KR20080092013A - 웨이퍼 이송 방법 - Google Patents

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KR20080092013A
KR20080092013A KR1020070035265A KR20070035265A KR20080092013A KR 20080092013 A KR20080092013 A KR 20080092013A KR 1020070035265 A KR1020070035265 A KR 1020070035265A KR 20070035265 A KR20070035265 A KR 20070035265A KR 20080092013 A KR20080092013 A KR 20080092013A
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sensing
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robot arm
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KR1020070035265A
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이종석
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세메스 주식회사
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Abstract

웨이퍼 이송 방법은 다수의 센서들이 로봇 암에 의해 이송되는 웨이퍼를 감지하는 거리를 각각 측정한다. 각 센서들의 감지 거리를 이용하여 웨이퍼가 로봇 암의 기준 위치에서 이탈된 거리를 연산한다. 연산 결과를 이용하여 웨이퍼의 위치가 보정되도록 로봇 암의 위치를 이동시킨다. 따라서, 웨이퍼를 정확한 위치로 이송할 수 있다.

Description

웨이퍼 이송 방법 및 장치{Method and apparatus for transferring a wafer}
도 1은 본 발명의 웨이퍼 이송 방법을 수행하기 위한 웨이퍼 이송 장치를 설명하기 위한 블록이다.
도 2는 웨이퍼 이탈 거리를 연산하는 계산식을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 웨이퍼 이송 장치 110 : 로봇암
112 : 블레이드 120 : 센서
122 : 중앙 센서 124 : 측면 센서
130 : 연산부 140 : 제어부
W : 웨이퍼
본 발명은 웨이퍼 이송 방법 및 이를 수행하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자를 제조하기 위한 웨이퍼를 공정 장치들로 이송하는 웨이퍼 이송 방법 및 이를 수행하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조 공정은 웨이퍼에 증착, 식각, 이온주입, 노광, 현상, 그리고 세정 등의 다양한 반도체 공정들을 수행하여 집적회로 칩을 생산하는 공정이다. 반도체 소자의 제조 공정이 진행되면, 로봇 암(robot arm)과 같은 기판 이송 장치가 상기 공정들을 수행하는 공정장치들 상호간에 웨이퍼를 이송하며, 각각의 공정장치들은 웨이퍼를 이송받아 웨이퍼 상에 각각의 공정을 수행한다.
기판 이송 장치는 센서 등의 감지 수단을 이용하여 웨이퍼의 유무를 감지하고, 각 공정 장치들은 공정을 수행하기 전에 센서 등의 감지 수단을 이용하여 웨이퍼가 기 설정된 위치에 정렬되었는지를 감지한다.
그러나, 상기 웨이퍼가 기판 이송 장치에 정상적으로 안착되어 이동되지 않으면, 웨이퍼의 이송시 웨이퍼가 기판 이송 장치로부터 이탈되어 파손되거나, 웨이퍼가 주변 설비와 충돌되어 손상될 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼가 기판 이송 장치에 정상적으로 안착되어 이동되지 않으면, 기판 이송 장치에 의해 이송된 웨이퍼가 기 설정된 위치에 정렬되지 않는다. 따라서, 상기 웨이퍼를 다시 정렬해야 하므로 공정 시간이 지연될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 로봇 암의 기 설정위치로부터 웨이퍼가 이탈된 정도를 확인하여 보정할 수 있는 웨이퍼 이송 방법을 제공한다.
본 발명의 실시예들은 상기 웨이퍼 이송 방법을 수행할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 이송 방법은 다수의 센서들을 이용하여 로봇 암에 의해 이송되는 웨이퍼를 감지한다. 다수의 센서들의 감지 결과를 이용하여 상기 웨이퍼의 감지 거리를 각각 연산한다. 상기 각 센서들의 감지 거리 및 기준 감지 거리를 이용하여 상기 웨이퍼가 상기 로봇 암의 기준 위치에서 이탈된 거리를 연산한다. 상기 연산 결과를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치가 보정되도록 상기 로봇 암의 위치를 이동시킨다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 웨이퍼의 감지는 상기 웨이퍼의 중심 및 상기 중심으로부터 이격된 지점에 대해 각각 이루어질 수 있다. 상기 웨이퍼가 이송되는 방향과 수직한 방향으로의 이탈 거리(ΔX)는 하기의 계산식1에 의해 연산되며, 상기 웨이퍼가 이송되는 방향으로의 이탈 거리(ΔY)는 하기의 계산식2에 의해 연산될 수 있다.
*계산식1
Figure 112007027550415-PAT00001
Dab : 중앙 센서와 측면 센서 사이의 거리
Db : 측면 센서의 웨이퍼 감지 거리
R : 웨이퍼 반지름
* 계산식 2
Figure 112007027550415-PAT00002
(P0a가 P1a보다 앞설 때)
Figure 112007027550415-PAT00003
(P1a가 P0a보다 앞설 때)
P0a : 중앙 센서의 기준 웨이퍼 최초 감지 위치
P1a : 중앙 센서의 측정 웨이퍼 최초 감지 위치
R : 웨이퍼 반지름
Da : 중앙 센서(a)의 웨이퍼 감지 거리
본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼를 이송하기 위한 로봇암과, 상기 로봇암의 이동 방향과 수직하도록 배치되며, 상기 웨이퍼를 감지하기 위한 다수의 센서들과, 상기 각 센서들의 감지 결과를 이용하여 상기 웨이퍼가 상기 로봇암의 기준 위치에서 이동된 거리를 연산하는 연산부 및 상기 연산 결과에 따라 상기 웨이퍼의 위치가 보정되도록 상기 로봇암의 위치를 제어하는 제어부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 센서들은 상기 웨이퍼의 중심 부위를 감지하기 위한 중앙 센서 및 상기 웨이퍼의 중심을 기준으로 이격된 부위를 감지하기 위한 적어도 하나의 측면 센서를 포함할 수 있다. 상기 센서들은 일정 간격 이격되며, 상기 센서들의 간격은 상기 웨이퍼의 반지름보다 작을 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 상기 웨이퍼가 상기 로봇 암의 기 설정 위치로부터 이탈된 거리를 연산하고, 상기 거리만큼 로봇 암의 이동시켜 상기 웨이퍼의 위치를 보정한다. 따라서, 상기 웨이퍼를 공정 장치 등의 기 설정 위치에 정확하게 로딩할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이송 방법 및 이를 수행하기 위한 웨이퍼 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또 는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 웨이퍼 이송 방법을 수행하기 위한 웨이퍼 이송 장치(100)를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1을 참조하면, 웨이퍼 이송 장치(100)는 로봇 암(110), 다수의 센서(120), 연산부(130) 및 제어부(140)를 포함한다.
상기 로봇 암(110)은 반도체 소자의 제조 공정이 수행되는 공정 챔버(10)로 상기 웨이퍼(W)를 이송하거나, 상기 공정 챔버(10)로부터 상기 웨이퍼(W)를 이송한다. 상기 로봇 암(110)은 블레이드(112)를 포함한다. 상기 블레이드(112)는 'U'자 형태를 가지며, 웨이퍼(W)를 지지한다. 예를 들면, 상기 로봇 암(110)은 진공력을 이용하여 상기 웨이퍼(W)를 고정한다. 다른 예로, 상기 로봇 암(110)은 정전기력을 이용하여 상기 웨이퍼(W)를 고정할 수 있다. 상기 로봇 암(110)은 상기 웨이퍼(W)를 일정한 속도로 이송한다.
상기 센서들(120)은 중앙 센서(122)와 측면 센서(124)를 포함한다. 상기 중앙 센서(122)와 상기 측면 센서(124)는 상기 공정 챔버(10)에서 상기 웨이퍼(W)의 출입을 위한 개구(12)의 상부에 구비된다.
상기 중앙 센서(122)는 Y축 상에 배치된다. 상기 Y축은 상기 로봇 암(110)의 기 설정된 정상 위치에 고정되어 이송되는 웨이퍼(W)의 중심이 지난다. 상기 측면 센서(124)는 상기 중앙 센서(122)로부터 이격되어 배치된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 측면 센서(124)는 상기 중앙 센서(122)를 기준으로 양측에 배치된다. 일 예로, 상기 측면 센서들(112)은 상기 중앙 센서(122)를 기준으로 동일한 간격만큼 이격되어 배치될 수 있다. 다른 예로, 상기 측면 센서들(112)은 상기 중앙 센서(122)를 기준으로 서로 다른 간격만큼 이격되어 배치될 수 있다. 이때, 상기 중앙 센서(122)와 상기 측면 센서들(124) 사이의 간격은 상기 웨이퍼(W)의 반지름보다 작을 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 측면 센서(124)는 상기 중앙 센서(122)를 기준으로 일측에 배치될 수 있다.
상기 센서들(120)은 수직 하방을 향해 광을 조사한다. 상기 광의 차단 여부에 따라 상기 웨이퍼(W)의 감지 여부를 판단한다.
상기 연산부(130)는 상기 중앙 센서(122) 및 상기 측면 센서(124)의 광 차단 시간과 상기 로봇 암(110)의 일정한 이동 속도를 이용하여 상기 중앙 센서(122) 및 상기 측면 센서(124)의 웨이퍼 감지 거리를 연산한다.
또한, 상기 연산부(130)는 상기 웨이퍼 감지 거리들과 기 측정된 웨이퍼의 기준 감지 거리들을 이용하여 상기 웨이퍼의 이탈 거리를 연산한다. 상기 기준 감지 거리는 상기 웨이퍼가 상기 로봇 암의 기준 위치에 위치할 때 상기 센서들(120)의 웨이퍼 감지 거리이다.
도 2는 웨이퍼 이탈 거리를 연산하는 계산식을 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 상기 웨이퍼(W)의 이송 방향(Y축 방향)과 수직한 방향인 X축 방향으로의 이탈 거리(ΔX)는 중앙 센서와 좌측 측면 센서 사이의 거리(Dab1)와 실제 웨이퍼 중심과 측면 센서 사이의 거리(X)의 차와 같다. 즉
Figure 112007027550415-PAT00004
이다.
한편, 도 2의 삼각형 C1AB에서 각 C1AB를 θ라 할 때, 삼각함수 공식에 의해
Figure 112007027550415-PAT00005
이므로,
Figure 112007027550415-PAT00006
이다. 여기서, Db1는 좌측 측면 센서의 웨이퍼 감지 거리이다. 삼각함수 공식에 의해
Figure 112007027550415-PAT00007
이므로,
Figure 112007027550415-PAT00008
이다. 여기서, R은 웨이퍼 반지름이다. 따라서,
Figure 112007027550415-PAT00009
이다. 그러므로,
Figure 112007027550415-PAT00010
이다.
상기에서는 좌측 측면 센서를 기준으로 하여 X축 방향으로의 이동거리(ΔX)의 계산식을 유도하였지만, 우측 측면 센서를 기준으로 하여도 동일한 결과를 얻을 수 있다. 따라서,
Figure 112007027550415-PAT00011
이다.
여기서, 좌측 측면 센서의 감지 거리(Db1)의 거리가 우측 측면 센서의 감지 거리(Db2)보다 큰 경우, 상기 웨이퍼(W)는 상기 Y축을 기준으로 좌측으로 이탈된 상태이다. 반대의 경우, 상기 웨이퍼(W)는 상기 Y축을 기준으로 우측으로 이탈된 상태이다.
도 2를 참조하면, 측정 웨이퍼가 기준 웨이퍼보다 Y축 방향으로 하방에 위치할 때, 상기 웨이퍼(W)의 이송 방향(Y축 방향)으로의 이탈 거리(ΔY)는 Y1에서 Y2 값을 뺀 값이다. 상기 Y1은 기준 웨이퍼에 대한 중앙 센서의 최초 감지 위치(P0a)와 측정 웨이퍼에 대한 중앙 센서의 최초 감지 위치(P1a)의 차이고, Y2는 웨이퍼의 반지름(R)에서 중앙 센서의 감지 거리(Da)의 절반값을 뺀 값이다. 즉,
Figure 112007027550415-PAT00012
이다.
도시되지는 않았지만, 측정 웨이퍼가 기준 웨이퍼보다 Y축 방향으로 상방에 위치할 때, 상기 웨이퍼(W)의 이송 방향(Y축 방향)으로의 이탈 거리(ΔY)는 Y1과 Y2의 합이다. 상기 Y1은 기준 웨이퍼에 대한 중앙 센서의 최초 감지 위치(P0a)와 측정 웨이퍼에 대한 중앙 센서의 최초 감지 위치(P1a)의 차이고, Y2는 웨이퍼의 반지름(R)에서 중앙 센서의 감지 거리(Da)의 절반을 뺀 값이다. 즉,
Figure 112007027550415-PAT00013
이다.
한편, 상기 기준 웨이퍼에 대한 중앙 센서의 최초 감지 위치(P0a)가 측정 웨이퍼에 대한 중앙 센서의 최초 감지 위치(P1a)보다 앞서는 경우, 상기 웨이퍼(W)는 상기 Y축 방향으로 하방으로 이탈된 상태이다. 반대의 경우, 상기 웨이퍼(W)는 상기 Y축 방향으로 상방으로 이탈된 상태이다.
도 1을 참조하면, 상기 제어부(140)는 상기 연산부(130)의 연산 결과에 따라 상기 로봇암(110)을 제어한다. 상기 제어부(140)는 상기 웨이퍼(W)가 고정된 로봇암(110)을 이동시켜 기 설정된 위치에서 이탈된 웨이퍼(W)의 위치를 보정한다. 따 라서, 상기 웨이퍼(W)는 상기 로봇암(110)에 의해 기 설정된 위치에 정확하게 이송된다.
이하에서는 상기 웨이퍼 이송 장치(100)를 이용한 웨이퍼 이송 방법을 설명한다. 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 사용한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3을 참조하면, 로봇암(110)의 블레이드(112)에 일정한 속도로 웨이퍼(W)를 공정 챔버(10)로 이송하거나 상기 공정 챔버(10)로부터 반송한다. 상기 웨이퍼(W)를 이송 또는 반송하면서, 중앙 센서(122)와 측면 센서(124)를 이용하여 상기 웨이퍼(W)를 감지한다.(S110)
연산부(130)는 상기 중앙 센서(122)와 상기 측면 센서(124)가 상기 웨이퍼(W)를 감지하기 시작한 시간과 완료한 시간을 각각 측정한다. 상기 연산부(130)는 상기 중앙 센서(122)의 웨이퍼(W) 감지 시작 시간과 완료 시간의 차이 및 상기 웨이퍼(W)의 이동 속도를 이용하여 상기 중앙 센서(122)에 의한 웨이퍼 감지 거리(Da)를 연산한다. 또한, 상기 연산부(130)는 상기 측면 센서(124)의 웨이퍼(W) 감지 시작 시간과 완료 시간의 차이 및 상기 웨이퍼(W)의 이동 속도를 이용하여 상기 측면 센서(124)에 의한 웨이퍼 감지 거리(Db)를 연산한다.(S120)
다음으로, 상기 연산부(130)는 상기 측면 센서의 웨이퍼 감지 거리(Db)와 기 설정된 중앙 센서와 측면 센서 사이의 거리(Dab) 및 웨이퍼 반지름(R)을 하기 계산식에 대입하여 상기 웨이퍼(W)가 이송되는 방향과 수직한 방향으로의 이탈 거리(Δ X)를 연산한다.
Figure 112007027550415-PAT00014
상기 연산부(130)는 상기 중앙 센서(122)의 웨이퍼 감지 거리(Da), 상기 중앙 센서의 측정 웨이퍼 최초 감지 위치(P1a), 중앙 센서(122)의 기준 웨이퍼 최초 감지 위치(P0a) 및 상기 웨이퍼 반지름(R)을 하기 계산식에 대입하여 상기 웨이퍼(W)가 이송되는 방향으로의 이탈 거리(ΔY)를 연산한다.
Figure 112007027550415-PAT00015
(P0a가 P1a보다 앞설 때)
Figure 112007027550415-PAT00016
(P1a가 P0a보다 앞설 때)
따라서, 상기 웨이퍼(W)가 기 설정된 기준 위치로부터 이탈된 거리를 확인할 수 있다.(S130)
상기 연산부(130)에서 연산된 결과에 따라 제어부(140)는 상기 웨이퍼(W)를 이송하는 상기 로봇암(110)을 이동시킨다. 구체적으로, 상기 제어부(140)는 상기 웨이퍼(W)가 이탈된 방향과 반대 방향으로 상기 웨이퍼(W)의 이탈 거리만큼 상기 로봇암(110)을 이동시킨다. 이때, 상기 로봇암(110)을 상기 웨이퍼(W)를 이송 중인 상태이다. 따라서, 상기 웨이퍼(W)의 위치를 보정할 수 있다.(S140)
그러므로, 상기 웨이퍼(W)가 기준 위치에 안착되지 않아 상기 웨이퍼(W)가 챔버(10)와 충돌되어 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 웨이퍼(W)를 기 설정된 위치로 정확하게 이송할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면, 로봇암에 의해 이송되는 웨이퍼를 감지하여, 상기 웨이퍼가 기준 위치로부터 이탈된 거리를 연산한다. 상기 웨이퍼의 이탈 거리만큼 상기 로봇암의 위치를 이동하여 상기 웨이퍼의 위치를 보정한다. 따라서, 상기 웨이퍼(W)가 기준 위치에 위치하게 되므로, 상기 웨이퍼와 공정 장치와의 충돌을 방지할 수 있고, 상기 웨이퍼를 기준 위치로 정확하게 이송할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (6)

  1. 다수의 센서들을 이용하여 로봇암에 의해 이송되는 웨이퍼를 감지하는 단계;
    다수의 센서들의 감지 결과를 이용하여 상기 웨이퍼의 감지 거리를 각각 연산하는 단계;
    상기 각 센서들의 감지 거리 및 기준 감지 거리를 이용하여 상기 웨이퍼가 상기 로봇 암의 기준 위치에서 이탈된 거리를 연산하는 단계; 및
    상기 연산 결과를 이용하여 상기 웨이퍼의 위치가 보정되도록 상기 로봇 암의 위치를 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼의 감지는 상기 웨이퍼의 중심 및 상기 중심으로부터 이격된 지점에 대해 각각 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 웨이퍼가 이송되는 방향과 수직한 방향으로의 이탈 거리(ΔX)는 하기의 계산식1에 의해 연산되며, 상기 웨이퍼가 이송되는 방향으로의 이탈 거리(ΔY)는 하기의 계산식2에 의해 연산되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 방법.
    *계산식1
    Figure 112007027550415-PAT00017
    Dab : 중앙 센서와 측면 센서 사이의 거리
    Db : 측면 센서의 웨이퍼 감지 거리
    R : 웨이퍼 반지름
    * 계산식 2
    Figure 112007027550415-PAT00018
    (P0a가 P1a보다 앞설 때)
    Figure 112007027550415-PAT00019
    (P1a가 P0a보다 앞설 때)
    P0a : 중앙 센서의 기준 웨이퍼 최초 감지 위치
    P1a : 중앙 센서의 측정 웨이퍼 최초 감지 위치
    R : 웨이퍼 반지름
    Da : 중앙 센서(a)의 웨이퍼 감지 거리
  4. 웨이퍼를 이송하기 위한 로봇암;
    상기 로봇암의 이동 방향과 수직하도록 배치되며, 상기 웨이퍼를 감지하기 위한 다수의 센서들;
    상기 각 센서들의 감지 결과를 이용하여 상기 웨이퍼가 상기 로봇암의 기준 위치에서 이동된 거리를 연산하는 연산부; 및
    상기 연산 결과에 따라 상기 웨이퍼의 위치가 보정되도록 상기 로봇암의 위 치를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 센서들은,
    상기 웨이퍼의 중심 부위를 감지하기 위한 중앙 센서; 및
    상기 웨이퍼의 중심을 기준으로 이격된 부위를 감지하기 위한 적어도 하나의 측면 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 센서들은 일정 간격 이격되며, 상기 센서들의 간격은 상기 웨이퍼의 반지름보다 작은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.
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