JP2003272102A - 磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置および検査方法 - Google Patents
磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置および検査方法Info
- Publication number
- JP2003272102A JP2003272102A JP2002077083A JP2002077083A JP2003272102A JP 2003272102 A JP2003272102 A JP 2003272102A JP 2002077083 A JP2002077083 A JP 2002077083A JP 2002077083 A JP2002077083 A JP 2002077083A JP 2003272102 A JP2003272102 A JP 2003272102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- signal
- frequency
- conversion means
- error
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B27/00—Editing; Indexing; Addressing; Timing or synchronising; Monitoring; Measuring tape travel
- G11B27/36—Monitoring, i.e. supervising the progress of recording or reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B2220/00—Record carriers by type
- G11B2220/20—Disc-shaped record carriers
- G11B2220/25—Disc-shaped record carriers characterised in that the disc is based on a specific recording technology
- G11B2220/2508—Magnetic discs
- G11B2220/2516—Hard disks
Landscapes
- Signal Processing For Digital Recording And Reproducing (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
ィスクまたは磁気ヘッドの検査において、信号の誤差を
補償し、高精度な検査を実現する。 【解決手段】 信号分配経路間のオフセットおよびゲイ
ン差と、複数A/D変換回路間のサンプリングクロックの
位相ずれと、信号経路の伝達特性と位相特性の周波数依
存性を検出する手段によりそれぞれに起因する誤差を検
出し、その検出値を用いた補正によりデータ値補償を行
う。
Description
回路の並列動作を用いた磁気ディスクまたは磁気ヘッド
の検査において、信号分配経路間のオフセットおよびゲ
イン差と、複数A/D変換回路間のサンプリングクロッ
クの位相ずれと、信号経路のゲインと位相特性の周波数
依存性を検出および補償し、検査する装置ならびに方法
に関する。
装置において外部記憶装置として磁気記録装置が用いら
れてきた。特に磁気ディスク装置は、近年における磁性
体または磁気ヘッドの改良や信号処理技術の向上等によ
り記録密度の高密度化、記録周波数の高周波化および磁
気ディスク装置の低価格化がすすみ、情報処理装置の高
速化および低価格化の一端を担っていることはよく知ら
れている。
して記録・再生したデータに対して高信頼性であること
が要求されており、磁気ディスク装置に用いる磁気記録
媒体すなわち磁気ディスクあるいは磁気ヘッドの検査
は、実使用周波数で磁気ディスクあるいは磁気ヘッドを
用いて試験データの記録・再生により検査を行う方式が
よく用いられている。
は磁気ヘッドの検査装置においては、試験データの記録
・再生周波数の高周波化が求められるとともに、再生し
た試験データを詳細にかつ高精度に検査または測定した
いという要望が強くなってきており、この高速・高精度
を両立する検査装置方式として、再生した試験データを
A/D変換回路によってディジタル値データに変換し、
変換後のディジタル値データをデータ処理することによ
り、試験データの再生または磁気ディスクの磁気特性を
高精度に算出する方式がある。この方式において高周波
の試験データを用いた検査を行うためには、A/D変換
回路のサンプリング周波数の高周波化が必要である。そ
こでサンプリング周波数fADCのA/D変換回路をN個並
列処理することにより、見かけ上のサンプリング周波数
をN倍に高周波化する方法がとられている。図6に4個
(N=4)のA/D変換回路の並列処理を用いた磁気デ
ィスクまたは磁気ヘッドの検査装置を示す。
ッドの検査装置100では、ディスク回転部103において磁
気ディスクであるディスク11を保持して回転動作させ、
書き込みデータ生成部102において検査に用いる試験デ
ータを生成して出力し、該書き込みデータ生成部102の
該出力を書込アンプ101において増幅して出力し、ディ
スク11において試験目標とするトラック上にR/Wヘッド1
2を配置して、該書込アンプ101の該出力をもとに該R/W
ヘッド12の磁界を変化させて磁気特性を有する該ディス
ク11に対して書き込み動作させて回転動作中の該ディス
ク11の試験目標トラックに該試験データを円周方向に記
録する記録動作と、回転動作する該ディスク11に記録し
た試験データに基づく磁界の変化をR/Wヘッド12におい
て検出し、該検出信号を再生アンプ13により増幅してデ
ィスク再生信号を出力し、該ディスク再生信号をディス
ク再生信号分配回路14により4分配(N=4)し、4分
配された該ディスク再生信号をサンプリングクロック分
配回路19から出力する独立なサンプリングクロック信号
を用いて4個(N=4)配設したA/D変換回路15〜18に
より各々独立に離散値に変換して出力し、該A/D変換
回路15〜18が出力する離散値をメモリ20〜23に保持し、
該メモリ20〜23に保持された離散値化した該ディスク再
生信号データをもとにデータ処理部27において該ディス
ク再生信号に対して目標とする測定値を演算処理等によ
って算出して出力し、該データ処理部27により出力した
該ディスク再生信号の測定値をもとに解析処理部28にお
いて検査対象とする該ディスクが正常であるか否かを演
算して判定処理する再生動作または判定動作とを行うこ
とで、検査対象とする磁気記録媒体すなわち磁気ディス
ク11または磁気ヘッド12の検査を行う。
ル信号処理を行うDSP(Digital Signal Processor)等
の論理回路によって構成され、メモリ20〜23に保持した
ディスク再生信号の離散値をもとに補間処理等を行っ
て、任意のディスク再生信号パルスに対してパルス毎の
振幅値または平均振幅値等を演算処理して算出する。保
持したディジタル値に対して高速フーリエ変換(FFT)
または離散フーリエ変換(DFT)等の周波数解析演算処
理を行うことで磁気ディスクまたは磁気ヘッドに対して
詳細な検査を行うことが可能である。
換回路を並列処理する構成によりディスク再生信号に対
して時間軸方向で精細にサンプリングすることで、例え
ばディスク再生信号の急峻な変動を高精度に離散値に変
換することが可能となり、磁気ディスクの特性等をディ
ジタル演算処理により算出する際に高精度な離散値デー
タを用いることで磁気記録媒体すなわち磁気ディスクま
たは磁気ヘッドの高精度な検査が可能となる。本従来例
に関する技術は特開2001-184602に開示されている。
ィスク再生信号を高速にディジタル値に変換するため
に、ディスク再生信号をディスク再生信号分配回路でN
分配した後、各サンプリング周波数fADCの位相差を1/(N
×fADC)としたN個のA/D変換回路で独立にディジタ
ル値に変換し、そのディジタル値を時系列に並べてデー
タ処理演算を行っていた。しかし、ディスク再生信号分
配回路の出力部では部品およびIC内プロセスのばらつ
きによりオフセット電圧およびゲイン差が生じ、また、
各A/D変換回路のアパーチャばらつきやサンプリング
クロック分配後の遅延特性のばらつきが原因で、理想の
サンプリングクロック位相差においてずれが生じ、各デ
ジタルデータで誤差が発生するため、測定精度が劣化す
るという問題があった。また、再生信号がA/D変換さ
れるまでの信号経路の伝達特性と位相特性が、測定周波
数によって変化することも、測定精度劣化の大きな問題
となっている。
ットおよびゲイン差と、複数A/D変換回路間のサンプ
リング周波数の位相ずれと、信号経路の伝達特性と位相
特性の周波数依存性を検出する手段と、その検出値より
データ値補償を行う手段を備えた磁気記録媒体すなわち
磁気ディスクまたは磁気ヘッド検査装置および検査方法
を提供することである。
するために磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験データ
を記録し、記録した試験データを該磁気ヘッドにより再
生し、再生した試験データをN個の信号に分配し、N個
の変換手段により離散値に変換し、該離散値を用いて所
望の演算処理を行うことで該磁気記録媒体または該磁気
ヘッドの特性検査を行う磁気記録媒体または磁気ヘッド
の検査装置において、発振周波数finが可制御である第
1の基準信号発生源と、該基準信号発生源を用いて作成
した基準信号と該磁気ヘッドで再生した試験データを切
替えて出力する信号切り替え手段と、1個の変換手段が
変換を行うためのタイミング信号の周波数fADCを独立に
制御する第2の基準信号発生源と、該N個の変換手段の
並列制御部で発生する誤差を演算処理により検出した値
を保持して試験データ演算処理時に該検出値を用いて該
並列制御部で発生する誤差を補償するデータ処理手段を
備えるようにした。
験データを記録し、記録した試験データを該磁気ヘッド
により再生し、再生した試験データをN個の信号に分配
し、N個の変換手段により離散値に変換し、該離散値を
用いて所望の演算処理を行うことで該磁気記録媒体また
は該磁気ヘッドの特性検査を行う磁気記録媒体または磁
気ヘッドの検査方法において、第1の基準信号発生源に
より発振周波数finが制御可能な基準信号を発生させる
工程と、該基準信号発生源を用いて作成した基準信号と
該磁気ヘッドで再生した試験データを切替えて出力する
工程と、1個の変換手段が変換を行うためのタイミング
信号の周波数fADCを独立に制御する第2の基準信号発生
源により1個の変換手段が変換を行うためのタイミング
信号の周波数fADCを独立に制御する信号を発生させる工
程と、該N個の変換手段の並列制御部で発生する誤差を
演算処理により検出した値を保持して試験データ演算処
理時に該検出値を用いて該並列制御部で発生する誤差を
補償するデータ処理工程とを有するようにした。
面を参照して本発明を説明する。図1に、本発明の第1
の実施形態を示す。
ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置の概略図である。
磁気記録媒体すなわち磁気ディスクの検査の場合は、標
準磁気ヘッドを用いて概磁気ディスクに試験データの記
録を行い、磁気ヘッドの検査の場合は、概磁気ヘッドに
より、標準磁気ディスクに試験データを記録する。その
後の試験データ再生において、R/Wヘッド12の次段の信
号切替回路2は、タイミング制御部25からの信号を受け
て、R/Wヘッド12が磁気ディスク11から読み出した信号
と、基準信号発生回路1の出力信号である基準信号の、
どちらかの信号を再生アンプ13に出力する回路である。
ここで基準信号発生回路1は任意波形を出力する回路で
あり、制御部29からの信号によって制御可能である。信
号切替回路2は、前述の測定誤差要因の検出時には基準
信号を選択する。
びゲイン差と、4個(N=4)A/D変換回路15〜18の
間のサンプリングクロックの位相ずれの検出方法とその
補償方法について述べる。まず検出方法から説明する。
これらの値に対する測定誤差要因は、周波数finの正弦
波を基準信号としてデータ処理を行うことにより検出す
ることができる。この場合、これらのデータ処理方法は
二通りある。第1の方法は基準信号周波数finとA/D
変換回路単体のサンプリング周波数fADCがコヒーレント
な関係を満足するように設定をした上で、各A/D変換回
路15〜18で変換したディジタル値ごとにFFTまたはDFT演
算処理を行うことで検出する方法であり、第2の方法は
各A/D変換回路15〜18で変換した二つのディジタルデ
ータ値を用いて連立方程式を解くことにより検出する方
法である。
換回路15〜18において、基準信号周波数finとA/D変
換回路単体のサンプリング周波数fADCが、後述するコヒ
ーレントな関係を満足するように設定した上でFFT(ま
たはDFT)演算処理を行うことにより各信号分配経路の
オフセット電圧、ゲイン差および位相ずれを検出する方
法である。このコヒーレントな関係とは、窓関数処理を
用いずに、高速かつ高精度にFFT(またはDFT)演算処理
をするために必要な条件である。以下、本方式について
詳細に説明する。
での波形再生可能な周波数の上限であるfADC/2以下の正
弦波周波数でかつディスク再生信号に含まれる範囲の周
波数とする。 数1に基準信号発生回路1が出力する基準
信号電圧vinの時間関数を示す。ここでA0は振幅、tは時
間である。
(VDCA)、ゲイン差(1+△xA)および位相(φA)が生じた
場合、A/D変換回路(#A)15の入力部での信号電圧v
inAは数2となる。
ラムリークが発生しないようにするためには、基準信号
周波数finとサンプリング周波数fADCとサンプリングデ
ータ数pおよび入力正弦波周期数mは数3に示すコヒー
レントな関係を満足するように設定することが必要とな
る。但しpとmは互いに素な整数となるように設定しな
ければならない。また、以降の説明では、FFT演算処理
を可能とするためにp =2nとして説明を行うが、DFT演
算処理を行う場合はp ≠2nとしても良い。
25MHzと設定することによりコヒーレントな関係は成立
する。
算を行う場合、窓関数等を用いることによりスペクトラ
ムリークを低減できるが、コヒーレントな関係を満足し
た場合ほど高精度な演算は不可能であり、かつ処理時間
は長くなるため,本発明の演算処理がより優れている。
エ変換値FL(L=0,…,N/2)は変換範囲内にL周期含まれ
る余弦信号を表しており、その振幅は2×| FL |、位相
はarg(FL)により算出できる。また|F0|は直流成分を表
す。よってvinAの振幅A0(1+△xA) は2×| Fm |、位相
φAはarg(Fm)+π/2を求めればよいこととなる。これよ
り、各A/D変換回路(#A)15、(#B)16、(#C)17、(#D)1
8の入力部でのオフセット電圧は数4で、ゲイン差は数5
で算出でき、サンプリングクロックの位相ずれは、位相
φA,φB,φC,φDを算出した後、数6により時間軸でのず
れ(△t)として求めることができる。同式中のφ
(BA,CA,DA)は#Bと#A、#Cと#Aまたは#Dと#Aの各サ
ンプリングクロック間の理想位相差である。また、同式
では#Aを基準として#B,#C,#Dの位相ずれを求めてい
るが、他のA/D変換回路を基準にしても良い。
用いて連立方程式を解き、最初のサンプリングデータを
始点としたときの各A/D変換回路15〜18の入力部での位
相および振幅を算出する。
ディジタル値を読み取ることで、各オフセット電圧
VDCA、VDCB、VDCC、VDCDを検出する。その後、前述した
数1の基準信号を入力し、ゲイン差および位相を求め
る。ここでA/D変換回路(#A)15の入力部で、オフセ
ット電圧(VDCA)、ゲイン差(1+△xA)および位相φAが
生じている場合、A/D変換回路(#A)15が出力するk番
目のディジタル値SAk(k=0,…,2n-1)は数7で表わされ
る。
φAを変数とした連立方程式を解き、サンプリングデー
タ(SA0)を始点としたときのゲイン差(1+△x)と位相
φAを求める。#B、#C、#Dにおいても同様にしてk=0
のサンプリングデータ(SB0,SC0,SD0)を始点としたと
きのゲイン差と位相を求めた後、前述した数6により位
相ずれ(時間表記)を算出する。
フセットおよびゲイン差と、N個A/D変換回路間のサ
ンプリングクロックの位相ずれの検出値は、データ処理
部27の演算処理による検出後に例えば制御部29内にある
メモリ30に保持される。
は基準信号における補償方法について説明する。
各メモリ20〜23から読み出されるディジタル値データご
とにデータ処理部27で演算処理をすることにより行う。
これは例えば、データ処理部27は、#AのA/D変換回
路15の後段メモリ20に保持されたディジタル値を読みこ
むと同時に、制御部中のメモリからVDCAとゲイン差(1
+△xA)を読み込み、メモリ20から読込んだデータから
一律にオフセット電圧値VDCAを減算した後、ゲイン差
(1+△xA)の逆数を乗じるようにデータ処理を行うこ
とで補償できる。他の#B、#C、#Dについても同様の
データ処理により補償を行う。
グクロックの位相ずれによる誤差の補償について説明す
る。従来データ処理部27では、メモリ20〜23から送られ
た全データを各A/D変換回路間が理想のサンプリング
クロック位相差で変換したデータとして扱い、例えばS
A0→SB0→SC0→SD0→SA1→SB1…の順で並び替えた後、
各データが時間間隔1/(4×fADC)の等時間間隔のデータ
として、データ処理を行っていたため、サンプリングク
ロック位相ずれによる測定誤差が問題になっていた。そ
こで本発明では、データ処理部はメモリから送られた全
データをSA0→SB0→SC0→SD0→SA1→SB1…の順で並び替
えた後、先程検出したサンプリングクロックの位相ずれ
△t(B,C,D)を制御部29中のメモリ30から読込み、例えば
SA0を基準として、△tB+1/(4×fADC)後にSB0を、△tC
+2/(4×fADC)後にSC0を、△tD+3/(4×fADC)後にS
D0を、そして1/(fADC)後にSA1を不等時間間隔のデータ
として整理する。その後、この不等時間間隔データを時
間軸上の関数として任意関数を補間関数として用いて補
間を行い、等時間間隔のデータを算出することにより、
サンプリングクロックの位相ずれによる測定誤差の補償
を行う。ここで補間に用いる補間関数として例えば高次
スプライン補間や線形補間が挙げられるが、特に制限は
無い。
検出し、補償する方法を説明する。ここで検出および補
償の対象となるのは、再生アンプ13、ディスク再生信号
分配回路14、A/D変換回路15〜18中の入力バッファと
それらの回路を接続する基板配線等の伝達特性の周波数
依存性である。この検出には、前述した方式により信号
分配経路間のオフセットおよびゲイン差と、4個(N=
4)のA/D変換回路15〜18間のサンプリングクロック
の位相ずれを既に検出していることが前提であり、この
ときの基準信号周波数は任意周波数finであるとする。
また、伝達特性の周波数依存性を検出する際、基準信号
発生回路1の出力信号を後段回路に入力するように信号
切り替え回路2の設定を行う。
in2に設定する。ここで設定周波数fin 2は試験データに
含まれる全ての周波数が対象で、かつ前述したコヒーレ
ントな関係が成り立つように制御を行う。基準信号発生
回路1の出力信号は、再生アンプ13を通過後、ディスク
再生信号分配回路14で4分配(N=4)され、並列制御
された4個(N=4)のA/D変換回路15〜18へ入力さ
れる。各A/D変換回路15〜18は、サンプリングクロック
分配回路19が出力するサンプリングクロックの立ちあが
りあるいは立下りタイミングにより、入力アナログ信号
をディジタル値へ変換する。数8に各A/D変換回路#A〜#
Dの入力アナログ信号を示す。
ときのfin2での伝達特性であり、この値は周波数によっ
て変化する。
ル値に変換されたデータはメモリ20〜23に保持され、そ
の後制御部29の制御信号を受けてデータ処理部27へ出力
される。データ処理部27は、メモリ20〜23から受け取っ
た全データに関して、前述したようにして信号分配経路
間のオフセットおよびゲイン差と4個(N=4)A/D
変換回路間15〜18のサンプリングクロックの位相ずれに
よる測定誤差の補償を行う。この補償後の時系列に並び
替えたデータを用いて、データ処理部27は例えばFFT
(またはDFT)演算によって振幅A0×△Afin2を算出し、
さらに同算出値をA 0で割ることにより△Afin2を求め
る。ここで、各信号経路でのFFT演算データ範囲におい
てコヒーレントな関係が成立しているため、時系列に並
び替えた全データのFFT演算もコヒーレントな関係が成
り立ち、△Afin2を高精度に算出することが可能であ
る。同様の処理を試験データに含まれる周波数範囲につ
いて行うことにより、図2に示すような△Afin2つまり
信号経路の伝達特性の周波数依存性を検出することがで
きる。ここで△Afin2は周波数に関わらず1であること
が理想であり、これからのずれが誤差の原因となる。検
出した値は制御部29中のメモリ30に保持される。
補償する方法について説明する。制御部29からの制御信
号により信号切替回路2はin1端子とout2端子を接続
し、磁気ヘッドにより再生した試験データを再生アンプ
に入力する。再生アンプで増幅された試験データは、並
列動作する4個(N=4)のA/D変換回路15〜18によ
りディジタル値に変換され、そのディジタル値はメモリ
20〜23に保持される。データ処理部27はメモリ20〜23に
保持されたディジタル値を読込んでデータ処理を行う。
まず該ディジタル値に含まれる信号分配経路間のオフセ
ット電圧、ゲイン差およびサンプリングクロック間の位
相ずれによる誤差を前述の方法により補償し、その後の
全データに関してFFT(またはDFT)演算処理等の周波数
解析により、例えば試験帯域範囲の各周波数成分のフー
リエ係数FLを求め、メモリ30に保持していた伝達特性の
周波数依存性の検出値を読込み、各フーリエ係数を同周
波数の△Afin2で補正(ここでは除算)することにより
補償することが出来る。
検出し、補償する方法について説明する。ここで検出お
よび補償の対象となるのは、再生アンプ13、ディスク再
生信号分配回路14、A/D変換回路15〜18中入力バッフ
ァ等の位相特性の周波数依存性である。
配経路間のオフセットおよびゲイン差と、4(N=4)
個A/D変換回路15〜18のサンプリングクロックの位相
ずれを既に検出していることが前提である。このときの
基準信号は任意周波数finとする。また、位相特性の周
波数依存性を検出する際、基準信号発生回路1の出力信
号を再生アンプ13に入力するように信号切替部2の設定
を行う。検出時、基準信号発生回路1は二つ以上の周波
数の信号(fina,finb,finc, を出力する。これらの周波
数の最低周波数をfinaとするとfinb,finc,…は必ずその
整数倍であり、かつそれぞれの位相関係が可制御であ
る。いま、基準信号発生回路1はfina,finb(finb=2×f
ina)のともに位相0である二つの周波数を基準信号とし
て出力しているとする。この基準信号は信号切替回路2
と再生アンプ13を通過してディスク再生信号分配回路14
で4分配(N=4)され、A/D変換回路15〜18でディ
ジタル値に変換したあとメモリ20〜23に保持される。こ
こで基準信号中の最低周波数finaと、各A/D変換回路
15〜18のサンプリングクロック周波数fADCと、測定範囲
内の各A/D変換回路15〜18の出力ディジタル値データ
数2n(nは1以上の整数)およびfinaの周期数mがコヒ
ーレントな関係を満足するように制御する。データ処理
部27は、まずメモリ20〜23に保持していたデータを読込
み、各A/D変換回路15〜18の出力ディジタル値データ
を時系列に並び替える。この際全出力データに含まれる
位相特性の周波数依存性以外の誤差要因を補償する。こ
の並べ替え後の全データからFFT(またはDFT)演算処理
により各周波数成分を示すフーリエ変換値FL(L=0, 2
n-1)を求め、前述のように各周波数の位相値を算出す
る。この位相算出値から基準信号中の複数周波数の位相
ずれを求めることができ、例えばfinaを基準としたとき
のfinbの位相ずれ△φbaを数9で求めることが可能であ
る。
行うことにより、図3に示す信号経路の位相特性の周波
数依存性を検出することができる。位相ずれは周波数に
関わらず0であることが理想であり、これからのずれが
誤差の原因となるる。検出した値は制御部29中のメモリ
30に保持される。
償方法を説明する。制御部29からの制御信号により信号
切替部2はin1端子とout2端子を接続し、磁気ヘッド12
により再生した試験データを再生アンプ13に入力する。
再生アンプ13で増幅された試験データは、並列動作する
4個(N=4)のA/D変換回路15〜18によりディジタ
ル値に変換され、そのディジタル値はメモリ20〜23に保
持される。データ処理部27はメモリ20〜23に保持された
ディジタル値を読込んでデータ処理を行う。まず該ディ
ジタル値に含まれる信号分配経路間のオフセット電圧、
ゲイン差およびサンプリングクロック間の位相ずれによ
る誤差を前述の方法により補償し、その後の全データに
関してFFT(またはDFT)演算処理等の周波数解析により、
例えば試験帯域範囲の各周波数成分のフーリエ係数F
L(L=0,…,2n-1)を求め、メモリに保持していた位相特
性の周波数依存性の検出値を読込み、各周波数の位相か
ら位相ずれを補正(ここでは減算)することにより補償
することが出来る。
形態図を示す。同図は本発明の磁気記録媒体すなわち磁
気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置のもう一つの例
の概略図を示している。R/Wヘッド12の次段の信号切替
回路2は、タイミング制御部25からの信号を受けて、R/W
ヘッド12が磁気ディスク11から読み出した信号と基準信
号発生回路4の出力信号である基準信号のどちらかの信
号を再生アンプ13に出力する回路である。ここで基準信
号発生回路4は任意波形を出力する回路であり、信号伝
達特性または位相特性測定部5からの信号によって可制
御である。また、制御部29からの制御信号により信号切
替部6を切り替えることにより、信号伝達特性および位
相特性測定部5が測定する信号分配経路を選択する。波
形測定部7はサンプリングクロック分配回路19の出力信
号を時間軸で測定するための手段である。信号切替回路
2は、前述の測定誤差要因の検出時にはin2を選択し、基
準信号を再生アンプ13に出力する。
トおよびゲイン差と、信号経路の伝達特性と位相特性の
周波数依存性の検出方法について述べる。
のオフセット電圧VDCA、VDCB、VDCC、VDCDは、0を入力
してA/D変換回路15〜18でディジタル値への変換を行
い、各信号経路ごとのディジタル値を読み取り、この値
を制御部29中のメモリ30に保持することで検出できる。
伝達特性および位相特性の周波数依存性は、基準信号発
生回路4が、前述の数1に示す基準信号電圧vin(理想振幅
値A0、周波数fin)を出力するように制御し、A/D変換
回路15〜18の入力部での信号sig1〜sig4を信号伝達特性
または位相特性測定部5により直接読み取ることにより
検出できる。例えばA/D変換回路(#A)15の入力部の信号
について検出を行う場合、信号切替部6は制御部からの
信号を受けて、信号伝達特性または位相特性測定部5が
信号sig1を読み取ることができるように切り替わる。信
号伝達特性または位相特性測定部5は、例えばネットワ
ークアナライザ等の測定器と同様の機能を有しており、
制御信号により基準信号の周波数finを変化させながら
基準信号発生回路1出力部からA/D変換回路15〜18入
力部までの測定を行い、図5に示すような伝達特性およ
び位相特性の周波数依存性を調べる。同図(a)の縦軸
は測定点での振幅、(b)の縦軸は測定点での信号の位
相、横軸は(a)(b)ともに基準信号周波数finであ
る。同図(a)の振幅値が平坦な部分の値は、ゲイン差
を含む振幅値A0(1+△xA)を表わしており、この値を読
み取ることにより、ゲイン差(1+△xA)を検出すること
ができ、検出したゲイン差は制御部中のメモリに保持さ
れる。このゲイン差検出値は、補償時にデータ処理部27
に出力され、全データにゲイン差の逆数1/(1+△xA)を
乗じる補正を行うことにより補償することができる。ま
た、この振幅値は全周波数にわたって振幅値A0で平坦な
ことが理想だが、伝達特性の周波数依存性がある場合、
図5(a)に示すようにfinが高周波になるに伴って信
号振幅が小さく(あるいは大きく)なる。ある周波数fi
n2における振幅値をAfin2とすると、fin2での検出値はA
0(1+△xA)/Afin2であり、これを全周波数範囲で検出
し、検出した伝達特性の周波数依存性は制御部29中のメ
モリ30に保持される。この伝達特性の周波数依存性検出
値は、補償時にデータ処理部27に出力され、前述の第1
実施例と同様の方法で補正することにより補償できる。
図5(b)は位相特性の周波数依存性を示す図である。
位相特性も周波数に関わらず一定値を示すことが理想で
あり、信号伝達特性または位相特性測定部5は、周波数f
inごとに理想値からの位相差△φfinを読み出し、制御
部29中のメモリ30に保持することで検出を行う。この位
相特性の周波数依存性検出値は、補償時にデータ処理部
27に出力され、前述の第1実施例と同様の方法で補正す
ることにより補償できる。
グクロックの位相ずれによる誤差の検出方法について説
明する。図4中の波形測定部7は信号の電圧波形を時間軸
で測定可能であり、サンプリングクロック分配回路19が
出力する各A/D変換回路のサンプリングクロックCLK1
〜CLK4を同時測定することにより、サンプリングクロッ
クの位相ずれ△t(時間表記)として測定することが可
能である。測定した位相ずれ値は、検出値として制御部
29中のメモリ30に保持され、補償時にデータ処理部27に
出力され、前述の第1実施例と同様の方法で補正するこ
とにより補償できる。
クの検査は、磁気ディスクに標準磁気ヘッドにより試験
データを記録し、記録した試験データを該磁気ヘッドに
より再生し、再生した試験データをN個の信号に分配
し、N個の変換手段により離散値に変換し、該離散値を
用いて所望の演算処理を行うことで該磁気ディスクの検
査方法において、下記の工程を含むことを特徴として実
施される。
スクに試験データの記録を行い、磁気ヘッドの検査の場
合は、概磁気ヘッドにより、標準磁気ディスクに試験デ
ータを記録する。その後の試験データ再生において、第
1の基準信号発生源1により発振周波数finが制御可能な
基準信号を発生させる工程と、該基準信号発生源を用い
て作成した基準信号と該磁気ヘッドで再生した試験デー
タを切替えて出力する工程と、1個の変換手段が変換を
行うためのタイミング信号の周波数fADCを独立に制御す
る第2の基準信号発生源3により1個の変換手段が変換
を行うためのタイミング信号の周波数fADCを独立に制御
する信号を発生させる工程と、該N個の変換手段の並列
制御部で発生する誤差を演算処理により検出した値を保
持して試験データ演算処理時に該検出値を用いて該並列
制御部で発生する誤差を補償するデータ処理工程とから
なり、上記の検出・補償工程を含まない従来の検査方法
に比し、本発明で述べた補正により、検査精度の向上を
実現することができる。
検出方法を以下に纏めて示す。具体的処理プロセスの説
明は上記の実施例にて述べた通りである。まず、オフセ
ット誤差は、コヒーレントサンプリングを用いたFET演
算または0入力により検出する。ゲイン差の誤差はコヒ
ーレントサンプリングを用いたFET演算または、連立方程
式、または、伝達特性測定部による測定値から検出す
る。位相ずれの誤差も同様にコヒーレントサンプリング
を用いたFET演算または、連立方程式、または、伝達特性
測定部による測定値から検出する。伝達特性の周波数依
存性および位相特性の周波数依存性も同じくコヒーレン
トサンプリングを用いたFET演算または、連立方程式、ま
たは、伝達特性測定部による測定値から検出する。
用いて補正・補償する方法を以下に纏めて示す。具体的
処理プロセスの説明は上記の実施例にて述べた通りであ
る。まず、オフセットは各A/D変換回路(処理手段)か
らの出力データ毎に、検出値を該誤差値で一律に補正す
る。上記実施例では、一律に減算を行って補正した。ゲ
でイン差も同様に各A/D変換回路(処理手段)からの出
力データ毎に、検出値を該誤差値で一律に補正する。上
記実施例では、一律に減算を行って補正した。位相ずれ
は不等間隔サンプルデータとして扱い、補間により等間
隔サンプリングデータを算出し補正し、補償した。伝達
特性の周波数依存性は、各周波数の測定値振幅値により
補正する。上記実施例では、乗算により補正した。位相
特性の周波数依存性は、各周波数の測定位相値を補償す
る。
により標準磁気ディスクに試験データを記録する。その
後の試験データ再生においては、磁気ディスクの検査と
同様な工程によって検査を行うことが出来る。
ットおよびゲイン差と、複数A/D変換回路間のサンプ
リングクロックの位相ずれと、信号経路の伝達特性およ
び位相特性の周波数依存性の誤差値を検出して、この該
誤差値を用いて測定値を補正し補償することにより磁気
ディスクあるいは磁気ヘッドの検査を高精度で実施する
ことが可能となる。
号分配経路間のオフセットおよびゲイン差と、複数A/
D変換回路間のサンプリングクロックの位相ずれと、信
号経路の伝達特性および位相特性の周波数依存性を検出
および補償することにより、高精度な磁気ディスクおよ
び磁気ヘッドの検査測定を実現できる。
ある。
ある。
依存性を示す図である。
置を示す概略図である。
ク発生回路、4…基準信号発生回路、5…信号伝達特性お
よび位相特性測定部、6…信号切替部、7…波形測定部、
11…ディスク、12…R/Wヘッド、13…再生アンプ、14…
ディスク再生信号分配回路、15,16,17,18…A/D変換回
路、19…サンプリングクロック分配回路、20,21,22,23
…メモリ、24…メモリ制御信号分配回路、25…タイミン
グ制御部、26…可変周波数発振回路、27…データ処理
部、28…解析処理部、29…制御部、30…メモリ、100…
磁気ディスクまたは磁気ヘッド検査装置、101…書込ア
ンプ、102…書き込みデータ生成部、103…ディスク回転
部、104…並列制御部。
Claims (26)
- 【請求項1】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デー
タを記録し、記録した試験データを該磁気ヘッドにより
再生し、再生した試験データをN個の信号に分配し、N
個の変換手段により離散値に変換し、該離散値を用いて
所望の演算処理を行うことで該磁気記録媒体の特性検査
を行う磁気記録媒体の検査装置において、発振周波数f
inが可制御である第1の基準信号発生源と、該基準信号
発生源を用いて作成した基準信号と該磁気ヘッドで再生
した試験データを切替えて出力する信号切り替え手段
と、1個の変換手段が変換を行うためのタイミング信号
の周波数fADCを独立に制御する第2の基準信号発生源
と、該Nの個変換手段の並列制御部で発生する誤差を演
算処理により検出した値を保持して試験データ演算処理
時に該検出値を用いて該並列制御部で発生する誤差を補
償するデータ処理手段を備えることを特徴とする磁気デ
ィスクの検査装置。 - 【請求項2】前記信号切り替え手段はケーブルの脱着機
構を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気ディ
スクの検査装置。 - 【請求項3】請求項1記載の該N個変換手段の並列制御
部で発生する誤差値を演算処理により補償するデータ処
理手段において、該誤差値はN個に分配した信号のオフ
セット誤差、N個に分配した信号のゲイン差、およびN
個の変換手段を並列制御する際の離散化タイミング信号
の位相ずれの、少なくとも一つでありであり、N個の各
変換手段について、演算処理を行うデータ範囲内の離散
値データ数pと基準信号周期数mと該基準信号周波数f
inと前記タイミング信号の周波数fADCがpとmが互いに
素な整数でかつ(数式) fin/fADC=m/pを満足するように
制御し、該演算処理として高速フーリエ変換(FFT)演算
または離散フーリエ変換(DFT)演算を行うことによって
検出した該誤差値を、あるいは、基準信号値として0を
入力してN個の各変換手段で変換した離散値を保持する
ことによって検出した誤差値を用いて、N個の各変換手
段により変換した離散値ごとに一律に該誤差値を補正す
ることで補償を行うことを特徴とする磁気ディスクの検
査装置。 - 【請求項4】請求項1記載の該N個の変換手段の並列制
御部で発生する誤差値を演算処理により補償するデータ
処理手段において、該誤差値はN個に分配した信号のゲ
イン差およびN個の変換手段を並列制御する際の離散化
タイミング信号の位相ずれの少なくともいずれかであ
り、概誤差値を演算処理により検出する処理手段は正弦
波信号を基準信号としてN個の各変換手段が変換した連
続した2つの離散値を用いて、該誤差値を含んだ正弦波
信号の連立方程式を解くことにより、上記誤差値を検出
し、該誤差値を用いて、N個の各変換手段により変換し
た各離散値から一律に該検出値を補正することで該誤差
値の補償を行う手段を有することを特徴とする磁気ディ
スクの検査装置。 - 【請求項5】請求項1記載の該N個変換手段の並列制御
部で発生する誤差値を演算処理により補償するデータ処
理手段において、該誤差値は信号の伝達特性の周波数依
存性であり、該基準信号周波数finは試験周波数範囲の
全周波数で、かつ演算処理を行うデータ範囲内のN個の
各変換手段の離散値データ数pと基準信号周期数mと該
基準信号周波数finと該fADCが、pとmが互いに素な整
数でかつ(数式) fin/fADC=m/pを満足するように制御
し、該演算処理として高速フーリエ変換(FET)演算ま
たは離散フーリエ変換(DFT)演算を行い算出した各周
波数での信号振幅を算出することで、該誤差値を検出
し、振幅の周波数依存性の補償は、高速フーリエ変換
(FET)演算または離散フーリエ変換(DFT)演算処理に
より離散化した試験データに含まれる各周波数の振幅を
算出し、該算出値に対し上記で検出した該誤差値により
補正を行うことで、該誤差値の補償を行うことを特徴と
する磁気ディスクの検査装置。 - 【請求項6】請求項1記載の該N個変換手段の並列制御
部で発生する誤差値を演算処理により検出し、誤差補償
をおこなうデータ処理手段において、該誤差値は信号の
位相特性の周波数依存性であり、該基準信号周波数fin
は試験周波数範囲の全周波数で、かつ演算処理を行うデ
ータ範囲内のN個の各変換手段の離散値データ数pと基
準信号周期数mと該基準信号周波数finと該fADCが、p
とmが互いに素な整数でかつ(数式) fin/fADC=m/pを
満足するように制御し、該演算処理として高速フーリエ
変換(FFT)演算または離散フーリエ変換(DFT)演算を
行い各周波数での信号位相を算出することで、該誤差値
を検出し、位相特性の周波数依存性の補償は高速フーリ
エ変換(FFT)演算または離散フーリエ変換(DFT)演算
処理により離散化した試験データに含まれる各周波数の
位相を算出し、該算出値に対し上記で検出した該誤差値
による補正をおこなうことで、該誤差値の補償を行うこ
とを特徴とする磁気ディスクの検査装置。 - 【請求項7】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デー
タを記録するとともに、記録した試験データを該磁気ヘ
ッドにより再生し、再生した試験データをN個の信号に
分配し、N個の変換手段により離散値に変換し、該離散
値を用いて演算処理を行うことで該磁気記録媒体の特性
検査を行う磁気記録媒体の検査装置において、発振周波
数finが可制御である第1の基準信号発生源と、該基準信
号発生源を用いて作成した基準信号と該磁気ヘッドで再
生した試験データを切替えて出力する第1の信号切り替
え手段と、1個の変換手段が変換を行うためのタイミン
グ信号の周波数fADCを独立に制御する第2の信号発生源
と、N個の各変換手段の入力部での信号の伝達特性と位
相特性を測定する手段と、該伝達特性と位相特性の測定
手段が測定する信号を切り替える第2の信号切り替え手
段と、N個の各変換手段が離散化を行うためのタイミン
グ信号の波形測定を行う手段と、該伝達特性と位相特性
の測定手段および該タイミング信号の波形測定を行う手
段により該N個変換手段の並列制御部で発生する誤差を
検出した値を保持する手段と、試験データ演算処理時に
該検出値を用いて該並列制御部で発生する誤差の補償す
るデータ処理手段とを備えることで該磁気記録媒体の特
性検査を行うことを特徴とする磁気ディスクの検査装
置。 - 【請求項8】請求項7記載の磁気記録媒体の検査装置に
おいて、ケーブルの脱着またはプローブ測定点を変える
ことにより第1あるいは第2の信号を切り替える切り替
え手段を有することを特徴とする磁気ディスクの検査装
置。 - 【請求項9】請求項7記載の該N個の変換手段の並列制
御部で発生する誤差値をN個の各変換手段の入力部での
信号の伝達特性と位相特性で検出する手段において、該
誤差値はN個に分配した信号間のゲイン差と、伝達特性
および位相特性の周波数依存性であり、該伝達特性と位
相特性を測定する手段は第1の基準信号発生源を制御し
て試験データに含まれる全周波数finを出力するととも
にその伝達特性と位相特性を測定し、該測定値と理想値
を用いて該誤差値の検出を行い、かつ、検出した該誤差
値を用いて、N個の各変換手段により変換した各離散値
から一律に該検出値を補正することで該誤差値の補償を
行うことを特徴とする磁気ディスクの検査装置。 - 【請求項10】請求項7記載の該N個の変換手段の並列
制御部で発生する誤差値を演算処理により補償するデー
タ処理手段において、該誤差値は信号の伝達特性の周波
数依存性であり、高速フーリエ変換(FFT)演算または
離散フーリエ変換(DFT)演算処理により離散化した試
験データに含まれる各周波数の振幅を算出し、該算出値
に対し、該伝達特性と位相特性を測定する手段は第1の
基準信号発生源を制御して試験データに含まれる全周波
数finを出力するとともにその伝達特性と位相特性を測
定し、該測定値と理想値を用いて該誤差値の検出を行っ
て検出した該誤差値を用いて補正することで、該誤差値
の補償を行うことを特徴とする磁気ディスクの検査装
置。 - 【請求項11】請求項7記載の該N個の変換手段の並列
制御部で発生する誤差値を演算処理により補償するデー
タ処理手段において、該誤差値はN個の変換手段を並列
制御する際の離散化タイミング信号の位相ずれであり、
該N個の変換手段の並列制御部で発生する誤差値をN個
の各変換手段が離散化を行うためのタイミング信号の波
形測定により検出する手段において、該誤差値はN個の
変換手段を並列制御する際の離散化タイミング信号の位
相ずれであり、該タイミング信号の波形測定を行う手段
は、N個の各変換手段が離散化を行うためのタイミング
信号を同時に同一時間軸で測定し、該各タイミング信号
が理想位相差からどれだけずれているかを算出して保持
することにより、該誤差値の検出を行った該誤差値を用
いて、N個の各変換手段により変換した各離散値を該検
出値を用いて補間処理することで該誤差値の補償を行う
ことを特徴とする磁気ディスクの検査装置。 - 【請求項12】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デ
ータを記録し、記録した試験データを該磁気ヘッドによ
り再生し、再生した試験データをN個の信号に分配し、
N個の変換手段により離散値に変換し、該離散値を用い
て所望の演算処理を行うことで該磁気ディスクの特性検
査を行う磁気記録媒体の検査方法において、第1の基準
信号発生源により発振周波数finが制御可能な基準信号
を発生させる工程と、該基準信号発生源を用いて作成し
た基準信号と該磁気ヘッドで再生した試験データを切替
えて出力する工程と、1個の変換手段が変換を行うため
のタイミング信号の周波数fADCを独立に制御する第2の
基準信号発生源3により1個の変換手段が変換を行うた
めのタイミング信号の周波数fADCを独立に制御する信号
を発生させる工程と、該N個の変換手段の並列制御部で
発生する誤差を演算処理により検出した値を保持して試
験データ演算処理時に該検出値を用いて該並列制御部で
発生する誤差を補償するデータ処理工程とを有すること
を特徴とする磁気ディスクの検査方法。 - 【請求項13】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デ
ータを記録し、記録した試験データを該磁気ヘッドによ
り再生し、再生した試験データをN個の信号に分配し、
N個の変換手段により離散値に変換し、該離散値を用い
て所望の演算処理を行うことで該磁気記録媒体の特性検
査を行う磁気記録媒体の検査方法であって、該磁気記録
媒体から読み出した試験信号波形を補正するための値を
得る第1の工程と、該得られた補正値を用いて該試験信
号波形を補正する第2の工程を有し、該第1の工程で
は、基準信号発生源を用いて作成した基準信号のアナロ
グ情報をデジタル値に変換するN個の変換手段と、該N
個の変換手段のそれぞれにおいて該基準信号をサンプリ
ングするためのタイミングを決定するタイミング信号と
を用いて、該基準信号の振幅と該N個の変換手段の各
々で得られた信号の振幅を比較することにより第1の補
正値となる振幅の補正係数値を得て、かつ該N個の変
換手段のうち予め決めておいた変換手段で得られた信号
と他の変換手段で得られた信号の位相を比較することに
より第2の補正値となる位相補正値を得て、該第2の工
程では、該第1の補正値および第2の補正値を用いて少
なくとも該試験信号波形の振幅のずれと位相のずれを補
正することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。 - 【請求項14】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デ
ータを記録するとともに、記録した試験データを該磁気
ヘッドにより再生し、再生した試験データをN個の信号
に分配し、N個の変換手段により離散値に変換し、該離
散値を用いて所望の演算処理を行うことで該磁気ヘッド
の特性検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、発振
周波数finが可制御である第1の基準信号発生源と、該基
準信号発生源を用いて作成した基準信号と該磁気ヘッド
で再生した試験データを切替えて出力する切り替え手段
と、1個の変換手段が変換を行うためのタイミング信号
の周波数fADCを独立に制御する第2の基準信号発生源
と、該N個の変換手段の並列制御部で発生する誤差を演
算処理により検出した値を保持して試験データ演算処理
時に該検出値を用いて該並列制御部で発生する誤差を補
償する処理手段を備えることを特徴とする磁気ヘッドの
検査装置。 - 【請求項15】前記信号切り替え手段はケーブルの脱着
機構を有することを特徴とする請求項14に記載の磁気
ヘッドの検査装置。 - 【請求項16】請求項14記載の該N個変換手段の並列
制御部で発生する誤差値を演算処理により補償するデー
タ処理手段において、該誤差値はN個に分配した信号の
オフセット誤差、N個に分配した信号のゲイン差、およ
びN個の変換手段を並列制御する際の離散化タイミング
信号の位相ずれの、少なくとも一つであり、N個の各変
換手段について、演算処理を行うデータ範囲内の離散値
データ数pと基準信号周期数mと該基準信号周波数fin
と前記タイミング信号の周波数fADCがpとmが互いに素
な整数でかつ(数式) fin/fADC=m/pを満足するように
制御し、該演算処理として高速フーリエ変換(FFT)演
算または離散フーリエ変換(DFT)演算を行うことによ
って検出した該誤差値を、あるいは、基準信号値として
0を入力してN個の各変換手段で変換した離散値を保持
することによって検出した誤差値を用いて、N個の各変
換手段により変換した離散値ごとに一律に該誤差値を補
正することで補償を行うことを特徴とする磁気ヘッドの
検査装置。 - 【請求項17】請求項14記載の該N個の変換手段の並
列制御部で発生する誤差値を演算処理により補償するデ
ータ処理手段において、該誤差値はN個に分配した信号
のゲイン差およびN個の変換手段を並列制御する際の離
散化タイミング信号の位相ずれの少なくともいずれかで
あり、概誤差値を演算処理により検出する処理手段は正
弦波信号を基準信号としてN個の各変換手段が変換した
連続した2つの離散値を用いて、該誤差値を含んだ正弦
波信号の連立方程式を解くことにより、上記誤差値を検
出し、該誤差値を用いて、N個の各変換手段により変換
した各離散値から一律に該検出値を補正することで該誤
差値の補償を行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査装
置。 - 【請求項18】請求項14記載の該N個変換手段の並列
制御部で発生する誤差値を演算処理により補償するデー
タ処理手段において、該誤差値は信号の伝達特性の周波
数依存性であり、該基準信号周波数finは試験周波数範
囲の全周波数で、かつ演算処理を行うデータ範囲内のN
個の各変換手段の離散値データ数pと基準信号周期数m
と該基準信号周波数finと該fADCが、pとmが互いに素
な整数でかつ(数式) fi n/fADC=m/pを満足するように
制御し、該演算処理として高速フーリエ変換(FFT)演
算または離散フーリエ変換(DFT)演算を行って算出し
た各周波数での信号振幅を算出することで、該誤差値を
検出し、振幅の周波数依存性の補償は、高速フーリエ変
換(FET)演算または離散フーリエ変換(DFT)演算処理
により離散化した試験データに含まれる各周波数の振幅
を算出し、該算出値に対し上記で検出した該誤差値によ
り補正を行うことで、該誤差値の補償を行うことを特徴
とする磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項19】請求項14記載の該N個の変換手段の並
列制御部で発生する誤差値を演算処理により検出し、誤
差補償をおこなうデータ処理手段において、該誤差値は
信号の位相特性の周波数依存性であり、該基準信号周波
数finは試験周波数範囲の全周波数で、かつ演算処理を
行うデータ範囲内のN個の各変換手段の離散値データ数
pと基準信号周期数mと該基準信号周波数finと該fADC
が、pとmが互いに素な整数でかつ(数式) fin/fADC=
m/pを満足するように制御し、該演算処理として高速フ
ーリエ変換(FFT)演算または離散フーリエ変換(DFT)
演算を行い各周波数での信号位相を算出することで、該
誤差値を検出し、位相特性の周波数依存性の補償は高速
フーリエ変換(FFT)演算または離散フーリエ変換(DF
T)演算処理により離散化した試験データに含まれる各
周波数の位相を算出し、該算出値に対し上記で検出した
該誤差値による補正をおこなうことで、該誤差値の補償
を行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項20】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デ
ータを記録するとともに、記録した試験データを該磁気
ヘッドにより再生し、再生した試験データをN個の信号
に分配し、N個の変換手段により離散値に変換し、該離
散値を用いて演算処理を行うことで該磁気ヘッドの特性
検査を行う磁気ヘッドの検査装置において、発振周波数
finが可制御である第1の基準信号発生源と、該基準信号
発生源を用いて作成した基準信号と該磁気ヘッドで再生
した試験データを切替えて出力する第1の信号切り替え
手段と、1個の変換手段が変換を行うためのタイミング
信号の周波数fADCを独立に制御する第2の信号発生源
と、N個の各変換手段の入力部での信号の伝達特性と位
相特性を測定する手段と、該伝達特性と位相特性の測定
手段が測定する信号を切り替える第2の信号切り替え手
段と、N個の各変換手段が離散化を行うためのタイミン
グ信号の波形測定を行う手段と、該伝達特性と位相特性
の測定手段および該タイミング信号の波形測定を行う手
段により該N個変換手段の並列制御部で発生する誤差を
検出した値を保持する手段と、試験データ演算処理時に
該検出値を用いて該並列制御部で発生する誤差の補償す
るデータ処理手段とを備えることで該磁気ヘッドの特性
検査を行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項21】請求項20記載の磁気ディスクの検査装
置において、ケーブルの脱着またはプローブ測定点を変
えることにより第1あるいは第2の信号を切り替える切
り替え手段を有することを特徴とする磁気ヘッドの検査
装置。 - 【請求項22】請求項20記載の該N個の変換手段の並
列制御部で発生する誤差値をN個の各変換手段の入力部
での信号の伝達特性と位相特性で検出する手段におい
て、該誤差値はN個に分配した信号間のゲイン差と、伝
達特性および位相特性の周波数依存性であり、該伝達特
性と位相特性を測定する手段は第1の基準信号発生源を
制御して試験データに含まれる全周波数finを出力する
とともにその伝達特性と位相特性を測定し、該測定値と
理想値を用いて該誤差値の検出を行い、かつ、検出した
該誤差値を用いて、N個の各変換手段により変換した各
離散値から一律に該検出値を補正することで該誤差値の
補償を行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項23】請求項20記載の該N個の変換手段の並
列制御部で発生する誤差値を演算処理により補償するデ
ータ処理手段において、該誤差値は信号の伝達特性の周
波数依存性であり、高速フーリエ変換(FFT)演算また
は離散フーリエ変換(DFT)演算処理により離散化した
試験データに含まれる各周波数の振幅を算出し、該算出
値に対し、該伝達特性と位相特性を測定する手段は第1
の基準信号発生源を制御して試験データに含まれる全周
波数finを出力するとともにその伝達特性と位相特性を
測定し、該測定値と理想値を用いて該誤差値の検出を行
って検出した該誤差値を用いて補正することで、該誤差
値の補償を行うことを特徴とする磁気ヘッドの検査装
置。 - 【請求項24】請求項20に記載の該N個の変換手段の
並列制御部で発生する誤差値を演算処理により補償する
データ処理手段において、該誤差値はN個の変換手段を
並列制御する際の離散化タイミング信号の位相ずれであ
り、該N個の変換手段の並列制御部で発生する誤差値を
N個の各変換手段が離散化を行うためのタイミング信号
の波形測定により検出する手段において、該誤差値はN
個の変換手段を並列制御する際の離散化タイミング信号
の位相ずれであり、該タイミング信号の波形測定を行う
手段は、N個の各変換手段が離散化を行うためのタイミ
ング信号を同時に同一時間軸で測定し、該各タイミング
信号が理想位相差のずれ算出して保持することにより、
該誤差値の検出を行った該誤差値を用いて、N個の各変
換手段により変換した各離散値を該検出値を用いて補間
処理することで該誤差値の補償を行うことを特徴とする
磁気ヘッドの検査装置。 - 【請求項25】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デ
ータを記録し、記録した試験データを該磁気ヘッドによ
り再生し、再生した試験データをN個の信号に分配し、
N個の変換手段により離散値に変換し、該離散値を用い
て所望の演算処理を行うことで該磁気ヘッドの特性検査
を行う磁気ヘッドの検査方法において、第1の基準信号
発生源により発振周波数finが制御可能な基準信号を発
生させる工程と、該基準信号発生源を用いて作成した基
準信号と該磁気ヘッドで再生した試験データを切替えて
出力する工程と、1個の変換手段が変換を行うためのタ
イミング信号の周波数fADCを独立に制御する第2の基準
信号発生源により1個の変換手段が変換を行うためのタ
イミング信号の周波数fADCを独立に制御する信号を発生
させる工程と、該N個の変換手段の並列制御部で発生す
る誤差を演算処理により検出した値を保持して試験デー
タ演算処理時に該検出値を用いて該並列制御部で発生す
る誤差を補償するデータ処理工程とを備えることを特徴
とする磁気ヘッドの検査方法。 - 【請求項26】磁気記録媒体に磁気ヘッドにより試験デ
ータを記録し、記録した試験データを該磁気ヘッドによ
り再生し、再生した試験データをN個の信号に分配し、
N個の変換手段により離散値に変換し、該離散値を用い
て所望の演算処理を行うことで該磁気ヘッドの特性検査
を行う磁気ヘッドの検査方法であって、該磁気記録媒体
から読み出した試験信号波形を補正するための値を得る
第1の工程と、該得られた補正値を用いて該試験信号波
形を補正する第2の工程を有し、該第1の工程では、基
準信号発生源を用いて作成した基準信号のアナログ情報
をデジタル値に変換するN個の変換手段と、該N個の変
換手段のそれぞれにおいて該基準信号をサンプリングす
るためのタイミングを決定するタイミング信号とを用い
て、該基準信号の振幅と該N個の変換手段の各々で得
られた信号の振幅を比較することにより第1の補正値と
なる振幅の補正係数値を得て、かつ該N個の変換手段
のうち予め決めておいた変換手段で得られた信号と他の
変換手段で得られた信号の位相を比較することにより第
2の補正値となる位相補正値を得て、該第2の工程で
は、該第1の補正値および第2の補正値を用いて少なく
とも該試験信号波形の振幅のずれと位相のずれを補正す
ることを特徴とする磁気ヘッドの検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002077083A JP3950722B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置および検査方法 |
US10/347,387 US7817362B2 (en) | 2002-03-19 | 2003-01-21 | Inspection apparatus and inspection method of magnetic disk or magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002077083A JP3950722B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003272102A true JP2003272102A (ja) | 2003-09-26 |
JP3950722B2 JP3950722B2 (ja) | 2007-08-01 |
Family
ID=29205592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002077083A Expired - Fee Related JP3950722B2 (ja) | 2002-03-19 | 2002-03-19 | 磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置および検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7817362B2 (ja) |
JP (1) | JP3950722B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010040140A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 |
JP2010252331A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Advantest Corp | 検出装置、算出装置、測定装置、検出方法、算出方法、伝送システム、プログラム、および、記録媒体 |
JP2012084228A (ja) * | 2012-02-02 | 2012-04-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8653824B1 (en) * | 2009-12-16 | 2014-02-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Delta temperature test method and system |
US8225040B1 (en) * | 2010-03-12 | 2012-07-17 | Symantec Corporation | Systems and methods for redundant data storage |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4768109A (en) * | 1983-12-24 | 1988-08-30 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Video signal recording and/or reproducing apparatus |
JP2964259B2 (ja) | 1990-05-31 | 1999-10-18 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 微小寸法穴形状を中心にもつ部材の穴寸法測定方法 |
JPH04105423A (ja) | 1990-08-27 | 1992-04-07 | Oki Electric Ind Co Ltd | 同期式アナログ/ディジタル変換方法 |
JP2827726B2 (ja) * | 1991-07-30 | 1998-11-25 | 松下電器産業株式会社 | ディジタル音声信号記録再生方法および記録再生装置 |
JPH06124138A (ja) | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Fujitsu Ltd | クロック調整方式 |
JPH0984248A (ja) | 1995-09-11 | 1997-03-28 | Meidensha Corp | ディジタルリレーのアナログ入力のa−d変換方式 |
JP2001076436A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-03-23 | Fujitsu Ltd | 位相同期回路及び位相同期方法及び情報記憶装置 |
JP3546351B2 (ja) | 1999-12-22 | 2004-07-28 | 株式会社日立製作所 | 磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置 |
-
2002
- 2002-03-19 JP JP2002077083A patent/JP3950722B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-01-21 US US10/347,387 patent/US7817362B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010040140A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 |
JP2010252331A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Advantest Corp | 検出装置、算出装置、測定装置、検出方法、算出方法、伝送システム、プログラム、および、記録媒体 |
JP2012084228A (ja) * | 2012-02-02 | 2012-04-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040078703A1 (en) | 2004-04-22 |
US7817362B2 (en) | 2010-10-19 |
JP3950722B2 (ja) | 2007-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4977217B2 (ja) | 半導体試験装置 | |
US20100309952A1 (en) | Distortion identification apparatus, test system, recording medium and distortion identification method | |
JP2001184602A (ja) | 磁気記録媒体または磁気ヘッドの検査装置 | |
US20090273495A1 (en) | Analog digital converting apparatus, analog digital converting method, test apparatus, program and recording medium | |
US6809668B2 (en) | Interleaving A/D conversion type waveform digitizer module and a test apparatus | |
JP2003272102A (ja) | 磁気ディスクまたは磁気ヘッドの検査装置および検査方法 | |
US5987392A (en) | Wave form peak detector | |
US20020136337A1 (en) | Method and apparatus for high-resolution jitter measurement | |
US7526701B2 (en) | Method and apparatus for measuring group delay of a device under test | |
US10955441B2 (en) | Measurement system and method for operating a measurement system | |
JP4961402B2 (ja) | 磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 | |
JP3139803B2 (ja) | インパルス応答測定装置 | |
US7501861B2 (en) | Phase-difference detecting apparatus and method | |
US7912667B2 (en) | Electrical circuit and method for testing electronic component | |
JP2600820B2 (ja) | 標本化周波数変換装置 | |
JP2603379B2 (ja) | 信号比較装置 | |
JP5211250B2 (ja) | 磁気ヘッドまたは磁気ディスクの検査装置及び検査方法 | |
JP2813913B2 (ja) | 磁気ディスクサーティファイヤのエラー検出回路 | |
Takeuchi et al. | Absolute measurement of sampling jitter in audio equipment | |
JPH07260855A (ja) | 雑音計測方法と装置およびこれを用いる雑音低減方法 | |
JP2589864B2 (ja) | 信号比較装置 | |
JP2543271B2 (ja) | 時間軸補正装置 | |
JPS58156270A (ja) | 信号処理方法 | |
JP2004077192A (ja) | 半導体検査装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2004185696A (ja) | ジッタ測定装置およびジッタ測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041021 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060623 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060801 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061002 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20061002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070423 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100427 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110427 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110427 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120427 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120427 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130427 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130427 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140427 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |