JP2003254738A - ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラム - Google Patents
ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラムInfo
- Publication number
- JP2003254738A JP2003254738A JP2002055009A JP2002055009A JP2003254738A JP 2003254738 A JP2003254738 A JP 2003254738A JP 2002055009 A JP2002055009 A JP 2002055009A JP 2002055009 A JP2002055009 A JP 2002055009A JP 2003254738 A JP2003254738 A JP 2003254738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- center
- coordinate data
- points
- edge coordinate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウエハを規定位置に位置決めすることが可能な
ウエハ芯出し装置を提供すること。 【解決手段】ウエハをウエハ受け渡し位置に搬送するウ
エハ搬送部（５）と、前記ウエハ搬送部の搬送方向中心
軸に対して非対称に配置され前記ウエハの複数のエッジ
座標データを検出する複数のセンサ（８，９）と、前記
ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより得られた
複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形成された
位置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標データに
基づき前記ウエハの中心を求め、この求められたウエハ
中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求める演算
部（１１）と、この演算部で求められたズレ量に基づい
て前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合
わせるために前記ウエハ搬送部をＸＹ方向に移動させる
移動手段（１２）と、を具備する。
ウエハ芯出し装置を提供すること。 【解決手段】ウエハをウエハ受け渡し位置に搬送するウ
エハ搬送部（５）と、前記ウエハ搬送部の搬送方向中心
軸に対して非対称に配置され前記ウエハの複数のエッジ
座標データを検出する複数のセンサ（８，９）と、前記
ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより得られた
複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形成された
位置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標データに
基づき前記ウエハの中心を求め、この求められたウエハ
中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求める演算
部（１１）と、この演算部で求められたズレ量に基づい
て前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合
わせるために前記ウエハ搬送部をＸＹ方向に移動させる
移動手段（１２）と、を具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造装置
や検査装置に適用されるウエハ芯出し装置及び方法並び
にプログラムに関する。
や検査装置に適用されるウエハ芯出し装置及び方法並び
にプログラムに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の半導体の製造装置や検査装置に
は、ウエハ芯出し装置が適用されたウエハ搬送装置が組
み込まれており、該装置によりカセットから取り出した
ウエハを搬送し、規定の位置に位置決めするようになっ
ている。
は、ウエハ芯出し装置が適用されたウエハ搬送装置が組
み込まれており、該装置によりカセットから取り出した
ウエハを搬送し、規定の位置に位置決めするようになっ
ている。
【０００３】かかるウエハ芯出し装置が適用されるウエ
ハ搬送装置の従来例として特許第２６１１２５１号公報
に記載されたものがある。すなわち、同公報には、２組
の検出手段から出力されるウエハのエッジを示す４つの
エッジ座標データのうち、円の方程式によって任意の３
つのエッジ座標データを用いて基板の中心位置を算出す
る方法が開示されている。
ハ搬送装置の従来例として特許第２６１１２５１号公報
に記載されたものがある。すなわち、同公報には、２組
の検出手段から出力されるウエハのエッジを示す４つの
エッジ座標データのうち、円の方程式によって任意の３
つのエッジ座標データを用いて基板の中心位置を算出す
る方法が開示されている。
【０００４】また、ウエハのように位置合わせ形状部で
あるオリフラ（オリエンテーションフラット：Ｏ．
Ｆ．）又はノッチが存在する基板について、位置決めを
実施する場合においては、４点のエッジ座標データより
３点を選択する４組の組合せを作り、各組それぞれ３点
の座標を円の方程式に代入して、計算から求めた４個の
半径のうち最も長い半径を示す中心点が正規の中心とす
る方法が開示されている。
あるオリフラ（オリエンテーションフラット：Ｏ．
Ｆ．）又はノッチが存在する基板について、位置決めを
実施する場合においては、４点のエッジ座標データより
３点を選択する４組の組合せを作り、各組それぞれ３点
の座標を円の方程式に代入して、計算から求めた４個の
半径のうち最も長い半径を示す中心点が正規の中心とす
る方法が開示されている。
【０００５】しかしながら、上記従来例では、円の方程
式を用いてウエハの中心座標を算出しているため、カセ
ット内のウエハの収納位置及び、オリフラ又はノッチの
向きによっては、正しくウエハの中心座標を算出できな
い場合がある。このことについて、以下詳細に説明す
る。
式を用いてウエハの中心座標を算出しているため、カセ
ット内のウエハの収納位置及び、オリフラ又はノッチの
向きによっては、正しくウエハの中心座標を算出できな
い場合がある。このことについて、以下詳細に説明す
る。
【０００６】先ず、４点のエッジ座標データうちの何処
かにオリフラが存在する場合において、上述した従来例
では、求めた４点のエッジ座標データより３点のエッジ
座標データを選択する４組の組合せを作り、各組それぞ
れ３点のエッジ座標データを円の方程式に代入して、計
算から求めた４個の半径のうち最も長い半径を示す中心
点が正規の中心とすることになる。
かにオリフラが存在する場合において、上述した従来例
では、求めた４点のエッジ座標データより３点のエッジ
座標データを選択する４組の組合せを作り、各組それぞ
れ３点のエッジ座標データを円の方程式に代入して、計
算から求めた４個の半径のうち最も長い半径を示す中心
点が正規の中心とすることになる。
【０００７】ここで、図１０及び図１１を参照して、オ
リフラ位置と求まる半径との関係を説明する。図１０
（ａ）（ｂ）及び図１１（ａ）（ｂ）は、弦ＢＣ＜弦Ａ
Ｄの場合、つまり−Ｙ軸方向にウエハがずれていた場合
である。
リフラ位置と求まる半径との関係を説明する。図１０
（ａ）（ｂ）及び図１１（ａ）（ｂ）は、弦ＢＣ＜弦Ａ
Ｄの場合、つまり−Ｙ軸方向にウエハがずれていた場合
である。
【０００８】図１０は、ウエハが下側にずれていた場合
でオリフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛か
り量と半径との関係を示し、図１１は、同じくオリフラ
が点Ａに掛かっていたときのオリフラの掛かり量と半径
との関係を示している。
でオリフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛か
り量と半径との関係を示し、図１１は、同じくオリフラ
が点Ａに掛かっていたときのオリフラの掛かり量と半径
との関係を示している。
【０００９】図１０及び図１１に示すように、点Ｂ又は
点Ｃにオリフラが存在した場合においては、∠ＡＢＣ、
∠ＢＣＤは鈍角となるため、それぞれの３点のエッジ座
標データから計算される円の半径は正規の半径よりか大
きくなる(図１０のＲａｂｃ)。
点Ｃにオリフラが存在した場合においては、∠ＡＢＣ、
∠ＢＣＤは鈍角となるため、それぞれの３点のエッジ座
標データから計算される円の半径は正規の半径よりか大
きくなる(図１０のＲａｂｃ)。
【００１０】逆に、点Ａ又は点Ｄにオリフラが存在した
場合においては、オリフラの掛かり量が少ないと∠ＢＡ
Ｄ、∠ＣＤＡは鋭角となるため、それぞれの３点のエッ
ジ座標データから計算される円の半径は既知の半径より
小さくなる。
場合においては、オリフラの掛かり量が少ないと∠ＢＡ
Ｄ、∠ＣＤＡは鋭角となるため、それぞれの３点のエッ
ジ座標データから計算される円の半径は既知の半径より
小さくなる。
【００１１】しかし、オリフラの掛かり量が多くなって
くると、弦ＢＣ＝弦ＡＤとなる場合が存在し、検出され
た４点で構成される図形は平行四辺形となり、この場合
は点ＢＡＤ、点ＢＣＤから求まる円の半径は等しくなっ
てしまう(図１１のＲｄａｂがＲｂｃｄと交差する点)。
くると、弦ＢＣ＝弦ＡＤとなる場合が存在し、検出され
た４点で構成される図形は平行四辺形となり、この場合
は点ＢＡＤ、点ＢＣＤから求まる円の半径は等しくなっ
てしまう(図１１のＲｄａｂがＲｂｃｄと交差する点)。
【００１２】図１２におけるＲｃｄａがＲａｂｃと交差
する点の状態を図示したのが図１４である。
する点の状態を図示したのが図１４である。
【００１３】さらに、オリフラの掛かり量が多くなって
くると、弦ＢＣ＞弦ＡＤとなり、の半径は既知の半径よ
り大きくなる(図１１のＲｄａｂ)。
くると、弦ＢＣ＞弦ＡＤとなり、の半径は既知の半径よ
り大きくなる(図１１のＲｄａｂ)。
【００１４】同様に弦ＢＣ＞弦ＡＤの場合、つまり＋Ｙ
軸方向にウエハがずれていた場合の半径値の推移を、図
１２（ａ）（ｂ）、図１３（ａ）（ｂ）に示す。図１２
は、ウエハが上側にずれていた場合でオリフラが点Ｂに
掛かっていたときのオリフラの掛かり量と半径との関係
を示し、図１３は同じくオリフラが点Ａに掛かっていた
ときのオリフラの掛かり量と半径との関係を示してい
る。
軸方向にウエハがずれていた場合の半径値の推移を、図
１２（ａ）（ｂ）、図１３（ａ）（ｂ）に示す。図１２
は、ウエハが上側にずれていた場合でオリフラが点Ｂに
掛かっていたときのオリフラの掛かり量と半径との関係
を示し、図１３は同じくオリフラが点Ａに掛かっていた
ときのオリフラの掛かり量と半径との関係を示してい
る。
【００１５】上記計算例より、検出された４点のエッジ
座標データより３点を選択する４組の組合せを作り、各
組それぞれ３点の座標を円の方程式に代入して、計算か
ら求めた４個の半径のうち最も長い半径を示す中心点が
正規の中心とは限らない。
座標データより３点を選択する４組の組合せを作り、各
組それぞれ３点の座標を円の方程式に代入して、計算か
ら求めた４個の半径のうち最も長い半径を示す中心点が
正規の中心とは限らない。
【００１６】さらに、得られた４個のエッジ座標データ
において、どの点のデータがオリフラに掛かったデータ
か判断できず、無条件に半径が最大となる円の中心をウ
エハ中心と判断するため、オリフラを含んだ３点のエッ
ジ座標データから算出した中心と原点との中心ずれ量に
基づいてウエハの中心位置決めをしてしまうと、原点に
対してウエハの中心が大きくずれる虞がある。
において、どの点のデータがオリフラに掛かったデータ
か判断できず、無条件に半径が最大となる円の中心をウ
エハ中心と判断するため、オリフラを含んだ３点のエッ
ジ座標データから算出した中心と原点との中心ずれ量に
基づいてウエハの中心位置決めをしてしまうと、原点に
対してウエハの中心が大きくずれる虞がある。
【００１７】このように、ウエハの中心位置がずれる
と、次工程にてオリフラ合わせ実施する場合において
も、ウエハの偏芯が大きくなり、オリフラ合わせが実施
でない虞がある。さらに、次工程やウエハカセットヘウ
エハを安全に搬送することができず、ウエハ破損を生ず
る虞がある。
と、次工程にてオリフラ合わせ実施する場合において
も、ウエハの偏芯が大きくなり、オリフラ合わせが実施
でない虞がある。さらに、次工程やウエハカセットヘウ
エハを安全に搬送することができず、ウエハ破損を生ず
る虞がある。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】このように従来例で
は、原点に対して対称に配置した一対のセンサにより、
４点又は３点のエッジ座標データを用いてウエハの中心
座標を算出するようにしているので、正しくウエハを位
置決めすることができずウエハを破損する虞があるとい
う問題があった。
は、原点に対して対称に配置した一対のセンサにより、
４点又は３点のエッジ座標データを用いてウエハの中心
座標を算出するようにしているので、正しくウエハを位
置決めすることができずウエハを破損する虞があるとい
う問題があった。
【００１９】本発明の目的は、ウエハを規定位置に位置
決めすることが可能なウエハ芯出し装置及び方法並びに
プログラムを提供することにある。
決めすることが可能なウエハ芯出し装置及び方法並びに
プログラムを提供することにある。
【００２０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の請求項１に係る発明は、ウエハの芯出しを行
なうウエハ芯出し装置において、前記ウエハをウエハ受
け渡し位置に搬送するウエハ搬送部と、前記ウエハ搬送
部の搬送方向中心軸に対して非対称に配置され前記ウエ
ハの複数のエッジ座標データを検出する複数のセンサ
と、前記ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより
得られた複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形
成された位置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標
データに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められ
たウエハ中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求
める演算部と、この演算部で求められたズレ量に基づい
て前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合
わせるために前記ウエハ搬送部をＸＹ方向に移動させる
移動手段と、を具備する。
に本発明の請求項１に係る発明は、ウエハの芯出しを行
なうウエハ芯出し装置において、前記ウエハをウエハ受
け渡し位置に搬送するウエハ搬送部と、前記ウエハ搬送
部の搬送方向中心軸に対して非対称に配置され前記ウエ
ハの複数のエッジ座標データを検出する複数のセンサ
と、前記ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより
得られた複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形
成された位置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標
データに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められ
たウエハ中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求
める演算部と、この演算部で求められたズレ量に基づい
て前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合
わせるために前記ウエハ搬送部をＸＹ方向に移動させる
移動手段と、を具備する。
【００２１】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明について、前記複数のセンサは、前記ウエハ搬送部の
搬送方向と直交する方向に第１のセンサと第２のセンサ
を非対称に配置し、第１と第２のセンサ間の距離を前記
位置合わせ形状部であるオリエンテーションフラットの
長さより大きくした。
明について、前記複数のセンサは、前記ウエハ搬送部の
搬送方向と直交する方向に第１のセンサと第２のセンサ
を非対称に配置し、第１と第２のセンサ間の距離を前記
位置合わせ形状部であるオリエンテーションフラットの
長さより大きくした。
【００２２】請求項３に係る発明は、請求項１又は２に
係る発明について、前記演算部は、前記一方のセンサに
より検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標
と、前記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座
標データの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致
していると判定した場合に前記複数のエッジ座標データ
から任意の３点のエッジ座標データに基づいてウエハの
中心位置を求める。
係る発明について、前記演算部は、前記一方のセンサに
より検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標
と、前記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座
標データの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致
していると判定した場合に前記複数のエッジ座標データ
から任意の３点のエッジ座標データに基づいてウエハの
中心位置を求める。
【００２３】請求項４に係る発明は、請求項１又は２に
係る発明について、前記演算部は、前記一方のセンサに
より検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標
と、前記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座
標データの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致
していると判定した場合に各エッジ座標データの３点の
組み合わせから複数のウエハの中心位置を求め、この複
数の中心位置の平均値を求める。
係る発明について、前記演算部は、前記一方のセンサに
より検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標
と、前記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座
標データの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致
していると判定した場合に各エッジ座標データの３点の
組み合わせから複数のウエハの中心位置を求め、この複
数の中心位置の平均値を求める。
【００２４】請求項５に係る発明は、請求項１又は２に
係る発明について、前記演算部は、前記一方のセンサに
より検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標
と、前記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座
標データの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致
していないと判定した場合に前記ウエハに形成された位
置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標データに基
づき前記ウエハの中心を求める。
係る発明について、前記演算部は、前記一方のセンサに
より検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標
と、前記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座
標データの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致
していないと判定した場合に前記ウエハに形成された位
置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標データに基
づき前記ウエハの中心を求める。
【００２５】請求項６に係る発明は、請求項５に係る発
明について、前記演算部は、一致しないと判定した場
合、前記名センサにより検出された２点のエッジ座標デ
ータからそれぞれの弦の長さを実測し、一方の実測弦に
対する他方の弦の長さを計算して求め、この計測した弦
の長さと他方の実測弦の長さとの差の半値と前記各実測
弦の中点の差とを比較して前記位置合わせ形状部が含ま
れるエッジ座標データを特定する。
明について、前記演算部は、一致しないと判定した場
合、前記名センサにより検出された２点のエッジ座標デ
ータからそれぞれの弦の長さを実測し、一方の実測弦に
対する他方の弦の長さを計算して求め、この計測した弦
の長さと他方の実測弦の長さとの差の半値と前記各実測
弦の中点の差とを比較して前記位置合わせ形状部が含ま
れるエッジ座標データを特定する。
【００２６】請求項７に係る発明は、請求項１又は２に
係る発明について、前記演算部は、前記各エッジ座標デ
ータの３点の組み合わせからそれぞれウエハの中心位置
を求め、これら各中心位置から最も大きい半径を示す３
点のエッジ座標データの組み合わせと、２番目に大きい
半径を示す３点のエッジ座標データを抽出し、これら２
組の組み合わせに対応する前記各弦が正しいかを判断す
る。
係る発明について、前記演算部は、前記各エッジ座標デ
ータの３点の組み合わせからそれぞれウエハの中心位置
を求め、これら各中心位置から最も大きい半径を示す３
点のエッジ座標データの組み合わせと、２番目に大きい
半径を示す３点のエッジ座標データを抽出し、これら２
組の組み合わせに対応する前記各弦が正しいかを判断す
る。
【００２７】請求項８に係る発明は、請求項１に係る発
明について、前記演算部は、前記各エッジ座標データの
３点の組み合わせからそれぞれウエハの中心位置を求
め、これら各中心位置からの各半径値を求め、最も正規
の半径値に近い３点の組み合わせの中心位置を前記ウエ
ハの中心とする。
明について、前記演算部は、前記各エッジ座標データの
３点の組み合わせからそれぞれウエハの中心位置を求
め、これら各中心位置からの各半径値を求め、最も正規
の半径値に近い３点の組み合わせの中心位置を前記ウエ
ハの中心とする。
【００２８】請求項９に係る発明は、ウエハ搬送部にお
いて複数のセンサにより得られた複数のエッジ座標デー
タのうちウエハに形成された位置合わせ形状部を含まな
い３点のエッジ座標データに基づき前記ウエハの中心を
求め、この求められたウエハ中心と受け渡し位置の中心
とのズレ量を求める。
いて複数のセンサにより得られた複数のエッジ座標デー
タのうちウエハに形成された位置合わせ形状部を含まな
い３点のエッジ座標データに基づき前記ウエハの中心を
求め、この求められたウエハ中心と受け渡し位置の中心
とのズレ量を求める。
【００２９】請求項１０に係る発明は、コンピュータ
に、ウエハ搬送部において複数のセンサにより得られた
複数のエッジ座標データのうちウエハに形成された位置
合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標データに基づ
き前記ウエハの中心を求めさせ、この求められたウエハ
中心と受け渡し位置の中心とのズレ量を求めさせる。
に、ウエハ搬送部において複数のセンサにより得られた
複数のエッジ座標データのうちウエハに形成された位置
合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標データに基づ
き前記ウエハの中心を求めさせ、この求められたウエハ
中心と受け渡し位置の中心とのズレ量を求めさせる。
【００３０】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るウエハ芯出し
装置及び方法並びにプログラムの好適な実施形態を、図
面を参照して説明する。
装置及び方法並びにプログラムの好適な実施形態を、図
面を参照して説明する。
【００３１】（第１の実施形態）図１は、本実施形態の
ウエハ芯出し装置が適用されるウエハ搬送装置の構成図
であり、ウエハ１を収納したカセット２は、カセット台
３上に設置されており、図示しない制御部により、エレ
ベータ機構部４が制御されることにより、上下動可能と
なっている。
ウエハ芯出し装置が適用されるウエハ搬送装置の構成図
であり、ウエハ１を収納したカセット２は、カセット台
３上に設置されており、図示しない制御部により、エレ
ベータ機構部４が制御されることにより、上下動可能と
なっている。
【００３２】カセット２からウエハ１を取り出したり収
納したりするためのウエハ取り出しアーム５とウエハ１
のオリフラ合わせを実施するためのセンタテーブル６及
びオリフラ合わせセンサ７が設けられている。
納したりするためのウエハ取り出しアーム５とウエハ１
のオリフラ合わせを実施するためのセンタテーブル６及
びオリフラ合わせセンサ７が設けられている。
【００３３】ウエハ取り出しアーム５は、図２に示すよ
うに、カセット２からウエハ１を取り出すウエハ取り出
し方向(Ｘ軸)に往復移動し、カセット２から取り出した
ウエハ１をセンタテーブル６に搬送する。また、ウエハ
取り出しアーム５は、センタテーブル６とウエハ１の位
置関係を相対的に移動させるための、ウエハ取り出し方
向と直角方向(Ｙ軸)及び、センタテーブル６にウエハ１
を受け渡すための上下方向(Ｚ軸)に移動可能となってい
る。図２における符号１００は、ウエハ１が搬送されて
位置決めされた状態を示している。
うに、カセット２からウエハ１を取り出すウエハ取り出
し方向(Ｘ軸)に往復移動し、カセット２から取り出した
ウエハ１をセンタテーブル６に搬送する。また、ウエハ
取り出しアーム５は、センタテーブル６とウエハ１の位
置関係を相対的に移動させるための、ウエハ取り出し方
向と直角方向(Ｙ軸)及び、センタテーブル６にウエハ１
を受け渡すための上下方向(Ｚ軸)に移動可能となってい
る。図２における符号１００は、ウエハ１が搬送されて
位置決めされた状態を示している。
【００３４】さらに、カセット台３とセンタテーブル６
の間のウエハ搬送路上に設けられた取り付け体１０に
は、２個のセンタリングセンサ８、９が取り付けられて
いる。
の間のウエハ搬送路上に設けられた取り付け体１０に
は、２個のセンタリングセンサ８、９が取り付けられて
いる。
【００３５】このセンサ８、９は、図３に示すように、
原点（規定ウエハ中心）から距離Ｌ１にセンサ８を配置
し、原点から距離Ｌ２にセンサ９を非対称に配置するこ
とで、センサ間中心とウエハ中心とがｔだけずれた配置
関係となっている。換言すると、センサ８、９は、ウエ
ハ搬送方向に交差する方向に沿い且つ規定ウエハ中心と
非対称に配置されている。
原点（規定ウエハ中心）から距離Ｌ１にセンサ８を配置
し、原点から距離Ｌ２にセンサ９を非対称に配置するこ
とで、センサ間中心とウエハ中心とがｔだけずれた配置
関係となっている。換言すると、センサ８、９は、ウエ
ハ搬送方向に交差する方向に沿い且つ規定ウエハ中心と
非対称に配置されている。
【００３６】また本実施形態のウエハ搬送装置は、セン
サ８、９からの出力値が取り込まれる演算部１１と、演
算部１１により演算された芯出し補正量だけウエハ１を
移動するべくウエハ取り出しアーム５を移動させるウエ
ハ移動機構１２及びデータを記憶するメモリ１３とが設
けられている。ウエハ移動機構１２は、ウエハ取り出し
アーム５をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する際に、基準
位置からの移動量が把握できるように、例えばパルスモ
ータで駆動されている。
サ８、９からの出力値が取り込まれる演算部１１と、演
算部１１により演算された芯出し補正量だけウエハ１を
移動するべくウエハ取り出しアーム５を移動させるウエ
ハ移動機構１２及びデータを記憶するメモリ１３とが設
けられている。ウエハ移動機構１２は、ウエハ取り出し
アーム５をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する際に、基準
位置からの移動量が把握できるように、例えばパルスモ
ータで駆動されている。
【００３７】このようなハードウェア構成の下で、本実
施形態のウエハ芯出し及び位置決めは、次のようにして
行われる。
施形態のウエハ芯出し及び位置決めは、次のようにして
行われる。
【００３８】図４〜図７に示すフロー図のように、カセ
ット２からウエハ取り出しアーム５により取り出された
ウエハ１は、２個のセンサ８、９を通過する過程におい
て、図３に示すように、４点（Ａ点，Ｂ点，Ｃ点，Ｄ
点）のエッジ座標データが検出され、メモリ１３に検出
データとして格納される（ステップＳ１〜Ｓ８）。
ット２からウエハ取り出しアーム５により取り出された
ウエハ１は、２個のセンサ８、９を通過する過程におい
て、図３に示すように、４点（Ａ点，Ｂ点，Ｃ点，Ｄ
点）のエッジ座標データが検出され、メモリ１３に検出
データとして格納される（ステップＳ１〜Ｓ８）。
【００３９】この場合、２個のセンサ８、９は、センサ
間中心とウエハ中心が一致しないように非対称に配置さ
れていることにより、検出されるＡ〜Ｄの４点は、カセ
ット内でのウエハずれが発生しても、必ずＡ→Ｂ→Ｃ→
Ｄの順番で取り込まれる。
間中心とウエハ中心が一致しないように非対称に配置さ
れていることにより、検出されるＡ〜Ｄの４点は、カセ
ット内でのウエハずれが発生しても、必ずＡ→Ｂ→Ｃ→
Ｄの順番で取り込まれる。
【００４０】具体的に示すと、ウエハにＯＦが存在せ
ず、カセット２内のウエハ１が、カセット内でずれてい
なかった場合は、２個のセンサ中心とカセット２内のウ
エハ１の中心を同軸上に設置しておけば、必ずセンサ
８，９の検出は同時になる。
ず、カセット２内のウエハ１が、カセット内でずれてい
なかった場合は、２個のセンサ中心とカセット２内のウ
エハ１の中心を同軸上に設置しておけば、必ずセンサ
８，９の検出は同時になる。
【００４１】しかし、ウエハにはＯＦが存在するため、
たとえ、カセット２内のウエハ１が、カセット内でずれ
ていなかった場合においても、２個のセンサ中心とカセ
ット２内のウエハ１の中心を同軸土に設置すると、セン
サ８側にＯＦが存在した場合とセンサ９側にＯＦが存在
した場合では、検出される４点（Ａ点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ
点）の順番は異なる。
たとえ、カセット２内のウエハ１が、カセット内でずれ
ていなかった場合においても、２個のセンサ中心とカセ
ット２内のウエハ１の中心を同軸土に設置すると、セン
サ８側にＯＦが存在した場合とセンサ９側にＯＦが存在
した場合では、検出される４点（Ａ点、Ｂ点、Ｃ点、Ｄ
点）の順番は異なる。
【００４２】しかし、センサ９側にＯＦが掛かっても、
センサ９側のほうが先に検出される寸法量だけ、センサ
８，９の２個のセンサ中心をカセット２内のウエハ１の
中心とずらして配置することにより、必ず、Ａ→Ｂ→Ｃ
→Ｄの順番で座標値が検出される事が可能となる。
センサ９側のほうが先に検出される寸法量だけ、センサ
８，９の２個のセンサ中心をカセット２内のウエハ１の
中心とずらして配置することにより、必ず、Ａ→Ｂ→Ｃ
→Ｄの順番で座標値が検出される事が可能となる。
【００４３】センサ８及び９の検出位置を結んだ直線と
ウエハ搬送方向（Ｘ軸）とが直角でない場台は、そのず
れ量を予めメモリ１３に記憶させておくことにより、計
算上はセンサ８,９の検出位置と、ウエハ搬送方向は常
に直交させる事が可能である。
ウエハ搬送方向（Ｘ軸）とが直角でない場台は、そのず
れ量を予めメモリ１３に記憶させておくことにより、計
算上はセンサ８,９の検出位置と、ウエハ搬送方向は常
に直交させる事が可能である。
【００４４】さらに、実際はカセット２内のウエハ１の
中心はカセット２内で２ｍｍ程度はずれる可能性があ
る。従って、カセット２内のウエハ１の中心がカセット
２内でずれた場合においても、必ず、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの
順番で座標値が検出されるように、センサ８,９の２個
のセンサ中心をカセット２内のウエハ１の中心とずらし
て配置することにより、必ず、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順番で
座標値が検出されるようにセンサを配置する必要があ
る。
中心はカセット２内で２ｍｍ程度はずれる可能性があ
る。従って、カセット２内のウエハ１の中心がカセット
２内でずれた場合においても、必ず、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの
順番で座標値が検出されるように、センサ８,９の２個
のセンサ中心をカセット２内のウエハ１の中心とずらし
て配置することにより、必ず、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順番で
座標値が検出されるようにセンサを配置する必要があ
る。
【００４５】次に、弦ＡＤの中点Ｅの座標と、弦ＢＣの
中点Ｆの座標とを算出し（ステップＳ９〜Ｓ１０）、Ｅ
とＦのＸ座標が一致しているか判定する（ステップＳ１
１）。
中点Ｆの座標とを算出し（ステップＳ９〜Ｓ１０）、Ｅ
とＦのＸ座標が一致しているか判定する（ステップＳ１
１）。
【００４６】ここで、ステップＳ１１にて、一致してい
ると判定されると、ステップＳ１２〜Ｓ１６とステップ
Ｓ３７〜Ｓ４１とにより、ウエハ芯出し及び位置決めが
行われ、一致していないと判定されると、ステップＳ１
７〜Ｓ３６とステップＳ３７〜Ｓ４１とにより、ウエハ
芯出し及び位置決めが行われる。
ると判定されると、ステップＳ１２〜Ｓ１６とステップ
Ｓ３７〜Ｓ４１とにより、ウエハ芯出し及び位置決めが
行われ、一致していないと判定されると、ステップＳ１
７〜Ｓ３６とステップＳ３７〜Ｓ４１とにより、ウエハ
芯出し及び位置決めが行われる。
【００４７】弦ＡＤの中点Ｅと弦ＢＣの中点Ｆの座標は
等しく、４点の何れの点にもオリフラが存在しない場合
である。
等しく、４点の何れの点にもオリフラが存在しない場合
である。
【００４８】ステップＳ１２〜Ｓ１５において、図８に
示すように、得られた４点から３点(ＡＢＣ，ＢＣＤ，
ＣＤＡ，ＤＡＢ)の組合せから４個の中心座標(Ｏａｂ
ｃ，Ｏｂｃｄ，Ｏｃｄａ，Ｏｄａｂ)を算出し、次いで
これら４点の中心座標値の平均値を算出（ステップＳ１
６）する。
示すように、得られた４点から３点(ＡＢＣ，ＢＣＤ，
ＣＤＡ，ＤＡＢ)の組合せから４個の中心座標(Ｏａｂ
ｃ，Ｏｂｃｄ，Ｏｃｄａ，Ｏｄａｂ)を算出し、次いで
これら４点の中心座標値の平均値を算出（ステップＳ１
６）する。
【００４９】また、演算時間の短縮のために、得られた
４点のうち任意の３点から中心座標を算出するようにし
て、(ステップＳ１２〜Ｓ１５の任意の１種類の計算だ
けを実施)平均化処理を省略しステップＢに進んでもよ
い。さらに、演算時間の短縮のために、図９に示すよう
に、直線ＡＤの中点Ｅと直線ＢＣの中点ＦのＸ座標が一
致しているため、中点Ｅ及びＦのＸ座標値がウエハのず
れ量をΔＸとし、弦ＡＤ長さの１／２とウエハ半径Ｒを
用いて、三平方の定理より、ΔＹ＝√｛Ｒ２−（ＡＤ／
２）２｝を求めても同様の結果が得られる。
４点のうち任意の３点から中心座標を算出するようにし
て、(ステップＳ１２〜Ｓ１５の任意の１種類の計算だ
けを実施)平均化処理を省略しステップＢに進んでもよ
い。さらに、演算時間の短縮のために、図９に示すよう
に、直線ＡＤの中点Ｅと直線ＢＣの中点ＦのＸ座標が一
致しているため、中点Ｅ及びＦのＸ座標値がウエハのず
れ量をΔＸとし、弦ＡＤ長さの１／２とウエハ半径Ｒを
用いて、三平方の定理より、ΔＹ＝√｛Ｒ２−（ＡＤ／
２）２｝を求めても同様の結果が得られる。
【００５０】ここで、各中心座標は、次の第１の計算法
で求める。
で求める。
【００５１】以下に、点ＢＣＤからウエハの中心Ｏｂｃ
ｄ（Ｘｂｃｄ，Ｙｂｃｄ）を求める計算式を示す。
ｄ（Ｘｂｃｄ，Ｙｂｃｄ）を求める計算式を示す。
【００５２】第１の計算法は、２点Ｃ（Ｘｃ，Ｙｃ）と
Ｄ（Ｘｄ，Ｙｄ）とを結ぶ弦ＣＤの垂直２等分線と、２
点Ｃ（Ｘｃ，Ｙｃ）とＢ（Ｘｂ，Ｙｂ）を結ぶ弦ＣＢの
垂直２等分線との交点座標を求めるものであり、これが
ウエハの中心Ｏｂｃｄとなる。先ず、弦ＡＤの中点と弦
ＢＣの中点座標が等しくない場合は、中点ＥとＦの差△
ＥＦを算出する（ステップＳ１７）。
Ｄ（Ｘｄ，Ｙｄ）とを結ぶ弦ＣＤの垂直２等分線と、２
点Ｃ（Ｘｃ，Ｙｃ）とＢ（Ｘｂ，Ｙｂ）を結ぶ弦ＣＢの
垂直２等分線との交点座標を求めるものであり、これが
ウエハの中心Ｏｂｃｄとなる。先ず、弦ＡＤの中点と弦
ＢＣの中点座標が等しくない場合は、中点ＥとＦの差△
ＥＦを算出する（ステップＳ１７）。
【００５３】但し、Ｃ（Ｘｃ，Ｙｃ）とＢ（Ｘｂ，Ｙ
ｂ）を結ぶ弦は、Ｘ軸(ウエハ取り出し方向)に平行であ
る。２点Ｃ（Ｘｃ，Ｙｃ）とＤ（Ｘｄ，Ｙｄ）を結ぶ弦
ＣＤの方程式は、下記式１〜３となる。
ｂ）を結ぶ弦は、Ｘ軸(ウエハ取り出し方向)に平行であ
る。２点Ｃ（Ｘｃ，Ｙｃ）とＤ（Ｘｄ，Ｙｄ）を結ぶ弦
ＣＤの方程式は、下記式１〜３となる。
【００５４】
（Ｘ−Ｘｃ）／（Ｘｄ−Ｘｃ）＝（Ｙ−Ｙｃ）／（Ｙｄ−Ｙｃ） …式１
（Ｙ−Ｙｃ）＝ｍ（Ｘ−Ｘｃ）
ｍ＝（Ｙｄ−Ｙｃ）／（Ｘｄ−Ｘｃ）…式２
Ｙ＝ｍＸ−ｍＸｃ＋Ｙｃ …式３
式３に直交する直線をＹ′＝ｍ′Ｘ′と表すと、ｍ′＝
−１／ｍより、下記式４となる。
−１／ｍより、下記式４となる。
【００５５】
Ｙ′＝ｍ′Ｘ′＝（Ｘｄ−Ｘｃ）／（Ｙｄ−Ｙｃ）Ｘ′、
ｍ′＝−（Ｘｄ−Ｘｃ）／（Ｙｄ−Ｙｃ） …式４
２点Ｃ（Ｘｃ，Ｙｃ）とＤ（Ｘｄ，Ｙｄ）の中点座標Ｈ
（Ｘｈ，Ｙｈ）は、式５のようになる。
（Ｘｈ，Ｙｈ）は、式５のようになる。
【００５６】
Ｘｈ＝（Ｘｃ＋Ｘｄ）／２、Ｙｈ＝（Ｙｃ＋Ｙｄ）／２ …式５
従って、２点Ｃ(Ｘｃ，Ｙｃ)とＤ(Ｘｄ，Ｙｄ)とを結ぶ
弦ＣＤに直交する直線は、Ｈ（Ｘｈ，Ｙｈ）を通ること
より、 Ｙ′−Ｙｈ＝ｍ′（Ｘ′−Ｘｈ） …式６ Ｙ′＝ｍ′Ｘ′−ｍ′Ｘｈ＋Ｙｈ、 ｍ′＝−（Ｘｄ−Ｘｃ）／（Ｙｄ−Ｙｃ） …式７′ と表わせる。
弦ＣＤに直交する直線は、Ｈ（Ｘｈ，Ｙｈ）を通ること
より、 Ｙ′−Ｙｈ＝ｍ′（Ｘ′−Ｘｈ） …式６ Ｙ′＝ｍ′Ｘ′−ｍ′Ｘｈ＋Ｙｈ、 ｍ′＝−（Ｘｄ−Ｘｃ）／（Ｙｄ−Ｙｃ） …式７′ と表わせる。
【００５７】なお、ここでＸｄ，Ｘｃとは、２個のセン
タリングセンサをウエハが通過する過程において得られ
たＸ座標値である。また、Ｙｄ及びＹｃは固定値であ
り、原点からのＹ座標値を表す。Ｙｄ，ＹａはＬ２、Ｙ
ｃ，ＹｂはＬ１となる。
タリングセンサをウエハが通過する過程において得られ
たＸ座標値である。また、Ｙｄ及びＹｃは固定値であ
り、原点からのＹ座標値を表す。Ｙｄ，ＹａはＬ２、Ｙ
ｃ，ＹｂはＬ１となる。
【００５８】同様に、２点Ｃ(Ｘｃ，Ｙｃ)と、Ｂ(Ｘ
ｂ，Ｙｂ)とを通る弦ＣＢの垂直２等分線を求め、６′
式との交点Ｏｂｃｄ(Ｘｂｃｄ，Ｙｂｃｄ)を求める。
ｂ，Ｙｂ)とを通る弦ＣＢの垂直２等分線を求め、６′
式との交点Ｏｂｃｄ(Ｘｂｃｄ，Ｙｂｃｄ)を求める。
【００５９】但し、ここでＣ(Ｘｃ，Ｙｃ)とＢ(Ｘｂ，
Ｙｂ)を通る弦ＣＢは、Ｘ軸に平行な直線であるため、
２点Ｃ(Ｘｃ，Ｙｃ)とＢ(Ｘｂ，Ｙｂ)の中点座標Ｆ(Ｘ
ｆ，Ｙｆ)のＸ座標値は、求める６′式との交点Ｏｂｃ
ｄのＸ座標値Ｘｂｃｄと同じである。
Ｙｂ)を通る弦ＣＢは、Ｘ軸に平行な直線であるため、
２点Ｃ(Ｘｃ，Ｙｃ)とＢ(Ｘｂ，Ｙｂ)の中点座標Ｆ(Ｘ
ｆ，Ｙｆ)のＸ座標値は、求める６′式との交点Ｏｂｃ
ｄのＸ座標値Ｘｂｃｄと同じである。
【００６０】
Ｘｆ＝（Ｘｃ＋Ｘｂ）／２＝Ｘｂｃｄ …式９
求めたＸｆを、６′式のＸ′に代入することにより、交
点ＯｂｃｄのＹ座標値Ｙｂｃｄが求まる。
点ＯｂｃｄのＹ座標値Ｙｂｃｄが求まる。
【００６１】
Ｙ′＝ｍ′Ｘ′−ｍ′Ｘｈ＋Ｙｈ＝ｍ′Ｘｆ′−ｍＸｈ＋Ｙｈ＝Ｙｂｃｄ
…式８
同様に残りの３通りの組み合わせから、３個の中心座標
を求める。
を求める。
【００６２】以上により、Ｏｂｃｄは（Ｘｂｃｄ，Ｙｂ
ｃｄ）となる。
ｃｄ）となる。
【００６３】４点の中心座標値を第１の計算法で求めた
後、ステップＳ１６にて４点の中心座標値の平均値を求
め、ウエハのずれ量(△Ｘ，△Ｙ)としてメモリ１３に登
録する（ステップＳ３７）。
後、ステップＳ１６にて４点の中心座標値の平均値を求
め、ウエハのずれ量(△Ｘ，△Ｙ)としてメモリ１３に登
録する（ステップＳ３７）。
【００６４】センタテーブル６上で、ウエハ取り出しア
ーム５を、登録されたずれ量(△Ｘ，△Ｙ)だけ移動させ
た後（ステップＳ３８）、センタテーブル６上にウエハ
を受け渡すことにより（ステップＳ３９）、センタテー
ブル６の中心と、カセット２から取り出したウエハ１の
中心が一致する。
ーム５を、登録されたずれ量(△Ｘ，△Ｙ)だけ移動させ
た後（ステップＳ３８）、センタテーブル６上にウエハ
を受け渡すことにより（ステップＳ３９）、センタテー
ブル６の中心と、カセット２から取り出したウエハ１の
中心が一致する。
【００６５】センタテーブル６の中心と、カセット２か
ら取り出したウエハ１の中心が一致し、センタテーブル
６上でウエハを回転させ、オリフラ又はノッチ位置を検
出することにより、ウエハの位置決めが完了する（ステ
ップＳ４０〜Ｓ４１）。
ら取り出したウエハ１の中心が一致し、センタテーブル
６上でウエハを回転させ、オリフラ又はノッチ位置を検
出することにより、ウエハの位置決めが完了する（ステ
ップＳ４０〜Ｓ４１）。
【００６６】一方、ステップＳ１１にて、ＥとＦとの差
が一致しないと判定された場合は、４点の中心座標値
を、ステップＳ１２〜Ｓ１６に代えてステップＳ１７〜
Ｓ３６により求め、ステップＳ３７〜Ｓ４１により、ウ
エハ芯出し及び位置決めを行う。
が一致しないと判定された場合は、４点の中心座標値
を、ステップＳ１２〜Ｓ１６に代えてステップＳ１７〜
Ｓ３６により求め、ステップＳ３７〜Ｓ４１により、ウ
エハ芯出し及び位置決めを行う。
【００６７】この場合、第２の計算式を用いる。第２の
計算式は、一方の実測弦ＢＣから、他方の弦Ａ′Ｄ′を
計算により求めるものである。
計算式は、一方の実測弦ＢＣから、他方の弦Ａ′Ｄ′を
計算により求めるものである。
【００６８】２点Ｂ（Ｘｂ，Ｙｂ）とＣ（Ｘｃ，Ｙｃ）
を結ぶ弦ＢＣの長さは、 ＢＣ＝Ｘｃ−Ｘｂ …１０式 弦ＢＣが正しいと仮定した場合における、弦Ａ′Ｄ′の
長さを求める。
を結ぶ弦ＢＣの長さは、 ＢＣ＝Ｘｃ−Ｘｂ …１０式 弦ＢＣが正しいと仮定した場合における、弦Ａ′Ｄ′の
長さを求める。
【００６９】図９に示すように、Ｒはウエハ半径、セン
サ間寸法をＬ、規定中心(原点)からセンサ８までの寸法
をＬ１、規定中心(原点)からセンサ９までの寸法をＬ２
とすると、弦ＢＣが正しいと仮定した場合における、ウ
エハ中心からセンサ９までの寸法をＬ２′とし、Ｒ、Ｌ
１′ＢＣ／２で構成される三角形より三平方の定理を用
いると、 Ｌ１′2＝Ｒ2−(ＢＣ／２)2 Ｌ１′ ＝√（Ｒ2−(ＢＣ／２)2） …１１式 センサ間寸法Ｌは固定値のため、ウエハ中心からセンサ
９までの寸法をＬ２′とすると、 Ｌ２′＝Ｌ−Ｌ１′ …式１２ このＬ２′より弦Ａ′Ｄ′の長さを求める。
サ間寸法をＬ、規定中心(原点)からセンサ８までの寸法
をＬ１、規定中心(原点)からセンサ９までの寸法をＬ２
とすると、弦ＢＣが正しいと仮定した場合における、ウ
エハ中心からセンサ９までの寸法をＬ２′とし、Ｒ、Ｌ
１′ＢＣ／２で構成される三角形より三平方の定理を用
いると、 Ｌ１′2＝Ｒ2−(ＢＣ／２)2 Ｌ１′ ＝√（Ｒ2−(ＢＣ／２)2） …１１式 センサ間寸法Ｌは固定値のため、ウエハ中心からセンサ
９までの寸法をＬ２′とすると、 Ｌ２′＝Ｌ−Ｌ１′ …式１２ このＬ２′より弦Ａ′Ｄ′の長さを求める。
【００７０】Ｒ、Ｌ２′、Ａ′Ｂ′／２で構成される三
角形より同様に三平方の定理を用いて、 (Ａ′Ｄ′／２)2＝Ｒ2−（Ｌ２′）2 Ａ′Ｄ′＝２＊√（Ｒ2−（Ｌ２′）2 …式１３ 弦ＢＣの長さを基準として、計算した弦Ａ′Ｄ′の長さ
と実際の弦ＡＤの長さの差の半分(ΔＡＤ／２)がΔＥＦ
と等しければ弦ＡＤのＡもしくはＤにオリフラが掛かっ
ていることになる。ここで、弦ＢＣの中点ＦにおけるＸ
座標値は正しいウエハ中心のＸ座標値を表わしている。
これに対し、弦ＡＤはオリフラが掛かった分だけ短くな
るため、弦ＡＤの中点ＥにおけるＸ座標値は、オリフラ
が掛かった長さの半分だけ原点を基準に長くなる。
角形より同様に三平方の定理を用いて、 (Ａ′Ｄ′／２)2＝Ｒ2−（Ｌ２′）2 Ａ′Ｄ′＝２＊√（Ｒ2−（Ｌ２′）2 …式１３ 弦ＢＣの長さを基準として、計算した弦Ａ′Ｄ′の長さ
と実際の弦ＡＤの長さの差の半分(ΔＡＤ／２)がΔＥＦ
と等しければ弦ＡＤのＡもしくはＤにオリフラが掛かっ
ていることになる。ここで、弦ＢＣの中点ＦにおけるＸ
座標値は正しいウエハ中心のＸ座標値を表わしている。
これに対し、弦ＡＤはオリフラが掛かった分だけ短くな
るため、弦ＡＤの中点ＥにおけるＸ座標値は、オリフラ
が掛かった長さの半分だけ原点を基準に長くなる。
【００７１】従って、原点からＥまでのＸ座標値と、原
点からＦまでのＸ座標値を比較し、Ｅ＞Ｆであれは、Ａ
にオリフラか掛かっていると判定する。逆にＥ＜Ｆであ
れば、Ｄにオリフラが掛かっていると判定する。
点からＦまでのＸ座標値を比較し、Ｅ＞Ｆであれは、Ａ
にオリフラか掛かっていると判定する。逆にＥ＜Ｆであ
れば、Ｄにオリフラが掛かっていると判定する。
【００７２】同様に、弦ＡＤの長さを基準として、計算
した弦Ｂ′Ｃ′の長さと実際の弦ＢＣの長さの差の半分
(ΔＢＣ／２)がΔＥＦと等しければ弦ＢＣにオリフラが
掛かっていることになる。
した弦Ｂ′Ｃ′の長さと実際の弦ＢＣの長さの差の半分
(ΔＢＣ／２)がΔＥＦと等しければ弦ＢＣにオリフラが
掛かっていることになる。
【００７３】従って、原点からＥまでのＸ座標値と、原
点からＦまでのＸ座標値を比較し、Ｅ＞Ｆであれは、Ｃ
にオリフラが掛かっていると判定する。逆にＥ＜Ｆであ
れば、Ｂにオリフラが掛かっていると判定する。
点からＦまでのＸ座標値を比較し、Ｅ＞Ｆであれは、Ｃ
にオリフラが掛かっていると判定する。逆にＥ＜Ｆであ
れば、Ｂにオリフラが掛かっていると判定する。
【００７４】同様にして、弦ＡＤが正しいと仮定した場
合における、弦Ｂ′Ｃ′の長さを求めることができる。
合における、弦Ｂ′Ｃ′の長さを求めることができる。
【００７５】その後、各検出した弦ＡＤ及び弦ＢＣの長
さを用いて、検出点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの何れにオリフラが
掛かっているかの判断を実施した後、オリフラ部のデー
タを除いた残りの３点から第１の計算方法もしくは上記
第２の計算式で用いた三平方の定理よりウエハの中心を
算出する。
さを用いて、検出点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの何れにオリフラが
掛かっているかの判断を実施した後、オリフラ部のデー
タを除いた残りの３点から第１の計算方法もしくは上記
第２の計算式で用いた三平方の定理よりウエハの中心を
算出する。
【００７６】このウエハ中心値は、ウエハのずれ量(△
Ｘ，△Ｙ)としてメモリ１３に登録する（ステップＳ３
７）。
Ｘ，△Ｙ)としてメモリ１３に登録する（ステップＳ３
７）。
【００７７】センタテーブル６上で、ウエハ取り出しア
ーム５を、登録された(△Ｘ，△Ｙ)だけ移動させた後
（ステップＳ３８）、センタテーブル６上にウエハを受
け渡すことにより（ステップＳ３９）、センタテーブル
６の中心と、カセット２から取り出したウエハ１の中心
が一致する。
ーム５を、登録された(△Ｘ，△Ｙ)だけ移動させた後
（ステップＳ３８）、センタテーブル６上にウエハを受
け渡すことにより（ステップＳ３９）、センタテーブル
６の中心と、カセット２から取り出したウエハ１の中心
が一致する。
【００７８】センタテーブル６の中心と、カセット２か
ら取り出したウエハ１の中心が一致し、センタテーブル
６上でウエハを回転させ、オリフラ又はノッチ位置を検
出することにより、ウエハの位置決めが完了する（ステ
ップＳ４０〜Ｓ４１）。
ら取り出したウエハ１の中心が一致し、センタテーブル
６上でウエハを回転させ、オリフラ又はノッチ位置を検
出することにより、ウエハの位置決めが完了する（ステ
ップＳ４０〜Ｓ４１）。
【００７９】（第２の実施形態）図１に示す構成によれ
ば、カセット２からウエハ取り出しアーム５により取り
出されたウエハ１は、２個のセンサ８、９を通過する過
程において、第３図に示すように、４点のエッジ座標デ
ータが検出され、センサ間中心とウエハ中心が一致しな
いように非対称に配置されていることにより、検出され
るＡ〜Ｄの４点は、カセット２内でのウエハ１の位置ず
れが発生しても、必ずＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順番で取り込ま
れる。
ば、カセット２からウエハ取り出しアーム５により取り
出されたウエハ１は、２個のセンサ８、９を通過する過
程において、第３図に示すように、４点のエッジ座標デ
ータが検出され、センサ間中心とウエハ中心が一致しな
いように非対称に配置されていることにより、検出され
るＡ〜Ｄの４点は、カセット２内でのウエハ１の位置ず
れが発生しても、必ずＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順番で取り込ま
れる。
【００８０】ここで、得られた４点のエッジ座標データ
から３点(ＡＢＣ，ＢＣＤ，ＣＤＡ，ＤＡＢ)の組合せか
ら４個の中心座標を算出し、この値から各半径値を求
め、最も正規の円の半径に近い中心点をウエハのずれ量
として図示しないメモリ１３に△Ｘ，△Ｙとして登録す
る。
から３点(ＡＢＣ，ＢＣＤ，ＣＤＡ，ＤＡＢ)の組合せか
ら４個の中心座標を算出し、この値から各半径値を求
め、最も正規の円の半径に近い中心点をウエハのずれ量
として図示しないメモリ１３に△Ｘ，△Ｙとして登録す
る。
【００８１】センタテーブル６上で、ウエハ取り出しア
ーム５を、メモリ１３に登録された△Ｘ，△Ｙだけ移動
させた後、センタテーブル６上にウエハ１を受け渡すこ
とにより、センタテーブル６の中心と、カセット２から
取り出したウエハ１の中心が一致する。
ーム５を、メモリ１３に登録された△Ｘ，△Ｙだけ移動
させた後、センタテーブル６上にウエハ１を受け渡すこ
とにより、センタテーブル６の中心と、カセット２から
取り出したウエハ１の中心が一致する。
【００８２】センタテーブル６の中心と、カセット２か
ら取り出したウエハ１の中心が一致し、センタテーブル
６上でウエハ１を回転させ、オリフラ又はノッチ位置を
検出することにより、ウエハの位置決めを完了させても
同様の効果を得ることが可能である。
ら取り出したウエハ１の中心が一致し、センタテーブル
６上でウエハ１を回転させ、オリフラ又はノッチ位置を
検出することにより、ウエハの位置決めを完了させても
同様の効果を得ることが可能である。
【００８３】（第３の実施形態）上述した第２の計算式
では、実測弦ＢＣから、他方の弦Ａ′Ｄ′を算出してい
るが、予め、実測弦ＢＣに対応する他方の弦Ａ′Ｄ′の
長さ、及び実測弦ＡＤに対応する他方の弦Ｂ′Ｃ′の長
さを算出しておき、例えばメモリ１３にマップデータと
して保持しておくことにより、演算時間を必要とせず
に、どちらの弦が正しいかの判断が可能となり、搬送速
度の向上につながる。
では、実測弦ＢＣから、他方の弦Ａ′Ｄ′を算出してい
るが、予め、実測弦ＢＣに対応する他方の弦Ａ′Ｄ′の
長さ、及び実測弦ＡＤに対応する他方の弦Ｂ′Ｃ′の長
さを算出しておき、例えばメモリ１３にマップデータと
して保持しておくことにより、演算時間を必要とせず
に、どちらの弦が正しいかの判断が可能となり、搬送速
度の向上につながる。
【００８４】（第４の実施形態）第４の実施形態は、図
１５〜図１８に示すように、ウエハが下側又は上側にず
れていた場合でオリフラが点Ｂ又はＡ側に掛かっていた
ときに好適な例である。
１５〜図１８に示すように、ウエハが下側又は上側にず
れていた場合でオリフラが点Ｂ又はＡ側に掛かっていた
ときに好適な例である。
【００８５】図１に示す構成によれば、カセット２から
ウエハ取り出しアーム５により取り出されたウエハ１
は、２個のセンサ８、９を通過する過程において、第３
図に示すように、４点のエッジ座標データが検出され、
センサ間中心とウエハ中心が一致しないように非対称に
配置されていることにより、検出されるＡ〜Ｄの４点
は、カセット２内でのウエハ１の位置ずれが発生して
も、必ずＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順番で取り込まれる。
ウエハ取り出しアーム５により取り出されたウエハ１
は、２個のセンサ８、９を通過する過程において、第３
図に示すように、４点のエッジ座標データが検出され、
センサ間中心とウエハ中心が一致しないように非対称に
配置されていることにより、検出されるＡ〜Ｄの４点
は、カセット２内でのウエハ１の位置ずれが発生して
も、必ずＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順番で取り込まれる。
【００８６】ここで、得られた４点のエッジ座標データ
から３点(ＡＢＣ，ＢＣＤ，ＣＤＡ，ＤＡＢ)の組合せか
ら算出される４個の中心点を算出する。
から３点(ＡＢＣ，ＢＣＤ，ＣＤＡ，ＤＡＢ)の組合せか
ら算出される４個の中心点を算出する。
【００８７】本実施形態では、４個の中心点の値から各
半径値を求め、最も大きい半径を示す座標値の組み合わ
せと、２番目に大きい半径を示す座標値の組み合わせを
抽出し、各座標値から、上記第１の実施形態で示した第
２の計算式で、実測弦ＢＣに対応する他方の弦Ａ′Ｄ′
の長さ、及び実測弦ＡＤに対応する他方の弦Ｂ′Ｃ′の
長さを算出し、どちらの弦が正しいか判断し、その結果
により、中心を求めても同様の効果が得られる。
半径値を求め、最も大きい半径を示す座標値の組み合わ
せと、２番目に大きい半径を示す座標値の組み合わせを
抽出し、各座標値から、上記第１の実施形態で示した第
２の計算式で、実測弦ＢＣに対応する他方の弦Ａ′Ｄ′
の長さ、及び実測弦ＡＤに対応する他方の弦Ｂ′Ｃ′の
長さを算出し、どちらの弦が正しいか判断し、その結果
により、中心を求めても同様の効果が得られる。
【００８８】なお、上述した各実施形態においては、ウ
エハ搬送中にウエハのオリフラ位置を検出するものとな
っているが、図１において、センタテーブル６上でウエ
ハ１を回転させてオリフラを検出するに際し、センサ
８，９にもっとも近い回転方向に、センタテーブル６が
回転制御されるように、センタテーブル６を移動させる
ウエハ移動機構１２を配置することにより、オリフラ検
出のために動作する回転角度がもっとも少なくてすみ、
オリフラ合わせの時間短縮が可能となる。
エハ搬送中にウエハのオリフラ位置を検出するものとな
っているが、図１において、センタテーブル６上でウエ
ハ１を回転させてオリフラを検出するに際し、センサ
８，９にもっとも近い回転方向に、センタテーブル６が
回転制御されるように、センタテーブル６を移動させる
ウエハ移動機構１２を配置することにより、オリフラ検
出のために動作する回転角度がもっとも少なくてすみ、
オリフラ合わせの時間短縮が可能となる。
【００８９】本発明によるウエハ芯出し制御は、ウエハ
搬送方向に交差する方向に沿い且つ規定ウエハ中心と非
対称に配置された二つのセンサ８，９からの検出値を演
算部１１により演算して補正量を演算するものである
が、演算部１１の構成としてはハードウエアとして構成
する他に、演算部１１をコンピュータ又はコンピュータ
の一部の機能により構成すると共に図４〜図７のフロー
が実施される方法又はプログラムを当該コンピュータに
よる演算部１１により実行するソフトウエアとして構成
とすることもできる。
搬送方向に交差する方向に沿い且つ規定ウエハ中心と非
対称に配置された二つのセンサ８，９からの検出値を演
算部１１により演算して補正量を演算するものである
が、演算部１１の構成としてはハードウエアとして構成
する他に、演算部１１をコンピュータ又はコンピュータ
の一部の機能により構成すると共に図４〜図７のフロー
が実施される方法又はプログラムを当該コンピュータに
よる演算部１１により実行するソフトウエアとして構成
とすることもできる。
【００９０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ウエ
ハ搬送方向に交差する方向に沿い且つ規定ウエハ中心と
非対称に配置された二つのセンサからの検出データから
ウエハのオリフラを判断して、該オリフラに掛かるデー
タ以外の残りの３点でウエハの中心座標値を算出するた
め、正しいウエハ中心を求めることが可能なウエハ芯出
し装置及び方法並びにプログラムを提供できるものであ
る。
ハ搬送方向に交差する方向に沿い且つ規定ウエハ中心と
非対称に配置された二つのセンサからの検出データから
ウエハのオリフラを判断して、該オリフラに掛かるデー
タ以外の残りの３点でウエハの中心座標値を算出するた
め、正しいウエハ中心を求めることが可能なウエハ芯出
し装置及び方法並びにプログラムを提供できるものであ
る。
【図１】本発明に係るウエハ芯出し装置の一の実施形態
を示す図。
を示す図。
【図２】同の実施形態における要部を示す斜視図。
【図３】同の実施形態の装置から得られる検出座標の状
態を示す図。
態を示す図。
【図４】同の実施形態の装置の制御部による動作フロー
図。
図。
【図５】同の実施形態の装置の制御部による動作フロー
図。
図。
【図６】同の実施形態の装置の制御部による動作フロー
図。
図。
【図７】同の実施形態の装置の制御部による動作フロー
図。
図。
【図８】図１の装置の制御部による中心を算出する説明
図。
図。
【図９】図１の装置の制御部によるオリフラ位置を算出
する説明図。
する説明図。
【図１０】オリフラ位置と求まる半径との関係を説明す
るものであって、ウエハが下側にずれていた場合でオリ
フラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量と
半径との関係を示す図。
るものであって、ウエハが下側にずれていた場合でオリ
フラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量と
半径との関係を示す図。
【図１１】同オリフラが点Ａに掛かっていたときのオリ
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
【図１２】同オリフラ位置と求まる半径との関係を説明
するものであって、ウエハが上側にずれていた場合でオ
リフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量
と半径との関係を示す図。
するものであって、ウエハが上側にずれていた場合でオ
リフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量
と半径との関係を示す図。
【図１３】同オリフラが点Ａに掛かっていたときのオリ
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
【図１４】図１の装置の制御部による中心を算出する説
明図。
明図。
【図１５】センサをウエハ中心からずらして配置した場
合における、オリフラ位置と求まる半径との関係を説明
するものであって、ウエハが下側にずれていた場合でオ
リフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量
と半径との関係を示す図。
合における、オリフラ位置と求まる半径との関係を説明
するものであって、ウエハが下側にずれていた場合でオ
リフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量
と半径との関係を示す図。
【図１６】同オリフラが点Ａに掛かっていたときのオリ
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
【図１７】センサをウエハ中心からずらして配置した場
合における、オリフラ位置と求まる半径との関係を説明
するものであって、ウエハが上側にずれていた場合でオ
リフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量
と半径との関係を示す図。
合における、オリフラ位置と求まる半径との関係を説明
するものであって、ウエハが上側にずれていた場合でオ
リフラが点Ｂに掛かっていたときのオリフラの掛かり量
と半径との関係を示す図。
【図１８】同オリフラが点Ａに掛かっていたときのオリ
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
フラの掛かり量と半径との関係を示す図。
１ … ウエハ
２ … カセット
３ … カセット台
４ … エレベータ機構部
５ … ウエハ取り出しアーム
６ … センタテーブル
７ … オリフラ合わせセンサ
８ … センサ
９ … センサ
１０ … 取り付け体
１１ … 演算部
１２ … ウエハ移動機構
１３ … メモリ
フロントページの続き
(72)発明者 楡井 辰夫
東京都八王子市石川町2951番地 株式会社
オリンパスエンジニアリング内
Ｆターム(参考） 2F069 AA03 AA13 AA17 BB15 CC07
DD15 GG13 GG63 MM23 MM34
NN15 NN26 PP06 PP08
5F031 CA02 FA01 FA07 FA11 FA12
GA02 GA42 GA48 GA49 HA59
JA14 JA17 JA29 JA34 JA35
JA36 JA51 KA10 KA11 KA13
KA14 LA09 PA02
Claims (10)
- 【請求項１】 ウエハの芯出しを行なうウエハ芯出し装
置において、 前記ウエハをウエハ受け渡し位置に搬送するウエハ搬送
部と、 前記ウエハ搬送部の搬送方向中心軸に対して非対称に配
置され前記ウエハの複数のエッジ座標データを検出する
複数のセンサと、 前記ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより得ら
れた複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形成さ
れた位置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標デー
タに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められたウ
エハ中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求める
演算部と、 この演算部で求められたズレ量に基づいて前記ウエハ受
け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合わせるために前
記ウエハ搬送部をＸＹ方向に移動させる移動手段と、 を具備することを特徴とするウエハ芯出し装置。 - 【請求項２】 前記複数のセンサは、前記ウエハ搬送部
の搬送方向と直交する方向に第１のセンサと第２のセン
サを非対称に配置し、第１と第２のセンサ間の距離を前
記位置合わせ形状部であるオリエンテーションフラット
の長さより大きくしたことを特徴とする請求項１記載の
ウエハ芯出し装置。 - 【請求項３】 前記演算部は、前記一方のセンサにより
検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標と、前
記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座標デー
タの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致してい
ると判定した場合に前記複数のエッジ座標データから任
意の３点のエッジ座標データに基づいてウエハの中心位
置を求めることを特徴とする請求項１又は２記載のウエ
ハ芯出し装置。 - 【請求項４】 前記演算部は、前記一方のセンサにより
検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標と、前
記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座標デー
タの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致してい
ると判定した場合に各エッジ座標データの３点の組み合
わせから複数のウエハの中心位置を求め、この複数の中
心位置の平均値を求めることを特徴とする請求項１又は
２記載のウエハ芯出し装置。 - 【請求項５】 前記演算部は、前記一方のセンサにより
検出された２点のエッジ座標データの中点Ｘ座標と、前
記他方のセンサにより検出された２点のエッジ座標デー
タの中点Ｘ座標が一致しているかを判定し、一致してい
ないと判定した場合に前記ウエハに形成された位置合わ
せ形状部を含まない３点のエッジ座標データに基づき前
記ウエハの中心を求めることを特徴とする請求項１又は
２記載のウエハ芯出し装置。 - 【請求項６】 前記演算部は、一致しないと判定した場
合、前記名センサにより検出された２点のエッジ座標デ
ータからそれぞれの弦の長さを実測し、一方の実測弦に
対する他方の弦の長さを計算して求め、この計測した弦
の長さと他方の実測弦の長さとの差の半値と前記各実測
弦の中点の差とを比較して前記位置合わせ形状部が含ま
れるエッジ座標データを特定することを特徴とする請求
項５記載のウエハ芯出し装置。 - 【請求項７】 前記演算部は、前記各エッジ座標データ
の３点の組み合わせからそれぞれウエハの中心位置を求
め、これら各中心位置から最も大きい半径を示す３点の
エッジ座標データの組み合わせと、２番目に大きい半径
を示す３点のエッジ座標データを抽出し、これら２組の
組み合わせに対応する前記各弦が正しいかを判断するこ
とを特徴とする請求項１又は２記載のウエハ芯出し装
置。 - 【請求項８】 前記演算部は、前記各エッジ座標データ
の３点の組み合わせからそれぞれウエハの中心位置を求
め、これら各中心位置からの各半径値を求め、最も正規
の半径値に近い３点の組み合わせの中心位置を前記ウエ
ハの中心とすることを特徴とする請求項１記載のウエハ
芯出し装置。 - 【請求項９】 ウエハ搬送部において複数のセンサによ
り得られた複数のエッジ座標データのうちウエハに形成
された位置合わせ形状部を含まない３点のエッジ座標デ
ータに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められた
ウエハ中心と受け渡し位置の中心とのズレ量を求めるウ
エハ芯出し方法。 - 【請求項１０】 コンピュータに、ウエハ搬送部におい
て複数のセンサにより得られた複数のエッジ座標データ
のうちウエハに形成された位置合わせ形状部を含まない
３点のエッジ座標データに基づき前記ウエハの中心を求
めさせ、この求められたウエハ中心と受け渡し位置の中
心とのズレ量を求めさせるためのウエハ芯出しプログラ
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002055009A JP4059690B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラムとウエハ搬送装置、検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002055009A JP4059690B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラムとウエハ搬送装置、検査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003254738A true JP2003254738A (ja) | 2003-09-10 |
| JP2003254738A5 JP2003254738A5 (ja) | 2005-09-02 |
| JP4059690B2 JP4059690B2 (ja) | 2008-03-12 |
Family
ID=28665959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002055009A Expired - Lifetime JP4059690B2 (ja) | 2002-02-28 | 2002-02-28 | ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラムとウエハ搬送装置、検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4059690B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294987A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料処理装置 |
| JP2008218903A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Olympus Corp | ウエハの求心装置および方法 |
| JP2009016455A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Nec Corp | 基板位置検出装置及び基板位置検出方法 |
| JP2010067905A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Omron Corp | ウエハのアライメント方法及び装置 |
| JP2012186249A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Nec Corp | 半導体チップ搭載装置及び半導体チップ搭載方法 |
| JP2016134526A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | リンテック株式会社 | 移載装置および移載方法 |
| KR20170006264A (ko) * | 2015-07-07 | 2017-01-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 방법, 프로그램 및 기판 처리 장치 |
| KR101757815B1 (ko) | 2015-09-25 | 2017-07-14 | 세메스 주식회사 | 기판 중심 검출 방법, 기판 반송 방법, 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치. |
| CN112378353A (zh) * | 2020-11-04 | 2021-02-19 | 仝允威 | 一种全自动小行程复合探针三坐标测量仪 |
| WO2021095553A1 (ja) * | 2019-11-13 | 2021-05-20 | 株式会社エム・シー・ケー | 搬送装置及び搬送方法 |
| CN114000192A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-01 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备以及晶圆位置状态的监测方法 |
-
2002
- 2002-02-28 JP JP2002055009A patent/JP4059690B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294987A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料処理装置 |
| JP2008218903A (ja) * | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Olympus Corp | ウエハの求心装置および方法 |
| JP2009016455A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Nec Corp | 基板位置検出装置及び基板位置検出方法 |
| JP2010067905A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Omron Corp | ウエハのアライメント方法及び装置 |
| JP2012186249A (ja) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | Nec Corp | 半導体チップ搭載装置及び半導体チップ搭載方法 |
| JP2016134526A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | リンテック株式会社 | 移載装置および移載方法 |
| JP2017022166A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送方法、プログラム及び基板処理装置 |
| CN106340479A (zh) * | 2015-07-07 | 2017-01-18 | 东京毅力科创株式会社 | 基板输送方法和基板处理装置 |
| KR20170006264A (ko) * | 2015-07-07 | 2017-01-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 방법, 프로그램 및 기판 처리 장치 |
| KR102588989B1 (ko) * | 2015-07-07 | 2023-10-12 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반송 방법, 프로그램 및 기판 처리 장치 |
| KR101757815B1 (ko) | 2015-09-25 | 2017-07-14 | 세메스 주식회사 | 기판 중심 검출 방법, 기판 반송 방법, 반송 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치. |
| US10388550B2 (en) | 2015-09-25 | 2019-08-20 | Semes Co., Ltd. | Method for detecting the center of substrate, method for transporting a substrate, transporting unit and apparatus for treating a substrate including the unit |
| WO2021095553A1 (ja) * | 2019-11-13 | 2021-05-20 | 株式会社エム・シー・ケー | 搬送装置及び搬送方法 |
| CN112378353A (zh) * | 2020-11-04 | 2021-02-19 | 仝允威 | 一种全自动小行程复合探针三坐标测量仪 |
| CN114000192A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-01 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备以及晶圆位置状态的监测方法 |
| WO2023072180A1 (zh) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备以及晶圆位置状态的监测方法 |
| CN114000192B (zh) * | 2021-10-29 | 2023-10-13 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备以及晶圆位置状态的监测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4059690B2 (ja) | 2008-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9805960B2 (en) | Substrate conveyance method | |
| EP1062687B1 (en) | On the fly center-finding during substrate handling in a processing system | |
| JP3955499B2 (ja) | ハンドの位置合わせ方法およびその装置 | |
| US6510365B1 (en) | Carrier system positioning method | |
| JP2003254738A (ja) | ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラム | |
| US8060244B2 (en) | Substrate processing apparatus and carrier adjusting system | |
| US20020002422A1 (en) | Transfer apparatus for semiconductor process | |
| JP2009500869A (ja) | オンザフライ（ｏｎｔｈｅｆｌｙ）ワークピースセンタリングを備えた装置 | |
| JPH07148682A (ja) | 工具中心点キャリブレーション装置及び方法 | |
| JP4963469B2 (ja) | 位置修正装置、位置修正方法 | |
| JP2002270672A (ja) | アライメント方法及び基板検査装置 | |
| JP2006269497A (ja) | 基板処理装置及び基板収納方法 | |
| KR20080092013A (ko) | 웨이퍼 이송 방법 | |
| JPH09252039A (ja) | 搬送装置におけるティーチング位置設定方法及びティーチング位置設定装置 | |
| JP5685875B2 (ja) | 治具、搬送ロボット、円盤状搬送対象物アライメント方法 | |
| JPH09306977A (ja) | ウエハ検査装置等におけるウエハの位置決め方法 | |
| JP2003254738A5 (ja) | ||
| JP5728204B2 (ja) | 基板位置検出方法 | |
| CN102934216A (zh) | 用于对准半导体材料的方法 | |
| JP2558484B2 (ja) | ウエハの位置決め装置 | |
| JP2004288824A (ja) | 電子部品装着装置のキャリブレーション法及びその方法を用いた装置 | |
| JP2000012657A (ja) | 半導体ウェハの位置決め装置 | |
| JPH0685038A (ja) | ウエハの位置合わせ方法及びその装置並びに透明ウエハの位置合わせ装置 | |
| JP2003145004A (ja) | ノズルの位置ずれ検出装置及びこれを用いた材料塗布装置 | |
| KR100271361B1 (ko) | 웨이퍼얼라인장치및그방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050228 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050228 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061221 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070109 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070309 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070605 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070802 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070831 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070906 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071121 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071218 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071218 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101228 Year of fee payment: 3 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4059690 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111228 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111228 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121228 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131228 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |