JPH0460976A - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は研磨装置、研磨方法、研磨材、磁気ヘッドお
よび磁気記録再生装置に関するものである。

〔従来の技術〕

最近においては、磁気記録再生装置の高記録密度化に伴
って、高周波特性、トラック幅精度に優れた薄膜型磁気
ヘッドが用いられている。

第６図は薄膜型磁気ヘッドを示す断面図である。

図において、１３は硬質基板で、硬質基板１３はＡＩ、
Ｏ，、−ＴｉＣなどからなる。３ｏは硬質基板１３に被
着された絶縁材で、絶縁材３０はＳ　ｉ　０２　などか
らなる。２０は絶縁材３０の内部に形成された金属磁性
体、４０は絶縁材３０の内部に形成されたコイルで、絶
縁体３０、金属磁性体２０、コイル４０で磁極部５０を
構成しており、硬質基板１３、磁極部５０で薄膜型の磁
気ヘッド２を構成している。１０は磁気ヘッド２の主浮
上面、１１は磁気ヘッド２の前部に設けられた傾斜浮上
面である。

この磁気ヘッド２を磁気ディスク（図示せず）Ｉｚに位
置させて、磁気ディスクを回転すると、磁気ディスクの
下に位置する磁気ディスクが矢印入方向に移動し、磁気
ヘッド２が空気流によって浮上する。この場合、高記録
密度化のためには、磁気ヘッド２の磁極部５０の浮上高
さを０．２μｍ以下にするのが好ましい。

また、このような磁気ヘッド２を製作するには、昭和５
９年度精機学会春季大会学術講演会論文集７６５〜７６
８頁に示されるように、錫ラップ板等で主浮上面１０を
研磨している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、錫ラップ板等で主浮上面１０を研磨したときに
は、研磨しているときに研磨状態を検出することができ
ない。

また、錫ラップ板等で磁気ヘッド２を研磨したときには
、硬質基板１３の硬度が磁極部５０の硬度より大きいの
で、硬質基板１３と磁極部５０との間に０．０２１１ｍ
以」二の段差が発生し、この段差は磁気ヘッド２の磁極
部５０の浮上高さの１割以上となるから、高記録密度を
実現することができない。

この発明は上述の課題を解決するためになされたもので
、高記録密度を実現することができる磁気ヘッドを製造
することができる研磨装置および研磨方法、研磨してい
るときに研磨状態を検出することができる研磨装置、研
磨方法および研磨材、高記録密度を実現することができ
る磁気ヘッドおよび磁気記録再生装置を提供することを
目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するため、この発明においては、磁気ヘ
ッドの浮上面を研磨する研磨装置において、回転可能な
板状の研磨材と、上記磁気ヘッドを保持する保持手段と
を設ける。

＝８ 二の場合、上記保持手段として上記磁気ヘッドの浮上姿
勢を制御する姿勢制御手段を有するものを用いるのが好
ましい。

また、上記研磨材として透明基体に透明保持剤によって
透明研磨粒子を保持したものを用いてもよく、この場合
に、上記研磨材の上記磁気ヘッドを研磨する面とは反対
側に光学的観察装置を設けるのが好ましい。

さらに、上記研磨材の保持剤中に磁性粒子を設けてもよ
い。

この場合、上記磁気ヘッドの出力を検出する出力検出手
段を設けてもよい。

また、研磨時に発生する超音波を検出する検出器を設け
てもよい。

さらに、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持
する保持手段とを具備する研磨装置により上記磁気ヘッ
ドの浮上面を研磨する研磨方法において、研磨開始時に
研磨雰囲気圧力を大気圧とし、しかるのち上記研磨雰囲
気圧力を加圧または減圧し、しかるのち上記研磨雰囲気
圧力を大気圧とする。

また、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持す
る保持手段とを具備する研磨装置により上記磁気ヘッド
の浮上面を研磨する研磨方法において、上記研磨材の回
転数を変化させる。

この場合、上記研磨材の回転数を徐々に大きくしてもよ
い。

さらに、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持
する保持手段とを具備する研磨装置により上記磁気ヘッ
ドの浮上面を研磨する研磨方法において、上記保持手段
により上記磁気ヘッドに加圧力、回転モーメントの少な
くとも一方を加える。

この場合、上記保持手段により上記加圧力を徐々に増加
してもよい。

また、回転可能な板状の透明研磨材と、磁気ヘッドを保
持する保持手段と、上記研磨材の上記磁気ヘッドを研磨
する面とは反対側に設けられた光学的観察装置とを具備
する研磨装置により上記磁気ヘッドの浮上面を研磨する
研磨方法において、上記磁気ヘッドと上記研磨材との間
に生ずる光学重子渉縞を観察する。

さらに、回転可能でありかつ保持剤中に磁性粒子を設け
た板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持する保持手段とを
具備する研磨装置により」―記磁気ヘッドの浮」−而を
研磨する研磨方法において、上記研磨相の磁性粒子に記
録された磁気情報を上記磁気ヘッドにより再生し、その
再生出力の大きさを検出する。

また、磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨装置において
、回転可能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平均面か
らの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材と、上
記磁気ヘッドを保持する保持手段とを設ける。

さらに、回転可能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平
均面からの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材
と、上記磁気ヘッドを保持する保持手段とを具備する研
磨装置により」二記磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨
方法において、上記磁気ヘッドの上記研磨材の半径方向
の位置を変化させる。

また、研磨装置において、回転可能でありかつ透明な板
状の研磨材を設ける。

この場合、上記研磨材の被研磨物を研磨する面とは反対
側に光学的観察装置を設けてもよい。

また、回転可能な板状の透明研磨材と、上記研磨材の上
記被研磨物を研磨する面とは反対側に設けられた光学的
観察装置を具備する研磨装置により上記被研磨物を研磨
する研磨方法において、−ｈ記被研磨物と上記研磨材と
の間に生ずる光学的干渉縞を観察する。

さらに、研磨材において、透明基体に透明保持剤によっ
て透明研磨粒子を保持する。

この場合、上記透明基体の片面に上記透明研磨粒子を設
けてもよく、また上記透明基体の両面に上記透明研磨粒
子を設けてもよい。

また、研磨材において、保持剤中に磁性粒子を設ける。

さらに、浮上面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドに
おいて、上記浮上面の流出側に傾斜面を設ける。

また、浮」−面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドが
設けられた磁気記録再生装置において、」−肥厚上面の
流出側に傾斜面を設ける。

〔作用〕

磁気ヘッドの浮」−面を研磨する研磨装置において、回
転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持する保持手
段とを設けているから、磁気ヘッドの浮上面の流出側に
傾斜面を設けることができる。

この場合、保持手段として磁気ヘッドの浮」−姿勢を制
御可能であるものを用いれば、磁気ヘッドの浮上面の流
出側に任意の角度の傾斜面を設けることができる。

また、研磨材として透明基体に透明保持剤によって透明
研磨粒子を保持したものを用いれば、研磨中に研磨状態
を観察することができ、この場合に、研磨材の磁気ヘッ
ドを研磨する面とは反対側に光学的観察装置を設ければ
、容易に研磨状態を観察することができる。

さらに、研磨材の保持剤中に磁性粒子を設ければ、研磨
中に研磨状態を検出することができる。

この場合、磁気ヘッドの出力を検出する出力検出手段を
設ければ、研磨中に研磨状態を検出することができる。

また、研磨時に発生する超音波を検出する検出器を設け
れば、研磨中に研磨状態を検出することができる。

さらに、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持
する保持手段とを具備する研磨装置により磁気ヘッドの
浮上面を研磨する研磨方法において、研磨開始時に研磨
雰囲気圧力を大気圧とし、しかるのち研磨雰囲気圧ツノ
を加圧または減圧し、しかるのち研磨雰囲気圧力を大気
圧とするから、磁気ヘッドに作用する浮上刃を制御する
ことができる。

また、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持す
る保持手段とを具備する研磨装置により磁気ヘッドの浮
上面を研磨する研磨方法において、研磨材の回転数を変
化させるから、研磨中の磁気ヘッドの浮上姿勢を変化さ
せることができる。

この場合、研磨材の回転数を徐々に大きくすれば、磁気
ヘッドの浮上面を曲面状に研磨することができる。

さらに、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持
する保持手段とを具備する研磨装置により磁気ヘッドの
浮］−面を研磨する研磨方法において、保持手段により
磁気ヘッドに加圧力、回転モーメントの少なくとも一方
を加えるから、研磨中の磁気ヘッドの浮上姿勢を変化さ
せることができる。

この場合、保持手段により加圧力を徐々に増加すれば、
磁気ヘッドの浮］二面を曲面状に研磨することができる
。

また、回転可能な板状の透明研磨材と、磁気ヘッドを保
持する保持手段と、研磨材の磁気ヘッドを研磨する面と
は反対側に設けられた光学的観察装置とを具備する研磨
装置により磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨方法にお
いて、磁気ヘッドと研磨材との間に生ずる光学的干渉縞
を観察するから、研磨中に磁気ヘッドの研磨状態を容易
に検出することができる。

さらに、磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨装置におい
て、回転可能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平均面
からの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材と、
磁気ヘッドを保持する保持手段とを設けるから、磁気ヘ
ッドの浮−」−面の流出側に傾斜面を設けることができ
る。

また、回転ｉ１能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平
均面からの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材
と、磁気ヘッドを保持する保持手段とを具備する研磨装
置により磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨方法におい
て、磁気ヘッドの研磨材の半径方向の位置を変化させる
から、磁気ヘッドの浮上面の流出側に傾斜面を設けるこ
とができる。

さらに、研磨装置において、回転可能でありかつ透明な
板状の研磨材を設けるから、研磨中に被研磨物の研磨状
態を観察することができる。

この場合、研磨材の被研磨物を研磨する面とは反対側に
光学的観察装置を設ければ、研磨状態を容易に観察する
ことができる。

また、回転可能な板状の透明研磨材と、研磨材の被研磨
物を研磨する面とは反対側に設けられた光学的観察装置
を具備する研磨装置により被研磨物を研磨する研磨方法
において、被研磨物と研磨材との間に生ずる光学的干渉
縞を観察すれば、研磨状態を容易に検出することができ
る。

さらに、回転可能でありかつ保持剤中に磁性粒子を設け
た板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持する保持手段とを
具備する研磨装置により」―記磁気ヘッドの浮上面を研
磨する研磨方法において、上記研磨材の磁性粒子に記録
された磁気情報を上記磁気ヘッドにより再生し、その再
生量ノＪの大きさを検出するから、研磨状態を容易に検
出することができる。

また、研磨材において、透明基体に透明保持剤によって
透明研磨粒子を保持するから、研磨中に被研磨物の研磨
状態を観察することができる。

さらに、研磨材において、保持剤中に磁性粒子を設ける
から、磁気ヘッドの研磨中に研磨状態を検出することが
できる。

＋６− また、浮上面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドにお
いて、浮上面の流出側に傾斜面を設けるから、磁気ヘッ
ドが磁気ディスク上に浮上したときの磁極部の浮上高さ
が小さい。

さらに、浮上面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドが
設けられた磁気記録再生装置において、浮上面の流出側
に傾斜面を設けるから、磁気ヘッドが磁気ディスク上に
浮上したときの磁極部の浮上高さが小さい。

［実施例］ 第２図はこの発明に係る研磨装置を示す概略図、第１図
は第２図に示した研磨装置の一部を示す断面図である。

図において、２０５はベース、２１０はベース２０５に
取り付けられたカバーで、ベース２０５、カバー２１０
で容器２０２を構成している。２２０はカバー２１０に
設けられた開口部で、容器２０２の内部は大気圧となっ
ており、カバー２１０には磁気ヘッド交換用開口部（図
示せず）も設けられている。、２００はベース２０５に
取り付けられた駆動スピンドル、１．０５は駆動スピン
ドル２００の出力軸に取り付けられたハブ、１００はハ
ブ１０５に取り付けられた研磨材、１０３は研磨材１０
０の基体で、基体１０３は両面が円滑に研磨されたガラ
ス円板等の透明円板からなる。１０２は研磨材１００の
保持剤で、保持剤１０２はエポキシ・フェノール樹脂等
の透明樹脂からなる。１０１は保持剤１０２に保持され
た研磨粒子で、研磨粒子１０１はダイヤモンド砥粒等か
らなる。そして、ダイヤモンド砥粒を含有した研磨テー
プにより研磨材１００の表面を加工することにより、研
磨材＋００の表面を平滑にし。

かつ所望の高さｈだけダイヤモンド砥粒を突出させてい
る。６は容器２０２の外に設けられた磁気ヘッド移動機
構（図示せず）に取り付けられた荷重印加材、５は荷重
印加材６に取り付けられたジンバル保持板で、ジンバル
保持板５に磁気ヘッド２が接着されており、磁気ヘッド
移動機構等で保持手段を構成しており、磁気ヘッド２は
研磨月１００の上方に位置している。１２０はカバー２
１０に取り付けられた偏荷重制御装置、Ｉｌｌは偏荷重
制御装置１２０に設けられた偏加圧バネで、偏加圧バネ
１１１の先端は磁気ヘッド２に接触している。３００は
ベース２０５に取り（＝１けられた光学顕微鏡で、光学
顕微！、ｌ’２３００にはテレビカメラが内蔵されてい
る。３０１は光学顕微鏡３００のレンズ系で、レンズ系
３０］は研磨月１００の下方の磁極部５０と対応した位
置に設けられている。３０２は光学顕微鏡３００の照明
ランプ、３１０は光学顕微鏡３００のテレビカメラに接
続されたモニタ、３２０はモニタ３１０に接続された浮
上スペーシング測定装置である。

この研磨装置において磁気ヘッド２の浮上面を研磨する
には、次のようにする。まず、磁気ヘッド移動機構によ
り第２図紙面直角方向に磁気ヘッド２を移動させて、ジ
ンバル保持板５をアンロード板（図示せず）により支え
、磁気ヘッド２が研磨材１００の研磨面から退避した状
態とする。つぎに、つぎに、アンロード板を移動するこ
とにより、磁気ヘッド２を研磨月１００上に接触静止さ
せる。つぎに、駆動スピンドル２００によって研磨材１
００を回転させ、磁気ヘッド２を浮」ユカによって研磨
材１００上に浮上させる。この状態で、偏荷重１１ｉ１
Ｊ　＃装置＋２０により偏加圧バネ】１１から磁気ヘッ
ド２への加圧力を制御しながら、磁気ヘッド２の主浮上
面ｌＯの流出側に傾斜面１２を設けるとともに、磁気ヘ
ッド２の研磨状態を光学顕微鏡３００のテレビカメラで
拡大撮映し、浮」ニスベーシング測定装置３２０により
傾斜面１２の面積を測定する。そして、傾斜面１２の面
積が所定値になったとき、偏荷重制御装置＋２０により
偏加圧バネ１１１を退避させ、研磨を一旦停止する。こ
の状態で、研磨材１００の回転数を磁気ヘッド２の実際
の使用時の回転数とし、スペーシング測定装置３２０に
より、磁極部５０と研磨材１００との間に生ずる光学的
干渉縞から、磁気ヘッド２の磁極部５０の浮上スペーシ
ングを測定する。この結果、磁極部５０の浮」ニスベー
シングが所定値より小さいときには、研磨材１００の回
転を停止し、アンロード板を再びジンバル保持板５に接
触させ、磁気ヘッド移動機構を初期位置に戻し、磁気ヘ
ッド２を研磨装置から取り外す。一方、磁極部５０の浮
上スペーシングが所定値より大きいときには、研磨材１
００の回転数を研磨回転数に戻し、再度側加圧バネ１１
１を作動させ、傾斜面１２の面積を一定量だけ増加させ
、再び研磨材１００の回転数を変更して、磁極部５０の
浮上スペーシングを測定する。このようにして、磁極部
５０の浮」ニスベーシングが所定値より小さくなるよう
に傾斜面１２を加工する。

この場合、傾斜面１２と研磨材１００との間に働く荷重
は、磁気ヘッド１２に印加される荷重印加材６による本
来の荷重および偏加圧バネ１１１による偏荷重と、研磨
材１００の回転により生ずる空気流により磁気ヘッド２
に加わる浮上刃との差となり、傾斜面１２と研磨材１０
０との間に働く荷重は非常に小さいから、硬質基板１３
を研磨する場合の研磨粒子１０１の変位量と磁極部５０
を研磨する場合の研磨粒子１０１の変位量との差が小さ
いので、磁極部５０の段差量をＯ，０１１１ｍ以下とす
ることができる。また、基体１０３がガラス円板からな
るときには、とくに研磨粒子１０１の変位量をより小さ
くすることができるから、磁極部５０の段差量を小さく
することができる、。

なお、」二連実施例においては、磁気ヘッド２の生汁」
二面１０の流出側を研磨材１００に接触させるために、
偏加圧バネｌｉｔを用いたが、磁気ヘッド２の生汁」二
面１０の流出側を研磨材＋００に接触させる方法はこれ
に限定されない。たとえば、磁気ヘッド移動機構に回転
機構を設置し、回転機構により、研磨材１００の半径方
向と平行でかつ荷重印加材６の加圧点を通る線を中心と
して、磁気ヘッド２の主浮上面１０の流出側が研磨材１
００に接触するように、磁気ヘッド２を回転してもよい
。

第３図はこの発明に係る他の研磨装置の研磨材の一部を
示す断面図である。この研磨材においては、研磨粒子１
０１の突出高さ１１が半径方向範囲１０６〜１１０によ
って相違しており、外周側の半径方向範囲１０６の突出
高さｈが最も小さく、磁気ヘッド２の浮上スペーシング
の１７４程度であり、半径方向範囲１０６〜１１０の突
出高さｈが徐々に大きくなり、内周側の半径方向範囲１
１０の突出高さｈはその半径における周速での磁気ヘッ
ド２の浮上スペーシングより大きい。

この研磨装置において磁気ヘッド２の冴−」二面を研磨
するには、次のようにする。まず、磁気ヘッド２を半径
方向範囲１０６の部分に静止させ、研磨４！’　ｌ　Ｏ
Ｏの回転数を実使用回転数までに昇し、磁気ヘッド２を
一旦浮」ニさせる。つぎに、磁気ヘッド移動機構により
磁気ヘッド２を次第に内周方向に移動させ、磁気ヘッド
２の主浮上面１０の流出側を少しずつ研磨する。そして
、磁気ヘッド移動機構により磁気ヘッド２を半径方向範
囲１１０まで移動させたのち、磁気ヘッド移動機構によ
り磁気ヘッド２を半径方向範囲１０６の上方に移動し、
磁気ヘッド２の磁極部５０の浮上スペーシングを測定す
る。この結果、磁極部５０の浮上スペーシングが所定値
より小さいときには、磁気ヘッド２を研磨装置から取り
外す。一方、磁極部５０の浮上スペーシングが所定値よ
り大きいときには、研磨を再度行なったのち、磁極部５
０の浮−１−スペーシングを測定する。このようにして
、磁極部５０の浮」ニスベーシングが所定値より小さく
なるように傾斜面１２を加コニする。

なお、」二連実施例においては、カバー２１０に開口部
２２０を設け、容器２０２の内部の圧力を大気圧とした
が、開口部２２０に送気排気装置を接続し、研磨材１０
０の回転開始時に送気排気装置により加圧雰囲気として
、浮」二カを大きくすれば、磁気ヘッド２の浮上開始を
早くすることができ、また研磨時に送気排気装置により
減圧雰囲気として、浮上刃を小さくすれば、研磨速度を
高めることができる。

また、上述実施例においては、光学的に磁気ヘッド２の
浮上スペーシングを測定したが、研磨時に発生する超音
波信号検出することにより、磁気ヘッド２の浮上スペー
シングを測定してもよい。

この場合、超音波信号検出器としては、空気中の超音波
を検出する超音波マイクロホン、磁気ヘッド研磨用固定
治具に伝わる超音波を検出するアコウスティックエミッ
ション検出器等を使用することができる。たとえば、第
３図に示した研磨装置において、超音波を検出して、と
の半径方向範囲１０６〜１１０で磁気ヘッド２が研磨材
ｌＯＯに接触したかを検知することにより、磁気ヘッド
２の浮上スペーシングを知ることができ、研磨の終了を
判定することができる。また、第１図に示した研磨装置
において、容器２０２内の圧力を変えて、超音波の検出
により、磁気ヘッド２の研磨材１００への接触が始まる
圧力を検知し、その圧力から大気圧における磁気ヘッド
２の浮上スペーシングを推定することができ、研磨の終
了を判定することができる。さらに、第１図に示した研
磨装置において、研磨材１００の回転数を変えて、超音
波の検出により、磁気ヘッド２の研磨材１００への接触
が始まる回転数を検知し、その回転数から定常回転数に
おける磁気ヘッド２の浮上スペーシングを推定すること
ができ、研磨の終了を判定することができる。

さらに、上述実施例においては、光学的に磁気ヘッド２
の浮上スペーシングをｉｌｌす定したが、研磨材１００
の保持剤１０２に針状酸化鉄粉などの磁性粒子を含有さ
せて、磁気ヘッド２に生ずる再生磁気信号を検出するこ
とにより、磁気ヘッド２の浮−１−スペーシングを測定
してもよい。この場合、磁気ヘッド２の再生信号は、磁
気ヘッド２と磁性面との間の間隔が小さいほど大きいか
ら、再生信号の大きさにより研磨の終了を判定すること
ができる。また、研磨材１００の内周、外周等の一部分
に記録再生専用円周を形成し、その部分にあらかじめ信
号を記録した信号記録トラックを形成し、研磨過程で信
号記録トラックからの再生信号を検出し、検出信号の大
きさが所定値を越えたかどうかを判定することにより、
磁気ヘッド２の研磨の終了を判定すれば、磁気ヘッド２
の不良率を低下することができる。

また、磁気ヘッド２の研磨、磁気ヘッド２の浮上スペー
シングの測定を別の制御装置（図示せず）により自動的
に制御すれば、磁気ヘッド２に容易に傾斜面１２を設け
ることができる。

第４図はこの発明に係る磁気ヘッド、この発明に係る磁
気記録再生装置の磁気ヘッドが磁気ディスク」二に浮」
ユしている状態を示す断面図、第５図はこの発明に係る
磁気ヘッド、この発明に係る磁気記録再生装置の磁気ヘ
ッドが磁気ディスク」二に静止している状態を示す断面
図である。図において、１８０は磁気ディスク、１５０
は磁気ディスク＋８０の下地膜で、下地膜はＣｒからな
り、アルミニウム基板（図示せず）」二にＮ１−Ｐメツ
キ膜（図示せず）が形成され、メツキ膜の表面が研磨さ
れ、メツキ膜上に下地膜１５０が形成されている。１６
０は下地膜１５０上に設けられたＮ１Ｃｏ−Ｐ磁性膜、
１７０は磁性膜１６０上に設けられたカーボン保護膜で
、保護膜１７０の表面にフッ素系液体潤滑膜（図示せず
）が塗布されている。

第４図に示すように、磁気ヘッド２が磁気ディスタ１８
０上に浮上している状態では、傾斜面Ｉ２が最も低くな
っており、傾斜面１２と磁気ディスク１８０の表面とは
平行であるから、磁極部５０が磁気ヘッド２の中で最も
磁気ディスク＋８０に接近するため、記録再生を効率良
く行なえるとともに、硬質基板１３が磁極部５０から大
きく突出していないため、磁気ヘッド２と磁気ディスク
＋８０との接触の可能性を小さく抑えることが可能であ
る。この場合、主浮上面ＩＯの長さか２　、５　ｍｍ、
傾斜面１２の長さが０．５ｍｍである場合に、磁気ヘッ
ド２の流出部の浮上高さを０．１５μｍｎ、磁気ヘッド
２の流入部の浮上高さを０．３８μｍとし、かつ傾斜面
１２と磁気ディスク１８０の表面とを平行とするために
は、研磨前の磁極部５ｏと硬質基板１３との段差を０．
０４ｐｍ以上とすることができる。

また、第５図に示すように、磁気ヘッド２が磁気ディス
ク１８０上に静止している状態では、第６図に示した従
来の磁気ヘッド２と比較して、傾斜面］２の分だけ磁気
ディスク】８０との接触面積が少なくなるから、磁気デ
ィスク１８０１の潤滑剤、水等の液体膜の表面張力によ
るスティッキング現象の影響を少なくすることができる
。また、詔 磁極部５０は磁気ディスク１８０から０．０４μｍ以上
離以上−るから、装置起動時に磁極部５０が磁気ディス
ク１８０と直接接触することがないので、磁気ヘッド２
、磁気ディスク＋８０が損傷するのを防止することがで
きる。

なお、上述実施例においては、−段の傾斜面１２を設け
たが、研磨中に研磨条件を変更することにより、任意の
段数の傾斜面を設けてもよい。

また、上述実施例においては、傾斜面１２を設けたが、
研磨材１００の回転数を徐々に大きくすることにより、
または偏加圧バネＩＦＩによる加圧力を徐々に増加する
ことにより、磁気ヘッド２の浮上面を曲面状に研磨して
もよく、この場合にも磁極部５０が磁気ヘッド２の中で
最も磁気ディスク１８０に接近するため、記録再生を効
率良く行なえるとともに、硬質基板１３が磁極部５０か
ら大きく突出していないため、磁気ヘッド２と磁気ディ
スク１８０との接触の可能性を小さく抑えることが可能
であり、しかも磁気ディスク１８０上の液体膜の表面張
力によるスティッキング現象のｑ 影響を少なくすることができ、また磁気ヘッド２、磁気
ディスク１８０か損傷するのを防止することができる。

［発明の効果］ 以」二説明したように、この発明に係る研磨装置におい
ては、回転１１１能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保
持する保持手段とを設けているから、容易に磁気ヘッド
の浮上面の流出側に傾斜面を設けることができるので、
高記録密度を実現することができる磁気ヘッドを容易に
製造することができる。

この場合、保持手段として磁気ヘッドの浮」二姿勢を制
御可能であるものを用いれば、磁気ヘッドの浮上面の流
出側に任意の角度の傾斜面を設けることができるから、
より高記録密度を実現することができる磁気ヘッドを製
造することができる。

また、研磨材として透明基体に透明保持剤によって透明
研磨粒子を保持したものを用いれば、研磨中に研磨状態
を観察することができるから、適切な傾斜面を設けるこ
とができるので、より高記録密度を実現することができ
る磁気ヘッドを製造することができ、この場合に、研磨
材の磁気ヘッドを研磨する面とは反対側に光学的観察装
置を設ければ、容易に研磨状態を検出することができる
から、容易に傾斜面を設けることができる１゜さらに、
研磨材の保持剤中に磁性粒子を設ければ、研磨中に研磨
状態を検出することができるから、適切な傾斜面を設け
ることができるので、より高記録密度を実現することが
できる磁気ヘッドを製造することができる。

この場合、磁気ヘッドの出力を検出する出力検出手段を
設ければ、研磨中に研磨状態を検出することができるか
ら、適切な傾斜面を設けることができるので、より高記
録密度を実現することができる磁気ヘッドを製造するこ
とができる。

また、研磨時に発生する超音波を検出する検出器を設け
れば、研磨中に研磨状態を検出することができるから、
適切な傾斜面を設けることができるので、より高記録密
度を実現することができる磁気ヘッドを製造することが
できる。

Ｉ さらに、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持
する保持手段とを具備する研磨装置により磁気ヘッドの
浮上面を研磨する研磨力法において、研磨開始時に研磨
雰囲気圧力を大気圧とし、しかるのち研磨雰囲気圧力を
加圧または減圧し、しかるのち研磨雰囲気圧力を大気圧
とするから、磁気ヘッドに作用する浮上刃を制御するこ
とができるので、磁気ヘッドの浮」二開始を早くするこ
とができ、または研磨速度を高めることができる。

また、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持す
る保持手段とを具備する研磨装置により磁気ヘッドの浮
上面を研磨する研磨方法において、研磨材の回転数を変
化させるから、研磨中の磁気ヘッドの浮上姿勢を変化さ
せることができるので、適切な傾斜面を設けることがで
きるため、より高記録密度を実現することができる磁気
ヘッドを製造することができる。

この場合、研磨材の回転数を徐々に大きくすれば、磁気
ヘッドの浮」−面を曲面状に研磨することができるから
、高記録密度を実現することができる磁気ヘッドを製造
することができる。

さらに、回転０■能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保
持する保持手段とを具備する研磨装置により磁気ヘッド
の浮上面を研磨する研磨方法において、保持手段により
磁気ヘッドに加圧力、回転モーメントの少なくとも一方
を加えるから、研磨中の磁気ヘッドの浮上姿勢を変化さ
せることができるので、適切な傾斜面を設けることがで
きるため、より高記録密度を実現することができる磁気
ヘッドを製造することができる。

この場合、保持手段により加圧力を徐々に増加すれば、
磁気ヘッドの浮上面を曲面状に研磨することができるか
ら、高記録密度を実現することができる磁気ヘッドを製
造することができる。

また、回転可能な板状の透明研磨材と、磁気ヘッドを保
持する保持手段と、研磨材の磁気ヘッドを研磨する面と
は反対側に設けられた光学的観察装置とを具備する研磨
装置により磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨方法にお
いて、磁気ヘッドと研磨材との間に生ずる光学的干渉縞
を観察するか潤 ら、研磨中に磁気ヘッドの研磨状態を容易に検出するこ
とができるので、適切な傾斜面を容易に設けることがで
きるため、より高記録密度を実現することができる磁気
ヘッドを容易に製造することができる。

さらに、回転可能でありかつ保持剤中に磁性粒子を設け
た板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持する保持手段とを
具備する研磨装置により上記磁気ヘッドの浮上面を研磨
する研磨方法において、上記研磨材の磁性粒ｔに記録さ
れた磁気情報を上記磁気ヘッドにより再生し、その再生
出力の大きさを検出するから、研磨状態を容易に検出す
ることができるので、適切な傾斜面を容易に設けること
ができるため、より高記録密度を実現することができる
磁気ヘッドを容易に製造することができる。

また、磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨装置において
、回転＋１１能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平均
面からの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材と
、磁気ヘッドを保持する保持手段とを設けるから、磁気
ヘッドの浮上面の流出側に傾斜面を設けることができる
ので、高記録密度を実現することができる磁気ヘッドを
容易に製造することかできる。

さらに、回転可能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平
均面からの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材
と、磁気ヘラ１くを保持する保持手段とを具備する研磨
装置により磁気ヘッドの浮り而を研磨する研磨方法にお
いて、磁気ヘッドの研磨材の半径方向の位置を変化させ
るから、磁気ヘッドの浮」−面の流出側に傾斜面を設け
ることができるので、高記録密度を実現することができ
る磁気ヘッドを容易に製造することができる。

また、研磨装置において、回転可能でありかつ透明な板
状の研磨材を設けるから、研磨中に被研磨物の研磨状態
を観察することができるので、被研磨物を適切に研磨す
ることができる。

この場合、研磨材の被研磨物を研磨する面とは反対側に
光学的観察装置を設ければ、研磨状態を容易に観察する
ことができるがら、被研磨物を適切にかつ容易に研磨す
ることができる。

また、回転’ｉＴＪ能な板状の透明研磨材と、研磨材の
被研磨物を研磨する面とは反対側に設けられた光学的観
察装置を具備する研磨装置により被研磨物を研磨する研
磨方法において、被研磨物と研磨材との間に生ずる光学
的干渉縞を観察すれば、研磨状態を容易に検出すること
ができるから、被研磨物を適切にかつ容易に研磨するこ
とができる。

さらに、研磨材において、透明基体に透１りｌ保持剤に
よって透明研磨粒子を保持するから、研磨中に被研磨物
の研磨状態を観察することができるので、被研磨物を適
切に研磨することができる。

また、研磨材において、保持剤中に磁性粒子を設けるか
ら、磁気ヘッドの研磨中に研磨状態を検出することがで
きるので、被研磨物を適切に研磨することができる。

さらに、浮上面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドに
おいて、浮に而の流出側に傾斜面を設けるから、磁気ヘ
ッドが磁気ディスク１−に浮ｌ二したときの磁極部の浮
上高さが小さいので、高記録密度を実現することができ
る。

また、浮上面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドが設
けられた磁気記録再生装置において、浮−［ユ面の流出
側に傾斜面を設けるから、磁気ヘッドが磁気ディスク」
二に浮−１−シたときの磁極部の浮１−高さが小さいの
で、高記録密度を実現することができる。

このように、この発明の効果は顕著である。

【図面の簡単な説明】

第１図は第２図に示した研磨装置の一部を示す断面図、
第２図はこの発明に係る研磨装置を示す概略図、第３図
はこの発明に係る他の研磨装置の研磨材の一部を示す断
面図、第４図はこの発明に係る磁気ヘッド、この発明に
係る磁気記録再生装置の磁気ヘッドが磁気ディスク上に
浮上している状態を示す断面図、第５図はこの発明に係
る磁気ヘッド、この発明に係る磁気記録再生装置の磁気
ヘッドが磁気ディスク−１−に静止している状態を示す
断面図、第６図は従来の磁気ヘッドを示す断面図である
。 ２・・・磁気ヘッド （５・・・荷重印加月 １２・・傾斜面 ５０・・・磁極部 ＋００・・研磨材 ＋０１・・・研磨粒子 １０２・・・保持剤 １０３・・・基体 Ｉｌｌ・・・偏加圧バネ ：３００・・・光学顕微鏡

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨装置において、
   回転可能な板状の研磨材と、上記磁気ヘッドを保持する
   保持手段とを具備することを特徴とする研磨装置。 ２、上記保持手段が上記磁気ヘッドの浮上姿勢を制御す
   る姿勢制御手段を有することを特徴とする請求項第１項
   記載の研磨装置。 ３、上記研磨材が透明基体に透明保持剤によって透明研
   磨粒子を保持したことを特徴とする請求項第１項記載の
   研磨装置。 ４、上記研磨材の上記磁気ヘッドを研磨する面とは反対
   側に光学的観察装置を設けたことを特徴とする請求項第
   ３項記載の研磨装置。 ５、上記研磨材の保持剤中に磁性粒子を設けたことを特
   徴とする請求項第１項記載の研磨装置。 ６、上記磁気ヘッドの出力を検出する出力検出手段を設
   けたことを特徴とする請求項第５項記載の研磨装置。 ７、研磨時に発生する超音波を検出する検出器を設けた
   ことを特徴とする請求項第１項記載の研磨装置。 ８、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持する
   保持手段とを具備する研磨装置により上記磁気ヘッドの
   浮上面を研磨する研磨方法において、研磨開始時に研磨
   雰囲気圧力を大気圧とし、しかるのち上記研磨雰囲気圧
   力を加圧または減圧し、しかるのち上記研磨雰囲気圧力
   を大気圧とすることを特徴とする研磨方法。 ９、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持する
   保持手段とを具備する研磨装置により上記磁気ヘッドの
   浮上面を研磨する研磨方法において、上記研磨材の回転
   数を変化させることを特徴とする研磨方法。 １０、上記研磨材の回転数を徐々に大きくすることを特
   徴とする請求項第９項記載の研磨方法。 １１、回転可能な板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持す
   る保持手段とを具備する研磨装置により上記磁気ヘッド
   の浮上面を研磨する研磨方法において、上記保持手段に
   より上記磁気ヘッドに加圧力、回転モーメントの少なく
   とも一方を加えることを特徴とする研磨方法。 １２、上記保持手段により上記加圧力を徐々に増加する
   ことを特徴とする請求項第１１項記載の研磨方法。 １３、回転可能な板状の透明研磨材と、磁気ヘッドを保
   持する保持手段と、上記研磨材の上記磁気ヘッドを研磨
   する面とは反対側に設けられた光学的観察装置とを具備
   する研磨装置により上記磁気ヘッドの浮上面を研磨する
   研磨方法において、上記磁気ヘッドと上記研磨材との間
   に生ずる光学的干渉縞を観察することを特徴とする研磨
   方法。 １４、回転可能でありかつ保持剤中に磁性粒子を設けた
   板状の研磨材と、磁気ヘッドを保持する保持手段とを具
   備する研磨装置により上記磁気ヘッドの浮上面を研磨す
   る研磨方法において、上記研磨材の磁性粒子に記録され
   た磁気情報を上記磁気ヘッドにより再生し、その再生出
   力の大きさを検出することを特徴とする研磨方法。 １５、磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨装置において
   、回転可能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平均面か
   らの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材と、上
   記磁気ヘッドを保持する保持手段とを具備することを特
   徴とする研磨装置。 １６、回転可能でありかつ表面の研磨粒子の保持剤平均
   面からの突出高さが半径方向に変化した板状の研磨材と
   、上記磁気ヘッドを保持する保持手段とを具備する研磨
   装置により上記磁気ヘッドの浮上面を研磨する研磨方法
   において、上記磁気ヘッドの上記研磨材の半径方向の位
   置を変化させることを特徴とする研磨方法。 １７、回転可能でありかつ透明な板状の研磨材を具備す
   ることを特徴とする研磨装置。 １８、上記研磨材の被研磨物を研磨する面とは反対側に
   光学的観察装置を設けたことを特徴とする請求項第１７
   項記載の研磨装置。 １９、回転可能な板状の透明研磨材と、上記研磨材の上
   記被研磨物を研磨する面とは反対側に設けられた光学的
   観察装置を具備する研磨装置により上記被研磨物を研磨
   する研磨方法において、上記被研磨物と上記研磨材との
   間に生ずる光学的干渉縞を観察することを特徴とする研
   磨方法。 ２０、透明基体に透明保持剤によって透明研磨粒子を保
   持したことを特徴とする研磨材。 ２１、上記透明基体の片面に上記透明研磨粒子を設けた
   ことを特徴とする請求項第２０項記載の研磨材。 ２２、上記透明基体の両面に上記透明研磨粒子を設けた
   ことを特徴とする請求項第２０項記載の研磨材。 ２３、保持剤中に磁性粒子を設けたことを特徴とする研
   磨材。 ２４、浮上面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドにお
   いて、上記浮上面の流出側に傾斜面を設けたことを特徴
   とする磁気ヘッド。 ２５、浮上面の流出側に磁極部を有する磁気ヘッドが設
   けられた磁気記録再生装置において、上記浮上面の流出
   側に傾斜面を設けたことを特徴とする磁気記録再生装置
   。