JPS616614A - 反射鏡保持具 - Google Patents
反射鏡保持具Info
- Publication number
- JPS616614A JPS616614A JP12702484A JP12702484A JPS616614A JP S616614 A JPS616614 A JP S616614A JP 12702484 A JP12702484 A JP 12702484A JP 12702484 A JP12702484 A JP 12702484A JP S616614 A JPS616614 A JP S616614A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- holder
- mirror
- split ring
- reflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Lasers (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレーザ発振器の反射鏡保持具に関するものであ
る。
る。
従来例の構成とその問題点
第１図は従来のレーザ発振器に用いられて来た全反射鏡
保持具の断面図を示したものである。同図において、１
け全反射鏡、２は全反射鏡１を収納するミラーホルダで
あり、締付用リングネジ３で全反射鏡１はミラーホルダ
２に保持固定される。
保持具の断面図を示したものである。同図において、１
け全反射鏡、２は全反射鏡１を収納するミラーホルダで
あり、締付用リングネジ３で全反射鏡１はミラーホルダ
２に保持固定される。
４は全反射鏡１を間接的に冷却するための冷却液層であ
る。
る。
全反′射鏡１の周縁には溝６が形成されている。
この溝６Ｉ″ｌｔ全反射鏡１の取扱いを容易にするもの
で、実開昭５６−６３０７４号公報に詳細に説明されて
いるのでここでは説明を省略する。７は締付用リングネ
ジ３とミラーホルダ部２とをネジ止めするためのネジ部
、８は全反射鏡１の受光面で一般的には金蒸着面である
。１０はレーザビームを示す。
で、実開昭５６−６３０７４号公報に詳細に説明されて
いるのでここでは説明を省略する。７は締付用リングネ
ジ３とミラーホルダ部２とをネジ止めするためのネジ部
、８は全反射鏡１の受光面で一般的には金蒸着面である
。１０はレーザビームを示す。
全反射鏡１は、ミラーホルダ２の受部にはめ込んで締付
用リングネジ３でねじ止めするが、このとき、第２図に
示すように受光面８である金蒸着面を給料用リングネジ
３に直接接触させ、全反射鏡１を締付けて保持固定させ
るため、金蒸着面８は締付の際、８ｏとして示したごと
く受光面外周に沿って、キズが付いたり、金蒸着が剥離
されるため反射鏡として好ましくない。
用リングネジ３でねじ止めするが、このとき、第２図に
示すように受光面８である金蒸着面を給料用リングネジ
３に直接接触させ、全反射鏡１を締付けて保持固定させ
るため、金蒸着面８は締付の際、８ｏとして示したごと
く受光面外周に沿って、キズが付いたり、金蒸着が剥離
されるため反射鏡として好ましくない。
発明の目的
本発明は上記欠点を解消し、更に全反射鏡に機械的内部
応力歪を与えないで、取扱い容易な反射゛鏡保持具を提
供するものである。
応力歪を与えないで、取扱い容易な反射゛鏡保持具を提
供するものである。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するためのものであり、レーザ
発振器内部に装着する全反射鏡とこれを保持固定するた
めに設けられた割入リングを介してミラーホルダに保持
固定し、又反射鏡の裏面（反射鏡とミラーホルダの中間
）にパイ・材等を装入した反射鏡保持具を提供するもの
である。
発振器内部に装着する全反射鏡とこれを保持固定するた
めに設けられた割入リングを介してミラーホルダに保持
固定し、又反射鏡の裏面（反射鏡とミラーホルダの中間
）にパイ・材等を装入した反射鏡保持具を提供するもの
である。
実施例の説明
以下本発明の実施例について図面とともに詳細に説明す
る。
る。
第３図は本発明の一実施例を示す反射鏡ホルダーの断面
図である。第１図と同一部分には同一番号を付して説明
する。全反射鏡１の側面に連続した一条ないし数条の溝
６を設け、更に溝６に合致させるため内面に突起物を有
する第４図（２Ｌ）に示すように割入リング６０を反射
鏡１の側面の溝６に装着し固定する。この場合、割入リ
ング６０ｆｉ溝寸法と同一寸法とすれば密着強度の高い
固定が得られる。リング６ｏの要部断面を第４図（ｂｌ
に示す。
図である。第１図と同一部分には同一番号を付して説明
する。全反射鏡１の側面に連続した一条ないし数条の溝
６を設け、更に溝６に合致させるため内面に突起物を有
する第４図（２Ｌ）に示すように割入リング６０を反射
鏡１の側面の溝６に装着し固定する。この場合、割入リ
ング６０ｆｉ溝寸法と同一寸法とすれば密着強度の高い
固定が得られる。リング６ｏの要部断面を第４図（ｂｌ
に示す。
割入リング６０を反射鏡１に装着されたものを反射鏡収
納ホルダ２に割入リング６０を介して締付リング坏ジ３
にて反射鏡１を保持固定する。保持固定するにあたり、
反射鏡１とミラーホルダ２の中間にバネ材５、例えば市
販されるウェーブワッシャを挿入し反射鏡押付力（締付
力）を反射鏡１の内部歪が正しない程度に保持固定する
ことが望ましい。実験によれば押付力は全荷重ｔｓｋｇ
以内に押付力を決めれば好ましい結果が得られた。本発
明ではミラー収納ホルダ２の中央部反射鏡接触面に突起
部を設は反射鏡１に内部歪が正じないように制約されて
保持固定される。
納ホルダ２に割入リング６０を介して締付リング坏ジ３
にて反射鏡１を保持固定する。保持固定するにあたり、
反射鏡１とミラーホルダ２の中間にバネ材５、例えば市
販されるウェーブワッシャを挿入し反射鏡押付力（締付
力）を反射鏡１の内部歪が正しない程度に保持固定する
ことが望ましい。実験によれば押付力は全荷重ｔｓｋｇ
以内に押付力を決めれば好ましい結果が得られた。本発
明ではミラー収納ホルダ２の中央部反射鏡接触面に突起
部を設は反射鏡１に内部歪が正じないように制約されて
保持固定される。
４は反射鏡１を間接的に冷却する冷却液層である。８は
受光面、金蒸着面であり１０はレーザビームである。こ
の構成によれば、反射鏡１のミラー収納ホルダ２への取
付けは、反射鏡１の側面の割入リング６ｏに締付力が加
わるようになり受光面８には何の力も作用しないので、
受光面にキズが付いたり、金蒸着物が剥離することがな
い。
受光面、金蒸着面であり１０はレーザビームである。こ
の構成によれば、反射鏡１のミラー収納ホルダ２への取
付けは、反射鏡１の側面の割入リング６ｏに締付力が加
わるようになり受光面８には何の力も作用しないので、
受光面にキズが付いたり、金蒸着物が剥離することがな
い。
溝を形成し、その溝に金属リングをはめ込み、この金属
リングをミラーホルダーに対して締付けるようにした反
射鏡保持具であシ、この反射鏡ホルダを採用することに
より、受光面を直接接触させて締付ける方法ではなく、
割入リングを締付けて固定しているので受光面にキズや
金蒸着物を剥離することがなく保持固定することができ
、更に反射鏡の受光面の面接を最大限に利用することが
可能である。又バネ材としてウェーブワッシャを挿入す
ることで押付力を制限することが可能であり、内部歪を
生じない保持固定ができる。
リングをミラーホルダーに対して締付けるようにした反
射鏡保持具であシ、この反射鏡ホルダを採用することに
より、受光面を直接接触させて締付ける方法ではなく、
割入リングを締付けて固定しているので受光面にキズや
金蒸着物を剥離することがなく保持固定することができ
、更に反射鏡の受光面の面接を最大限に利用することが
可能である。又バネ材としてウェーブワッシャを挿入す
ることで押付力を制限することが可能であり、内部歪を
生じない保持固定ができる。
第１図は従来の反射鏡保持具の概略を示す断面図、第２
図は従来の反射鏡保持方法を説明するための締付用リン
グと反射鏡部の斜視図、第３図は本発明による反射鏡保
持具の実施例を示す概略断面図、第４図（ａｌは本発明
における割入リングと反射鏡の取付を説明するための斜
視図、第４図（ｂ）は第４図（ａｌのＡ−Ａ’約部の断
面斜視図である。 １・・・・・全反射鏡、２・・・・・・反射鏡収納ホル
ダ、３ ・・で締付はリングネジ、４・・・・・・冷却
層液、５・・・・・・バネ材、６・・・・・反射鏡溝部
、６０・・・・・・割入リング、７・・・ネジ部、８・
・・・・受光面、１ｏ・・印・レーザビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図
図は従来の反射鏡保持方法を説明するための締付用リン
グと反射鏡部の斜視図、第３図は本発明による反射鏡保
持具の実施例を示す概略断面図、第４図（ａｌは本発明
における割入リングと反射鏡の取付を説明するための斜
視図、第４図（ｂ）は第４図（ａｌのＡ−Ａ’約部の断
面斜視図である。 １・・・・・全反射鏡、２・・・・・・反射鏡収納ホル
ダ、３ ・・で締付はリングネジ、４・・・・・・冷却
層液、５・・・・・・バネ材、６・・・・・反射鏡溝部
、６０・・・・・・割入リング、７・・・ネジ部、８・
・・・・受光面、１ｏ・・印・レーザビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図
Claims (1)
- 反射鏡側面に連続した一条ないし数条の溝を設け、前記
溝と同一形状の突起物を有する金属リングを前記溝内に
固定し、前記金属リングをミラーホルダに保持固定する
ことを特徴とする反射鏡保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12702484A JPS616614A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 反射鏡保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12702484A JPS616614A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 反射鏡保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS616614A true JPS616614A (ja) | 1986-01-13 |
Family
ID=14949792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12702484A Pending JPS616614A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | 反射鏡保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS616614A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6896383B2 (en) | 2002-02-05 | 2005-05-24 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Reflecting mirror supporting mechanism |
| JP2021099424A (ja) * | 2019-12-23 | 2021-07-01 | 株式会社ディスコ | 光学素子ユニット |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58111006A (ja) * | 1981-12-23 | 1983-07-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 反射ミラ−の固定装置 |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP12702484A patent/JPS616614A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58111006A (ja) * | 1981-12-23 | 1983-07-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 反射ミラ−の固定装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6896383B2 (en) | 2002-02-05 | 2005-05-24 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Reflecting mirror supporting mechanism |
| JP2021099424A (ja) * | 2019-12-23 | 2021-07-01 | 株式会社ディスコ | 光学素子ユニット |
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