JP2001074991A - 分散支持体および半径方向屈曲部を備えた運動学的レンズ取付機構及びレンズを保持するための構造体の組立方法 - Google Patents
分散支持体および半径方向屈曲部を備えた運動学的レンズ取付機構及びレンズを保持するための構造体の組立方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レンズの歪が最小限になるようにレンズをセ
ル内に取り付けるレンズ取り付け構造体を提供する。 【解決手段】 レンズを取り付けるための構造体が、レ
ンズ１０を保持するレンズセル２０と、半径方向屈曲マ
ウント２２と１組のソフトマウント３８とを含む。半径
方向屈曲マウント２２は、重力または振動によるねじり
モーメントが屈曲マウントにもたらされることを防止す
る受座３４と、該マウントの両端から延在する１組の屈
曲部２８、３０を含む。屈曲部２８、３０は、温度変化
によりレンズがセルに対して半径方向に伸張または収縮
することを許容する。ソフトマウント３８は、レンズを
過度に拘束せずに重力荷重を分散するためのばね部材を
含む。
ル内に取り付けるレンズ取り付け構造体を提供する。 【解決手段】 レンズを取り付けるための構造体が、レ
ンズ１０を保持するレンズセル２０と、半径方向屈曲マ
ウント２２と１組のソフトマウント３８とを含む。半径
方向屈曲マウント２２は、重力または振動によるねじり
モーメントが屈曲マウントにもたらされることを防止す
る受座３４と、該マウントの両端から延在する１組の屈
曲部２８、３０を含む。屈曲部２８、３０は、温度変化
によりレンズがセルに対して半径方向に伸張または収縮
することを許容する。ソフトマウント３８は、レンズを
過度に拘束せずに重力荷重を分散するためのばね部材を
含む。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は、レンズ取付構造体に関
し、特に、重力および温度因子によるレンズの歪み（デ
ィストーション）を最小限にするための、レンズ周囲に
準運動学的に分散されたレンズ取付組立体に関する。
し、特に、重力および温度因子によるレンズの歪み（デ
ィストーション）を最小限にするための、レンズ周囲に
準運動学的に分散されたレンズ取付組立体に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】光学レ
ンズシステムの設計者は、多くの用途のための、例え
ば、半導体装置を製造するための半導体リソグラフィー
に用られる、より強力でより正確な、そしてそれゆえに
より精巧なシステムを発展させている。これらのレンズ
システムは、非常に精密でなければならず、また、シス
テムを組立、保存および搬送する間の、そしてさらに、
レンズシステムを動作する間の、温度変化と、個々のレ
ンズおよびレンズ組立体の両方にかかる重力の作用とに
よる個々のレンズの歪みを最小限にしなければならな
い。
ンズシステムの設計者は、多くの用途のための、例え
ば、半導体装置を製造するための半導体リソグラフィー
に用られる、より強力でより正確な、そしてそれゆえに
より精巧なシステムを発展させている。これらのレンズ
システムは、非常に精密でなければならず、また、シス
テムを組立、保存および搬送する間の、そしてさらに、
レンズシステムを動作する間の、温度変化と、個々のレ
ンズおよびレンズ組立体の両方にかかる重力の作用とに
よる個々のレンズの歪みを最小限にしなければならな
い。
【０００３】各レンズは、典型的にはレンズセルに取り
付けられる。レンズセルは、個々のレンズを均一に支持
し、かつ、システムの組立中に生じる機械的な問題と、
温度変化により生じることがある機械的な問題とを最小
限にするように設計されている。一般に、各レンズは、
レンズを環状に支持する独立したレンズセルに取り付け
られる。レンズは様々な方法で取り付けられることがで
き、例えば、クランプ、クリップ、ねじなどの機械的要
素を、単独でまたは組み合わせて、あるいは保持リング
もしくはエポキシなどの接着剤を用いることにより取り
付けられることができる。取り付け要素により生じる応
力、重力、そして特に、温度変化によるレンズ及びセル
の伸張および収縮により生じる応力および歪みは、光学
特性と、それによりレンズシステムの動作とに重大な影
響を与えることになる。
付けられる。レンズセルは、個々のレンズを均一に支持
し、かつ、システムの組立中に生じる機械的な問題と、
温度変化により生じることがある機械的な問題とを最小
限にするように設計されている。一般に、各レンズは、
レンズを環状に支持する独立したレンズセルに取り付け
られる。レンズは様々な方法で取り付けられることがで
き、例えば、クランプ、クリップ、ねじなどの機械的要
素を、単独でまたは組み合わせて、あるいは保持リング
もしくはエポキシなどの接着剤を用いることにより取り
付けられることができる。取り付け要素により生じる応
力、重力、そして特に、温度変化によるレンズ及びセル
の伸張および収縮により生じる応力および歪みは、光学
特性と、それによりレンズシステムの動作とに重大な影
響を与えることになる。
【０００４】これらの望ましくない影響は、レンズシス
テムを形成するために複数のレンズセルを互いに積み重
ねて載置することにより増幅される。１０〜２０の個々
のセルを含むことができるレンズセルが、一般にレンズ
バレル（鏡筒）組立体中で、一体的に組み合わされる。
組立体は、レンズの各々を正確に位置合わせおよび位置
決めし、かつ軸方向および半径方向の両方において厳密
な許容差範囲内で適切な光学的位置合わせを維持しなけ
ればならない。レンズを個々にセル内に取り付けて、次
いで個々のレンズの光学面への影響を最小限にしつつ、
セルをレンズシステムに正確に組み付けることができる
ことが好ましい。
テムを形成するために複数のレンズセルを互いに積み重
ねて載置することにより増幅される。１０〜２０の個々
のセルを含むことができるレンズセルが、一般にレンズ
バレル（鏡筒）組立体中で、一体的に組み合わされる。
組立体は、レンズの各々を正確に位置合わせおよび位置
決めし、かつ軸方向および半径方向の両方において厳密
な許容差範囲内で適切な光学的位置合わせを維持しなけ
ればならない。レンズを個々にセル内に取り付けて、次
いで個々のレンズの光学面への影響を最小限にしつつ、
セルをレンズシステムに正確に組み付けることができる
ことが好ましい。
【０００５】先に述べたように、半導体リソグラフィ装
置において用いられる個々のレンズおよびレンズ取付構
造体に対する応力および歪みを最小限にすることが特に
望ましい。かかる装置は、集積回路における極めて小さ
い特徴寸法の構造体をフォトリソグラフィにより形成す
るために用いられる。これらの特徴寸法は１ミクロン未
満にまで縮小され続けて、現在は、一般に、数分の１ミ
クロンである。したがって、これらのレンズシステムの
レンズにおいては、非常に小さい歪みでさえも、かかる
精密な用途における重大な精度／位置合わせの問題をも
たらすことになる。
置において用いられる個々のレンズおよびレンズ取付構
造体に対する応力および歪みを最小限にすることが特に
望ましい。かかる装置は、集積回路における極めて小さ
い特徴寸法の構造体をフォトリソグラフィにより形成す
るために用いられる。これらの特徴寸法は１ミクロン未
満にまで縮小され続けて、現在は、一般に、数分の１ミ
クロンである。したがって、これらのレンズシステムの
レンズにおいては、非常に小さい歪みでさえも、かかる
精密な用途における重大な精度／位置合わせの問題をも
たらすことになる。
【０００６】レンズをレンズセル内に取り付け次いでレ
ンズバレル組立体に組み込むための構造体の例が、バサ
イヒ(Bacihi)に付与された米国特許第４，７３３，９４
５号に開示されている。バサイヒは、レンズをセルに、
セル内に形成されたカンチレバータイプの屈曲部の上に
配置された３つの受座地点にて接着している。セルおよ
びレンズは温度変化によって互いに伸張および収縮する
ため、カンチレバー屈曲部は、曲がるようにされてお
り、それによりレンズが機械的応力により歪曲しない。
しかし、ある用途に関しては、バサイヒの構造体は幾つ
かの欠点を有する。第１に、バサイヒのレンズは、セル
により、セル周上の３つの位置にて載置（マウント）お
よび支持されているため、レンズが重力によりマウント
地点間で撓むことがある。撓みの問題は、バサイヒの構
造体にさらなる受座を追加することにより解決され得る
であろうが、このような受座を追加することにより、そ
れに付随する問題が生じ得る。例えば、さらなる受座を
追加することは、光学軸方向においてレンズを過度に拘
束することになり得る。また、機械加工が不完全である
ことより、レンズ受座が同一平面上にないことがあり、
これが、また機械的応力およびレンズの歪曲をもたらす
ことがある。
ンズバレル組立体に組み込むための構造体の例が、バサ
イヒ(Bacihi)に付与された米国特許第４，７３３，９４
５号に開示されている。バサイヒは、レンズをセルに、
セル内に形成されたカンチレバータイプの屈曲部の上に
配置された３つの受座地点にて接着している。セルおよ
びレンズは温度変化によって互いに伸張および収縮する
ため、カンチレバー屈曲部は、曲がるようにされてお
り、それによりレンズが機械的応力により歪曲しない。
しかし、ある用途に関しては、バサイヒの構造体は幾つ
かの欠点を有する。第１に、バサイヒのレンズは、セル
により、セル周上の３つの位置にて載置（マウント）お
よび支持されているため、レンズが重力によりマウント
地点間で撓むことがある。撓みの問題は、バサイヒの構
造体にさらなる受座を追加することにより解決され得る
であろうが、このような受座を追加することにより、そ
れに付随する問題が生じ得る。例えば、さらなる受座を
追加することは、光学軸方向においてレンズを過度に拘
束することになり得る。また、機械加工が不完全である
ことより、レンズ受座が同一平面上にないことがあり、
これが、また機械的応力およびレンズの歪曲をもたらす
ことがある。
【０００７】バサイヒの設計が有し得る別の欠点は、カ
ンチレバータイプの屈曲部が、光学軸方向の荷重による
ねじり応力を受けることである。これは、レンズ受座の
光学軸方向の剛性を減少させ、それにより、屈曲部の固
有振動数を減少させる。もし固有振動数が低すぎると、
それは、レンズの望ましくない振動と、それによりレン
ズシステムの光学特性の歪みとを増大させることになり
得る。カンチレバー屈曲部もまた非対称の形状を有し、
これが、屈曲部が曲がるときにレンズに幾分かの回転ト
ルクを生じさせることになる。
ンチレバータイプの屈曲部が、光学軸方向の荷重による
ねじり応力を受けることである。これは、レンズ受座の
光学軸方向の剛性を減少させ、それにより、屈曲部の固
有振動数を減少させる。もし固有振動数が低すぎると、
それは、レンズの望ましくない振動と、それによりレン
ズシステムの光学特性の歪みとを増大させることになり
得る。カンチレバー屈曲部もまた非対称の形状を有し、
これが、屈曲部が曲がるときにレンズに幾分かの回転ト
ルクを生じさせることになる。
【０００８】幾つかの従来の設計は、機械式受座を用い
ずに接着剤によりレンズに取り付けられた３つ以上の半
径方向屈曲部を用いている。これは、先に論じた、機械
加工の許容差がもたらす誤差を実質的に排除するが、こ
れらの設計は、なお、不均等な加熱の影響に敏感であ
り、また、セルの歪みをレンズに直接伝達する。
ずに接着剤によりレンズに取り付けられた３つ以上の半
径方向屈曲部を用いている。これは、先に論じた、機械
加工の許容差がもたらす誤差を実質的に排除するが、こ
れらの設計は、なお、不均等な加熱の影響に敏感であ
り、また、セルの歪みをレンズに直接伝達する。
【０００９】屈曲構造体に用いられた従来の機械式締め
付け設計は、レンズの半径方向の可撓性を抑制する。接
着剤が用いられる場合には、ガス抜き、長期間の安定
性、硬化中の収縮および配置安定性、硬化時間が長いこ
とによる長い組立時間、ならびに、分解、調整および再
組立中の困難性に関する問題が生じることになる。
付け設計は、レンズの半径方向の可撓性を抑制する。接
着剤が用いられる場合には、ガス抜き、長期間の安定
性、硬化中の収縮および配置安定性、硬化時間が長いこ
とによる長い組立時間、ならびに、分解、調整および再
組立中の困難性に関する問題が生じることになる。
【００１０】したがって、レンズをレンズの周囲に分散
されたレンズ支持体を用いて、セル内に運動学的または
準運動学的に取り付け、歪みの量を最小限にし、かつ、
レンズ取付構造体による過度の拘束、取り付けられたレ
ンズにおける重力の作用、温度変化により生じる応力を
回避することを達成することが望ましい。
されたレンズ支持体を用いて、セル内に運動学的または
準運動学的に取り付け、歪みの量を最小限にし、かつ、
レンズ取付構造体による過度の拘束、取り付けられたレ
ンズにおける重力の作用、温度変化により生じる応力を
回避することを達成することが望ましい。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様に従
えば、レンズを取り付けるための構造体であって、レン
ズセル部材であって、該部材の周上でレンズを保持する
ことができるレンズセル部材と、レンズセル部材に取り
付けられた複数の半径方向屈曲マウントであって、各々
が、半径方向屈曲マウントの両端部から延在する１組の
屈曲部と、レンズ外周部を載置するために半径方向屈曲
マウントに取り付けられた受座とを含む半径方向屈曲マ
ウントと、隣り合う半径方向屈曲マウントの間に配置さ
れた複数のソフトマウントであって、各々が、レンズ外
周部に接触してレンズの重量の少なくとも一部を支持す
る弾性支持部を含む複数のソフトマウントとを含み、上
記１組の屈曲部の端部がレンズセル部材に固定され、か
つ、屈曲部が、温度変化によるレンズセル部材の伸張ま
たは収縮に対応し、かつレンズにかかる応力を最小にす
るように半径方向に曲がることができるレンズ取付構造
体が提供される。
えば、レンズを取り付けるための構造体であって、レン
ズセル部材であって、該部材の周上でレンズを保持する
ことができるレンズセル部材と、レンズセル部材に取り
付けられた複数の半径方向屈曲マウントであって、各々
が、半径方向屈曲マウントの両端部から延在する１組の
屈曲部と、レンズ外周部を載置するために半径方向屈曲
マウントに取り付けられた受座とを含む半径方向屈曲マ
ウントと、隣り合う半径方向屈曲マウントの間に配置さ
れた複数のソフトマウントであって、各々が、レンズ外
周部に接触してレンズの重量の少なくとも一部を支持す
る弾性支持部を含む複数のソフトマウントとを含み、上
記１組の屈曲部の端部がレンズセル部材に固定され、か
つ、屈曲部が、温度変化によるレンズセル部材の伸張ま
たは収縮に対応し、かつレンズにかかる応力を最小にす
るように半径方向に曲がることができるレンズ取付構造
体が提供される。
【００１２】本発明のレンズ取付構造体は、重力および
温度因子によるレンズの歪みを最小限にするための、支
持体がレンズ周方向に分散された準運動学的なレンズ取
付組立体である。レンズ取付組立体は、レンズをその中
に取り付けるためのセルを含む。次いで、複数のセルが
互いに組み合わされて、レンズシステムまたはレンズバ
レル組立体を形成する。各セルは、セル内に形成された
半径方向屈曲支持体に取り付けられた受座の組を含む。
屈曲部は、温度変化によりレンズおよびセルが異なるよ
うに伸張および収縮することを許容し、かつ、レンズ要
素にかかる力と、それによるレンズ要素の歪みとを最小
限にする。温度変化が均一である間は、レンズの中心は
セルに対して移動しない。受座は各半径方向屈曲マウン
トに取り付けられて、重力、レンズとセルの異なる伸張
または振動による、屈曲部におけるねじりモーメントま
たは曲げモーメントを防止する。
温度因子によるレンズの歪みを最小限にするための、支
持体がレンズ周方向に分散された準運動学的なレンズ取
付組立体である。レンズ取付組立体は、レンズをその中
に取り付けるためのセルを含む。次いで、複数のセルが
互いに組み合わされて、レンズシステムまたはレンズバ
レル組立体を形成する。各セルは、セル内に形成された
半径方向屈曲支持体に取り付けられた受座の組を含む。
屈曲部は、温度変化によりレンズおよびセルが異なるよ
うに伸張および収縮することを許容し、かつ、レンズ要
素にかかる力と、それによるレンズ要素の歪みとを最小
限にする。温度変化が均一である間は、レンズの中心は
セルに対して移動しない。受座は各半径方向屈曲マウン
トに取り付けられて、重力、レンズとセルの異なる伸張
または振動による、屈曲部におけるねじりモーメントま
たは曲げモーメントを防止する。
【００１３】レンズは、好ましくは、レンズの周りに均
等に間隔をあけて配置された３つの取り付け受座を有す
る。受座は、レンズの面の輪郭（例えば、平面、円錐
面、球面など）に整合するように機械加工される。各受
座の寸法は、最小化されて、係合しない面の過度の拘束
作用を、レンズ材料の許容可能な接触圧力を超えること
なく低減する。あるいは、レンズ材料が接触応力に耐え
ることができるならば、受座において点接触が用いられ
て（例えば、球面レンズ上の平坦な受座、または、平坦
なレンズ面上の凸状の受座）、過度の拘束の可能性をさ
らに低減し得る。
等に間隔をあけて配置された３つの取り付け受座を有す
る。受座は、レンズの面の輪郭（例えば、平面、円錐
面、球面など）に整合するように機械加工される。各受
座の寸法は、最小化されて、係合しない面の過度の拘束
作用を、レンズ材料の許容可能な接触圧力を超えること
なく低減する。あるいは、レンズ材料が接触応力に耐え
ることができるならば、受座において点接触が用いられ
て（例えば、球面レンズ上の平坦な受座、または、平坦
なレンズ面上の凸状の受座）、過度の拘束の可能性をさ
らに低減し得る。
【００１４】セルは、また、レンズを過度に拘束するこ
となく重力荷重をさらに分散させるために、受座の他に
ソフトマウントの組を含むことができる。ソフトマウン
トは、好ましくは、レンズ周囲にて半径方向屈曲マウン
トの間に均等に間隔をあけて配置される。ソフトマウン
トは、高度の可撓性を有し、レンズの側部を支持して重
力の作用に抗する。各ソフトマウントは、レンズに対し
て加えられる力が、受座およびソフトマウントの総数に
より分散されるレンズの総重量に等しいように、予め荷
重がかけられている。これは、レンズの重量が全ての受
座およびソフトマウントにより均等に支持されることを
保証する。
となく重力荷重をさらに分散させるために、受座の他に
ソフトマウントの組を含むことができる。ソフトマウン
トは、好ましくは、レンズ周囲にて半径方向屈曲マウン
トの間に均等に間隔をあけて配置される。ソフトマウン
トは、高度の可撓性を有し、レンズの側部を支持して重
力の作用に抗する。各ソフトマウントは、レンズに対し
て加えられる力が、受座およびソフトマウントの総数に
より分散されるレンズの総重量に等しいように、予め荷
重がかけられている。これは、レンズの重量が全ての受
座およびソフトマウントにより均等に支持されることを
保証する。
【００１５】温度変化によりレンズがセルに対して伸張
および収縮するとき、接線方向屈曲マウントは、レンズ
に機械的歪曲を生じさせる高い荷重を受けないように半
径方向に曲がる。各レンズは、関連する各半径方向屈曲
マウントの受座に取り付けられる。受座は、力、例えば
重力または機械的振動によるねじりモーメントが屈曲部
に実質的にもたらされないように配置されている。レン
ズ受座は、半径方向の伸張によるねじりモーメントが屈
曲部にもたらされないように半径方向屈曲マウントの実
質的に中央に配置される。屈曲部は、異なる伸張による
レンズの回転を防止する接線方向屈曲構造を有する。
および収縮するとき、接線方向屈曲マウントは、レンズ
に機械的歪曲を生じさせる高い荷重を受けないように半
径方向に曲がる。各レンズは、関連する各半径方向屈曲
マウントの受座に取り付けられる。受座は、力、例えば
重力または機械的振動によるねじりモーメントが屈曲部
に実質的にもたらされないように配置されている。レン
ズ受座は、半径方向の伸張によるねじりモーメントが屈
曲部にもたらされないように半径方向屈曲マウントの実
質的に中央に配置される。屈曲部は、異なる伸張による
レンズの回転を防止する接線方向屈曲構造を有する。
【００１６】レンズは、屈曲マウントの半径方向の弾性
に影響を与えずにレンズ受座に締め付けられる。一具体
例において、可撓性のクランプがレンズを各受座に付勢
する。このクランプが可撓性であるため、レンズをセル
受座に対して締め付ける締付け力は、機械加工許容差、
組立技術および温度変化に対して比較的影響されない。
可撓性クランプは、また、レンズにおける半径方向また
は接線方向の力またはモーメントを最小限にする。この
機械的締付けは、また、接着剤を塗布しあるいは接着剤
による結合を破壊することなくセルを繰り返し組立およ
び分解することを可能にする。
に影響を与えずにレンズ受座に締め付けられる。一具体
例において、可撓性のクランプがレンズを各受座に付勢
する。このクランプが可撓性であるため、レンズをセル
受座に対して締め付ける締付け力は、機械加工許容差、
組立技術および温度変化に対して比較的影響されない。
可撓性クランプは、また、レンズにおける半径方向また
は接線方向の力またはモーメントを最小限にする。この
機械的締付けは、また、接着剤を塗布しあるいは接着剤
による結合を破壊することなくセルを繰り返し組立およ
び分解することを可能にする。
【００１７】本発明により以下のさらなる態様の組立て
体及び方法が提供される。本発明の第２の態様に従え
ば、レンズを取り付けるための構造体であって、レンズ
を保持することができるレンズセル部材と、レンズセル
部材と一体的に形成された複数の半径方向屈曲マウント
であって、各々が、レンズを取り付けるために半径方向
屈曲マウント上に形成された受座と、半径方向屈曲マウ
ントの両端部から延在する１組の屈曲部とを含む複数の
半径方向屈曲マウントと、半径方向屈曲マウントの各々
の上に取り付けられるばね組立体であって、各々が、レ
ンズを受座上に固定するための弾性クランプを含むばね
組立体とを含み、上記屈曲部は、半径方向屈曲マウント
が半径方向に曲がって、温度変化によるレンズセル部材
の伸張または収縮に適合することを可能にするレンズ取
付構造体が提供される。
体及び方法が提供される。本発明の第２の態様に従え
ば、レンズを取り付けるための構造体であって、レンズ
を保持することができるレンズセル部材と、レンズセル
部材と一体的に形成された複数の半径方向屈曲マウント
であって、各々が、レンズを取り付けるために半径方向
屈曲マウント上に形成された受座と、半径方向屈曲マウ
ントの両端部から延在する１組の屈曲部とを含む複数の
半径方向屈曲マウントと、半径方向屈曲マウントの各々
の上に取り付けられるばね組立体であって、各々が、レ
ンズを受座上に固定するための弾性クランプを含むばね
組立体とを含み、上記屈曲部は、半径方向屈曲マウント
が半径方向に曲がって、温度変化によるレンズセル部材
の伸張または収縮に適合することを可能にするレンズ取
付構造体が提供される。
【００１８】本発明の第３の態様に従えば、レンズを取
り付けるための構造体であって、レンズを保持すること
ができるレンズセル部材と、レンズの重量の少なくとも
一部を支持するための複数のソフトマウントであって、
ソフトマウントが光学軸方向において位置ずれを生じる
ことに対して構造体が実質的に影響されないように光学
軸方向に撓む複数のソフトマウントとを含むレンズ取付
構造体が提供される。
り付けるための構造体であって、レンズを保持すること
ができるレンズセル部材と、レンズの重量の少なくとも
一部を支持するための複数のソフトマウントであって、
ソフトマウントが光学軸方向において位置ずれを生じる
ことに対して構造体が実質的に影響されないように光学
軸方向に撓む複数のソフトマウントとを含むレンズ取付
構造体が提供される。
【００１９】本発明の第４の態様に従えば、レンズを保
持するための構造体を組み立てるための方法であって、
前記構造体が、セル部材と、セル部材に連結された半径
方向屈曲マウントと、半径方向屈曲マウント上に形成さ
れた受座と、半径方向屈曲マウント上に取り付けられた
締付組立体とを含み、半径方向屈曲マウントが、抗トル
ク工具と係合するための特性を含み、締付組立体を、半
径方向屈曲マウントに、少なくとも１つのねじ付き部材
を回転させ、締付組立体を通して半径方向屈曲マウント
にねじ込むことにより取り付けることと、抗トルク工具
を半径方向屈曲マウントに係合させ、同時に、前記ねじ
付き部材を回転させることによりトルクを前記抗トルク
工具に加えて、半径方向屈曲マウントに加えられるトル
クを相殺することとを含む前記方法が提供される。
持するための構造体を組み立てるための方法であって、
前記構造体が、セル部材と、セル部材に連結された半径
方向屈曲マウントと、半径方向屈曲マウント上に形成さ
れた受座と、半径方向屈曲マウント上に取り付けられた
締付組立体とを含み、半径方向屈曲マウントが、抗トル
ク工具と係合するための特性を含み、締付組立体を、半
径方向屈曲マウントに、少なくとも１つのねじ付き部材
を回転させ、締付組立体を通して半径方向屈曲マウント
にねじ込むことにより取り付けることと、抗トルク工具
を半径方向屈曲マウントに係合させ、同時に、前記ねじ
付き部材を回転させることによりトルクを前記抗トルク
工具に加えて、半径方向屈曲マウントに加えられるトル
クを相殺することとを含む前記方法が提供される。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の具体例を説明する。異なる図における同一の参照番
号は、構造的および／または機能的に類似または同一の
要素を示すように用いられている。
明の具体例を説明する。異なる図における同一の参照番
号は、構造的および／または機能的に類似または同一の
要素を示すように用いられている。
【００２１】図１を参照すると、レンズ１０の一具体例
が断面図で示されている。一具体例において、レンズ１
０は半導体リソグラフィ装置（図示せず）において用い
られることができる。レンズ１０は、典型的には、直径
Ｄが約２００〜３００ｍｍ（約１２インチ）であり、重
量が約１〜５ｋｇである。しかし、本発明の範囲内で、
他の寸法および重量を用いまた考慮することもできる。
レンズ１０は、好ましくは、レンズ１０の周縁１４上に
形成された周方向のリッジ（隆起部）１２を含む。リッ
ジ１２は必要ではないが、レンズ１０の有用な光学面を
増大させるために、機械的締め付け力による、レンズ１
０の縁部の光学的変形を実質的に低減するために、そし
て、レンズ１０への締め付け力の半径方向の成分を除去
するために有利である。先行技術において、レンズは、
しばしば、レンズの周面部１６で締め付けられまたは固
定される。これはレンズ周囲の光学面を遮蔽し、レンズ
面を変形させることになる。また、周面部１６にて締め
付けられたレンズ面は湾曲するため、このような締付け
方法は、レンズに半径方向の力を加え、それもまた歪み
を生じさせることになる。レンズ１０がリッジ１２にて
保持されかつ締付けられることにより、以下に記載す
る、機械的締付けにより生じるレンズ１０の光路の変形
および歪みは、いずれも最小限にされる。
が断面図で示されている。一具体例において、レンズ１
０は半導体リソグラフィ装置（図示せず）において用い
られることができる。レンズ１０は、典型的には、直径
Ｄが約２００〜３００ｍｍ（約１２インチ）であり、重
量が約１〜５ｋｇである。しかし、本発明の範囲内で、
他の寸法および重量を用いまた考慮することもできる。
レンズ１０は、好ましくは、レンズ１０の周縁１４上に
形成された周方向のリッジ（隆起部）１２を含む。リッ
ジ１２は必要ではないが、レンズ１０の有用な光学面を
増大させるために、機械的締め付け力による、レンズ１
０の縁部の光学的変形を実質的に低減するために、そし
て、レンズ１０への締め付け力の半径方向の成分を除去
するために有利である。先行技術において、レンズは、
しばしば、レンズの周面部１６で締め付けられまたは固
定される。これはレンズ周囲の光学面を遮蔽し、レンズ
面を変形させることになる。また、周面部１６にて締め
付けられたレンズ面は湾曲するため、このような締付け
方法は、レンズに半径方向の力を加え、それもまた歪み
を生じさせることになる。レンズ１０がリッジ１２にて
保持されかつ締付けられることにより、以下に記載す
る、機械的締付けにより生じるレンズ１０の光路の変形
および歪みは、いずれも最小限にされる。
【００２２】図２Ａ〜２Ｃを参照すると、レンズ１０を
取り付けるための改良されたセル２０の第１の具体例が
示されている。セル２０は、精密な材料、例えば真鍮か
ら形成されており、この材料は、これはレンズのための
非常に安定した取付構造を形成するだけでなく、必要で
あれば精密に機械加工することができる。セル２０は、
レンズ１０がその上に取り付けられる半径方向に撓曲す
る複数の取付構造体（マウント）２２を含む。半径方向
屈曲マウント２２は、各々、セル２０の本体すなわちリ
ング２４から、本体２４内に形成されたスロット（溝
孔）２６に沿って分離されている。しかし、半径方向屈
曲マウント２２は、半径方向屈曲マウント２２の両端に
ある屈曲部２８，３０を介して本体２４に一体的に結合
されている。半径方向屈曲マウント２２は、セル本体２
４の内壁３２に形成されている。好ましくは、３つの半
径方向屈曲マウントが、セル２０の内壁３２に形成され
る。半径方向屈曲マウント２２は、各々、半径方向屈曲
マウント２２の中央点に一体的に形成されまたは取り付
けられたレンズ受座３４を含む。この中央取付位置は、
実質的に、レンズ１０とセル本体２４との異なる半径方
向伸張により生じる、半径方向屈曲マウント２２におけ
るねじりモーメントを排除する。屈曲部２８，３０は、
半径方向屈曲マウント２２が半径方向において低い剛性
ならびに接線方向および軸方向（鉛直方向）において高
い剛性を有するように、同一平面上にある薄い平板とし
て構成されている。さらに、図２（ｃ）に示すように、
屈曲部２８，３０は、屈曲部２８，３０により画成され
る平面が受座３４のほぼ中央を横切るように配置されて
いる。この配置は、接線方向および軸方向（鉛直方向）
の力が半径方向屈曲マウント２２にモーメントを生成す
ることを防止する。さらに、半径方向屈曲マウント２２
は、ばね組立体がその内部に取り付けられることができ
るロケータ（位置決め）スロット２３を含む。ばね組立
体については以下に説明する。この半径方向屈曲マウン
ト２２の構造は、レンズ１０のための望ましい３点取り
付けプラットフォームをもたらす。
取り付けるための改良されたセル２０の第１の具体例が
示されている。セル２０は、精密な材料、例えば真鍮か
ら形成されており、この材料は、これはレンズのための
非常に安定した取付構造を形成するだけでなく、必要で
あれば精密に機械加工することができる。セル２０は、
レンズ１０がその上に取り付けられる半径方向に撓曲す
る複数の取付構造体（マウント）２２を含む。半径方向
屈曲マウント２２は、各々、セル２０の本体すなわちリ
ング２４から、本体２４内に形成されたスロット（溝
孔）２６に沿って分離されている。しかし、半径方向屈
曲マウント２２は、半径方向屈曲マウント２２の両端に
ある屈曲部２８，３０を介して本体２４に一体的に結合
されている。半径方向屈曲マウント２２は、セル本体２
４の内壁３２に形成されている。好ましくは、３つの半
径方向屈曲マウントが、セル２０の内壁３２に形成され
る。半径方向屈曲マウント２２は、各々、半径方向屈曲
マウント２２の中央点に一体的に形成されまたは取り付
けられたレンズ受座３４を含む。この中央取付位置は、
実質的に、レンズ１０とセル本体２４との異なる半径方
向伸張により生じる、半径方向屈曲マウント２２におけ
るねじりモーメントを排除する。屈曲部２８，３０は、
半径方向屈曲マウント２２が半径方向において低い剛性
ならびに接線方向および軸方向（鉛直方向）において高
い剛性を有するように、同一平面上にある薄い平板とし
て構成されている。さらに、図２（ｃ）に示すように、
屈曲部２８，３０は、屈曲部２８，３０により画成され
る平面が受座３４のほぼ中央を横切るように配置されて
いる。この配置は、接線方向および軸方向（鉛直方向）
の力が半径方向屈曲マウント２２にモーメントを生成す
ることを防止する。さらに、半径方向屈曲マウント２２
は、ばね組立体がその内部に取り付けられることができ
るロケータ（位置決め）スロット２３を含む。ばね組立
体については以下に説明する。この半径方向屈曲マウン
ト２２の構造は、レンズ１０のための望ましい３点取り
付けプラットフォームをもたらす。
【００２３】セル本体２４は、また、複数のソフトマウ
ントのための切欠き３６を含む。切欠き３６は、図３に
示すように、複数のソフトマウントすなわち支持体３８
と共に用いられる。切欠き３６は、各々、それぞれの通
路４０を通じてセル本体２４の内部と連通している。各
ソフトマウント３８は、弾性の舌状部すなわち板ばね４
２を含む。板ばね４２は、切欠き３６に取り付けられた
ときに通路４０を通って延在する寸法にされている。板
ばね４２は、固定装置、例えばボルト４８により互いに
締め付けられた、上側ブロック４４と下側ブロック４６
との間に保持されている。板ばね４２は角度θを有して
配置されている。角度θは、板ばね４２と、セル本体２
４の内壁３２と直交する面とにより、板ばねがレンズ１
０の重量の望ましい割合の重量により変形されるときに
板ばね４２の先端部５０がレンズ１０のリッジ１２の面
と平行になるように画定される。このことは図１３に示
されている。図１３中、レンズ１０がセル２０に装填さ
れていないときの板ばね４２の位置を仮想線で示してあ
る。ボルト４８は、また、ソフトマウント３８を切欠き
３６内に取り付けるために用いられる。板ばね４２の先
端部５０は通路４０を通って延在し、かつ、半径方向屈
曲マウントの受座３４に加えて、レンズ１０のための複
数の支持部材を構成する。
ントのための切欠き３６を含む。切欠き３６は、図３に
示すように、複数のソフトマウントすなわち支持体３８
と共に用いられる。切欠き３６は、各々、それぞれの通
路４０を通じてセル本体２４の内部と連通している。各
ソフトマウント３８は、弾性の舌状部すなわち板ばね４
２を含む。板ばね４２は、切欠き３６に取り付けられた
ときに通路４０を通って延在する寸法にされている。板
ばね４２は、固定装置、例えばボルト４８により互いに
締め付けられた、上側ブロック４４と下側ブロック４６
との間に保持されている。板ばね４２は角度θを有して
配置されている。角度θは、板ばね４２と、セル本体２
４の内壁３２と直交する面とにより、板ばねがレンズ１
０の重量の望ましい割合の重量により変形されるときに
板ばね４２の先端部５０がレンズ１０のリッジ１２の面
と平行になるように画定される。このことは図１３に示
されている。図１３中、レンズ１０がセル２０に装填さ
れていないときの板ばね４２の位置を仮想線で示してあ
る。ボルト４８は、また、ソフトマウント３８を切欠き
３６内に取り付けるために用いられる。板ばね４２の先
端部５０は通路４０を通って延在し、かつ、半径方向屈
曲マウントの受座３４に加えて、レンズ１０のための複
数の支持部材を構成する。
【００２４】レンズを過度に拘束することなく重力荷重
を分散するために、ソフトマウント３８の組が選択され
る。図４に示すような好ましい一具体例において、これ
らのソフトマウント３８は、レンズ１０の重量の一部を
光学軸方向において支持するための９個のカンチレバー
板ばね４２を含む。カンチレバー板ばね４２は光学軸方
向に撓む。したがって、板ばね４２は、半径方向屈曲マ
ウント２２上の３つの受座３４により決定されるレンズ
の位置決めを過度に拘束しない。むしろ、板ばね４２
は、単に、レンズ１０をより分散して支持して、重力に
よる歪みを防止する。ソフトマウントの可撓性のさらな
る利点は、機械加工許容差に対して支持力が低感度であ
ることである。また、セル２０が、例えば平坦でない面
に対して押し付けられることにより歪曲されても、セル
の歪みは、それによるレンズの重大な歪みを引き起こさ
ない。特に、もしセルの歪みがレンズ受座３４の１つの
位置を変化させることがあっても、レンズ１０が光学方
向において過度に拘束されていないため、レンズ１０に
生じた歪みはいずれも最小限にとどまるであろう。
を分散するために、ソフトマウント３８の組が選択され
る。図４に示すような好ましい一具体例において、これ
らのソフトマウント３８は、レンズ１０の重量の一部を
光学軸方向において支持するための９個のカンチレバー
板ばね４２を含む。カンチレバー板ばね４２は光学軸方
向に撓む。したがって、板ばね４２は、半径方向屈曲マ
ウント２２上の３つの受座３４により決定されるレンズ
の位置決めを過度に拘束しない。むしろ、板ばね４２
は、単に、レンズ１０をより分散して支持して、重力に
よる歪みを防止する。ソフトマウントの可撓性のさらな
る利点は、機械加工許容差に対して支持力が低感度であ
ることである。また、セル２０が、例えば平坦でない面
に対して押し付けられることにより歪曲されても、セル
の歪みは、それによるレンズの重大な歪みを引き起こさ
ない。特に、もしセルの歪みがレンズ受座３４の１つの
位置を変化させることがあっても、レンズ１０が光学方
向において過度に拘束されていないため、レンズ１０に
生じた歪みはいずれも最小限にとどまるであろう。
【００２５】好ましくは、ソフトマウント３８は、ま
た、異なる伸張差を許容するために半径方向に撓むべき
である。カンチレバーばねは半径方向において撓まず、
それゆえ、望ましくない半径方向の力を生じることがあ
る。しかし、レンズ１０にかかる望ましくない最大の力
は、小さい接触力と、カンチレバーばね先端部５０とレ
ンズ１０との小さい摩擦係数とにより制限される。別の
ソフトマウントばねも可能であり、それは圧縮または伸
張されたコイルばね、磁石または他の適切なばねを含
み、これらが半径方向の可撓性を有してもよく、または
有さずともよい。
た、異なる伸張差を許容するために半径方向に撓むべき
である。カンチレバーばねは半径方向において撓まず、
それゆえ、望ましくない半径方向の力を生じることがあ
る。しかし、レンズ１０にかかる望ましくない最大の力
は、小さい接触力と、カンチレバーばね先端部５０とレ
ンズ１０との小さい摩擦係数とにより制限される。別の
ソフトマウントばねも可能であり、それは圧縮または伸
張されたコイルばね、磁石または他の適切なばねを含
み、これらが半径方向の可撓性を有してもよく、または
有さずともよい。
【００２６】図２Ａおよび図４に示すように、９個のソ
フトマウントの板ばね４２の組が、３個１組で、３つの
半径方向屈曲マウント２２の各々の間に均等に間隔をあ
けて配置されている。これは、荷重を分散し、かつ、ほ
ぼ対称な支持をレンズ受座３４と共にもたらす。各板ば
ね４２および各受座３４は、レンズ１０の重力荷重の１
／１２を支持するように設計されている。ソフトマウン
ト３８の他の組、例えば、３個、６個または９個以上の
組もまた用いることができ、それらのマウント３８もま
た、受座３４により均等に間隔をあけて配置されること
ができる。
フトマウントの板ばね４２の組が、３個１組で、３つの
半径方向屈曲マウント２２の各々の間に均等に間隔をあ
けて配置されている。これは、荷重を分散し、かつ、ほ
ぼ対称な支持をレンズ受座３４と共にもたらす。各板ば
ね４２および各受座３４は、レンズ１０の重力荷重の１
／１２を支持するように設計されている。ソフトマウン
ト３８の他の組、例えば、３個、６個または９個以上の
組もまた用いることができ、それらのマウント３８もま
た、受座３４により均等に間隔をあけて配置されること
ができる。
【００２７】レンズ１０は、板ばね４２の先端部５０に
置かれるが、好ましくは、ばね組立体５２により半径方
向屈曲マウント２２に機械的に締め付けられる。ばね組
立体５２は、図３，５，６Ａ〜Ｃおよび７に示されてい
る。ばね組立体５２はばね部材５４を含む。ばね部材５
４は、変形された状態で図６Ａ〜Ｃに最も分かり易く示
されている。ばね部材５４は、複数のスロット５８を有
して一方向に曲がるように設計された第１のばね部５６
を含む。ばね部５６は、反対方向に曲がる第２のばね部
６０から、長手方向のスロット６２により分離されてい
る。
置かれるが、好ましくは、ばね組立体５２により半径方
向屈曲マウント２２に機械的に締め付けられる。ばね組
立体５２は、図３，５，６Ａ〜Ｃおよび７に示されてい
る。ばね組立体５２はばね部材５４を含む。ばね部材５
４は、変形された状態で図６Ａ〜Ｃに最も分かり易く示
されている。ばね部材５４は、複数のスロット５８を有
して一方向に曲がるように設計された第１のばね部５６
を含む。ばね部５６は、反対方向に曲がる第２のばね部
６０から、長手方向のスロット６２により分離されてい
る。
【００２８】ばね組立体５２は図７に最も分かり易く示
されており、ばね部材５４、ロケータプレート６４、締
め付けブロック６６およびスペーサブロック６８を含
む。プレート６４は、スペーサブロック６８を配置する
ための開口部７０と、取付開口部７２と、プレート端部
７６のロケータスロット７４とを含む。ばね部材５４と
ブロック６６とは、互いに対応する取付開口部７８，８
０を有する。ブロック６６は、さらに、他の部材と組み
合う位置決め部８２を含む。位置決め部８２は、ばね組
立体５２が半径方向屈曲マウント２２に取り付けられる
ときに、部材５４に支持されかつロケータスロット７４
に嵌めこまれる。ばね組立体５２が半径方向屈曲マウン
ト２２に取り付けられるときに、締付ブロック６６の位
置決め部８２は、半径方向屈曲マウントのロケータスロ
ット２３に嵌り込む。ばね組立体５２はボルト８４と共
に固定されかつボルト８４と共に取り付けられる。ボル
ト８４は、例えば、図示されているような六角ソケット
ヘッドボルトである。ばね組立体５２は、ボルト８４お
よび適切なレンチ８６を用いて取り付けられる。レンチ
８６は、ボルトを半径方向屈曲マウント２２内のねじ付
き通路８８（図２Ｂ）に締め入れるために用いられる。
半径方向屈曲マウント２２またはレンズ１０にかかるト
ルクを回避するために、抗トルク工具９０が、半径方向
屈曲マウント２２の頂部に形成された１組の開口部９２
（図２Ｂおよび２Ｃ）に嵌め込まれている。工具９０
は、ピンまたはロッド９６を各々が含む１組のアーム９
４を含み、ピンまたはロッド９６は開口部９２に嵌り込
んで、ボルト８４が締め付けられるときの応力を防止す
る。工具９０はハンドル９８を含み、ハンドル９８から
アーム９４が延びている。ハンドル９８は、ばね組立体
５２を組立および分解中に適切な位置に維持するために
用いられる。
されており、ばね部材５４、ロケータプレート６４、締
め付けブロック６６およびスペーサブロック６８を含
む。プレート６４は、スペーサブロック６８を配置する
ための開口部７０と、取付開口部７２と、プレート端部
７６のロケータスロット７４とを含む。ばね部材５４と
ブロック６６とは、互いに対応する取付開口部７８，８
０を有する。ブロック６６は、さらに、他の部材と組み
合う位置決め部８２を含む。位置決め部８２は、ばね組
立体５２が半径方向屈曲マウント２２に取り付けられる
ときに、部材５４に支持されかつロケータスロット７４
に嵌めこまれる。ばね組立体５２が半径方向屈曲マウン
ト２２に取り付けられるときに、締付ブロック６６の位
置決め部８２は、半径方向屈曲マウントのロケータスロ
ット２３に嵌り込む。ばね組立体５２はボルト８４と共
に固定されかつボルト８４と共に取り付けられる。ボル
ト８４は、例えば、図示されているような六角ソケット
ヘッドボルトである。ばね組立体５２は、ボルト８４お
よび適切なレンチ８６を用いて取り付けられる。レンチ
８６は、ボルトを半径方向屈曲マウント２２内のねじ付
き通路８８（図２Ｂ）に締め入れるために用いられる。
半径方向屈曲マウント２２またはレンズ１０にかかるト
ルクを回避するために、抗トルク工具９０が、半径方向
屈曲マウント２２の頂部に形成された１組の開口部９２
（図２Ｂおよび２Ｃ）に嵌め込まれている。工具９０
は、ピンまたはロッド９６を各々が含む１組のアーム９
４を含み、ピンまたはロッド９６は開口部９２に嵌り込
んで、ボルト８４が締め付けられるときの応力を防止す
る。工具９０はハンドル９８を含み、ハンドル９８から
アーム９４が延びている。ハンドル９８は、ばね組立体
５２を組立および分解中に適切な位置に維持するために
用いられる。
【００２９】図８，９Ａおよび９Ｂを参照すると、本発
明の改良されたレンズセル１００の第２の具体例が示さ
れている。セル１００の全体の構造はセル２０に非常に
類似しており、同一の、または機能的に同一の要素は同
一の番号を用いて示されている。セル１００およびその
取付構造体における主要な違いのみを詳細に説明する。
セル１００は複数の半径方向屈曲マウント１０２を有す
る。半径方向屈曲マウント１０２は半径方向屈曲マウン
ト２２に非常に類似しているが、異なるばね組立体１０
４を支持するように形成されている。ばね組立体１０４
はばね組立体５２と機能的に類似しているが、ばね組立
体１０４の構造は以下に記載するように異なる。
明の改良されたレンズセル１００の第２の具体例が示さ
れている。セル１００の全体の構造はセル２０に非常に
類似しており、同一の、または機能的に同一の要素は同
一の番号を用いて示されている。セル１００およびその
取付構造体における主要な違いのみを詳細に説明する。
セル１００は複数の半径方向屈曲マウント１０２を有す
る。半径方向屈曲マウント１０２は半径方向屈曲マウン
ト２２に非常に類似しているが、異なるばね組立体１０
４を支持するように形成されている。ばね組立体１０４
はばね組立体５２と機能的に類似しているが、ばね組立
体１０４の構造は以下に記載するように異なる。
【００３０】半径方向屈曲マウント１０２は、先に記載
したようなレンズ受座３４を含む。さらに、半径方向屈
曲マウント１０２および屈曲部１０９，１１０は、先に
記載した具体例と同様に、スロット１０６によりセル本
体１０８内に形成されている。しかし、この第２の具体
例においては、薄片状のクランプばね１１６が締付け力
をレンズ１０にもたらす。クランプばね組立体１０４は
細長いクランプブロック１１２を含む。クランプブロッ
ク１１２は、その片側に形成された切り欠き１１４を有
して、薄片状のクランプばね１１６の取付および屈曲に
適応する。
したようなレンズ受座３４を含む。さらに、半径方向屈
曲マウント１０２および屈曲部１０９，１１０は、先に
記載した具体例と同様に、スロット１０６によりセル本
体１０８内に形成されている。しかし、この第２の具体
例においては、薄片状のクランプばね１１６が締付け力
をレンズ１０にもたらす。クランプばね組立体１０４は
細長いクランプブロック１１２を含む。クランプブロッ
ク１１２は、その片側に形成された切り欠き１１４を有
して、薄片状のクランプばね１１６の取付および屈曲に
適応する。
【００３１】図１０に示すように、ばね部材１１６は第
２の切り欠き１１８内に取り付けられる。切り欠き１１
８は、ブロック１１２の底部に形成され、かつ切り欠き
１１４を超えて延在している。ばね部材１１６は、上側
アーム１２１，下側アーム１２３を有するレンズ締付ブ
ロック１２０を弾性的に付勢してレンズ１０（図示せ
ず）をレンズ受座３４に締め付ける。レンズ締付ブロッ
ク１２０は、半径方向屈曲マウント１０２内に形成され
た位置合わせスロット１２２内にスライド可能に嵌め込
まれる。クランプばね組立体１０４は、１組のボルト８
４を用いて半径方向屈曲マウント１０２上に取り付けら
れる。ボルト８４は、半径方向屈曲マウント１０２の頂
部に形成された、ボルト８４と係合するねじ付き通路８
８にねじ込まれる。
２の切り欠き１１８内に取り付けられる。切り欠き１１
８は、ブロック１１２の底部に形成され、かつ切り欠き
１１４を超えて延在している。ばね部材１１６は、上側
アーム１２１，下側アーム１２３を有するレンズ締付ブ
ロック１２０を弾性的に付勢してレンズ１０（図示せ
ず）をレンズ受座３４に締め付ける。レンズ締付ブロッ
ク１２０は、半径方向屈曲マウント１０２内に形成され
た位置合わせスロット１２２内にスライド可能に嵌め込
まれる。クランプばね組立体１０４は、１組のボルト８
４を用いて半径方向屈曲マウント１０２上に取り付けら
れる。ボルト８４は、半径方向屈曲マウント１０２の頂
部に形成された、ボルト８４と係合するねじ付き通路８
８にねじ込まれる。
【００３２】図１１に一層詳細に示すように、レンズ締
付ブロック１２０は、上側アーム１２１の上面および下
面に形成された２つのスロット１２５を有する。２つの
スロット１２５は屈曲ヒンジ１２７を画成している。屈
曲ヒンジ１２７は、締め付けられたときに、レンズ１０
または半径方向屈曲マウント１０２の機械的寸法のわず
かな変化がクランプの接触面を妨げないように、レンズ
締付ブロック１２０のレンズ接触面１２９をレンズ１０
に適合させる。
付ブロック１２０は、上側アーム１２１の上面および下
面に形成された２つのスロット１２５を有する。２つの
スロット１２５は屈曲ヒンジ１２７を画成している。屈
曲ヒンジ１２７は、締め付けられたときに、レンズ１０
または半径方向屈曲マウント１０２の機械的寸法のわず
かな変化がクランプの接触面を妨げないように、レンズ
締付ブロック１２０のレンズ接触面１２９をレンズ１０
に適合させる。
【００３３】再び図９Ａを参照すると、クランプばね組
立体１０４は、また、ボルト８４と共に、抗トルク工具
１２４を用いてトルク応力に抗して位置合わせされて取
り付けられる。工具１２４は、また、各々が従動ロッド
９６を含む１組のアーム１２６，１２８を有する。従動
ロッド９６もまた、半径方向屈曲マウント１０２に形成
された開口部９２に嵌め入れられる。工具１２４もま
た、クランプばね組立体１０４の組立および分解中に半
径方向屈曲マウント１０２にかかるトルク応力を実質的
に排除する。
立体１０４は、また、ボルト８４と共に、抗トルク工具
１２４を用いてトルク応力に抗して位置合わせされて取
り付けられる。工具１２４は、また、各々が従動ロッド
９６を含む１組のアーム１２６，１２８を有する。従動
ロッド９６もまた、半径方向屈曲マウント１０２に形成
された開口部９２に嵌め入れられる。工具１２４もま
た、クランプばね組立体１０４の組立および分解中に半
径方向屈曲マウント１０２にかかるトルク応力を実質的
に排除する。
【００３４】また、レンズセル１００は、好ましくは、
第１の具体例に関して先に記載したソフトマウント３８
と機能的に均等である複数のソフトマウント１３０を含
む。マウント１３０は板ばね４２を含み、板ばね４２
は、１組のダブテイル（ありつぎ）ブロック１３２およ
び１３４に挿入される１組のボルト４８によって締め付
けられる。ブロックの組の一方のブロック１３４は、１
組の端部切り欠き１３６，１３８を含み、切り欠き１３
６，１３８は、それらと相補する形状の１組のフィンガ
ー部１４０，１４２と係合する。ブロック１３２および
１３４により形成されるダブテイル構造は、ボルト４８
が締め付けられるときにブロック１３２および１３４と
ブレードばね４２とが互いにスリップしないことを保証
する。
第１の具体例に関して先に記載したソフトマウント３８
と機能的に均等である複数のソフトマウント１３０を含
む。マウント１３０は板ばね４２を含み、板ばね４２
は、１組のダブテイル（ありつぎ）ブロック１３２およ
び１３４に挿入される１組のボルト４８によって締め付
けられる。ブロックの組の一方のブロック１３４は、１
組の端部切り欠き１３６，１３８を含み、切り欠き１３
６，１３８は、それらと相補する形状の１組のフィンガ
ー部１４０，１４２と係合する。ブロック１３２および
１３４により形成されるダブテイル構造は、ボルト４８
が締め付けられるときにブロック１３２および１３４と
ブレードばね４２とが互いにスリップしないことを保証
する。
【００３５】上記のように、本発明は、レンズの周囲１
６に準運動学的に拘束される、機械的に締め付けられた
レンズ１０を含む。セル２０または１００は、小さい領
域の受座３４に３点マウントを設けて、受座３４により
もたらされる平面接触によりレンズ１０が過度に拘束さ
れることを回避する。受座３４は、各々、レンズ１０の
半径方向の伸張を可能にする半径方向屈曲マウント２２
または１０２の部分であり、鉛直方向および接線方向の
両方においては剛性を有してレンズ１０の高度の取付剛
性を維持し、これは、望ましい高周波の共振モードをも
たらす。
６に準運動学的に拘束される、機械的に締め付けられた
レンズ１０を含む。セル２０または１００は、小さい領
域の受座３４に３点マウントを設けて、受座３４により
もたらされる平面接触によりレンズ１０が過度に拘束さ
れることを回避する。受座３４は、各々、レンズ１０の
半径方向の伸張を可能にする半径方向屈曲マウント２２
または１０２の部分であり、鉛直方向および接線方向の
両方においては剛性を有してレンズ１０の高度の取付剛
性を維持し、これは、望ましい高周波の共振モードをも
たらす。
【００３６】ばね組立体５２または１０４は、レンズ１
０を直接、受座３４上に機械的に締め付けて、締め付け
力と受座の力とのずれにより生じ得るモーメントを全て
除去する。レンズ１０を機械的に締め付けることによ
り、接着剤に固有のガス抜きおよび分解の際に破壊しな
ければならない問題が回避される。ばね組立体５２また
は１０４に、開示した可撓性の締付機構を設けることに
より、機械的許容差に起こり得る機械的および寸法的差
が幾らかあっても、締付力は、実質的に均等かつ一定に
加えられる。締付機構は、半径方向屈曲マウント２２ま
たは１０２に取り付けられて、レンズ１０およびセル２
０または１００の伸張差によるレンズ１０の過度の拘束
を防止する。
０を直接、受座３４上に機械的に締め付けて、締め付け
力と受座の力とのずれにより生じ得るモーメントを全て
除去する。レンズ１０を機械的に締め付けることによ
り、接着剤に固有のガス抜きおよび分解の際に破壊しな
ければならない問題が回避される。ばね組立体５２また
は１０４に、開示した可撓性の締付機構を設けることに
より、機械的許容差に起こり得る機械的および寸法的差
が幾らかあっても、締付力は、実質的に均等かつ一定に
加えられる。締付機構は、半径方向屈曲マウント２２ま
たは１０２に取り付けられて、レンズ１０およびセル２
０または１００の伸張差によるレンズ１０の過度の拘束
を防止する。
【００３７】上記の配置と別の配置において、ばね組立
体５２または１０４およびレンズ受座３４の位置は、セ
ル２０または１００上の他の場所に変更することができ
る。例えば、各レンズ受座３４が、内壁３２に、ばね組
立体５２または１０４がレンズ受座３４上に設けられた
状態で設けることができる。この配置においては、半径
方向屈曲マウント２２または１０２は、半径方向の位置
合わせをもたらすようにのみ機能する。
体５２または１０４およびレンズ受座３４の位置は、セ
ル２０または１００上の他の場所に変更することができ
る。例えば、各レンズ受座３４が、内壁３２に、ばね組
立体５２または１０４がレンズ受座３４上に設けられた
状態で設けることができる。この配置においては、半径
方向屈曲マウント２２または１０２は、半径方向の位置
合わせをもたらすようにのみ機能する。
【００３８】半径方向屈曲マウント２２および１０２に
よりもたらされる支持構造にソフトマウント３８または
１３０を追加することは、重力荷重を、３つの受座３４
から、さらなる数の地点、好ましくは先に述べたように
１２の地点に、さらに拡散させる。出願人は、レンズ荷
重を分析して、レンズ１０上の周方向の１２の支持点
が、実質的に、重力変形を防止するための最適な性能を
もたらすことが分かった。当業者は、レンズが、より大
きく、かつ／もしくはより薄く、またはより緊縮したレ
ンズ変形規格を有するならば、さらなるソフトマウント
が必要となるであろうことを認識するであろう。ソフト
マウント３８または１３０の板ばね４２は、好ましく
は、非常に精密な厚さを有する平坦な材料（例えば、金
属、セラミックまたは他の適切に平坦な材料）から形成
された高弾性のカンチレバータイプのばねである。精密
な厚さは、板ばね４２における剛性の変化を最小にす
る。厚みの変化は、また、板ばね４２の幅を変えて望ま
しい均一な剛性を維持することにより補償することもで
きる。スロット２６および１０６ならびに板ばね４２
は、好ましくは、非常に精密で材料に内部応力を生じな
いワイヤ電子放電機械加工（ＥＤＭ）を用いることによ
り形成される。あるいは、板ばね４２は、コイルばねま
たは他のタイプの付勢機構（図示せず）に替えられ得
る。
よりもたらされる支持構造にソフトマウント３８または
１３０を追加することは、重力荷重を、３つの受座３４
から、さらなる数の地点、好ましくは先に述べたように
１２の地点に、さらに拡散させる。出願人は、レンズ荷
重を分析して、レンズ１０上の周方向の１２の支持点
が、実質的に、重力変形を防止するための最適な性能を
もたらすことが分かった。当業者は、レンズが、より大
きく、かつ／もしくはより薄く、またはより緊縮したレ
ンズ変形規格を有するならば、さらなるソフトマウント
が必要となるであろうことを認識するであろう。ソフト
マウント３８または１３０の板ばね４２は、好ましく
は、非常に精密な厚さを有する平坦な材料（例えば、金
属、セラミックまたは他の適切に平坦な材料）から形成
された高弾性のカンチレバータイプのばねである。精密
な厚さは、板ばね４２における剛性の変化を最小にす
る。厚みの変化は、また、板ばね４２の幅を変えて望ま
しい均一な剛性を維持することにより補償することもで
きる。スロット２６および１０６ならびに板ばね４２
は、好ましくは、非常に精密で材料に内部応力を生じな
いワイヤ電子放電機械加工（ＥＤＭ）を用いることによ
り形成される。あるいは、板ばね４２は、コイルばねま
たは他のタイプの付勢機構（図示せず）に替えられ得
る。
【００３９】本発明の原理に従うレンズ取付構造は、フ
ォトリソグラフィシステム（露光装置）、例えば、走査
型フォトリソグラフィシステムに適用可能である。この
システムは、基板上にマスクパターンを、マスクステー
ジ上に保持されたマスクと基板ステージ上に保持された
基板とを同期して移動させることにより露光する（米国
特許第５，４７３，４１０号を参照のこと）。さらに、
本発明は、ステップアンドリピートタイプのフォトリソ
グラフィシステム、すなわち、マスクおよび基板が静止
している間にマスクパターンで基板を露光し、次の工程
で基板を移動させるシステムに適用可能である。さら
に、本発明は、投影光学系を用いずに、マスクおよび基
板に近接させることによりマスクパターンを基板上に露
光するプロキシミティフォトリソグラフィシステムにも
適用可能である。
ォトリソグラフィシステム（露光装置）、例えば、走査
型フォトリソグラフィシステムに適用可能である。この
システムは、基板上にマスクパターンを、マスクステー
ジ上に保持されたマスクと基板ステージ上に保持された
基板とを同期して移動させることにより露光する（米国
特許第５，４７３，４１０号を参照のこと）。さらに、
本発明は、ステップアンドリピートタイプのフォトリソ
グラフィシステム、すなわち、マスクおよび基板が静止
している間にマスクパターンで基板を露光し、次の工程
で基板を移動させるシステムに適用可能である。さら
に、本発明は、投影光学系を用いずに、マスクおよび基
板に近接させることによりマスクパターンを基板上に露
光するプロキシミティフォトリソグラフィシステムにも
適用可能である。
【００４０】フォトリソグラフィシステムの用途が、半
導体製造におけるフォトリソグラフィシステムに限定さ
れる必要はない。例えば、フォトリソグラフィシステム
は、液晶ディスプレイ装置パターンを矩形のガラスプレ
ート上に露光するＬＣＤフォトリソグラフィシステム
と、薄膜状の磁気ヘッドを製造するためのフォトリソグ
ラフィシステムに広く適用されることができる。
導体製造におけるフォトリソグラフィシステムに限定さ
れる必要はない。例えば、フォトリソグラフィシステム
は、液晶ディスプレイ装置パターンを矩形のガラスプレ
ート上に露光するＬＣＤフォトリソグラフィシステム
と、薄膜状の磁気ヘッドを製造するためのフォトリソグ
ラフィシステムに広く適用されることができる。
【００４１】本発明に従うフォトリソグラフィシステム
の光源としては、ｇ−線（４３６ｎｍ）、ｉ−線（３６
５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、Ａｒ
Ｆエキシマレーザ（１９３ｎｍ）およびＦ２レーザ（１
５７ｎｍ）を用いることができるだけでなく、荷電粒子
ビーム、例えばｘ線および電子ビームも用いることがで
きる。例えば、電子ビームを用いる場合には、熱電子放
出タイプの六ホウ化ランタン（ＬａＢ６）またはタンタ
ル（Ｔａ）を電子銃として用いることができる。さら
に、電子ビームを用いる場合には、システムの構造は、
マスクが用いられるか、または、マスクを用いずにパタ
ーンが基板上に直接形成されるような構造であり得る。
の光源としては、ｇ−線（４３６ｎｍ）、ｉ−線（３６
５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、Ａｒ
Ｆエキシマレーザ（１９３ｎｍ）およびＦ２レーザ（１
５７ｎｍ）を用いることができるだけでなく、荷電粒子
ビーム、例えばｘ線および電子ビームも用いることがで
きる。例えば、電子ビームを用いる場合には、熱電子放
出タイプの六ホウ化ランタン（ＬａＢ６）またはタンタ
ル（Ｔａ）を電子銃として用いることができる。さら
に、電子ビームを用いる場合には、システムの構造は、
マスクが用いられるか、または、マスクを用いずにパタ
ーンが基板上に直接形成されるような構造であり得る。
【００４２】フォトリソグラフィシステムに含まれる投
影光学系の倍率に関しては、システムは、縮小系に限定
される必要はない。倍率１倍または拡大系であり得る。
影光学系の倍率に関しては、システムは、縮小系に限定
される必要はない。倍率１倍または拡大系であり得る。
【００４３】投影光学系に関しては、遠紫外線、例えば
エキシマレーザが用いられるときには、ガラス材料、例
えば紫外線を透過させる水晶および蛍石が用いられるこ
とが好ましい。Ｆ２タイプのレーザまたはｘ線を用いる
ときには、光学系は、好ましくは、カタディオプトリッ
クまたは屈折型にすべきであり（レチクルもまた、好ま
しくは反射タイプであるべきである）、電子ビームを用
いるときには、電子光学素子は、好ましくは、電子レン
ズおよび偏光器から構成されるべきである。いうまでも
なく、電子ビームの光路は真空状態にすべきである。
エキシマレーザが用いられるときには、ガラス材料、例
えば紫外線を透過させる水晶および蛍石が用いられるこ
とが好ましい。Ｆ２タイプのレーザまたはｘ線を用いる
ときには、光学系は、好ましくは、カタディオプトリッ
クまたは屈折型にすべきであり（レチクルもまた、好ま
しくは反射タイプであるべきである）、電子ビームを用
いるときには、電子光学素子は、好ましくは、電子レン
ズおよび偏光器から構成されるべきである。いうまでも
なく、電子ビームの光路は真空状態にすべきである。
【００４４】さらに、フォトリソグラフィシステムにお
いて、リニアモータ（米国特許第５，６２３，８５３号
または５，５２８，１１８号を参照のこと）が基板ステ
ージまたはマスクステージに用いられるときに、リニア
モータは、エアベアリングを用いる空気浮上タイプ、ま
たは、ローレンツ力もしくは誘導抵抗力を用いる磁気浮
上タイプであることができる。さらに、ステージは、ガ
イドに沿って移動し得、または、ガイドを用いないガイ
ドレスタイプのステージであり得る。
いて、リニアモータ（米国特許第５，６２３，８５３号
または５，５２８，１１８号を参照のこと）が基板ステ
ージまたはマスクステージに用いられるときに、リニア
モータは、エアベアリングを用いる空気浮上タイプ、ま
たは、ローレンツ力もしくは誘導抵抗力を用いる磁気浮
上タイプであることができる。さらに、ステージは、ガ
イドに沿って移動し得、または、ガイドを用いないガイ
ドレスタイプのステージであり得る。
【００４５】あるいは、ステージは、ステージを電磁力
により駆動させる平坦なモータにより駆動され得る。こ
の電磁力は、対向する位置にある、２次元的に配置され
た磁石を有する磁石ユニットと、２次元的に配置された
コイルを有するアーマチュアコイルユニットとにより発
生される。このタイプの駆動システムにより、磁石ユニ
ットまたはアーマチュアコイルユニットのいずれか一方
がステージに連結され、他方がステージの移動面側に取
り付けられる。
により駆動させる平坦なモータにより駆動され得る。こ
の電磁力は、対向する位置にある、２次元的に配置され
た磁石を有する磁石ユニットと、２次元的に配置された
コイルを有するアーマチュアコイルユニットとにより発
生される。このタイプの駆動システムにより、磁石ユニ
ットまたはアーマチュアコイルユニットのいずれか一方
がステージに連結され、他方がステージの移動面側に取
り付けられる。
【００４６】先に述べたようなステージの移動は、フォ
トリソグラフィシステムの性能に影響を与えることがあ
る反作用力を発生させる。ウェーハ（基板）ステージ運
動により発生する反作用力は、米国特許第５，５２８，
１１８号、および特開平８−１６６４７５号に記載され
ているようなフレーム部材の使用により、フロア（地
面）から機械的に離隔することができる。さらに、レチ
クル（マスク）ステージ運動により発生する反作用力
は、米国特許第５，８７４，８２０号、および特開平８
−３３０２２４号に記載されているようなフレーム部材
の使用により、フロア（地面）から機械的に離隔するこ
とができる。
トリソグラフィシステムの性能に影響を与えることがあ
る反作用力を発生させる。ウェーハ（基板）ステージ運
動により発生する反作用力は、米国特許第５，５２８，
１１８号、および特開平８−１６６４７５号に記載され
ているようなフレーム部材の使用により、フロア（地
面）から機械的に離隔することができる。さらに、レチ
クル（マスク）ステージ運動により発生する反作用力
は、米国特許第５，８７４，８２０号、および特開平８
−３３０２２４号に記載されているようなフレーム部材
の使用により、フロア（地面）から機械的に離隔するこ
とができる。
【００４７】先に述べたように、上記の具体例に従うフ
ォトリソグラフィシステムは、特許請求の範囲に記載さ
れた各要素を含む種々のサブシステム（構成部品）を、
規定された機械的精度、電気的精度および光学的精度が
維持されるように組み立てることにより構築することが
できる。種々の精度を維持するために、組立ての前後
に、全ての光学系が、その光学的精度を達成するように
調整される。同様に、全ての機械系および全ての電気系
が、それぞれの機械的精度および電気的精度を達成する
ように調整される。各系をフォトリソグラフィシステム
に組み立てるプロセスは、各系間の機械的インタフェイ
ス、電気回路配線連結、および空気圧配管連結を含む。
いうまでもなく、種々の各系からフォトリソグラフィシ
ステムを組み立てる前の、各系が組み立てられるプロセ
スがまたある。種々の系を用いてフォトリソグラフィシ
ステムが組み立てられたならば、完成したフォトリソグ
ラフィシステムにおいて全ての精度が維持されるため
に、全体的な調整が行われる。さらに、温度および清浄
度が調節されているクリーンルーム内で露光装置を製造
することが望ましい。
ォトリソグラフィシステムは、特許請求の範囲に記載さ
れた各要素を含む種々のサブシステム（構成部品）を、
規定された機械的精度、電気的精度および光学的精度が
維持されるように組み立てることにより構築することが
できる。種々の精度を維持するために、組立ての前後
に、全ての光学系が、その光学的精度を達成するように
調整される。同様に、全ての機械系および全ての電気系
が、それぞれの機械的精度および電気的精度を達成する
ように調整される。各系をフォトリソグラフィシステム
に組み立てるプロセスは、各系間の機械的インタフェイ
ス、電気回路配線連結、および空気圧配管連結を含む。
いうまでもなく、種々の各系からフォトリソグラフィシ
ステムを組み立てる前の、各系が組み立てられるプロセ
スがまたある。種々の系を用いてフォトリソグラフィシ
ステムが組み立てられたならば、完成したフォトリソグ
ラフィシステムにおいて全ての精度が維持されるため
に、全体的な調整が行われる。さらに、温度および清浄
度が調節されているクリーンルーム内で露光装置を製造
することが望ましい。
【００４８】さらに半導体デバイスは、図１２にその全
体が示されたプロセスにより、上記装置を用いて加工す
ることができる。段階１２０１において、デバイスの機
能および性能特性が設計される。次に、段階１２０２に
おいて、パターンを有するマスク（レチクル）が、その
前の設計段階に従って設計され、また、並行する段階１
２０３において、ウェーハがシリコン材料から製造され
る。段階１２０２において設計されたマスクパターン
は、段階１２０４において、段階１２０３で加工された
ウェーハ上に、本文において先に記載した、本発明に従
うフォトリソグラフィシステムにより露光される。段階
１２０５において、半導体装置が組み立てられて（ダイ
シングプロセス、ボンディングプロセスおよびパッケー
ジングプロセスを含む）、最後に、デバイスは段階１２
０６において検査される。
体が示されたプロセスにより、上記装置を用いて加工す
ることができる。段階１２０１において、デバイスの機
能および性能特性が設計される。次に、段階１２０２に
おいて、パターンを有するマスク（レチクル）が、その
前の設計段階に従って設計され、また、並行する段階１
２０３において、ウェーハがシリコン材料から製造され
る。段階１２０２において設計されたマスクパターン
は、段階１２０４において、段階１２０３で加工された
ウェーハ上に、本文において先に記載した、本発明に従
うフォトリソグラフィシステムにより露光される。段階
１２０５において、半導体装置が組み立てられて（ダイ
シングプロセス、ボンディングプロセスおよびパッケー
ジングプロセスを含む）、最後に、デバイスは段階１２
０６において検査される。
【００４９】本発明を、本発明の好ましい具体例を参照
してかなり詳細に記載してきたが、他の具体例も可能で
あることが理解されるであろう。当業者には、本発明の
構造における多くの変更が、本発明の精神および範囲か
ら逸脱せずに提示されることが理解されるであろう。し
たがって、特許請求の範囲の精神および範囲は、特許請
求の範囲に包含される好ましい具体例の記載に限定され
るものではない。
してかなり詳細に記載してきたが、他の具体例も可能で
あることが理解されるであろう。当業者には、本発明の
構造における多くの変更が、本発明の精神および範囲か
ら逸脱せずに提示されることが理解されるであろう。し
たがって、特許請求の範囲の精神および範囲は、特許請
求の範囲に包含される好ましい具体例の記載に限定され
るものではない。
【００５０】
【発明の効果】本発明に従うレンズ取付組立体によれ
ば、重力および温度因子によるレンズの歪みを最小限に
することができる。特に、屈曲マウントの屈曲部は、温
度変化によりレンズおよびセルが異なるように伸張およ
び収縮することを許容し、かつ、レンズにかかる力と、
それによるレンズ要素の歪みとを最小限にすることがで
きる。それゆえ、半導体デバイスなどのリソグラフィー
工程に用いられる露光装置に本発明のレンズ取付組立体
を備えることにより、極めて高い露光精度で微細パター
ンの露光を実行することができる。
ば、重力および温度因子によるレンズの歪みを最小限に
することができる。特に、屈曲マウントの屈曲部は、温
度変化によりレンズおよびセルが異なるように伸張およ
び収縮することを許容し、かつ、レンズにかかる力と、
それによるレンズ要素の歪みとを最小限にすることがで
きる。それゆえ、半導体デバイスなどのリソグラフィー
工程に用いられる露光装置に本発明のレンズ取付組立体
を備えることにより、極めて高い露光精度で微細パター
ンの露光を実行することができる。
【００５１】
【図１】図１は、本発明に従う、セルに準運動学的に取
り付けられるレンズの一具体例の断面図である。
り付けられるレンズの一具体例の断面図である。
【図２】図２（Ａ）は、本発明に従う、レンズを取り付
けるためのセルの一具体例の斜視図であり、図２（Ｂ）
は、図２（Ａ）のセルの部分拡大斜視図であり、図２
（Ｃ）は、本発明に従う半径方向屈曲マウントの拡大上
面図である。
けるためのセルの一具体例の斜視図であり、図２（Ｂ）
は、図２（Ａ）のセルの部分拡大斜視図であり、図２
（Ｃ）は、本発明に従う半径方向屈曲マウントの拡大上
面図である。
【図３】図３は、図２Ａのセルおよび支持体の部分分解
斜視図である。
斜視図である。
【図４】図４は、複数のソフトマウントと３つの半径方
向屈曲レンズ支持体とによりセルに取り付けられたレン
ズの上面図である。
向屈曲レンズ支持体とによりセルに取り付けられたレン
ズの上面図である。
【図５】図５は、レンズを半径方向屈曲支持体に歪みを
生じずに取り付けるために用いられる工具の操作を示
す。
生じずに取り付けるために用いられる工具の操作を示
す。
【図６】図６（Ａ）〜（Ｃ）は、レンズを屈曲支持体に
対して締め付ける締付ばねの一具体例を示す。
対して締め付ける締付ばねの一具体例を示す。
【図７】図７は、締付ばね組立体の分解斜視図である。
【図８】図８は、レンズセルの第２の具体例を示す。
【図９】図９（Ａ）および（Ｂ）は、図８のレンズセル
の分解部分図であり、該レンズセルの組立を示す。
の分解部分図であり、該レンズセルの組立を示す。
【図１０】図１０は、本発明に従う締付ばね組立体の第
２具体例を示す拡大斜視図である。
２具体例を示す拡大斜視図である。
【図１１】図１１は、図１０に示したレンズ締付ブロッ
クの詳細を示す拡大側面斜視図である。
クの詳細を示す拡大側面斜視図である。
【図１２】図１２は、本発明に従う装置により半導体デ
バイスを加工するための方法を示すフローチャートであ
る。
バイスを加工するための方法を示すフローチャートであ
る。
【図１３】図１３は、図３のソフトマウントがレンズを
支持する様子を示す拡大部分断面図である。
支持する様子を示す拡大部分断面図である。
Claims (13)
- 【請求項１】 レンズを取り付けるための構造体であっ
て、 レンズセル部材であって、該部材の周上でレンズを保持
することができるレンズセル部材と、 レンズセル部材に取り付けられた複数の半径方向屈曲マ
ウントであって、各々が、半径方向屈曲マウントの両端
部から延在する１組の屈曲部と、レンズ外周部を載置す
るために半径方向屈曲マウントに取り付けられた受座と
を含む半径方向屈曲マウントと、 隣り合う半径方向屈曲マウントの間に配置された複数の
ソフトマウントであって、各々が、レンズ外周部に接触
してレンズの重量の少なくとも一部を支持する弾性支持
部を含む複数のソフトマウントとを含み、 上記１組の屈曲部の端部がレンズセル部材に固定され、
かつ、屈曲部が、温度変化によるレンズセル部材の伸張
または収縮に対応し、かつレンズにかかる応力を最小に
するように半径方向に曲がることができるレンズ取付構
造体。 - 【請求項２】 上記ソフトマウントが、レンズの重量の
一部をその末端部にて弾性的に支持するカンチレバー板
部材を含む請求項１に記載の構造体。 - 【請求項３】 上記ソフトマウントが、レンズの重量の
一部をその末端部にて弾性的に支持するばね部材を含む
請求項１に記載の構造体。 - 【請求項４】 各受座は、半径方向屈曲マウントの中心
点から、レンズが屈曲部の平面の位置にて受座に支持さ
れるように延在し、それにより、レンズの軸方向の移動
が半径方向屈曲マウントに反作用をもたらさない請求項
１に記載の構造体。 - 【請求項５】 半径方向屈曲マウントが、レンズを受座
上に弾性的に締め付けるための、半径方向屈曲マウント
上に取り付けられたばね組立体を含む請求項１に記載の
構造体。 - 【請求項６】 パターンを基板上に写す露光装置であっ
て、請求項１に記載のレンズ取付構造体を含む露光装
置。 - 【請求項７】 レンズを取り付けるための構造体であっ
て、 レンズを保持することができるレンズセル部材と、 レンズセル部材と一体的に形成された複数の半径方向屈
曲マウントであって、各々が、レンズを取り付けるため
に半径方向屈曲マウント上に形成された受座と、半径方
向屈曲マウントの両端部から延在する１組の屈曲部とを
含む複数の半径方向屈曲マウントと、 半径方向屈曲マウントの各々の上に取り付けられるばね
組立体であって、各々が、レンズを受座上に固定するた
めの弾性クランプを含むばね組立体とを含み、 上記屈曲部は、半径方向屈曲マウントが半径方向に曲が
って、温度変化によるレンズセル部材の伸張または収縮
に適合することを可能にするレンズ取付構造体。 - 【請求項８】 レンズを取り付けるための構造体であっ
て、 レンズを保持することができるレンズセル部材と、 レンズの重量の少なくとも一部を支持するための複数の
ソフトマウントであって、ソフトマウントが光学軸方向
において位置ずれを生じることに対して構造体が実質的
に影響されないように光学軸方向に撓む複数のソフトマ
ウントとを含むレンズ取付構造体。 - 【請求項９】 ソフトマウントが可撓性の構造体を含
み、該可撓性構造体が、レンズ外周部を支持し、かつ、
レンズを、レンズの半径方向において実質的に拘束しな
い請求項８に記載の構造体。 - 【請求項１０】 前記可撓性構造体が、レンズの重量の
少なくとも一部を支持するための少なくとも１つのばね
部材を含む請求項９に記載の構造体。 - 【請求項１１】 前記可撓性構造体が、レンズの重量の
少なくとも一部を支持するための少なくとも１つのカン
チレバー板を含む請求項９に記載の構造体。 - 【請求項１２】 レンズを保持するための構造体を組み
立てるための方法であって、前記構造体が、レンズセル
部材と、レンズセル部材に連結された半径方向屈曲マウ
ントと、半径方向屈曲マウント上に形成された受座と、
半径方向屈曲マウント上に取り付けられた締付組立体と
を含み、半径方向屈曲マウントが、抗トルク工具と係合
するための特性を含み、 締付組立体を、半径方向屈曲マウントに、少なくとも１
つのねじ付き部材を回転させ、締付組立体を通して半径
方向屈曲マウントにねじ込むことにより取り付けること
と、 抗トルク工具を半径方向屈曲マウントに係合させ、前記
ねじ付き部材を回転させることによりトルクを前記抗ト
ルク工具に加えて、半径方向屈曲マウントに加えられる
トルクを相殺することとを含む前記方法。 - 【請求項１３】 締付組立体が、締付ブロックに連結さ
れたばね部材を含み、該ばね部材が締付ブロックをレン
ズに付勢してレンズを受座上に締め付ける請求項１２に
記載の方法。
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|---|---|---|---|
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| US09/386,255 US6239924B1 (en) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | Kinematic lens mounting with distributed support and radial flexure |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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| TW (1) | TW490599B (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002365013A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-18 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 光波干渉計用参照基準板の支持装置 |
| WO2003102529A1 (fr) * | 2002-06-04 | 2003-12-11 | Nikon Corporation | Procede de mesure de l'homogeneite de l'indice de refraction d'un element optique |
| US6909493B2 (en) | 2002-03-20 | 2005-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Correction member, retainer, exposure apparatus, and device fabrication method |
| US7006308B2 (en) | 2003-05-21 | 2006-02-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Retainer, exposure apparatus, and device fabrication method |
| US7154684B2 (en) | 2000-08-18 | 2006-12-26 | Nikon Corporation | Optical element holding apparatus |
| US7245361B2 (en) | 2002-06-04 | 2007-07-17 | Nikon Corporation | Method for evaluating refractive index homogeneity of optical member |
| JP2008545152A (ja) * | 2005-07-01 | 2008-12-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光学要素の支持装置 |
| JP2009505411A (ja) * | 2005-08-16 | 2009-02-05 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 液浸リソグラフィー用オブジェクティブ |
| JP2009508344A (ja) * | 2005-09-13 | 2009-02-26 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光学要素ユニット |
| JP2010537415A (ja) * | 2007-08-23 | 2010-12-02 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 寄生負荷最小化光学素子モジュール |
| JP2013080933A (ja) * | 2012-10-31 | 2013-05-02 | Carl Zeiss Smt Gmbh | 寄生負荷最小化光学素子モジュール |
| JP2015133496A (ja) * | 2015-02-05 | 2015-07-23 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 寄生負荷最小化光学素子モジュール |
| CN114486939A (zh) * | 2022-04-08 | 2022-05-13 | 欧普康视科技股份有限公司 | 一种镜片划痕检测系统及方法 |
Families Citing this family (72)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6650412B1 (en) * | 1999-09-10 | 2003-11-18 | Kaiser Optical Systems | Thermal compensation for optical apparatus |
| CN1440512A (zh) * | 2000-03-31 | 2003-09-03 | 株式会社尼康 | 固定光学元件的方法和装置、光学装置、曝光设备以及装置的制造方法 |
| JP4945845B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2012-06-06 | 株式会社ニコン | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにマイクロデバイスの製造方法。 |
| US6639740B1 (en) | 2000-08-10 | 2003-10-28 | Nikon Corporation | Catadioptric lens barrel structure having a plurality of split lens barrels and a support structure supporting the split lens barrels |
| US6473245B1 (en) | 2000-08-10 | 2002-10-29 | Nikon Corporation | Catadioptric lens barrel structure having a plurality of support platforms and method of making the same |
| US6400516B1 (en) * | 2000-08-10 | 2002-06-04 | Nikon Corporation | Kinematic optical mounting |
| US6577457B1 (en) | 2000-08-10 | 2003-06-10 | Nikon Corporation | Catadioptric lens barrel structure having a kinematic alignment structure and method for aligning two planar surfaces |
| US6653639B1 (en) * | 2000-10-17 | 2003-11-25 | Nikon Corporation | Chuck for mounting reticle to a reticle stage |
| EP1339099A4 (en) * | 2000-11-10 | 2008-05-21 | Nikon Corp | OPTICAL DEVICE, EXPOSURE DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD |
| US6439139B1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-08-27 | Owens Corning Fiberglas Technology, Inc. | Method for recycling building materials |
| DE10100546A1 (de) * | 2001-01-08 | 2002-07-11 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Verstellung eines optischen Elementes in einem Objektiv |
| US6381081B1 (en) * | 2001-01-19 | 2002-04-30 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Flexure-ring for centering a concave lens in a bore of a housing for an optical system |
| US6788389B2 (en) * | 2001-07-10 | 2004-09-07 | Nikon Corporation | Production method of projection optical system |
| US6603611B1 (en) * | 2001-11-06 | 2003-08-05 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Mount for ultra-high performance of optical components under thermal and vibrational distortion conditions |
| TW577108B (en) * | 2001-11-07 | 2004-02-21 | Nikon Corp | Optical device and the manufacturing method thereof, optical system, and manufacturing method of exposure device and micro-device |
| US20030098965A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-05-29 | Mike Binnard | System and method for supporting a device holder with separate components |
| AU2003231381A1 (en) * | 2002-04-22 | 2003-11-03 | Nikon Corporation | Support apparatus, optical apparatus, light exposure apparatus, and method for producing device |
| JP4333078B2 (ja) * | 2002-04-26 | 2009-09-16 | 株式会社ニコン | 投影光学系、該投影光学系を備えた露光装置および該投影光学系を用いた露光方法並びにデバイス製造方法 |
| US20030234918A1 (en) * | 2002-06-20 | 2003-12-25 | Nikon Corporation | Adjustable soft mounts in kinematic lens mounting system |
| US20030234916A1 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-25 | Nikon Corporation | Soft supports to reduce deformation of vertically mounted lens or mirror |
| US20030235682A1 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-25 | Sogard Michael R. | Method and device for controlling thermal distortion in elements of a lithography system |
| US6922293B2 (en) | 2002-07-02 | 2005-07-26 | Nikon Corporation | Kinematic optical mounting assembly with flexures |
| TWI266151B (en) | 2002-07-11 | 2006-11-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| EP1380899B1 (en) * | 2002-07-11 | 2014-09-03 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| US6649865B1 (en) * | 2002-08-07 | 2003-11-18 | Great Computer Corp. | Control method for optical lens-seat on a laser processing machine |
| AU2003250898A1 (en) * | 2002-08-08 | 2004-03-11 | Carl Zeiss Smt Ag | Device for receiving an optical module in an imaging unit |
| US20040080730A1 (en) * | 2002-10-29 | 2004-04-29 | Michael Binnard | System and method for clamping a device holder with reduced deformation |
| WO2004086148A1 (de) * | 2003-03-26 | 2004-10-07 | Carl Zeiss Smt Ag | Vorrichtung zur deformationsarmen austauschbaren lagerung eines optischen elements |
| JP2004363559A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-24 | Canon Inc | 光学部材保持装置 |
| KR101281357B1 (ko) * | 2003-06-06 | 2013-07-02 | 가부시키가이샤 니콘 | 광학 소자 유지 장치, 경통, 노광 장치, 및 디바이스의제조방법 |
| DE102004025832A1 (de) * | 2004-05-24 | 2005-12-22 | Carl Zeiss Smt Ag | Optikmodul für ein Objektiv |
| JP4654915B2 (ja) * | 2003-12-25 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | 光学素子の保持装置、鏡筒、露光装置、及びデバイスの製造方法 |
| EP1577693B1 (de) * | 2004-02-26 | 2011-07-13 | Carl Zeiss SMT GmbH | Objektiv mit wenigstens einem optischen Element |
| DE102004014641B4 (de) * | 2004-03-09 | 2007-09-13 | Carl Zeiss Smt Ag | Anordnung zur Lagerung eines optischen Bauelements |
| WO2006096045A1 (en) * | 2005-03-09 | 2006-09-14 | Stichting Astron | Suspension for keeping an object aligned during large temperature variations; optical system provided with such a suspension. |
| US20060238735A1 (en) * | 2005-04-22 | 2006-10-26 | Vladimir Kamenov | Optical system of a projection exposure apparatus |
| US20100033700A1 (en) * | 2005-06-14 | 2010-02-11 | Takaya Okada | Optical element, optical element holding device, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| WO2007132862A1 (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-22 | Nikon Corporation | 投影光学系、露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| EP1901101A1 (en) | 2006-09-14 | 2008-03-19 | Carl Zeiss SMT AG | Optical element unit and method of supporting an optical element |
| US8416386B2 (en) * | 2007-03-13 | 2013-04-09 | Nikon Corporation | Conforming seats for clamps used in mounting an optical element, and optical systems comprising same |
| WO2008146655A1 (ja) * | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Nikon Corporation | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置ならびにデバイスの製造方法 |
| US7990628B1 (en) * | 2007-08-29 | 2011-08-02 | Tessera MEMS Technologies, Inc. | Planar flexure system with high pitch stiffness |
| DE102007047186B4 (de) * | 2007-10-02 | 2014-01-09 | Carl Zeiss Sms Gmbh | Aufnahmevorrichtung zur Aufnahme einer Photolithographiemaske |
| DE102007063305A1 (de) * | 2007-12-27 | 2009-07-02 | Carl Zeiss Smt Ag | Optische Einrichtung mit einer Federeinrichtung mit einem Bereich konstanter Federkraft |
| DE102008022211B3 (de) * | 2008-05-06 | 2010-02-25 | Carl Zeiss Surgical Gmbh | Linsenträger sowie optische Baugruppe |
| KR101639229B1 (ko) * | 2008-07-21 | 2016-07-13 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치용 광학 요소 마운트 |
| US8591048B2 (en) * | 2009-10-30 | 2013-11-26 | Flir Systems, Inc. | Spatially efficient kinematic mirror mount |
| US8919724B2 (en) | 2010-08-24 | 2014-12-30 | Raytheon Company | Mount for cryogenic fast switching mechanism |
| CN102486564B (zh) * | 2010-12-06 | 2014-10-29 | 上海微电子装备有限公司 | 透镜挠性固定装置 |
| CN102243359B (zh) * | 2011-06-20 | 2012-11-14 | 北京空间机电研究所 | 一种大孔径透镜挠性支撑方法 |
| DE202013011933U1 (de) | 2013-01-23 | 2014-10-28 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Thermisch kompensierte optische Baugruppe mit einem formschlüssig gehaltenen optischen Bauelement |
| CN103901571B (zh) * | 2014-02-13 | 2016-03-09 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大型透反式镜片非垂直放置的挠性支撑装置和支撑方法 |
| CN103885302B (zh) * | 2014-04-04 | 2016-03-30 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置 |
| CN106383395A (zh) * | 2015-07-29 | 2017-02-08 | 上海微电子装备有限公司 | 一种大口径侧立镜组结构 |
| CN105371763B (zh) * | 2015-12-01 | 2017-09-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种大口径光学元件卧式电磁支撑装置 |
| CN107329225B (zh) * | 2016-04-29 | 2020-06-16 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 侧立镜组及其安装方法 |
| US20170363833A1 (en) * | 2016-06-17 | 2017-12-21 | Corning Incorporated | Polymer-free compliant optical member support |
| US10015378B2 (en) | 2016-09-15 | 2018-07-03 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Kinematic mount for split camera |
| TWI597536B (zh) | 2016-10-27 | 2017-09-01 | 財團法人國家實驗硏究院 | 用於支撐鏡片的支撐裝置與方法及用於支 撐功能元件的支撐組件 |
| US10678018B2 (en) * | 2017-10-23 | 2020-06-09 | Magna Electronics Inc. | Camera for vehicle vision system with replaceable lens |
| CN111919156B (zh) * | 2018-03-02 | 2022-07-15 | 古奇及豪斯格公共有限公司 | 用于保持光学装置对准的安装环 |
| GB201804952D0 (en) * | 2018-03-27 | 2018-05-09 | Pxyl Ltd | Improved scanning optical microscope |
| US11692816B2 (en) | 2018-04-27 | 2023-07-04 | Cognex Corporation | Mounting arrangement for optical systems |
| EP3608627B1 (en) | 2018-08-09 | 2023-11-08 | Cognex Corporation | Positioning system for components of optical systems |
| CN109387918A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-02-26 | 长春奥普光电技术股份有限公司 | 一种主三一体镜定位组合装置及方法 |
| EP3792673A1 (en) * | 2019-09-16 | 2021-03-17 | ASML Netherlands B.V. | Assembly for collimating broadband radiation |
| WO2021043516A1 (en) * | 2019-09-03 | 2021-03-11 | Asml Netherlands B.V. | Assembly for collimating broadband radiation |
| CN110568576B (zh) * | 2019-09-09 | 2021-04-06 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种透镜柔性支撑装置 |
| CN112068277B (zh) * | 2020-08-31 | 2021-08-20 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径光学透镜的多级柔性支撑结构 |
| CN112128546B (zh) * | 2020-09-30 | 2021-11-05 | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 | 用于大尺寸拼接光学元件的支撑结构及其安装方法 |
| DE102021200131A1 (de) * | 2021-01-11 | 2022-07-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Baugruppe mit einem Entkopplungsgelenk zur mechanischen Lagerung eines Elements |
| CN113917645B (zh) * | 2021-11-01 | 2023-03-31 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种镜片弹性支撑装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2808762A (en) * | 1956-06-25 | 1957-10-08 | Bausch & Lomb | Lens mounting means |
| US2937571A (en) | 1957-10-08 | 1960-05-24 | Ernest B Thompson | Optical lens mount |
| DE1262041B (de) * | 1965-07-13 | 1968-02-29 | Voigtlaender Ag | Halterung fuer Linsen |
| US3601343A (en) | 1969-09-05 | 1971-08-24 | North American Rockwell | Strain-free mount |
| JPS58159509A (ja) * | 1982-03-18 | 1983-09-21 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置 |
| JPS58187907A (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-02 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ保持装置 |
| US4733945A (en) | 1986-01-15 | 1988-03-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Precision lens mounting |
| US4929054A (en) | 1986-04-28 | 1990-05-29 | The Perkin-Elmer Corporation | Mounting for high resolution projection lenses |
| US4726671A (en) | 1986-06-19 | 1988-02-23 | The Perkin-Elmer Corporation | High resonance adjustable mirror mount |
| US5428482A (en) * | 1991-11-04 | 1995-06-27 | General Signal Corporation | Decoupled mount for optical element and stacked annuli assembly |
| JP3412638B2 (ja) * | 1993-01-19 | 2003-06-03 | 株式会社ニコン | レンズの保持具 |
| JPH06250061A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-09 | Nikon Corp | 光学部材保持装置 |
| JP3956454B2 (ja) | 1997-11-18 | 2007-08-08 | 株式会社ニコン | レンズ支持装置、支持方法および投影露光装置 |
| DE19904152A1 (de) * | 1999-02-03 | 2000-08-10 | Zeiss Carl Fa | Baugruppe aus einem optischen Element und einer Fassung |
-
1999
- 1999-08-31 US US09/386,255 patent/US6239924B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-03-21 TW TW089105120A patent/TW490599B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-05-26 KR KR1020000028700A patent/KR100654117B1/ko active IP Right Grant
- 2000-07-11 JP JP2000210029A patent/JP4622058B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-07-29 EP EP00116461A patent/EP1081521B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-07-29 DE DE60027371T patent/DE60027371T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-07-29 AT AT00116461T patent/ATE323893T1/de not_active IP Right Cessation
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7154684B2 (en) | 2000-08-18 | 2006-12-26 | Nikon Corporation | Optical element holding apparatus |
| US7420752B2 (en) | 2000-08-18 | 2008-09-02 | Nikon Corporation | Holding apparatus |
| JP2002365013A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-18 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 光波干渉計用参照基準板の支持装置 |
| US6909493B2 (en) | 2002-03-20 | 2005-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Correction member, retainer, exposure apparatus, and device fabrication method |
| WO2003102529A1 (fr) * | 2002-06-04 | 2003-12-11 | Nikon Corporation | Procede de mesure de l'homogeneite de l'indice de refraction d'un element optique |
| US7245361B2 (en) | 2002-06-04 | 2007-07-17 | Nikon Corporation | Method for evaluating refractive index homogeneity of optical member |
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| JP4934131B2 (ja) * | 2005-07-01 | 2012-05-16 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 光学要素の支持装置 |
| JP2008545152A (ja) * | 2005-07-01 | 2008-12-11 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 光学要素の支持装置 |
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