JP2003227993A - 反射鏡支持機構 - Google Patents
反射鏡支持機構Info
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- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 鏡面精度を向上させることが難しいという課
題があった。 【解決手段】 側面にザグリ部２Ｚを有する反射鏡２
と、反射鏡２を支持するミラーホルダ３と、ザグリ部２
Ｚのミラーホルダ側表面をミラーホルダ側に押し付ける
板ばね４とを備える。反射鏡２がその面内方向に移動可
能で、ザグリ部２Ｚのミラーホルダ側表面が、反射鏡２
の裏面２ｂと平行であるようにする。板ばね４とザグリ
部２Ｚのミラーホルダ側表面との間に、第一のパッド５
を備える。反射鏡２の裏面２ｂとミラーホルダとの間隙
に、反射鏡２の裏面２ｂへの接触部が平面状であり、ミ
ラーホルダ３への接触部が球面状である、反射鏡の裏面
を保護する第二のパッド６を備える。
題があった。 【解決手段】 側面にザグリ部２Ｚを有する反射鏡２
と、反射鏡２を支持するミラーホルダ３と、ザグリ部２
Ｚのミラーホルダ側表面をミラーホルダ側に押し付ける
板ばね４とを備える。反射鏡２がその面内方向に移動可
能で、ザグリ部２Ｚのミラーホルダ側表面が、反射鏡２
の裏面２ｂと平行であるようにする。板ばね４とザグリ
部２Ｚのミラーホルダ側表面との間に、第一のパッド５
を備える。反射鏡２の裏面２ｂとミラーホルダとの間隙
に、反射鏡２の裏面２ｂへの接触部が平面状であり、ミ
ラーホルダ３への接触部が球面状である、反射鏡の裏面
を保護する第二のパッド６を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、望遠鏡等に用い
られる反射鏡支持機構に関するものである。
られる反射鏡支持機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来例１の反射鏡支持機構の構成
を示す概略的な説明図であり、図４（ａ）は反射鏡を含
む支持機構の平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）をＣ−Ｃ
線で切ったときの断面図である。なお、断面を示すハッ
チングは一部省略している。
を示す概略的な説明図であり、図４（ａ）は反射鏡を含
む支持機構の平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）をＣ−Ｃ
線で切ったときの断面図である。なお、断面を示すハッ
チングは一部省略している。
【０００３】図において、３１は反射鏡支持機構であ
る。３２は望遠鏡等に搭載される反射鏡であり、３２ａ
は反射鏡３２の反射面である表面、３２ｂは反射鏡３２
の裏面である。３３は反射鏡３２を支持するミラーホル
ダである。この反射鏡支持機構３１は、反射鏡３２を、
周縁部付近の三点においてミラーホルダ３３に押し付け
て支持する構造である。ミラーホルダ３３は反射鏡３２
の下方と、反射鏡３２を押し付ける三点部分の側面側と
に被るように位置する。３３ａは上述の下方のミラーホ
ルダ、３３ｂは側面側のミラーホルダである。３４は側
面側のミラーホルダ３３ｂの上側に、後述する樹脂パッ
ド３５を介して取り付けられた板ばねであり、反射鏡３
２の表面３２ａを弾性力で下方のミラーホルダ３３ａ方
向に押し付ける。
る。３２は望遠鏡等に搭載される反射鏡であり、３２ａ
は反射鏡３２の反射面である表面、３２ｂは反射鏡３２
の裏面である。３３は反射鏡３２を支持するミラーホル
ダである。この反射鏡支持機構３１は、反射鏡３２を、
周縁部付近の三点においてミラーホルダ３３に押し付け
て支持する構造である。ミラーホルダ３３は反射鏡３２
の下方と、反射鏡３２を押し付ける三点部分の側面側と
に被るように位置する。３３ａは上述の下方のミラーホ
ルダ、３３ｂは側面側のミラーホルダである。３４は側
面側のミラーホルダ３３ｂの上側に、後述する樹脂パッ
ド３５を介して取り付けられた板ばねであり、反射鏡３
２の表面３２ａを弾性力で下方のミラーホルダ３３ａ方
向に押し付ける。
【０００４】３５は反射鏡３２の表面３２ａを保護する
ために板ばね３４と反射鏡３２の表面３２aとの間に挿
入された樹脂パッドである。３６は反射鏡３２の裏面３
２ｂを保護するために反射鏡３２の裏面３２ｂと下方の
ミラーホルダ３３ａとの間隙に設けられた樹脂パッドで
ある。樹脂パッド３５および３６により、反射鏡３２が
直接ミラーホルダ３３に接触して傷がつかないようにな
っている。３７は反射鏡３２の側面と側面側のミラーホ
ルダ３３ｂとの間隙に充填された充填材であり、シリコ
ンゴム等からなる。
ために板ばね３４と反射鏡３２の表面３２aとの間に挿
入された樹脂パッドである。３６は反射鏡３２の裏面３
２ｂを保護するために反射鏡３２の裏面３２ｂと下方の
ミラーホルダ３３ａとの間隙に設けられた樹脂パッドで
ある。樹脂パッド３５および３６により、反射鏡３２が
直接ミラーホルダ３３に接触して傷がつかないようにな
っている。３７は反射鏡３２の側面と側面側のミラーホ
ルダ３３ｂとの間隙に充填された充填材であり、シリコ
ンゴム等からなる。
【０００５】この反射鏡支持機構３１では、反射鏡３２
は、ミラーホルダ３３と板ばね３４とで反射鏡３２の周
縁部付近の三点を挟み込むことによって、支持、固定さ
れている。反射鏡３２は、その厚み方向においては弾性
力で支持され、面内方向においては摩擦力のみで支持さ
れている。
は、ミラーホルダ３３と板ばね３４とで反射鏡３２の周
縁部付近の三点を挟み込むことによって、支持、固定さ
れている。反射鏡３２は、その厚み方向においては弾性
力で支持され、面内方向においては摩擦力のみで支持さ
れている。
【０００６】次に、他の従来の反射鏡支持機構について
説明する。図５は特開昭６１−６６１４号公報に開示さ
れた従来例２の反射鏡支持機構４１の概略的な断面図で
ある。図において、４１は反射鏡支持機構である。４２
は望遠鏡等に搭載される反射鏡である。４２ａは反射鏡
の反射面である表面、４２ｂは反射鏡４２の裏面であ
る。４２ｃは反射鏡の側面一周に設けられた溝である。
４３は反射鏡４２を支持する反射鏡収納ホルダである。
４４は内側に突起を有する割入リングであり、溝４２ｃ
にはめ込まれている。４５は締付けリングネジであり、
４６は反射鏡収納ホルダ４３と締付けリングネジ４５を
結合するネジ部である。４７は反射鏡４２の裏面４２ｂ
と反射鏡収納ホルダ４３との間隙に設けられたウェーブ
ワッシャー等のバネ材である。
説明する。図５は特開昭６１−６６１４号公報に開示さ
れた従来例２の反射鏡支持機構４１の概略的な断面図で
ある。図において、４１は反射鏡支持機構である。４２
は望遠鏡等に搭載される反射鏡である。４２ａは反射鏡
の反射面である表面、４２ｂは反射鏡４２の裏面であ
る。４２ｃは反射鏡の側面一周に設けられた溝である。
４３は反射鏡４２を支持する反射鏡収納ホルダである。
４４は内側に突起を有する割入リングであり、溝４２ｃ
にはめ込まれている。４５は締付けリングネジであり、
４６は反射鏡収納ホルダ４３と締付けリングネジ４５を
結合するネジ部である。４７は反射鏡４２の裏面４２ｂ
と反射鏡収納ホルダ４３との間隙に設けられたウェーブ
ワッシャー等のバネ材である。
【０００７】この反射鏡支持機構４１では、反射鏡４２
は、締付けリングネジ４５により割入リング４４を反射
鏡４２の厚み方向に抑えながら、締付けリングネジ４５
をネジ部４６で反射鏡収納ホルダ４３に結合することに
よって、支持、固定されている。反射鏡４２の厚み方向
の押圧力はバネ材４７によって調整されている。
は、締付けリングネジ４５により割入リング４４を反射
鏡４２の厚み方向に抑えながら、締付けリングネジ４５
をネジ部４６で反射鏡収納ホルダ４３に結合することに
よって、支持、固定されている。反射鏡４２の厚み方向
の押圧力はバネ材４７によって調整されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の反射鏡支持機構
は以上のように構成されているので、以下に示すような
課題があった。
は以上のように構成されているので、以下に示すような
課題があった。
【０００９】従来例１の反射鏡支持機構３１の場合、反
射鏡３２の表面３２ａに直接押付力が作用するように構
成されているので、荷重点である板ばね３４近傍の反射
鏡３２の表面３２ａが大きく変形し、鏡面精度が劣化す
るという課題があった。また、反射鏡３２の表面３２ａ
に異物である板ばね３４が直接に接触するので、反射面
に傷がつくおそれがあるという課題があった。
射鏡３２の表面３２ａに直接押付力が作用するように構
成されているので、荷重点である板ばね３４近傍の反射
鏡３２の表面３２ａが大きく変形し、鏡面精度が劣化す
るという課題があった。また、反射鏡３２の表面３２ａ
に異物である板ばね３４が直接に接触するので、反射面
に傷がつくおそれがあるという課題があった。
【００１０】一方、従来例２の反射鏡支持機構４１の場
合、反射鏡４２の面内方向に圧縮力が作用するように構
成されているので、この圧縮力によって反射鏡が変形
し、鏡面精度が劣化するという課題があった。また、反
射鏡４２と割入リング４４との熱膨張係数が異なるた
め、反射鏡４２および反射鏡４２を支持する部分の温度
変化によって、反射鏡４２の面内方向の圧縮力が変動
し、その結果、反射鏡４２が変形して鏡面精度が劣化す
るおそれがあるという課題があった。
合、反射鏡４２の面内方向に圧縮力が作用するように構
成されているので、この圧縮力によって反射鏡が変形
し、鏡面精度が劣化するという課題があった。また、反
射鏡４２と割入リング４４との熱膨張係数が異なるた
め、反射鏡４２および反射鏡４２を支持する部分の温度
変化によって、反射鏡４２の面内方向の圧縮力が変動
し、その結果、反射鏡４２が変形して鏡面精度が劣化す
るおそれがあるという課題があった。
【００１１】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、反射鏡の鏡面精度を維持すること
が可能な反射鏡支持機構を得ることを目的とする。
めになされたもので、反射鏡の鏡面精度を維持すること
が可能な反射鏡支持機構を得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明に係る反射鏡支
持機構は、側面に凹部を有する反射鏡と、反射鏡を支持
するベースと、凹部のベース側表面をベース側に押し付
ける弾性部材とを備えたものである。
持機構は、側面に凹部を有する反射鏡と、反射鏡を支持
するベースと、凹部のベース側表面をベース側に押し付
ける弾性部材とを備えたものである。
【００１３】この発明に係る反射鏡支持機構は、反射鏡
がその面内方向に移動可能であるものである。
がその面内方向に移動可能であるものである。
【００１４】この発明に係る反射鏡支持機構は、凹部の
ベース側表面が反射鏡の裏面と平行であるものである。
ベース側表面が反射鏡の裏面と平行であるものである。
【００１５】この発明に係る反射鏡支持機構は、弾性部
材と凹部のベース側表面との間に、凹部のベース側表面
を保護する第一の保護用パッドを備えたものである。
材と凹部のベース側表面との間に、凹部のベース側表面
を保護する第一の保護用パッドを備えたものである。
【００１６】この発明に係る反射鏡支持機構は、反射鏡
の裏面とベースとの間隙に、反射鏡の裏面への接触部が
平面状であり、ベースへの接触部が球面状である、反射
鏡の裏面を保護する第二の保護用パッドを備えたもので
ある。
の裏面とベースとの間隙に、反射鏡の裏面への接触部が
平面状であり、ベースへの接触部が球面状である、反射
鏡の裏面を保護する第二の保護用パッドを備えたもので
ある。
【００１７】この発明に係る反射鏡支持機構は、第二の
保護用パッドが、反射鏡の裏面への接触部を含んだ上層
パッドと、ベースへの接触部を含んだ下層パッドとの二
層構造であり、下層パッドの材料が上層パッドの材料よ
りも熱膨張係数が小さいものである。
保護用パッドが、反射鏡の裏面への接触部を含んだ上層
パッドと、ベースへの接触部を含んだ下層パッドとの二
層構造であり、下層パッドの材料が上層パッドの材料よ
りも熱膨張係数が小さいものである。
【００１８】この発明に係る反射鏡支持機構は、下層パ
ッドが超低熱膨張合金からなるものである。
ッドが超低熱膨張合金からなるものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態１による
反射鏡支持機構１の構成を示す概略的な説明図であり、
図１（ａ）は反射鏡を含む支持機構の平面図、図１
（ｂ）は図１（ａ）をＡ−Ａ線で切ったときの断面図で
ある。なお、断面を示すハッチングは一部省略してい
る。図２は反射鏡支持機構１を構成する反射鏡２の説明
図であり、反射鏡の平面図および二方向からみた側面図
を示す。
説明する。 実施の形態１．図１は、この発明の実施の形態１による
反射鏡支持機構１の構成を示す概略的な説明図であり、
図１（ａ）は反射鏡を含む支持機構の平面図、図１
（ｂ）は図１（ａ）をＡ−Ａ線で切ったときの断面図で
ある。なお、断面を示すハッチングは一部省略してい
る。図２は反射鏡支持機構１を構成する反射鏡２の説明
図であり、反射鏡の平面図および二方向からみた側面図
を示す。
【００２０】図において、１は反射鏡支持機構である。
２は望遠鏡等に搭載される反射鏡であり、２ａは反射鏡
２の表面、２ｂは反射鏡２の裏面、２ｃは反射鏡２の側
面である。２Ｚは反射鏡２の中心部を軸として１２０°
の等間隔で側面２ｃの三箇所に設けられたザグリ部（凹
部）である。ザグリ部２Ｚは３箇所以上設ける場合もあ
る。ザグリ部２Ｚの断面形状は、逆コの字型になってお
り、ザグリ部２Ｚの下側表面２ｄ（後述する下方のミラ
ーホルダ３ａ側の表面）は反射鏡２の裏面２ｂと平行で
ある。ザグリ部２Ｚは、例えば切削加工により形成され
る。３は反射鏡２を支持するミラーホルダ（ベース）で
ある。この反射鏡支持機構１は、反射鏡２を、３箇所の
ザグリ部２Ｚにおいてミラーホルダ３に押し付けて支持
する構造である。ミラーホルダ３は反射鏡２の下方と、
反射鏡２を押し付ける三点部分の側面側とに被るように
位置する。３ａは上述の下方のミラーホルダ、３ｂは側
面側のミラーホルダである。
２は望遠鏡等に搭載される反射鏡であり、２ａは反射鏡
２の表面、２ｂは反射鏡２の裏面、２ｃは反射鏡２の側
面である。２Ｚは反射鏡２の中心部を軸として１２０°
の等間隔で側面２ｃの三箇所に設けられたザグリ部（凹
部）である。ザグリ部２Ｚは３箇所以上設ける場合もあ
る。ザグリ部２Ｚの断面形状は、逆コの字型になってお
り、ザグリ部２Ｚの下側表面２ｄ（後述する下方のミラ
ーホルダ３ａ側の表面）は反射鏡２の裏面２ｂと平行で
ある。ザグリ部２Ｚは、例えば切削加工により形成され
る。３は反射鏡２を支持するミラーホルダ（ベース）で
ある。この反射鏡支持機構１は、反射鏡２を、３箇所の
ザグリ部２Ｚにおいてミラーホルダ３に押し付けて支持
する構造である。ミラーホルダ３は反射鏡２の下方と、
反射鏡２を押し付ける三点部分の側面側とに被るように
位置する。３ａは上述の下方のミラーホルダ、３ｂは側
面側のミラーホルダである。
【００２１】４は側面側のミラーホルダ３ｂの上側に、
後述する樹脂パッド５を介して取り付けられた板ばね
（弾性部材）であり、ザグリ部２Ｚの下側表面２ｄを弾
性力で下方のミラーホルダ３ａ方向に押し付ける。板ば
ね４の押付力は、反射鏡２がその面内方向に移動可能な
程度の大きさである。
後述する樹脂パッド５を介して取り付けられた板ばね
（弾性部材）であり、ザグリ部２Ｚの下側表面２ｄを弾
性力で下方のミラーホルダ３ａ方向に押し付ける。板ば
ね４の押付力は、反射鏡２がその面内方向に移動可能な
程度の大きさである。
【００２２】５はザグリ部２Ｚの下側表面２ｄを保護す
るために板ばね４とザグリ部２Ｚの下側表面２ｄとの間
に挿入された第一のパッド（第一の保護用パッド）であ
る。６は反射鏡２の裏面２ｂを保護するために反射鏡２
の裏面２ｂと下方のミラーホルダ３ａとの間隙に設けら
れた第二のパッド（第二の保護用パッド）である。第一
のパッド５および第二のパッド６は樹脂からなり、これ
らにより、反射鏡２が板ばね４またはミラーホルダ３に
直接接触して傷がつかないようになっている。パッドを
形成する材料は、反射鏡２を傷つけない柔らかい材料で
れば、樹脂以外のものであってもよい。
るために板ばね４とザグリ部２Ｚの下側表面２ｄとの間
に挿入された第一のパッド（第一の保護用パッド）であ
る。６は反射鏡２の裏面２ｂを保護するために反射鏡２
の裏面２ｂと下方のミラーホルダ３ａとの間隙に設けら
れた第二のパッド（第二の保護用パッド）である。第一
のパッド５および第二のパッド６は樹脂からなり、これ
らにより、反射鏡２が板ばね４またはミラーホルダ３に
直接接触して傷がつかないようになっている。パッドを
形成する材料は、反射鏡２を傷つけない柔らかい材料で
れば、樹脂以外のものであってもよい。
【００２３】第二のパッド６は半球状であり、反射鏡２
の裏面２ｂに接触する部分が平面状であり、下方のミラ
ーホルダ３ａに接触する部分が球面状である。このた
め、反射鏡２やパッドに製作誤差が生じた場合でも、球
面状の部分が回転して平面状の部分が反射鏡２の裏面２
ｂに密着する。従って、方形の樹脂パッドの場合に生じ
る、製作誤差による、いわゆる片当たり（パッドの片方
の縁のみで反射鏡に接するような状態）を避けることが
できる。なお、球面状の部分が接触する下方のミラーホ
ルダ３ａの部分は凹んでおり、第二のパッド６の位置決
めが容易になるようになっている。
の裏面２ｂに接触する部分が平面状であり、下方のミラ
ーホルダ３ａに接触する部分が球面状である。このた
め、反射鏡２やパッドに製作誤差が生じた場合でも、球
面状の部分が回転して平面状の部分が反射鏡２の裏面２
ｂに密着する。従って、方形の樹脂パッドの場合に生じ
る、製作誤差による、いわゆる片当たり（パッドの片方
の縁のみで反射鏡に接するような状態）を避けることが
できる。なお、球面状の部分が接触する下方のミラーホ
ルダ３ａの部分は凹んでおり、第二のパッド６の位置決
めが容易になるようになっている。
【００２４】７は反射鏡２の側面２ｃと側面側のミラー
ホルダ３ｂとの間隙に充填された充填材であり、シリコ
ンゴム等からなる。充填材７により、反射鏡２やミラー
ホルダ３が振動や熱変形によって位置ずれしないよう
に、また反射鏡２がその面内方向に移動したときにミラ
ーホルダ３と衝突して損傷しないようになっている。
ホルダ３ｂとの間隙に充填された充填材であり、シリコ
ンゴム等からなる。充填材７により、反射鏡２やミラー
ホルダ３が振動や熱変形によって位置ずれしないよう
に、また反射鏡２がその面内方向に移動したときにミラ
ーホルダ３と衝突して損傷しないようになっている。
【００２５】この反射鏡支持機構１では、反射鏡２は、
その側面２ｃに設けられた３箇所のザグリ部２Ｚを板ば
ね４によってミラーホルダ３に押し付けることにより、
支持、固定されている。反射鏡２は、その厚み方向にお
いては弾性力で支持され、面内方向においては摩擦力の
みで支持されている。反射鏡２はその面内方向におい
て、ある程度の移動が可能である。
その側面２ｃに設けられた３箇所のザグリ部２Ｚを板ば
ね４によってミラーホルダ３に押し付けることにより、
支持、固定されている。反射鏡２は、その厚み方向にお
いては弾性力で支持され、面内方向においては摩擦力の
みで支持されている。反射鏡２はその面内方向におい
て、ある程度の移動が可能である。
【００２６】以上のように、この実施の形態１の反射鏡
支持機構１によれば、反射鏡２の側面２ｃに設けられた
３箇所のザグリ部２Ｚを、板ばね４でミラーホルダ３に
押さえつけることにより、反射鏡２の表面２ａを直接押
さえ付けることなく、反射鏡２を支持、固定する。従っ
て、反射鏡の表面２ａの変形が抑制され、鏡面精度を保
つことができるという効果が得られる。
支持機構１によれば、反射鏡２の側面２ｃに設けられた
３箇所のザグリ部２Ｚを、板ばね４でミラーホルダ３に
押さえつけることにより、反射鏡２の表面２ａを直接押
さえ付けることなく、反射鏡２を支持、固定する。従っ
て、反射鏡の表面２ａの変形が抑制され、鏡面精度を保
つことができるという効果が得られる。
【００２７】また、この実施の形態１によれば、反射鏡
２はその面内方向においてある程度の移動が可能である
ので、温度変化が生じたときに反射鏡２とミラーホルダ
３との熱膨張係数の差異による、反射鏡２とその支持箇
所の相対位置の変化が拘束されない。従って、反射鏡２
の面内方向に圧縮力が作用せず、鏡面精度の劣化を防ぐ
ことができるという効果が得られる。
２はその面内方向においてある程度の移動が可能である
ので、温度変化が生じたときに反射鏡２とミラーホルダ
３との熱膨張係数の差異による、反射鏡２とその支持箇
所の相対位置の変化が拘束されない。従って、反射鏡２
の面内方向に圧縮力が作用せず、鏡面精度の劣化を防ぐ
ことができるという効果が得られる。
【００２８】また、この実施の形態１によれば、ザグリ
部２Ｚの下側表面２ｄが反射鏡２の裏面２ｂと平行であ
るので、面内方向の分圧の発生が抑制され、鏡面精度の
劣化を防ぐことができるという効果が得られる。
部２Ｚの下側表面２ｄが反射鏡２の裏面２ｂと平行であ
るので、面内方向の分圧の発生が抑制され、鏡面精度の
劣化を防ぐことができるという効果が得られる。
【００２９】また、この実施の形態１によれば、ザグリ
部２Ｚの下側表面２ｄを保護する第一のパッド５と反射
鏡２の裏面２ｂを保護する第二のパッド６とを備えてい
るので、反射鏡２が板ばね４またはミラーホルダ３に直
接接触して傷がつかず、反射鏡２にクラックが生じる危
険が少ないという効果が得られる。
部２Ｚの下側表面２ｄを保護する第一のパッド５と反射
鏡２の裏面２ｂを保護する第二のパッド６とを備えてい
るので、反射鏡２が板ばね４またはミラーホルダ３に直
接接触して傷がつかず、反射鏡２にクラックが生じる危
険が少ないという効果が得られる。
【００３０】また、この実施の形態１によれば、反射鏡
２の裏面を保護する第二のパッド６のミラーホルダ３へ
の接触部が球面状であるので、パッドのいわゆる片当り
を防ぐことができる。従って、パッドの片当りによる局
部的な曲げモーメントが発生せず、鏡面精度の劣化を防
ぐことができるという効果が得られる。
２の裏面を保護する第二のパッド６のミラーホルダ３へ
の接触部が球面状であるので、パッドのいわゆる片当り
を防ぐことができる。従って、パッドの片当りによる局
部的な曲げモーメントが発生せず、鏡面精度の劣化を防
ぐことができるという効果が得られる。
【００３１】実施の形態２．実施の形態１のように、第
二のパッド全体を樹脂で形成した場合、第二のパッドの
熱膨張係数が周囲の部品に比べて大きく、その結果、温
度変化が生じたときに第二のパッドの熱変形によって反
射鏡が変形し、鏡面精度が劣化することが考えられる。
実施の形態２では、第二のパッドの一部を樹脂より熱膨
張係数が低い材料で形成し、第二のパッドの熱膨張係数
を低減する場合について説明する。
二のパッド全体を樹脂で形成した場合、第二のパッドの
熱膨張係数が周囲の部品に比べて大きく、その結果、温
度変化が生じたときに第二のパッドの熱変形によって反
射鏡が変形し、鏡面精度が劣化することが考えられる。
実施の形態２では、第二のパッドの一部を樹脂より熱膨
張係数が低い材料で形成し、第二のパッドの熱膨張係数
を低減する場合について説明する。
【００３２】図３はこの発明の実施の形態２による反射
鏡支持機構１１の構成を示す概略的な説明図であり、図
３（ａ）は反射鏡を含む支持機構の平面図、図３（ｂ）
は図３（ａ）をＢ−Ｂ線で切ったときの断面図である。
なお、断面を示すハッチングは一部省略している。
鏡支持機構１１の構成を示す概略的な説明図であり、図
３（ａ）は反射鏡を含む支持機構の平面図、図３（ｂ）
は図３（ａ）をＢ−Ｂ線で切ったときの断面図である。
なお、断面を示すハッチングは一部省略している。
【００３３】図において、１１は反射鏡支持機構であ
る。１６は反射鏡２の裏面２ｂを保護するために反射鏡
２の裏面２ｂと下方のミラーホルダ３ａの間隙に設けら
れた第二のパッド（第二の保護用パッド）である。１６
ａは下方のミラーホルダ３ａに接触する下層パッドであ
り、１６ｂは発射鏡２の裏面２ｂに接触する上層パッド
である。第二のパッド１６は反射鏡側の上層パッド１６
ｂとミラーホルダ側の下層パッド１６ａとの２層構造で
ある。上層パッド１６ｂは樹脂からなる。下層パッド１
６ａは上層パッド１６ｂよりも熱膨張係数が低い材料、
例えば超低熱膨張合金であるスーパーインバーからな
る。下層パッド１６ａおよび上層パッド１６ｂは例えば
機械加工で形成される。上層パッド１６ｂと下層パッド
１６ａは板ばね４の押付力によって固定されている。そ
の他の構成要素は実施の形態１と同様であるため詳細な
説明を省略する。
る。１６は反射鏡２の裏面２ｂを保護するために反射鏡
２の裏面２ｂと下方のミラーホルダ３ａの間隙に設けら
れた第二のパッド（第二の保護用パッド）である。１６
ａは下方のミラーホルダ３ａに接触する下層パッドであ
り、１６ｂは発射鏡２の裏面２ｂに接触する上層パッド
である。第二のパッド１６は反射鏡側の上層パッド１６
ｂとミラーホルダ側の下層パッド１６ａとの２層構造で
ある。上層パッド１６ｂは樹脂からなる。下層パッド１
６ａは上層パッド１６ｂよりも熱膨張係数が低い材料、
例えば超低熱膨張合金であるスーパーインバーからな
る。下層パッド１６ａおよび上層パッド１６ｂは例えば
機械加工で形成される。上層パッド１６ｂと下層パッド
１６ａは板ばね４の押付力によって固定されている。そ
の他の構成要素は実施の形態１と同様であるため詳細な
説明を省略する。
【００３４】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、反射鏡２の裏面を保護する第二のパッド１６を、下
方のミラーホルダ３ａに接触する下層パッド１６ａと発
射鏡２の裏面２ｂに接触する上層パッド１６ｂとの二層
構造とし、上層パッド１６ｂを樹脂で形成し、下層パッ
ド１６ａ樹脂より熱膨張係数が低い材料で形成したの
で、第二のパッド１６の熱膨張係数と周囲の部品の熱膨
張係数の差が小さくなり、熱膨張係数の差異による鏡面
精度の劣化を低減することができるという効果が得られ
る。
ば、反射鏡２の裏面を保護する第二のパッド１６を、下
方のミラーホルダ３ａに接触する下層パッド１６ａと発
射鏡２の裏面２ｂに接触する上層パッド１６ｂとの二層
構造とし、上層パッド１６ｂを樹脂で形成し、下層パッ
ド１６ａ樹脂より熱膨張係数が低い材料で形成したの
で、第二のパッド１６の熱膨張係数と周囲の部品の熱膨
張係数の差が小さくなり、熱膨張係数の差異による鏡面
精度の劣化を低減することができるという効果が得られ
る。
【００３５】また、この実施の形態２によれば、下層パ
ッド１６ａ超低熱膨張合金で形成したので、反射鏡２を
支持する三箇所のそれぞれの点で温度差が生じたとき、
それぞれの点に作用する力を最小にすることができ、鏡
面精度の劣化をさらに防ぐことができるという効果が得
られる。
ッド１６ａ超低熱膨張合金で形成したので、反射鏡２を
支持する三箇所のそれぞれの点で温度差が生じたとき、
それぞれの点に作用する力を最小にすることができ、鏡
面精度の劣化をさらに防ぐことができるという効果が得
られる。
【００３６】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、側面
に凹部を有する反射鏡と、反射鏡を支持するベースと、
凹部のベース側表面をベース側に押し付ける弾性部材と
を備えるように反射鏡支持機構を構成したので、反射鏡
の表面を直接押さえつけることなく反射鏡を支持、固定
することができるため、反射鏡の鏡面精度を保つことが
できる反射鏡支持機構が得られる効果がある。
に凹部を有する反射鏡と、反射鏡を支持するベースと、
凹部のベース側表面をベース側に押し付ける弾性部材と
を備えるように反射鏡支持機構を構成したので、反射鏡
の表面を直接押さえつけることなく反射鏡を支持、固定
することができるため、反射鏡の鏡面精度を保つことが
できる反射鏡支持機構が得られる効果がある。
【００３７】この発明によれば、反射鏡がその面内方向
に移動可能であるように反射鏡支持機構を構成したの
で、反射鏡の面内方向に圧縮力が作用することがなく、
反射鏡の鏡面精度の劣化を防ぐことが可能な反射鏡支持
機構が得られる効果がある。
に移動可能であるように反射鏡支持機構を構成したの
で、反射鏡の面内方向に圧縮力が作用することがなく、
反射鏡の鏡面精度の劣化を防ぐことが可能な反射鏡支持
機構が得られる効果がある。
【００３８】この発明によれば、凹部のベース側表面が
反射鏡の裏面と平行であるように反射鏡支持機構を構成
したので、面内方向の分圧の発生が抑制され、反射鏡の
鏡面精度の劣化を防ぐことが可能な反射鏡支持機構が得
られる効果がある。
反射鏡の裏面と平行であるように反射鏡支持機構を構成
したので、面内方向の分圧の発生が抑制され、反射鏡の
鏡面精度の劣化を防ぐことが可能な反射鏡支持機構が得
られる効果がある。
【００３９】この発明によれば、弾性部材と凹部のベー
ス側表面との間に、凹部のベース側表面を保護する第一
の保護用パッドを備えるように反射鏡支持機構を構成し
たので、反射鏡が弾性部材に直接接触して傷がつかず、
反射鏡にクラックが生じる危険が少ない反射鏡支持機構
が得られる効果がある。
ス側表面との間に、凹部のベース側表面を保護する第一
の保護用パッドを備えるように反射鏡支持機構を構成し
たので、反射鏡が弾性部材に直接接触して傷がつかず、
反射鏡にクラックが生じる危険が少ない反射鏡支持機構
が得られる効果がある。
【００４０】この発明によれば、反射鏡の裏面とベース
との間隙に、反射鏡の裏面への接触部が平面状であり、
ベースへの接触部が球面状である、反射鏡の裏面を保護
する第二の保護用パッドを備えるように反射鏡支持機構
を構成したので、パッドのいわゆる片当たりによる局部
的な曲げモーメントが発生せず、鏡面制度の劣化を防ぐ
ことが可能な反射鏡支持機構が得られる効果がある。
との間隙に、反射鏡の裏面への接触部が平面状であり、
ベースへの接触部が球面状である、反射鏡の裏面を保護
する第二の保護用パッドを備えるように反射鏡支持機構
を構成したので、パッドのいわゆる片当たりによる局部
的な曲げモーメントが発生せず、鏡面制度の劣化を防ぐ
ことが可能な反射鏡支持機構が得られる効果がある。
【００４１】この発明によれば、第二の保護用パッド
が、反射鏡の裏面への接触部を含んだ上層パッドと、ベ
ースへの接触部を含んだ下層パッドとの二層構造であ
り、下層パッドの材料は上層パッドの材料よりも熱膨張
係数が小さくなるように反射鏡支持機構を構成したの
で、第二の保護用パッドの熱膨張係数と周囲の部品との
熱膨張係数の差が小さくなり、熱膨張係数の差異による
鏡面精度の劣化を低減することが可能な反射鏡支持機構
が得られる効果がある。
が、反射鏡の裏面への接触部を含んだ上層パッドと、ベ
ースへの接触部を含んだ下層パッドとの二層構造であ
り、下層パッドの材料は上層パッドの材料よりも熱膨張
係数が小さくなるように反射鏡支持機構を構成したの
で、第二の保護用パッドの熱膨張係数と周囲の部品との
熱膨張係数の差が小さくなり、熱膨張係数の差異による
鏡面精度の劣化を低減することが可能な反射鏡支持機構
が得られる効果がある。
【００４２】この発明によれば、下層パッドが超低熱膨
張合金からなるように反射鏡支持機構を構成したので、
反射鏡を支持する三箇所のそれぞれの点で温度差が生じ
たとき、それぞれの点に作用する力を最小にすることが
でき、鏡面精度の劣化をさらに防ぐことが可能な反射鏡
支持機構が得られる効果がある。
張合金からなるように反射鏡支持機構を構成したので、
反射鏡を支持する三箇所のそれぞれの点で温度差が生じ
たとき、それぞれの点に作用する力を最小にすることが
でき、鏡面精度の劣化をさらに防ぐことが可能な反射鏡
支持機構が得られる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１による反射鏡支持機
構の構成を示す概略的な説明図である。
構の構成を示す概略的な説明図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による反射鏡支持機
構の反射鏡を示す概略的な説明図である。
構の反射鏡を示す概略的な説明図である。
【図３】 この発明の実施の形態２による反射鏡支持機
構の構成を示す概略的な説明図である。
構の構成を示す概略的な説明図である。
【図４】 従来例１の反射鏡支持機構の構成を示す概略
的な説明図である。
的な説明図である。
【図５】 従来例２の反射鏡支持機構の構成を示す概略
的な説明図である。
的な説明図である。
１，１１ 反射鏡支持機構、２ 反射鏡、２ａ 表面、
２ｂ 裏面、２ｃ 側面、２ｄ 下側表面、２Ｚ ザグ
リ部（凹部）、３ ミラーホルダ（ベース）、３ａ 下
方のミラーホルダ、３ｂ 側面側のミラーホルダ、４
板ばね（弾性部材）、５ 第一のパッド（第一の保護用
パッド）、６，１６ 第二のパッド（第二の保護用パッ
ド）、７ 充填材、１６ａ 下層パッド、１６ｂ 上層
パッド。
２ｂ 裏面、２ｃ 側面、２ｄ 下側表面、２Ｚ ザグ
リ部（凹部）、３ ミラーホルダ（ベース）、３ａ 下
方のミラーホルダ、３ｂ 側面側のミラーホルダ、４
板ばね（弾性部材）、５ 第一のパッド（第一の保護用
パッド）、６，１６ 第二のパッド（第二の保護用パッ
ド）、７ 充填材、１６ａ 下層パッド、１６ｂ 上層
パッド。
Claims (7)
- 【請求項１】 側面に凹部を有する反射鏡と、 該反射鏡を支持するベースと、 上記凹部のベース側表面を上記ベース側に押し付ける弾
性部材とを備えた反射鏡支持機構。 - 【請求項２】 反射鏡はその面内方向に移動可能である
ことを特徴とする請求項１記載の反射鏡支持機構。 - 【請求項３】 凹部のベース側表面は反射鏡の裏面と平
行であることを特徴とする請求項1記載の反射鏡支持機
構。 - 【請求項４】 弾性部材と凹部のベース側表面との間
に、上記凹部のベース側表面を保護する第一の保護用パ
ッドを備えたことを特徴とする請求項１記載の反射鏡保
持機構。 - 【請求項５】 反射鏡の裏面とベースとの間隙に、反射
鏡の裏面への接触部が平面状であり、ベースへの接触部
が球面状である、上記反射鏡の裏面を保護する第二の保
護用パッドを備えたことを特徴とする請求項１記載の反
射鏡支持機構。 - 【請求項６】 第二の保護用パッドは、反射鏡の裏面へ
の接触部を含んだ上層パッドと、ベースへの接触部を含
んだ下層パッドとの二層構造であり、上記下層パッドの
材料は上記上層パッドの材料よりも熱膨張係数が小さい
ことを特徴とする請求項５記載の反射鏡支持機構。 - 【請求項７】 下層パッドは超低熱膨張合金からなるこ
とを特徴とする請求項６記載の反射鏡支持機構。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002028479A JP3933949B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 反射鏡支持機構 |
| US10/198,932 US6896383B2 (en) | 2002-02-05 | 2002-07-22 | Reflecting mirror supporting mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002028479A JP3933949B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 反射鏡支持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003227993A true JP2003227993A (ja) | 2003-08-15 |
| JP3933949B2 JP3933949B2 (ja) | 2007-06-20 |
Family
ID=27654657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002028479A Expired - Lifetime JP3933949B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 反射鏡支持機構 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6896383B2 (ja) |
| JP (1) | JP3933949B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007065053A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Canon Inc | 樹脂反射ミラー、及び樹脂反射ミラーの支持機構 |
| JP2012149901A (ja) * | 2011-01-17 | 2012-08-09 | Japan Aerospace Exploration Agency | 高精度非接触位置測定機構を持つサブミリ波近傍界測定装置 |
| JP2012186432A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-27 | Gigaphoton Inc | ミラー装置 |
| RU2498361C1 (ru) * | 2012-03-30 | 2013-11-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Российской академии наук Институт солнечно-земной физики Сибирского отделения РАН (ИСЗФ СО РАН) | Система разгрузки зеркала оптического телескопа |
| JP2015075769A (ja) * | 2013-10-11 | 2015-04-20 | タレス | 懸垂反射鏡を備える能動的宇宙望遠鏡 |
| JP2017097023A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | キヤノン株式会社 | 光学ユニットおよび部品の製造方法 |
| JP2020122931A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-13 | 株式会社島津製作所 | ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 |
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|---|---|---|---|---|
| NZ523763A (en) * | 2000-06-29 | 2005-02-25 | Biosyntech Canada Inc | Compostion and method for the repair and regeneration of cartilage and other tissues |
| US7307688B2 (en) * | 2004-11-19 | 2007-12-11 | Asml Netherlands B.V. | Clamping device for optical elements, lithographic apparatus with optical elements in a clamping device, and method for manufacturing such apparatus |
| DE102006007188A1 (de) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Deutsche Thomson Ohg | Halterung |
| US20170267180A1 (en) * | 2016-03-18 | 2017-09-21 | Nissan North America, Inc. | Vehicle mirror assembly |
| US10914916B2 (en) * | 2017-03-07 | 2021-02-09 | Onto Innovation Inc. | Non-adhesive mounting assembly for a tall Rochon polarizer |
| CN107831584B (zh) * | 2017-11-01 | 2022-10-04 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 大口径反射镜的复合支撑结构、支撑和调节方法 |
| CN108802951B (zh) * | 2018-05-31 | 2020-05-26 | 中国科学院半导体研究所 | 矩形平面镜夹具结构及夹持平面镜的方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS616614A (ja) | 1984-06-20 | 1986-01-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 反射鏡保持具 |
| US4664487A (en) * | 1985-09-30 | 1987-05-12 | Rockwell International Corporation | Laser mirror positioning apparatus |
| US4800413A (en) * | 1986-08-08 | 1989-01-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Reader printer |
| FR2641344B1 (fr) * | 1988-12-29 | 1991-04-19 | Aerospatiale | Dispositif de fixation d'un objet fragile tel qu'un miroir |
| JP3483289B2 (ja) * | 1994-02-28 | 2004-01-06 | シグマ光機株式会社 | 光学素子保持装置 |
| US5825490A (en) * | 1995-06-07 | 1998-10-20 | Northrop Grumman Corporation | Interferometer comprising translation assemblies for moving a first optical member relative to a second optical member |
-
2002
- 2002-02-05 JP JP2002028479A patent/JP3933949B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-22 US US10/198,932 patent/US6896383B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JP2007065053A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Canon Inc | 樹脂反射ミラー、及び樹脂反射ミラーの支持機構 |
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| JP2017097023A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | キヤノン株式会社 | 光学ユニットおよび部品の製造方法 |
| JP2020122931A (ja) * | 2019-01-31 | 2020-08-13 | 株式会社島津製作所 | ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 |
| JP7103251B2 (ja) | 2019-01-31 | 2022-07-20 | 株式会社島津製作所 | ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6896383B2 (en) | 2005-05-24 |
| US20030147160A1 (en) | 2003-08-07 |
| JP3933949B2 (ja) | 2007-06-20 |
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