JPH1184199A - 鏡筒支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レンズ鏡筒に過大な応力が印加されず、しか
もスペース効率が高く、良好な作業性を確保できる鏡筒
支持機構を提供する。 【解決手段】 鏡筒１と鏡筒支持台２との間に介装され
る一体に形成されたリングアダプター３を備え、リング
アダプター３には、鏡筒１が光軸方向に貫通する貫通孔
３０と、貫通孔３０に貫通された鏡筒１に対して取付け
られるための雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄと、鏡筒支持台２に
対して取付けられるための貫通孔３１Ａ〜３１Ｄとが形
成され、雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄと貫通孔３１Ａ〜３１Ｄ
とが互いに鏡筒１の周方向に離れて配置され、鏡筒支持
台２から鏡筒１に加えられる鏡筒１の放射方向の応力を
アダプター３の変形によって緩和する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体露
光装置の投影光学系のレンズ鏡筒等、高精度な光学系の
レンズ鏡筒を支持する支持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】レチクルのパターンをウエハ上に投影露
光することによりウエハ上に微細パターンを形成する半
導体露光装置が知られている。図９は従来の半導体露光
装置に用いられるレンズ鏡筒の支持構造を示している
（従来技術１）。レンズ鏡筒１は投影光学系のレンズ群
を収納しており、レンズ鏡筒１の外周に突設されたフラ
ンジ１ａをボルト１０１によって鏡筒支持台２に締め付
けることにより、鏡筒１が鏡筒支持台２に固定される。

【０００３】一方、特開平６−３００９５５号公報には
複数の棒部材を組合せた緩衝部材を介してレンズ鏡筒を
鏡筒支持台に取付けるようにした装置が開示されている
（従来技術２）。この装置では、図１０に示すように４
つの棒部材１０２の両端を鏡筒支持台２Ｂにボルト１０
３により固定するとともに、棒部材１０２の中央部をレ
ンズ鏡筒１のフランジ１ａに固定しており、棒部材１０
２の弾力性（曲げ変形）を利用してレンズ鏡筒１に加え
られる応力の緩和を図るものである。例えば、装置の輸
送中等における装置の温度変化に起因して熱膨張による
各部の寸法ずれが発生した場合に、棒部材１０２の曲げ
変形によって寸法のずれを吸収するので、レンズ鏡筒１
への過大な応力の印加が防止できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来技術１の構造で
は、レンズ鏡筒を鏡筒支持台に対して直接固定している
ので、レンズ鏡筒１と鏡筒支持台２とを互いに異なる材
質で作成した場合、温度変化を受けた際に鏡筒１および
鏡筒支持台２の線膨張係数の差異に起因してレンズ鏡筒
１に過大な応力が加えられるおそれがある。このような
過大な応力はレンズ鏡筒内の投影光学系に歪みを生じさ
せ、その光学性能を悪化させる要因となる。

【０００５】また、従来技術２の構造では、複数の棒部
材１０２を多角形形状に組立てているので、レンズ鏡筒
１の着脱時に複数の棒部材の着脱作業を要し、製造時、
あるいはメンテナンス時の作業性が悪い。また、棒部材
１０２の端部、すなわち多角形の頂点がレンズ鏡筒１
（フランジ１ａ）の外周から外側に突出するうえ、煩雑
な棒部材１０２の着脱作業を可能とするためのスペース
を要するため、装置の大型化を招くという問題もある。

【０００６】本発明の目的は、レンズ鏡筒に過大な応力
が印加されず、しかもスペース効率が高く、良好な作業
性を確保できる鏡筒支持機構を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】実施の形態を示す図１〜
図８に対応づけて説明する。 （１）請求項１に記載の発明は、鏡筒１を鏡筒支持台２
に取付ける鏡筒支持機構に適用され、鏡筒１と鏡筒支持
台２との間に介装される一体に形成されたアダプター３
を備え、アダプター３には、鏡筒１が光軸方向に貫通す
る貫通孔３０と、貫通孔３０に貫通された鏡筒１に対し
て取付けられる鏡筒取付部３６Ａ〜３６Ｄと、鏡筒支持
台２に対して取付けられる支持台取付部３１Ａ〜３１Ｄ
とが形成され、鏡筒取付部３６Ａ〜３６Ｄと支持台取付
部３１Ａ〜３１Ｄとが互いに鏡筒１の周方向に離れて配
置され、鏡筒支持台２から鏡筒１に加えられる鏡筒１の
放射方向の応力に対してアダプター３の少なくとも一部
が放射方向に微動可能とするものである。 （２）請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の鏡筒
支持機構において、アダプター３にはアダプター３の鏡
筒取付部３６Ａ〜３６Ｄと支持台取付部３１Ａ〜３１Ｄ
との少なくとも一方にばね構造３２が形成されているも
のである。 （３）請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記
載の鏡筒支持機構において、アダプター３の支持台取付
部にはボルト４が貫通する取付貫通孔３１Ａ〜３１Ｄが
形成され、取付貫通孔３１Ａ〜３１Ｄを貫通するボルト
４を鏡筒支持台２に螺進させることによりアダプター３
と鏡筒支持台２とを締結するようにしたものである。 （４）請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれ
か１項に記載の鏡筒支持機構において、鏡筒１の外周部
には鏡筒１の外周方向に突出したフランジ１ａが形成さ
れ、アダプター３がフランジ１ａに取付けられるもので
ある。 （５）請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の鏡筒
支持機構において、アダプター３の鏡筒取付部には雌ね
じ３６Ａ〜３６Ｄが形成され、フランジ１ａを貫通させ
たボルト５を雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄに螺進させることに
よりアダプター３と鏡筒１とを締結するようにしたもの
である。 （６）請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれ
か１項に記載の鏡筒支持機構において、アダプター３は
鏡筒支持台２と同一の線膨張係数の材質からなるもので
ある。 （７）請求項７に記載の発明は、請求項２に記載の鏡筒
支持機構において、アダプター３Ａは鏡筒１と同一の線
膨張係数の材質からなり、鏡筒１の外周部には鏡筒１の
外周方向に突出したフランジ１ａが形成され、アダプタ
ー３Ａの鏡筒取付部にはボルト５Ａが螺合する雌ねじ３
１Ａ’〜３１Ｄ’が形成され、フランジ１ａを貫通する
ボルト５Ａを鏡筒取付部の雌ねじ３１Ａ’〜３１Ｄ’に
螺進させることによりアダプター３Ａと鏡筒１とを締結
し、アダプター３Ａの支持台取付部にはばね構造が形成
されるとともにボルト４Ａが貫通する取付貫通孔３６
Ａ’〜３６Ｄ’が形成され、取付貫通孔３６Ａ’〜３６
Ｄ’を貫通するボルト４Ａを鏡筒支持台２に螺進させる
ことによりアダプター３Ａと鏡筒支持台と２を放射方向
に微動可能に締結したことを特徴とする。 （８）請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれ
か１項に記載の鏡筒支持機構において、鏡筒取付部３６
Ａ〜３６Ｄおよび支持台取付部３１Ａ〜３１Ｄはアダプ
ター３のそれぞれ３ヵ所以上に設けられているものであ
る。 （９）請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の鏡筒
支持機構において、鏡筒取付部３６Ａ〜３６Ｄおよび支
持台取付部３１Ａ〜３１Ｄはアダプター３の周方向に対
して均等に配置されているものである。 （１０）請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９のい
ずれか１項に記載の鏡筒支持機構において、アダプター
３の変形に伴う鏡筒１の光軸方向の移動を制限する制限
機構８を設けたものである。 （１１）請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０の
いずれか１項に記載の鏡筒支持機構において、鏡筒１と
鏡筒支持台２との間に鏡筒１の光軸方向の位置を調整す
るワッシャー７をアダプター３とともに介装するもので
ある。

【０００８】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段の項では、本発明を分かり易くする
ために発明の実施の形態の図を用いたが、これにより本
発明が実施の形態に限定されるものではない。

【０００９】

【発明の実施の形態】

−第１の実施の形態− 以下、図１および図２を用いて本発明による鏡筒支持機
構の第１の実施の形態について説明する。第１の実施の
形態の鏡筒支持機構は半導体露光装置の一部を構成して
いる。

【００１０】図１に示すレンズ鏡筒１は露光光源からの
投光をレチクルへの照射光（平行光）に変換する投影光
学系のレンズ群（不図示）を収納する。レンズ鏡筒１は
収納されたレンズ群の光軸Ｌを軸心とする略円柱形状を
呈しており、光軸Ｌ、すなわち円柱の軸心は鉛直方向を
向いている。レンズ鏡筒１の中央部には光軸Ｌと直交す
る面（水平面）方向に突出するリング状のフランジ１ａ
が形成されている。

【００１１】図１の鏡筒支持台２はレンズ鏡筒１とは異
なる材質からなり、後述するアダプターリング３を介し
てレンズ鏡筒１を支持する。後述するように第１の実施
の形態ではレンズ鏡筒１および鏡筒支持台２の材質を同
一のものとする必要がないので、設計の自由度が大きく
なる。図１（ｂ）に示すように、鏡筒支持台２にはレン
ズ鏡筒１の一部を収納する収納部２ａが形成され、鏡筒
支持台２の上面の収納部２ａの開口端部にフランジ１ａ
がアダプターリング３を介して載置されてレンズ鏡筒１
が支持される。図１（ｂ）に示すように、アダプターリ
ング３はアダプターリング３を貫通するボルト４により
鏡筒支持台２に締め付けられる。レンズ鏡筒１はフラン
ジ１ａを貫通するボルト５によりアダプターリング３に
締め付けられる。

【００１２】図２に示すアダプターリング３は鏡筒支持
台２と同一の材質（すなわち、レンズ鏡筒１とは異なる
材質）からなり、レンズ鏡筒１のフランジ１ａの外径と
ほぼ同一の外径を有し、レンズ鏡筒１の円柱部分の外径
よりも大きな径の開口３０が形成されたリング形状を呈
する。図２に示すように、アダプターリング３にはボル
ト４が貫通する４つの貫通孔３１Ａ〜３１Ｄと、ボルト
５が螺合する４つの雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄとが形成され
ている。図２（ａ）に示すように、貫通孔３１Ａ〜３１
Ｄおよび雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄはアダプターリング３を
８等分する角度（４５度）ごとに交互に振り分けて配置
されている。また、雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄの近傍には、
それぞれ２つの細長い切込み３３と、２つの孔３４とが
開口され、切込み３３と孔３４との間には幅の狭い架橋
部３２が形成されている。後述するように、架橋部３２
はばね構造として機能する。

【００１３】各々の雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄを中心とする
領域には、アダプターリング３の鏡筒支持台２との当接
面側、すなわち図２（ｂ）において下面側から切り欠か
れた凹部３７が形成されており、この凹部３７が形成さ
れた領域ではアダプターリング３の下面が鏡筒支持台２
から浮いた状態にある。

【００１４】アダプターリング３の貫通孔３１Ａ〜３１
Ｄにボルト４を貫通させ、このボルト４を鏡筒支持台２
に形成した雌ねじ（図１（ａ）参照）に螺進させること
により、アダプターリング３が鏡筒支持台２に締結され
る。ボルト４によりアダプターリング３を鏡筒支持台２
に取付けた後、レンズ鏡筒１のフランジ１ａをアダプタ
ーリング３に重ね合わせるようにレンズ鏡筒１を載置
し、さらにフランジ１ａを貫通させたボルト５をアダプ
ターリング３の雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄに螺進させること
により、レンズ鏡筒１がアダプターリング３に対して締
結される。

【００１５】アダプターリング３のリング幅は比較的狭
く、水平面内での曲げ変形が可能である。また、ボルト
４が貫通される貫通孔３１Ａ〜３１Ｄがアダプターリン
グ３の周方向に一定の間隔をもって配置されており、隣
接する雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄと貫通孔３１Ａ〜３１Ｄと
の間にはある程度の距離（アダプターリング３を周方向
に８等分した距離）が確保されている。さらに、切込み
３３および孔３４に挟まれて形成された架橋部３２はそ
の幅が狭く、容易に水平面内で曲げ変形可能である。そ
のうえ、上述のように凹部３７が形成されている領域で
はアダプターリング３がフランジ１ａと鏡筒支持台２と
の間で挟み込まれていないため、図２（ｂ）においてフ
ランジ１ａの下面から受ける摩擦力も小さなものとな
る。このため、架橋部３２は加えられる作用力に応じて
自由に曲げ変形を起こすばね構造として機能する。した
がって温度変化を受けた場合において、材質の線膨張係
数の差異に起因してレンズ鏡筒１と鏡筒支持台２との間
の相対的な寸法ずれが発生しても、そのずれ分がアダプ
ターリング３の変形、とくに架橋部３２の曲げ変形によ
って効率的に吸収される。なお、凹部３７以外の領域で
は、アダプターリング３はフランジ１ａと鏡筒支持台２
との間に挟み込まれているので、フランジ１ａおよび鏡
筒支持台２から比較的強い摩擦力を受けるが、この摩擦
力はアダプターリング３の曲げ変形を完全に禁止する
程、大きくはない。

【００１６】貫通孔３１Ａ〜３１Ｄの位置、すなわち鏡
筒支持台２を基準としたとき、アダプターリング３の全
体的な変形、あるいはばね構造である架橋部３２の曲げ
変形に応じて、雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄの位置はレンズ鏡
筒１の放射方向に移動する。レンズ鏡筒１は略円柱形状
であるため、温度変化に起因してレンズ鏡筒１に印加さ
れる応力（ないしはレンズ鏡筒１の変形）はレンズ鏡筒
１の放射方向についてのみ考えればよいが、上述のよう
にアダプターリング３あるいは架橋部３２の変形は雌ね
じ３６Ａ〜３６Ｄをレンズ鏡筒１の放射方向に移動させ
るように機能するから、レンズ鏡筒１への応力を適切に
緩和することができる。

【００１７】これに対して、アダプターリング３の周方
向の圧縮あるいは引張り方向の剛性は大きな値をとる。
アダプターリング３を介して取付けられたレンズ鏡筒１
の周方向の位置変動はアダプターリング３の周方向の圧
縮あるいは引張り方向の剛性に対応しているので、この
周方向への雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄの位置、すなわちボル
ト５の位置精度は良好なものとなる。第１の実施の形態
ではアダプターリング３の周方向に均等に割り振った４
つの雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄを介してレンズ鏡筒１がアダ
プターリング３に取付けられているので、雌ねじ３６Ａ
〜３６Ｄの位置がレンズ鏡筒１の周方向についてそれぞ
れ規制されることによって、レンズ鏡筒１の位置精度は
良好なものとなる。

【００１８】例えば、図２（ａ）の雌ねじ３６Ａに注目
すれば、雌ねじ３６Ａは、ボルト４によって固定される
貫通孔３１Ａと貫通孔３１Ｄとの中間に位置している。
また雄ねじ３６Ａが形成された部位はＸ軸方向に延設さ
れた架橋部３２を介して支持されている。しかも上述の
ように雌ねじ３６Ａの部位は鏡筒支持台２から浮された
状態にあるので、鏡筒支持台２とフランジ１ａの間に挟
み込まれて移動が妨害されるということがない。このた
め、雌ねじ３６ＡはＹ軸方向については比較的容易に移
動可能とされる。

【００１９】これに対して雌ねじ３６ＡのＸ方向への移
動に対してはアダプターリング３の剛性が大きく、実質
的に雌ねじ３６ＡのＸ方向への移動が禁止される。この
ように雌ねじ３６ＡのＹ軸方向、すなわちレンズ鏡筒１
の放射方向についてはその移動が容認されているのに対
して、雌ねじ３６ＡのＸ軸方向の移動、すなわちレンズ
鏡筒１の周方向についてはその移動が禁止されている。

【００２０】雌ねじ３６Ｂ〜３６Ｄについても同様であ
る。すなわち、雌ねじ３６Ｂ〜３６Ｄのレンズ鏡筒１の
放射方向についてはその移動が容認されているのに対し
て、雌ねじ３６Ｂ〜３６Ｄのレンズ鏡筒１の周方向につ
いてはその移動が禁止されている。このように、レンズ
鏡筒１の放射方向について雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄが移動
可能とされているので、レンズ鏡筒１に印加される応力
を低減することができると同時に、レンズ鏡筒１の周方
向について雌ねじ３６Ａ〜３６Ｄが固定される結果、レ
ンズ鏡筒１の位置精度を高く維持することができる。つ
まりアダプターリング３は放射方向に柔らかく、円周方
向に硬い構造になっているので、レンズ鏡筒１の位置決
め精度を悪化させることなく、レンズ鏡筒１に加えられ
る応力を著しく低減することができる。

【００２１】第１の実施の形態では、アダプターリング
３を介してレンズ鏡筒１を鏡筒支持台２に取付けるの
で、レンズ鏡筒１および鏡筒支持台２の材質の線膨張係
数を一致させる必要がない。このため互いに異なる材質
を選択でき、設計の自由度を大きくとることができる。
また、アダプターリング３の材質を鏡筒支持台２の材質
と同一としたので、両者を一体のものとして取り扱うこ
とができ、両者間における線膨張係数の相違に起因する
問題は発生しない。

【００２２】第１の実施の形態では、アダプターリング
３の厚みは比較的小さく、しかもアダプターリング３の
外径をフランジ１ａの外径と同一としており、アダプタ
ーリング３をフランジ１ａと鏡筒支持台２との間に挟み
込むようにしている。このため、図９の従来技術１と比
較して、あたかもワッシャー１枚を追加するのと同様の
スペースの増加が必要となるに過ぎない。棒部材１０２
の端部がレンズ鏡筒の外周から突出し、煩雑な作業を要
する図１０の従来技術２に比較して装置を小型化するこ
とができる。

【００２３】アダプターリング３は一体型とされている
ので、複数の棒部材の着脱作業を要求される従来技術２
の場合のような煩雑な作業を必要とせず、製造時、メン
テナンス時の作業性が良好となる。アダプターリング３
をアセンブル部品として予め鏡筒支持台２に取付けてお
けば、後工程ではアダプターリング３は鏡筒支持台２と
一体のものとして取り扱うことができる。この場合、レ
ンズ鏡筒１をボルト５により締結すれば取付け作業が終
了するので、従来技術１と比較してとくに作業が複雑に
なることはない。なお、アダプターリング３に相当する
部分を鏡筒支持台２に相当する構成と一体に形成するこ
とも考えられるが、アダプターリング３のとくにばね構
造に相当する部分は比較的複雑な構造を有するので、第
１の実施の形態に示すように、鏡筒支持台２に相当する
部分とは別個の部材として製作するのが好ましい。アダ
プターリング３を鏡筒支持台２と別個に製作する場合に
は、複数の厚みのアダプターリング３を用意し、アダプ
ターリング３の厚みを選択することでレンズ鏡筒１の光
軸方向（鉛直方向）の位置を調整できるようにしてもよ
い。

【００２４】第１の実施の形態では、アダプターリング
３の全体的な曲げ変形とばね構造である架橋部３２の曲
げ変形の両者を利用しているが、いずれか一方の変形の
みを利用するようにしてもよい。例えば、架橋部３２の
ようなばね構造の機能のみによってレンズ鏡筒１の応力
を十分に低減できるのであれば、アダプターリング３を
フランジ１ａと鏡筒支持台２との間で強い圧力により挟
み込み、アダプターリング３の全体的な曲げ変形を期待
できないような構成としてもよい。それとは反対に、ば
ね構造をなんら設けることなく、例えばアダプターリン
グを単純なリング形状としてアダプターリングの全体的
な変形のみにより同様の機能をもたせるように構成して
もよい。

【００２５】第１の実施の形態では、３本のボルト４を
用いて鏡筒支持台２とアダプターリング３とを、３本の
ボルト５を用いてレンズ鏡筒１とアダプターリング３と
をそれぞれ締結しているが、ボルトをそれぞれ４本以上
用いてもよい。レンズ鏡筒１の応力を低減する観点から
は、固定力（締結力）を分散するためにボルトの数は多
い方が好ましい。

【００２６】−第２の実施の形態− 以下、図３を用いて本発明による鏡筒支持機構の第２の
実施の形態について説明する。なお、第１の実施の形態
と同一構成部分については同一符号を付してその説明を
省略する。

【００２７】図３に示すように、第２の実施の形態では
アダプターリング３と鏡筒支持台２との間にワッシャー
７が挟み込まれている。図３（ａ）に示すように、ワッ
シャー７にはボルト４Ａが貫通する孔７１が形成され、
ワッシャー７はボルト４Ａによってアダプターリング３
とともに鏡筒支持台２に対して共締めされる。ワッシャ
ー７の材質は鏡筒支持台２の材質と同一とされ、両者の
線膨張係数を合致させることにより締結による一体化を
図っている。ワッシャー７として複数種類の厚みのもの
が用意され、ワッシャー７の厚みを選択することによっ
てレンズ鏡筒１の光軸Ｌ方向の位置を調整することがで
きる。これにより半導体露光装置の製造誤差を補正する
ことができる。

【００２８】−第３の実施の形態− 以下、図４および図５を用いて本発明による鏡筒支持機
構の第３の実施の形態について説明する。なお、第１の
実施の形態と同一構成部分については同一符号を付して
その説明を省略する。

【００２９】第１の実施の形態では、アダプターリング
３にばね構成としての架橋部３２を形成しているが、架
橋部３２は光軸Ｌの方向（鉛直方向）の剛性が低く、こ
の方向に容易に曲げ変形する。半導体露光装置では光軸
Ｌが鉛直方向に向くようにレンズ鏡筒１を設置するた
め、設置後は重力によりレンズ鏡筒１が固定されレンズ
鏡筒１が浮き上がることはない。しかし、装置の輸送時
等には装置全体に１Ｇを越える上向きの重力加速度が加
わり、レンズ鏡筒１が上方に持上がる可能性がある。

【００３０】図４および図５に示すように、第３の実施
の形態では、レンズ鏡筒１のフランジ１ａの４ヵ所にお
いて光軸方向の移動を制限するメカニカルリミッター８
を設けており、これによりレンズ鏡筒１の移動を制限し
ている。第３の実施の形態ではレンズ鏡筒１とアダプタ
ーリング３Ａとを締結するボルト５、およびアダプター
リング３Ａと鏡筒支持台２とを締結するボルト（不図
示；第１の実施の形態におけるボルト４に相当）は第１
の実施の形態と同様の位置にある。ボルト５の位置をア
ダプターリング３Ａの０度，９０度，１８０度，２７０
度の角度に対応する位置とし、ボルト４に相当するボル
トの位置をアダプターリング３Ａの４５度，１３５度，
２２５度，３１５度の角度に対応する位置とするとき、
メカニカルリミット８はアダプターリング３Ａの３０
度，１２０度，２１０度，３００度の角度に対応する位
置に設定されている。

【００３１】図５に示すように、メカニカルリミッター
８はフランジ１ａの貫通孔１ｂおよびアダプターリング
３の貫通孔３９を貫通し鏡筒支持台２に螺合するスタッ
ドボルト８１と、スタッドボルト８１に取付けられたキ
ャップ８３と、キャップ８３の上方への移動を規制する
ナット８２とからなる。図５に示すように、キャップ８
３の上下方向の移動はフランジ１ａおよびナット８２に
より規制され、その移動代は図５の符号８４により示さ
れる。図５から分かるように、移動代８４はレンズ鏡筒
１が上方向に移動可能とされる移動代に対応している。

【００３２】移動代８４はキャップ８３とフランジ１ａ
の間に移動代８４に相当する厚みのスペーサー（例えば
０．１ｍｍ厚）を介してナット８２を締め付けた後、ス
ペーサーを引き抜くことにより確保できる。レンズ鏡筒
１の輸送中の振動による加速度がレンズ鏡筒１内の投影
光学系に損傷を与えないようにする観点からは、移動代
８４は小さな値とするのが好ましい。しかし、移動代８
４を極めて小さな値に設定しようとしてもその値の判断
が難しく実現が困難である。また移動代８４を小さく設
定すると、スタッドボルト８１とフランジ１ａの線膨張
係数の相違に起因してメカニカルリミッター８による締
め付けが発生するおそれがある。したがって最低限、締
め付けが発生しない範囲内で移動代８４を設定する必要
がある。

【００３３】このように、第３の実施の形態では、メカ
ニカルリミッター８によってレンズ鏡筒１の移動を制限
しているので、装置の輸送時等にレンズ鏡筒１に対して
大きな衝撃力が印加されることがなく、投影光学系の損
傷を防止することができる。

【００３４】以上、本発明による鏡筒支持機構の例示と
して、第１〜第３の実施の形態について説明したが、ア
ダプターリングに形成されるばね構造の有無、メカニカ
ルリミッターの有無、あるいはレンズ鏡筒の光軸方向の
位置を調整するワッシャーの有無等については任意の組
合せが選択でき、第１〜第３の実施の形態に示す組合せ
に限定されない。

【００３５】また、リング状のアダプターリングに代え
て種々の形状の一体型のアダプターを用いることができ
る。その形状を問わず、一体型のアダプターを使用する
ことにより、従来技術２のような煩雑な着脱作業が不要
となる。例えば、図６（ａ）に示すように正方形の各辺
に即した４つの棒片を一体に固着した一体のアダプター
３Ｂを使用してもよい。図６（ａ）および図６（ｂ）に
示すように、アダプター３Ｂは正方形の頂点部分におい
てボルト４Ｂを用いて鏡筒支持台２に締結され、レンズ
鏡筒１のフランジ１ａはボルト５Ａを用いてアダプター
３Ｂの正方形の各辺の中央に締結される。この場合、ア
ダプター３Ｂの曲げ変形によりレンズ鏡筒１の応力を緩
和することができる。締結力（固定力）をさらに分散さ
せるため、５角形以上の多角形形状に即した棒片を互い
に固着してなるアダプターを採用してもよい。

【００３６】−第４の実施の形態− 以下、図７（ａ），（ｂ）および図８（ａ），（ｂ）を
用いて本発明による鏡筒支持機構の第４の実施の形態に
ついて説明する。なお、第１の実施の形態と同一構成部
分については同一符号を付してその説明を省略する。

【００３７】図７（ａ），（ｂ）はアダプターリング３
Ａを示す図であり、図２と同様な箇所には同一の符号を
付して相違点を主に説明する。アダプターリング３Ａは
鏡筒１と同じ材質で作製される。アダプターリング３Ａ
の架橋部３２が形成されている熱変形吸収領域には、雌
ねじ３６Ａ〜３６Ｄに代えて貫通孔３６Ａ’〜３６Ｄ’
が形成され、貫通孔３６Ａ’〜３６Ｄ’の上部にはボル
ト頭部を収容するザグリ孔１３６Ａ〜１３６Ｄが形成さ
れている。また、貫通孔３６Ａ’〜３６Ｄ’の周方向の
間には、貫通孔３１Ａ〜３１Ｄに代えて雌ねじ３１Ａ’
〜３１Ｄ’が形成されている。

【００３８】第１の実施の形態では、アダプタリング３
を鏡筒支持台２に対してボルト４で緊締し、両者が相対
変位しないようにするとともに、鏡筒１とアダプタリン
グ３とを放射方向に相対移動可能にした。第４の実施の
形態では、図８（ａ）および（ｂ）に示すように、アダ
プターリング３Ａを鏡筒１に対してボルト５Ａで緊締し
て両者が相対変位しないようにするとともに、アダプタ
ーリング３Ａを架橋部３２を介してボルト４Ａで鏡筒支
持台２に連結して両者を放射方向に相対移動可能にして
いる。

【００３９】図８（ａ）および（ｂ）において、フラン
ジ１ａを貫通するボルト５Ａがアダプターリング３Ａの
雌ねじ３１Ａ’〜３１Ｄ’に螺合されて鏡筒１とアダプ
ターリング３Ａとが締結される。アダプターリング３Ａ
のボルト貫通孔３６Ａ’〜３６Ｄ’にボルト４Ａが貫通
されて鏡筒支持台２の雌ねじに螺合され、これにより、
アダプターリング３Ａと鏡筒支持台２とが放射方向（半
径方向）に相対的に微動可能に連結される。

【００４０】すなわち、鏡筒１が熱変形により放射方向
に膨張もしくは収縮した場合、アダプターリング３Ａも
鏡筒１と同様に放射方向に膨張もしくは収縮してボルト
４Ａが放射方向（半径方向）に移動しようとする。しか
し、ボルト４Ａは鏡筒支持台２に螺合されているので架
橋部３２が放射方向に変形して、鏡筒１と鏡筒支持台２
との間の相対変位が吸収される。

【００４１】なお、この第４の実施の形態においても第
１〜第３の実施の形態と同様に種々の変形が可能であ
る。

【００４２】

【発明の効果】

（１）請求項１および２に記載の発明によれば、鏡筒が
光軸方向に貫通する貫通孔と、貫通孔に貫通された鏡筒
に対して取付けられる鏡筒取付部と、鏡筒支持台に対し
て取付けられる支持台取付部とが形成された一体のアダ
プターの変形により鏡筒の放射方向の応力を緩和できる
ようにしたので、スペース効率が高く、良好な作業性を
確保できる。 （２）請求項３に記載の発明によれば、アダプターの支
持台取付部にはボルトが貫通する取付貫通孔が形成さ
れ、取付貫通孔を貫通するボルトを鏡筒支持台に螺進さ
せることによりアダプターと鏡筒支持台とを締結するの
で、鏡筒の着脱作業を容易なものとすることができる。 （３）請求項５に記載の発明によれば、アダプターの鏡
筒取付部には雌ねじが形成され、フランジを貫通させた
ボルトを雌ねじに螺進させることによりアダプターと鏡
筒とを締結するので、鏡筒の着脱作業を容易なものとす
ることができる。 （４）請求項６に記載の発明によれば、アダプターは鏡
筒支持台と同一の線膨張係数の材質からなるので、アダ
プターと鏡筒支持台とを一体のものとして取り扱うこと
ができる。 （５）請求項７に記載の発明によれば、アダプターは鏡
筒と同一の線膨張係数の材質からなるので、アダプター
と鏡筒とを一体のものとして取り扱うことができる。 （６）請求項９に記載の発明によれば、鏡筒取付部およ
び支持台取付部はアダプターの周方向に対して均等に配
置されているので、鏡筒に加えられる応力を効率的に緩
和することができる。 （７）請求項１０に記載の発明によれば、アダプターの
変形に伴う鏡筒の光軸方向の移動を制限する制限機構を
設けたので、輸送時等における鏡筒への損傷を防止する
ことができる。 （８）請求項１１に記載の発明によれば、鏡筒と鏡筒支
持台との間に鏡筒の光軸方向の位置を調整するワッシャ
ーをアダプターとともに介装するので、鏡筒の位置調整
を容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態の鏡筒支持機構を示す図であ
り、（ａ）は（ｂ）のＩａ−Ｉａ線方向から見た図、
（ｂ）は（ａ）のＩｂ−Ｉｂ線における断面図。

【図２】アダプターリングを示す図であり、（ａ）は図
１（ａ）の拡大図、（ｂ）は（ａ）のIIｂ−IIｂ線にお
ける断面図。

【図３】第２の実施の形態の鏡筒支持機構を示す図であ
り、（ａ）は（ｂ）のIIIａ−IIIａ線方向から見た図、
（ｂ）は（ａ）のIIIｂ−IIIｂ線における断面図。

【図４】第３の実施の形態の鏡筒支持機構を示す図であ
り、（ａ）は（ｂ）のIVａ−IVａ線方向から見た図、
（ｂ）は（ａ）のIVｂ−IVｂ線における断面図。

【図５】図４（ｂ）のＡ部分を示す拡大図。

【図６】４つの棒片を固着してなるアダプターを用いた
変形例を示す図であり、（ａ）は（ｂ）のVIａ−VIａ線
方向から見た図、（ｂ）は（ａ）のVIｂ−VIｂ線におけ
る断面図。

【図７】第４の実施の形態のアダプターリングを示す図
であり、（ａ）は図８（ａ）の拡大図、（ｂ）は（ａ）
のＶIIIｂ−ＶIIIｂ線における断面図。

【図８】第４の実施の形態の鏡筒支持機構を示す図であ
り、（ａ）は（ｂ）のＶIIａ−ＶIIａ線方向から見た
図、（ｂ）は（ａ）のＶIIｂ−ＶIIｂ線における断面
図。

【図９】従来の鏡筒支持機構（従来技術１）を示す図で
あり、（ａ）は（ｂ）のIＸａ−IＸａ線方向から見た
図、（ｂ）は（ａ）のIＸｂ−IＸｂ線における断面図。

【図１０】従来の鏡筒支持機構（従来技術２）を示す図
であり、（ａ）は（ｂ）のＸａ−Ｘａ線方向から見た
図、（ｂ）は（ａ）のＸｂ−Ｘｂ線における断面図。

【符号の説明】

１ レンズ鏡筒 １ａ フランジ ２ 鏡筒支持台 ３，３Ａ アダプターリング ４，４Ａ ボルト ５，５Ａ ボルト ７ ワッシャー ８ メカニカルリミッター ３０ 貫通孔 ３１Ａ〜３１Ｄ 貫通孔 ３１Ａ’〜３１Ｄ’ 雌ねじ ３２ 架橋部 ３６Ａ〜３６Ｄ 雌ねじ ３６Ａ’〜３６Ｄ’ 貫通孔

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 鏡筒を鏡筒支持台に取付ける鏡筒支持機
   構において、 前記鏡筒と前記鏡筒支持台との間に介装される一体に形
   成されたアダプターを備え、 前記アダプターには、前記鏡筒が光軸方向に貫通する貫
   通孔と、前記貫通孔に貫通された前記鏡筒に対して取付
   けられる鏡筒取付部と、前記鏡筒支持台に対して取付け
   られる支持台取付部とが形成され、 前記鏡筒取付部と前記支持台取付部とが互いに前記鏡筒
   の周方向に離れて配置され、前記鏡筒支持台から前記鏡
   筒に加えられる前記鏡筒の放射方向の応力に対して前記
   アダプターのすくなくとも一部が前記放射方向に微動可
   能とすることを特徴とする鏡筒支持機構。
2. 【請求項２】 前記鏡筒取付部と前記支持台取付部との
   すくなくとも一方にばね構造が形成されていることを特
   徴とする請求項１に記載の鏡筒支持機構。
3. 【請求項３】 前記アダプターの前記支持台取付部には
   ボルトが貫通する取付貫通孔が形成され、前記取付貫通
   孔を貫通する前記ボルトを前記鏡筒支持台に螺進させる
   ことにより前記アダプターと前記鏡筒支持台とを締結す
   るようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載
   の鏡筒支持機構。
4. 【請求項４】 前記鏡筒の外周部には前記鏡筒の外周方
   向に突出したフランジが形成され、前記アダプターが前
   記フランジに取付けられることを特徴とする請求項１〜
   ３のいずれか１項に記載の鏡筒支持機構。
5. 【請求項５】 前記アダプターの前記鏡筒取付部には雌
   ねじが形成され、前記フランジを貫通させたボルトを前
   記雌ねじに螺進させることにより前記アダプターと前記
   鏡筒とを締結するようにしたことを特徴とする請求項４
   に記載の鏡筒支持機構。
6. 【請求項６】 前記アダプターは前記鏡筒支持台と同一
   の線膨張係数の材質からなることを特徴とする請求項１
   〜５のいずれか１項に記載の鏡筒支持機構。
7. 【請求項７】 前記アダプターは前記鏡筒と同一の線膨
   張係数の材質からなり、前記鏡筒の外周部には前記鏡筒
   の外周方向に突出したフランジが形成され、前記アダプ
   ターの前記鏡筒取付部にはボルトが螺合する雌ねじが形
   成され、前記フランジを貫通するボルトを前記鏡筒取付
   部の前記雌ねじに螺進させることにより前記アダプター
   と前記鏡筒とを締結し、前記アダプターの前記支持台取
   付部には前記ばね構造が形成されるとともにボルトが貫
   通する取付貫通孔が形成され、前記取付貫通孔を貫通す
   る前記ボルトを前記鏡筒支持台に螺進させることにより
   前記アダプターと前記鏡筒支持台とを放射方向に微動可
   能に締結したことを特徴とする請求項２に記載の鏡筒支
   持機構。
8. 【請求項８】 前記鏡筒取付部および前記支持台取付部
   は前記アダプターのそれぞれ３ヵ所以上に設けられてい
   ることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載
   の鏡筒支持機構。
9. 【請求項９】 前記鏡筒取付部および前記支持台取付部
   は前記アダプターの周方向に対して均等に配置されてい
   ることを特徴とする請求項８に記載の鏡筒支持機構。
10. 【請求項１０】 前記アダプターの変形に伴う前記鏡筒
    の光軸方向の移動を制限する制限機構を設けたことを特
    徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の鏡筒支持
    機構。
11. 【請求項１１】 前記鏡筒と前記鏡筒支持台との間に前
    記鏡筒の光軸方向の位置を調整するワッシャーを前記ア
    ダプターとともに介装することを特徴とする請求項１〜
    １０のいずれか１項に記載の鏡筒支持機構。