JP2016142755A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
Description
図7は、本発明の第1の実施形態の光変調器の構成を示す。第1の実施形態の光変調器100は、図5に示す光変調器と同様に、基板1を利用して構成される。基板1には、入力光導波路2a、1組の直線光導波路2b、2c、出力光導波路2dが形成されている。すなわち、マッハツェンダ干渉計を構成する光導波路が基板1の上面の近傍に形成されている。基板1の上面には、図6に示す構成と同様に、バッファ層5および半導電性膜7が形成され、その上に信号電極3x、3y、接地電極4、DC電極6a、6bが形成されている。ただし、光変調器100は、図5に示すDC電極6c、6dの代わりに、DC電極6e、6fを備える。
図10は、本発明の第2の実施形態の光変調器の構成を示す。第2の実施形態の光変調器200の構成は、図5〜図6に示した光変調器とほぼ同じである。ただし、光変調器200の半導電性膜31の抵抗は、図6に示す半導電性膜7の抵抗よりも低い。一例としては、半導電性膜31は、DC電極6a、6d間の抵抗値およびDC電極6b、6c間の抵抗値がそれぞれ1Mオーム以下となるように形成される。また、半導電性膜31は、例えば、抵抗率が調整されたSi膜により実現される。
図12は、本発明の第3の実施形態の光変調器の構成を示す。第3の実施形態の光変調器300は、並列に設けられた1組の光変調器要素を含む。各光変調器要素は、変調光信号を生成する。そして、1組の光変調器要素により生成される1組の変調光信号が合波されて出力される。したがって、光変調器300は、QPSK変調光信号を生成することができる。
ダイシングにより強誘電体ウエハから基板1を切り出す際に、基板1の端部に形成されている光導波路は、破損するおそれがある。このため、基板1に形成される光導波路パターンを保護するために、基板1の端部に保護部材が設けられることがある。図13(a)および図13(b)に示す例では、保護部材61は、基板1の入力端および出力端に設けられる。入力端は、入力光導波路2aが形成されている側の基板1の端部を意味する。また、出力端は、出力光導波路2dが形成されている側の基板1の端部を意味する。なお、保護部材61は、光変調器の光導波路に光学的に結合される光ファイバを保持する役割も有する。
第1〜第6の実施形態は、矛盾しない範囲で任意に組み合わせてもよい。例えば、第1〜第3の実施形態の光変調器100、110、200、210、300の基板に保護部材61を設け、その保護部材61に対して第4、第5、または第6の実施形態の構成を導入してもよい。
(付記1)
入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される第1および第2の分岐光導波路と、前記第1および第2の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記第1または第2の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記第1の分岐光導波路の近傍に形成されて、第1のDC電圧が印加される第1の電極と、
前記第2の分岐光導波路の近傍に形成されて、第2のDC電圧が印加される第2の電極と、
前記第1の電極に電気的に接続されて、前記第2の電極の両側に形成される第3の電極と、
前記第2の電極に電気的に接続されて、前記第1の電極の両側に形成される第4の電極と、を備え、
前記第1の電極と前記第4の電極との間の第1の間隔と、前記第2の電極と前記第3の電極との間の第2の間隔とは、ほぼ同じであり、
前記第3の電極と前記第4の電極との間の間隔は、前記第1の間隔の1〜5倍である
ことを特徴とする光変調器。
(付記2)
前記第1の電極に対して前記強誘電体基板の端部側に形成される前記第4の電極は、前記強誘電体基板の端部の近傍まで形成されており、
前記第2の電極に対して前記強誘電体基板の端部側に形成される前記第3の電極は、前記強誘電体基板の端部の近傍まで形成されている、
ことを特徴とする付記1に記載の光変調器。
(付記3)
前記第1〜第4の電極の開放端が丸められている
ことを特徴とする付記1または2に記載の光変調器。
(付記4)
前記第1の間隔および前記第2の間隔は、それぞれ、前記第1または第2の分岐光導波路の幅の1〜3倍である
ことを特徴とする付記1〜3のいずれか1つに記載の光変調器。
(付記5)
入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される第1および第2の分岐光導波路と、前記第1および第2の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記第1または第2の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記第1の分岐光導波路の近傍に形成されて、第1のDC電圧が印加される第1の電極と、
前記第2の分岐光導波路の近傍に形成されて、第2のDC電圧が印加される第2の電極と、
前記信号電極、前記第1の電極、および前記第2の電極と前記強誘電体基板との間において、前記信号電極、前記第1の電極、および前記第2の電極に接して形成される半導電性膜と、
前記半導電性膜と前記強誘電体基板との間に形成される絶縁膜と、を備え、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記半導電性膜の電気抵抗は、1Mオーム以下である
ことを特徴とする光変調器。
(付記6)
前記強誘電体基板の底面に形成される導電膜または半導電性膜をさらに備え、
前記強誘電体基板の底面に形成される導電膜または半導電性膜は、前記強誘電体基板の表面に形成される半導電性膜に電気的に接続されている
ことを特徴とする付記5に記載の光変調器。
(付記7)
前記強誘電体基板の底面に形成される導電膜または半導電性膜は、前記強誘電体基板の側面に形成される金属膜により、前記強誘電体基板の表面に形成される半導電性膜に電気的に接続されている
ことを特徴とする付記6に記載の光変調器。
(付記8)
第1の光変調器要素を構成する第1の光導波路および第2の光変調器要素を構成する第2の光導波路が形成される強誘電体基板と、
前記強誘電体基板の表面に形成される接地電極と、を備え、
前記第1の光変調器要素は、
前記第1の光導波路の近傍に形成される第1の信号電極と、
前記第1の分岐光導波路の近傍に形成されて、第1のDC電圧が印加される第1の電極と、
前記第1の電極の両側に形成されて、第2のDC電圧が印加される第2の電極と、を含み、
前記第2の光変調器要素は、
前記第2の光導波路の近傍に形成される第2の信号電極と、
前記第2の分岐光導波路の近傍に形成されて、第3のDC電圧が印加される第3の電極と、
前記第3の電極の両側に形成されて、第4のDC電圧が印加される第4の電極と、を含み、
前記接地電極は、前記第2の電極と前記第4の電極との間にまで広がって形成され、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の第1の間隔と、前記第3の電極と前記第4の電極との間の第2の間隔とは、ほぼ同じであり、
前記接地電極と前記第2の電極との間の間隔および前記接地電極と前記第4の電極との間の間隔は、前記第1の間隔の1〜5倍である
ことを特徴とする光変調器。
(付記9)
入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される1組の分岐光導波路と、前記1組の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記1組の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記入力光導波路が形成される前記強誘電体基板の入力端および前記出力光導波路が形成される前記強誘電体基板の出力端にそれぞれ取り付けられる強誘電体部材と、を備え、
前記強誘電体部材に導電性材料が接触している
ことを特徴とする光変調器。
(付記10)
前記強誘電体部材の少なくとも一部は、導電性接着剤で覆われている
ことを特徴とする付記9に記載の光変調器。
(付記11)
前記強誘電体部材の少なくとも一部は、金属膜で覆われている
ことを特徴とする付記9に記載の光変調器。
(付記12)
前記強誘電体部材は、導電性接着剤で前記強誘電体基板に貼り付けられている
ことを特徴とする付記9に記載の光変調器。
(付記13)
入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される1組の分岐光導波路と、前記1組の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記1組の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記入力光導波路が形成される前記強誘電体基板の入力端および前記出力光導波路が形成される前記強誘電体基板の出力端にそれぞれ取り付けられる強誘電体部材と、を備え、
前記強誘電体部材は、還元処理が施されている
ことを特徴とする記載の光変調器。
(付記14)
入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される1組の分岐光導波路と、前記1組の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記1組の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記入力光導波路が形成される前記強誘電体基板の入力端および前記出力光導波路が形成される前記強誘電体基板の出力端にそれぞれ取り付けられる部材と、を備え、
前記強誘電体基板に取り付けられる部材は、焦電効果がなく、かつ、熱膨張係数が前記強誘電体基板とほぼ等しい材料で形成される
ことを特徴とする光変調器。
2a 入力光導波路
2b、2c 直線光導波路(分岐光導波路)
2d 出力光導波路
3、3x、3y 信号電極
4 接地電極
5 バッファ層
6a〜6f DC電極
7 半導電性膜
11、11x、11y 電気信号源
12x、12y DC電源
25 光変調器
31、32 半導電性膜
33 低抵抗層
61 保護部材
100、110、200、210、300、400、500、600 光変調器
Claims (9)
- 入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される第1および第2の分岐光導波路と、前記第1および第2の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記第1または第2の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記第1の分岐光導波路の近傍に形成されて、第1のDC電圧が印加される第1の電極と、
前記第2の分岐光導波路の近傍に形成されて、第2のDC電圧が印加される第2の電極と、
前記第1の電極に電気的に接続されて、前記第2の電極の両側に形成される第3の電極と、
前記第2の電極に電気的に接続されて、前記第1の電極の両側に形成される第4の電極と、を備え、
前記第1の電極と前記第4の電極との間の第1の間隔と、前記第2の電極と前記第3の電極との間の第2の間隔とは、ほぼ同じであり、
前記第3の電極と前記第4の電極との間の間隔は、前記第1の間隔の1〜5倍である
ことを特徴とする光変調器。 - 前記第1の電極に対して前記強誘電体基板の端部側に形成される前記第4の電極は、前記強誘電体基板の端部の近傍まで形成されており、
前記第2の電極に対して前記強誘電体基板の端部側に形成される前記第3の電極は、前記強誘電体基板の端部の近傍まで形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の光変調器。 - 前記第1〜第4の電極の開放端が丸められている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光変調器。 - 入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される第1および第2の分岐光導波路と、前記第1および第2の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記第1または第2の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記第1の分岐光導波路の近傍に形成されて、第1のDC電圧が印加される第1の電極と、
前記第2の分岐光導波路の近傍に形成されて、第2のDC電圧が印加される第2の電極と、
前記信号電極、前記第1の電極、および前記第2の電極と前記強誘電体基板との間において、前記信号電極、前記第1の電極、および前記第2の電極に接して形成される半導電性膜と、
前記半導電性膜と前記強誘電体基板との間に形成される絶縁膜と、を備え、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記半導電性膜の電気抵抗は、1Mオーム以下である
ことを特徴とする光変調器。 - 前記強誘電体基板の底面に形成される導電膜または半導電性膜をさらに備え、
前記強誘電体基板の底面に形成される導電膜または半導電性膜は、前記強誘電体基板の表面に形成される半導電性膜に電気的に接続されている
ことを特徴とする請求項4に記載の光変調器。 - 第1の光変調器要素を構成する第1の光導波路および第2の光変調器要素を構成する第2の光導波路が形成される強誘電体基板と、
前記強誘電体基板の表面に形成される接地電極と、を備え、
前記第1の光変調器要素は、
前記第1の光導波路の近傍に形成される第1の信号電極と、
前記第1の分岐光導波路の近傍に形成されて、第1のDC電圧が印加される第1の電極と、
前記第1の電極の両側に形成されて、第2のDC電圧が印加される第2の電極と、を含み、
前記第2の光変調器要素は、
前記第2の光導波路の近傍に形成される第2の信号電極と、
前記第2の分岐光導波路の近傍に形成されて、第3のDC電圧が印加される第3の電極と、
前記第3の電極の両側に形成されて、第4のDC電圧が印加される第4の電極と、を含み、
前記接地電極は、前記第2の電極と前記第4の電極との間にまで広がって形成され、
前記第1の電極と前記第2の電極との間の第1の間隔と、前記第3の電極と前記第4の電極との間の第2の間隔とは、ほぼ同じであり、
前記接地電極と前記第2の電極との間の間隔および前記接地電極と前記第4の電極との間の間隔は、前記第1の間隔の1〜5倍である
ことを特徴とする光変調器。 - 入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される1組の分岐光導波路と、前記1組の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記1組の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記入力光導波路が形成される前記強誘電体基板の入力端および前記出力光導波路が形成される前記強誘電体基板の出力端にそれぞれ取り付けられる強誘電体部材と、を備え、
前記強誘電体部材に導電性材料が接触している
ことを特徴とする光変調器。 - 入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される1組の分岐光導波路と、前記1組の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記1組の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記入力光導波路が形成される前記強誘電体基板の入力端および前記出力光導波路が形成される前記強誘電体基板の出力端にそれぞれ取り付けられる強誘電体部材と、を備え、
前記強誘電体部材は、還元処理が施されている
ことを特徴とする記載の光変調器。 - 入力光導波路と、前記入力光導波路に光学的に結合される1組の分岐光導波路と、前記1組の分岐光導波路に光学的に結合される出力光導波路とが形成される強誘電体基板と、
前記1組の分岐光導波路の少なくとも一方の近傍に形成される信号電極と、
前記入力光導波路が形成される前記強誘電体基板の入力端および前記出力光導波路が形成される前記強誘電体基板の出力端にそれぞれ取り付けられる部材と、を備え、
前記強誘電体基板に取り付けられる部材は、焦電効果がなく、かつ、熱膨張係数が前記強誘電体基板とほぼ等しい材料で形成される
ことを特徴とする光変調器。
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