JP2003218373A - 太陽電池、その製造方法および製造器具 - Google Patents
太陽電池、その製造方法および製造器具Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ボールアップという外観不良の問題が生じる
ことなく、Ａｌ製ペーストの使用量を低減した薄型太陽
電池を提供する。また、そのような太陽電池の製造方法
および製造方法に使用する製造器具を提供する。さら
に、この製造方法は従来の材料やプロセスをほとんど変
更せずに使用する。 【解決手段】 本発明の太陽電池は、裏面にＡｌ製ペー
スト電極を有する太陽電池であって、Ａｌ製ペースト電
極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他の部分の厚さよ
り厚いことを特徴とする。
ことなく、Ａｌ製ペーストの使用量を低減した薄型太陽
電池を提供する。また、そのような太陽電池の製造方法
および製造方法に使用する製造器具を提供する。さら
に、この製造方法は従来の材料やプロセスをほとんど変
更せずに使用する。 【解決手段】 本発明の太陽電池は、裏面にＡｌ製ペー
スト電極を有する太陽電池であって、Ａｌ製ペースト電
極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他の部分の厚さよ
り厚いことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池、特に裏
面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽電池およびその製
造方法ならびに製造器具に関する。
面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽電池およびその製
造方法ならびに製造器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】裏面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽
電池の構造を図９に示す。この太陽電池の構造を、図１
０に示す製造プロセスにしたがって説明する。結晶系シ
リコンの場合は、ｐ型シリコン基板１をエッチング後、
受光面となる片面にｎ型拡散層２を積層し、その上に表
面反射率を低減させるために反射防止膜３を形成する。
受光面と反対の片面（以下、場合により「裏面」とい
う）には、Ａｌ製ペーストをスクリーン印刷し、１５０
℃程度で乾燥した後、空気中において７００℃程度で焼
成し、Ａｌ製ペースト電極４を形成する。さらに裏面と
受光面の一部に銀ペーストをパターン状にスクリーン印
刷し、乾燥後、酸化性雰囲気中で高温により焼成し銀製
ペースト電極５，６を形成する。この素子をフラックス
浸漬し、つづいて銀製ペースト電極５，６をはんだコー
ティングし、その後洗浄し、乾燥することにより太陽電
池を製造することができる。
電池の構造を図９に示す。この太陽電池の構造を、図１
０に示す製造プロセスにしたがって説明する。結晶系シ
リコンの場合は、ｐ型シリコン基板１をエッチング後、
受光面となる片面にｎ型拡散層２を積層し、その上に表
面反射率を低減させるために反射防止膜３を形成する。
受光面と反対の片面（以下、場合により「裏面」とい
う）には、Ａｌ製ペーストをスクリーン印刷し、１５０
℃程度で乾燥した後、空気中において７００℃程度で焼
成し、Ａｌ製ペースト電極４を形成する。さらに裏面と
受光面の一部に銀ペーストをパターン状にスクリーン印
刷し、乾燥後、酸化性雰囲気中で高温により焼成し銀製
ペースト電極５，６を形成する。この素子をフラックス
浸漬し、つづいて銀製ペースト電極５，６をはんだコー
ティングし、その後洗浄し、乾燥することにより太陽電
池を製造することができる。
【０００３】スクリーン印刷は、図３に示すとおり、ス
テージ３６の上に、印刷しようとするセル３５を固定
し、その上にスクリーンマスク３３を下降し、セル３５
とスクリーンマスク３３とが適当な間隔となるように調
節する。Ａｌ製ペースト３７をスクリーンマスク３３上
に入れ、スキージ３１を移動しながら加圧することによ
り、Ａｌ製ペースト３７をスクリーンマスク３３を介し
てセル３５に転写する。このスクリーン印刷機を、印刷
する方向から見ると図２のとおりである。
テージ３６の上に、印刷しようとするセル３５を固定
し、その上にスクリーンマスク３３を下降し、セル３５
とスクリーンマスク３３とが適当な間隔となるように調
節する。Ａｌ製ペースト３７をスクリーンマスク３３上
に入れ、スキージ３１を移動しながら加圧することによ
り、Ａｌ製ペースト３７をスクリーンマスク３３を介し
てセル３５に転写する。このスクリーン印刷機を、印刷
する方向から見ると図２のとおりである。
【０００４】図１１に、ｐ型シリコン基板１１の裏面上
にＡｌ製ペースト電極１４を形成した後の構造を示す。
図１１（ａ）は平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１
（ａ）のａ−ａ断面図である。通常、Ａｌ製ペーストの
乾燥後の厚さは４５〜５５μｍであり、平均すると約５
０μｍの厚さである。
にＡｌ製ペースト電極１４を形成した後の構造を示す。
図１１（ａ）は平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１
（ａ）のａ−ａ断面図である。通常、Ａｌ製ペーストの
乾燥後の厚さは４５〜５５μｍであり、平均すると約５
０μｍの厚さである。
【０００５】近年、特に長期信頼性に優れた太陽電池を
低コストで生産するため、太陽電池の大きな部分をしめ
るＡｌ製ペーストの使用量を低減する必要性に迫られて
いる。また、Ａｌ製ペースト電極の厚さを薄くすること
が太陽電池の反りを減らす上で効果的であることもわか
っており、その意味でもＡｌ製ペーストの使用量の低減
が急務となっている。
低コストで生産するため、太陽電池の大きな部分をしめ
るＡｌ製ペーストの使用量を低減する必要性に迫られて
いる。また、Ａｌ製ペースト電極の厚さを薄くすること
が太陽電池の反りを減らす上で効果的であることもわか
っており、その意味でもＡｌ製ペーストの使用量の低減
が急務となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし単にＡｌ製ペー
ストの使用量を減らし、乾燥後の厚さをたとえば４０μ
ｍ以下とするのみでは、図１２に示すとおり、Ａｌ製ペ
ーストの焼成後、電極の外縁部に直径数１０〜数１００
μｍのボール状のＡｌ粒子１９が発生し、このボールア
ップと呼ばれるトラブルのため、外観不良により製品化
できないという問題がある。
ストの使用量を減らし、乾燥後の厚さをたとえば４０μ
ｍ以下とするのみでは、図１２に示すとおり、Ａｌ製ペ
ーストの焼成後、電極の外縁部に直径数１０〜数１００
μｍのボール状のＡｌ粒子１９が発生し、このボールア
ップと呼ばれるトラブルのため、外観不良により製品化
できないという問題がある。
【０００７】本発明の目的は、ボールアップというトラ
ブルが生じることなく、Ａｌ製ペーストの使用量を低減
した薄型太陽電池を提供することにある。
ブルが生じることなく、Ａｌ製ペーストの使用量を低減
した薄型太陽電池を提供することにある。
【０００８】また、本発明のさらなる目的は、そのよう
な太陽電池の製造方法およびそれに使用する製造器具を
提供することにある。
な太陽電池の製造方法およびそれに使用する製造器具を
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の太陽電池は、裏
面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽電池であって、Ａ
ｌ製ペースト電極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他
の部分の厚さより厚いことを特徴とする。
面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽電池であって、Ａ
ｌ製ペースト電極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他
の部分の厚さより厚いことを特徴とする。
【００１０】Ａｌ製ペースト電極の外縁部のうち１辺の
厚さのみ、相対する２辺の厚さのみまたは隣合う２辺の
厚さのみが他の部分の厚さより厚いことが好ましく、Ａ
ｌ製ペースト電極の厚さが連続的に変化する態様もまた
好ましい。
厚さのみ、相対する２辺の厚さのみまたは隣合う２辺の
厚さのみが他の部分の厚さより厚いことが好ましく、Ａ
ｌ製ペースト電極の厚さが連続的に変化する態様もまた
好ましい。
【００１１】本発明の太陽電池の製造方法は、Ａｌ製ペ
ーストをスクリーンマスクを介して加圧し太陽電池裏面
に転写するスクリーン印刷において、印刷時のスクリー
ンマスクと太陽電池裏面との間隔が印刷される部分によ
って異なり、間隔が広い部分には間隔が狭い部分よりＡ
ｌ製ペーストを厚く印刷することを特徴とする。
ーストをスクリーンマスクを介して加圧し太陽電池裏面
に転写するスクリーン印刷において、印刷時のスクリー
ンマスクと太陽電池裏面との間隔が印刷される部分によ
って異なり、間隔が広い部分には間隔が狭い部分よりＡ
ｌ製ペーストを厚く印刷することを特徴とする。
【００１２】スクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔
に広狭を持たせる方法としては、スクリーンマスクのフ
レームとマスクホルダとの間の少なくとも一部にスペー
サを配設する態様、太陽電池裏面のスクリーン印刷をす
る領域の外周の少なくとも一部にスペーサを配設する態
様、太陽電池を固定するステージと太陽電池との間の少
なくとも一部にスペーサを挿入する態様または太陽電池
を固定するステージを傾斜させる態様が好ましい。
に広狭を持たせる方法としては、スクリーンマスクのフ
レームとマスクホルダとの間の少なくとも一部にスペー
サを配設する態様、太陽電池裏面のスクリーン印刷をす
る領域の外周の少なくとも一部にスペーサを配設する態
様、太陽電池を固定するステージと太陽電池との間の少
なくとも一部にスペーサを挿入する態様または太陽電池
を固定するステージを傾斜させる態様が好ましい。
【００１３】したがって、本発明の太陽電池は、太陽電
池を固定するステージを傾斜させることによりスクリー
ンマスクと太陽電池裏面との間隔が広狭を有することを
特徴とするスクリーン印刷機により製造することができ
る。
池を固定するステージを傾斜させることによりスクリー
ンマスクと太陽電池裏面との間隔が広狭を有することを
特徴とするスクリーン印刷機により製造することができ
る。
【００１４】本発明の太陽電池は、Ａｌ製ペーストを厚
く印刷する部分ではスキージの移動速度を速くする方法
により製造することができる。
く印刷する部分ではスキージの移動速度を速くする方法
により製造することができる。
【００１５】本発明の太陽電池は、Ａｌ製ペーストを厚
く印刷する部分ではスクリーン印刷の前、後または前後
に少なくとも一回Ａｌ製ペーストの印刷を行なう方法に
より製造することができる。
く印刷する部分ではスクリーン印刷の前、後または前後
に少なくとも一回Ａｌ製ペーストの印刷を行なう方法に
より製造することができる。
【００１６】本発明の太陽電池は、Ａｌ製ペーストの厚
さを厚くする部分ではスクリーン印刷の前、後または前
後に少なくとも一回Ａｌ製ペーストのスプレーコートを
する方法により製造することができる。
さを厚くする部分ではスクリーン印刷の前、後または前
後に少なくとも一回Ａｌ製ペーストのスプレーコートを
する方法により製造することができる。
【００１７】本発明の太陽電池は、スクリーンマスク中
のＡｌ製ペーストを薄く印刷する部分をプレス加工した
スクリーンマスクを使用して製造することができる。
のＡｌ製ペーストを薄く印刷する部分をプレス加工した
スクリーンマスクを使用して製造することができる。
【００１８】したがって、本発明の製造器具には、スク
リーンマスク中のＡｌ製ペーストを薄く印刷する部分を
プレス加工したスクリーンマスクが含まれる。
リーンマスク中のＡｌ製ペーストを薄く印刷する部分を
プレス加工したスクリーンマスクが含まれる。
【００１９】本発明の太陽電池は、スクリーンマスク中
のパターンエッジと、最も近いスクリーンマスクのフレ
ームとの距離が３０ｍｍ以下であるスクリーンマスクに
より製造することができ、この距離は２０ｍｍ以下が好
ましい。
のパターンエッジと、最も近いスクリーンマスクのフレ
ームとの距離が３０ｍｍ以下であるスクリーンマスクに
より製造することができ、この距離は２０ｍｍ以下が好
ましい。
【００２０】したがって、本発明の製造器具には、スク
リーンマスク中のパターンエッジと、最も近いスクリー
ンマスクのフレームとの距離が３０ｍｍ以下であるスク
リーンマスクが含まれ、この距離が２０ｍｍ以下である
スクリーンマスクが好ましい。
リーンマスク中のパターンエッジと、最も近いスクリー
ンマスクのフレームとの距離が３０ｍｍ以下であるスク
リーンマスクが含まれ、この距離が２０ｍｍ以下である
スクリーンマスクが好ましい。
【００２１】本発明の太陽電池は、スキージによる印圧
が印刷する部分によって異なり、印圧が小さい部分には
印圧が大きい部分よりＡｌ製ペーストを厚く印刷する方
法により製造することができる。
が印刷する部分によって異なり、印圧が小さい部分には
印圧が大きい部分よりＡｌ製ペーストを厚く印刷する方
法により製造することができる。
【００２２】本発明の製造器具には、スキージ中のある
部分の刃先を他の部分の刃先より短くすることにより印
圧を小さくしたことを特徴とするスキージが含まれる。
部分の刃先を他の部分の刃先より短くすることにより印
圧を小さくしたことを特徴とするスキージが含まれる。
【００２３】本発明の製造器具には、スキージ中のある
部分の刃先と他の部分の刃先との取着角度を変えること
により、スキージ中のある部分の刃先の印圧を他の部分
の刃先の印圧より小さくしたことを特徴とするスキージ
が含まれる。
部分の刃先と他の部分の刃先との取着角度を変えること
により、スキージ中のある部分の刃先の印圧を他の部分
の刃先の印圧より小さくしたことを特徴とするスキージ
が含まれる。
【００２４】
【発明の実施の形態】（太陽電池）本発明は、裏面にＡ
ｌ製ペースト電極を有する太陽電池において、Ａｌ製ペ
ースト電極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他の部分
の厚さより厚いことを特徴とする。
ｌ製ペースト電極を有する太陽電池において、Ａｌ製ペ
ースト電極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他の部分
の厚さより厚いことを特徴とする。
【００２５】Ａｌ製ペースト電極の外縁部の厚さを他の
部分の厚さより厚くするのは、ボールアップは、Ａｌ製
ペースト電極の外縁部に発生する傾向があり、また電極
の厚さを厚くすると発生しにくくなるからである。具体
的には、電極の厚さが４５μｍ以上あればボールアップ
は発生しにくくなるが、４０μｍ以下にすると発生しや
すくなる。したがって、Ａｌ製ペーストの使用量を低減
するため、Ａｌ製ペースト電極の厚さを４０μｍ以下と
する場合であっても、ボールアップを防止するために電
極の外縁部の厚さは４５μｍ以上に厚くしておくことが
好ましく、５５μｍ以上に厚くしておくとより好まし
い。
部分の厚さより厚くするのは、ボールアップは、Ａｌ製
ペースト電極の外縁部に発生する傾向があり、また電極
の厚さを厚くすると発生しにくくなるからである。具体
的には、電極の厚さが４５μｍ以上あればボールアップ
は発生しにくくなるが、４０μｍ以下にすると発生しや
すくなる。したがって、Ａｌ製ペーストの使用量を低減
するため、Ａｌ製ペースト電極の厚さを４０μｍ以下と
する場合であっても、ボールアップを防止するために電
極の外縁部の厚さは４５μｍ以上に厚くしておくことが
好ましく、５５μｍ以上に厚くしておくとより好まし
い。
【００２６】Ａｌ製ペースト電極の外縁部のうち少なく
とも一部の厚さを厚くするのは、ボールアップは、焼成
炉へ入れるとき先頭に来る辺に集中して発生し、焼成炉
に最後に入る辺にも稀に発生する傾向があるなど、発生
する部分に特異性があるからであり、Ａｌ製ペーストの
使用量を低減するという課題も併せて考慮するときは、
ボールアップの発生する傾向のある部分を厚くするのが
好ましいからである。
とも一部の厚さを厚くするのは、ボールアップは、焼成
炉へ入れるとき先頭に来る辺に集中して発生し、焼成炉
に最後に入る辺にも稀に発生する傾向があるなど、発生
する部分に特異性があるからであり、Ａｌ製ペーストの
使用量を低減するという課題も併せて考慮するときは、
ボールアップの発生する傾向のある部分を厚くするのが
好ましいからである。
【００２７】具体的には、図１の（ａ）〜（ｃ）に示す
とおり、Ａｌ製ペースト電極１４の外縁部のうち焼成炉
へ入れる際に先頭に来る１辺のみ厚くする態様が好まし
い。この場合、電極の印刷厚に厚薄を設ける方法などに
応じて、図１(ａ）に示すとおり、厚さを連続的に変化
させる態様も好ましい。また、図１（ｄ）に示すとお
り、末端の辺も加えた相対する２辺のみを厚くする態様
も好ましい。さらに、ボールアップはＡｌ製ペースト電
極の外縁部に集中して発生し、中央部にはあまり発生し
ない傾向があるため、図１（ｅ）に示すとおり、電極の
外縁部である４辺全部の印刷厚を厚くする態様も好まし
い。一方、焼成炉へ入れるとき必ずしも電極の相対する
辺に垂直な方向に入るとは限らず、また電極が多角形で
ある場合もあるから、そのような場合にはＡｌ製ペース
ト電極の外縁部のうち隣合う２辺の厚さのみが厚いとい
う態様（図示していない）も好ましい。
とおり、Ａｌ製ペースト電極１４の外縁部のうち焼成炉
へ入れる際に先頭に来る１辺のみ厚くする態様が好まし
い。この場合、電極の印刷厚に厚薄を設ける方法などに
応じて、図１(ａ）に示すとおり、厚さを連続的に変化
させる態様も好ましい。また、図１（ｄ）に示すとお
り、末端の辺も加えた相対する２辺のみを厚くする態様
も好ましい。さらに、ボールアップはＡｌ製ペースト電
極の外縁部に集中して発生し、中央部にはあまり発生し
ない傾向があるため、図１（ｅ）に示すとおり、電極の
外縁部である４辺全部の印刷厚を厚くする態様も好まし
い。一方、焼成炉へ入れるとき必ずしも電極の相対する
辺に垂直な方向に入るとは限らず、また電極が多角形で
ある場合もあるから、そのような場合にはＡｌ製ペース
ト電極の外縁部のうち隣合う２辺の厚さのみが厚いとい
う態様（図示していない）も好ましい。
【００２８】(製造方法）本発明の太陽電池はＡｌ製ペ
ースト電極の外縁部が厚いことを特徴とするが、このよ
うな電極の厚薄はスクリーンマスクと太陽電池裏面との
間隔の変更、印刷速度や印圧などの条件、印刷回数、ス
クリーンマスクの仕様、スキージの仕様などを変更する
ことにより実現できる。
ースト電極の外縁部が厚いことを特徴とするが、このよ
うな電極の厚薄はスクリーンマスクと太陽電池裏面との
間隔の変更、印刷速度や印圧などの条件、印刷回数、ス
クリーンマスクの仕様、スキージの仕様などを変更する
ことにより実現できる。
【００２９】本発明の太陽電池の製造方法は、スクリー
ン印刷をする際にスクリーンマスクと太陽電池裏面との
間隔を印刷する部分によって変えることにより、間隔が
広い部分に間隔が狭い部分よりＡｌ製ペーストを厚く印
刷することを特徴とする。スクリーンマスクと太陽電池
裏面との間隔を広くすることにより、それだけスクリー
ンマスクを通過し得るＡｌペーストの量が多くなり、し
たがって、太陽電池裏面に転写し得るＡｌ製ペーストの
量が多くなり、Ａｌ製ペーストを厚く印刷することがで
きる。スクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔とＡｌ
製ペーストの印刷圧との関係は、使用するＡｌ製ペース
トの粘度などによっても異なるが、スクリーンマスクと
太陽電池裏面との間隔が０．３〜０．６ｍｍであるとき
に厚さ４０μｍ程度のＡｌ製ペーストを印刷できる場合
は、スクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔を１．５
〜２．０ｍｍとすることにより厚さ４５μｍ程度の厚さ
を得ることができる。
ン印刷をする際にスクリーンマスクと太陽電池裏面との
間隔を印刷する部分によって変えることにより、間隔が
広い部分に間隔が狭い部分よりＡｌ製ペーストを厚く印
刷することを特徴とする。スクリーンマスクと太陽電池
裏面との間隔を広くすることにより、それだけスクリー
ンマスクを通過し得るＡｌペーストの量が多くなり、し
たがって、太陽電池裏面に転写し得るＡｌ製ペーストの
量が多くなり、Ａｌ製ペーストを厚く印刷することがで
きる。スクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔とＡｌ
製ペーストの印刷圧との関係は、使用するＡｌ製ペース
トの粘度などによっても異なるが、スクリーンマスクと
太陽電池裏面との間隔が０．３〜０．６ｍｍであるとき
に厚さ４０μｍ程度のＡｌ製ペーストを印刷できる場合
は、スクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔を１．５
〜２．０ｍｍとすることにより厚さ４５μｍ程度の厚さ
を得ることができる。
【００３０】スクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔
を、印刷する部分によって変える方法としては、図２に
示すとおり、スクリーンマスクのフレーム２４とマスク
ホルダ２２との間にスペーサ２７を設ける方法、セル２
５（以下、場合により「太陽電池」ともいう）のスクリ
ーン印刷をする領域の外周の少なくとも一部にスペーサ
２８を配設する方法、セル２５を固定するステージ２６
とセル２５との間の少なくとも一部にスペーサ２９を挿
入する方法またはセル２５を固定するステージ２６を傾
斜させる方法が好ましい。これらの方法により、スクリ
ーンマスク２３を下降させて印刷をするとき、太陽電池
裏面に対してスクリーンマスクが傾くため、太陽電池裏
面とスクリーンマスクとの間隔を印刷する部分によって
変えることができる。
を、印刷する部分によって変える方法としては、図２に
示すとおり、スクリーンマスクのフレーム２４とマスク
ホルダ２２との間にスペーサ２７を設ける方法、セル２
５（以下、場合により「太陽電池」ともいう）のスクリ
ーン印刷をする領域の外周の少なくとも一部にスペーサ
２８を配設する方法、セル２５を固定するステージ２６
とセル２５との間の少なくとも一部にスペーサ２９を挿
入する方法またはセル２５を固定するステージ２６を傾
斜させる方法が好ましい。これらの方法により、スクリ
ーンマスク２３を下降させて印刷をするとき、太陽電池
裏面に対してスクリーンマスクが傾くため、太陽電池裏
面とスクリーンマスクとの間隔を印刷する部分によって
変えることができる。
【００３１】本発明の太陽電池の他の製造方法は、図３
に示すとおり、スクリーン印刷をする際にＡｌ製ペース
トを厚く印刷する部分３８ではスキージ３１を速く移動
させることを特徴とする。スキージを速く移動させる
と、それだけスキージ通過時にスクリーンマスクが太陽
電池裏面から離れる速度も速くなり、スクリーンマスク
を通過して太陽電池裏面に転写するＡｌ製ペーストの量
が多くなる結果、スキージの移動が遅い部分に比べて厚
く印刷をすることができる。スキージの移動速度は、ス
クリーン印刷機の仕様などによっても異なるが、３０〜
５０ｍｍ／秒の移動速度で厚さ４０μｍ程度のＡｌ製ペ
ーストを印刷できるときは、１２０〜２００ｍｍ／秒の
高速とすることにより４５μｍ程度の厚さが得られる。
に示すとおり、スクリーン印刷をする際にＡｌ製ペース
トを厚く印刷する部分３８ではスキージ３１を速く移動
させることを特徴とする。スキージを速く移動させる
と、それだけスキージ通過時にスクリーンマスクが太陽
電池裏面から離れる速度も速くなり、スクリーンマスク
を通過して太陽電池裏面に転写するＡｌ製ペーストの量
が多くなる結果、スキージの移動が遅い部分に比べて厚
く印刷をすることができる。スキージの移動速度は、ス
クリーン印刷機の仕様などによっても異なるが、３０〜
５０ｍｍ／秒の移動速度で厚さ４０μｍ程度のＡｌ製ペ
ーストを印刷できるときは、１２０〜２００ｍｍ／秒の
高速とすることにより４５μｍ程度の厚さが得られる。
【００３２】本発明の太陽電池の他の製造方法は、Ａｌ
製ペーストを厚く印刷しようとする部分にはスクリーン
印刷の前、後または前後に少なくとも一回Ａｌ製ペース
トの印刷を行なうことを特徴とする。同一部分を複数回
印刷することにより、他の部分に比較して厚い印刷が得
られる。このような方法としては、たとえば図４に示す
とおり、スクリーン印刷後、スキージ４１にスクレッパ
（インク返し）４８をかぶせて元の位置に戻す前に、新
たなセル４５をステージ４６に固定し、スキージ４１と
スクレッパ４８とを元の位置に戻す過程で厚く印刷しよ
うとする部分４９において、スクレッパ４８が下降して
スクリーンマスク４３を加圧するように印刷機を設定す
る方法がある。この方法によりスキージ４１によりスク
リーン印刷をする前にスクレッパ４８によりプレ印刷を
することができ、スクリーン印刷後の簡単な操作により
プレ印刷ができる点で好ましい。Ａｌ製ペーストの仕様
などによっても異なるが、スクレッパ４８を０〜１．０
ｍｍ下降させることによって、厚さ５〜２０μｍのＡｌ
製ペーストを印刷することができる。また１回目に使用
したＡｌ製ペーストを２回目以降の印刷に使用すること
ができ、ガラス成分を含有したＡｌ製ペーストであれば
異なる種類のＡｌ製ペーストを使用することもできる。
製ペーストを厚く印刷しようとする部分にはスクリーン
印刷の前、後または前後に少なくとも一回Ａｌ製ペース
トの印刷を行なうことを特徴とする。同一部分を複数回
印刷することにより、他の部分に比較して厚い印刷が得
られる。このような方法としては、たとえば図４に示す
とおり、スクリーン印刷後、スキージ４１にスクレッパ
（インク返し）４８をかぶせて元の位置に戻す前に、新
たなセル４５をステージ４６に固定し、スキージ４１と
スクレッパ４８とを元の位置に戻す過程で厚く印刷しよ
うとする部分４９において、スクレッパ４８が下降して
スクリーンマスク４３を加圧するように印刷機を設定す
る方法がある。この方法によりスキージ４１によりスク
リーン印刷をする前にスクレッパ４８によりプレ印刷を
することができ、スクリーン印刷後の簡単な操作により
プレ印刷ができる点で好ましい。Ａｌ製ペーストの仕様
などによっても異なるが、スクレッパ４８を０〜１．０
ｍｍ下降させることによって、厚さ５〜２０μｍのＡｌ
製ペーストを印刷することができる。また１回目に使用
したＡｌ製ペーストを２回目以降の印刷に使用すること
ができ、ガラス成分を含有したＡｌ製ペーストであれば
異なる種類のＡｌ製ペーストを使用することもできる。
【００３３】本発明の太陽電池の他の製造方法は、Ａｌ
製ペーストの厚さを厚くする部分にはスクリーン印刷の
前、後または前後に少なくとも一回Ａｌ製ペーストのス
プレーコートを行なうことを特徴とする。スプレーコー
トをすることにより、他の部分に比較して厚く塗ること
ができる。スプレーコート以外のコーティング方法もあ
るが、最も簡便であるためスプレーコートが好ましい。
スプレーコートをするときは、Ａｌ製ペーストは酢酸ｎ
−ブチルカルビトールなどの有機溶剤を加えて、スクリ
ーン印刷をするときより粘度を下げておくことが好まし
い。また１回目に使用したＡｌ製ペーストを２回目以降
の印刷に使用することができ、ガラス成分を含有したＡ
ｌ製ペーストであれば異なる種類のＡｌ製ペーストを使
用することもできる。
製ペーストの厚さを厚くする部分にはスクリーン印刷の
前、後または前後に少なくとも一回Ａｌ製ペーストのス
プレーコートを行なうことを特徴とする。スプレーコー
トをすることにより、他の部分に比較して厚く塗ること
ができる。スプレーコート以外のコーティング方法もあ
るが、最も簡便であるためスプレーコートが好ましい。
スプレーコートをするときは、Ａｌ製ペーストは酢酸ｎ
−ブチルカルビトールなどの有機溶剤を加えて、スクリ
ーン印刷をするときより粘度を下げておくことが好まし
い。また１回目に使用したＡｌ製ペーストを２回目以降
の印刷に使用することができ、ガラス成分を含有したＡ
ｌ製ペーストであれば異なる種類のＡｌ製ペーストを使
用することもできる。
【００３４】本発明の太陽電池は、図５に示すとおり、
スクリーンマスク５３中のＡｌ製ペーストを薄く印刷し
ようとする部分５１にプレス加工をしたスクリーンマス
クにより製造することができる。プレス加工をしたスク
リーンマスク５３ａは、プレス加工をしていないスクリ
ーンマスク５３ｂに比較して紗厚が薄くなり、スクリー
ンが密になる結果、スクリーン印刷の際にＡｌ製ペース
トが通過しにくくなり、Ａｌ製ペーストは薄く印刷され
ることになる。プレス加工としては、カレンダーロール
により加圧する方法がある。
スクリーンマスク５３中のＡｌ製ペーストを薄く印刷し
ようとする部分５１にプレス加工をしたスクリーンマス
クにより製造することができる。プレス加工をしたスク
リーンマスク５３ａは、プレス加工をしていないスクリ
ーンマスク５３ｂに比較して紗厚が薄くなり、スクリー
ンが密になる結果、スクリーン印刷の際にＡｌ製ペース
トが通過しにくくなり、Ａｌ製ペーストは薄く印刷され
ることになる。プレス加工としては、カレンダーロール
により加圧する方法がある。
【００３５】本発明の太陽電池の他の製造方法は、図６
に示すとおり、スクリーンマスク中のＡｌ製ペーストを
厚く印刷しようとする部分６３ａと薄く印刷しようとす
る部分６３ｂを実現するために、パターンのエッジ６０
と、最も近いスクリーンマスクのフレーム６４との距離
Ｘが３０ｍｍ以下であることを特徴とする。この距離Ｘ
が３０ｍｍ以下であると、スクリーンマスクの張力によ
りスキージで加圧するときに、スクリーンマスクが太陽
電池の裏面から離れる速度が速くなり、スキージの速度
を速くしたのと同様に、スクリーンマスクを通過して太
陽電池裏面に転写するＡｌ製ペーストの量が増加し、厚
く印刷できるようになる。したがって、この距離Ｘは短
いほど厚く印刷できることから、２０ｍｍ以下とするの
が好ましい。
に示すとおり、スクリーンマスク中のＡｌ製ペーストを
厚く印刷しようとする部分６３ａと薄く印刷しようとす
る部分６３ｂを実現するために、パターンのエッジ６０
と、最も近いスクリーンマスクのフレーム６４との距離
Ｘが３０ｍｍ以下であることを特徴とする。この距離Ｘ
が３０ｍｍ以下であると、スクリーンマスクの張力によ
りスキージで加圧するときに、スクリーンマスクが太陽
電池の裏面から離れる速度が速くなり、スキージの速度
を速くしたのと同様に、スクリーンマスクを通過して太
陽電池裏面に転写するＡｌ製ペーストの量が増加し、厚
く印刷できるようになる。したがって、この距離Ｘは短
いほど厚く印刷できることから、２０ｍｍ以下とするの
が好ましい。
【００３６】本発明の太陽電池の他の製造方法は、スク
リーン印刷において、印刷する部分よってスキージによ
る印圧が異なることを特徴とする。印圧が小さい部分は
印圧が大きい部分に比較して、スキージにより掻き取ら
れるＡｌペーストの量が少なくなる結果、厚く印刷でき
る。印圧とＡｌ製ペーストの印刷量との関係は、Ａｌ製
ペーストの種類やスキージの移動速度などにより異なる
が、印圧５．０〜６．０ｋｇ／ｃｍで３５〜４０μｍの
印刷量が得られるときは、印圧を２．０〜２．５ｋｇ／
ｃｍに小さくすることにより４０〜４５μｍの印刷量が
得られる。スキージにより印圧を変える方法としては、
たとえば図７に示すとおり、スキージ７１中のある部分
の刃先７１ａを削り取ることにより他の部分の刃先７１
ｂより短くし、印圧を小さくする方法がある。また図８
に示すとおり、スキージ８１中のある部分の刃先８１ａ
と他の部分の刃先８１ｂとの取着角度を変えることによ
り、スキージ８１中のある部分の刃先８１ａの印圧を他
の部分の刃先８１ｂの印圧より小さくする方法がある。
リーン印刷において、印刷する部分よってスキージによ
る印圧が異なることを特徴とする。印圧が小さい部分は
印圧が大きい部分に比較して、スキージにより掻き取ら
れるＡｌペーストの量が少なくなる結果、厚く印刷でき
る。印圧とＡｌ製ペーストの印刷量との関係は、Ａｌ製
ペーストの種類やスキージの移動速度などにより異なる
が、印圧５．０〜６．０ｋｇ／ｃｍで３５〜４０μｍの
印刷量が得られるときは、印圧を２．０〜２．５ｋｇ／
ｃｍに小さくすることにより４０〜４５μｍの印刷量が
得られる。スキージにより印圧を変える方法としては、
たとえば図７に示すとおり、スキージ７１中のある部分
の刃先７１ａを削り取ることにより他の部分の刃先７１
ｂより短くし、印圧を小さくする方法がある。また図８
に示すとおり、スキージ８１中のある部分の刃先８１ａ
と他の部分の刃先８１ｂとの取着角度を変えることによ
り、スキージ８１中のある部分の刃先８１ａの印圧を他
の部分の刃先８１ｂの印圧より小さくする方法がある。
【００３７】（製造器具）本発明のスクリーン印刷機
は、太陽電池を固定するステージを傾斜させることによ
りスクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔が印刷する
部分によって広狭を有することを特徴とする。
は、太陽電池を固定するステージを傾斜させることによ
りスクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔が印刷する
部分によって広狭を有することを特徴とする。
【００３８】本発明のスクリーンマスクは、Ａｌ製ペー
ストを薄く印刷する部分をプレス加工したことを特徴と
する。
ストを薄く印刷する部分をプレス加工したことを特徴と
する。
【００３９】また、本発明のスクリーンマスクは、スク
リーンマスクのパターンエッジと、最も近いスクリーン
マスクのフレームまでの距離が３０ｍｍ以下であること
を特徴とする。この距離は２０ｍｍ以下であることが好
ましい。
リーンマスクのパターンエッジと、最も近いスクリーン
マスクのフレームまでの距離が３０ｍｍ以下であること
を特徴とする。この距離は２０ｍｍ以下であることが好
ましい。
【００４０】本発明のスキージは、スキージ中のある部
分の刃先を他の部分の刃先より短くすることにより印圧
を小さくしたことを特徴とする。
分の刃先を他の部分の刃先より短くすることにより印圧
を小さくしたことを特徴とする。
【００４１】また、本発明のスキージは、スキージ中の
ある部分の刃先と他の部分の刃先とで取着角度を変える
ことにより、スキージ中のある部分の刃先の印圧を他の
部分の刃先の印圧より小さくしたことを特徴とする。
ある部分の刃先と他の部分の刃先とで取着角度を変える
ことにより、スキージ中のある部分の刃先の印圧を他の
部分の刃先の印圧より小さくしたことを特徴とする。
【００４２】これらのスクリーン印刷機、スクリーンマ
スクおよびスキージは、前述のとおり、Ａｌ製ペースト
電極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他の部分の厚さ
より厚いことを特徴とする太陽電池の製造器具として適
する。
スクおよびスキージは、前述のとおり、Ａｌ製ペースト
電極の外縁部の少なくとも一部の厚さが他の部分の厚さ
より厚いことを特徴とする太陽電池の製造器具として適
する。
【００４３】実施例１
テクスチャエッチングされた厚さ３３０ミクロン、１２
５ｍｍ×１２５ｍｍで角型のｐ型シリコン基板の片側表
面に、９００℃でＰの熱拡散により面抵抗値が約５０Ω
のｎ型拡散層を形成し、その上に反射防止膜としてプラ
ズマＣＶＤ法により厚さ約６０ｎｍのシリコン窒化膜を
形成した。つぎに、裏面にＡｌ製ペーストをスクリーン
印刷し、１５０℃で乾燥した後、最厚部を先頭にしてＩ
Ｒ焼成炉に入れ、空気中において７００℃で焼成し、Ａ
ｌ製ペースト電極を形成した。さらに、裏面と受光面に
銀ペーストをパターン状にスクリーン印刷し、乾燥後、
酸化性雰囲気下、６００℃で２分間焼成して銀製ペース
ト電極を形成した。最後に銀製ペースト電極をハンダ層
でコーティングすることにより太陽電池を製造した。
５ｍｍ×１２５ｍｍで角型のｐ型シリコン基板の片側表
面に、９００℃でＰの熱拡散により面抵抗値が約５０Ω
のｎ型拡散層を形成し、その上に反射防止膜としてプラ
ズマＣＶＤ法により厚さ約６０ｎｍのシリコン窒化膜を
形成した。つぎに、裏面にＡｌ製ペーストをスクリーン
印刷し、１５０℃で乾燥した後、最厚部を先頭にしてＩ
Ｒ焼成炉に入れ、空気中において７００℃で焼成し、Ａ
ｌ製ペースト電極を形成した。さらに、裏面と受光面に
銀ペーストをパターン状にスクリーン印刷し、乾燥後、
酸化性雰囲気下、６００℃で２分間焼成して銀製ペース
ト電極を形成した。最後に銀製ペースト電極をハンダ層
でコーティングすることにより太陽電池を製造した。
【００４４】スクリーン印刷は、印刷機として西進商事
株式会社製のＳＳ１５０を使用し、Ａｌ製ペーストとし
て村田製作所製の３７１８Ｇ１を使用した。また、図２
に示すとおり、厚さ１５０μｍ、枠サイズ３２０ｍｍ×
３２０ｍｍで、ＳＵＳ１５０製のメッシュからなるスク
リーンマスク２３のフレーム２４の一辺にスペーサ２７
を挿入した後、マスクホルダ２２に固定して印刷を行な
った（本実施例では、スペーサ２８，２９は設けていな
い）。スペーサ２７は、幅１５ｍｍ×長さ１５０ｍｍ×
厚さ１ｍｍのプラスチック板を使用した。スペーサ２７
を挿入することにより、マスクホルダ２２を下降させ
て、スクリーン印刷をするときに、セル２５に対してス
クリーンマスク２３に傾きを持たせることができた。
株式会社製のＳＳ１５０を使用し、Ａｌ製ペーストとし
て村田製作所製の３７１８Ｇ１を使用した。また、図２
に示すとおり、厚さ１５０μｍ、枠サイズ３２０ｍｍ×
３２０ｍｍで、ＳＵＳ１５０製のメッシュからなるスク
リーンマスク２３のフレーム２４の一辺にスペーサ２７
を挿入した後、マスクホルダ２２に固定して印刷を行な
った（本実施例では、スペーサ２８，２９は設けていな
い）。スペーサ２７は、幅１５ｍｍ×長さ１５０ｍｍ×
厚さ１ｍｍのプラスチック板を使用した。スペーサ２７
を挿入することにより、マスクホルダ２２を下降させ
て、スクリーン印刷をするときに、セル２５に対してス
クリーンマスク２３に傾きを持たせることができた。
【００４５】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ａ）に示す断面図を有し、最厚部から最簿部へと厚さ
が連続的に変化していた。乾燥後、焼成前のＡｌ製ペー
ストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部３９μｍであ
り、平均の厚さは４２μｍであった。従来品のＡｌ製ペ
ーストの厚さは４５〜５５μｍであり、平均の厚さが約
５０μｍとすると、本実施例で得られたＡｌ製ペースト
は全体としてＡｌ量を１６％低減することができ、簿型
太陽電池が得られたことになる。また、焼成後のボール
アップは認められなかった。本実施例によれば、スペー
サを挿入するだけの簡単な作業で、従来の材料およびプ
ロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来品とな
んら異なるところがない太陽電池が得られた。
（ａ）に示す断面図を有し、最厚部から最簿部へと厚さ
が連続的に変化していた。乾燥後、焼成前のＡｌ製ペー
ストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部３９μｍであ
り、平均の厚さは４２μｍであった。従来品のＡｌ製ペ
ーストの厚さは４５〜５５μｍであり、平均の厚さが約
５０μｍとすると、本実施例で得られたＡｌ製ペースト
は全体としてＡｌ量を１６％低減することができ、簿型
太陽電池が得られたことになる。また、焼成後のボール
アップは認められなかった。本実施例によれば、スペー
サを挿入するだけの簡単な作業で、従来の材料およびプ
ロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来品とな
んら異なるところがない太陽電池が得られた。
【００４６】実施例２
図２において、スペーサ２７をはずし、セル２５の一辺
に沿うように、幅１５ｍｍ×長さ１５０ｍｍ×厚さ１ｍ
ｍのプラスチック製のスペーサ２８をステージ２６に貼
り付けてスクリーン印刷をした以外は実施例１と同様に
して、太陽電池を製造した。
に沿うように、幅１５ｍｍ×長さ１５０ｍｍ×厚さ１ｍ
ｍのプラスチック製のスペーサ２８をステージ２６に貼
り付けてスクリーン印刷をした以外は実施例１と同様に
して、太陽電池を製造した。
【００４７】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ａ）に示す断面図を有し、最厚部から最簿部へと厚さ
が連続的に変化していた。乾燥後、焼成前のＡｌ製ペー
ストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部４０μｍであ
り、平均の厚さは４２μｍであった。したがって、全体
としてはＡｌ量を１６％低減することができたことにな
る。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認
められなかった。本実施例によれば、スペーサを貼り付
けるだけの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを
利用して、電気特性および信頼性が従来品となんら異な
るところがない太陽電池が得られた。
（ａ）に示す断面図を有し、最厚部から最簿部へと厚さ
が連続的に変化していた。乾燥後、焼成前のＡｌ製ペー
ストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部４０μｍであ
り、平均の厚さは４２μｍであった。したがって、全体
としてはＡｌ量を１６％低減することができたことにな
る。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認
められなかった。本実施例によれば、スペーサを貼り付
けるだけの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを
利用して、電気特性および信頼性が従来品となんら異な
るところがない太陽電池が得られた。
【００４８】実施例３
図２において、ステージ２６の表面に長さ１５０ｍｍの
セロハンテープ２９を重ねて貼り、セロハンテープ２９
の厚さが１５０μｍとなるようにした後、その上からセ
ル２５を固定してスクリーン印刷をした以外は実施例１
と同様にして、太陽電池を製造した（スペーサ２７はは
ずしている）。
セロハンテープ２９を重ねて貼り、セロハンテープ２９
の厚さが１５０μｍとなるようにした後、その上からセ
ル２５を固定してスクリーン印刷をした以外は実施例１
と同様にして、太陽電池を製造した（スペーサ２７はは
ずしている）。
【００４９】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ａ）に示す断面図を有し、最厚部から最簿部へと厚さ
が連続的に変化していた。乾燥後、焼成前のＡｌ製ペー
ストの厚さは、最厚部４６μｍ、最簿部４０μｍであ
り、平均の厚さは４３μｍであった。したがって、全体
としてはＡｌ量を１４％低減することができたことにな
る。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認
められなかった。本実施例によれば、スペーサを貼るだ
けの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを利用し
て、電気特性および信頼性が従来品となんら異なるとこ
ろがない太陽電池が得られた。
（ａ）に示す断面図を有し、最厚部から最簿部へと厚さ
が連続的に変化していた。乾燥後、焼成前のＡｌ製ペー
ストの厚さは、最厚部４６μｍ、最簿部４０μｍであ
り、平均の厚さは４３μｍであった。したがって、全体
としてはＡｌ量を１４％低減することができたことにな
る。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認
められなかった。本実施例によれば、スペーサを貼るだ
けの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを利用し
て、電気特性および信頼性が従来品となんら異なるとこ
ろがない太陽電池が得られた。
【００５０】実施例４
図３に示すとおり、スキージ３１を移動させる速度を高
速部分３８では１６０ｍｍ／秒とし、それ以外の領域で
は実施例１と同様に４０ｍｍ/秒のままとしてスクリー
ン印刷をした以外は実施例１と同様にして太陽電池を製
造した（スペーサ２７ははずしている）。
速部分３８では１６０ｍｍ／秒とし、それ以外の領域で
は実施例１と同様に４０ｍｍ/秒のままとしてスクリー
ン印刷をした以外は実施例１と同様にして太陽電池を製
造した（スペーサ２７ははずしている）。
【００５１】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ｂ）に示す断面図を有していた。乾燥後、焼成前のＡ
ｌ製ペーストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部４１μ
ｍであり、平均の厚さは４２μｍであった。したがっ
て、全体としてはＡｌ量を１６％低減することができた
ことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールア
ップは認められなかった。本実施例によれば、スキージ
の移動速度を速めるだけの簡単な作業で、従来の材料お
よびプロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来
品となんら異なるところがない太陽電池が得られた。
（ｂ）に示す断面図を有していた。乾燥後、焼成前のＡ
ｌ製ペーストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部４１μ
ｍであり、平均の厚さは４２μｍであった。したがっ
て、全体としてはＡｌ量を１６％低減することができた
ことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールア
ップは認められなかった。本実施例によれば、スキージ
の移動速度を速めるだけの簡単な作業で、従来の材料お
よびプロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来
品となんら異なるところがない太陽電池が得られた。
【００５２】実施例５
図３に示すとおり、スキージ３１を移動させる速度を高
速部分３８のほかに高速部分３９でも１６０ｍｍ／秒と
し、それ以外の領域では４０ｍｍ/秒のままとしてスク
リーン印刷をした以外は実施例１と同様にして太陽電池
を製造した（スペーサ２７ははずしている）。
速部分３８のほかに高速部分３９でも１６０ｍｍ／秒と
し、それ以外の領域では４０ｍｍ/秒のままとしてスク
リーン印刷をした以外は実施例１と同様にして太陽電池
を製造した（スペーサ２７ははずしている）。
【００５３】得られたＡｌ製ペースト電極は、２つの盛
り上がりを有し（図示していない）、乾燥後、焼成前の
Ａｌ製ペーストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部４１
μｍであり、平均の厚さは４３μｍであった。したがっ
て、全体としてはＡｌ量を１４％低減することができた
ことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールア
ップは認められなかった。本実施例によれば、スキージ
の移動速度を速めるだけの簡単な作業で、従来の材料お
よびプロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来
品となんら異なるところがない太陽電池が得られた。
り上がりを有し（図示していない）、乾燥後、焼成前の
Ａｌ製ペーストの厚さは、最厚部４５μｍ、最簿部４１
μｍであり、平均の厚さは４３μｍであった。したがっ
て、全体としてはＡｌ量を１４％低減することができた
ことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールア
ップは認められなかった。本実施例によれば、スキージ
の移動速度を速めるだけの簡単な作業で、従来の材料お
よびプロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来
品となんら異なるところがない太陽電池が得られた。
【００５４】実施例６
実施例１を終えた後、新しいセルをステージ上に固定し
た。スペーサ２７を取りはずした後、図４に示すとお
り、スキージ４１にスクレッパ４８をかぶせた後、部分
４９においてのみ他の部分よりスクレッパ４８が０．５
ｍｍ下降するように印刷機の目盛を設定し、印刷を開始
した。スキージ４１付きのスクレッパ４８がＡｌペース
トをかき戻す際、部分４９ではスクレッパ４８が０．５
ｍｍ下降したため、部分４９にはＡｌ製ペーストが印刷
された。つづいて、実施例１と同様にスキージ４１を移
動してスクリーン印刷をした。
た。スペーサ２７を取りはずした後、図４に示すとお
り、スキージ４１にスクレッパ４８をかぶせた後、部分
４９においてのみ他の部分よりスクレッパ４８が０．５
ｍｍ下降するように印刷機の目盛を設定し、印刷を開始
した。スキージ４１付きのスクレッパ４８がＡｌペース
トをかき戻す際、部分４９ではスクレッパ４８が０．５
ｍｍ下降したため、部分４９にはＡｌ製ペーストが印刷
された。つづいて、実施例１と同様にスキージ４１を移
動してスクリーン印刷をした。
【００５５】部分４９は２回印刷されることになったた
め、乾燥後、焼成前のＡｌ製ペーストの厚さは、最厚部
である部分４９の厚さは４５μｍであり、また最簿部は
４１μｍであり、平均の厚さは４２μｍであった。した
がって、全体としてはＡｌ量を１６％低減することがで
きたことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボー
ルアップは認められなかった。本実施例によれば、スク
レッパを０．５ｍｍ下降するように設定するだけの簡単
な作業で、従来の材料およびプロセスを利用して、電気
特性および信頼性が従来品となんら異なるところがない
太陽電池が得られた。
め、乾燥後、焼成前のＡｌ製ペーストの厚さは、最厚部
である部分４９の厚さは４５μｍであり、また最簿部は
４１μｍであり、平均の厚さは４２μｍであった。した
がって、全体としてはＡｌ量を１６％低減することがで
きたことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼成後、ボー
ルアップは認められなかった。本実施例によれば、スク
レッパを０．５ｍｍ下降するように設定するだけの簡単
な作業で、従来の材料およびプロセスを利用して、電気
特性および信頼性が従来品となんら異なるところがない
太陽電池が得られた。
【００５６】実施例７
図２において、ステージ２６を固定するねじ（図示して
いない）の調整によりステージ２６の左側を０．５ｍｍ
下げ、その状態で固定してスクリーン印刷した以外は実
施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７
は取り付けていない）。
いない）の調整によりステージ２６の左側を０．５ｍｍ
下げ、その状態で固定してスクリーン印刷した以外は実
施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７
は取り付けていない）。
【００５７】乾燥後、焼成前のＡｌ製ペーストの厚さ
は、最厚部４８μｍ、最簿部４０μｍであり、平均の厚
さは４２μｍであった。したがって、全体としてはＡｌ
量を１６％低減することができたことになる。またＡｌ
製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなかっ
た。本実施例によれば、ステージ取り付け角度を変える
だけの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを利用
して、電気特性および信頼性が従来品となんら異なると
ころがない太陽電池が得られた。
は、最厚部４８μｍ、最簿部４０μｍであり、平均の厚
さは４２μｍであった。したがって、全体としてはＡｌ
量を１６％低減することができたことになる。またＡｌ
製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなかっ
た。本実施例によれば、ステージ取り付け角度を変える
だけの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを利用
して、電気特性および信頼性が従来品となんら異なると
ころがない太陽電池が得られた。
【００５８】実施例８
図５において、スクリーンマスク５３中の部分５１をカ
レンダーロールでプレス加工した。その結果、プレス加
工されていないスクリーンマスク５３ｂの紗厚が７０μ
ｍであるのに対して、プレス加工されているスクリーン
マスク５３ａの紗厚は５９μｍとなった。このスクリー
ンマスクを用いてスクリーン印刷をした以外は実施例１
と同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７は取り
付けていない）。
レンダーロールでプレス加工した。その結果、プレス加
工されていないスクリーンマスク５３ｂの紗厚が７０μ
ｍであるのに対して、プレス加工されているスクリーン
マスク５３ａの紗厚は５９μｍとなった。このスクリー
ンマスクを用いてスクリーン印刷をした以外は実施例１
と同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７は取り
付けていない）。
【００５９】乾燥後、焼成前のＡｌ製ペーストの厚さ
は、最厚部４５μｍ、最簿部３９μｍであり、平均の厚
さは４２μｍであった。したがって、全体としてはＡｌ
量を１６％低減することができたことになる。また、Ａ
ｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなかっ
た。本実施例によれば、スクリーンマスクをプレス加工
するだけの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを
利用して、電気特性および信頼性が従来品となんら異な
るところがない太陽電池が得られた。
は、最厚部４５μｍ、最簿部３９μｍであり、平均の厚
さは４２μｍであった。したがって、全体としてはＡｌ
量を１６％低減することができたことになる。また、Ａ
ｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなかっ
た。本実施例によれば、スクリーンマスクをプレス加工
するだけの簡単な作業で、従来の材料およびプロセスを
利用して、電気特性および信頼性が従来品となんら異な
るところがない太陽電池が得られた。
【００６０】実施例９
図６に示すとおり、スクリーンマスク６３中のＡｌ製ペ
ーストを厚く印刷しようとする部分６３ａと薄く印刷し
ようとする部分６３ｂを実現するために、パターンのエ
ッジ６０と、最も近いスクリーンマスクのフレーム６４
までの距離Ｘを２０ｍｍとした。また、フレーム６４が
小型になったため、アダプタ（図示していない）を使い
印刷した。これらの点以外は実施例１と同様にして太陽
電池を製造した（スペーサ２７は取り付けていない）。
ーストを厚く印刷しようとする部分６３ａと薄く印刷し
ようとする部分６３ｂを実現するために、パターンのエ
ッジ６０と、最も近いスクリーンマスクのフレーム６４
までの距離Ｘを２０ｍｍとした。また、フレーム６４が
小型になったため、アダプタ（図示していない）を使い
印刷した。これらの点以外は実施例１と同様にして太陽
電池を製造した（スペーサ２７は取り付けていない）。
【００６１】乾燥後、焼成前のＡｌ製ペーストの厚さ
は、最厚部４５μｍ、最簿部４２μｍであり、平均の厚
さは４３μｍであった。したがって、全体としてはＡｌ
量を１４％低減することができたことになる。また、Ａ
ｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなかっ
た。本実施例によれば、スクリーンマスクの仕様を変え
るだけで、従来の材料およびプロセスを利用して、電気
特性および信頼性が従来品となんら異なるところがない
太陽電池が得られた。
は、最厚部４５μｍ、最簿部４２μｍであり、平均の厚
さは４３μｍであった。したがって、全体としてはＡｌ
量を１４％低減することができたことになる。また、Ａ
ｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなかっ
た。本実施例によれば、スクリーンマスクの仕様を変え
るだけで、従来の材料およびプロセスを利用して、電気
特性および信頼性が従来品となんら異なるところがない
太陽電池が得られた。
【００６２】実施例１０
ｐ型シリコン基板の裏面にＡｌ製ペーストを乾燥後の厚
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る１辺が印刷されるように再度スクリーン印刷した以外
は、実施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペー
サ２７は取り付けていない）。
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る１辺が印刷されるように再度スクリーン印刷した以外
は、実施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペー
サ２７は取り付けていない）。
【００６３】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ｃ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５５μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４０μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を２０％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スクリーン印刷を２回行なう
だけで、従来の材料およびプロセスを利用して、電気特
性および信頼性が従来品となんら異なるところがない太
陽電池が得られた。
（ｃ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５５μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４０μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を２０％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スクリーン印刷を２回行なう
だけで、従来の材料およびプロセスを利用して、電気特
性および信頼性が従来品となんら異なるところがない太
陽電池が得られた。
【００６４】実施例１１
ｐ型シリコン基板の裏面にＡｌ製ペーストを乾燥後の厚
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る相対する２辺が印刷されるように再度スクリーン印刷
した以外は、実施例１と同様にして太陽電池を製造した
（スペーサ２７は取り付けていない）。
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る相対する２辺が印刷されるように再度スクリーン印刷
した以外は、実施例１と同様にして太陽電池を製造した
（スペーサ２７は取り付けていない）。
【００６５】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ｄ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５５μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４１μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を１８％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スクリーン印刷を２回行なう
だけで、従来の材料およびプロセスを利用して、電気特
性および信頼性が従来品となんら異なるところがない太
陽電池が得られた。
（ｄ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５５μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４１μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を１８％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スクリーン印刷を２回行なう
だけで、従来の材料およびプロセスを利用して、電気特
性および信頼性が従来品となんら異なるところがない太
陽電池が得られた。
【００６６】実施例１２
ｐ型シリコン基板の裏面にＡｌ製ペーストを乾燥後の厚
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る１辺にスプレーコートをした。スプレーコートでは、
スクリーン印刷に用いたＡｌ製ペーストに、粘度を下げ
るため酢酸ｎ−ブチルカルビトールを２０質量％加えた
ものを用いた。スプレーコートは、エアガンを用いて行
ない、幅２０ｍｍをコートした。これらの点以外は、実
施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７
は取り付けていない）。
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る１辺にスプレーコートをした。スプレーコートでは、
スクリーン印刷に用いたＡｌ製ペーストに、粘度を下げ
るため酢酸ｎ−ブチルカルビトールを２０質量％加えた
ものを用いた。スプレーコートは、エアガンを用いて行
ない、幅２０ｍｍをコートした。これらの点以外は、実
施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７
は取り付けていない）。
【００６７】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ｃ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５３μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４０μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を２０％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スプレーコートを１回追加し
て行なうだけで、従来の材料およびプロセスを利用し
て、電気特性および信頼性が従来品となんら異なるとこ
ろがない太陽電池が得られた。
（ｃ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５３μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４０μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を２０％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スプレーコートを１回追加し
て行なうだけで、従来の材料およびプロセスを利用し
て、電気特性および信頼性が従来品となんら異なるとこ
ろがない太陽電池が得られた。
【００６８】実施例１３
ｐ型シリコン基板の裏面にＡｌ製ペーストを乾燥後の厚
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る４辺にスプレーコートをした。スプレーコートでは、
実施例１２で用いたＡｌ製ペースト（希釈したもの）用
いた。スプレーコートは、エアガンを用いて行ない、幅
２０ｍｍをコートした。これらの点以外は、実施例１と
同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７は取り付
けていない）。
さが３６μｍとなるように基板全体に均一にスクリーン
印刷し、乾燥した後、Ａｌ製ペースト電極の外縁部とな
る４辺にスプレーコートをした。スプレーコートでは、
実施例１２で用いたＡｌ製ペースト（希釈したもの）用
いた。スプレーコートは、エアガンを用いて行ない、幅
２０ｍｍをコートした。これらの点以外は、実施例１と
同様にして太陽電池を製造した（スペーサ２７は取り付
けていない）。
【００６９】得られたＡｌ製ペースト電極は、図１
（ｅ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５３μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４２μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を１６％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スプレーコートを１回追加し
て行なうだけで、従来の材料およびプロセスを利用し
て、電気特性および信頼性が従来品となんら異なるとこ
ろがない太陽電池が得られた。
（ｅ）に示す断面図を有していた。Ａｌ製ペーストの厚
さは、最厚部５３μｍ、最簿部３６μｍであり、平均の
厚さは４２μｍであった。したがって、全体としてはＡ
ｌ量を１６％低減することができたことになる。また、
Ａｌ製ペーストの焼成後、ボールアップは認められなか
った。本実施例によれば、スプレーコートを１回追加し
て行なうだけで、従来の材料およびプロセスを利用し
て、電気特性および信頼性が従来品となんら異なるとこ
ろがない太陽電池が得られた。
【００７０】実施例１４
図７（ａ）に示すとおり、スキージ７１のスクリーンマ
スクとの接触辺である刃先７１ａを幅２０ｍｍの範囲で
１００μｍ削り取った。同スキージ７１を左側面から見
た状態を図７（ｂ）に示す。同スキージを用いた以外
は、実施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペー
サ２７は取り付けていない）。
スクとの接触辺である刃先７１ａを幅２０ｍｍの範囲で
１００μｍ削り取った。同スキージ７１を左側面から見
た状態を図７（ｂ）に示す。同スキージを用いた以外
は、実施例１と同様にして太陽電池を製造した（スペー
サ２７は取り付けていない）。
【００７１】Ａｌ製ペーストの厚さは、最厚部４５μ
ｍ、最簿部４１μｍであり、平均の厚さは４２μｍであ
った。したがって、全体としてはＡｌ量を１６％低減す
ることができたことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼
成後、ボールアップは認められなかった。本実施例によ
れば、スキージの刃先を削り取るだけで、従来の材料お
よびプロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来
品となんら異なるところがない太陽電池が得られた。
ｍ、最簿部４１μｍであり、平均の厚さは４２μｍであ
った。したがって、全体としてはＡｌ量を１６％低減す
ることができたことになる。また、Ａｌ製ペーストの焼
成後、ボールアップは認められなかった。本実施例によ
れば、スキージの刃先を削り取るだけで、従来の材料お
よびプロセスを利用して、電気特性および信頼性が従来
品となんら異なるところがない太陽電池が得られた。
【００７２】今回開示された実施の形態および実施例は
すべての点で例示であって制限的なものではないと考え
られるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではな
くて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と
均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれるこ
とが意図される。
すべての点で例示であって制限的なものではないと考え
られるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではな
くて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と
均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれるこ
とが意図される。
【００７３】
【発明の効果】本発明によれば、ボールアップという外
観不良の問題が生じることなく、Ａｌ製ペーストの使用
量を低減した薄型太陽電池を提供することができる。ま
た、そのような太陽電池の製造方法および製造方法に使
用する製造器具を提供することができる。さらに本発明
によれば、従来の材料やプロセスをほとんど変更せず使
用することができる。
観不良の問題が生じることなく、Ａｌ製ペーストの使用
量を低減した薄型太陽電池を提供することができる。ま
た、そのような太陽電池の製造方法および製造方法に使
用する製造器具を提供することができる。さらに本発明
によれば、従来の材料やプロセスをほとんど変更せず使
用することができる。
【図１】 本発明の太陽電池の断面図である。
【図２】 本発明に使用するスクリーン印刷機の断面図
である。
である。
【図３】 本発明に使用するスクリーン印刷機の断面図
である。
である。
【図４】 本発明に使用するスクリーン印刷機の断面図
である。
である。
【図５】 本発明のスクリーンマスクの断面図である。
【図６】 本発明のスクリーンマスクの平面図である。
【図７】 本発明のスキージの形状を表わす概略図であ
り、(ａ）は正面図、（ｂ）は左側側面図である。
り、(ａ）は正面図、（ｂ）は左側側面図である。
【図８】 本発明のスキージの形状を表わす概略図であ
り、(ａ）は正面図、（ｂ）は左側側面図である。
り、(ａ）は正面図、（ｂ）は左側側面図である。
【図９】 裏面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽電池
の構造を表わす断面図である。
の構造を表わす断面図である。
【図１０】 裏面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽電
池の製造プロセスを表わす工程図である。
池の製造プロセスを表わす工程図である。
【図１１】 ｐ型シリコン基板上にＡｌ製ペースト電極
を形成した後の正常な状態を表わす概略図であり、
(ａ）は平面図、（ｂ）はａ−ａ断面図である。
を形成した後の正常な状態を表わす概略図であり、
(ａ）は平面図、（ｂ）はａ−ａ断面図である。
【図１２】 ｐ型シリコン基板上にＡｌ製ペースト電極
を形成し、ボールアップトラブルの発生した状態を表わ
す断面図である。
を形成し、ボールアップトラブルの発生した状態を表わ
す断面図である。
１ ｐ型シリコン基板、２ ｎ型拡散層、３ 反射防止
膜、４，１４ Ａｌ製ペースト電極、５，６ 銀製ペー
スト電極、７，８ ハンダ層、１０ 太陽電池、２１，
３１，４１ スキージ、１９ Ａｌ粒子、２２ マスク
ホルダ、２３，３３ スクリーンマスク、２４，３４
フレーム、２５，３５ セル、２６，３６ ステージ、
３７ Ａｌ製ペースト、４８ スクレッパ、７０ 刃
先。
膜、４，１４ Ａｌ製ペースト電極、５，６ 銀製ペー
スト電極、７，８ ハンダ層、１０ 太陽電池、２１，
３１，４１ スキージ、１９ Ａｌ粒子、２２ マスク
ホルダ、２３，３３ スクリーンマスク、２４，３４
フレーム、２５，３５ セル、２６，３６ ステージ、
３７ Ａｌ製ペースト、４８ スクレッパ、７０ 刃
先。
Claims (19)
- 【請求項１】 裏面にＡｌ製ペースト電極を有する太陽
電池であって、前記Ａｌ製ペースト電極の外縁部の少な
くとも一部の厚さが前記Ａｌ製ペースト電極の他の部分
の厚さより厚いことを特徴とする太陽電池。 - 【請求項２】 前記Ａｌ製ペースト電極の外縁部のうち
１辺の厚さのみが前記Ａｌ製ペースト電極の他の部分の
厚さより厚いことを特徴とする請求項１記載の太陽電
池。 - 【請求項３】 前記Ａｌ製ペースト電極の外縁部のうち
相対する２辺の厚さのみが前記Ａｌ製ペースト電極の他
の部分の厚さより厚いことを特徴とする請求項１記載の
太陽電池。 - 【請求項４】 前記Ａｌ製ペースト電極の外縁部のうち
隣合う２辺の厚さのみが前記Ａｌ製ペースト電極の他の
部分の厚さより厚いことを特徴とする請求項１記載の太
陽電池。 - 【請求項５】 前記Ａｌ製ペースト電極の厚さが連続的
に変化することを特徴とする請求項１記載の太陽電池。 - 【請求項６】 Ａｌ製ペーストをスクリーンマスクを介
して加圧し太陽電池裏面に転写するスクリーン印刷にお
いて、印刷時にスクリーンマスクと太陽電池裏面との間
隔が印刷される部分によって異なり、間隔が広い部分に
は間隔が狭い部分よりＡｌ製ペーストを厚く印刷するこ
とを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 【請求項７】 前記スクリーン印刷において、スクリー
ンマスクのフレームとマスクホルダとの間の少なくとも
一部にスペーサを配設することにより印刷時にスクリー
ンマスクと太陽電池裏面との間隔が印刷される部分によ
って異なることを特徴とする請求項６記載の太陽電池の
製造方法。 - 【請求項８】 前記スクリーン印刷において、太陽電池
裏面のスクリーン印刷をする領域の外周の少なくとも一
部にスペーサを配設することにより印刷時にスクリーン
マスクと太陽電池裏面との間隔が印刷される部分によっ
て異なることを特徴とする請求項６記載の太陽電池の製
造方法。 - 【請求項９】 前記スクリーン印刷において、太陽電池
を固定するステージと太陽電池との間の少なくとも一部
にスペーサを挿入することにより印刷時にスクリーンマ
スクと太陽電池裏面との間隔が印刷される部分によって
異なることを特徴とする請求項６記載の太陽電池の製造
方法。 - 【請求項１０】 前記スクリーン印刷において、太陽電
池を固定するステージを傾斜させることにより印刷時に
スクリーンマスクと太陽電池裏面との間隔が印刷される
部分によって異なることを特徴とする請求項６記載の太
陽電池の製造方法。 - 【請求項１１】 Ａｌ製ペーストをスクリーンマスクを
介して加圧し太陽電池裏面に転写するスクリーン印刷に
おいて使用する印刷機であって、太陽電池を固定するス
テージを傾斜させることによりスクリーンマスクと太陽
電池裏面との間隔が広狭を有することを特徴とするスク
リーン印刷機。 - 【請求項１２】 スキージを移動しながら加圧すること
によりＡｌ製ペーストをスクリーンマスクを介して太陽
電池裏面に転写するスクリーン印刷において、Ａｌ製ペ
ーストを厚く印刷する部分ではスキージの移動速度を速
くすることを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 【請求項１３】 Ａｌ製ペーストをスクリーンマスクを
介して加圧し太陽電池裏面に転写するスクリーン印刷に
おいて、Ａｌ製ペーストの厚さを厚くする部分には前記
スクリーン印刷の前、後または前後に少なくとも一回Ａ
ｌ製ペーストの印刷またはスプレーコートを行なうこと
を特徴とする太陽電池の製造方法。 - 【請求項１４】 Ａｌ製ペーストをスクリーンマスクを
介して加圧し太陽電池裏面に転写するスクリーン印刷に
おいて使用するスクリーンマスクであって、前記スクリ
ーンマスク中のＡｌ製ペーストを薄く印刷する部分はプ
レス加工していることを特徴とするスクリーンマスク。 - 【請求項１５】 Ａｌ製ペーストをスクリーンマスクを
介して加圧し太陽電池裏面に転写するスクリーン印刷に
おいて、スクリーンマスク中のＡｌ製ペーストを印刷す
るパターンのエッジと、該エッジに最も近いスクリーン
マスクのフレームとの距離が３０ｍｍ以下であることを
特徴とする太陽電池の製造方法。 - 【請求項１６】 Ａｌ製ペーストをスクリーンマスクを
介して加圧し太陽電池裏面に転写するスクリーン印刷に
使用するスクリーンマスクであって、スクリーンマスク
中のＡｌ製ペーストを印刷するパターンのエッジと、該
エッジに最も近いスクリーンマスクのフレームとの距離
が３０ｍｍ以下であることを特徴とするスクリーンマス
ク。 - 【請求項１７】 スキージを移動しながら加圧すること
によりＡｌ製ペーストをスクリーンマスクを介して太陽
電池裏面に転写するスクリーン印刷において、印刷する
部分によってスキージによる印圧が異なり、印圧が小さ
い部分には印圧が大きい部分よりＡｌ製ペーストを厚く
印刷することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 【請求項１８】 スキージを移動しながら加圧すること
によりＡｌ製ペーストをスクリーンマスクを介して太陽
電池裏面に転写するスクリーン印刷において使用するス
キージであって、スキージ中のある部分の刃先を他の部
分の刃先より短くすることにより印圧を小さくしたこと
を特徴とするスキージ。 - 【請求項１９】 スキージを移動しながら加圧すること
によりＡｌ製ペーストをスクリーンマスクを介して太陽
電池裏面に転写するスクリーン印刷において使用するス
キージであって、スキージ中のある部分の刃先と他の部
分の刃先とで取着角度を変えることにより、スキージ中
のある部分の刃先の印圧を他の部分の刃先の印圧より小
さくしたことを特徴とするスキージ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002013226A JP4074763B2 (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | 太陽電池の製造方法 |
| US10/335,954 US7381887B2 (en) | 2002-01-22 | 2003-01-03 | Solar cell and method and apparatus for manufacturing solar cell |
| US12/149,206 US7749795B2 (en) | 2002-01-22 | 2008-04-29 | Solar cell and method and apparatus for manufacturing solar cell |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002013226A JP4074763B2 (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | 太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
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|---|---|
| JP2003218373A true JP2003218373A (ja) | 2003-07-31 |
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ID=19191798
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
| US (2) | US7381887B2 (ja) |
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| JP2005353998A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法および太陽電池 |
| JP2007214455A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Sharp Corp | 太陽電池の製造方法および太陽電池製造用スクリーンマスク |
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