JP2022161335A - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スループットの向上に有利な搬送技術を提供する。【解決手段】基板搬送装置は、基板を搬送経路に沿って載置台に搬送し載置する搬送機構と、前記搬送機構によって前記搬送経路に沿って前記基板が搬送されている間に前記基板のエッジを検出するための検出器と、前記載置台を位置決めする位置決め機構と、前記検出器から出力される情報に基づいて前記搬送機構によって搬送されている前記基板の予測停止位置を求め、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に、前記予測停止位置に対して前記載置台を位置決めする動作を前記位置決め機構に開始させるコントローラと、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、基板搬送装置および基板搬送方法に関する。

回路パターン等のパターンを基板に転写する露光装置を有するシステムでは、基板チャックの所定位置に基板を搬送するために、基板を基板チャックに搬送する前に基板のアライメントが行われうる。基板は、ノッチまたはオリエンテーションフラット等の切り欠き部を方位基準として有し、基板のアライメントは、切り欠き部を検出することによって基板の位置および方位を目標位置および目標方位に一致させる動作を含みうる。基板のアライメントは、切り欠き部を検出する装置においてなされてもよいし、該装置による検出結果に基づいて基板を搬送する際になされてもよい。

基板の位置および方位を検出する方法としては、基板を回転させながら基板のエッジを検出し、そのエッジを示す波形から基板の位置（中心位置）および方位を求める方法が知られている。この方法の実施には、基板のエッジを検出する検出器と、基板を保持する載置台と、載置台を回転させる機構とを有する装置が使用されうる。このような装置では、載置台の回転中心に対する基板の中心のずれ量が大きいほど検出器が有するディストーション成分等に起因する計測誤差が大きくなりうる。したがって、載置台には、小さいずれ量で基板が載置されるべきである。

特許文献１には、ウエハを搬送手段によって搬送しているときにウエハの中心位置と基準位置とのずれ量を算出し、そのずれ量を修正するように搬送手段によって載置台の中心位置にウエハを配置することが記載されている。

特開２００８－５３５５２号公報

しかしながら、特許文献１に記載された装置では、例えば、ずれ量を修正するように搬送手段がウエハを搬送するための距離が設計上の搬送距離（ずれ量が０の場合の搬送距離）より大きい場合には、その分だけ搬送時間が長くなり、スループットが低下しうる。

本発明は、スループットの向上に有利な搬送技術を提供することを目的とする。

本発明の１つの側面は、基板搬送装置に係り、前記基板搬送装置は、基板を搬送経路に沿って載置台に搬送し載置する搬送機構と、前記搬送機構によって前記搬送経路に沿って前記基板が搬送されている間に前記基板のエッジを検出するための検出器と、前記載置台を位置決めする位置決め機構と、前記検出器から出力される情報に基づいて前記搬送機構によって搬送されている前記基板の予測停止位置を求め、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に、前記予測停止位置に対して前記載置台を位置決めする動作を前記位置決め機構に開始させるコントローラと、を備える。

本発明によれば、スループットの向上に有利な搬送技術が提供される。

第１実施形態の基板搬送装置の構成を示す図。 基板がスカラロボットによって位置決め機構の載置台に搬送され載置される動作を示す図。 第１モードにおける載置台の駆動のタイミング（ａ）および第２モードにおける載置台の駆動のタイミング（ｂ）を示す図。 予測停止位置に対する載置台の位置決めを説明するための図。 第２モードの動作例を示す図。 第２モードの他の動作例を示す図。 第２モードにおける基板搬送装置の動作例を示す図。 第２実施形態の基板搬送装置の動作例を示す図。 第２実施形態の基板搬送装置の動作例を示す図。 第３実施形態の基板搬送装置の構成例を示す図。 第３実施形態の基板搬送装置の動作例を示す図。

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。この明細書および図面では、便宜的にＸＹＺ座標系に従って相対的な方向を説明する。

図１には、第１実施形態の基板搬送装置１の構成が模式的に示されている。基板搬送装置１は、スカラロボット１５０（搬送機構）と、検出器ＤＴと、位置決め機構１００と、コントローラＣＮＴとを備えうる。スカラロボット１５０は、ハンド１５５を有し、ハンド１５５で基板Ｓを保持し、該基板Ｓを搬送経路に沿って位置決め機構１００の載置台１２０に搬送し載置する搬送機構あるいは搬送ロボットである。検出器ＤＴは、スカラロボット１５０によって搬送経路に沿って基板Ｓが搬送されている間に該基板のエッジを検出するために使用される。検出器ＤＴは、複数のセンサ１１１、１１２、１１３を含むことができ、複数のセンサ１１１、１１２、１１３を使って基板Ｓのエッジを検出しうる。複数のセンサ１１１、１１２、１１３は、例えば、ラインセンサまたはエリアセンサでありうる。センサ１１１、１１２は、分解能を有する方向（ラインセンサの場合は、その長手方向）が互いに直交するように配置されうる。

位置決め機構１００は、載置台１２０と、載置台１２０を駆動する駆動機構１２２とを含みうる。駆動機構１２２は、例えば、載置台１２０をＺ軸に平行な軸の周りで回転駆動する機構、および、載置台１２０をＸＹ平面内の少なくとも１つの方向に並進駆動する機構を含みうる。駆動機構１２２は、載置台１２０をＺ軸に平行な方向に駆動する機構、即ち昇降機構を更に含んでもよい。検出器ＤＴおよび位置決め機構１００は、アライメント装置を構成しうる。ここで、基板Ｓが載置される載置台１２０の載置面に沿う方向であって互いに直交する２方向をＸ軸及びＹ軸の方向とし、Ｘ軸及びＹ軸に平行なＸＹ平面と直交する方向をＺ軸の方向とする。

基板Ｓが載置台１２０に載置された後、位置決め機構１００は、載置台１２０を回転させることによって基板Ｓを回転させ、検出器ＤＴは、基板Ｓが回転しているときの基板Ｓのエッジを検出しうる。コントローラＣＮＴは、載置台１２０に対する基板Ｓの配置誤差を検出する検出処理を実行しうる。検出処理は、例えば、基板Ｓが回転しているときの検出器ＤＴによる基板Ｓのエッジの検出結果に基づいて載置台１２０に載置された基板Ｓの配置誤差を検出する処理である。コントローラＣＮＴは、検出処理において検出された配置誤差に基づいて、載置台１２０に載置された基板Ｓの位置が基準位置に一致するように位置決め機構１００を制御しうる。基板Ｓの配置誤差の検出は、基板Ｓの切り欠き部を使った基板Ｓの方位の検出を含んでよい。この場合、コントローラＣＮＴは、載置台１２０に載置された基板Ｓの位置および方位が基準位置および基準方位にそれぞれ一致するように位置決め機構１００を制御しうる。

あるいは、コントローラＣＮＴは、載置台１２０に載置された基板Ｓを搬送する搬送機構を検出処理で検出された配置誤差に基づいて制御することによって基板Ｓのアライメントを実行してもよい。該搬送機構は、スカラロボット１５０であってもよいし、他の搬送機構（不図示）であってもよい。

コントローラＣＮＴは、検出器ＤＴから出力される情報に基づいてスカラロボット１５０によって搬送されている基板の予測停止位置を求めるように構成されうる。また、コントローラＣＮＴは、スカラロボット１５０によって基板が搬送されている間に、その予測停止位置に対して載置台１２０を位置決めする動作を位置決め機構１００に開始させるように構成されうる。

図２（ａ）、（ｂ）には、既知の直径を有する基板Ｓがスカラロボット１５０によって位置決め機構１００の載置台１２０に搬送され載置される動作が例示されている。図２（ａ）には、載置台１２０に対する基板Ｓの搬送が完了する直前、かつセンサ１１１、１１２の検出可能領域に基板Ｓが入ってきた状態が示されている。図２（ｂ）には、載置台１２０に基板Ｓが載置された状態が示されている。

図３（ａ）には、第１モードおける載置台１２０の駆動のタイミングが示されている。図３（ａ）には、検出器ＤＴによる検出結果として、センサ１１２を使った基板Ｓのエッジの位置の検出結果も示されている。ここで、「中心側」は、載置台１２０の原点位置に近い側、「外側」は、載置台１２０の原点位置から遠い側を意味する。図２（ａ）の状態および図２（ｂ）の状態を含む期間においてセンサ１１２を使って検出される基板Ｓのエッジの位置は、曲線２０１のように変化する。

第１モードでは、コントローラＣＮＴは、基板Ｓが載置台１２０の上に搬送されるようにスカラロボット１５０を制御し、次いで、検出器ＤＴによって基板Ｓの位置を検出し、その検出結果に基づいて載置台１２０を基板Ｓに位置決めする。次いで、コントローラＣＮＴは、載置台１２０上に基板Ｓが載置されるようにスカラロボット１５０を制御する。

図３（ｂ）には、第２モードにおける載置台１２０の駆動のタイミングが例示されている。図３（ｂ）には、検出器ＤＴによる検出結果として、センサ１１２を使った基板Ｓのエッジの位置の検出結果も示されている。ここで、「中心側」は、載置台１２０の原点位置に近い側、「外側」は、載置台１２０の原点位置から遠い側を意味する。図２（ａ）の状態および図２（ｂ）の状態を含む期間においてセンサ１１２を使って検出される基板Ｓのエッジの位置は、曲線２０１のように変化する。

コントローラＣＮＴは、スカラロボット１５０から提供される情報と、検出区間２３１において検出器ＤＴから出力される情報（基板Ｓのエッジの位置を示す情報）とに基づいて予測停止位置を求めるように構成されうる。予測停止位置は、スカラロボット１５０による基板Ｓの搬送を停止させたタイミング（図中の「搬送停止」のタイミング）における基板Ｓの位置である。また、コントローラＣＮＴは、スカラロボット１５０によって基板Ｓが搬送されている間に、予測停止位置に対して載置台１２０を位置決めする動作を位置決め機構１００に開始させるように構成されうる。図３（ｂ）の例では、検出区間２３１の終了の直後、より詳しくは、予測停止位置を求めた直後に、予測停止位置に対して載置台１２０を位置決めする動作が開始される。このような構成は、スループットの向上に有利である。ここで、コントローラＣＮＴは、スカラロボット１５０によって基板Ｓが搬送されている間に予測停止位置に対する載置台１２０の位置決めが終了するように位置決め機構１００を制御することが望ましく、これはスループットの更なる向上に有利である。

コントローラＣＮＴは、１つの例では、スカラロボット１５０から提供される情報と、検出区間２３１において検出器ＤＴから出力される情報（基板Ｓのエッジの位置を示す情報）とに基づいて予測停止位置を求めることができる。この例では、コントローラＣＮＴは、ハンド１５５の位置（ハンド１５５を代表する位置）と検出区間２３１において検出器ＤＴから出力される情報とに基づいてハンド１５５の位置と基板Ｓの位置（基板Ｓの代表位置）との相対位置を求めることができる。そして、コントローラＣＮＴは、載置台１２０上でハンド１５５が停止する位置と該相対位置とに基づいて予測停止位置を求めることができる。スカラロボット１５０からコントローラＣＮＴに提供される情報は、例えば、ハンド１５５の位置をリアルタイムに示す情報であってよい。あるいは、スカラロボット１５０からコントローラＣＮＴに提供される情報は、ハンド１５５の駆動プロファイル（例えば、ハンド１５５の位置を示す時系列データ）であってもよいし、他の情報であってもよい。

他の例において、コントローラＣＮＴは、予測停止位置を決定するための予測モデルを有し、該予測モデルを使って予測停止位置を予測あるいは決定しうる。予測モデルに対する入力は、例えば、スカラロボット１５０による基板Ｓの搬送の開始から検出区間２３１の開始までの時間、および、検出区間２３１における基板Ｓのエッジの位置を含みうる。スカラロボット１５０は、予め定められた駆動プロファイルに従ってハンド１５５（基板Ｓ）を搬送する。したがって、スカラロボット１５０による基板Ｓの搬送の開始から検出区間２３１の開始までの時間は、検出区間２３１に基板Ｓが入ったタイミングにおけるハンド１５５の位置を提供しうる。予測モデルに対する入力は、更に、検出区間２３１における基板Ｓのエッジの位置の変化量から得られる基板Ｓの速度を含んでもよい。この速度は、例えば、スカラロボット１５０による基板Ｓの搬送の開始から検出区間２３１の開始までの時間と検出区間２３１における基板Ｓのエッジの位置とに基づいて推定される予測停止位置を補正し、予測精度を向上するために使われうる。予測モデルからの出力は、予測停止位置である。

図４を参照しながら予測停止位置に対する載置台１２０の位置決めについて説明する。図４には、基板Ｓがスカラロボット１５０によって予測停止位置に配置（搬送）された状態における基板Ｓとセンサ１１１、１１２との位置関係が例示されている。センサ１１１、１１２は、その長手方向（分解能を有する方向）がＸ方向に対してθ１、θ２の角度をもって配置されている。センサ１１１で検出される基板Ｓのエッジの位置は符号１７１で示され、基準位置Ｒ１に対するエッジのずれはΔＬ１である。センサ１１２で検出される基板Ｓのエッジの位置は符号１７２で示され、基準位置Ｒ２に対するエッジのずれはΔＬ２である。基準位置Ｒ１、Ｒ２は、位置決め機構１００の原点Ｏに基板Ｓの中心が一致するように基板Ｓが配置されたときの基板Ｓのエッジの位置と一致する。基板Ｓの中心の位置をＯ’とすると、予測停止位置に対する載置台１２０の代表位置（原点Ｏ）のずれ量を表すベクトルは、ΔＬ１とΔＬ２のベクトルの和で与えられる。予測停止位置に対する載置台１２０の代表位置（原点Ｏ）のずれ量のＸ成分ΔＸ、Ｙ成分ΔＹは、それぞれ式（１）、（２）で与えられる。ΔＸおよびΔＹは、載置台１２０（の代表位置）が予測停止位置に一致するように載置台１２０を駆動するための駆動量である。

ΔＸ＝ΔＬ１ｃｏｓθ１＋ΔＬ２ｃｏｓθ２ ・・・（１）
ΔＹ＝ΔＬ１ｓｉｎθ１＋ΔＬ２ｓｉｎθ２ ・・・（２）
第２モードでは、コントローラＣＮＴは、検出区間２３１の後、かつ、好ましくは、スカラロボット１５０による基板Ｓの搬送の終了前に、載置台１２０（の代表位置）が予測停止位置に一致するように、位置決め機構１００に載置台１２０を位置決めさせる。

ここでは、検知器ＤＴのセンサ１１１、１１２を使って載置台１２０の駆動量を求める例を説明したが、駆動量を求めるためのセンサは、１つでもよいし、３つ以上であってもよい。

センサ１１１、１１２の視野に基板Ｓの切り欠き部（ノッチまたはオリエンテーションフラット）が入ることがある。図５には、検出区間２３１の終了後にセンサ１１２の視野に基板Ｓの切り欠き部が入った場合の動作が示されている。この場合、センサ１１２を使って検出される基板Ｓのエッジの位置は、曲線２０２のように変化する。しかし、検出区間２３１では、センサ１１２の視野に基板Ｓの切り欠き部が入っていないので、検出区間２３１における検出結果に基づいて求められた予測停止位置は、基板Ｓの実際の位置の変化を示す曲線２１１に従う位置となり、切り欠き部の影響を受けない。したがって、切り欠き部の影響を受けることなく、予測停止位置に載置台１２０を位置決めすることができる。このような形態は、検出区間２３１に基板Ｓの切り欠き部が検出器ＤＴ（センサ１１１、１１２）の視野に入らないように、スカラロボット１５０によって搬送されるべき基板Ｓが準備されている場合に有利である。

図６には、検出器ＤＴから出力される情報のうち基板Ｓの切り欠き部の情報を除く情報に基づいて予測停止位置を求める方法が例示されている。図６に示される例では、検出区間２３１は、複数の検出区間（第１検出区間２３２、第２検出区間２３３、第３検出区間２３４）を含む。したがって、検出器ＤＴは、スカラロボット１５０によって搬送経路に沿って基板Ｓが搬送されている間に複数回にわたって基板Ｓのエッジを検出する。コントローラＣＮＴは、複数回にわたる基板Ｓのエッジの検出によって検出器ＤＴから複数回にわたって出力される情報に基づいて基板Ｓが停止する位置を複数回にわたって求める。そして、コントローラＣＮＴは、複数回にわたって求めた位置に基づいて予測停止位置を決定し、該予測停止位置に載置台１２０が位置決めされるように位置合わせ機構１００を制御する。

図６の例では、まず第１検出区間２３２においてセンサ１１２の視野に基板Ｓの切り欠き部が入り、この時点でセンサ１１２から出力される情報に基づいて求められる基板Ｓのエッジの位置の変化は、曲線２１２のようになる。その後の第２検出区間２３３、第３検出区間２３４では、センサ１１２の視野から基板Ｓの切り欠き部が外れて、センサ１１２から出力される情報に基づいて求められる基板Ｓのエッジの位置は、基板Ｓの実際の位置示す曲線２０３に従う位置となる。よって、第２検出区間２３３、第３検出区間２３４における検出結果に基づいて求められた予測停止位置は、基板Ｓの実際の位置の変化を示す曲線２１１に従う位置となる。

以上のように、コントローラＣＮＴは、検出器ＤＴによる複数回にわたる基板Ｓのエッジの検出によって検出器ＤＴから複数回にわたって出力される情報に基づいて基板Ｓが停止する位置を複数回にわたって求めることができる。そして、コントローラＣＮＴは、複数回にわたって求めた位置に基づいて予測停止位置を決定することができる。コントローラＣＮＴは、複数回にわたって求めた位置のうち、ばらつきが基準値に収まっている位置によって予測停止位置を決定するように構成されてよく、その予測停止位置に対して載置台１２０が位置決めされるように位置決め機構１００を制御しうる。検出区間の個数は、例えば３以上である。

複数回にわたって求めた位置に基づく予測停止位置の決定は、以下に例示されるように、各検出区間における検出結果に応じて変更され、または維持されてもよい。ここで、説明の便宜のために、第１検出区間２３２、第２検出区間２３３、第３検出区間２３４の計測結果に基づいてそれぞれ決定される基板Ｓが停止する位置を第１位置、第２位置、第３位置とする。図６の例において、第２位置は、第１位置と異なるので、停止予測位置は、第２検出区間２３４の終了後に、第１位置から第２位置に変更されうる。また、第３位置は、第２位置と一致するので、停止予測位置は、第３検出区間２３４の終了後においても第２位置に維持されうる。

他の例において、第２位置が第１位置と異なり、第３位置が第１位置と一致する場合には、停止予測位置は、第２検出区間２３４の終了後に第１位置から第２位置に変更され、第２検出区間２３４の終了後に、第２位置から第３位置（第１位置）に変更されうる。

更に他の例において、第２位置が第１位置と一致し、第３位置が第１位置および第２位置と異なる場合には、停止予測位置は、第２検出区間２３４の終了後においても第１位置に維持され、第３検出区間２３４の終了後においても第１位置に維持されうる。

第１検出区間２３２、第２検出区間２３３、第３検出区間２３４のうち互いに隣り合う検出区間の間には、インターバル２４１、２４２が設けられてもよい。第１検出区間２３２、第２検出区間２３３、第３検出区間２３４およびインターバル２４１、２４２は、切り欠き部によって生じる変化を検出可能に設定される。

基板搬送装置１は、例えば、露光装置およびインプリント装置に代表されるリソグラフィー装置あるいはパターン転写装置の一部を構成してもよい。

図７には、第２モードにおける基板搬送装置１の動作が例示されている。図７に示される動作は、コントローラＣＮＴによって制御されうる。工程Ｓ３０１では、コントローラＣＮＴは、スカラロボット１５０に基板Ｓの搬送を開始させる。スカラロボット１５０は、例えば、不図示のカセットまたは基板供給部から基板Ｓを受け取ってその搬送を開始しうる。工程Ｓ３０２では、検出器ＤＴは、スカラロボット１５０によって搬送されている基板Ｓの位置を検出する。工程Ｓ３０３は、コントローラＣＮＴは、スカラロボット１５０によって搬送されている間に、検出器ＤＴから出力される情報に基づいて、スカラロボット１５０によって搬送されている基板Ｓが停止する予測停止位置を求める。工程Ｓ３０４では、コントローラＣＮＴは、工程Ｓ３０３で求めた予測停止位置に載置台１２０を位置決めする動作を位置決め機構１００に開始させる。工程Ｓ３０５では、コントローラＣＮＴは、基板Ｓが載置台１２０に載置されるようにスカラロボット１５０を制御する。工程Ｓ３０６では、コントローラＣＮＴは、検出器ＤＴおよび位置決め機構１００によって構成されるアライメント装置に、基板Ｓのアライメントを実行させる。基板Ｓのアライメントは、駆動機構１２２によって載置台１２０を回転させることによって基板Ｓを回転させながら検出器ＤＴによって基板Ｓのエッジを検出し、その検出結果に基づいて基板Ｓの配置誤差を検出する検出処理を含みうる。また、基板Ｓのアライメントは、検出処理で検出された配置誤差に基づいて、載置台１２０に載置された基板Ｓの位置が基準位置に一致するように載置台１２０（基板Ｓ）を駆動する処理を含みうる。

工程Ｓ３０６では、コントローラＣＮＴは、検出処理で検出された配置誤差を取得する。工程Ｓ３０７では、コントローラＣＮＴは、配置誤差がトレランス内であるかどうかを判断し、該配置誤差が該トレランス内であれば、図７に示される動作を終了し、該配置誤差が該トレランス外であれば、工程Ｓ３０９に進む。工程Ｓ３０９では、コントローラＣＮＴは、配置誤差がトレランス外であった連続回数が規定回数未満であるかどうかを判断し、該連続回数が該規定回数未満であれば、図７に示される動作を終了し、該連続回数が該規定回数以上であれば、工程Ｓ３１０に進む。該連続回数が該規定回数未満であるかどうかを判断することに代えて、該連続回数が該規定頻度未満であるかどうかを判断してもよい。工程Ｓ３０９における判断は、配置誤差が基板Ｓに対する異物の付着、あるいは、基板Ｓのエッジの欠損等のような個々の基板の異常に起因する可能性を考慮したものである。

工程Ｓ３１０では、コントローラＣＮＴは、予測停止位置を決定するための予測モデルを配置誤差に基づいて修正する。工程Ｓ３１１では、コントローラＣＮＴは、工程Ｓ３１０における予測モデルの修正量が許容可能量以下であるかどうかを判断し、該修正量が該許容可能量以下であれば、図７に示される動作を終了する。一方、該修正量が該許容可能量を超えていれば、工程Ｓ３１２において、コントローラＣＮＴは、異常の発生を報知する。上記の動作に代えて、コントローラＣＮＴは、工程Ｓ３１０において予測モデルを修正した時点で報知を行ってもよい。

図８および図９を参照しながら第２実施形態を説明する。第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。第２実施形態では、図８（ａ）において矢印で示される方向に基板Ｓが搬送される。この場合、基板Ｓの搬送が停止される位置では、図８（ｂ）に示されるように、センサ１１２と基板Ｓとの間にスカラロボット１５０のアームあるいはハンド１５５が配置され、センサ１１２によって基板Ｓのエッジを検出できない。

第２実施形態では、基板搬送装置１は、センサ１１１による検出区間とセンサ１１２による検出区間とが互いに異なる。図９（ａ）には、センサ１１２による検出区間２４７が例示され、図９（ｂ）には、センサ１１１による検出区間２４８が例示されている。図９（ａ）、（ｂ）において、横軸は同一の時間を示している。スカラロボット１５０による基板Ｓの搬送が開始されると、まず、図９（ａ）に例示されるように、コントローラＣＮＴは、センサ１１２を使って、基板Ｓのエッジを示す波形２４５を得ることができる。検出区間２４７において、コントローラＣＮＴは、予め設定されている基準波形２４９と検出された波形２４５とを比較し、基板Ｓの位置、あるいは、ハンド１５５と基板Ｓとの相対位置を検出することができる。次いで、図９（ｂ）に例示されるように、コントローラＣＮＴは、センサ１１１を使って、基板Ｓのエッジを示す波形２４６を得ることができる。検出区間２４８において、コントローラＣＮＴは、予め設定されている基準波形２５０と検出された波形２４６とを比較し、基板Ｓの位置、あるいは、ハンド１５５と基板Ｓとの相対位置を検出することができる。この例では、コントローラＣＮＴは、基板Ｓの搬送方向と直交する方向に関して、基板Ｓの位置を検出する。コントローラＣＮＴは、センサ１１３の出力を利用することによって、基板ＳのＸＹ方向の位置を検出してもよい。

コントローラＣＮＴは、検出器ＤＴから出力される情報のうち基板Ｓの切り欠き部の情報を除く情報に基づいて基板Ｓの位置を検出し、その位置に基づいて予測停止位置を求めることができる。これにより、コントローラＣＮＴは、切り欠き部の影響を受けることなく、基板Ｓの位置、そして予測停止位置を求めることができる。

なお、第１実施形態において、センサ１１１による検出区間とセンサ１１２による検出区間とを異ならせてもよい。また、センサ１１１、１１２、１１３を用いて予測停止位置を決定してもよく、この場合において、センサ１１１、１１２、１１３による検出区間を互いに異なる検出区間としてもよい。

図１０および図１１を参照しながら第３実施形態を説明する。第３実施形態として言及しない事項は、第１又は第２実施形態に従いうる。第３実施形態では、検出部ＤＴのセンサ１６１は、基板Ｓの全周にわたるエッジのうちの少なくとも一部分の形状を検出可能に配置されている。センサ１６１は、例えば、ラインセンサまたはエリアセンサである。センサ１６１がラインセンサである場合、基板Ｓの搬送中の一部の区間において継続して基板Ｓのエッジがラインセンサによって検出されるようにラインセンサの方向と基板Ｓの搬送方向とが決定されうる。これにより、コントローラＣＮＴは、ラインセンサの出力に基づいて基板Ｓの全周にわたるエッジのうちの少なくとも一部分の形状を検出することができる。センサ１６１がエリアセンサであり、基板Ｓのエッジの像がエリアセンサに投影される構成においては、エリアセンサによって基板Ｓのエッジを撮像することによってエッジの形状を検出することができる。

図１１（ａ）には、スカラロボット１５０によって搬送される基板Ｓのエッジをセンサ１６１としてのラインセンサによって検出した例が示されている。横軸は、スカラロボット１５０のハンド１５５の位置であり、縦軸は、基板Ｓのエッジの位置である。スカラロボット１５０による基板Ｓの搬送によって、ラインセンサによって検出されるエッジの位置が変化し、スカラロボット１５０のハンド１５５の位置に応じた基板Ｓのエッジの位置、即ち、エッジの形状を示す曲線２５１を得ることができる。コントローラＣＮＴは、曲線２５１を二次の最小二乗法などにより近似して近似曲線２５２を決定しうる。

基板Ｓの切り欠き部のエッジが検出される場合、曲線２５１は、その切り欠き部の影響を受けてひずみうる。コントローラＣＮＴは、基板Ｓの設計上の形状と曲線２５１とを比較することによって、図１１（ｂ）に例示されるように、検出器ＤＴから出力される情報から切り欠き部の情報を除く情報２６１、２６２を抽出することができる。また、コントローラＣＮＴは、注出された情報２６１、２６２に基づいて予測停止位置を求めることができる。

発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

１：基板搬送装置、１００：位置決め機構、１２０：載置台、１５０：スカラロボット、ＤＴ：検出器ＤＴ、ＣＮＴ：コントローラ

Claims (18)

1. 基板を搬送経路に沿って載置台に搬送し載置する搬送機構と、
   前記搬送機構によって前記搬送経路に沿って前記基板が搬送されている間に前記基板のエッジを検出するための検出器と、
   前記載置台を位置決めする位置決め機構と、
   前記検出器から出力される情報に基づいて前記搬送機構によって搬送されている前記基板の予測停止位置を求め、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に、前記予測停止位置に対して前記載置台を位置決めする動作を前記位置決め機構に開始させるコントローラと、
   を備えることを特徴とする基板搬送装置。
2. 前記コントローラは、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に前記予測停止位置に対する前記載置台の位置決めが終了するように前記位置決め機構を制御する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記コントローラは、前記検出器から出力される情報のうち前記基板の切り欠き部の情報を除く情報に基づいて前記予測停止位置を求める、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
4. 前記検出器は、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に複数回にわたって前記基板のエッジを検出し、
   前記コントローラは、前記複数回にわたる前記基板のエッジの検出によって前記検出器から複数回にわたって出力される情報に基づいて前記基板が停止する位置を複数回にわたって求め、前記複数回にわたって求めた位置に基づいて前記予測停止位置を決定する、
   ことを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
5. 前記コントローラは、前記複数回にわたって求めた位置のうち、ばらつきが基準値に収まっている位置に基づいて前記予測停止位置を決定する、
   ことを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
6. 前記コントローラは、前記検出器から出力される情報から前記切り欠き部の情報を除く情報を抽出し、抽出された情報に基づいて前記予測停止位置を求める、
   ことを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
7. 前記位置決め機構は、前記載置台を回転させることによって前記基板を回転させ、前記検出器は、前記基板が回転しているときの前記基板のエッジを検出し、
   前記コントローラは、前記基板が回転しているときの前記検出器による前記基板のエッジの検出結果に基づいて、前記載置台に載置された前記基板の配置誤差を検出する検出処理を実行する、
   ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
8. 前記コントローラは、前記検出器から出力される情報および予測モデルに基づいて、前記予測停止位置を決定するように構成され、
   前記コントローラは、前記検出処理で検出された前記配置誤差に基づいて前記予測モデルを修正する、
   ことを特徴とする請求項７に記載の基板搬送装置。
9. 前記コントローラは、前記検出処理で検出された前記配置誤差に基づいて、前記載置台に載置された前記基板の位置が基準位置に一致するように前記位置決め機構を制御する、
   ことを特徴とする請求項８に記載の基板搬送装置。
10. 搬送機構によって基板を搬送経路に沿って載置台に搬送し載置する基板搬送方法であって、
    前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に、前記基板のエッジを検出する検出器から出力される情報に基づいて、前記搬送機構によって搬送されている前記基板の予測停止位置を求める工程と、
    前記予測停止位置に対して前記載置台を位置決めする工程と、を含み、
    前記予測停止位置に前記載置台を位置決めする工程は、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に開始される、
    ことを特徴とする基板搬送方法。
11. 前記載置台を位置決めする工程は、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に終了する、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の基板搬送方法。
12. 前記予測停止位置を求める工程では、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に前記検出器から出力される情報のうち前記基板の切り欠き部の情報を除く情報に基づいて前記予測停止位置が求められる、
    ことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の基板搬送方法。
13. 前記予測停止位置を求める工程では、前記搬送機構によって前記基板が搬送されている間に、前記基板が停止する位置を複数回にわたって求め、前記複数回にわたって求めた位置に基づいて前記予測停止位置を決定する、
    ことを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送方法。
14. 前記載置台を位置決めする工程では、前記複数回にわたって求めた位置のうち、ばらつきが基準値に収まっている位置に基づいて前記予測停止位置を決定する、
    ことを特徴とする請求項１３に記載の基板搬送方法。
15. 前記予測停止位置を求める工程では、前記検出器から出力される情報から前記切り欠き部の情報を除く情報を抽出し、抽出された情報に基づいて前記予測停止位置を求める、
    ことを特徴とする請求項１２に記載の基板搬送方法。
16. 前記基板が載置された前記載置台を回転させながら前記基板のエッジを検出することによって前記載置台に載置された前記基板の配置誤差を検出する検出処理を実行する工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれか１項に記載の基板搬送方法。
17. 前記載置台を位置決めする工程では、前記検出器から出力される情報および予測モデルに基づいて、前記予測停止位置を予測し、
    前記基板搬送方法は、前記検出処理で検出された前記配置誤差に基づいて前記予測モデルを修正する工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項１６に記載の基板搬送方法。
18. 前記検出処理で検出された前記配置誤差に基づいて前記基板の位置が基準位置に一致するように前記基板を位置決めする工程を更に含む、
    ことを特徴とする請求項１７に記載の基板搬送方法。

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