脱離し、さらに、所定の経過時間範囲内においてそ
の脱離した揮発性有機化合物がガス検知層１０近傍に滞
留するため、ガス検知層１０近傍の揮発性有機化合物の
濃度が一時的に高くなるからであると考えられる。

【００２７】そこで、本ガス検出装置は、上記のような
センサ素子１０からの揮発性有機化合物の脱離をできる
だけ瞬時に行ない、揮発性有機化合物の一時的な濃度上
昇を有効に発生させるべく、センサ素子２０の熱容量が
小さなものとして、通電駆動手段３０によるヒータ層７
への通電駆動の開始からガス検知層１０の温度が高温状
態となるまでの応答時間が５０ミリ秒以下となるように
構成されている。

【００２８】具体的には、図３に示すように、高温状態
におけるガス検知層１０の設定温度を４５０℃とし、通
電駆動開始からの経過時間が約３０ｍｓｅｃとなったと
きにガス検知層１０の温度が設定温度の９０％程度とな
り、経過時間が約５０ｍｓｅｃとなったときにガス検知
層１０の温度が設定温度となるように、センサ素子部２
０が構成されている。また、このセンサ素子２０の上記
応答時間は、通電駆動開始してから上記ガス検知層１０
の温度が設定温度となるまでの５０ｍｓｅｃとなる。
尚、このときのセンサ素子２０の熱容量は、２．３ピコ
Ｊ／Ｋ程度であった。

【００２９】さらに、上記応答時間が前述のように５０
ｍｓｅｃ以下となるようにセンサ素子２０を構成した場
合に、図２に示すように、通電駆動手段３０によるヒー
タ層７への通電駆動の開始後、２０ミリ秒以上２００ミ
リ秒以下の経過時間範囲内のガス検知層１０の電気抵抗
値が、揮発性有機化合物が存在した場合に大きく低下す
ることが判る。よって、検出部３２は、この経過時間範
囲内のガス検知層１０の電気抵抗値を用いて、揮発性有
機化合物の検出を高感度で行なうことができる。

【００３０】さらに、高温状態に移行する前の低温状態
において、センサ素子２０に充分な揮発性有機化合物が
吸着されていることが望まれる。そこで、本ガス検出装
置の通電駆動手段３０は、ガス検知層１０の温度を例え
ば５秒間以上低温状態とした後に、ヒータ層７への通電
駆動を開始して、ガス検知層１０の温度を高温状態とす
るように構成されている。即ち、通電駆動手段３０は、
ヒータＯＦＦ時間を５秒以上に設定する。

【００３１】即ち、図４に示すように、ヒータＯＦＦ時
間が５ｓｅｃ以上であれば、ヒータ層７への通電駆動を
開始した直後におけるガス検知層１０の電気抵抗値の低
下を得ることができるが、ヒータＯＦＦ時間が５ｓｅｃ
未満であれば、その電気抵抗値の低下が小さいため検出
が困難となり、特に、微小の揮発性有機化合物であるエ
タノールを検出する場合には、このＯＦＦ時間をできる
だけ長くとることが好ましい。尚、図４のグラフ図は、
５０ｍｓｅｃのＯＮ時間の最後に計測したガス検知層１
０の電気抵抗値と、ＯＦＦ時間との関係を示すものであ
る。

【００３２】〔実施例と比較例との対比〕次に、本発明
に係るガス検出装置により揮発性有機化合物であるエタ
ノールを検出した場合の実施例と、従来のガス検出装置
により揮発性有機化合物であるエタノールを検出した場
合の比較例との対比結果について説明する。

【００３３】先ず、実施例におけるガス検出装置は、こ
れまで説明してきたガス検出装置の実施形態と同様のセ
ンサ素子２０を備え、さらに、通電駆動手段３０を、ガ
ス検出層１０を低温状態とするためのヒータＯＦＦ時間
を２９．９５ｓｅｃ、ガス検出層１０を高温状態とする
ヒータＯＮ時間を５０ｍｓｅｃとして、ヒータ層１７を
通電状態と否通電状態とを繰り返すように構成し、検出
部３２を、ヒータＯＮ時間の最後（即ち、ヒータ層７へ
の通電駆動を開始後５０ｍｓｅｃ経過時）のガス検知層
１０の電気抵抗値を検出するように構成した。一方、比
較例におけるガス検出装置は、実施例と同様のセンサ素
子２０を備え、さらに、ガス検出層１０を常時高温状態
とするべく、ヒータ層７へ常時通電してガス検知層１０
の電気抵抗値を検出するように構成した。

【００３４】実施例及び比較例において、センサ素子２
０に、空気のみを供給したときのガス検知層１０の夫々
の電気抵抗値、及び、０．１〜１００ｐｐｍの濃度のエ
タノール（揮発性有機化合物）を供給したときのガス検
知層１０の夫々の電気抵抗値を、夫々図５及び図６に示
す。尚、図５及び図６において、空気のみを供給したと
きのガス検知層１０の電気抵抗値を、エタノールの濃度
が０．０２ｐｐｍのポイントに記述しているが、実際に
は、空気中にエタノールは含まれていない。

【００３５】結果、実施例のガス検出装置においては、
図５に示すように、０．１ｐｐｍという超低濃度のエタ
ノールを供給した場合でも、ガス検知層１０の電気抵抗
値が大幅に低下し、その低下によりエタノールの存在を
高精度に検出することができることが確認できた。一
方、比較例のガス検出装置においては、図６に示すよう
に、実施例とは異なり、エタノールが供給されても、ガ
ス検知層１０の電気抵抗値が殆ど低下しないので、エタ
ノールを検出することが困難であることが確認できた。
従って、本発明に係るガス検出装置は、低濃度の揮発性
有機化合物の代表であるエタノールが空気中に存在する
場合において、そのエタノールを、通電駆動開始後の所
定の経過時間範囲内におけるガス検知層１０の電気抵抗
値の低下により高感度に検出することができるといえ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ガス検出装置の構造を示す概略図

【図２】ガス検知層の電気抵抗値と経過時間との関係を
示すグラフ図

【図３】ガス検知層の昇温状態を示すグラフ図

【図４】ガス検知層の電気抵抗値とヒータＯＦＦ時間と
の関係を示すグラフ図

【図５】実施例のガス検出装置によるエタノール検出結
果を示すグラフ図

【図６】比較例のガス検出装置によるエタノール検出結
果を示すグラフ図

【符号の説明】

１：Ｓｉ基板（支持部材） ３：ＳｉＮ膜 ４：ＳｉＯ₂膜 ５：支持層（支持膜の一例） ７：ヒータ層（通電加熱体） ８：絶縁層 ９：ヒータ層の電極 １０：ガス検知層（膜状酸化物） １１：ガス検知層の電極 ２０：センサ素子 ３０：通電駆動手段 ３２：検出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 檜垣 勝己 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 佐々木 博一 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 大西 久男 大阪府大阪市中央区平野町四丁目１番２号 大阪瓦斯株式会社内 (72)発明者 小知和 眞一 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内 (72)発明者 鈴木 卓弥 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G046 AA18 BA01 BA09 BB03 BE01 DB05 FB00 FB02 FE38 FE39

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄膜状の支持膜の外周部又は両端部が支
   持部材により支持されたダイアフラム構造の支持基板上
   に、検出対象ガスの有無により電気抵抗値が変化する膜
   状酸化物、及び、前記膜状酸化物を加熱するための通電
   加熱体を形成したセンサ素子と、 前記膜状酸化物の温度が低温状態から高温状態に変化す
   るように、前記通電加熱体を通電駆動する通電駆動手段
   と、 前記膜状酸化物の温度が高温状態に変化したときの前記
   膜状酸化物の電気抵抗値に基づいて、前記検出対象ガス
   の有無を検出する検出部とを備えたガス検出装置であっ
   て、 前記検出対象ガスを揮発性有機化合物とし、 前記検出部が、前記通電駆動手段による前記通電加熱体
   への通電駆動の開始後、前記揮発性有機化合物に対する
   前記膜状酸化膜の検出感度が有意に得られる所定の経過
   時間範囲内の前記膜状酸化物の電気抵抗値を用いて、前
   記揮発性有機化合物の検出を行うガス検出装置。
2. 【請求項２】 前記センサ素子が、前記通電駆動手段に
   よる前記通電加熱体への通電駆動の開始から前記膜状酸
   化物の温度が前記高温状態となるまでの応答時間が５０
   ミリ秒以下となるように構成され、 前記検出部が、前記通電駆動手段による前記通電加熱体
   への通電駆動の開始後、２０ミリ秒以上２００ミリ秒以
   下の経過時間範囲内の前記酸化物電気抵抗値を用いて、
   前記揮発性有機化合物の検出を行なうように構成されて
   いる請求項１記載のガス検出装置。
3. 【請求項３】 薄膜状の支持膜の外周部又は両端部が支
   持部材により支持されたダイアフラム構造の支持基板上
   に、検出対象ガスとしての揮発性有機化合物の有無によ
   り電気抵抗値が変化する膜状酸化物と、前記膜状酸化物
   を加熱するための通電加熱体とを形成したセンサ素子を
   用いて、 前記通電加熱体への通電駆動の開始後、前記揮発性有機
   化合物に対する前記膜状酸化膜の検出感度が有意に得ら
   れる所定の経過時間範囲内の前記膜状酸化物の電気抵抗
   値を用いて、前記揮発性有機化合物の検出を行うガス検
   出方法。
4. 【請求項４】 前記センサ素子が、前記通電駆動手段に
   よる前記通電加熱体への通電駆動の開始から前記膜状酸
   化物の温度が前記高温状態となるまでの応答時間が５０
   ミリ秒以下となるように構成され、 前記通電駆動手段による前記通電加熱体への通電駆動の
   開始後、２０ミリ秒以上２００ミリ秒以下の経過時間範
   囲内の前記酸化物電気抵抗値を用いて、前記揮発性有機
   化合物の検出を行なう請求項３記載のガス検出方法。