JP4934131B2 - 光学要素の支持装置 - Google Patents
光学要素の支持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4934131B2 JP4934131B2 JP2008518735A JP2008518735A JP4934131B2 JP 4934131 B2 JP4934131 B2 JP 4934131B2 JP 2008518735 A JP2008518735 A JP 2008518735A JP 2008518735 A JP2008518735 A JP 2008518735A JP 4934131 B2 JP4934131 B2 JP 4934131B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- force
- elastic
- optical
- load
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/004—Manual alignment, e.g. micromanipulators
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/023—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses permitting adjustment
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
Description
Claims (23)
- 外周領域を有している光学要素(18,21)を、特にレンズまたはミラーを、光学要素(18,21)の外周領域に配置されている少なくとも3つの被支持部位(17)を介して担持体(6)に対し相対的に支持するための装置において、
光学要素(18,21)が被支持部位(17)を介して少なくとも1つの方向で伸縮性弾性要素(14,15,16)による荷重に基づく接触により保持され、
各被支持部位(17)ごとに伸縮性弾性要素が担持体本体(2)を備えた支持装置(1)内にあり、
支持装置(1)が光学要素を担持体(6)で静力学的に保持し、
被支持部位(17)にそれぞれ少なくとも2つのカップリング部位が設けられ、そのカップリング部位に対し、担持体本体(2)で光学要素(18,21)を保持するためのそれぞれ2つの保持力が作用し、
カップリング部位を介してそれぞれ1つのスラスト力(F 1 ,F 3 ,F 5 )と1つの接線方向の力(F 2 ,F 4 ,F 6 )の双方が光学要素(18,21)に作用する
ことを特徴とする装置。 - 光学要素(18,21)が伸縮性弾性要素(14,15,16)によってもたらされる最小力による荷重に基づく接触保持方向において保持されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 光学要素(18,21)が軸線方向および/または接線方向において荷重に基づく接触により保持されることを特徴とする、上記請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 光学要素(18,21)に、被支持部位(17)を形成する突起(17)が配置されていることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の装置。
- 被支持部位(17)が光学要素(18,21)自身により形成されていることを特徴とする上記請求項のいずれか1項に記載の装置。
- カップリング部位において、それぞれ1つのスラスト力と、光学要素(18,21)の光軸に対し垂直な方向に指向するそれぞれ1つの力とが前記光学要素(18,21)に作用し、任意の方向に指向する前記力はただ1つの点で交わらない作用線を持っていることを特徴とする請求項1から5までのいずれか1項に記載の装置。
- 被支持部位(17)がもっぱら荷重に基づく接触により保持されることを特徴とする請求項1から6までのいずれか1項に記載の装置。
- 弾性要素が担持体本体(2)により少なくとも部分的に取り囲まれていることを特徴とする請求項1から7までのいずれか1項に記載の装置。
- 弾性要素が予め緊張せしめられる圧縮ばね(24,25,26;31,33,34;35,36)によって形成されることを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 圧縮ばね(24,25,26;31,33,34;35,36)が突起(17)を軸線方向と接線方向において保持していることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 接線方向に1つまたは2つの圧縮ばね(24,25;33,34;36)が配置されていること、軸線方向に1つまたは2つの圧縮ばね(26;31;35)が配置されていることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 圧縮ばね(24,25,26;31,33,34;35,36)が光学要素(18,21)の搬送時に生じるショック荷重を吸収することができる限りにおいてのみ予め緊張せしめられていることを特徴とする請求項9から11までのいずれか1項に記載の装置。
- 圧縮ばね(24,25,26;31,33,34;35,36)が支持装置(1)の担持体本体(2)内に配置され、担持体本体(2)がモノリシックソリッドリンク(7)によって保持されることを特徴とする請求項9から12までのいずれか1項に記載の装置。
- 前記ソリッドリンクが2つのロッドまたは足部(4,5)を用いたバイポッドとして構成されていることを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 被支持部位(17)に、または、光学要素(18,21)自身に、特にそのエッジ領域に、軸線方向および/または接線方向および/または半径方向の切欠きまたは溝が支持装置(1)の伸縮性弾性要素との結合のために形成されていることを特徴とする請求項1から14までのいずれか1項に記載の装置。
- 圧縮ばねが前記切欠きまたは溝によって受容されることを特徴とする請求項15に記載の装置。
- 被支持部位(17)が弾性要素を介して、特に圧縮ばねを介して、支持装置に属するクランプ(51)で保持されることを特徴とする請求項15または16に記載の装置。
- 光学要素(18,21)が圧電型または電磁型駆動手段により、特にローレンツアクチュエータにより、少なくとも1つの自由度で位置調整可能であり、前記駆動手段は支持装置(1)の内部および/または支持装置(1)と担持体(6)との間および/または光学要素(18,21)と支持装置(1)との間に配置されていることを特徴とする請求項1から17までのいずれか1項に記載の装置。
- 請求項1から18までのいずれか1項に記載の2つの装置から成る設備において、前記2つの装置の光学要素(18,21)が、複数個の支持装置(1)を交互に吊り下げ配置および立設配置することにより、ただ1つの担持体(6)に、特に支持リングに配置されていることを特徴とする設備。
- 外周領域を有し、前記外周領域に配置される少なくとも3つの被支持部位を有する光学要素と、
前記被支持部位それぞれに対して設けられ、少なくとも1つが担持本体を有する支持装置と、
少なくとも1つの前記支持装置の前記担持本体内に配置される伸縮性弾性要素と、
前記支持装置それぞれを支持する担持体とを備え、
少なくとも1つの前記支持装置において、前記伸縮性弾性要素を用いた荷重に基づく接触によって、向合う2方向から前記光学要素が保持される
ことを特徴とする装置。 - 前記支持装置は、前記担持体で静力学的に前記光学要素を保持することを特徴とする請求項20に記載の装置。
- 前記伸縮性弾性要素は、前記光学要素に対して第1接線方向および前記第1の接線方向と向合う第2の接線方向から荷重に基づく接触によって、前記光学要素を保持することを特徴とする請求項20に記載の装置。
- 前記伸縮性弾性要素は、前記光学要素の光軸に対して平行な軸線方向に、荷重に基づく接触によって、前記光学要素を保持することを特徴とする請求項22に記載の装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US69643205P | 2005-07-01 | 2005-07-01 | |
US60/696,432 | 2005-07-01 | ||
PCT/EP2006/006353 WO2007017013A2 (de) | 2005-07-01 | 2006-06-30 | Anordnung zur lagerung eines optischen bauelements |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008545152A JP2008545152A (ja) | 2008-12-11 |
JP2008545152A5 JP2008545152A5 (ja) | 2012-01-12 |
JP4934131B2 true JP4934131B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=37592570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008518735A Active JP4934131B2 (ja) | 2005-07-01 | 2006-06-30 | 光学要素の支持装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20080144199A1 (ja) |
EP (1) | EP1899756A2 (ja) |
JP (1) | JP4934131B2 (ja) |
WO (1) | WO2007017013A2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009024192A1 (en) | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical element module with minimized parasitic loads |
DE102007047109A1 (de) | 2007-10-01 | 2009-04-09 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches System, insbesondere Projektionsobjektiv der Mikrolithographie |
DE102007063305A1 (de) * | 2007-12-27 | 2009-07-02 | Carl Zeiss Smt Ag | Optische Einrichtung mit einer Federeinrichtung mit einem Bereich konstanter Federkraft |
US8036502B2 (en) * | 2008-04-17 | 2011-10-11 | Jds Uniphase Corporation | Stress free mounting of optical bench for WSS |
DE102008036574A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-04 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Vorrichtung zum Lagern eines optischen Elements |
DE102009037133B4 (de) | 2009-07-31 | 2013-01-31 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Haltevorrichtung für ein optisches Element |
DE102009037135B4 (de) | 2009-07-31 | 2013-07-04 | Carl Zeiss Laser Optics Gmbh | Haltevorrichtung für ein optisches Element |
DE102010028941B4 (de) * | 2010-05-12 | 2012-03-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Vorrichtung für eine optische Anordnung und Verfahren zum Positionieren eines optischen Elements einer optischen Anordnung |
WO2012041462A2 (en) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Systems for aligning an optical element and method therefor |
US9314980B2 (en) * | 2013-03-19 | 2016-04-19 | Goodrich Corporation | High correctability deformable mirror |
JP5848470B2 (ja) * | 2015-02-05 | 2016-01-27 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 寄生負荷最小化光学素子モジュール |
US11056803B2 (en) * | 2017-09-12 | 2021-07-06 | Lumentum Operations Llc | Spring clamp for optics |
DE102021200131A1 (de) | 2021-01-11 | 2022-07-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Baugruppe mit einem Entkopplungsgelenk zur mechanischen Lagerung eines Elements |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001074991A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Nikon Corp | 分散支持体および半径方向屈曲部を備えた運動学的レンズ取付機構及びレンズを保持するための構造体の組立方法 |
JP2002350699A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-12-04 | Carl Zeiss Semiconductor Manufacturing Technologies Ag | 光学部材を光学システムに取り付けるための装置 |
JP2003241049A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-08-27 | Nikon Corp | 光学素子保持方法、光学素子研磨加工方法及び光学素子成膜方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2937571A (en) * | 1957-10-08 | 1960-05-24 | Ernest B Thompson | Optical lens mount |
US4268123A (en) * | 1979-02-26 | 1981-05-19 | Hughes Aircraft Company | Kinematic mount |
US4929054A (en) * | 1986-04-28 | 1990-05-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Mounting for high resolution projection lenses |
US5428482A (en) * | 1991-11-04 | 1995-06-27 | General Signal Corporation | Decoupled mount for optical element and stacked annuli assembly |
DE19825716A1 (de) | 1998-06-09 | 1999-12-16 | Zeiss Carl Fa | Baugruppe aus optischem Element und Fassung |
DE19957398A1 (de) | 1999-11-29 | 2001-05-31 | Zeiss Carl | Verfahren zum Richten der Auflageflächen von Auflagegliedern für optische Elemente |
JP2002048962A (ja) * | 2000-06-17 | 2002-02-15 | Carl-Zeiss-Stiftung Trading As Carl Zeiss | 光学素子装着装置 |
US6400516B1 (en) * | 2000-08-10 | 2002-06-04 | Nikon Corporation | Kinematic optical mounting |
EP1312965B1 (en) * | 2000-08-18 | 2007-01-17 | Nikon Corporation | Optical element holding device |
CN1471650A (zh) * | 2000-08-25 | 2004-01-28 | ������������ʽ���� | 光学元件固定装置 |
US6873478B2 (en) | 2002-06-21 | 2005-03-29 | Nikon Corporation | Kinematic lens mount with reduced clamping force |
JP4565261B2 (ja) * | 2002-06-24 | 2010-10-20 | 株式会社ニコン | 光学素子保持機構、光学系鏡筒及び露光装置 |
-
2006
- 2006-06-30 EP EP06805630A patent/EP1899756A2/de not_active Withdrawn
- 2006-06-30 JP JP2008518735A patent/JP4934131B2/ja active Active
- 2006-06-30 WO PCT/EP2006/006353 patent/WO2007017013A2/de not_active Application Discontinuation
-
2007
- 2007-12-19 US US11/959,914 patent/US20080144199A1/en not_active Abandoned
-
2009
- 2009-07-21 US US12/506,450 patent/US7920344B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001074991A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Nikon Corp | 分散支持体および半径方向屈曲部を備えた運動学的レンズ取付機構及びレンズを保持するための構造体の組立方法 |
JP2002350699A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-12-04 | Carl Zeiss Semiconductor Manufacturing Technologies Ag | 光学部材を光学システムに取り付けるための装置 |
JP2003241049A (ja) * | 2002-02-22 | 2003-08-27 | Nikon Corp | 光学素子保持方法、光学素子研磨加工方法及び光学素子成膜方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090284849A1 (en) | 2009-11-19 |
EP1899756A2 (de) | 2008-03-19 |
WO2007017013A3 (de) | 2008-05-02 |
WO2007017013A2 (de) | 2007-02-15 |
US7920344B2 (en) | 2011-04-05 |
US20080144199A1 (en) | 2008-06-19 |
JP2008545152A (ja) | 2008-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4934131B2 (ja) | 光学要素の支持装置 | |
JP2008545152A5 (ja) | ||
US6859337B2 (en) | Optical-element mountings exhibiting reduced deformation of optical elements held thereby | |
JP4622058B2 (ja) | 分散支持体および半径方向屈曲部を備えた運動学的レンズ取付機構及びレンズを保持するための構造体の組立方法 | |
US9513452B2 (en) | Damping device | |
JP3493682B2 (ja) | 鏡筒支持装置及び露光装置 | |
JP5199068B2 (ja) | 光学エレメント調整組立体 | |
KR102110789B1 (ko) | 측면 수직 거울 군 및 이의 설치 방법 | |
US7859641B2 (en) | Optical element module | |
US8416386B2 (en) | Conforming seats for clamps used in mounting an optical element, and optical systems comprising same | |
US20080024885A1 (en) | Acceleration Clamp Assist | |
KR102501002B1 (ko) | 운송 잠금 장치를 갖는 광학 장치, 특히 리소그래피 시스템 | |
US6536736B2 (en) | Optomechanical mount for precisely steering/positioning a light beam | |
USRE46564E1 (en) | Kinematic optical device mount | |
US20210389681A1 (en) | Actuator device and method for aligning an optical element, optical assembly and projection exposure apparatus | |
US10775615B2 (en) | Device for variably influencing the wavefront of a beam, said device comprising a planar optical element deformable via its peripheral surface | |
JP2006319047A (ja) | 微動装置及び光学素子調整装置 | |
CN107422608B (zh) | 保持装置、光刻设备和制品制造方法 | |
KR20220007052A (ko) | 광학 요소 지지 | |
MXPA06010211A (en) | Video processor alignment clamping spring | |
JP2004170491A (ja) | 光学装置 | |
JP2003075697A (ja) | 光学機械式システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080919 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080919 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090309 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110817 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110818 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110824 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110825 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20111117 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4934131 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |