WO2018203363A1 - ビームスプリッタ組立品 - Google Patents

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WO2018203363A1
WO2018203363A1 PCT/JP2017/017122 JP2017017122W WO2018203363A1 WO 2018203363 A1 WO2018203363 A1 WO 2018203363A1 JP 2017017122 W JP2017017122 W JP 2017017122W WO 2018203363 A1 WO2018203363 A1 WO 2018203363A1
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beam splitter
spacer
holder
bending
compensation plate
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健 馬路
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株式会社島津製作所
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    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/181—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
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    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/198—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors with means for adjusting the mirror relative to its support

Definitions

  • the present invention relates to a beam splitter assembly including a beam splitter and a holder for holding the beam splitter.
  • a beam splitter is used in a spectrophotometer such as an FT-IR (Fourier transform infrared spectrophotometer).
  • FT-IR Fastier transform infrared spectrophotometer
  • light emitted from a light source is reflected by a fixed mirror and a movable mirror via a beam splitter. Then, the light reflected by the fixed mirror and the light reflected by the moving mirror interfere with each other, and the interfered light is irradiated toward the sample (for example, see Patent Document 1 below).
  • Such a beam splitter is usually fixed at a fixed position by being held by a holder or the like.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a configuration of a conventional beam splitter assembly 100.
  • FIG. 8 is an exploded perspective view of the beam splitter assembly 100.
  • the beam splitter assembly 100 is an integral unit including a beam splitter 101 and a holder 102, and is used for FT-IR and the like.
  • the beam splitter assembly 100 includes a beam splitter 101, a holder 102, a spacer 103, a compensation plate 104, and a pair of fixed plates 105.
  • the beam splitter 101 is formed in a disc shape.
  • the holder 102 is formed in a flat plate shape having a predetermined thickness (a thickness larger than the thickness of the beam splitter 101).
  • An opening 102 a is formed at the center of the holder 102.
  • a flange 102b is provided on the inner peripheral surface of the holder 102 (the inner peripheral surface of the portion where the opening 102a is formed).
  • the spacer 103 includes an annular portion 103a that is formed in an annular shape, and three protruding pieces 103b that protrude radially inward from the inner edge portion of the annular portion 103a.
  • the compensation plate 104 is formed in a disc shape.
  • Each fixing plate 105 is formed in an annular shape.
  • the beam splitter 101 When assembling the beam splitter assembly 100, the beam splitter 101 is inserted inward from one side (left side in FIG. 8) of the opening 102a of the holder 102, and the other side (FIG. Compensation plate 104 is inserted inward from the right side of FIG. At this time, the spacer 103 is disposed between the flange 102b and the beam splitter 101. In this state, the pair of fixing plates 105 are fixed to both sides of the holder 102 (both sides in the left-right direction in FIG. 8), so that each of the beam splitter 101 and the compensation plate 104 is pressed by the fixing plate 105, It is fixed to the holder 102.
  • a beam splitter is required to have a surface accuracy of 1/10 or less of the wavelength used so that the wavefront of reflected light is not disturbed. Therefore, the beam splitter 101 is processed with high accuracy.
  • the holder 102 is processed by a low cost method such as cutting. Therefore, when the beam splitter 101 is directly fixed (pressed) to the holder 102, the beam splitter 101 is deformed by the influence of the processing accuracy of the flange 102b, and the surface accuracy is lowered.
  • FIG. 9 is a diagram schematically showing the positional relationship between the beam splitter 101 and the spacer 103 when viewed in the thickness direction of the beam splitter 101.
  • the beam splitter 101 is in contact with the three protruding pieces 103b of the spacer 103 in a state of being fixed to the holder 102. That is, the beam splitter 101 is fixed while being supported at three points. As described above, by supporting the beam splitter 101 at three points, the beam splitter 101 can be prevented from being deformed due to the influence of the surface accuracy of the holder 102 (flange 102b), and the beam splitter 101 is in a stable state. Can be kept in.
  • the beam splitter assembly 100 described above has a problem in that the size of the spacer 103 is increased, and thus the overall size is also increased.
  • the spacer 103 is configured to support the beam splitter 101 with the protruding piece 103b, the outer edge of the beam splitter 101 and the protruding piece 103b overlap when viewed in the thickness direction. Further, in the spacer 103, the protruding piece 103b protrudes radially inward from the annular portion 103a. Therefore, the outer shape of the spacer 103 (annular portion 103a) is larger than the outer shape of the beam splitter 101. And in the holder 102, the space for arrange
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a beam splitter assembly which can prevent the beam splitter from being affected by the surface accuracy of the holder and can be downsized. .
  • a beam splitter assembly includes a beam splitter, a holder, and a first spacer.
  • the holder holds a beam splitter.
  • the first spacer is disposed between the beam splitter and the holder.
  • the first spacer faces the peripheral edge of the beam splitter, and supports the beam splitter at three points by three bent portions formed by bending a part of the first spacer.
  • the beam splitter in the beam splitter assembly, is supported at three points by the three bent portions of the first spacer. Therefore, the beam splitter can be prevented from being affected by the surface accuracy of the holder.
  • the first spacer faces the peripheral edge of the beam splitter.
  • each bending part is comprised by bending a part of 1st spacer.
  • the beam splitter assembly can be reduced in size.
  • the 1st bending auxiliary line showing the bending position at the time of bending a part of the said 1st spacer is formed in the said 1st spacer corresponding to the said 3 bending parts, and is formed. Also good.
  • each bending part can be comprised by bend
  • the first spacer may have an annular first main body facing a peripheral edge of the beam splitter.
  • the three bent portions may be formed at equal intervals in the circumferential direction with respect to the center of the first main body.
  • the beam splitter can be supported in a balanced manner by the three bent portions of the first spacer. Therefore, the beam splitter can be kept in a more stable state.
  • the beam splitter assembly may further include a compensation plate and a second spacer.
  • the compensation plate is held by the holder.
  • the second spacer is disposed between the compensation plate and the holder.
  • the second spacer is opposed to the peripheral edge of the compensation plate, and is supported by inclining the compensation plate with respect to the optical axis by at least one bent portion formed by bending a part of the second spacer. .
  • the second spacer faces the peripheral portion of the beam splitter. And at least 1 bending part is comprised because a part of 2nd spacer is bent.
  • the second spacer can be formed in a shape that can be easily set on the holder. Therefore, the workability when setting the second spacer on the holder can be improved.
  • the 2nd bending auxiliary line showing the bending position at the time of bending a part of the said 2nd spacer is formed in the said 2nd spacer corresponding to the said at least 1 bending part. May be.
  • a bending part can be comprised by bending a part of 2nd spacer along a 2nd bending auxiliary line. Therefore, in the second spacer, the bent portion can be configured easily and accurately.
  • the second spacer may have an annular second main body facing the peripheral edge of the compensation plate.
  • the at least one bent portion may be formed in a circumferential direction with respect to the center of the second main body.
  • the bent portion can be arranged at an appropriate position in the second spacer.
  • the beam splitter is supported at three points by the three bent portions of the first spacer. Therefore, it is possible to prevent the beam splitter from being affected by the surface accuracy of the holder by the three bent portions of the first spacer.
  • the first spacer faces the peripheral edge of the beam splitter. Therefore, it can suppress that the external shape of a 1st spacer becomes larger than the external shape of a beam splitter. As a result, the beam splitter assembly can be reduced in size.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an analyzer 1 including a beam splitter assembly 7 according to an embodiment of the present invention.
  • the analysis device 1 is a Fourier transform infrared spectrophotometer (FT-IR), and includes a housing 2, a heater 3, an interference unit 4, a sample chamber 5, and a detector 6.
  • casing 2 is formed in the hollow box shape.
  • the heater 3 is accommodated (arranged) in the housing 2.
  • the heater 3 is made of, for example, a ceramic heater, and emits infrared light (measurement light) when energized.
  • the interference unit 4 is disposed in the housing 2.
  • the interference unit 4 is a mechanism for generating infrared interference light, and is disposed on the downstream side of the heater 3 in the optical path.
  • the interference unit 4 includes a beam splitter assembly 7, a fixed mirror 8, a movable mirror 9, and a drive unit 10.
  • the beam splitter assembly 7 is disposed at a distance from the heater 3.
  • the beam splitter assembly 7 includes a beam splitter 22.
  • the beam splitter 22 is configured to transmit a part of the incident light while reflecting a part of the incident light.
  • the detailed configuration of the beam splitter assembly 7 will be described later.
  • the fixed mirror 8 is disposed on the opposite side of the heater 3 with the beam splitter assembly 7 interposed therebetween. The fixed mirror 8 is disposed so as to be fixed at a certain position.
  • the movable mirror 9 is arranged at a distance from the beam splitter assembly 7 and the fixed mirror 8.
  • the movable mirror 9 is configured to be movable in a direction connecting the beam splitter assembly 7 and the movable mirror 9.
  • the drive unit 10 includes, for example, a voice coil motor, and is configured to apply a driving force to the movable mirror 9. Note that a passage window (not shown) through which light passes is formed in the portion of the housing 2 that faces the interference portion 4.
  • the sample chamber 5 is arranged at a distance from the housing 2.
  • the sample chamber 5 is formed in a hollow box shape, and accommodates a sample (not shown) inside.
  • a reflecting mirror 12 is arranged on the upstream side of the sample chamber 5 in the optical path.
  • the detector 6 is arranged at a distance from the sample chamber 5.
  • the detector 6 is, for example, an MCT (Hgcdte) detector, a DLaTGS (Deuterated L-Alanine Triglycine Sulphate) detector, a TGS (Triglycine Sulfate) detector, or a DTGS (deuterium trimethyl TGS: Deuterium Tri -Glycine Sulfate) detector.
  • infrared light is emitted from the heater 3.
  • the infrared light is incident on the beam splitter 22.
  • Part of the infrared light incident on the beam splitter 22 passes through the beam splitter 22 and enters the fixed mirror 8, and the rest is reflected by the beam splitter 22 and enters the movable mirror 9.
  • the movable mirror 9 moves when a driving force is applied from the driving unit 10.
  • the infrared light reflected by the fixed mirror 8 is reflected by the beam splitter 22 and travels toward the reflecting mirror 12.
  • the infrared light reflected by the movable mirror 9 passes through the beam splitter 22 and travels toward the reflecting mirror 12.
  • the infrared light reflected by the fixed mirror 8 and the infrared light reflected by the movable mirror 9 are combined to become infrared interference light, which is emitted to the outside of the housing 2 and applied to the reflecting mirror 12. Head.
  • the synthesized infrared light is reflected by the reflecting mirror 12 and enters the sample chamber 5.
  • the infrared light incident on the sample chamber 5 is irradiated on the sample in the sample chamber 5. Then, reflected light or transmitted light from the sample exits from the sample chamber 5 and enters the detector 6.
  • the detector 6 outputs an interferogram corresponding to the incident infrared light as a detection signal.
  • spectrum intensity distribution data is created by Fourier-transforming the detection signal from the detector 6. Based on the data, the sample is analyzed.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of the beam splitter assembly 7.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the beam splitter assembly 7.
  • the beam splitter assembly 7 includes a holder 21, a beam splitter 22, a compensation plate 23, a first spacer 24, a second spacer 25, and a pair of fixed plates 26.
  • the holder 21 is formed in a flat plate shape having a predetermined thickness.
  • an opening 211, three first concave portions 212, and three second concave portions 213 are formed in the holder 21.
  • the holder 21 is provided with a flange 214.
  • the opening 211 has a circular shape when viewed in the thickness direction (left-right direction in FIG. 3), and penetrates the central portion of the holder 21 in the thickness direction.
  • the flange 214 is provided on the inner peripheral surface of the holder 21 (the inner peripheral surface of the portion where the opening 211 of the holder 21 is formed).
  • the flange 214 has an annular shape when viewed in the thickness direction, and protrudes from the center of the inner peripheral surface of the holder 21 toward the radially inner side of the opening 211.
  • Each first recess 212 is formed on the inner peripheral surface of the holder 21 on one side in the thickness direction (left side in FIG. 3). Each first recess 212 is recessed from the inner peripheral surface of the holder toward the radially outer side. The three first recesses 212 are provided at equal intervals (120 ° intervals) in the circumferential direction with respect to the center of the opening 211.
  • Each second recess 213 is formed on the inner peripheral surface on the other side in the thickness direction (the right side in FIG. 3) of the inner peripheral surface of the holder 21.
  • Each 2nd recessed part 213 is dented toward the radial direction outer side from the internal peripheral surface in a holder.
  • the three second recesses 213 are provided at equal intervals (120 ° intervals) in the circumferential direction with respect to the center of the opening 211. In the thickness direction, the three second recesses 213 are formed at the same positions as the three first recesses 212. In FIG. 3, only one second recess 213 appears among the three second recesses 213.
  • the beam splitter 22 is arranged on the thickness direction one side (left side in FIG. 3) with respect to the holder 21.
  • the beam splitter 22 is formed in a disk shape having a predetermined thickness (thickness thinner than the thickness of the holder 21).
  • the diameter of the beam splitter 22 is slightly smaller than the diameter of the opening 211 of the holder 21.
  • the compensation plate 23 is arranged on the other side in the thickness direction with respect to the holder 21 (right side in FIG. 3).
  • the compensation plate 23 is formed in a disc shape having a predetermined thickness (thickness thinner than the thickness of the holder 21).
  • the diameter of the compensation plate 23 is substantially the same as the diameter of the beam splitter 22.
  • the first spacer 24 is disposed between the holder 21 and the beam splitter 22.
  • the first spacer 24 is an annular sheet-like member, and is provided between the holder 21 and the beam splitter 22 in a state where a part thereof is bent when the beam splitter assembly 7 is assembled. .
  • the second spacer 25 is disposed between the holder 21 and the compensation plate 23.
  • the second spacer 25 is an annular sheet-like member, and is provided between the holder 21 and the compensation plate 23 in a state where a part thereof is bent when the beam splitter assembly 7 is assembled.
  • Each fixing plate 26 includes an annular mounting portion 261 and three fixing pieces 262 projecting inward from the mounting portion 261.
  • the first spacer 24 and the second spacer 25 are composed of the same member (spacer member 30).
  • FIG. 4 is a front view showing the spacer member 30 constituting the first spacer 24 and the second spacer 25.
  • the spacer member 30 is used as the first spacer 24 or the second spacer 25 by being partially bent.
  • the spacer member 30 is a thin annular member and is a sheet-like member.
  • the spacer member 30 is made of a resin material such as PET (polyethylene terephthalate).
  • the thickness of the spacer member 30 is sufficiently larger than the flatness of the flange 214.
  • the spacer member 30 includes a main body 31, three outer protruding pieces 32, and three inner protruding pieces 33.
  • the main body 31 is formed in an annular shape.
  • the outer diameter of the main body 31 is slightly smaller than the diameter of the beam splitter 22 and the diameter of the compensation plate 23.
  • Each outer protruding piece 32 protrudes radially outward from the main body 31.
  • Each outer protruding piece 32 is formed in a rectangular shape in front view.
  • the three outer protruding pieces 32 are provided at equal intervals (120 ° intervals) in the circumferential direction with respect to the center of the main body 31.
  • Each outer protruding piece 32 is formed with a bending auxiliary line 321.
  • the bending auxiliary line 321 extends in a direction perpendicular to the protruding direction at the center of the outer protruding piece 32 (slightly from the center to the main body 31 side).
  • the bending auxiliary line 321 is a minute groove slightly recessed in the thickness direction of the outer protruding piece 32.
  • the folding auxiliary line 321 represents a folding position when the outer protruding piece 32 is folded.
  • Each inner protruding piece 33 protrudes radially inward from the main body 31.
  • Each inner protruding piece 33 is formed in a rectangular shape in front view.
  • the three inner protruding pieces 33 are provided at equal intervals (120 ° intervals) in the circumferential direction with respect to the center of the main body 31.
  • the three inner protruding pieces 33 are provided so as to be aligned with the three outer protruding pieces 32 in the radial direction.
  • the first spacer 24 is configured by bending all of the three outer protruding pieces 32 in the spacer member 30 along the folding auxiliary line 321.
  • the second spacer 25 is configured by bending one outer protruding piece 32 of the three outer protruding pieces 32 in the spacer member 30 along the bending auxiliary line 321.
  • FIG. 5 is an enlarged perspective view showing a state in which the outer protruding piece 32 of the spacer member 30 is bent.
  • the portion of the outer protruding piece 32 that is closer to the distal end than the bending auxiliary line 321 is folded back, and the base end of the outer protruding piece 32 is returned. It abuts on the part (the part inside the folding auxiliary line 321), the main body 31 and the inner protruding piece 33.
  • a portion of the outer projecting piece 32 on the tip side of the folding auxiliary line 321 is configured as a bent portion 41 by being bent.
  • the first spacer 24 has three bent portions 41.
  • the bent portions 41 are arranged at equal intervals along the circumferential direction of the main body 31.
  • each bent portion 41 is in close contact (overlap) with the main body 31.
  • the first spacer 24 is disposed between the beam splitter 22 and the holder 21 such that each bent portion 41 faces the beam splitter 22 (with each bent portion 41 facing the beam splitter 22).
  • one bent portion 41 is configured.
  • the bent portion 41 is disposed at a position along the circumferential direction of the main body 31 and is in close contact (overlap) with the main body 31.
  • the second spacer 25 is disposed between the compensation plate 23 and the holder 21 so that each bent portion 41 faces the compensation plate 23 (with each bent portion 41 facing the compensation plate 23).
  • the first spacer 24 and the second spacer 25 are configured by bending a part (outside protruding piece 32) of the spacer member 30 that is the same member in a different pattern.
  • the first spacer 24 is disposed between the beam splitter 22 and the holder 21, and the second spacer 25 is disposed between the compensation plate 23 and the holder 21.
  • the first spacer 24 is inserted inward from one side (left side in FIG. 8) of the opening 211 of the holder 21.
  • the second spacer 25 is inserted inward from the other side of the opening 211 (the right side in FIG. 8).
  • each bent portion 41 of the first spacer 24 faces one side of the opening 211 (left side in FIG. 8).
  • the radially outer end of each bent portion 41 of the first spacer 24 is disposed in the first recess 212.
  • the bent portion 41 of the second spacer 25 faces the other side of the opening 211 (the right side in FIG. 8).
  • the bent portion 41 and the outer protruding piece 32 of the second spacer 25 are disposed in the second recess 213.
  • the beam splitter 101 is inserted inward from one side of the opening 211 (left side in FIG. 8), and the compensator 23 is inserted from the other side of the opening 211 (right side in FIG. 8). Inserted inward.
  • a pair of fixing plates 26 are fixed to both sides of the holder 21 (both sides in the left-right direction in FIG. 8). Specifically, the attachment portion 261 of each fixing plate 26 is fixed to the holder 21 by the screw 42. Thereby, each of the beam splitter 22 and the compensation plate 23 is pressed by the fixing piece 262 of the fixing plate 26 and fixed to the holder 21.
  • FIG. 6 is a diagram schematically showing the positional relationship between the beam splitter 22 and the first spacer 24 when the beam splitter assembly 7 is viewed in the thickness direction.
  • the outer edge of the first spacer 24 When viewed in the thickness direction, the outer edge of the first spacer 24 is disposed slightly inward with respect to the outer edge of the beam splitter 22. That is, when viewed in the thickness direction, the first spacer 24 overlaps the beam splitter 22 (overlaps with the beam splitter 22). Thus, in the beam splitter assembly 7, the outer shape of the first spacer 24 for supporting the beam splitter 22 at three points is small.
  • the beam splitter 22 can be prevented from being affected by the surface accuracy of the holder 21 (the beam splitter 22 can be prevented from being deformed by the surface accuracy of the holder 21). Further, the first spacer 24 faces the peripheral edge of the beam splitter 22.
  • Each bent portion 41 is configured by bending each outer protruding piece 32.
  • the beam splitter assembly 7 can be reduced in size.
  • each bent portion 41 of the first spacer 24 can be configured by bending all three outer protruding pieces 32 of the spacer member 30 along the bending auxiliary line 321. As a result, in the first spacer 24, each bent portion 41 can be configured easily and accurately.
  • the first spacer 24 includes the annular main body 31 that faces the peripheral edge of the beam splitter 22.
  • three bent portions 41 are formed at equal intervals (approximately 120 ° intervals) in the circumferential direction with respect to the center of the main body 31.
  • the beam splitter 22 can be supported in a balanced manner by the three bent portions 41 of the first spacer 24. As a result, the beam splitter 22 can be kept in a more stable state.
  • the second spacer 25 faces the peripheral portion of the beam splitter 22.
  • the bending part 41 is comprised by the outer side protrusion piece 32 being bent.
  • the second spacer 25 can be formed in a shape that can be easily set on the holder 21.
  • a small filter-like member filter piece
  • the member is small, Setting work becomes complicated.
  • the 2nd spacer 25 is a magnitude
  • operativity at the time of setting the 2nd spacer 25 to the holder 21 can be improved.
  • the second spacer 25 (spacer member 30) has a folding auxiliary line that represents the folding position when the outer protruding piece 32 is folded so as to correspond to the bent portion 41. 321 is formed.
  • the bent portion 41 of the second spacer 25 can be configured by bending one outer protruding piece 32 of the spacer member 30 along the bending auxiliary line 321. As a result, the bent portion 41 can be simply and accurately configured in the second spacer 25.
  • the bending part 41 is arrange
  • the bent portion 41 can be arranged at an appropriate position in the second spacer 25.
  • the two bent portions 41 may be configured along the circumferential direction.
  • the bending auxiliary line 321 of the spacer member 30 has been described as a minute groove.
  • the bending assist line 321 may be constituted by the perforation in the spacer member 30 or may be constituted by a simple line.

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  • Optics & Photonics (AREA)
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  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
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Abstract

ビームスプリッタ組立品７において、ビームスプリッタ２２は、第１スペーサ２４の３つの折曲部４１によって３点支持される。そのため、ビームスプリッタ２２がホルダ２１の面精度の影響を受けないようにできる。また、ビームスプリッタ組立品７において、第１スペーサ２４は、ビームスプリッタ２２の周縁部に対向している。そして、各折曲部４１は、各外側突出片が折り曲げられることで構成される。そのため、第１スペーサ２４の外形がビームスプリッタ２２の外形より大きくなることを抑制できる。そして、第１スペーサ２４を設けるためのホルダ２１のサイズが大きくなることを抑制できる。その結果、ビームスプリッタ組立品７の小型化を実現できる。

Description

ビームスプリッタ組立品
　本発明は、ビームスプリッタ及び当該ビームスプリッタを保持するホルダを備えるビームスプリッタ組立品に関するものである。
　従来より、ＦＴ－ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）などの分光光度計では、ビームスプリッタが用いられている。ＦＴ－ＩＲでは、光源から出射した光が、ビームスプリッタを介して固定鏡及び移動鏡で反射する。そして、固定鏡で反射した光、及び、移動鏡で反射した光が干渉し、干渉した光が試料に向けて照射される（例えば、下記特許文献１参照）。
　このようなビームスプリッタは、通常、ホルダなどに保持されることで一定位置に固定されている。
　図７は、従来のビームスプリッタ組立品１００の構成を示した斜視図である。図８は、ビームスプリッタ組立品１００の分解斜視図である。ビームスプリッタ組立品１００は、ビームスプリッタ１０１及びホルダ１０２などを含む一体的なユニットであって、ＦＴ－ＩＲなどに用いられている。
　ビームスプリッタ組立品１００は、ビームスプリッタ１０１と、ホルダ１０２と、スペーサ１０３と、補償板１０４と、１対の固定板１０５とを備えている。
　ビームスプリッタ１０１は、円板状に形成されている。
　ホルダ１０２は、所定の厚み（ビームスプリッタ１０１の厚みよりも大きい厚み）を有する平板状に形成されている。ホルダ１０２の中央部には、開口１０２ａが形成されている。ホルダ１０２における内周面（開口１０２ａが形成された部分の内周面）には、フランジ１０２ｂが設けられている。
　スペーサ１０３は、円環状に形成される環状部１０３ａと、環状部１０３ａの内縁部から径方向内側に突出する３つの突出片１０３ｂとを備えている。
　補償板１０４は、円板状に形成されている。           
　各固定板１０５は、円環状に形成されている。
　ビームスプリッタ組立品１００を組み立てる際には、ホルダ１０２の開口１０２ａの一方側（図８の左方側）からビームスプリッタ１０１が内方に挿入されるとともに、ホルダ１０２の開口１０２ａの他方側（図８の右方側）から補償板１０４が内方に挿入される。このとき、フランジ１０２ｂとビームスプリッタ１０１との間には、スペーサ１０３が配置される。この状態で、ホルダ１０２の両側（図８の左右方向両側）に対して１対の固定板１０５が固定されることで、ビームスプリッタ１０１及び補償板１０４のそれぞれが固定板１０５によって押圧されて、ホルダ１０２に固定される。
　一般的に、ビームスプリッタは、反射光の波面が乱れないように、使用する波長の１／１０以下の面精度が必要とされる。そのため、ビームスプリッタ１０１は、高い精度で加工されている。一方、ホルダ１０２は、切削加工などのコストの低い方法で加工されている。そのため、ホルダ１０２に対してビームスプリッタ１０１を直接固定させる（押さえつける）と、ビームスプリッタ１０１がフランジ１０２ｂの加工精度の影響を受けて変形し、その面精度が低下してしまう。
　このような点から、ビームスプリッタ組立品１００では、上記したように、フランジ１０２ｂとビームスプリッタ１０１との間に、スペーサ１０３が介在されている。そのため、ホルダ１０２の加工精度が低い場合であっても、ビームスプリッタ１０１を変形させることなく、ホルダ１０２に対して固定できる。
　図９は、ビームスプリッタ１０１の厚み方向に見たときにおける、ビームスプリッタ１０１及びスペーサ１０３の配置関係を概略的に示した図である。
　ビームスプリッタ１０１は、ホルダ１０２に固定された状態において、スペーサ１０３の３つの突出片１０３ｂに当接している。すなわち、ビームスプリッタ１０１は、３点で支持される状態で固定されている。このように、ビームスプリッタ１０１を３点で支持することで、ビームスプリッタ１０１がホルダ１０２（フランジ１０２ｂ）の面精度の影響を受けて変形することを抑制でき、かつ、ビームスプリッタ１０１を安定した状態に保つことができる。
実用新案登録第３１７４５７３号公報
　しかしながら、上記したビームスプリッタ組立品１００は、スペーサ１０３のサイズが大きくなってしまうため、全体のサイズも大きくなってしまうという不具合があった。
　具体的には、スペーサ１０３は、ビームスプリッタ１０１を突出片１０３ｂで支持する構成であるため、厚み方向に見たときに、ビームスプリッタ１０１の外縁と、突出片１０３ｂとが重なる構成となる。また、スペーサ１０３において、突出片１０３ｂは、環状部１０３ａから径方向内方に突出している。そのため、スペーサ１０３（環状部１０３ａ）の外形は、ビームスプリッタ１０１の外形よりも大きくなってしまう。そして、ホルダ１０２において、外径の大きいスペーサ１０３を配置するためのスペースが必要となり、サイズが大きくなってしまう。
　本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、ビームスプリッタがホルダの面精度の影響を受けないようにでき、かつ、小型化を実現できるビームスプリッタ組立品を提供することを目的とする。
（１）本発明に係るビームスプリッタ組立品は、ビームスプリッタと、ホルダと、第１スペーサとを備える。前記ホルダは、ビームスプリッタを保持する。前記第１スペーサは、前記ビームスプリッタ及び前記ホルダの間に配置される。前記第１スペーサは、前記ビームスプリッタの周縁部に対向しており、その一部が折り曲げられて構成される３つの折曲部により、前記ビームスプリッタを３点支持する。
　このような構成によれば、ビームスプリッタ組立品において、ビームスプリッタは、第１スペーサの３つの折曲部によって３点支持される。
　そのため、ビームスプリッタがホルダの面精度の影響を受けないようにできる。
　また、第１スペーサは、ビームスプリッタの周縁部に対向している。そして、各折曲部は、第１スペーサの一部が折り曲げられることで構成される。
　そのため、第１スペーサの外形がビームスプリッタの外形より大きくなることを抑制できる。そして、第１スペーサを設けるためのホルダのサイズが大きくなることを抑制できる。
　その結果、ビームスプリッタ組立品の小型化を実現できる。
（２）また、前記第１スペーサには、前記３つの折曲部に対応付けて、当該第１スペーサの一部を折り曲げる際の折曲位置を表す第１折曲補助線が形成されていてもよい。
　このような構成によれば、第１折曲補助線に沿って第１スペーサの一部を折り曲げることで、各折曲部を構成できる。
　そのため、第１スペーサにおいて、各折曲部を簡易かつ正確に構成できる。
（３）また、前記第１スペーサは、前記ビームスプリッタの周縁部に対向する円環状の第１本体を有してもよい。前記第１スペーサでは、前記第１本体の中心に対して周方向に等間隔で前記３つの折曲部が形成されていてもよい。
　このような構成によれば、第１スペーサの３つの折曲部によって、ビームスプリッタをバランスよく支持できる。
　そのため、ビームスプリッタを一層安定した状態に保つことができる。
（４）また、前記ビームスプリッタ組立品は、補償板と、第２スペーサとをさらに備えてもよい。前記補償板は、前記ホルダに保持される。前記第２スペーサは、前記補償板及び前記ホルダの間に配置される。前記第２スペーサは、前記補償板の周縁部に対向しており、その一部が折り曲げられて構成される少なくとも１つの折曲部により、前記補償板を光軸に対して傾斜させて支持する。
　このような構成によれば、第２スペーサは、ビームスプリッタの周縁部に対向している。そして、少なくとも１つの折曲部は、第２スペーサの一部が折り曲げられることで構成される。
　そのため、第２スペーサの外形がビームスプリッタの外形より大きくなることを抑制できる。そして、第２スペーサを設けるためのホルダのサイズが大きくなることを抑制できる。
　また、第２スペーサを、ホルダにセットしやすい形状に形成できる。
　そのため、第２スペーサをホルダにセットする際の作業性を向上できる。
（５）また、前記第２スペーサには、前記少なくとも１つの折曲部に対応付けて、当該第２スペーサの一部を折り曲げる際の折曲位置を表す第２折曲補助線が形成されていてもよい。
　このような構成によれば、第２折曲補助線に沿って第２スペーサの一部を折り曲げることで、折曲部を構成できる。
　そのため、第２スペーサにおいて、折曲部を簡易かつ正確に構成できる。
（６）また、前記第２スペーサは、前記補償板の周縁部に対向する円環状の第２本体を有してもよい。前記第２スペーサでは、前記第２本体の中心に対する周方向に前記少なくとも１つの折曲部が形成されていてもよい。
　このような構成によれば、第２スペーサにおいて、折曲部を適切な位置に配置できる。
　本発明によれば、ビームスプリッタは、第１スペーサの３つの折曲部によって３点支持される。そのため、第１スペーサの３つの折曲部によって、ビームスプリッタがホルダの面精度の影響を受けないようにできる。また、第１スペーサは、ビームスプリッタの周縁部に対向している。そのため、第１スペーサの外形がビームスプリッタの外形より大きくなることを抑制できる。その結果、ビームスプリッタ組立品の小型化を実現できる。
本発明の一実施形態に係るビームスプリッタ組立品を備える分析装置の構成を示した概略図である。 図１のビームスプリッタ組立品の構成を示した斜視図である。 図１のビームスプリッタ組立品の分解斜視図である。 図３のスペーサを構成するスペーサ部材を示した正面図である。 図４のスペーサ部材の外側突出片が折り曲げられた状態を拡大して示した斜視図である。 図２のビームスプリッタ組立品を厚み方向に見たときにおける、ビームスプリッタ及びスペーサの配置関係を概略的に示した図である。 従来のビームスプリッタ組立品の構成を示した斜視図である。 従来のビームスプリッタ組立品の分解斜視図である。 図７のビームスプリッタ組立品を厚み方向に見たときにおける、ビームスプリッタ及びスペーサの配置関係を概略的に示した図である。
１．フーリエ変換赤外分光光度計の構成
　図１は、本発明の一実施形態に係るビームスプリッタ組立品７を備える分析装置１の構成を示した概略図である。
　分析装置１は、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ－ＩＲ）であって、筐体２と、ヒータ３と、干渉部４と、試料室５と、検出器６とを備えている。
　筐体２は、中空状のボックス形状に形成されている。
　ヒータ３は、筐体２内に収容（配置）されている。ヒータ３は、例えば、セラミックヒータからなり、通電されることにより、赤外光（測定光）を出射する。
　干渉部４は、筐体２内に配置されている。干渉部４は、赤外干渉光を生成するための機構であって、光路において、ヒータ３の下流側に配置されている。干渉部４は、ビームスプリッタ組立品７と、固定鏡８と、移動鏡９と、駆動部１０とを備えている。
　ビームスプリッタ組立品７は、ヒータ３と間隔を隔てて配置されている。ビームスプリッタ組立品７は、ビームスプリッタ２２を備えている。ビームスプリッタ２２は、入射する光の一部を反射しつつ、入射する光の残りを透過するように構成されている。なお、ビームスプリッタ組立品７の詳細な構成については、後述する。
　固定鏡８は、ビームスプリッタ組立品７を挟んで、ヒータ３と反対側に配置されている。固定鏡８は、一定の位置に固定されるように配置されている。
　移動鏡９は、ビームスプリッタ組立品７及び固定鏡８と間隔を隔てて配置されている。移動鏡９は、ビームスプリッタ組立品７と移動鏡９とを結ぶ方向において移動可能に構成されている。
　駆動部１０は、例えば、ボイスコイルモータなどからなり、移動鏡９に駆動力を付与するように構成されている。
　なお、干渉部４と対向する筐体２の部分には、光が通過するための図示しない通過窓が形成されている。
　試料室５は、筐体２と間隔を隔てて配置されている。試料室５は、中空状のボックス形状に形成されており、内部に図示しない試料を収容している。また、光路において、試料室５の上流側には、反射鏡１２が配置されている。
　検出器６は、試料室５と間隔を隔てて配置されている。検出器６は、例えば、ＭＣＴ（Hgcdte）検出器、ＤＬａＴＧＳ（Deuterated L-Alanine Triglycine Sulphate）検出器、ＴＧＳ（硫酸三グリシン:Triglycine Sulfate）検出器、ＤＴＧＳ（水素を重水素化したTGS:Deuterium Tri-Glycine Sulfate）検出器などからなる。
　分析装置１における試料の分析では、ヒータ３から赤外光が出射される。そして、赤外光は、ビームスプリッタ２２に入射する。ビームスプリッタ２２に入射した赤外光は、一部がビームスプリッタ２２を透過して固定鏡８に入射し、残りがビームスプリッタ２２で反射されて移動鏡９に入射する。このとき、移動鏡９は、駆動部１０から駆動力が付与されることにより移動する。
　固定鏡８で反射された赤外光は、ビームスプリッタ２２で反射されて反射鏡１２に向かう。また、移動鏡９で反射された赤外光は、ビームスプリッタ２２を透過して反射鏡１２に向かう。これにより、固定鏡８で反射された赤外光、及び、移動鏡９で反射された赤外光は、合成されて赤外干渉光となり、筐体２の外部に出射されて反射鏡１２に向かう。そして、合成された赤外光は、反射鏡１２で反射されて、試料室５に入射する。
　試料室５に入射した赤外光は、試料室５内の試料に照射される。そして、試料からの反射光又は透過光が試料室５から出射して、検出器６に入射する。
　検出器６は、入射した赤外光に応じたインターフェログラムを、検出信号として出力する。分析装置１では、検出器６からの検出信号がフーリエ変換されることにより、スペクトルの強度分布データが作成される。そして、そのデータに基づいて、試料が分析される。
２．ビームスプリッタ組立品の構成
　図２は、ビームスプリッタ組立品７の構成を示した斜視図である。図３は、ビームスプリッタ組立品７の分解斜視図である。
　ビームスプリッタ組立品７は、ホルダ２１と、ビームスプリッタ２２と、補償板２３と、第１スペーサ２４と、第２スペーサ２５と、１対の固定板２６とを備えている。
　ホルダ２１は、所定の厚みを有する平板状に形成されている。ホルダ２１には、開口２１１と、３つの第１凹部２１２と、３つの第２凹部２１３とが形成されている。また、ホルダ２１には、フランジ２１４が設けられている。
　開口２１１は、厚み方向（図３の左右方向）に見たときの形状が円形状であって、ホルダ２１の中央部を厚み方向に貫通している。
　フランジ２１４は、ホルダ２１における内周面（ホルダ２１の開口２１１が形成された部分の内周面）に設けられている。フランジ２１４は、厚み方向に見たときの形状が円環状であって、ホルダ２１における内周面の中央部から、開口２１１の径方向内側に向かって突出している。
　各第１凹部２１２は、ホルダ２１における内周面のうち、厚み方向一方側（図３における左方側）の内周面に形成されている。各第１凹部２１２は、ホルダにおける内周面から径方向外側に向かって窪んでいる。３つの第１凹部２１２は、開口２１１の中心に対する周方向において等間隔（１２０°間隔）で設けられている。
　各第２凹部２１３は、ホルダ２１における内周面のうち、厚み方向他方側（図３における右方側）の内周面に形成されている。各第２凹部２１３は、ホルダにおける内周面から径方向外側に向かって窪んでいる。３つの第２凹部２１３は、開口２１１の中心に対する周方向において等間隔（１２０°間隔）で設けられている。厚み方向において、３つの第２凹部２１３は、３つの第１凹部２１２と同じ位置に形成されている。なお、図３では、３つの第２凹部２１３のうち、１つの第２凹部２１３のみが表れている。
　ビームスプリッタ２２は、ホルダ２１に対して、厚み方向一方側（図３の左方側）に配置されている。ビームスプリッタ２２は、所定の厚み（ホルダ２１の厚みよりも薄い厚み）を有する円板状に形成されている。ビームスプリッタ２２の径は、ホルダ２１の開口２１１の径よりもわずかに小さい。
　補償板２３は、ホルダ２１に対して厚み方向他方側（図３における右方側）に配置されている。補償板２３は、所定の厚み（ホルダ２１の厚みよりも薄い厚み）を有する円板状に形成されている。補償板２３の径は、ビームスプリッタ２２の径とほぼ同一である。
　第１スペーサ２４は、ホルダ２１とビームスプリッタ２２との間に配置されている。第１スペーサ２４は、環状のシート状の部材であって、ビームスプリッタ組立品７が組み立てられる際には、その一部が折り曲げられた状態で、ホルダ２１とビームスプリッタ２２との間に設けられる。
　第２スペーサ２５は、ホルダ２１と補償板２３との間に配置されている。第２スペーサ２５は、環状のシート状の部材であって、ビームスプリッタ組立品７が組み立てられる際には、その一部が折り曲げられた状態で、ホルダ２１と補償板２３との間に設けられる。
　各固定板２６は、円環状の取付部２６１と、取付部２６１から内方側に突出する３つの固定片２６２とを備えている。
　このように構成されるビームスプリッタ組立品７において、第１スペーサ２４及び第２スペーサ２５は、同一の部材（スペーサ部材３０）から構成される。
　図４は、第１スペーサ２４及び第２スペーサ２５を構成するスペーサ部材３０を示した正面図である。スペーサ部材３０は、その一部が折り曲げられることで、第１スペーサ２４又は第２スペーサ２５として用いられる。
　スペーサ部材３０は、厚みの薄い環状であって、シート状の部材である。スペーサ部材３０は、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）などの樹脂材料からなる。スペーサ部材３０の厚みは、フランジ２１４の平面度よりも十分に大きい。スペーサ部材３０は、本体３１と、３つの外側突出片３２と、３つの内側突出片３３とを備えている。
　本体３１は、円環状に形成されている。本体３１の外径は、ビームスプリッタ２２の径、及び、補償板２３の径よりもわずかに小さい。
　各外側突出片３２は、本体３１から径方向外側に向かって突出している。各外側突出片３２は、正面視矩形状に形成されている。３つの外側突出片３２は、本体３１の中心に対して周方向に等間隔（１２０°間隔）で設けられている。各外側突出片３２には、折曲補助線３２１が形成されている。
　折曲補助線３２１は、外側突出片３２の中央部（中央部からやや本体３１側）において、突出方向と直交する方向に延びている。折曲補助線３２１は、外側突出片３２の厚み方向にわずかに窪む微小な溝である。後述するように、折曲補助線３２１は、外側突出片３２を折り曲げる際の折り曲げ位置を表している。
　各内側突出片３３は、本体３１から径方向内側に向かって突出している。各内側突出片３３は、正面視矩形状に形成されている。３つの内側突出片３３は、本体３１の中心に対して周方向に等間隔（１２０°間隔）で設けられている。３つの内側突出片３３は、径方向において、３つの外側突出片３２と並ぶように設けられている。
　そして、スペーサ部材３０における３つの外側突出片３２の全てを、折曲補助線３２１に沿って折り曲げることで、第１スペーサ２４が構成される。また、スペーサ部材３０における３つの外側突出片３２のうち、１つの外側突出片３２を、折曲補助線３２１に沿って折り曲げることで、第２スペーサ２５が構成される。
　図５は、スペーサ部材３０の外側突出片３２が折り曲げられた状態を拡大して示した斜視図である。
　スペーサ部材３０の外側突出片３２を、折曲補助線３２１に沿って折り曲げると、外側突出片３２における折曲補助線３２１よりも先端側の部分は、折り返されて、外側突出片３２の基端部（折曲補助線３２１よりも内側の部分）、本体３１及び内側突出片３３に当接する。外側突出片３２における折曲補助線３２１よりも先端側の部分は、折り曲げられることで折曲部４１として構成される。
　図３に示すように、第１スペーサ２４では、３つの折曲部４１が構成されている。第１スペーサ２４において、折曲部４１は、本体３１の周方向に沿って等間隔で配置されている。第１スペーサ２４において、各折曲部４１は、本体３１と密接している（重なっている）。第１スペーサ２４は、各折曲部４１がビームスプリッタ２２に対向するようにして（各折曲部４１がビームスプリッタ２２に対向する向きで）、ビームスプリッタ２２とホルダ２１との間に配置される。
　第２スペーサ２５では、１つの折曲部４１が構成されている。第２スペーサ２５において、折曲部４１は、本体３１の周方向に沿う位置に配置されており、本体３１と密接している（重なっている）。第２スペーサ２５は、各折曲部４１が補償板２３に対向するようにして（各折曲部４１が補償板２３に対向する向きで）、補償板２３とホルダ２１との間に配置される。
　このように、ビームスプリッタ組立品７では、同一部材であるスペーサ部材３０の一部（外側突出片３２）が異なるパターンで折り曲げられることにより、第１スペーサ２４及び第２スペーサ２５が構成される。そして、第１スペーサ２４は、ビームスプリッタ２２とホルダ２１との間に配置され、第２スペーサ２５は、補償板２３とホルダ２１との間に配置される。
３．ビームスプリッタ組立品の組み立て
　ビームスプリッタ組立品７を組み立てる際には、ホルダ２１の開口２１１の一方側（図８の左方側）から第１スペーサ２４が内方に挿入されるとともに、ホルダ２１の開口２１１の他方側（図８の右方側）から第２スペーサ２５が内方に挿入される。
　このとき、第１スペーサ２４の各折曲部４１は、開口２１１の一方側（図８の左方側）を向いている。そして、第１スペーサ２４の各折曲部４１の径方向外側端部は、第１凹部２１２内に配置される。また、第２スペーサ２５の折曲部４１は、開口２１１の他方側（図８の右方側）を向いている。そして、第２スペーサ２５の折曲部４１及び外側突出片３２は、第２凹部２１３内に配置される。
　そして、この状態から、開口２１１の一方側（図８の左方側）からビームスプリッタ１０１が内方に挿入されるとともに、開口２１１の他方側（図８の右方側）から補償板２３が内方に挿入される。
　この状態で、ホルダ２１の両側（図８の左右方向両側）に対して１対の固定板２６が固定される。具体的には、各固定板２６の取付部２６１が、ねじ４２によってホルダ２１に固定される。これにより、ビームスプリッタ２２及び補償板２３のそれぞれが、固定板２６の固定片２６２によって押圧されて、ホルダ２１に固定される。
　このようにして、ビームスプリッタ組立品７が組み立てられた状態において、第１スペーサ２４は、ビームスプリッタ２２の周縁部に対向しており、第２スペーサ２５は、補償板２３の周縁部に対向している。ビームスプリッタ２２の周縁部は、第１スペーサ２４の各折曲部４１に当接している。これにより、ビームスプリッタ２２は、第１スペーサ２４によって３点支持されている。また、補償板２３の周縁部は、第２スペーサ２５の本体３１に当接するとともに、その一部が、第２スペーサ２５の折曲部４１に当接している。そのため、補償板２３は、ビームスプリッタ２２における平面に対して傾斜する状態、すなわち、光軸に対して傾斜する状態で支持されている。
４．ビームスプリッタ及び第１スペーサの配置関係
　図６は、ビームスプリッタ組立品７を厚み方向に見たときにおける、ビームスプリッタ２２及び第１スペーサ２４の配置関係を概略的に示した図である。
　厚み方向に見たときに、第１スペーサ２４の外縁は、ビームスプリッタ２２の外縁に対してわずかに内方に配置されている。すなわち、厚み方向にみたときに、第１スペーサ２４は、ビームスプリッタ２２と重なっている（ビームスプリッタ２２とオーバーラップしている）。このように、ビームスプリッタ組立品７では、ビームスプリッタ２２を３点支持するための第１スペーサ２４の外形が小さくなっている。
５．作用効果
（１）本実施形態によれば、図３に示すように、ビームスプリッタ組立品７において、ビームスプリッタ２２は、第１スペーサ２４の３つの折曲部４１によって３点支持される。
　そのため、ビームスプリッタ２２がホルダ２１の面精度の影響を受けないようにできる（ビームスプリッタ２２がホルダ２１の面精度の影響により変形することを抑制できる）。
　また、第１スペーサ２４は、ビームスプリッタ２２の周縁部に対向している。各折曲部４１は、各外側突出片３２が折り曲げられることで構成される。
　そのため、第１スペーサ２４の外形がビームスプリッタ２２の外形より大きくなることを抑制できる。そして、第１スペーサ２４を設けるためのホルダ２１のサイズが大きくなることを抑制できる。
　その結果、ビームスプリッタ組立品７の小型化を実現できる。
（２）また、本実施形態によれば、図４に示すように、第１スペーサ２４（スペーサ部材３０）では、折曲部４１に対応付けるように、外側突出片３２を折り曲げる際の折曲位置を表す折曲補助線３２１が形成されている。
　そのため、スペーサ部材３０における３つの外側突出片３２の全てを、折曲補助線３２１に沿って折り曲げることで、第１スペーサ２４の各折曲部４１を構成できる。
　その結果、第１スペーサ２４において、各折曲部４１を簡易かつ正確に構成できる。
（３）また、本実施形態によれば、図３に示すように、第１スペーサ２４は、ビームスプリッタ２２の周縁部に対向する円環状の本体３１を備えている。第１スペーサ２４では、本体３１の中心に対して周方向に等間隔（約１２０°間隔）で３つの折曲部４１が形成されている。
　そのため、第１スペーサ２４の３つの折曲部４１によって、ビームスプリッタ２２をバランスよく支持できる。
　その結果、ビームスプリッタ２２を一層安定した状態に保つことができる。
（４）また、本実施形態によれば、図３に示すように、ビームスプリッタ組立品７において、第２スペーサ２５は、ビームスプリッタ２２の周縁部に対向している。そして、折曲部４１は、外側突出片３２が折り曲げられることで構成される。
　そのため、第２スペーサ２５の外形がビームスプリッタの外形より大きくなることを抑制できる。そして、第２スペーサ２５を設けるためのホルダ２１のサイズが大きくなることを抑制できる。
　また、第２スペーサ２５を、ホルダ２１にセットしやすい形状に形成できる。例えば、小さなフィルタ状の部材（フィルタ片）をホルダ２１にセットして、補償板２３を傾けた状態に保つことも可能であるが、このような部材の場合、部材が小さいため、ホルダ２１にセットする作業が煩雑化してしまう。第２スペーサ２５は、作業者の作業に適した大きさであるため、ホルダ２１に容易にセットすることが可能である。
　このように、第２スペーサ２５によって補償板２３を支持する構成であるため、第２スペーサ２５をホルダ２１にセットする際の作業性を向上できる。
（５）また、本実施形態によれば、第２スペーサ２５（スペーサ部材３０）には、折曲部４１に対応付けるように、外側突出片３２を折り曲げる際の折曲位置を表す折曲補助線３２１が形成されている。
　そのため、スペーサ部材３０における１つの外側突出片３２を、折曲補助線３２１に沿って折り曲げることで、第２スペーサ２５の折曲部４１を構成できる。
　その結果、第２スペーサ２５において、折曲部４１を簡易かつ正確に構成できる。
（６）また、本実施形態によれば、第２スペーサ２５において、折曲部４１は、本体３１の周方向に沿う位置に配置されており、本体３１と密接している。
　そのため、第２スペーサ２５において、折曲部４１を適切な位置に配置できる。
６．変形例
　以上の実施形態では、第１スペーサ２４では、３つの折曲部４１は、周方向に等間隔に配置されるとして説明した。しかし、第１スペーサ２４において、３つの折曲部４１の間隔を不均一にすることも可能である。
　また、以上の実施形態では、第２スペーサ２５において、折曲部４１は、１つのみ構成されるとして説明した。しかし、第２スペーサ２５において、２つの折曲部４１が周方向に沿って構成されていてもよい。
　また、以上の実施形態では、スペーサ部材３０の折曲補助線３２１は、微小な溝であるとして説明した。しかし、スペーサ部材３０を折曲補助線３２１を、ミシン目によって構成してもよく、また、単なる線によって構成してもよい。
　　　７　　　　ビームスプリッタ組立品
　　　２１　　　ホルダ
　　　２２　　　ビームスプリッタ
　　　２３　　　補償板
　　　２４　　　第１スペーサ
　　　２５　　　第２スペーサ
　　　３０　　　スペーサ部材
　　　３１　　　本体
　　　３２　　　外側突出片
　　　４１　　　折曲部
　　　３２１　　折曲補助線

Claims (6)

  1. 　ビームスプリッタと、
    　前記ビームスプリッタを保持するホルダと、
    　前記ビームスプリッタ及び前記ホルダの間に配置される第１スペーサとを備え、
    　前記第１スペーサは、前記ビームスプリッタの周縁部に対向しており、その一部が折り曲げられて構成される３つの折曲部により、前記ビームスプリッタを３点支持することを特徴とするビームスプリッタ組立品。
  2. 　前記第１スペーサには、前記３つの折曲部に対応付けて、当該第１スペーサの一部を折り曲げる際の折曲位置を表す第１折曲補助線が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のビームスプリッタ組立品。
  3. 　前記第１スペーサは、前記ビームスプリッタの周縁部に対向する円環状の第１本体を有し、前記第１本体の中心に対して周方向に等間隔で前記３つの折曲部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のビームスプリッタ組立品。
  4. 　前記ホルダに保持される補償板と、
    　前記補償板及び前記ホルダの間に配置される第２スペーサとをさらに備え、
    　前記第２スペーサは、前記補償板の周縁部に対向しており、その一部が折り曲げられて構成される少なくとも１つの折曲部により、前記補償板を光軸に対して傾斜させて支持することを特徴とする請求項１に記載のビームスプリッタ組立品。
  5. 　前記第２スペーサには、前記少なくとも１つの折曲部に対応付けて、当該第２スペーサの一部を折り曲げる際の折曲位置を表す第２折曲補助線が形成されていることを特徴とする請求項４に記載のビームスプリッタ組立品。
  6. 　前記第２スペーサは、前記補償板の周縁部に対向する円環状の第２本体を有し、前記第２本体の中心に対する周方向に前記少なくとも１つの折曲部が形成されていることを特徴とする請求項４に記載のビームスプリッタ組立品。
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