JP2003233042A - 光導波路デバイス - Google Patents

光導波路デバイス

Info

Publication number
JP2003233042A
JP2003233042A JP2002031483A JP2002031483A JP2003233042A JP 2003233042 A JP2003233042 A JP 2003233042A JP 2002031483 A JP2002031483 A JP 2002031483A JP 2002031483 A JP2002031483 A JP 2002031483A JP 2003233042 A JP2003233042 A JP 2003233042A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
potential
electrode
optical
optical waveguide
waveguide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002031483A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3806043B2 (ja
Inventor
Masaharu Doi
正治 土居
Tadao Nakazawa
忠雄 中澤
Masaki Sugiyama
昌樹 杉山
Masaaki Oyama
正晃 大山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2002031483A priority Critical patent/JP3806043B2/ja
Priority to US10/298,560 priority patent/US7239764B2/en
Priority to EP02026801A priority patent/EP1336893B1/en
Publication of JP2003233042A publication Critical patent/JP2003233042A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3806043B2 publication Critical patent/JP3806043B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G02F1/225Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference in an optical waveguide structure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 通信システムにおいて用いて好適の、光導波
路デバイスにおいて、印加される駆動電圧を低減させて
消費電力を抑制できるようにする。 【解決手段】 Z軸カットされた電気光学効果を有する
基板1Zと、基板1Z上に形成されて、並列な複数の光
導波路2b,2c上を伝播する光について干渉させる干
渉型光導波路2と、干渉型光導波路2をなす各光導波路
2b,2cを伝播する光に対し上記電気光学効果のため
の電圧を印加するための集中定数型電極4とをそなえ、
集中定数型電極4が、並列な複数の光導波路2b,2c
のうちで隣接する光導波路に供給される互いの電位を相
補させることにより、上記隣接する光導波路には、絶対
値が同じでかつ符号が逆となる電圧が印加されるように
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信システムに
おいて用いて好適の、光導波路デバイスに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年のデータ伝送速度の高速化に伴っ
て、光通信システム分野においては、データ信号を電気
信号から光信号に変調するための光導波路デバイスにつ
いての開発が活発に行なわれている。図3は、上述のご
とき光変調を行なうための従来の光導波路デバイス10
0が適用された光変調器110を示す模式図であり、こ
の図3に示す光変調器110は、光導波路デバイス10
0に、後述するRF信号発生源106a,106bおよ
びバイアス用の電源107a,107bを接続して構成
されたものである。
【0003】この図3に示す光導波路デバイス100
は、LiNbO3(ニオブ酸リチウム)を結晶軸方向の
Z軸に平行となるようにカットした基板101Z上に、
光が入射される側のY分岐導波路102a,直線導波路
102b,102cおよび光が出射される側のY分岐導
波路102dをそなえてなるマッハツェンダ型の光導波
路102が形成されている。
【0004】さらに、103a,103bはそれぞれ、
直線導波路102b,102c上に形成された信号電極
であり、これらの信号電極103a,103bは、それ
ぞれ別個のRF(Radio Frequency)信号発生源106
a,106bに接続されて、これらRF信号発生源10
6a,106bからの互いに位相が反転したRF信号を
変調信号として印加するものである。
【0005】さらに、104a,104bは、それぞれ
の信号電極103a,103bとは別個に設けられたバ
イアス電極であって、バイアス電極104aは、直流電
圧(+V0)を発生する電源107aに接続されて信号
電極103aに印加されるマイクロ波に対してDC(Di
rect Current)バイアス成分としての電圧を与えるもの
で、バイアス電極104bは、直流電圧(−V0)を発
生する電源107bに接続されて信号電極103bに印
加されるマイクロ波に対してDCバイアス成分としての
電圧を与えるものである。
【0006】また、105は接地電極であり、この接地
電極105は、上述の信号電極103a,103bおよ
びバイアス電極104a,104bにて供給される電圧
に対する基準となる接地電位を与えるためのものであっ
て、これらの電極103a,103b,104a,10
4bの形成領域に対して所定の間隔をあけるように形成
されている。
【0007】これにより、各バイアス電極104a,1
04bには、接地電極105の電位を基準として、それ
ぞれ相互に絶対値が同一で符号が反転した電圧(−V0
および+V0)が印加されるようになっており、信号電
極103a,103bに応じたDCドリフト成分を除去
するようになっている。上述の図3のごとき、それぞれ
の直線導波路102b,102c上に信号電極103
a,103bを形成したデュアル電極構造の場合は、そ
れぞれの直線導波路102b,102cにおける波長チ
ャープを出射側のY分岐導波路102dにおいて相殺す
ることができるので、変調データとしてのパルス波形の
歪を抑制できる点において、長距離伝送用の光変調器と
して有用である。
【0008】また、図4は、光変調を行なうための従来
の光導波路デバイス100が適用された第2の光変調器
210を示す模式図である。この図4に示す光導波路デ
バイス200は、LiNbO3(ニオブ酸リチウム)を
結晶軸方向のX軸に平行となるようにカットした基板1
01X上に、上述の図よりも分岐幅の狭いマッハツェン
ダ型の光導波路202を形成したものである。なお、光
導波路202は、光が入射される側のY分岐導波路20
2a,直線導波路202b,202cおよび光が出射さ
れる側のY分岐導波路202dをそなえて構成されてい
る。
【0009】この図4に示す光導波路デバイス200に
おいては、図3に示すものと、電圧を印加した場合の電
界方向の相違から、単一の信号電極203およびバイア
ス電極204を、直線導波路202b,202cの形成
面上に、当該直線導波路202b,202cの間に沿っ
て平行するように形成されており、これにより、信号電
極203では上述の図3の場合と同様、それぞれの直線
導波路202b,202cにおける波長チャープを相殺
できるようになっている。
【0010】なお、205は接地電極、206は信号電
極203に接続されたRF信号発生源、207はバイア
ス電極204に接続された電源である。ただし、図4に
示すような結晶軸方向のX軸に平行な基板101Xを用
いた場合には、マイクロ波と光の速度整合を取ることが
困難であり、高速化されたデータを変調する際には図3
に示す構成の光導波路デバイスを用いて、光変調器を構
成することが一般的である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
図3に示すような構成の光導波路デバイスを用いて光変
調器を構成する場合には、直線導波路102b,102
c上の信号電極103a,103bの長さをある程度確
保しなければならない関係上、バイアス電極104a,
104bの長さを比較的短くせざるを得ない。
【0012】動作点電圧と電極の長さの積はデバイスの
特性から一定値に特定されることから、長さの短いバイ
アス電極104a,104bに対しては駆動電圧、即ち
電源107a,107bの駆動電圧を比較的大きなもの
に設定しなければならず、更にはデュアル電極構造の場
合には、このような比較的大きな駆動電圧を供給する電
源を複数準備しなければないという課題がある。
【0013】本発明はこのような課題に鑑み創案された
もので、印加される駆動電圧を低減させるようにした、
光導波路デバイスを適用することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】このため、第1の発明の
光導波路デバイスは、Z軸カットされた電気光学効果を
有する基板と、該基板上に形成されて、並列な複数の光
導波路上を伝播する光について干渉させる干渉型光導波
路と、該干渉型光導波路をなす各光導波路を伝播する光
に対し上記電気光学効果のための電圧を印加するための
集中定数型電極とをそなえ、該集中定数型電極が、該並
列な複数の光導波路のうちで隣接する光導波路に供給さ
れる互いの電位を相補させることにより、上記隣接する
光導波路には、絶対値が同じでかつ符号が逆となる電圧
が印加されるように構成されたことを特徴としている。
【0015】また、第2の発明の光導波路デバイスは、
Z軸カットされた電気光学効果を有する基板と、該基板
上に形成されて、並列な複数の光導波路上を伝播する光
について干渉させる干渉型光導波路と、該干渉型光導波
路をなす各光導波路上に形成された信号電極と、該各信
号電極において印加する信号成分をバイアスするための
バイアス電極とをそなえ、該バイアス電極が、該並列な
複数の光導波路のうちで隣接する光導波路に供給される
互いの電位を相補させることにより、上記隣接する光導
波路には、絶対値が同じでかつ符号が逆となる電圧が印
加されるように構成されたことを特徴としている。
【0016】さらに、第2の発明の光導波路デバイスに
おいて、好ましくは、該バイアス電極が、第1の電位が
与えられる第1電位供給用電極部と、第1の電位と異な
る第2の電位が与えられる第2電位供給用電極部と、上
記の各光導波路上における信号電極の後段に、上記複数
の光導波路の並列順に応じて上記の第1および第2電位
供給用電極部からの電位が交互に供給されるように形成
された導波路上電極部と、一方の電位供給用電極部から
の電位を供給する導波路上電極部の近傍に、他方の電位
供給用電極部からの電位を供給する少なくとも一つの電
位差形成用電極部と、をそなえて構成することとしても
よい。
【0017】また、図5に示すように、一方の電位供給
用電極部からの電位を供給する導波路上電極部の近傍に
他方の電位供給用電極部からの電位を供給する電位差形
成用電極部をそなえて構成することとしてもよい。この
場合においては、該第1および第2電位供給用電極部に
て与えられる第1および第2の電位のいずれか一方を、
接地電位としたり、該第1および第2電位供給用電極部
にて与えられる第1および第2の電位を、絶対値が同じ
でかつ符号が逆となる電位とすることとしてもよい。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照することによ
り、本発明の実施の形態を説明する。 [a]第1実施形態の説明 図1は本発明の第1実施形態にかかる光導波路デバイス
10が適用された光変調器11−1を示す模式図であ
り、この図1に示す光変調器11−1は、本発明にかか
る特徴的な構成を有する光導波路デバイス10に、後述
するRF信号発生源6a,6bおよびバイアス用の電源
7を接続して構成されたものである。
【0019】ここで、この図1に示す光導波路デバイス
10は、基板1Zをそなえるとともに、基板1Z上に、
光導波路2,信号電極3a,3b,バイアス電極4およ
び接地電極5が形成されて構成されたものである。基板
1Zは、前述の図3の場合と同様、電気光学効果を有す
る材料であるLiNbO3(ニオブ酸リチウム)を結晶
軸方向のZ軸に平行となるようにカットしたもので、こ
の基板1Z上には、光が入射される側のY分岐導波路2
a,直線導波路2b,2cおよび光が出射される側のY
分岐導波路2dをそなえてなるマッハツェンダ型の光導
波路2が形成されている。
【0020】換言すれば、上述の光導波路2は、基板1
Z上に形成されて、並列な複数の光導波路(2本の直線
導波路2b,2c)上を伝播する光についてY分岐導波
路2dにおいて干渉させる干渉型光導波路として機能す
る。さらに、信号電極3a,3bはそれぞれ、直線導波
路2b,2c上に形成されたものである。信号電極3a
は、干渉型光導波路2をなす並列な2つの導波路のうち
の一方の光導波路としての直線導波路2b上に形成され
た第1信号電極として、信号電極3bは他方の光導波路
としての直線導波路2c上に形成された第2信号電極と
して、それぞれ機能する。これにより、図1に示す光導
波路デバイス10についても、前述の図3の場合と同様
に、直線導波路2b,2c上に信号電極3a,3bを形
成したデュアル電極の構造を構成するようになってい
る。
【0021】また、これらの信号電極3a,3bは、そ
れぞれ互いに位相が反転したRF信号を発生するRF
(Radio Frequency)信号発生源6a,6bに接続され
て、これらRF信号発生源6a,6bからのRF信号を
光変調用の信号として印加するものである。さらに、バ
イアス電極4は各信号電極3a,3bにおいて印加する
信号成分をバイアスするためのものであって、第1バイ
アス電極4aと第2バイアス電極4bとをそなえて構成
されている。
【0022】また、第1および第2バイアス電極4a,
4bは、マッハツェンダ型の光導波路2を構成する直線
導波路2b,2cにそれぞれ印加されるバイアス電圧が
互いに異なるような櫛形状の電極構造を有している。具
体的には、第1バイアス電極部4aとしては、第1の電
位(V=0,接地電位)が与えられる第1電位供給用電
極部4a−1と、直線導波路2b上における第1信号電
極3aの後段に、第1電位供給用電極部4a−1からの
電位が供給されるように形成された第1導波路上電極部
4a−2と、後述の第2導波路上電極部4b−2を挟む
ように形成され、第1電位供給用電極部4a−1からの
電位を供給する少なくとも2つの第2電位差形成用電極
部4a−31,4a−32と、をそなえて構成されてい
る。
【0023】また、第2バイアス電極部4bとしては、
上述の第1の電位と異なる第2の電位(V=V0)が与
えられる第2電位供給用電極部4b−1と、直線導波路
2c上における第2信号電極3bの後段に、第2電位供
給用電極部4b−1からの電位が供給されるように形成
された第2導波路上電極部4b−2と、第1導波路上電
極部4a−2を挟むように形成され、第2電位供給用電
極部4b−1からの電位を供給する少なくとも2つの第
1電位差形成用電極部4b−31,4b−32と、をそ
なえて構成されている。
【0024】すなわち、バイアス電極部4aの第1電位
供給用電極部4a−1が上述の櫛形をなす幹として、第
1導波路上電極部4a−2および2つの第2電位差形成
用電極部4a−31,4a−32が上述の櫛形をなす肢
としてそれぞれ構成され、バイアス電極部4bの第2電
位供給用電極部4b−1が櫛形をなす幹として、第2導
波路上電極部4b−2および2つの第1電位差形成用電
極部4b−31,4b−32により、上述の櫛形をなす
肢としてそれぞれ構成される。
【0025】ここで、第1電位供給用電極部4a−1に
は、第1の電位としての接地電位(V=0)を供給する
ようになっている。これにより、第1バイアス電極4a
を構成する第1導波路上電極部4a−2および第2電位
差形成用電極部4a−3の電位についても、接地電位と
することができるようになっている。また、第2電位供
給用電極部4b−1はV=V0を供給する電源7が接続
されるようになっており、第2の電位としてのV=V0
が印加されるようになっている。これにより、第2バイ
アス電極4bを構成する第2導波路上電極部4b−2お
よび第1電位差形成用電極部4b−31,4b−32の
電位についても、V=V0とすることができるようにな
っている。
【0026】これにより、第1導波路上電極部4a−2
の電位としては接地電位であるが、当該第1導波路上電
極部4a−2を挟むように形成された2つの第2電位差
形成用電極部4b−31,4b−32の電位がV=V0
であるため、直線導波路2bに印加されるバイアス電圧
としては、第1導波路上電極部4a−2および第2電位
差形成用電極部4b−31,4b−32の電位差である
V=−V0とすることができる。
【0027】さらに、第2導波路上電極部4b−2の電
位としてはV=V0であるが、当該第2導波路上電極部
4b−2を挟むように形成された2つの第1電位差形成
用電極部4a−31,4a−32の電位が接地電位であ
るため、直線導波路2cに印加されるバイアス電圧とし
ては、第2導波路上電極部4b−2および第1電位差形
成用電極部4a−31,4a−32の電位差であるV=
0とすることができる。
【0028】換言すれば、上記の第1および第2バイア
ス電極4a,4bによって、互いの電位を相補させるこ
とにより、それぞれの直線導波路2b,2cには絶対値
が同じでかつ符号が逆となる電圧を印加することができ
るのである。なお、接地電極5は、信号電極3a,3b
に印加された電圧に起因する電界が主として及ぶ範囲に
のみ形成されて、上述のバイアス電極4に印加された電
圧に起因する電界が及ぶ範囲には形成されないようにな
っている。
【0029】上述の構成により、本発明の第1実施形態
にかかる光導波路デバイス10が適用された光変調器1
1−1では、第1バイアス電極4aは接地され、第2バ
イアス電極4bには電源7からの電圧V=V0が与えら
れているが、第1および第2バイアス電極4a,4b間
の電位が相補されることにより、直線導波路2bに対し
てはV=−V0の電位差をバイアス電圧として得ること
ができ、直線導波路2cに対してはV=V0の電位差を
バイアス電圧として得ることができる。
【0030】このように、本発明の第1実施形態にかか
る光導波路デバイスによれば、直線導波路2b,2c上
に信号電極3a,3bを形成したデュアル電極の構造を
構成した場合においても、バイアス用に単一の電源7を
用いるのみで、バイアス電極4では絶対値が同じでかつ
符号が逆となる電圧を印加することができるので、準備
すべき電源の数を減らすことができるとともに、光通信
システム運用コストの低減に寄与できる利点がある。
【0031】なお、上述の第1実施形態においては、第
1電位供給用電極部4a−1にて与えられる第1の電位
を接地電位とし、第2電位供給用電極部4b−1にて与
えられる第2の電位をV=V0としているが、本発明に
よれば、第1電位供給用電極部4a−1にて与えられる
第1の電位をV=V0とし、第2電位供給用電極部4b
−1にて与えられる第2の電位を接地電位とすること
も、もちろん可能である。
【0032】[b]第2実施形態の説明 図2は本発明の第2実施形態にかかる光導波路デバイス
を適用した光変調器11−2を示す模式図であり、この
図2に示す光変調器11−2は、前述の第1実施形態に
おけるものに比して、第1および第2電位供給用電極部
4a−1,4b−1のそれぞれに別個の電源7a,7b
が接続されて、それぞれの第1および第2電位供給用電
極部4a−1,4b−1にて与えられる第1および第2
の電位が、絶対値が同じでかつ符号が逆となる電位とす
るようになっている点が異なり、光導波路デバイス10
の構成としては前述の第1実施形態の場合と同様であ
る。なお、図2中、図1と同一の符号は、基本的に同様
の部分を示している。
【0033】ここで、第1および第2電位供給用電極部
4a−1,4b−1のそれぞれに接続される電源7a,
7bは、互いに相補の(絶対値が同一で符号は反転した
値の)電圧を発生するものであるが、それぞれの電源7
a,7bで発生する電圧値の絶対値としては、前述の第
1実施形態の場合における電源7の半分の値を発生する
ようになっている。この場合においては、電源7aはV
=−V0/2の電圧値を発生し、電源7bはV=+V0
2の電圧値を発生するようになっている。
【0034】これにより、第1導波路上電極部4a−2
の電位としてはV=−V0/2であるが、当該第1導波
路上電極部4a−2を挟むように形成された2つの第2
電位差形成用電極部4b−31,4b−32の電位がV
=+V0/2となるため、直線導波路2bに印加される
バイアス電圧としては、第1導波路上電極部4a−2お
よび第2電位差形成用電極部4b−31,4b−32の
電位差であるV=−V 0とすることができる。
【0035】さらに、第2導波路上電極部4b−2の電
位としてはV=+V0/2であるが、当該第2導波路上
電極部4b−2を挟むように形成された2つの第1電位
差形成用電極部4a−31,4a−32の電位がV=−
0/2であるため、直線導波路2cに印加されるバイ
アス電圧としては、第2導波路上電極部4b−2および
第1電位差形成用電極部4a−31,4a−32の電位
差であるV=+V0とすることができる。
【0036】換言すれば、上記の第1および第2バイア
ス電極4a,4bによって、互いの電位を相補させるこ
とにより、それぞれの直線導波路2b,2cには絶対値
が同じでかつ符号が逆となる電圧を印加することができ
るのである。上述の構成により、本発明の第2実施形態
にかかる光導波路デバイス10が適用された光変調器1
1−2では、第1バイアス電極4aには電源7aからの
電圧V=−V0/2が与えられ、第2バイアス電極4b
には電源7bからの電圧V=+V0/2が与えられてい
るが、第1および第2バイアス電極4a,4b間の電位
が相補されることにより、直線導波路2bに対してはV
=−V0の電位差をバイアス電圧として得ることがで
き、直線導波路2cに対してはV=+V0の電位差をバ
イアス電圧として得ることができる。
【0037】このように、本発明の第2実施形態にかか
る光導波路デバイスによれば、直線導波路2b,2c上
に信号電極3a,3bを形成したデュアル電極の構造を
構成した場合のごとく、電源の個数を減らさないで光変
調器を構成する場合においても、従来よりのバイアス電
極用の電源よりも発生する電圧値を半減させながら、バ
イアス電圧値としては同様の電圧を与えることができる
ので、光通信システム運用コストの低減に寄与できる利
点がある。
【0038】なお、上述の第2実施形態においては、第
1電位供給用電極部4a−1にて与えられる第1の電位
をV=−V0/2とし、第2電位供給用電極部4b−1
にて与えられる第2の電位をV=+V0/2としている
が、本発明によれば、第1電位供給用電極部4a−1に
て与えられる第1の電位をV=+V0/2とし、第2電
位供給用電極部4b−1にて与えられる第2の電位をV
=−V0/2とすることも、もちろん可能である。
【0039】[c]第3実施形態の説明 図5は、本発明の第3実施形態にかかる光導波路デバイ
スを適用した光変調器を示す模式図であり、この図5に
示す光変調器11−3は、前述の第1,第2実施形態に
おけるものに比して、第1導波路上電極4a−2の近傍
には(2つではなく)単一の第1電位差形成用電極部4
b−33が設けられ、第2導波路上電極4b−2の近傍
にも単一の第2電位差形成用電極部4a−33が設けら
れている点が異なる。なお、図5中、図1,図2と同一
の符号は、基本的に同様の部分を示している。
【0040】このように構成された第3実施形態にかか
る光導波路デバイスにおいても、前述の第1,第2実施
形態の場合と同様、従来よりのバイアス電極用の電源よ
りも発生する電圧値を半減させながら、バイアス電圧値
としては同様の電圧を与えることができるので、光通信
システム運用コストの低減に寄与できる利点がある。 [d]その他 上述の各実施形態においては、干渉型光導波路として、
マッハツェンダ型の光導波路を適用した場合について詳
述したが、本発明によれば、これ以外の公知の干渉型光
導波路に適用することも、もちろん可能である。
【0041】上述の各実施形態においては、マッハツェ
ンダ型の光変調器をなす2本の直線導波路2b,2c上
の各信号電極3a,3bにおいて印加される信号成分を
バイアスするためのバイアス電極4として適用した場合
について詳述したが、本発明によればこれに限定され
ず、3本以上の並列な光導波路の各信号電極において印
加される信号成分をバイアスするバイアス電極として
も、同様に適用することができる。
【0042】この場合においても、バイアス電極は、前
述の各実施形態の場合と同様の第1および第2電位供給
用電極部をそなえるとともに、3本以上の並列な光導波
路をなす各光導波路上における信号電極の後段に、当該
3本以上の光導波路の並列順に応じて第1および第2電
位供給用電極部からの電位が交互に供給されるように形
成された櫛肢状の導波路上電極部と、一方の電位供給用
電極部からの電位を供給する導波路上電極部を挟むよう
に、他方の電位供給用電極部からの電位を供給する少な
くとも櫛肢状の電位差形成用電極部と、をそなえて構成
する。
【0043】これにより、バイアス電極においては、3
本以上の並列な光導波路のうちで隣接する光導波路に供
給される互いの電位を相補させることにより、隣接する
光導波路には、絶対値が同じでかつ符号が逆となる電圧
を印加することができるのである。さらには、少なくと
も、Z軸カットされた電気光学効果を有する基板と、上
述の干渉型光導波路と、干渉型光導波路をなす各光導波
路を伝播する光に対し上記電気光学効果のための電圧を
印加するための集中定数型電極をそなえてなる光導波路
デバイスに対しても、集中定数型光電極として上述の各
実施形態におけるバイアス電極と同様に構成することに
より、本発明を適用することが可能である。
【0044】また、上述したような態様による実施以外
にも、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々変形して
実施することが可能である。さらに、上述した各実施形
態によって、本発明の光導波路デバイスを製造すること
は可能である。 (付記1) Z軸カットされた電気光学効果を有する基
板と、該基板上に形成されて、並列な複数の光導波路上
を伝播する光について干渉させる干渉型光導波路と、該
干渉型光導波路をなす各光導波路を伝播する光に対し上
記電気光学効果のための電圧を印加するための集中定数
型電極とをそなえ、該集中定数型電極が、該並列な複数
の光導波路のうちで隣接する光導波路に供給される互い
の電位を相補させることにより、上記隣接する光導波路
には、絶対値が同じでかつ符号が逆となる電圧が印加さ
れるように構成されたことを特徴とする、光導波路デバ
イス。
【0045】(付記2) Z軸カットされた電気光学効
果を有する基板と、該基板上に形成されて、並列な複数
の光導波路上を伝播する光について干渉させる干渉型光
導波路と、該干渉型光導波路をなす各光導波路上に形成
された信号電極と、該各信号電極において印加する信号
成分をバイアスするためのバイアス電極とをそなえ、該
バイアス電極が、該並列な複数の光導波路のうちで隣接
する光導波路に供給される互いの電位を相補させること
により、上記隣接する光導波路には、絶対値が同じでか
つ符号が逆となる電圧が印加されるように構成されたこ
とを特徴とする、光導波路デバイス。
【0046】(付記3) 該バイアス電極が、第1の電
位が与えられる第1電位供給用電極部と、該第1の電位
と異なる第2の電位が与えられる第2電位供給用電極部
と、上記の各光導波路上における信号電極の後段に、上
記複数の光導波路の並列順に応じて上記の第1および第
2電位供給用電極部からの電位が交互に供給されるよう
に形成された導波路上電極部と、一方の電位供給用電極
部からの電位を供給する導波路上電極部を挟むように、
他方の電位供給用電極部からの電位を供給する電位差形
成用電極部と、をそなえて構成されたことを特徴とす
る、付記2記載の光導波路デバイス。
【0047】(付記4) 該第1および第2電位供給用
電極部にて与えられる第1および第2の電位のいずれか
一方が、接地電位であることを特徴とする、付記3記載
の光導波路デバイス。 (付記5) 該第1および第2電位供給用電極部にて与
えられる第1および第2の電位が、絶対値が同じでかつ
符号が逆となる電位であることを特徴とする、付記3記
載の光導波路デバイス。
【0048】(付記6) Z軸カットされた電気光学効
果を有する基板と、該基板上に形成されて、並列な2つ
の導波路上を伝播する光について干渉させる干渉型光導
波路と、上記の干渉型光導波路をなす並列な2つの導波
路のうちの一方の光導波路上に形成された第1信号電極
と、上記の干渉型光導波路をなす並列な2つの導波路の
うちの他方の光導波路上に形成された第2信号電極と、
該第1信号電極において印加する信号成分をバイアスす
るための第1バイアス電極と、該第2信号電極において
印加する信号成分をバイアスするための第2バイアス電
極とをそなえ、上記の第1および第2バイアス電極が、
互いの電位を相補させることにより、絶対値が同じでか
つ符号が逆となる電圧が印加されるように構成されたこ
とを特徴とする、光導波路デバイス。
【0049】(付記7) 該バイアス電極が、第1の電
位が与えられる第1電位供給用電極部と、該第1の電位
と異なる第2の電位が与えられる第2電位供給用電極部
と、上記一方の光導波路上における第1信号電極の後段
に、該第1電位供給用電極部からの電位が供給されるよ
うに形成された第1導波路上電極部と、上記他方の光導
波路上における第2信号電極の後段に、該第2電位供給
用電極部からの電位が供給されるように形成された第2
導波路上電極部と、該第1導波路上電極部を挟むように
形成され、該第2電位供給用電極部からの電位を供給す
る第1電位差形成用電極部と、該第2導波路上電極部を
挟むように形成され、該第1電位供給用電極部からの電
位を供給する第2電位差形成用電極部と、をそなえて構
成されたことを特徴とする、付記6記載の光導波路デバ
イス。
【0050】(付記8) 該干渉型光導波路が、マッハ
ツェンダ型の光導波路であることを特徴とする、付記
1,2または6記載の光導波路デバイス。
【0051】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の光導波路
デバイスによれば、集中定数型電極またはバイアス電極
が、並列な複数の光導波路のうちで隣接する光導波路に
供給される互いの電位を相補させて、隣接する光導波路
に絶対値が同じでかつ符号が逆となる電圧を印加するこ
とにより、以下の作用効果ないし利点がある。
【0052】1.単一の電源を用いるのみで、絶対値が
同じでかつ符号が逆となる電圧を印加することができ、
準備すべき電源の数を減らすことができるとともに、光
通信システム運用コストの低減に寄与できる利点があ
る。 2.電源の個数を減らさないで光変調器を構成する場合
においても、従来よりの電源よりも発生する電圧値を半
減させながら、電圧値としては同様の電圧を与えること
ができるので、光通信システム運用コストの低減に寄与
できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態にかかる光導波路デバイ
スを示す模式図である。
【図2】本発明の第2実施形態にかかる光導波路デバイ
スを示す模式図である。
【図3】従来の光導波路デバイスを示す模式図である。
【図4】従来の光導波路デバイスを示す模式図である。
【図5】本発明の第3実施形態にかかる光導波路デバイ
スを示す模式図である。
【符号の説明】
1X,1Z,101X,101Z 基板 2,102,202 マッハツェンダ型の光導波路 3a,3b,103a,103b,203 信号電極 4,104,204 バイアス電極 4a 第1バイアス電極 4a−1 第1電位供給用電極部 4a−2 第1導波路上電極部 4a−31,4a−32 第2電位差形成用電極部 4b 第2バイアス電極 4b−1 第2電位供給用電極部 4b−2 第2導波路上電極部 4b−31,4b−32 第1電位差形成用電極部 5,105,205 接地電極 6a,6b,106a,106b,206 RF信号発
生源 7,7a,7b,107b,207 電源 10,100,200 光導波路デバイス 11−1,11−2,110,210 光変調器
フロントページの続き (72)発明者 杉山 昌樹 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 大山 正晃 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 2H047 KA03 KA12 LA12 NA02 QA03 RA08 TA47 2H079 AA02 AA12 BA01 CA04 DA03 EA05 EB04 FA02 HA11

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Z軸カットされた電気光学効果を有する
    基板と、 該基板上に形成されて、並列な複数の光導波路上を伝播
    する光について干渉させる干渉型光導波路と、 該干渉型光導波路をなす各光導波路を伝播する光に対し
    上記電気光学効果のための電圧を印加するための集中定
    数型電極とをそなえ、 該集中定数型電極が、該並列な複数の光導波路のうちで
    隣接する光導波路に供給される互いの電位を相補させる
    ことにより、上記隣接する光導波路には、絶対値が同じ
    でかつ符号が逆となる電圧が印加されるように構成され
    たことを特徴とする、光導波路デバイス。
  2. 【請求項2】 Z軸カットされた電気光学効果を有する
    基板と、 該基板上に形成されて、並列な複数の光導波路上を伝播
    する光について干渉させる干渉型光導波路と、 該干渉型光導波路をなす各光導波路上に形成された信号
    電極と、 該各信号電極において印加する信号成分をバイアスする
    ためのバイアス電極とをそなえ、 該バイアス電極が、該並列な複数の光導波路のうちで隣
    接する光導波路に供給される互いの電位を相補させるこ
    とにより、上記隣接する光導波路には、絶対値が同じで
    かつ符号が逆となる電圧が印加されるように構成された
    ことを特徴とする、光導波路デバイス。
  3. 【請求項3】 該バイアス電極が、第1の電位が与えら
    れる第1電位供給用電極部と、 該第1の電位と異なる第2の電位が与えられる第2電位
    供給用電極部と、 上記の各光導波路上における信号電極の後段に、上記複
    数の光導波路の並列順に応じて上記の第1および第2電
    位供給用電極部からの電位が交互に供給されるように形
    成された導波路上電極部と、 一方の電位供給用電極部からの電位を供給する導波路上
    電極部の近傍に、他方の電位供給用電極部からの電位を
    供給する少なくとも一つの電位差形成用電極部と、をそ
    なえて構成されたことを特徴とする、請求項2記載の光
    導波路デバイス。
  4. 【請求項4】 該第1および第2電位供給用電極部にて
    与えられる第1および第2の電位のいずれか一方が、接
    地電位であることを特徴とする、請求項3記載の光導波
    路デバイス。
  5. 【請求項5】 該第1および第2電位供給用電極部にて
    与えられる第1および第2の電位が、絶対値が同じでか
    つ符号が逆となる電位であることを特徴とする、請求項
    3記載の光導波路デバイス。
JP2002031483A 2002-02-07 2002-02-07 光導波路デバイス Expired - Lifetime JP3806043B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002031483A JP3806043B2 (ja) 2002-02-07 2002-02-07 光導波路デバイス
US10/298,560 US7239764B2 (en) 2002-02-07 2002-11-19 Optical waveguide device with reduced driving voltage
EP02026801A EP1336893B1 (en) 2002-02-07 2002-11-28 Optical waveguide device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002031483A JP3806043B2 (ja) 2002-02-07 2002-02-07 光導波路デバイス

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003233042A true JP2003233042A (ja) 2003-08-22
JP3806043B2 JP3806043B2 (ja) 2006-08-09

Family

ID=27621378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002031483A Expired - Lifetime JP3806043B2 (ja) 2002-02-07 2002-02-07 光導波路デバイス

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7239764B2 (ja)
EP (1) EP1336893B1 (ja)
JP (1) JP3806043B2 (ja)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006221111A (ja) * 2005-02-14 2006-08-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> マッハツェンダー型光素子およびその駆動方法
JP2008039859A (ja) * 2006-08-01 2008-02-21 Fujitsu Ltd 光変調器
JP2010152306A (ja) * 2008-11-19 2010-07-08 Anritsu Corp 光変調器
JP2011028014A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Fujitsu Optical Components Ltd 光デバイスおよび光送信機
JP2012145894A (ja) * 2011-01-14 2012-08-02 Anritsu Corp 光変調器
JP2016071199A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 住友大阪セメント株式会社 光制御素子
JP2016142755A (ja) * 2015-01-29 2016-08-08 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光変調器
JP2017181676A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子
US9977266B2 (en) 2016-02-29 2018-05-22 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical modulator and optical transmission device using optical modulator
US10082683B2 (en) 2016-07-27 2018-09-25 Fujitsu Optical Components Limited Optical modulator that is formed using ferroelectric substrate
US10386659B2 (en) 2016-03-18 2019-08-20 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical modulator and optical transmission device using optical modulator
US10466513B2 (en) 2016-03-29 2019-11-05 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical waveguide device

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5056040B2 (ja) * 2007-02-08 2012-10-24 富士通株式会社 光変調器
DE102008011501A1 (de) 2008-02-25 2009-08-27 Carl Zeiss Smt Ag Verfahren zum Betreiben eines Beleuchtungssystems einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
CN103728693B (zh) * 2013-12-26 2016-01-06 华中师范大学 一种基于数字光学位相共轭原理的光开关阵列芯片
WO2024054243A2 (en) * 2022-01-24 2024-03-14 Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Optical waveguide components possessing high nonlinear efficiency and adaptive-profile poling process to fabricate the same

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4273411A (en) * 1980-01-24 1981-06-16 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical wavelength filter
JPS6214627A (ja) 1985-07-12 1987-01-23 Oki Electric Ind Co Ltd 導波型光スイツチ
US5015053A (en) * 1989-04-25 1991-05-14 Massachusetts Institute Of Technology Reduction of modulator non-linearities with independent bias angle control
US5032805A (en) * 1989-10-23 1991-07-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army RF phase shifter
JPH04332878A (ja) 1991-05-07 1992-11-19 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 電磁界強度測定装置
CA2083219C (en) * 1991-11-19 1999-01-05 Hiroshi Nishimoto Optical transmitter having optical modulator
US5278923A (en) 1992-09-02 1994-01-11 Harmonic Lightwaves, Inc. Cascaded optical modulation system with high linearity
US5434700A (en) * 1993-12-16 1995-07-18 Bell Communications Research, Inc. All-optical wavelength converter
GB2344658B (en) 1996-04-03 2000-08-23 Gen Instrument Corp Optical modulator for CATV systems
JPH11231358A (ja) 1998-02-19 1999-08-27 Nec Corp 光回路及びその製造方法
JP2000275590A (ja) 1999-03-29 2000-10-06 Sumitomo Osaka Cement Co Ltd 導波路型光変調器
US6222965B1 (en) 1999-07-08 2001-04-24 Agere Systems Opto Electronics Guardian Inc. Bias control system for electrooptic devices

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006221111A (ja) * 2005-02-14 2006-08-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> マッハツェンダー型光素子およびその駆動方法
JP2008039859A (ja) * 2006-08-01 2008-02-21 Fujitsu Ltd 光変調器
US7447389B2 (en) 2006-08-01 2008-11-04 Fujitsu Limited Optical modulator
JP2010152306A (ja) * 2008-11-19 2010-07-08 Anritsu Corp 光変調器
JP2011028014A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Fujitsu Optical Components Ltd 光デバイスおよび光送信機
JP2012145894A (ja) * 2011-01-14 2012-08-02 Anritsu Corp 光変調器
JP2016071199A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 住友大阪セメント株式会社 光制御素子
JP2016142755A (ja) * 2015-01-29 2016-08-08 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光変調器
US9977266B2 (en) 2016-02-29 2018-05-22 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical modulator and optical transmission device using optical modulator
US10310299B2 (en) 2016-02-29 2019-06-04 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical modulator and optical transmission device using optical modulator
US10386659B2 (en) 2016-03-18 2019-08-20 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical modulator and optical transmission device using optical modulator
JP2017181676A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子
US10466513B2 (en) 2016-03-29 2019-11-05 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Optical waveguide device
US10082683B2 (en) 2016-07-27 2018-09-25 Fujitsu Optical Components Limited Optical modulator that is formed using ferroelectric substrate

Also Published As

Publication number Publication date
EP1336893A2 (en) 2003-08-20
EP1336893A3 (en) 2005-03-30
EP1336893B1 (en) 2012-10-10
US7239764B2 (en) 2007-07-03
JP3806043B2 (ja) 2006-08-09
US20030147576A1 (en) 2003-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003233042A (ja) 光導波路デバイス
US7058241B2 (en) Optical modulator
US11733586B2 (en) Integrated electro-optic frequency comb generator
EP2015130A1 (en) Optical waveguide device based on a delay interferometer for transmitting return-to-zero pulses
JP2008116865A (ja) ネスト型変調器
KR940020665A (ko) 주기적 도메인 반전 전기 광학 변조기 및 변조 방법(Periodic Domain Reversal Electro-Optic Modulator)
JP2002182172A (ja) 光変調器
EP2116889B1 (en) Optical phase modulator
JP3820009B2 (ja) 光変調器および光変調方法
US20090290206A1 (en) Optical waveguide device
JP2009053444A (ja) 光導波路素子
US11320595B2 (en) Optical device that includes optical modulator, and optical transceiver
JP2003532906A (ja) 高次関数導波路干渉計を使用する光パルス発生
US6643051B1 (en) Method and system for generating return-to-zero signals
US20100329601A1 (en) Optical waveguide device
JP4980620B2 (ja) 集積型光変調器及びその製造方法
JP5229378B2 (ja) 光導波路素子
JP4587762B2 (ja) 光変調素子モジュール
JP2010152306A (ja) 光変調器
WO2001073501A3 (en) Variable chirp modulator having three arm interferometer
JP2006126759A (ja) 光変調器
JP2007333753A (ja) 電気光学ssb光変調器及び光周波数シフタ
JP2006106365A (ja) 光制御素子
EP1441250A3 (en) Electrode systems for optical modulation and optical modulators
JP3265011B2 (ja) 薄膜導波路型光周波数シフタおよび光周波数シフタ用光集積回路チップ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040903

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050215

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060131

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060331

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060509

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060511

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3806043

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519

Year of fee payment: 4

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519

Year of fee payment: 4

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140519

Year of fee payment: 8

EXPY Cancellation because of completion of term