JP2003225859A - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
研磨装置および研磨方法Info
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの加圧条件を変更可能で、研磨条件の
設定を容易にすることができる研磨装置を提供する。 【解決手段】 開閉可能な蓋体１４を備え、内部を加圧
もしくは減圧し得る圧力容器たるベルジャー１２と、該
ベルジャー１２内に配置された定盤２３と、ベルジャー
１２内の定盤２３上に配置され、定盤２３との間に配置
されたワークを定盤側に押圧するワーク押圧プレート３
６と、定盤２３とワーク押圧プレート３６とを相対移動
させることでワークを研磨する駆動部３５と、ベルジャ
ー１２に接続され、ベルジャー１２内を加圧もしくは減
圧する圧力源４７、４８とを具備することを特徴とす
る。
設定を容易にすることができる研磨装置を提供する。 【解決手段】 開閉可能な蓋体１４を備え、内部を加圧
もしくは減圧し得る圧力容器たるベルジャー１２と、該
ベルジャー１２内に配置された定盤２３と、ベルジャー
１２内の定盤２３上に配置され、定盤２３との間に配置
されたワークを定盤側に押圧するワーク押圧プレート３
６と、定盤２３とワーク押圧プレート３６とを相対移動
させることでワークを研磨する駆動部３５と、ベルジャ
ー１２に接続され、ベルジャー１２内を加圧もしくは減
圧する圧力源４７、４８とを具備することを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はシリコンウエーハ等
のワークを研磨する研磨装置および研磨方法に関する。
のワークを研磨する研磨装置および研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンウエーハ等のワークを研磨する
ＣＭＰ（ケミカル・メカニカル・ポリシング）技術は、
高密度多層配線を実現するための重要な技術として注目
されている。
ＣＭＰ（ケミカル・メカニカル・ポリシング）技術は、
高密度多層配線を実現するための重要な技術として注目
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＣＭＰ技術
は、用いる研磨液の種類、定盤の回転速度、研磨パッド
の種類、温度等の研磨条件において複合的に関連するフ
ァクターが多いことから、所要の研磨レートが得られ、
しかも満足のいくプラナリゼーションが達成される最適
加工条件の選定が難しいという課題がある。
は、用いる研磨液の種類、定盤の回転速度、研磨パッド
の種類、温度等の研磨条件において複合的に関連するフ
ァクターが多いことから、所要の研磨レートが得られ、
しかも満足のいくプラナリゼーションが達成される最適
加工条件の選定が難しいという課題がある。
【０００４】本発明は上記課題に鑑みてなされたもので
あり、ファクター間の複合的な関連性の比較的うすいワ
ークの加圧条件を変更可能で、研磨条件の設定を容易に
することができる研磨装置および加工方法を提供するこ
とを目的とする。
あり、ファクター間の複合的な関連性の比較的うすいワ
ークの加圧条件を変更可能で、研磨条件の設定を容易に
することができる研磨装置および加工方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的による本発明に
係る研磨装置は、開閉可能な蓋体を備え、内部を加圧も
しくは減圧し得る圧力容器たるベルジャーと、該ベルジ
ャー内に配置された定盤と、前記ベルジャー内の定盤上
に配置され、定盤との間に配置されたワークを定盤側に
押圧するワーク押圧プレートと、前記定盤とワーク押圧
プレートとを相対移動させることでワークを研磨する駆
動部と、前記ベルジャーに接続され、ベルジャー内を加
圧もしくは減圧する圧力源とを具備することを特徴とす
る。前記駆動部により、前記定盤を研磨面と平行な面内
で揺動させてもよいし、研磨面と平行な面内で回転させ
てもよい。また、前記定盤上に研磨液を供給する研磨液
供給部を設けると好適である。
係る研磨装置は、開閉可能な蓋体を備え、内部を加圧も
しくは減圧し得る圧力容器たるベルジャーと、該ベルジ
ャー内に配置された定盤と、前記ベルジャー内の定盤上
に配置され、定盤との間に配置されたワークを定盤側に
押圧するワーク押圧プレートと、前記定盤とワーク押圧
プレートとを相対移動させることでワークを研磨する駆
動部と、前記ベルジャーに接続され、ベルジャー内を加
圧もしくは減圧する圧力源とを具備することを特徴とす
る。前記駆動部により、前記定盤を研磨面と平行な面内
で揺動させてもよいし、研磨面と平行な面内で回転させ
てもよい。また、前記定盤上に研磨液を供給する研磨液
供給部を設けると好適である。
【０００６】また、前記圧力源は、複数の異なる加圧ガ
スの加圧源を備え、該加圧源を切り替えて前記ベルジャ
ーに接続する切り替え手段を具備することを特徴とす
る。また、前記ベルジャー内の圧力、温度等を検出する
計測装置を備えることを特徴とする。また、前記駆動部
が前記ベルジャーの外部に配設されていることを特徴と
する。また、前記ワーク押圧プレートの外周縁に当接し
て、ワーク押圧プレートを前記定盤上の所要位置に保持
する複数個のローラを備えることを特徴とする。前記ロ
ーラが前記ベルジャー内に配設されたアームにより回転
自在に支持されていることを特徴とする。
スの加圧源を備え、該加圧源を切り替えて前記ベルジャ
ーに接続する切り替え手段を具備することを特徴とす
る。また、前記ベルジャー内の圧力、温度等を検出する
計測装置を備えることを特徴とする。また、前記駆動部
が前記ベルジャーの外部に配設されていることを特徴と
する。また、前記ワーク押圧プレートの外周縁に当接し
て、ワーク押圧プレートを前記定盤上の所要位置に保持
する複数個のローラを備えることを特徴とする。前記ロ
ーラが前記ベルジャー内に配設されたアームにより回転
自在に支持されていることを特徴とする。
【０００７】また、前記ワークを加圧する加圧手段を具
備することを特徴とする。また、前記ワーク押圧プレー
トを複数備えることを特徴とする。また、前記研磨液供
給部が、前記ベルジャー内に配置されて研磨液を収納す
る研磨液収納部と、前記ベルジャー外部に配設され、前
記研磨液収納部および前記ベルジャーとパイプを介して
接続され、前記研磨液収納部から定盤上に研磨液を循環
させる循環ポンプとを具備することを特徴とする。ま
た、前記研磨液供給部が、前記ベルジャー内に配置され
て研磨液を収納する研磨液収納部に形成され、前記定盤
が、定盤面が水平面から傾斜するように配置されて、低
位の定盤面が研磨液中に浸るように設けられていること
を特徴とする。
備することを特徴とする。また、前記ワーク押圧プレー
トを複数備えることを特徴とする。また、前記研磨液供
給部が、前記ベルジャー内に配置されて研磨液を収納す
る研磨液収納部と、前記ベルジャー外部に配設され、前
記研磨液収納部および前記ベルジャーとパイプを介して
接続され、前記研磨液収納部から定盤上に研磨液を循環
させる循環ポンプとを具備することを特徴とする。ま
た、前記研磨液供給部が、前記ベルジャー内に配置され
て研磨液を収納する研磨液収納部に形成され、前記定盤
が、定盤面が水平面から傾斜するように配置されて、低
位の定盤面が研磨液中に浸るように設けられていること
を特徴とする。
【０００８】また本発明に係る研磨方法では、上記研磨
装置を用い、前記定盤とワーク押圧プレートとの間にワ
ークを配置し、前記ベルジャー内に所要ガスを封入し、
前記駆動部により前記定盤とワーク押圧プレートとを相
対移動させてワークを研磨することを特徴とする。ま
た、前記研磨液供給部から定盤上に研磨液を供給するこ
とを特徴とする。また、研磨工程中に、前記ベルジャー
内の圧力を変化させることを特徴とする。また、研磨工
程中に、前記ベルジャー内の使用ガスを他のガスに交換
することを特徴とする。
装置を用い、前記定盤とワーク押圧プレートとの間にワ
ークを配置し、前記ベルジャー内に所要ガスを封入し、
前記駆動部により前記定盤とワーク押圧プレートとを相
対移動させてワークを研磨することを特徴とする。ま
た、前記研磨液供給部から定盤上に研磨液を供給するこ
とを特徴とする。また、研磨工程中に、前記ベルジャー
内の圧力を変化させることを特徴とする。また、研磨工
程中に、前記ベルジャー内の使用ガスを他のガスに交換
することを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。図１は研磨装置
１０の正面断面図、図２は蓋体をあけた状態の平面図、
図３はベルジャーの平面図である。１２は、蓋体１４を
備えるベルジャーであり、加圧、減圧状態に耐え得る圧
力容器構造をなす。蓋体１４は軸１５を中心に回動自在
にベルジャー本体１６に取りつけられ、ベルジャー本体
１６を開閉可能になっている。
を添付図面に基づいて詳細に説明する。図１は研磨装置
１０の正面断面図、図２は蓋体をあけた状態の平面図、
図３はベルジャーの平面図である。１２は、蓋体１４を
備えるベルジャーであり、加圧、減圧状態に耐え得る圧
力容器構造をなす。蓋体１４は軸１５を中心に回動自在
にベルジャー本体１６に取りつけられ、ベルジャー本体
１６を開閉可能になっている。
【００１０】１８は締付ボルトであり、ベルジャー本体
１６にその基部側が軸２１により回動自在に取り付けら
れ、上部側が蓋体１４に設けた二股状の固定アーム１９
内に進入可能となっていて、締付ナット２０を回転する
ことによって、蓋体１４をベルジャー本体１６に気密に
締め付けるようになっている。締付ボルト１８は、６０
°ずつの間隔をおいて、ベルジャー本体１６に６個設け
られている。ベルジャー本体１６は所要厚さの鋼材から
なる有底円筒状に形成され、また蓋体１４の天板も上に
凸の曲面に形成されることによって、耐圧構造に形成さ
れている。ベルジャー本体１６の底部材１６ａは、平板
状をなし、耐圧構造をもたせるために、円筒状部よりも
かなり厚い鋼材により形成されている。なお、ベルジャ
ー１２は耐圧構造を備えるものであればよく、円筒型の
ものには限定されない。
１６にその基部側が軸２１により回動自在に取り付けら
れ、上部側が蓋体１４に設けた二股状の固定アーム１９
内に進入可能となっていて、締付ナット２０を回転する
ことによって、蓋体１４をベルジャー本体１６に気密に
締め付けるようになっている。締付ボルト１８は、６０
°ずつの間隔をおいて、ベルジャー本体１６に６個設け
られている。ベルジャー本体１６は所要厚さの鋼材から
なる有底円筒状に形成され、また蓋体１４の天板も上に
凸の曲面に形成されることによって、耐圧構造に形成さ
れている。ベルジャー本体１６の底部材１６ａは、平板
状をなし、耐圧構造をもたせるために、円筒状部よりも
かなり厚い鋼材により形成されている。なお、ベルジャ
ー１２は耐圧構造を備えるものであればよく、円筒型の
ものには限定されない。
【００１１】２３は定盤であり、ベルジャー１２内に配
設される。定盤２３の上面（定盤面）には、図示しない
が、公知の材料からなる研磨布が貼設されている。定盤
２３の下面側には筒状をなす連結部材２４が固定されて
いる。この連結部材２４が、ベアリング２５によって底
部材１６ａに回転自在に支持された回転軸部２６に、キ
ー部材２７を介して連結されている。これにより定盤２
３は回転軸部２６とともに回転される。２８はシール部
材である。また、定盤２３の下面側は、スラストベアリ
ング２９によって支持されている。３０は、底部材１６
ａ上に設けられた受部材であり、スラストベアリング２
９はこの受部材３０上に配置されている。３１はカバー
であり、定盤２３の外周を囲み、定盤２３上に研磨液が
所要量滞留されるようにするためのものである。このカ
バー３１は設けなくともよい。
設される。定盤２３の上面（定盤面）には、図示しない
が、公知の材料からなる研磨布が貼設されている。定盤
２３の下面側には筒状をなす連結部材２４が固定されて
いる。この連結部材２４が、ベアリング２５によって底
部材１６ａに回転自在に支持された回転軸部２６に、キ
ー部材２７を介して連結されている。これにより定盤２
３は回転軸部２６とともに回転される。２８はシール部
材である。また、定盤２３の下面側は、スラストベアリ
ング２９によって支持されている。３０は、底部材１６
ａ上に設けられた受部材であり、スラストベアリング２
９はこの受部材３０上に配置されている。３１はカバー
であり、定盤２３の外周を囲み、定盤２３上に研磨液が
所要量滞留されるようにするためのものである。このカ
バー３１は設けなくともよい。
【００１２】３２は、ベルジャー１２を支持する架台で
あり、４本の脚３２ａを有し、この各脚３２ａ下端に
は、脚３２ａの長さを調節するためのアジャスタブルボ
ルト３３が螺合され、このボルト３３を調整することに
よって、脚３２ａの高さ調節や、ベルジャー１２の水平
度の調節が可能となる。
あり、４本の脚３２ａを有し、この各脚３２ａ下端に
は、脚３２ａの長さを調節するためのアジャスタブルボ
ルト３３が螺合され、このボルト３３を調整することに
よって、脚３２ａの高さ調節や、ベルジャー１２の水平
度の調節が可能となる。
【００１３】３５は駆動部であるモータであり、架台３
２に取り付けられ、その回転軸が回転軸部２６に連結さ
れることによって、モータ３５により定盤２３が回転さ
れることになる。駆動部（モータ）３５は、ベルジャー
１２の外部に配設したが、場合によってはベルジャー１
２内に配設することもできる。
２に取り付けられ、その回転軸が回転軸部２６に連結さ
れることによって、モータ３５により定盤２３が回転さ
れることになる。駆動部（モータ）３５は、ベルジャー
１２の外部に配設したが、場合によってはベルジャー１
２内に配設することもできる。
【００１４】３６はワーク押圧プレートである。ワーク
押圧プレート３６は、定盤２３上に配置され、自重によ
り定盤２３側に押圧力を付与する。定盤２３の上面とワ
ーク押圧プレート３６の下面との間に研磨すべきワーク
（図示せず）が配置される。なお、ワーク押圧プレート
３６上には、任意枚数の円板状の錘（加圧手段）３７が
載せられるようになっていて、荷重の調節が可能となっ
ている。
押圧プレート３６は、定盤２３上に配置され、自重によ
り定盤２３側に押圧力を付与する。定盤２３の上面とワ
ーク押圧プレート３６の下面との間に研磨すべきワーク
（図示せず）が配置される。なお、ワーク押圧プレート
３６上には、任意枚数の円板状の錘（加圧手段）３７が
載せられるようになっていて、荷重の調節が可能となっ
ている。
【００１５】ワーク押圧プレート３６は、定盤２３の中
心軸線上に配置されたローラ３８と、定盤２３の周縁部
上方に配置されたローラ３９とによって、その外周縁が
当接支持されることによって、定盤２３上の所要部位に
保持されるようになっている。ローラ３８、３９は、ベ
ルジャー１２内に配設された円弧状のアーム４０により
回転自在に支持されている。定盤２３は、図２上、矢Ａ
方向に回転される。この定盤２３の回転によって、ワー
ク押圧プレート３６も同方向に連れ回りする自転を行
う。なお、例えば、図示しないモータによりローラ３８
を回転駆動して、これに接触するワーク押圧プレート３
６を所要方向に強制回転させるようにしてもよい。
心軸線上に配置されたローラ３８と、定盤２３の周縁部
上方に配置されたローラ３９とによって、その外周縁が
当接支持されることによって、定盤２３上の所要部位に
保持されるようになっている。ローラ３８、３９は、ベ
ルジャー１２内に配設された円弧状のアーム４０により
回転自在に支持されている。定盤２３は、図２上、矢Ａ
方向に回転される。この定盤２３の回転によって、ワー
ク押圧プレート３６も同方向に連れ回りする自転を行
う。なお、例えば、図示しないモータによりローラ３８
を回転駆動して、これに接触するワーク押圧プレート３
６を所要方向に強制回転させるようにしてもよい。
【００１６】ベルジャー本体１６内には適宜量の研磨液
が収容される。すなわち、ベルジャー本体１６自体が、
研磨液収容部に形成される。このベルジャー本体１６内
に収容された研磨液が、図４に示すように、循環ポンプ
４３により循環される。すなわち、研磨液収容部１６ｂ
に接続されたパイプ４４、およびベルジャー本体１６に
接続されたパイプ４５を介して、研磨液収容部１６ｂに
収容された研磨液が循環ポンプ４３により吸引され、パ
イプ４５から定盤２３面上に供給され、ワークの研磨に
使用された後、研磨液収容部１６ｂに回収されるのであ
る。
が収容される。すなわち、ベルジャー本体１６自体が、
研磨液収容部に形成される。このベルジャー本体１６内
に収容された研磨液が、図４に示すように、循環ポンプ
４３により循環される。すなわち、研磨液収容部１６ｂ
に接続されたパイプ４４、およびベルジャー本体１６に
接続されたパイプ４５を介して、研磨液収容部１６ｂに
収容された研磨液が循環ポンプ４３により吸引され、パ
イプ４５から定盤２３面上に供給され、ワークの研磨に
使用された後、研磨液収容部１６ｂに回収されるのであ
る。
【００１７】研磨液収容部１６ｂ、パイプ４４、循環ポ
ンプ４３、パイプ４５等により研磨液供給部が構成され
る。図１において、４４ａはパイプ４４の接続口であ
る。なお、研磨液収容部１６ｂは、ベルジャー１２の外
部に配設してもよいことはもちろんである。
ンプ４３、パイプ４５等により研磨液供給部が構成され
る。図１において、４４ａはパイプ４４の接続口であ
る。なお、研磨液収容部１６ｂは、ベルジャー１２の外
部に配設してもよいことはもちろんである。
【００１８】次に、図４において、４７は加圧源、４８
は減圧源である。この両者を含めて圧力源とよぶことと
する。加圧源４７は、パイプ４９によりベルジャー本体
１６に接続され、加圧流体をベルジャー１２内に供給す
る。加圧流体は、エアー、酸素、窒素、アルゴン等のガ
スを用いることができ、これらの流体を切り替え弁（図
示せず）により適宜切り替えてベルジャー１２内に供給
しうるようになっている。５１は減圧弁であり、可変し
得る所要設定圧力で流体をベルジャー１２内に供給でき
る。５２、５３はバルブ、５４は流量制御弁である。な
お、加圧流体は、種々のガスの混合ガスを用いてもよ
い。
は減圧源である。この両者を含めて圧力源とよぶことと
する。加圧源４７は、パイプ４９によりベルジャー本体
１６に接続され、加圧流体をベルジャー１２内に供給す
る。加圧流体は、エアー、酸素、窒素、アルゴン等のガ
スを用いることができ、これらの流体を切り替え弁（図
示せず）により適宜切り替えてベルジャー１２内に供給
しうるようになっている。５１は減圧弁であり、可変し
得る所要設定圧力で流体をベルジャー１２内に供給でき
る。５２、５３はバルブ、５４は流量制御弁である。な
お、加圧流体は、種々のガスの混合ガスを用いてもよ
い。
【００１９】減圧源４８はパイプ５５を通じて、バルブ
５２とバルブ５３との間のパイプ４９に接続されてい
る。５６はバルブである。減圧源４８は真空ポンプ等に
よって構成される。図１において、４９ａはパイプ４９
の接続口である。バルブ５６を閉じ、バルブ５２、５３
を開くことによって、加圧流体をベルジャー１２内に供
給でき、バルブ５２を閉じ、バルブ５６、バルブ５３を
開くことによって、減圧源４８により流体を吸引してベ
ルジャー１２内を減圧することができる。なお、５７は
圧力計（計測装置）であり、ベルジャー１２内の圧力を
検出する。その他、温度や湿度を検出する計測装置も必
要に応じて取りつける。５８は安全弁であり、ベルジャ
ー１２内が所要の許容圧力以上の圧力となった場合には
流体を外部に逃がすようになっている。また６０は覗き
窓である（図３）。
５２とバルブ５３との間のパイプ４９に接続されてい
る。５６はバルブである。減圧源４８は真空ポンプ等に
よって構成される。図１において、４９ａはパイプ４９
の接続口である。バルブ５６を閉じ、バルブ５２、５３
を開くことによって、加圧流体をベルジャー１２内に供
給でき、バルブ５２を閉じ、バルブ５６、バルブ５３を
開くことによって、減圧源４８により流体を吸引してベ
ルジャー１２内を減圧することができる。なお、５７は
圧力計（計測装置）であり、ベルジャー１２内の圧力を
検出する。その他、温度や湿度を検出する計測装置も必
要に応じて取りつける。５８は安全弁であり、ベルジャ
ー１２内が所要の許容圧力以上の圧力となった場合には
流体を外部に逃がすようになっている。また６０は覗き
窓である（図３）。
【００２０】図５は駆動部の他の実施の形態を示す説明
図である。ベルジャー１２内に、ステータ６２とロータ
６３からなる駆動モータ６４が配置され、ロータ６３上
に定盤２３が配置されている。モータドライバ６５がベ
ルジャー１２外に配置され、配線６６によってステータ
コイルに電力が供給される。なお、駆動モータ６４には
公知の構造のモータを用いることができる。本実施の形
態では、配線６６のみのシールをすればよいからシール
構造が簡単になる。
図である。ベルジャー１２内に、ステータ６２とロータ
６３からなる駆動モータ６４が配置され、ロータ６３上
に定盤２３が配置されている。モータドライバ６５がベ
ルジャー１２外に配置され、配線６６によってステータ
コイルに電力が供給される。なお、駆動モータ６４には
公知の構造のモータを用いることができる。本実施の形
態では、配線６６のみのシールをすればよいからシール
構造が簡単になる。
【００２１】図６は駆動部のさらに他の実施の形態を示
す説明図である。本実施の形態では、磁気カプラ構造を
採用して定盤２３を回転させるようにしている。すなわ
ち、Ｎ、Ｓに交互に着磁された磁極６７をモータ６８で
回転し、これにより、マグネットからなるロータ６９を
回転させるようにしている。ロータ６９上に定盤２３が
固定されている。本実施の形態では、外部と非接触で定
盤２３を回転させることができるので、ベルジャー１２
内をクリーンに保つことができる。
す説明図である。本実施の形態では、磁気カプラ構造を
採用して定盤２３を回転させるようにしている。すなわ
ち、Ｎ、Ｓに交互に着磁された磁極６７をモータ６８で
回転し、これにより、マグネットからなるロータ６９を
回転させるようにしている。ロータ６９上に定盤２３が
固定されている。本実施の形態では、外部と非接触で定
盤２３を回転させることができるので、ベルジャー１２
内をクリーンに保つことができる。
【００２２】上記各実施の形態では、回転軸の軸線を中
心として定盤２３を回転させるようにしたが、定盤２３
を、定盤２３の研磨面（研磨パッド）と平行な面内で揺
動させるようにしてもよい。図７は、その一例を示す説
明図である。本実施の形態では、定盤２３に複数のクラ
ンク軸７０を取り付け、クランク軸７０をベルジャー１
２の外部に設けた駆動部（図示せず）により、同期して
回転させることによって、定盤２３を、一定の方向を向
かせたまま旋回運動させる、いわゆる小円（Ｂ）運動を
させることができる。
心として定盤２３を回転させるようにしたが、定盤２３
を、定盤２３の研磨面（研磨パッド）と平行な面内で揺
動させるようにしてもよい。図７は、その一例を示す説
明図である。本実施の形態では、定盤２３に複数のクラ
ンク軸７０を取り付け、クランク軸７０をベルジャー１
２の外部に設けた駆動部（図示せず）により、同期して
回転させることによって、定盤２３を、一定の方向を向
かせたまま旋回運動させる、いわゆる小円（Ｂ）運動を
させることができる。
【００２３】また前記実施の形態では、ワークを、ワー
ク押圧プレート３６によって単に定盤２３上に押圧する
ようにしたが、ワークをワーク押圧プレート３６下面に
接着剤によって貼りつけるようにしてもよい。この場
合、研磨終了後にワークを剥離するようにする。あるい
は、ワーク押圧プレート３６を、下面に真空吸着力を作
用させることができる構造のものにし（図示せず）、ワ
ークを直接、あるいは弾性を有するバッキング材を介し
て吸着保持できるようにしてもよい。
ク押圧プレート３６によって単に定盤２３上に押圧する
ようにしたが、ワークをワーク押圧プレート３６下面に
接着剤によって貼りつけるようにしてもよい。この場
合、研磨終了後にワークを剥離するようにする。あるい
は、ワーク押圧プレート３６を、下面に真空吸着力を作
用させることができる構造のものにし（図示せず）、ワ
ークを直接、あるいは弾性を有するバッキング材を介し
て吸着保持できるようにしてもよい。
【００２４】また、上記実施の形態では、加圧手段に錘
３７を用いたが、アーム４０上に設けたシリンダ装置
（図示せず）を用いて加圧するようにしてもよい。ある
いはまた、ワーク押圧プレート３６自体を加圧ヘッド方
式のものにして、ワークを加圧するようにしてもよい。
図８はこの加圧ヘッド方式のワーク押圧プレート３６の
一例を示す。すなわち、ヘッド本体７２内に保持プレー
ト７３を弾性リング体（ダイヤフラム）７４で吊持し
て、加圧室７５を形成し、この加圧室７５内に加圧流体
を導入するようにして、保持プレート７３に保持された
ワークを定盤２３に押圧するようにするのである。この
場合、ワーク押圧プレート３６を、図示しないモータに
より回転軸７６を中心として回転させるようにすると好
適である。回転軸７６の回転駆動機構（図示せず）はア
ーム４０上に設ける。
３７を用いたが、アーム４０上に設けたシリンダ装置
（図示せず）を用いて加圧するようにしてもよい。ある
いはまた、ワーク押圧プレート３６自体を加圧ヘッド方
式のものにして、ワークを加圧するようにしてもよい。
図８はこの加圧ヘッド方式のワーク押圧プレート３６の
一例を示す。すなわち、ヘッド本体７２内に保持プレー
ト７３を弾性リング体（ダイヤフラム）７４で吊持し
て、加圧室７５を形成し、この加圧室７５内に加圧流体
を導入するようにして、保持プレート７３に保持された
ワークを定盤２３に押圧するようにするのである。この
場合、ワーク押圧プレート３６を、図示しないモータに
より回転軸７６を中心として回転させるようにすると好
適である。回転軸７６の回転駆動機構（図示せず）はア
ーム４０上に設ける。
【００２５】また、図８に示すワーク押圧プレート３６
を図示しないシリンダ装置によって上下動させるように
して、定盤２３の研磨面に接離動させるようにすると好
適である。この場合、回転軸７６を図示しない保持アー
ムによって回転自在に支持し、この保持アームをアーム
４０上に設けた上記シリンダ装置によって上下動させる
のである。したがって、上記回転駆動機構は、回転軸７
６を所要範囲内で上下動を許容すると共に、回転力を伝
達可能にする構造のものとする必要がある。加圧室７５
内には回転軸７６に設けた通路７７を介して加圧流体を
供給する。通路７７には、図示しないロータリージョイ
ントを介して加圧流体を導入する。なお、７８は規制リ
ングであり、保持プレート７３の抜け止めをすると共
に、保持プレート７３の上下方向の移動をガイドする。
また、７９はＯリングであり、ヘッド本体７２の側壁の
内壁と保持リング７３の外壁との間に配設され、保持リ
ング７３の水平方向の移動を弾性的に吸収すると共に、
研磨剤がヘッド本体７２内に進入するのを防止する。
を図示しないシリンダ装置によって上下動させるように
して、定盤２３の研磨面に接離動させるようにすると好
適である。この場合、回転軸７６を図示しない保持アー
ムによって回転自在に支持し、この保持アームをアーム
４０上に設けた上記シリンダ装置によって上下動させる
のである。したがって、上記回転駆動機構は、回転軸７
６を所要範囲内で上下動を許容すると共に、回転力を伝
達可能にする構造のものとする必要がある。加圧室７５
内には回転軸７６に設けた通路７７を介して加圧流体を
供給する。通路７７には、図示しないロータリージョイ
ントを介して加圧流体を導入する。なお、７８は規制リ
ングであり、保持プレート７３の抜け止めをすると共
に、保持プレート７３の上下方向の移動をガイドする。
また、７９はＯリングであり、ヘッド本体７２の側壁の
内壁と保持リング７３の外壁との間に配設され、保持リ
ング７３の水平方向の移動を弾性的に吸収すると共に、
研磨剤がヘッド本体７２内に進入するのを防止する。
【００２６】上記研磨装置１０を用い、次の条件下で、
ベルジャー１２内のエアー（空気）圧力を変化させて、
ワークの、銅被膜、SiO2被膜、Si基板の研磨を行ったと
ころ、図９に示す興味ある結果が得られた。 研磨布（パッド）：商品名ＩＣ1000／ＳＵＢＡ４００（φ２００ｍｍ） スラリー（研磨液）：SiO2被膜用のシリカ系スラリー（ＳＳ−２５） Si用のコロイダルシリカ（Compol−８０） Cu用のアルミナ系スラリー 加工圧力（ワーク押圧プレートからの荷重）：１００〜５００ｇ／ｃｍ2 定盤回転数：１５〜９０ｒｐｍ 加工時間：２〜４ｍｉｎ 上記条件内で、加工圧力、定盤回転数、加工時間を一定
に保ったまま、上記各ワークを研磨した研磨結果を図９
に示す。
ベルジャー１２内のエアー（空気）圧力を変化させて、
ワークの、銅被膜、SiO2被膜、Si基板の研磨を行ったと
ころ、図９に示す興味ある結果が得られた。 研磨布（パッド）：商品名ＩＣ1000／ＳＵＢＡ４００（φ２００ｍｍ） スラリー（研磨液）：SiO2被膜用のシリカ系スラリー（ＳＳ−２５） Si用のコロイダルシリカ（Compol−８０） Cu用のアルミナ系スラリー 加工圧力（ワーク押圧プレートからの荷重）：１００〜５００ｇ／ｃｍ2 定盤回転数：１５〜９０ｒｐｍ 加工時間：２〜４ｍｉｎ 上記条件内で、加工圧力、定盤回転数、加工時間を一定
に保ったまま、上記各ワークを研磨した研磨結果を図９
に示す。
【００２７】図９において、装置内圧力ゼロのところが
大気圧である。すなわち、横軸の装置内圧力とは、大気
圧からの加圧分、あるいは減圧分の圧力を示す。図９か
ら明らかなように、大気圧下での研磨の研磨レートが一
番低く、加圧側、減圧側に向けて、それぞれ加圧力、減
圧力にほぼ比例して研磨レートが向上するという興味あ
る結果が得られた。特に、SiO2被膜、Si基板の研磨の場
合、２００ＫＰａで大気圧下のほぼ２倍、５００ＫＰａ
で大気圧下のほぼ２．５倍の研磨レートが得られた。銅
被膜の研磨の場合には、若干の減圧側（−５０ＫＰａ付
近）で研磨レートが最小となる。すなわち、最小の研磨
レートの部位が若干減圧側にずれるが、この部位よりも
高圧側、低圧側ではいずれもSiO2被膜、Si基板の研磨の
場合と同様に研磨レートが上昇した。加圧側で研磨レー
トが向上するのは、ワーク押圧プレート３６に加圧流体
の圧力がそのまま作用するからと考えられる。また、流
体圧力により研磨液がパッド中に染み込み、これにより
研磨レートが向上するとも考えられる。減圧側で研磨レ
ートが向上する理由は定かではないが、ベルジャー１２
内が減圧されることにより、ワークとパッドとの間で発
生する摩擦熱が放散されにくく、温度が上昇して反応速
度が大きくなるからと考えられる。
大気圧である。すなわち、横軸の装置内圧力とは、大気
圧からの加圧分、あるいは減圧分の圧力を示す。図９か
ら明らかなように、大気圧下での研磨の研磨レートが一
番低く、加圧側、減圧側に向けて、それぞれ加圧力、減
圧力にほぼ比例して研磨レートが向上するという興味あ
る結果が得られた。特に、SiO2被膜、Si基板の研磨の場
合、２００ＫＰａで大気圧下のほぼ２倍、５００ＫＰａ
で大気圧下のほぼ２．５倍の研磨レートが得られた。銅
被膜の研磨の場合には、若干の減圧側（−５０ＫＰａ付
近）で研磨レートが最小となる。すなわち、最小の研磨
レートの部位が若干減圧側にずれるが、この部位よりも
高圧側、低圧側ではいずれもSiO2被膜、Si基板の研磨の
場合と同様に研磨レートが上昇した。加圧側で研磨レー
トが向上するのは、ワーク押圧プレート３６に加圧流体
の圧力がそのまま作用するからと考えられる。また、流
体圧力により研磨液がパッド中に染み込み、これにより
研磨レートが向上するとも考えられる。減圧側で研磨レ
ートが向上する理由は定かではないが、ベルジャー１２
内が減圧されることにより、ワークとパッドとの間で発
生する摩擦熱が放散されにくく、温度が上昇して反応速
度が大きくなるからと考えられる。
【００２８】図１０は、加圧流体をエアーに替えて酸素
を用いた場合の圧力と研磨レートとの関係を示すグラフ
である。エアーの場合とほとんど同じ傾向を示すが、特
に銅被膜の研磨の場合、高圧側での研磨レートが大きく
上昇した。
を用いた場合の圧力と研磨レートとの関係を示すグラフ
である。エアーの場合とほとんど同じ傾向を示すが、特
に銅被膜の研磨の場合、高圧側での研磨レートが大きく
上昇した。
【００２９】上記のように、ベルジャー１２内の圧力を
変化させることによって、他の条件を一定にしたまま、
研磨レートの調節が可能となる。例えば、研磨開始時の
粗研磨時には、ベルジャー１２内を加圧、あるいは減圧
して、高い研磨レートで研磨を行い、仕上げ研磨時に
は、ベルジャー１２内を大気圧下に戻して低い研磨レー
トで仕上げ研磨を行うという制御が可能となる。もちろ
ん、他のファクター、例えば、定盤２３の回転数などの
ファクターと組み合わせて、研磨工程中に、研磨レート
の設定を変更するということも可能である。研磨液を変
えるとか、異なる性質のパッドを用いるという場合に
は、異なるステーション（異なる研磨装置）での研磨が
必要となって、装置が大型化するが、ベルジャー１２内
の圧力調整や、定盤２３の回転数の変更は、同じステー
ションで行えるので、研磨装置（ステーション）の台数
を減じることができ、研磨条件の設定が容易となり、ま
た装置の小型化、コストの低減化が図れる利点がある。
変化させることによって、他の条件を一定にしたまま、
研磨レートの調節が可能となる。例えば、研磨開始時の
粗研磨時には、ベルジャー１２内を加圧、あるいは減圧
して、高い研磨レートで研磨を行い、仕上げ研磨時に
は、ベルジャー１２内を大気圧下に戻して低い研磨レー
トで仕上げ研磨を行うという制御が可能となる。もちろ
ん、他のファクター、例えば、定盤２３の回転数などの
ファクターと組み合わせて、研磨工程中に、研磨レート
の設定を変更するということも可能である。研磨液を変
えるとか、異なる性質のパッドを用いるという場合に
は、異なるステーション（異なる研磨装置）での研磨が
必要となって、装置が大型化するが、ベルジャー１２内
の圧力調整や、定盤２３の回転数の変更は、同じステー
ションで行えるので、研磨装置（ステーション）の台数
を減じることができ、研磨条件の設定が容易となり、ま
た装置の小型化、コストの低減化が図れる利点がある。
【００３０】なお、研磨液がベルジャー１２内に収容さ
れて、加圧された状態で循環されるから、循環ポンプ４
３の負荷はそれ程大きなものとならない。研磨液収容部
をベルジャー１２外部に設けてもよいが、この場合には
加圧されているベルジャー１２内に研磨液を送り込む必
要があるので、大型で強力なポンプを使用する必要があ
る。また、研磨液は、ベルジャー１２内に滞留させて用
いるのでもよい。この場合には、アジャスタブルボルト
３３を調節するなどして、定盤２３が、定盤面が水平面
から傾斜するように設定し、低位の定盤面の部位が研磨
液中に浸るようにする。これにより、研磨液が常にパッ
ドに汲み上げられ、ワークの研磨面に供給される。
れて、加圧された状態で循環されるから、循環ポンプ４
３の負荷はそれ程大きなものとならない。研磨液収容部
をベルジャー１２外部に設けてもよいが、この場合には
加圧されているベルジャー１２内に研磨液を送り込む必
要があるので、大型で強力なポンプを使用する必要があ
る。また、研磨液は、ベルジャー１２内に滞留させて用
いるのでもよい。この場合には、アジャスタブルボルト
３３を調節するなどして、定盤２３が、定盤面が水平面
から傾斜するように設定し、低位の定盤面の部位が研磨
液中に浸るようにする。これにより、研磨液が常にパッ
ドに汲み上げられ、ワークの研磨面に供給される。
【００３１】図１１は、加圧流体を不活性ガスである窒
素ガスを用いた場合の上記各ワークの研磨結果を示す。
ベルジャー１２内を窒素ガスでパージした後、加圧、も
しくは減圧したものである。減圧側は、図９、図１０に
示す、エアー、酸素ガス中での研磨と同様に、研磨レー
トが向上する傾向にある。しかし、加圧側は、特に銅被
膜の研磨の場合には、逆に、特に４００ＫＰａあたりま
での加圧状態では、研磨レートが低下する傾向が見られ
る。
素ガスを用いた場合の上記各ワークの研磨結果を示す。
ベルジャー１２内を窒素ガスでパージした後、加圧、も
しくは減圧したものである。減圧側は、図９、図１０に
示す、エアー、酸素ガス中での研磨と同様に、研磨レー
トが向上する傾向にある。しかし、加圧側は、特に銅被
膜の研磨の場合には、逆に、特に４００ＫＰａあたりま
での加圧状態では、研磨レートが低下する傾向が見られ
る。
【００３２】この違いは、銅被膜は酸化しやすいことか
ら、酸素の存在下で研磨が行われる図９や図１０の研磨
と、酸素の不存在下で行われる図１１の研磨とでは、研
磨のメカニズムが相違することに起因すると考えられ
る。すなわち、酸素の存在下では、銅被膜は、酸化作用
を伴うエッチングによる研磨メカニズムとなって、研磨
レートが高くなり、酸素の不存在下では、研磨液からの
エッチング作用のみの研磨メカニズムとなり、研磨レー
トが低下するものと考えられる。図１２は加圧流体にア
ルゴンガスを用いた場合の上記各ワークの研磨結果を示
す。同図から明らかなように、アルゴンガスの場合も窒
素ガスの場合とほぼ同様の傾向が見られた。
ら、酸素の存在下で研磨が行われる図９や図１０の研磨
と、酸素の不存在下で行われる図１１の研磨とでは、研
磨のメカニズムが相違することに起因すると考えられ
る。すなわち、酸素の存在下では、銅被膜は、酸化作用
を伴うエッチングによる研磨メカニズムとなって、研磨
レートが高くなり、酸素の不存在下では、研磨液からの
エッチング作用のみの研磨メカニズムとなり、研磨レー
トが低下するものと考えられる。図１２は加圧流体にア
ルゴンガスを用いた場合の上記各ワークの研磨結果を示
す。同図から明らかなように、アルゴンガスの場合も窒
素ガスの場合とほぼ同様の傾向が見られた。
【００３３】図１３は、種々のガスの存在下での銅被膜
のみの研磨レートをまとめたグラフである。図１４は、
種々のガスの存在下でのSi基板のみの研磨レートをまと
めたグラフである。また、図１５は、種々のガスの存在
下でのSiO2被膜のみの研磨レートをまとめたグラフであ
る。用いる加圧流体を適宜に選択することにより、加圧
流体の圧力設定だけでも研磨レートの調整が行える利点
がある。加圧流体の選択は、複数の流体の圧力源を別途
設けておき、切り替え弁によって切り替えて異なる流体
を用いることができるようにすればよく、これにより同
一の研磨装置１０で対応できる。
のみの研磨レートをまとめたグラフである。図１４は、
種々のガスの存在下でのSi基板のみの研磨レートをまと
めたグラフである。また、図１５は、種々のガスの存在
下でのSiO2被膜のみの研磨レートをまとめたグラフであ
る。用いる加圧流体を適宜に選択することにより、加圧
流体の圧力設定だけでも研磨レートの調整が行える利点
がある。加圧流体の選択は、複数の流体の圧力源を別途
設けておき、切り替え弁によって切り替えて異なる流体
を用いることができるようにすればよく、これにより同
一の研磨装置１０で対応できる。
【００３４】例えば、図１６に示すように、SiO2被膜６
０で隔絶された銅の埋めこみ配線を研磨により形成する
場合について説明する。６１は、銅がSiO2被膜６０中に
拡散するのを防止するためのバリアメタル層であり、Ｔ
ａＮ（窒化タンタル）、あるいはＴａ（タンタル）をス
パッタリングして形成される。銅被膜６２は電解銅めっ
き等によって形成される。まず、バリアメタル層６１が
露出するまで、銅被膜６２の研磨を、例えばエアーによ
る加圧条件下で、所要の高い研磨レートで行う。
０で隔絶された銅の埋めこみ配線を研磨により形成する
場合について説明する。６１は、銅がSiO2被膜６０中に
拡散するのを防止するためのバリアメタル層であり、Ｔ
ａＮ（窒化タンタル）、あるいはＴａ（タンタル）をス
パッタリングして形成される。銅被膜６２は電解銅めっ
き等によって形成される。まず、バリアメタル層６１が
露出するまで、銅被膜６２の研磨を、例えばエアーによ
る加圧条件下で、所要の高い研磨レートで行う。
【００３５】バリアメタル層６１は銅よりも固い金属で
あり、そのまま研磨を継続すると、銅の部分だけ研磨が
早く進行し、埋め込み配線部の銅被膜が薄くなってしま
うおそれがある。そこで、例えば、図１１に示すよう
な、窒素ガスによる加圧条件下で、銅被膜の研磨レート
を下げた状態で、一方、バリアメタル層６１の研磨レー
トを高くした状態での研磨を行うようにすれば、銅被膜
６２とバリアメタル層６１の研磨速度をほぼ同一にして
研磨を行うことが可能となり、図１７に示すように、一
定の所要厚さの埋め込み配線部６２ａを形成することが
できる。このように、同一の研磨サイクル中で、使用流
体を変更することで、研磨レートを変更できるので、研
磨条件の設定が容易となる。もちろん、定盤２３の回転
数の変更などを同時に行ってもよい。
あり、そのまま研磨を継続すると、銅の部分だけ研磨が
早く進行し、埋め込み配線部の銅被膜が薄くなってしま
うおそれがある。そこで、例えば、図１１に示すよう
な、窒素ガスによる加圧条件下で、銅被膜の研磨レート
を下げた状態で、一方、バリアメタル層６１の研磨レー
トを高くした状態での研磨を行うようにすれば、銅被膜
６２とバリアメタル層６１の研磨速度をほぼ同一にして
研磨を行うことが可能となり、図１７に示すように、一
定の所要厚さの埋め込み配線部６２ａを形成することが
できる。このように、同一の研磨サイクル中で、使用流
体を変更することで、研磨レートを変更できるので、研
磨条件の設定が容易となる。もちろん、定盤２３の回転
数の変更などを同時に行ってもよい。
【００３６】以上、本発明の好適な実施例をあげて種々
説明したが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
説明したが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。
【００３７】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ベルジ
ャー内に定盤とワーク押圧プレートとを配置して、ベル
ジャー内を加圧もしくは減圧した状態でワークの研磨を
行うことができ、ベルジャー内の圧力を調整すること
で、研磨条件を容易に変更できるという効果を奏する。
ャー内に定盤とワーク押圧プレートとを配置して、ベル
ジャー内を加圧もしくは減圧した状態でワークの研磨を
行うことができ、ベルジャー内の圧力を調整すること
で、研磨条件を容易に変更できるという効果を奏する。
【図１】研磨装置の正面断面図である。
【図２】蓋体をあけた状態の研磨装置の平面図である。
【図３】ベルジャーの平面図である。
【図４】圧力源との関係を示す説明図である。
【図５】駆動部の他の実施の形態を示す説明図である。
【図６】駆動部のさらに他の実施の形態を示す説明図で
ある。
ある。
【図７】定盤の揺動機構を示す概略図である。
【図８】加圧ヘッド方式のワーク押圧プレートを示す説
明図である。
明図である。
【図９】エアー圧と研磨レートとの関係を示すグラフで
ある。
ある。
【図１０】酸素ガス圧と研磨レートとの関係を示すグラ
フである。
フである。
【図１１】窒素ガス圧と研磨レートとの関係を示すグラ
フである。
フである。
【図１２】アルゴンガス圧と研磨レートとの関係を示す
グラフである。
グラフである。
【図１３】種々のガスの存在下での銅被膜の研磨レート
をまとめたグラフである。
をまとめたグラフである。
【図１４】種々のガスの存在下でのSi基板の研磨レート
をまとめたグラフである。
をまとめたグラフである。
【図１５】種々のガスの存在下でのSiO2被膜の研磨レー
トをまとめたグラフである。
トをまとめたグラフである。
【図１６】埋め込み配線の研磨を示す説明図である。
【図１７】研磨して形成された埋め込み配線の説明図で
ある。
ある。
１０ 研磨装置
１２ ベルジャー
１４ 蓋体
１６ ベルジャー本体
２３ 定盤
３２ 架台
３５ 駆動部（モータ）
３６ ワーク押圧プレート
３８、３９ ローラ
４０ アーム
４３ 循環ポンプ
４４、４５ パイプ
４７ 加圧源
４８ 減圧源
５７ 圧力計
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｅ
６２２Ｒ
Claims (17)
- 【請求項１】 開閉可能な蓋体を備え、内部を加圧もし
くは減圧し得る圧力容器たるベルジャーと、 該ベルジャー内に配置された定盤と、 前記ベルジャー内の定盤上に配置され、定盤との間に配
置されたワークを定盤側に押圧するワーク押圧プレート
と、 前記定盤とワーク押圧プレートとを相対移動させること
でワークを研磨する駆動部と、 前記ベルジャーに接続され、ベルジャー内を加圧もしく
は減圧する圧力源とを具備することを特徴とする研磨装
置。 - 【請求項２】 前記駆動部は、前記定盤を研磨面と平行
な面内で揺動させることを特徴とする請求項１記載の研
磨装置。 - 【請求項３】 前記駆動部は、前記定盤を研磨面と平行
な面内で回転させることを特徴とする請求項１記載の研
磨装置。 - 【請求項４】 前記定盤上に研磨液を供給する研磨液供
給部を具備することを特徴とする請求項１〜３いずれか
１項記載の研磨装置。 - 【請求項５】 前記圧力源は、複数の異なる加圧ガスの
加圧源を備え、 該加圧源を切り替えて前記ベルジャーに接続する切り替
え手段を具備することを特徴とする請求項１〜４いずれ
か１項記載の研磨装置。 - 【請求項６】 前記ベルジャー内の圧力、温度等を検出
する計測装置を備えることを特徴とする請求項１〜５い
ずれか１項記載の研磨装置。 - 【請求項７】 前記駆動部が前記ベルジャーの外部に配
設されていることを特徴とする請求項１〜６いずれか１
項記載の研磨装置。 - 【請求項８】 前記ワーク押圧プレートの外周縁に当接
して、ワーク押圧プレートを前記定盤上の所要位置に保
持する複数個のローラを備えることを特徴とする請求項
１〜７いずれか１項記載の研磨装置。 - 【請求項９】 前記ローラが前記ベルジャー内に配設さ
れたアームにより回転自在に支持されていることを特徴
とする請求項８記載の研磨装置。 - 【請求項１０】 前記ワークを加圧する加圧手段を具備
することを特徴とする請求項１〜９いずれか１項記載の
研磨装置。 - 【請求項１１】 前記ワーク押圧プレートを複数備える
ことを特徴とする請求項１〜１０いずれか１項記載の研
磨装置。 - 【請求項１２】 前記研磨液供給部が、 前記ベルジャー内に配置されて研磨液を収納する研磨液
収納部と、 前記ベルジャー外部に配設され、前記研磨液収納部およ
び前記ベルジャーとパイプを介して接続され、前記研磨
液収納部から定盤上に研磨液を循環させる循環ポンプと
を具備することを特徴とする請求項１〜１１いずれか１
項記載の研磨装置。 - 【請求項１３】 前記研磨液供給部が、前記ベルジャー
内に配置されて研磨液を収納する研磨液収納部に形成さ
れ、 前記定盤が、定盤面が水平面から傾斜するように配置さ
れて、低位の定盤面が研磨液中に浸るように設けられて
いることを特徴とする請求項１〜１１いずれか１項記載
の研磨装置。 - 【請求項１４】 請求項１〜１３いずれか１項記載の研
磨装置を用い、前記定盤とワーク押圧プレートとの間に
ワークを配置し、前記ベルジャー内に所要ガスを封入
し、前記駆動部により前記定盤とワーク押圧プレートと
を相対移動させてワークを研磨することを特徴とする研
磨方法。 - 【請求項１５】 前記研磨液供給部から定盤上に研磨液
を供給することを特徴とする請求項１４記載の研磨方
法。 - 【請求項１６】 研磨工程中に、前記ベルジャー内の圧
力を変化させることを特徴とする請求項１４または１５
記載の研磨方法。 - 【請求項１７】 研磨工程中に、前記ベルジャー内の使
用ガスを他のガスに交換することを特徴とする請求項１
４、１５または１６記載の研磨方法。
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