JP7103251B2 - ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 - Google Patents
ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7103251B2 JP7103251B2 JP2019015999A JP2019015999A JP7103251B2 JP 7103251 B2 JP7103251 B2 JP 7103251B2 JP 2019015999 A JP2019015999 A JP 2019015999A JP 2019015999 A JP2019015999 A JP 2019015999A JP 7103251 B2 JP7103251 B2 JP 7103251B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- class
- type
- beam splitter
- spacer
- spacer piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 127
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 108010067216 glycyl-glycyl-glycine Proteins 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- GZXOHHPYODFEGO-UHFFFAOYSA-N triglycine sulfate Chemical compound NCC(O)=O.NCC(O)=O.NCC(O)=O.OS(O)(=O)=O GZXOHHPYODFEGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OXECHQDHSKTCPV-AIDJSRAFSA-N 2-aminoacetic acid (2S)-2-aminopropanoic acid sulfuric acid Chemical class NCC(O)=O.NCC(O)=O.NCC(O)=O.OS(O)(=O)=O.C[C@H](N)C(O)=O OXECHQDHSKTCPV-AIDJSRAFSA-N 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4535—Devices with moving mirror
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0202—Mechanical elements; Supports for optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/006—Filter holders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N2021/3595—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using FTIR
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
本発明に基づく実施の形態1におけるビームスプリッタ組立品について説明する前に、このビームスプリッタ組立品を備える分析装置の構成について説明する。この分析装置1の概略を図1に示す。
分析装置1における試料の分析では、ヒータ3から赤外光が出射される。そして、赤外光は、ビームスプリッタ22に入射する。ビームスプリッタ22に入射した赤外光は、一部がビームスプリッタ22を透過して固定鏡8に入射し、残りがビームスプリッタ22で反射されて移動鏡9に入射する。このとき、移動鏡9は、駆動部10から駆動力が付与されることにより移動する。
(構成)
図1~図6を参照して、本発明に基づく実施の形態1におけるビームスプリッタ組立品について説明する。
本実施の形態では、ホルダ21が3つの第1種スペーサ片受入れ凹部415を有し、3つの第1種スペーサ片41が3つの第1種スペーサ片受入れ凹部415にそれぞれ収まっているので、各第1種スペーサ片41が備える第1種光学素子保持部411によってビームスプリッタ22を三点支持することができる。したがって、ビームスプリッタ組立品の外形を大きくする必要がなく、かつ、このビームスプリッタ組立品は組立てが容易である。
Claims (7)
- ビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタを保持するホルダと、
前記ビームスプリッタおよび前記ホルダの間に配置される第1スペーサ群とを備え、
前記第1スペーサ群は3つの第1種スペーサ片を含み、
前記3つの第1種スペーサ片の各々は、第1種光学素子保持部と、第1種位置決め部とを含み、
前記ホルダは、3つの第1種スペーサ片受入れ凹部を有し、前記第1種スペーサ片受入れ凹部の各々は、前記第1種位置決め部に対応する形状を有し、
前記3つの第1種スペーサ片は、前記3つの第1種スペーサ片受入れ凹部にそれぞれ収まっており、
前記3つの第1種スペーサ片の各々の前記第1種光学素子保持部が前記ビームスプリッタに当接している、ビームスプリッタ組立品。 - 前記第1種位置決め部は、平面的に見たときに左右非対称な形状を有する、請求項1に記載のビームスプリッタ組立品。
- 前記ホルダによって保持される補償板と、
前記補償板および前記ホルダの間に配置される第2スペーサ群とをさらに備え、
前記第2スペーサ群は2つの第2種スペーサ片と、1つの第3種スペーサ片とを含み、
前記第2種スペーサ片の各々は、第2種光学素子保持部と、第2種位置決め部とを含み、
前記第3種スペーサ片は、第3種光学素子保持部と、第3種位置決め部とを含み、
前記第2種光学素子保持部と前記第3種光学素子保持部とは、厚みが異なり、
前記第2種スペーサ片と前記第3種スペーサ片とは、平面的に見たときの形状が異なり、
前記ホルダは、2つの第2種スペーサ片受入れ凹部と、1つの第3種スペーサ片受入れ凹部とを有し、
前記2つの第2種スペーサ片受入れ凹部の各々は、前記第2種位置決め部に対応する形状を有し、
前記第3種スペーサ片受入れ凹部は、前記第3種位置決め部に対応する形状を有し、
前記2つの第2種スペーサ片は、前記2つの第2種スペーサ片受入れ凹部にそれぞれ収まっており、前記1つの第3種スペーサ片は、前記1つの第3種スペーサ片受入れ凹部に収まっており、
前記2つの第2種スペーサ片の前記第2種光学素子保持部と、前記1つの第3種スペーサ片の前記第3種光学素子保持部とは、前記補償板に当接している、請求項1または2に記載のビームスプリッタ組立品。 - 前記第2種位置決め部は、平面的に見たときに左右非対称な形状を有する、請求項3に記載のビームスプリッタ組立品。
- 前記第3種位置決め部は、平面的に見たときに左右非対称な形状を有する、請求項3または4に記載のビームスプリッタ組立品。
- 前記第2種スペーサ片および前記第3種スペーサ片のうち一方は、前記第1種スペーサ片に比べて、同じ厚みであり、平面的に見たときに同じ形状である、請求項3から5のいずれかに記載のビームスプリッタ組立品。
- 請求項1から6のいずれかに記載のビームスプリッタ組立品を備える、分析装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019015999A JP7103251B2 (ja) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 |
US16/712,276 US11435544B2 (en) | 2019-01-31 | 2019-12-12 | Beam splitter assembly and analyzer including the same |
CN202010060031.1A CN111505786B (zh) | 2019-01-31 | 2020-01-19 | 分束器组件和具备该分束器组件的分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019015999A JP7103251B2 (ja) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020122931A JP2020122931A (ja) | 2020-08-13 |
JP7103251B2 true JP7103251B2 (ja) | 2022-07-20 |
Family
ID=71835916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019015999A Active JP7103251B2 (ja) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11435544B2 (ja) |
JP (1) | JP7103251B2 (ja) |
CN (1) | CN111505786B (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003227993A (ja) | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Mitsubishi Electric Corp | 反射鏡支持機構 |
JP2015045745A (ja) | 2013-08-28 | 2015-03-12 | 株式会社島津テクノリサーチ | 観察試料固定器具 |
WO2018203363A1 (ja) | 2017-05-01 | 2018-11-08 | 株式会社島津製作所 | ビームスプリッタ組立品 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0932064A1 (en) * | 1997-12-29 | 1999-07-28 | Perkin-Elmer Limited | Adjustable mounting of optical components |
US6922293B2 (en) * | 2002-07-02 | 2005-07-26 | Nikon Corporation | Kinematic optical mounting assembly with flexures |
JP2008276071A (ja) * | 2007-05-02 | 2008-11-13 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レンズおよびその調整方法 |
US8190012B2 (en) * | 2009-09-10 | 2012-05-29 | Raytheon Company | Optical system with adjustable shims |
CN104730681B (zh) * | 2015-03-11 | 2017-01-18 | 北京空间机电研究所 | 一种平面薄膜镜安装方法 |
-
2019
- 2019-01-31 JP JP2019015999A patent/JP7103251B2/ja active Active
- 2019-12-12 US US16/712,276 patent/US11435544B2/en active Active
-
2020
- 2020-01-19 CN CN202010060031.1A patent/CN111505786B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003227993A (ja) | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Mitsubishi Electric Corp | 反射鏡支持機構 |
JP2015045745A (ja) | 2013-08-28 | 2015-03-12 | 株式会社島津テクノリサーチ | 観察試料固定器具 |
WO2018203363A1 (ja) | 2017-05-01 | 2018-11-08 | 株式会社島津製作所 | ビームスプリッタ組立品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020122931A (ja) | 2020-08-13 |
US20200249413A1 (en) | 2020-08-06 |
CN111505786A (zh) | 2020-08-07 |
US11435544B2 (en) | 2022-09-06 |
CN111505786B (zh) | 2021-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN114008440B (zh) | 用于多气体光谱传感器的紧凑型多通道气室 | |
US20180113026A1 (en) | Fourier transform spectroscope | |
KR20030026322A (ko) | 소형 입체 타원편광계 | |
JP2010515918A5 (ja) | ||
US5923482A (en) | Changing astigmatism in an optical system | |
US7446317B2 (en) | Multipass cell for gas analysis using a coherent optical source | |
JP7103251B2 (ja) | ビームスプリッタ組立品およびこれを備える分析装置 | |
JP6725068B2 (ja) | ビームスプリッタ組立品 | |
US11674888B2 (en) | Self-aligned high finesse optical sensor cell | |
JPH05281041A (ja) | 分光器 | |
CN112764233B (zh) | 样本分析仪用光度计的光路系统 | |
CN112762843B (zh) | 集成的反射仪或椭偏仪 | |
WO2018168929A1 (ja) | 光モジュール | |
TWI729615B (zh) | 反射式聚光干涉儀 | |
WO2010124723A1 (en) | Optical interferometer | |
KR101806897B1 (ko) | 마이켈슨 간섭계의 이동반사경 틸트 보상시스템 | |
KR101236350B1 (ko) | 푸리에 변환 적외선 분광 간섭계용 광선분할기 조립체 | |
CN220399731U (zh) | 用于光学检测系统的光路切换装置 | |
CN214894796U (zh) | 样本分析仪用光度计的前光路系统 | |
JP2018151368A (ja) | 光モジュール | |
CN214252690U (zh) | 用于光学模块的镜片座以及光学模块 | |
US20240219292A1 (en) | Etendue-preserving raman sampling optics | |
US20230152305A1 (en) | Apparatuses, systems, and methods for sample testing | |
JP2023117889A (ja) | 分光器および分析装置 | |
JPS6043233A (ja) | フオ−カス及びトラツキング信号の検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210525 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220517 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220620 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7103251 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |