JP2003276189A

JP2003276189A - 液滴吐出装置およびインクジェット記録ヘッド

Info

Publication number: JP2003276189A
Application number: JP2002078636A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Sanada; 和男眞田
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2002-03-20
Filing date: 2002-03-20
Publication date: 2003-09-30

Abstract

(57)【要約】【課題】液滴吐出後のリフィルを迅速に行うことができ
る、単位時間当たりの吐出回数すなわち周波数特性の良
好な液滴吐出装置、および、これを利用するインクジェ
ット記録ヘッドを提供する。【解決手段】一方向に配列されたノズルと、ノズルから
液滴を吐出するノズルの個々に対応して形成された吐出
手段と、吐出手段の個々に対応して形成された個別流路
と、吐出手段を挟むようにして個別流路の両端に形成さ
れた、複数の個別流路に共通の共通流路と、一方の共通
流路から他方の共通流路に向かって、個別流路に吐出液
体の流れを形成する液体流形成手段とを有することによ
り、前記課題を解決する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット等
に利用される液滴吐出装置の技術分野に属し、詳しく
は、液滴吐出の周波数特性が良好な液滴吐出装置、およ
び、この液滴吐出装置を利用するインクジェット記録ヘ
ッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】ヒータによる加熱でインクの一部を急速
に気化させ、その膨張力等によってインク液滴をノズル
から吐出させる、サーマルインクジェットが各種のプリ
ンタに利用されている（特開昭４８−９６２２号公報、
同５４−５１８３７号公報等参照）。

【０００３】インクジェットによる画像記録を行うイン
クジェット記録ヘッドは、一般的に、一方向に配列され
た多数のノズル、個々のノズルに対応して配置されるイ
ンク吐出手段としてのヒータ、各吐出手段（ノズル）に
インクを供給する個別のインク流路、全個別インク流路
にインクを供給する共通インク流路を有して構成され
る。また、共通インク流路には、プリンタ（ヘッドユニ
ット）に装着されるインクタンクから、インクジェット
記録ヘッドが装着されるフレームに形成されるインク供
給路を経て、インクが供給される。

【０００４】このようなインクジェット記録ヘッドで
は、単位時間当たりにインクを吐出できる回数が多いこ
と、すなわち、優れた周波数特性を有することが要求さ
れる。この周波数特性を律速する要因の１つとして、リ
フィルの速度、すなわち、液滴を吐出した後に、気泡が
消滅して、ヒータ上がインクで満たされて適正なインク
液滴が吐出できる状態になるまでの時間が上げられる。

【０００５】リフィル速度は、ヒータ（ノズル）までの
インク供給路（管路）の形状、インクの表面張力、給液
系の負圧による回復力、給液系の周波数特性（負荷の周
波数特性）によって決定されてしまう。また、リフィル
速度を向上できない要因として、インクが有する表面張
力のため回復力（気泡の形成によってヒータ上から押し
やられたインクが戻ろうとする力）が弱いこと、リフィ
ルによるインクの流れおよび衝突の慣性負荷が大きいこ
と（場合によっては共振点が有る）、リフィルは加減速
過程であること等が挙げられる。

【０００６】このような問題点を解決し、リフィル速度
を向上させるために、インク供給路の形状や距離、イン
クタンクの内部圧等、各種の検討が行われている。しか
しながら、近年のインクジェットの高記録密度化に伴
い、インクジェット記録ヘッドもさらに高精細化する傾
向にあり、これらの検討によるリフィル速度の向上に
は、限界がある。

【０００７】一方で、リフィル速度を向上させるための
機構も各種検討されている。例えば、特開平８−１３２
６１３号公報には、全てのノズルに共通するインク液室
の一面をダイアフラムで形成し、このダイアフラムを圧
電素子で押圧することにより、リフィル速度を向上する
インクジェット記録ヘッドが開示されている。しかしな
がら、このような圧電素子等を用いる方法では、コスト
が高くなると共に、吐出が高周波数化するにしたがっ
て、制御が困難になってしまう。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
従来技術の問題点を解決することにあり、圧電素子等の
アクチュエータを用いることなく、液滴吐出後のリフィ
ルを迅速に行うことができ、単位時間当たりの吐出回数
すなわち周波数特性の良好なインクジェット記録ヘッド
等を実現できる液滴吐出装置、および、この液滴吐出装
置を利用するインクジェット記録ヘッドを提供すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の液滴吐出装置は、一方向に配列されたノズ
ルと、前記ノズルから液滴を吐出する、前記ノズルの個
々に対応して形成された吐出手段と、前記吐出手段の個
々に対応して形成された個別流路と、前記吐出手段を挟
むようにして個別流路の両端に形成された、複数の個別
流路に共通の共通流路と、一方の共通流路から他方の共
通流路に向かって、前記個別流路に吐出液体の流れを形
成する液体流形成手段とを有することを特徴とする液滴
吐出装置を提供する。

【００１０】このような本発明の液滴吐出装置におい
て、個別流路における吐出液体の流れが０．８ｍ／ｓ以
上であるのが好ましく、また、上流側の共通流路におけ
る吐出液体の圧力が大気圧近傍であるのが好ましく、さ
らに、吐出手段から下流側の共通流路までの距離が、上
流側の共通流路から吐出手段までの距離の３倍以上であ
るのが好ましい。

【００１１】さらに、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドは、前記本発明の液滴吐出装置によって、インク液滴
を吐出する事を特徴とするインクジェット記録ヘッドを
提供する。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の液滴吐出装置、お
よび、この液滴吐出装置を用いる本発明のインクジェッ
ト記録ヘッドについて、添付の図面に示される好適実施
例を基に詳細に説明する。

【００１３】図１に、本発明の液滴吐出装置を利用する
本発明のインクジェット記録ヘッドの一例の概念図を示
す。なお、図１において、（Ａ）は、インクジェット記
録ヘッドをインクの吐出方向から見た図（平面図）、
（Ｂ）は、図１（Ａ）のｂ−ｂ線断面図である。

【００１４】図示例のインクジェット記録ヘッド１０
（以下、記録ヘッド１０とする）は、ヒータによってイ
ンクの一部を急速に加熱／気化して気泡を生成させ、そ
の膨張力等によってノズルからインク（インク液滴）を
吐出する、いわゆるサーマルインクジェットの記録ヘッ
ドであって、例えば、半導体装置の製造技術を利用し
て、シリコン基板等に形成される。このような記録ヘッ
ド１０は、基本的に、基板１２と、基板１２上に形成さ
れる隔壁１４と、隔壁１４の上に積層されるオリフィス
プレート２０とを有して構成される。インクを吐出する
ノズル２２は、一方向に配列されて、オリフィスプレー
ト２０に穿孔される。さらに、基板１２上には、ノズル
２２の配列を挟んで対向するように、全ノズル２２に共
通するインク流路である第１共通流路１６および第２共
通流路１８が設定される。なお、図１（Ａ）において
は、記録ヘッド１０の構成を明瞭にするために、オリフ
ィスプレート２０は省略し、ノズル２２のみを点線で示
す。

【００１５】基板１２には、ノズル２２に対応して、イ
ンク吐出手段であるヒータ２４が形成される。さらに、
図示は省略するが、基板には、ヒータ２４を駆動するＬ
ＳＩや絶縁層等、公知のサーマルタイプのインクジェッ
ト記録ヘッドが有する各種の部材が形成されている。ヒ
ータ２４やＬＳＩ等は、サーマルタイプのインクジェッ
ト記録ヘッドで用いられている、公知のものでよい。

【００１６】基板１２上には、個々のノズル２２に対応
する個別流路２６を形成するための隔壁１４が形成され
る。前述のように、記録ヘッド１０では、全ノズル２２
（すなわち、全個別流路２６）に共通の第１共通流路１
６および第２共通流路１８が、ノズル２２の配列を挟ん
で対向するように設定される。隔壁１４は、第１共通流
路１６から第２共通流路１８に向かうように延在して、
各ノズル２２を分離するようにノズル２２間に配置され
る板状の形状を有するもので、個々のノズル２２（ヒー
タ２４）にインクを供給するための個別流路２６を形成
する。すなわち、図示例においては、隔壁１４が形成さ
れた領域（図１（Ｂ）に矢印Ｌ０およびＬ１で示す領
域）が個別流路２６であり、その外方が第１共通流路１
６および第２共通流路１８となる。

【００１７】後述するが、図示例においては、作動時
に、個別流路２６には第１共通流路１６から第２共通流
路１８に向かうインクの流れ（以下、インク流とする）
が形成される。それに対応して、図示は省略するが、第
１共通流路１６には、インクを流入する流入口が形成さ
れ、第２共通流路１８には、インクを排出する排出口が
形成される。

【００１８】一方向に配列してノズル２２を穿孔された
オリフィスプレート２０は、この隔壁１４に載置される
ようにして、基板１２と所定の間隙を有して基板１２の
上に配置される。すなわち、図示例の記録ヘッド１０に
おいては、隔壁１４は、インクの吐出位置において、基
板１２とオリフィスプレート２０との間隙を適正に保
つ、スペーサの作用も有している。

【００１９】記録ヘッド１０は、基本的に、上記構成を
有するものであるが、本発明にかかる記録ヘッド１０に
おいては、作動時（例えば、インク吐出時、および、画
像データの供給に応じて吐出が可能である状態の時）に
は、全個別流路２６に、第１共通流路１６から第２共通
流路１８に向かうインク流を形成する。本発明の記録ヘ
ッド１０においては、個別流路２６にインク流を形成す
ることにより、圧電素子等のアクチュエータを使用する
ことなく、リフィル速度を向上して、周波数特性の良好
な（インクジェット）記録ヘッド１０を実現している。

【００２０】ここで、個別流路２６にインク流を形成す
る記録ヘッド１０において、ノズル２２からのインク漏
れ、および、ノズル２２からの気泡混入を防止するため
には、共通流路や吐出位置等の各位置の圧力を適正に保
つ必要がある。具体的には、図１（Ｂ）に示されるよう
に、大気圧をＰａ、記録ヘッド１０のノズル耐圧（気泡
が混入しない内外圧差の限界）をＰ３、記録ヘッド１０
の吐出位置における圧力をＰ２とすると、前記ノズル２
２からのインク漏れや空気流入を防止するためには、下
記式を満たす必要がある。Ｐａ＞Ｐ２＞Ｐ３また、上流側の第１共通流路１６内の圧力（すなわち、
個別流路２６の入口の圧力）をＰ１、下流側の第２共通
流路１８内の圧力（同出口の圧力）をＰ０、第１共通流
路１６から吐出位置（ノズル２２の中心線）までの距離
をＬ１、同吐出位置から第２共通流路１８までの距離を
Ｌ０とすると、前記圧力Ｐ２は、下記式で示される。Ｐ２＝Ｐ０＋（Ｐ１−Ｐ０）×Ｌ０／（Ｌ０＋Ｌ１）

【００２１】一般的なサーマルヘッドに対応して、吐出
体積を４ｐＬ（リットル）、吐出周波数を３０ｋＨｚと
すると、インクの吐出量は、４ｐＬ×３０ｋＨｚ＝１．２×１０^-10ｍ³／ｓとなる。これを一般的なサーマルヘッドの個別流路に対
応する断面半径が１０μｍの管に通すとして、流速は、［１．２×１０^-10ｍ³／ｓ］／［（１０μｍ）²×
π］＝０．３８ｍ／ｓとなる。すなわち、インクを最大限に吐出させるとし
て、半径１０μｍの管路に対して、これだけのインク供
給能力すなわちインク流を形成できればよい。

【００２２】すなわち、本発明の記録ヘッド１０におい
ては、このようなインク流を確保できる圧力差を、Ｐ１
とＰ０との間に生じさせればよい。ここで、インクジェ
ットのような細管中の粘性流体の運動については、エネ
ルギーロスが大きいためにベルヌーイの法則が成り立た
ない。そのため、エネルギー保存の法則が成り立つとし
て、ポワズイユの法則で考えるのが好ましい。ノズル２
２の存在を無視し、かつ、インク粘度ηを３ｃＰ＝３ｍ
Ｐａ＊ｓ、管路長Ｌを２００μｍとすると、前述のよう
に、流速ｖが０．３８ｍ／ｓ、流路半径ｒが１０μｍで
あるので、Ｐ１からＰ０に前記流量のインクを流すため
に必要な圧力差ΔＰは、ポワズイユの法則より、 ΔＰ＝（８ｖηＬ）／ｒ²＝１８ｋＰａ

【００２３】記録ヘッド１０においては、Ｐ０＝Ｐ１−（８ｖη（Ｌ１＋Ｌ０））／ｒ² であるので、１気圧を約１０⁵Ｐａとして、Ｐ１を大気
圧、Ｐ０を大気圧の２０％負圧とすれば、必要なインク
供給量を確保できる０．３８ｍ／ｓ以上のインク流を個
別流路２６に形成できる。

【００２４】本発明者の検討によれば、全体的な流れの
影響を無視して十分なインク供給量を確保できるように
するためには、上記流速を２倍以上確保するのが好まし
く、従って、Ｐ０の負圧を大気圧の４０％以上（すなわ
ち、Ｐ０を大気圧の６０％以下とする）とするのが好ま
しい。以上の点を考慮すると、本発明においては、１つ
の個別流路２６に１つのノズル２２を有し、かつ、共通
流路１６および１８と個別流路とを含む一筆書きを描く
ようなインク流路を形成し、かつ、個別流路２６でのイ
ンク流速ｖを０．８ｍ／ｓ上とするのが好ましい。

【００２５】前述の式「Ｐａ＞Ｐ２＞Ｐ３」において、
Ｐａ＞Ｐ２は、ノズル２２からのインク漏れを発生しな
いための条件である。ここで、Ｐ２＝Ｐ０＋（Ｐ１−Ｐ０）×Ｌ０／（Ｌ０＋Ｌ１）＝Ｐ０＋（Ｐａ−Ｐ０）×Ｌ０／（Ｌ０＋Ｌ１）である。従って、前述のように、Ｐ１を大気圧としＰ０
の負圧を大気圧の４０％（すなわち、Ｐ１−Ｐ０＝大気
圧の４０％）とする際には、Ｐ１＝Ｐａとすれば、Ｐａ
＞Ｐ２は自動的に達成される。逆に、Ｐ０＝大気圧とす
るとＰ２は大気圧以上となる。そのため、Ｐ１およびＰ
０共に中途半端な圧力に制御する必要が生じ、その結
果、式「Ｐａ＞Ｐ２＞Ｐ３」の範囲にＰ２を入れるため
には、Ｐ１およびＰ０の圧力制御が複雑になり、好まし
くない。

【００２６】以上の結果より、良好な制御性で前述の式
「Ｐａ＞Ｐ２＞Ｐ３」を満たすために、個別流路２６の
上流側の共通インク流路１６の圧力Ｐ１を大気圧近傍と
するのが好ましい。

【００２７】また、式「Ｐａ＞Ｐ２＞Ｐ３」において、
Ｐ２＞Ｐ３は、ノズル２２から空気が逆流しないための
条件である。ここで、液の表面張力をＴ、ノズルの半径
をａとすると、ノズル耐圧Ｐ３は、Ｐ３＝２Ｔ／ａで表すことができる。一般的なインクおよびインクジェ
ット記録ヘッドに則して、Ｔ＝４０ｍＮ／ｍ、ノズル半
径ａ＝１０μｍとすると、上記式より、Ｐ３＝８ｋＰａ
（大気圧の約８％）となる。

【００２８】従って、前述のように、Ｐ０を大気圧の−
４０％程度、Ｐ１を大気圧程度として、Ｐ２を例えば大
気圧−５％とするためには、例えば、Ｌ１＝３０μｍ、
Ｌ０＝２１０μｍ程度の、Ｌ１：Ｌ０＝１：７程度に設
定するのが好ましい。以上の点から、Ｌ１＋Ｌ０は、そ
れによって生じる圧損が大気圧の２０％、好ましくは倍
の４０％を超える長さを有し、かつ、Ｌ１による圧損が
大気圧の１０％以下であるのが好ましく、これを達成す
るためには、Ｌ０の長さをＬ１の３倍以上とするのが好
ましい。

【００２９】なお、本発明の記録ヘッド１０において
は、非作動時すなわちインク流速ｖが０ｍ／ｓの時に
は、Ｐ１およびＰ０共に、大気圧以下の圧力Ｐ４（Ｐ４
は、Ｐ１とＰ０とで異なってもよい）に移行する。ある
いは、この際に、Ｐ４＝Ｐ１としてもよい。なお、Ｐ４
は、通常のインクジェット記録ヘッドにおける共通流路
の圧力相当の負圧状態でよい。

【００３０】以上の説明では、インク粘度ηを３ｃＰと
したが、これ以上の高粘度のインク（高粘度液体）で
は、Ｐ０をより負圧にしなければ、必要な流速を得るこ
とができない。一方で、ノズル２２から気泡が混入しな
い条件は、変わらない。従って、インクが高粘度になっ
ても、上記条件を満たすことにより、個別流路２６にい
てインク流を好適に生成させ、リフィル速度が速い、周
波数特性の良好な記録ヘッド１０が実現できる。

【００３１】また、本発明においては、個別流路２６の
インク流が、インクを吐出させるための気泡の成長に影
響を与える可能性を有する。しかしながら、前述のよう
に、必要なインク供給量を確保できる個別流路２６の流
速は約０．４ｍ／ｓ以上であり、記録ヘッド１０の処理
能力が１０倍高速化しても流速は４ｍ／ｓである点を考
慮すれば、本発明における個別流路２６のインク流速は
０．４ｍ／ｓ〜４ｍ／ｓ程度と考えられる。これに対
し、インクジェット記録ヘッドにおけるインク吐出速度
は、一般的に、１０ｍ／ｓ〜３０ｍ／ｓ程度であり、本
発明で形成するインク流速に比して、大幅に高速であ
る。従って、インク流とインク吐出との速度のベクトル
を足し合わせると、インクの飛翔方向にｔａｎθ＝０．
１程度の定常的なズレが生じるにすぎず、インクの吐出
そのものには、何ら問題が生じることはない。

【００３２】なお、本発明の記録ヘッド１０において
は、インク流によって、生成した気泡が、下流に流れて
しまう可能性がある。このような気泡の移動に対応し
て、ノズル２２より下流の個別流路２６に対応する位置
において、気泡を排出するためのエア抜きをオリフィス
プレート２０に形成してもよく、また、個別流路２６や
下流の第２共通流路１８に脱泡機能を組み込んでもよ
い。

【００３３】このような個別流路２６のインク流の形成
手段には、特に限定はなく、前記圧力関係等を満たした
上で、インク流を形成できるものであれば、例えば、共
通流路１６および共通流路１８を含む閉回路で前記イン
ク流を形成するポンプおよびインク循環経路、上流側の
共通流路１６を略気密状態として此処の圧力調整を行う
加圧手段等、各種の構成が利用可能である。好ましい一
例として、図２に示すインク流の形成手段が例示され
る。

【００３４】図２に示される例では、第１サブタンク３
０および第２サブタンク３２のインクを入れる２つのサ
ブタンクと、第１ポンプ３４および第２ポンプ３６の２
つのポンプと、圧力測定手段３８とを用いて、圧力Ｐ１
およびＰ０を調整（図２では、左が上流の第１共通流路
１６のＰ１、右が下流の第２共通流路１８のＰ０になっ
ている）して、個別流路２６に、第１共通流路１６から
第２共通流路１８に至るインク流を生成する。

【００３５】図示例において、第１サブタンク３０は、
オーバーフロー管４０からのインクのオーバーフローに
よって、液面を記録ヘッド１０におけるインク液面（す
なわち、隔壁１４の上面）に保つようにされたタンク
で、ライン４２によって底部で第１共通流路１６と連通
され、かつ、開放管４４によって大気開放される。この
第１サブタンク３０には、吐出した分のインクを系内に
補充し、かつ、前記オーバーフローによる液面を保つよ
うに、第１ポンプ３４によって、インクタンク４６のイ
ンクが循環供給される。なお、第１サブタンク３０から
オーバーフローされたインクは、オーバーフロー管４０
からインクタンク４６に戻される。従って、大気開放さ
れている第１サブタンク３０の圧力と、第１共通流路１
６の圧力Ｐ１とは、ほぼ等しく、かつ、ほぼ大気圧に保
持することができる。

【００３６】圧力測定手段３８は、第２サブタンク３２
内の圧力を水銀柱等で検出する、公知の圧力計である。
一方、第２サブタンク３２は、ライン４８によって底部
で第２共通流路１８と接続されている、気密なタンクで
ある。さらに、第２サブタンク３２内のインクは、第２
ポンプ３６によって第１サブタンク３０に送れるように
なっている。

【００３７】図示例において、圧力測定手段３８は、主
管３８ａの下端近傍の分岐管３８ｂによって前記第２サ
ブタンク３２から第１サブタンク３０へのインク供給ラ
インに接続されている。主管３８ａは、分岐管３８ｂよ
りも若干上において薄膜ｆａで、また、分岐管３８ｂは
薄膜ｆｂで、共に、閉塞されたような状態となってい
る。主管３８ａ内は真空で、薄膜ｆａよりも上には、Ｐ
０の適正圧力に応じた量（例えば、前述の大気圧から−
４０％の負圧であれば、４５６ｍｍＨｇ相当）の水銀が
封入され、薄膜ｆａと薄膜ｆｂの間には水が封入されて
いる。従って、圧力測定手段３８の水銀液面の高さで、
圧力Ｐ０が適正であるか否かが判定できる。すなわち、
適正圧よりも低い場合には、薄膜ｆが前記供給ライン側
に引っ張られて液面が所定位置よりも下がり、逆に、高
い場合には、薄膜ｆが押されて液面が上る。

【００３８】この圧力測定手段３８による測定結果に応
じて、第２ポンプ３６を駆動することによって、サブタ
ンク３２内の圧力を所定圧に保つことができ、すなわ
ち、水銀液面を適正位置に保つことにより、第２共通流
路１８の圧力Ｐ０を所定圧（例えば、前記大気圧から−
４０％の負圧）に保つことができる。

【００３９】これにより、前述の式「Ｐａ＞Ｐ２＞Ｐ
３」を保った状態で、第１共通流路１６の圧力Ｐ１（大
気圧）と第２共通流路１８の圧力Ｐ０との間に差圧を設
け、個別流路２６において、第１共通流路１６から第２
共通流路１８に向かう、例えば流速０．８ｍ／ｓのイン
ク流を形成することができる。

【００４０】このような本発明の記録ヘッド１０は、例
えば、電源ｏｎによって、Ｐ１およびＰ０を前述の負圧
Ｐ４にした後、作動可能になった状態で、圧力の調整を
開始して、第１共通流路１６から第２共通流路に向かう
インク流を生成して、作動状態とする。この状態で、画
像データが供給されたら、以下は通常のインクジェット
記録ヘッドと同様に、ノズル２２の配列方向と直交する
方向に、受像紙等の受像媒体と記録ヘッド１０とを相対
的に移動しつつ、記録画像に応じてヒータ２４を変調駆
動してインクを吐出し、受像媒体に画像を記録する。な
お、前述のように、本発明の記録ヘッド１０において
は、前記インク流を有するので、リフィル速度が早く、
すなわち、良好な周波数特性でのインクジェットによる
画像記録が可能である。また、記録ヘッド１０において
は、所定時間以上、画像データが供給されなかった場合
には、次の画像記録指示が来るまで、インク流を停止し
て、Ｐ１およびＰ０を所定の圧力Ｐ４として待機するよ
うにしてもよい。

【００４１】以上、本発明の液滴吐出装置およびインク
ジェット記録ヘッドについて詳細に説明したが、本発明
は、上記実施例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいの
は、もちろんである。

【００４２】例えば、図示例では、共通流路は、全ての
個別流路に共通のものであったが、本発明はこれに限定
はされず、個別流路（ノズル）を複数のブロックに分
け、各ブロック毎に共通流路およびインク流の形成手段
を設けてもよく、あるいは、インク流の形成手段のみを
全個別流路に共通としてもよく、あるいは、上流側の共
通流路はブロックに分けて下流側は全個別流路に共通
（あるいはその逆）としてもよい。あるいは、共通流路
は全ての個別流路に共通にして、ノズル配列方向に複数
のインク流形成手段を設けてもよい。さらに、以上の例
は、本発明の液滴吐出装置をインクジェット記録ヘッド
に利用した例であるが、本発明はこれに限定はされず、
各種の液滴吐出装置に利用可能であり、インクジェット
記録ヘッド以外にも、微小なパターンで接着剤を塗布す
る装置等にも、好適に利用可能である。

【００４３】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、インクジェット記録ヘッド等において、インク
室を押圧するアクチュエータ等を設けることなく、リフ
ィルの速度を高速にすることができ、従って、周波数特
性の良好なインクジェット記録ヘッド等を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は本発明のインクジェット記録ヘッド
の一例の概略平面図、（Ｂ）は、（Ａ）のｂ−ｂ線断面
図である。

【図２】本発明のインクジェット記録ヘッドに利用さ
れるインク流の形成方法の一例の概念図である。

【符号の説明】

１０（インクジェット）記録ヘッド１２基板１４隔壁１６第１共通流路１８第２共通流路２０オリフィスプレート２２ノズル２４ヒータ２６個別流路３０第１サブタンク３２第２サブタンク３４第１ポンプ３６第２ポンプ３８圧力測定手段４０オーバーフロー管４２，４８ライン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一方向に配列されたノズルと、前記ノズルから液滴を吐出する、前記ノズルの個々に対
応して形成された吐出手段と、前記吐出手段の個々に対応して形成された個別流路と、前記吐出手段を挟むようにして個別流路の両端に形成さ
れた、複数の個別流路に共通の共通流路と、一方の共通流路から他方の共通流路に向かって、前記個
別流路に吐出液体の流れを形成する液体流形成手段とを
有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】個別流路における吐出液体の流れが０．８
ｍ／ｓ以上である請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】上流側の共通流路における吐出液体の圧力
が大気圧近傍である請求項１または２に記載の液滴吐出
装置。
【請求項４】吐出手段から下流側の共通流路までの距離
が、上流側の共通流路から吐出手段までの距離の３倍以
上である請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出装
置。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載の液滴吐出
装置によって、インク液滴を吐出することを特徴とする
インクジェット記録ヘッド。