JP2007065053A - 樹脂反射ミラー、及び樹脂反射ミラーの支持機構 - Google Patents
樹脂反射ミラー、及び樹脂反射ミラーの支持機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007065053A JP2007065053A JP2005247775A JP2005247775A JP2007065053A JP 2007065053 A JP2007065053 A JP 2007065053A JP 2005247775 A JP2005247775 A JP 2005247775A JP 2005247775 A JP2005247775 A JP 2005247775A JP 2007065053 A JP2007065053 A JP 2007065053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflecting mirror
- resin
- resin reflecting
- support member
- clearance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】樹脂反射ミラー1は、第1の支持部材5と第2の支持部材3、4で支持される。第1の支持部材5は、ミラー支持部材に対し、樹脂反射ミラー1を、樹脂反射ミラー1の熱膨張を許す程度の加圧力で複数箇所において拘束してミラー支持部材に対する樹脂反射ミラー1の取り付け姿勢角度の精度を確保する。第2の支持部材3、4は、樹脂反射ミラー1に対し、樹脂反射ミラー1の取り付け姿勢角度の変動を所定の範囲のみでしか許容しない様な一定のクリアランスを確保する。
【選択図】 図1
Description
樹脂反射ミラー1の長手(左右)方向の寸法を200mmとし、ポリカーボネイトの熱膨張率を7×10−5/℃、温度上昇を20degとすると、L0=200×7×10−5×20=0.28mmほど膨張する。
本実施形態では、第1の支持部材により、ミラー支持部材に、樹脂反射ミラーを比較的軽微な加圧力(例えば、全体として樹脂反射ミラーの重量の2倍程度)で複数箇所において拘束して樹脂反射ミラーの取り付け姿勢角度の精度を確保している。そして、第2の支持部材により、樹脂反射ミラーの取り付け姿勢角度の変動を所定の範囲のみでしか許容しない様な一定のクリアランス(例えば、10μm程度)を樹脂反射ミラーに対して確保している。この様に、樹脂反射ミラーの荷重印加ポイントの近傍に、10μm程度という高精度のクリアランス確保部材を設けた場合、次の様になる。樹脂反射ミラーの長手方向の寸法を200mmとすると、tanθ=0.01/200より、樹脂反射ミラーの取り付け姿勢角度をθ=0.17′という軽微な角度変化に抑えることができる。
以下、図1、図2を参照して本発明の第1の実施例を説明する。図1、図2は本実施例の樹脂反射ミラーの拘束方法を示す。図2は、図1の矢印A方向から見て、クリアランス確保部材3aの軸を含む面における断面図である。
すなわち、L12=L13+10.01・・・・・・・・(1)
となる。
1)クリアランスを小さくする方向に伸びる部位を下記に示す。
i)樹脂反射ミラー(ポリカーボネイト)
7×10−5×10×20=0.014(mm)
ii)クリアランス確保部材
0.3×10−5×(L13+1.6)×20=0.00006×L13+0.000096(mm)
2)クリアランスを大きくする方向に伸びる部位を下記に示す。
iii)高精度支持部材(アルミダイキャスト)
2.3×10−5×L12×20=0.00046×L12(mm)
iv)高剛性板バネ(SUS304CSP-1/2H)
1.1×10−5×1.6×20=0.000352(mm)
ただし、この部分が高精度支持部材と一体化している場合は、この高剛性板バネは、異なる厚さのアルミニウム支持部材となる。
0.014+0.00006×L13+0.000096=0.00046×L12+0.000352・・・・・・・・(2)
が成立していればよい。(1)、(2)式より、L12=32.8585mmとすれば、L1寸法は、温度上昇などがあっても、0.01mmのクリアランスを安定して保つことができる。
次に、図3、図4を参照して本発明の第2の実施例を説明する。図3、図4は本実施例の樹脂反射ミラーの拘束方法を示す。図4は、矢印B方向から見て、調整軸(クリアランス確保部材)3aの軸を含む面における断面図である。ここでの図面は、第2の実施例のクリアランス確保部材3a付近の詳細を示している。他のクリアランス確保部材3b、3c付近の詳細も同様である。
1a 樹脂反射ミラーの延設部
2 高精度支持部材(ミラー支持部材)
3 クリアランス確保部材(第2の支持部材)
4 クリアランス確保部材の支持部材(第2の支持部材)
5 加圧バネ(第1の支持部材)
7 有効反射面(有効反射範囲)
Claims (6)
- ミラー支持部材に対し、樹脂反射ミラーを、該樹脂反射ミラーの熱膨張を許す程度の加圧力で複数箇所において拘束してミラー支持部材に対する樹脂反射ミラーの取り付け姿勢角度の精度を確保する第1の支持部材と、
樹脂反射ミラーに対し、該樹脂反射ミラーの取り付け姿勢角度の変動を所定の範囲のみでしか許容しない様な一定のクリアランスを確保した第2の支持部材と、
を設けていることを特徴とする樹脂反射ミラーの支持機構。 - 前記クリアランスが、前記樹脂反射ミラーの取り付け姿勢角度が該クリアランス内で変動しても樹脂反射ミラーの光学性能に影響を及ぼさない範囲内に設定されている請求項1記載の樹脂反射ミラーの支持機構。
- 前記第2の支持部材は、前記ミラー支持部材に取り付けられ、クリアランス確保部材と該クリアランス確保部材の支持部材で構成され、
前記樹脂反射ミラーのミラー支持部材への取付面からクリアランス確保部材のこれの支持部材への取付面までの距離にミラー支持部材の熱膨張率を掛けた積数から、樹脂反射ミラーのミラー支持部材への取付面からクリアランス確保部材と向かい合う対向位置までの距離に樹脂反射ミラーの熱膨張率を掛けた積数を引いた数値が、クリアランス確保部材のこれの支持部材への取付面から樹脂反射ミラーと向かい合う位置までの距離にクリアランス確保部材の熱膨張率を掛けた積数に、略等しくなる様に設定されている請求項1または2記載の樹脂反射ミラーの支持機構。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の樹脂反射ミラーの支持機構により支持されていることを特徴とする樹脂反射ミラー。
- 樹脂反射ミラーの有効反射範囲を有する面に対して、前記第2の支持部材によりクリアランスが確保されている請求項4記載の樹脂反射ミラー。
- 樹脂反射ミラーの有効反射範囲を有する本体部から延びて、該本体部より薄い厚さの延設部が設けられ、該延設部の面に対して、前記第2の支持部材によりクリアランスが確保されている請求項4記載の樹脂反射ミラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005247775A JP5252775B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | ミラー部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005247775A JP5252775B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | ミラー部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007065053A true JP2007065053A (ja) | 2007-03-15 |
JP5252775B2 JP5252775B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=37927375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005247775A Expired - Fee Related JP5252775B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | ミラー部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5252775B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05232500A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-10 | Sanyo Electric Co Ltd | ダイクロイックミラー取り付け装置 |
JP2002228905A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-14 | Yuka Denshi Co Ltd | 投射ミラー及び投射ミラーの取付構造 |
JP2003215713A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 背面投写型映像表示装置のミラー保持機構 |
JP2003227993A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Mitsubishi Electric Corp | 反射鏡支持機構 |
JP2003344950A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Victor Co Of Japan Ltd | プロジェクション装置 |
-
2005
- 2005-08-29 JP JP2005247775A patent/JP5252775B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05232500A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-10 | Sanyo Electric Co Ltd | ダイクロイックミラー取り付け装置 |
JP2002228905A (ja) * | 2001-02-07 | 2002-08-14 | Yuka Denshi Co Ltd | 投射ミラー及び投射ミラーの取付構造 |
JP2003215713A (ja) * | 2002-01-28 | 2003-07-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 背面投写型映像表示装置のミラー保持機構 |
JP2003227993A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Mitsubishi Electric Corp | 反射鏡支持機構 |
JP2003344950A (ja) * | 2002-05-30 | 2003-12-03 | Victor Co Of Japan Ltd | プロジェクション装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5252775B2 (ja) | 2013-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100959714B1 (ko) | 광학 시스템 및 광학 시스템에서의 물체 및 상의 위치를변경하는 방법 | |
US7603010B2 (en) | Device consisting of at least one optical element | |
JP5323335B2 (ja) | 光学素子ユニット及び光学素子の支持方法 | |
US20070284502A1 (en) | Hexapod kinematic mountings for optical elements, and optical systems comprising same | |
TWI536044B (zh) | 光學裝置、投影光學系統、曝光裝置以及製造物品的方法 | |
US9377614B2 (en) | Active space telescope with suspended mirror | |
JP6621716B2 (ja) | ステレオカメラ | |
JP6955117B2 (ja) | 振動絶縁システムおよびリソグラフィ装置 | |
KR20090085536A (ko) | 노광 장치 및 디바이스 제조 방법 | |
JP2014225639A (ja) | ミラーユニット及び露光装置 | |
KR20190087306A (ko) | 센서 보호를 갖는 반도체 리소그래피용 투영 노광 장치 | |
JP5252775B2 (ja) | ミラー部材 | |
CA2806411C (fr) | Passive mechanical athermalization device, and related optical system | |
JP2006339500A (ja) | 微動装置及び光学素子調整装置 | |
US7626683B2 (en) | Exposure apparatus and device manufacturing method | |
US10088649B2 (en) | Deformable mirror | |
IL261177A (en) | Stage navigation bar that compensates for comment | |
JP2010135492A (ja) | 露光装置およびデバイス製造方法 | |
JP2006018083A (ja) | 非球面ミラー部材及びそれを用いた背面投写型映像表示装置 | |
JPH1184199A (ja) | 鏡筒支持機構 | |
JP6559386B1 (ja) | 鏡支持体及び鏡支持機構 | |
US6781773B2 (en) | Boresight stability of an optical system | |
JP2011197081A (ja) | 光走査光学装置 | |
JP2006030086A (ja) | 長さ測定装置の弾性固定具及び固定方法 | |
US10571813B2 (en) | Connection arrangement for a force-fit connection between ceramic components |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080827 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110914 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120618 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130411 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130416 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |