JP2003236571A - 銅含有有機性廃水の処理方法 - Google Patents
銅含有有機性廃水の処理方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＣＭＰ廃水など、化学的に安定な有機成分と銅
とが共存する銅含有有機性廃水に対して、処理性能の優
れた処理方法を提供する。 【解決手段】本発明の廃水処理設備１０は、有機性廃水
のｐＨを調整するｐＨ調整槽１２と、その処理液の有機
成分を酸化分解する酸化分解槽１４と、その処理液を固
液分離する固液分離槽１６と、固液分離した汚泥の一部
をｐＨ調整槽１２に返送する汚泥返送ライン２６を備え
ている。汚泥返送ライン２６で銅含有の汚泥を返送する
ことによって、ｐＨ調整槽１２内の有機性廃水が高い銅
濃度に保持され、この状態で酸化分解槽１４内における
酸化分解処理が行われる。酸化分解処理の際、銅は触媒
として作用し、酸化分解反応は大幅に促進される。
とが共存する銅含有有機性廃水に対して、処理性能の優
れた処理方法を提供する。 【解決手段】本発明の廃水処理設備１０は、有機性廃水
のｐＨを調整するｐＨ調整槽１２と、その処理液の有機
成分を酸化分解する酸化分解槽１４と、その処理液を固
液分離する固液分離槽１６と、固液分離した汚泥の一部
をｐＨ調整槽１２に返送する汚泥返送ライン２６を備え
ている。汚泥返送ライン２６で銅含有の汚泥を返送する
ことによって、ｐＨ調整槽１２内の有機性廃水が高い銅
濃度に保持され、この状態で酸化分解槽１４内における
酸化分解処理が行われる。酸化分解処理の際、銅は触媒
として作用し、酸化分解反応は大幅に促進される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は銅含有有機性廃水の
処理方法に係り、特に半導体の製造工程などから排出さ
れる銅含有有機性廃水の処理方法に関する。
処理方法に係り、特に半導体の製造工程などから排出さ
れる銅含有有機性廃水の処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程には、半導体基板（ウ
ェハ）の表面を研磨剤を用いて化学機械研磨(Chemical
Mechanical Polish 、以下ＣＭＰと称す) することによ
って、ウェハ表面を平坦化する工程がある。この工程か
らは、銅を含有する有機性廃水が排出される。
ェハ）の表面を研磨剤を用いて化学機械研磨(Chemical
Mechanical Polish 、以下ＣＭＰと称す) することによ
って、ウェハ表面を平坦化する工程がある。この工程か
らは、銅を含有する有機性廃水が排出される。
【０００３】ところで、銅配線を研磨するＣＭＰでは、
銅の防錆剤であるベンゾトリアゾール（ＢＴＡ）、有機
酸、アルコールなどの有機成分、及び過酸化水素などの
酸化剤を高濃度に含有する研磨スラリが使用される。こ
のため、銅配線を研磨するＣＭＰによって排出される廃
水を既存の廃水処理設備に直接導入すると、処理性能が
著しく低下し、良質な放流水を得ることが困難になる。
銅の防錆剤であるベンゾトリアゾール（ＢＴＡ）、有機
酸、アルコールなどの有機成分、及び過酸化水素などの
酸化剤を高濃度に含有する研磨スラリが使用される。こ
のため、銅配線を研磨するＣＭＰによって排出される廃
水を既存の廃水処理設備に直接導入すると、処理性能が
著しく低下し、良質な放流水を得ることが困難になる。
【０００４】一般にメッキ廃水などから濃厚廃水として
排出されるＢＴＡは焼却処理されることが多い。しか
し、半導体の製造工程から排出されるＣＭＰ廃水は、含
有されるＢＴＡの濃度が数十から数百ｐｐｍと比較的低
く、焼却処理には不向きであるので、廃水処理設備で処
理することが必要である。ただし、ＢＴＡは化学的に安
定していて生物分解されにくく、さらに、銅が共存物と
して存在するので、ＣＭＰ廃水中の有機成分はオゾンや
過酸化水素等の酸化剤で分解する必要がある。
排出されるＢＴＡは焼却処理されることが多い。しか
し、半導体の製造工程から排出されるＣＭＰ廃水は、含
有されるＢＴＡの濃度が数十から数百ｐｐｍと比較的低
く、焼却処理には不向きであるので、廃水処理設備で処
理することが必要である。ただし、ＢＴＡは化学的に安
定していて生物分解されにくく、さらに、銅が共存物と
して存在するので、ＣＭＰ廃水中の有機成分はオゾンや
過酸化水素等の酸化剤で分解する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、化学的
に安定しているＢＴＡは、酸化分解反応が非常に遅いた
め、設備全体の処理能力が低下してコストが向上するお
それがあり、実用化が困難であった。近年、ＣＭＰは、
半導体の集積度が向上してＬＳＩの多層構造化が進むに
伴って多用される傾向にあるため、ＣＭＰ廃水の量は今
後増加することが予想され、処理性能の優れた処理設備
が必要になっている。
に安定しているＢＴＡは、酸化分解反応が非常に遅いた
め、設備全体の処理能力が低下してコストが向上するお
それがあり、実用化が困難であった。近年、ＣＭＰは、
半導体の集積度が向上してＬＳＩの多層構造化が進むに
伴って多用される傾向にあるため、ＣＭＰ廃水の量は今
後増加することが予想され、処理性能の優れた処理設備
が必要になっている。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、ＣＭＰ廃水など、化学的に安定な有機成分と銅
とが共存する銅含有有機性廃水に対して、処理性能の優
れた処理方法を提供することを目的とする。
もので、ＣＭＰ廃水など、化学的に安定な有機成分と銅
とが共存する銅含有有機性廃水に対して、処理性能の優
れた処理方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明は
前記目的を達成するために、銅を含有する有機性廃水の
処理方法であって、前記有機性廃水を酸化剤に接触させ
て有機成分を酸化分解し、該酸化分解した処理液を固液
分離するとともに、該固液分離によって得られた汚泥の
一部を前記有機性廃水中に返送し、前記有機性廃水の銅
濃度を高めて前記酸化分解を行うことを特徴としてい
る。
前記目的を達成するために、銅を含有する有機性廃水の
処理方法であって、前記有機性廃水を酸化剤に接触させ
て有機成分を酸化分解し、該酸化分解した処理液を固液
分離するとともに、該固液分離によって得られた汚泥の
一部を前記有機性廃水中に返送し、前記有機性廃水の銅
濃度を高めて前記酸化分解を行うことを特徴としてい
る。
【０００８】本発明の発明者は、銅含有の有機性廃水を
酸化分解処理した際、有機性廃水中の銅濃度の違いによ
って有機成分の分解効率が大きく変化することに着目し
た。そして、廃水処理の妨げになると考えられていた銅
が酸化分解反応を促進させる触媒として作用しているこ
とを見いだした。本発明はこのような知見に基づいて成
されたもので、有機性廃水を高い銅濃度に保持して酸化
分解処理を行うことによって、酸化分解反応を大幅に促
進させ、処理性能の向上を図るものである。
酸化分解処理した際、有機性廃水中の銅濃度の違いによ
って有機成分の分解効率が大きく変化することに着目し
た。そして、廃水処理の妨げになると考えられていた銅
が酸化分解反応を促進させる触媒として作用しているこ
とを見いだした。本発明はこのような知見に基づいて成
されたもので、有機性廃水を高い銅濃度に保持して酸化
分解処理を行うことによって、酸化分解反応を大幅に促
進させ、処理性能の向上を図るものである。
【０００９】請求項１に記載の発明によれば、酸化分解
後の固液分離によって濃縮された汚泥の一部を返送し、
この汚泥中に含まれる銅を利用して、有機性廃水を高い
銅濃度に保持しながら酸化分解処理を行うので、酸化分
解反応が大幅に促進し、処理時間を短縮することができ
る。
後の固液分離によって濃縮された汚泥の一部を返送し、
この汚泥中に含まれる銅を利用して、有機性廃水を高い
銅濃度に保持しながら酸化分解処理を行うので、酸化分
解反応が大幅に促進し、処理時間を短縮することができ
る。
【００１０】請求項２に記載の発明によれば、酸化分解
処理を行う有機性廃水の銅濃度を５００ｍｇ／Ｌ以上の
高濃度に調節するので、酸化分解反応が大幅に促進され
る。
処理を行う有機性廃水の銅濃度を５００ｍｇ／Ｌ以上の
高濃度に調節するので、酸化分解反応が大幅に促進され
る。
【００１１】請求項３に記載の発明によれば、有機性廃
水のｐＨを７．５〜９の弱アルカリ性領域に調整してか
ら酸化分解処理を行うので、酸化分解反応が大幅に促進
される。
水のｐＨを７．５〜９の弱アルカリ性領域に調整してか
ら酸化分解処理を行うので、酸化分解反応が大幅に促進
される。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る銅含有有機性排水の処理方法の好ましい実施の形態に
ついて詳説する。
る銅含有有機性排水の処理方法の好ましい実施の形態に
ついて詳説する。
【００１３】図１は本発明を適用した廃水処理設備１０
の全体構成を模式的に示す側面図である。
の全体構成を模式的に示す側面図である。
【００１４】同図に示すように廃水処理設備１０は主と
して、ｐＨ調整槽１２、酸化分解槽１４、固液分離槽１
６、生物処理槽１８、砂濾過塔２０、活性炭処理塔２２
で構成されている。ＣＭＰ廃水などの銅を含有する有機
性廃水は、まず、ｐＨ調整槽１２に導入される。ｐＨ調
整槽１２には、添加ライン２４が接続されており、ｐＨ
計（不図示）の値に応じて水酸化カルシウム、または水
酸化ナトリウム等のｐＨ調整剤を、この添加ライン２４
から添加することによって有機性廃水のｐＨが調整され
る。調整後のｐＨは、弱アルカリ性領域である７．５〜
９が好ましく、銅の溶解度が低い８〜９がより好まし
い。また、有機性廃水のｐＨが予め弱アルカリ性領域で
あることが分かっている場合には、ｐＨ調整を行わなく
てもよい。
して、ｐＨ調整槽１２、酸化分解槽１４、固液分離槽１
６、生物処理槽１８、砂濾過塔２０、活性炭処理塔２２
で構成されている。ＣＭＰ廃水などの銅を含有する有機
性廃水は、まず、ｐＨ調整槽１２に導入される。ｐＨ調
整槽１２には、添加ライン２４が接続されており、ｐＨ
計（不図示）の値に応じて水酸化カルシウム、または水
酸化ナトリウム等のｐＨ調整剤を、この添加ライン２４
から添加することによって有機性廃水のｐＨが調整され
る。調整後のｐＨは、弱アルカリ性領域である７．５〜
９が好ましく、銅の溶解度が低い８〜９がより好まし
い。また、有機性廃水のｐＨが予め弱アルカリ性領域で
あることが分かっている場合には、ｐＨ調整を行わなく
てもよい。
【００１５】ｐＨ調整槽１２でｐＨ調整された処理液
は、酸化分解槽１４に導入される。酸化分解槽１４に
は、オゾンや過酸化水素水などの酸化剤が供給され、こ
の酸化剤に有機性廃水を接触させることによって有機性
廃水の有機成分が酸化分解される。
は、酸化分解槽１４に導入される。酸化分解槽１４に
は、オゾンや過酸化水素水などの酸化剤が供給され、こ
の酸化剤に有機性廃水を接触させることによって有機性
廃水の有機成分が酸化分解される。
【００１６】酸化分解槽１４で酸化分解された処理液
は、固液分離槽１６に導入され、この固液分離槽１６で
固液分離される。固液分離後の上澄み液は生物処理槽１
８、砂濾過塔２０、活性炭処理塔２２を順に通過した
後、処理水として排出される。生物処理槽１８、及び活
性炭処理塔２２では、有機成分の残留分を除去するため
の仕上げ処理が行われ、これによって工業用水レベルの
水質の処理水を得ることができる。なお、生物処理槽１
８と活性炭処理塔２２は、いずれか一方のみを設けても
よい。
は、固液分離槽１６に導入され、この固液分離槽１６で
固液分離される。固液分離後の上澄み液は生物処理槽１
８、砂濾過塔２０、活性炭処理塔２２を順に通過した
後、処理水として排出される。生物処理槽１８、及び活
性炭処理塔２２では、有機成分の残留分を除去するため
の仕上げ処理が行われ、これによって工業用水レベルの
水質の処理水を得ることができる。なお、生物処理槽１
８と活性炭処理塔２２は、いずれか一方のみを設けても
よい。
【００１７】一方、固液分離槽１６における固液分離後
の沈殿汚泥は、一部が汚泥変送ライン２６を介してｐＨ
調整槽１２に返送され、残りの沈殿汚泥が系外に排出さ
れる。ｐＨ調整槽１２に返送される沈殿汚泥の返送量
は、酸化分解槽１４内の銅濃度、或いはＳＳ等の分析値
に基づいて定期的に調整され、酸化分解槽１４内の銅濃
度が設定範囲になるように制御される。酸化分解槽１４
内の銅濃度の設定値としては、例えば、５００〜２００
００ｍｇ／Ｌにすることが好ましく、１０００〜５００
０ｍｇ／Ｌにすることがより好ましい。なお、沈殿汚泥
は、酸化分解槽１４に直接返送してもよいが、ｐＨ調整
槽１２に返送すると、銅が有機性廃水に分散されて酸化
分解槽１４に導入されるので好ましい。
の沈殿汚泥は、一部が汚泥変送ライン２６を介してｐＨ
調整槽１２に返送され、残りの沈殿汚泥が系外に排出さ
れる。ｐＨ調整槽１２に返送される沈殿汚泥の返送量
は、酸化分解槽１４内の銅濃度、或いはＳＳ等の分析値
に基づいて定期的に調整され、酸化分解槽１４内の銅濃
度が設定範囲になるように制御される。酸化分解槽１４
内の銅濃度の設定値としては、例えば、５００〜２００
００ｍｇ／Ｌにすることが好ましく、１０００〜５００
０ｍｇ／Ｌにすることがより好ましい。なお、沈殿汚泥
は、酸化分解槽１４に直接返送してもよいが、ｐＨ調整
槽１２に返送すると、銅が有機性廃水に分散されて酸化
分解槽１４に導入されるので好ましい。
【００１８】次に上記の如く構成された廃水処理設備１
０の作用について説明する。
０の作用について説明する。
【００１９】固液分離槽１６で濃縮された水酸化銅を高
濃度に含む汚泥の一部が汚泥返送ライン２６を介してｐ
Ｈ調整槽１２内に返送されると、ｐＨ調整槽１２内の有
機性廃水は、高い銅濃度に維持される。このため、酸化
分解槽１４内では、有機性廃水が高い銅濃度に保持され
た状態で酸化分解処理が行われる。酸化分解処理の際、
銅は触媒として作用するので、有機性廃水を高い銅濃度
に保持することによって酸化分解反応は大きく促進され
る。
濃度に含む汚泥の一部が汚泥返送ライン２６を介してｐ
Ｈ調整槽１２内に返送されると、ｐＨ調整槽１２内の有
機性廃水は、高い銅濃度に維持される。このため、酸化
分解槽１４内では、有機性廃水が高い銅濃度に保持され
た状態で酸化分解処理が行われる。酸化分解処理の際、
銅は触媒として作用するので、有機性廃水を高い銅濃度
に保持することによって酸化分解反応は大きく促進され
る。
【００２０】図２は、銅の触媒作用を示す試験結果であ
る。同図における試験では、有機成分としてＴＯＣを約
２００ｍｇ／Ｌ、銅を約２０ｍｇ／Ｌ含有したＣＭＰ廃
水を使用した。そして、このＣＭＰ廃水に硫酸銅を添加
して、銅濃度が５００ｍｇ／Ｌ、１０００ｍｇ／Ｌの有
機性廃水を作成し、これをそれぞれオゾンで酸化分解し
て、ＴＯＣ除去率の経時変化を測定した。また、比較例
として、銅を添加しないＣＭＰ廃水で試験を行った。
る。同図における試験では、有機成分としてＴＯＣを約
２００ｍｇ／Ｌ、銅を約２０ｍｇ／Ｌ含有したＣＭＰ廃
水を使用した。そして、このＣＭＰ廃水に硫酸銅を添加
して、銅濃度が５００ｍｇ／Ｌ、１０００ｍｇ／Ｌの有
機性廃水を作成し、これをそれぞれオゾンで酸化分解し
て、ＴＯＣ除去率の経時変化を測定した。また、比較例
として、銅を添加しないＣＭＰ廃水で試験を行った。
【００２１】図２から分かるように、銅を添加しない場
合は、一定の割合でしか酸化分解反応が促進しないのに
対し、銅濃度が５００ｍｇ／Ｌの場合、１０００ｍｇ／
Ｌの場合は、酸化分解反応が反応開始と同時に大幅に進
行し、短時間で高いＴＯＣ除去率が得られる。これによ
り、銅が有機成分の酸化分解反応の触媒として作用して
いることが分かる。
合は、一定の割合でしか酸化分解反応が促進しないのに
対し、銅濃度が５００ｍｇ／Ｌの場合、１０００ｍｇ／
Ｌの場合は、酸化分解反応が反応開始と同時に大幅に進
行し、短時間で高いＴＯＣ除去率が得られる。これによ
り、銅が有機成分の酸化分解反応の触媒として作用して
いることが分かる。
【００２２】また、図２から分かるように、銅濃度が５
００ｍｇ／Ｌの場合よりも銅濃度が１０００ｍｇ／Ｌの
場合の方が、酸化分解反応が大幅に促進した。これによ
り、銅濃度が高いほど、有機成分の酸化分解速度が大き
いことが分かる。なお、銅濃度は、５００ｍｇ／Ｌ以上
にした際に、酸化分解反応の十分な促進効果が得られ
た。
００ｍｇ／Ｌの場合よりも銅濃度が１０００ｍｇ／Ｌの
場合の方が、酸化分解反応が大幅に促進した。これによ
り、銅濃度が高いほど、有機成分の酸化分解速度が大き
いことが分かる。なお、銅濃度は、５００ｍｇ／Ｌ以上
にした際に、酸化分解反応の十分な促進効果が得られ
た。
【００２３】以上の結果から、図１の汚泥返送ライン２
６を介して汚泥を返送し、有機性廃水を高い銅濃度に保
持しながら酸化分解槽１４で酸化分解処理を行うと、銅
が触媒として作用し、酸化分解反応が大幅に促進するこ
とが分かる。
６を介して汚泥を返送し、有機性廃水を高い銅濃度に保
持しながら酸化分解槽１４で酸化分解処理を行うと、銅
が触媒として作用し、酸化分解反応が大幅に促進するこ
とが分かる。
【００２４】このように本実施の形態の廃水処理設備１
０によれば、固液分離槽１６で得られた汚泥の一部を汚
泥返送ライン２６を介してｐＨ調整槽１２に返送するよ
うにしたので、触媒として作用する銅を高い濃度で保持
しながら有機成分の酸化分解反応を行うことができ、酸
化分解反応を大幅に促進させて処理時間を短縮すること
ができる。なお、処理時間としては、２０Ｌ規模リアク
タで連続通水しながらオゾン酸化法で酸化分解を行って
試験した結果、従来装置（すなわち、固液分離槽１６の
汚泥をｐＨ調整槽１２に返送しない場合）に対して、約
１／５にまで処理時間を短縮することを確認できた。し
たがって、約５倍の高性能化を図ることができるので、
オゾン使用量を大幅に削減できるとともに、装置規模を
大幅に縮小することができる。
０によれば、固液分離槽１６で得られた汚泥の一部を汚
泥返送ライン２６を介してｐＨ調整槽１２に返送するよ
うにしたので、触媒として作用する銅を高い濃度で保持
しながら有機成分の酸化分解反応を行うことができ、酸
化分解反応を大幅に促進させて処理時間を短縮すること
ができる。なお、処理時間としては、２０Ｌ規模リアク
タで連続通水しながらオゾン酸化法で酸化分解を行って
試験した結果、従来装置（すなわち、固液分離槽１６の
汚泥をｐＨ調整槽１２に返送しない場合）に対して、約
１／５にまで処理時間を短縮することを確認できた。し
たがって、約５倍の高性能化を図ることができるので、
オゾン使用量を大幅に削減できるとともに、装置規模を
大幅に縮小することができる。
【００２５】また、廃水処理設備１０は、有機性廃水を
処理して得られた銅を利用しているので、ランニングコ
ストを大きく向上させることなく、処理性能を大幅に向
上させることができる。
処理して得られた銅を利用しているので、ランニングコ
ストを大きく向上させることなく、処理性能を大幅に向
上させることができる。
【００２６】さらに、廃水処理設備１０は、ｐＨ調整槽
１２で有機性廃水のｐＨを弱アルカリ性領域である７．
５〜９に調整しているので、酸化分解槽１４での酸化分
解反応を大きく促進させることができる。
１２で有機性廃水のｐＨを弱アルカリ性領域である７．
５〜９に調整しているので、酸化分解槽１４での酸化分
解反応を大きく促進させることができる。
【００２７】図３は、ｐＨを調整した効果を示す試験結
果であり、酸化分解時の処理液のｐＨとＴＯＣ除去率の
関係を示している。
果であり、酸化分解時の処理液のｐＨとＴＯＣ除去率の
関係を示している。
【００２８】同図から分かるように、酸化分解槽１４内
の処理液のｐＨが大きくなるにつれてＴＯＣ除去率が大
きくなり、酸化分解性能が向上している。特に酸化分解
槽１４内の処理液が弱アルカリ領域である７．５〜９で
は、酸化分解性能が非常に大きくなっている。これは、
ｐＨが上昇するにつれてオゾンや過酸化水素の分解・Ｏ
Ｈラジカルの生成や液中の水酸化銅濃度が作用している
と考えられる。
の処理液のｐＨが大きくなるにつれてＴＯＣ除去率が大
きくなり、酸化分解性能が向上している。特に酸化分解
槽１４内の処理液が弱アルカリ領域である７．５〜９で
は、酸化分解性能が非常に大きくなっている。これは、
ｐＨが上昇するにつれてオゾンや過酸化水素の分解・Ｏ
Ｈラジカルの生成や液中の水酸化銅濃度が作用している
と考えられる。
【００２９】以上の結果により、有機性廃水のｐＨを
７．５〜９に調整した本実施の形態では、酸化分解反応
が大きく促進し、処理時間が大幅に短縮される。特に、
有機性廃水のｐＨを８〜９に調整した際には、銅の溶解
度を低くできるため、固液分離槽１６での固液分離効率
が向上する。これによって、廃水処理設備１０全体とし
ての処理能力を向上させることができる。
７．５〜９に調整した本実施の形態では、酸化分解反応
が大きく促進し、処理時間が大幅に短縮される。特に、
有機性廃水のｐＨを８〜９に調整した際には、銅の溶解
度を低くできるため、固液分離槽１６での固液分離効率
が向上する。これによって、廃水処理設備１０全体とし
ての処理能力を向上させることができる。
【００３０】なお、銅含有有機性廃水がＣＭＰ廃水であ
る場合には、ＳｉＯ2 等の砥粒を含むことが一般的であ
るので、砥粒の分離装置をｐＨ調整槽１２の前段に配置
することが好ましい。
る場合には、ＳｉＯ2 等の砥粒を含むことが一般的であ
るので、砥粒の分離装置をｐＨ調整槽１２の前段に配置
することが好ましい。
【００３１】また、上述した実施の形態は、沈殿分離式
の固液分離槽１６を用いたが、図４に示す如く、膜分離
式の固液分離槽２８を用いてもよい。
の固液分離槽１６を用いたが、図４に示す如く、膜分離
式の固液分離槽２８を用いてもよい。
【００３２】さらに、上述した実施の形態は、酸化分解
槽１４内の有機性廃水の銅濃度を高めるために、固液分
離槽１６又は２８で得られた銅を利用したが、有機性廃
水中の銅濃度が低い場合には、運転初期時にまたは定常
運転時に、それ以外の銅を補給するようにしてもよい。
槽１４内の有機性廃水の銅濃度を高めるために、固液分
離槽１６又は２８で得られた銅を利用したが、有機性廃
水中の銅濃度が低い場合には、運転初期時にまたは定常
運転時に、それ以外の銅を補給するようにしてもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る銅含有
有機性排水の処理方法によれば、銅の濃度を高めたり、
ｐＨをアルカリ性領域に調整して酸化分解処理を行った
ので、酸化分解反応を大幅に促進させることができる。
これにより、処理時間の短縮や装置の小型化を図ること
ができる。
有機性排水の処理方法によれば、銅の濃度を高めたり、
ｐＨをアルカリ性領域に調整して酸化分解処理を行った
ので、酸化分解反応を大幅に促進させることができる。
これにより、処理時間の短縮や装置の小型化を図ること
ができる。
【図１】本発明に係る処理装置の全体構成を模式的に示
す側面図
す側面図
【図２】銅濃度に対するＴＯＣ除去率の経時変化を示す
図
図
【図３】酸化分解反応槽内のｐＨとＴＯＣ除去率を示す
図
図
【図４】膜分離式の固液分離槽を用いた処理装置の全体
構成を模式的に示す側面図
構成を模式的に示す側面図
１０…廃水処理設備、１２…ｐＨ調整槽、１４…酸化分
解槽、１６…固液分離槽、１８…生物処理槽、２０…砂
濾過塔、２２…活性炭処理塔、２４…添加ライン、２６
…汚泥返送ライン、２８…膜分離式の固液分離槽
解槽、１６…固液分離槽、１８…生物処理槽、２０…砂
濾過塔、２２…活性炭処理塔、２４…添加ライン、２６
…汚泥返送ライン、２８…膜分離式の固液分離槽
Claims (3)
- 【請求項１】銅を含有する有機性廃水の処理方法であっ
て、 前記有機性廃水を酸化剤に接触させて有機成分を酸化分
解し、該酸化分解した処理液を固液分離するとともに、
該固液分離によって得られた汚泥の一部を前記有機性廃
水中に返送し、前記有機性廃水の銅濃度を高めて前記酸
化分解を行うことを特徴とする銅含有有機性廃水の処理
方法。 - 【請求項２】前記酸化分解を行う有機性廃水の銅濃度を
５００〜２００００ｍｇ／Ｌ以上に調節することを特徴
とする請求項１に記載の銅含有有機性廃水の処理方法。 - 【請求項３】前記有機性廃水のｐＨを７．５〜９に調整
して前記酸化分解を行うことを特徴とする請求項１また
は２に記載の銅含有有機性廃水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
| JP2010501349A (ja) * | 2006-08-25 | 2010-01-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板研磨液のユースポイント処理のための方法及びシステム |
| JP2010119956A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Kurita Water Ind Ltd | アゾール系銅用防食剤含有水の処理方法 |
-
2002
- 2002-02-14 JP JP2002036407A patent/JP2003236571A/ja active Pending
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| KR20110101130A (ko) * | 2008-11-19 | 2011-09-15 | 쿠리타 고교 가부시키가이샤 | 아졸계 구리용 방식제 함유수의 처리 방법 |
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