JP2003216227A - マスフローコントローラ用モニターシステム - Google Patents
マスフローコントローラ用モニターシステムInfo
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- JP2003216227A JP2003216227A JP2002009351A JP2002009351A JP2003216227A JP 2003216227 A JP2003216227 A JP 2003216227A JP 2002009351 A JP2002009351 A JP 2002009351A JP 2002009351 A JP2002009351 A JP 2002009351A JP 2003216227 A JP2003216227 A JP 2003216227A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- flow controller
- data
- database
- monitor system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 多数のマスフローコントローラに対しても、
動作状態を示す情報の収集と、収集保存した情報を抽出
し、表示、分析などを独自のタイミングで行うことがで
きるモニターシステムを提供する。 【解決手段】 デジタル通信機能を有したマスフローコ
ントローラと接続されたコンピュータシステムで形成さ
れ、同時進行的にデータの入出力処理ができるデータベ
ースと、マスフローコントローラ動作情報のデータベー
スへの入力処理を行うためのデータ監視用ソフトウエア
と、マスフローコントローラ動作情報のデータベースか
らの出力処理を行うためのデータ閲覧用ソフトウエアと
を備えていることを特徴とする。
動作状態を示す情報の収集と、収集保存した情報を抽出
し、表示、分析などを独自のタイミングで行うことがで
きるモニターシステムを提供する。 【解決手段】 デジタル通信機能を有したマスフローコ
ントローラと接続されたコンピュータシステムで形成さ
れ、同時進行的にデータの入出力処理ができるデータベ
ースと、マスフローコントローラ動作情報のデータベー
スへの入力処理を行うためのデータ監視用ソフトウエア
と、マスフローコントローラ動作情報のデータベースか
らの出力処理を行うためのデータ閲覧用ソフトウエアと
を備えていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程な
どで用いられる流体の流量を制御する精密流量制御バル
ブ（以下マスフローコントローラと呼ぶ）のモニターシ
ステムに関する。
どで用いられる流体の流量を制御する精密流量制御バル
ブ（以下マスフローコントローラと呼ぶ）のモニターシ
ステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】マスフローコントローラは、主としてＣ
ＰＵやメモリチップ等の半導体製造工程において用いら
れており、従来から、トラブル原因を特定するためや、
装置試運転時の動作確認のために動作状態をモニターす
ることは行われてきた。一般的には、モニター装置をマ
スフローコントローラに接続し、トラブルが発生するま
で或いは希望するデータが得られるまで所定の状態量を
監視して動作中の情報を収集し、監視が終了後、保存さ
れた情報をもとに異常原因の特定、動作状態の分析等の
確認作業を行うものである。従って、従来のモニター装
置は、マスフローコントローラの状態監視中に、過去に
収集、保存したマスフローコントローラの情報を閲覧
し、動作状態、異常等を解析することは出来ず、これを
行うためには一旦状態監視を中止しなくてはならなかっ
たが、使用目的から言って特に問題が生じるようなこと
はなかった。
ＰＵやメモリチップ等の半導体製造工程において用いら
れており、従来から、トラブル原因を特定するためや、
装置試運転時の動作確認のために動作状態をモニターす
ることは行われてきた。一般的には、モニター装置をマ
スフローコントローラに接続し、トラブルが発生するま
で或いは希望するデータが得られるまで所定の状態量を
監視して動作中の情報を収集し、監視が終了後、保存さ
れた情報をもとに異常原因の特定、動作状態の分析等の
確認作業を行うものである。従って、従来のモニター装
置は、マスフローコントローラの状態監視中に、過去に
収集、保存したマスフローコントローラの情報を閲覧
し、動作状態、異常等を解析することは出来ず、これを
行うためには一旦状態監視を中止しなくてはならなかっ
たが、使用目的から言って特に問題が生じるようなこと
はなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】例えば最近の半導体製
造装置は、微細線幅等の高品質品を一定品質で大量に生
産することが要求されており、高性能のマスフローコン
トローラが多数用いられている。このような大規模な製
造装置を安定して稼動させるためには、使用されている
制御機器の動作状態を常に監視し、制御することが望ま
しい。従って、マスフローコントローラについても、常
時動作中の情報を収集するとともに、少しでも問題があ
りそうなものについては、即座に動作情報を分析して対
処することが求められる。現在では、高精度、高応答で
かつ通信機能を有したマスフローコントローラが開発さ
れ、半導体製造に数十〜数百個という個数で装着される
ようになってきているが、従来から用いられてきたモニ
ター装置では、接続できるマスフローコントローラの数
も少なく、情報を分析したい時は、情報の収集ができな
くなるという問題がある。従って本発明は、多数のマス
フローコントローラに対しても、動作状態を示す情報の
収集と、収集保存した情報を抽出し、表示、分析などを
独自のタイミングで行うことができるモニターシステム
を提供することを目的としている。
造装置は、微細線幅等の高品質品を一定品質で大量に生
産することが要求されており、高性能のマスフローコン
トローラが多数用いられている。このような大規模な製
造装置を安定して稼動させるためには、使用されている
制御機器の動作状態を常に監視し、制御することが望ま
しい。従って、マスフローコントローラについても、常
時動作中の情報を収集するとともに、少しでも問題があ
りそうなものについては、即座に動作情報を分析して対
処することが求められる。現在では、高精度、高応答で
かつ通信機能を有したマスフローコントローラが開発さ
れ、半導体製造に数十〜数百個という個数で装着される
ようになってきているが、従来から用いられてきたモニ
ター装置では、接続できるマスフローコントローラの数
も少なく、情報を分析したい時は、情報の収集ができな
くなるという問題がある。従って本発明は、多数のマス
フローコントローラに対しても、動作状態を示す情報の
収集と、収集保存した情報を抽出し、表示、分析などを
独自のタイミングで行うことができるモニターシステム
を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、デジタル通信
機能を有したマスフローコントローラと接続されたコン
ピュータシステムで形成され、同時進行的にデータの入
出力処理ができるデータベースと、マスフローコントロ
ーラ動作情報のデータベースへの入力処理を行うための
データ監視用ソフトウエアと、マスフローコントローラ
動作情報のデータベースからの出力処理を行うためのデ
ータ閲覧用ソフトウエアとを備えていることを特徴とし
ている。本発明におけるデータ監視用ソフトウエアとデ
ータ閲覧用ソフトウエアは同時進行的に実行することが
できるものである。従って、データベースへのデータの
書き込みと読み出しは、同時進行的に行うことができ
る。なお、ここでいう同時進行的とは、人にとっては同
時に処理がされているように見えるということであり、
コンピュータに一つのＣＰＵしかない場合は、いわゆる
タイムシェアリング処理をしている。また、本発明はネ
ットワークで構成し、データ監視用ソフトウエアとデー
タ閲覧用ソフトウエアは、分散配置するようにすること
が好ましい。なお、データベースも適宜分散配置するこ
とができる。また、本発明は、外部からの所定のトリガ
ーに応じて、特定のマスフローコントローラの動作情報
をデータベースへ入力するようにすることが好ましい。
機能を有したマスフローコントローラと接続されたコン
ピュータシステムで形成され、同時進行的にデータの入
出力処理ができるデータベースと、マスフローコントロ
ーラ動作情報のデータベースへの入力処理を行うための
データ監視用ソフトウエアと、マスフローコントローラ
動作情報のデータベースからの出力処理を行うためのデ
ータ閲覧用ソフトウエアとを備えていることを特徴とし
ている。本発明におけるデータ監視用ソフトウエアとデ
ータ閲覧用ソフトウエアは同時進行的に実行することが
できるものである。従って、データベースへのデータの
書き込みと読み出しは、同時進行的に行うことができ
る。なお、ここでいう同時進行的とは、人にとっては同
時に処理がされているように見えるということであり、
コンピュータに一つのＣＰＵしかない場合は、いわゆる
タイムシェアリング処理をしている。また、本発明はネ
ットワークで構成し、データ監視用ソフトウエアとデー
タ閲覧用ソフトウエアは、分散配置するようにすること
が好ましい。なお、データベースも適宜分散配置するこ
とができる。また、本発明は、外部からの所定のトリガ
ーに応じて、特定のマスフローコントローラの動作情報
をデータベースへ入力するようにすることが好ましい。
【０００５】
【実施例１】本発明をスタンドアロン型コンピュータ１
で実施した例について説明する。図１において、コンピ
ュータ１は、演算処理部（ＣＰＵ）と、キーボード、Ｃ
ＲＴなどの入出力装置（いずれも図示せず）と、メモリ
及び通信手段を有している。メモリは、ＣＰＵの指示に
従い動作するソフトウエアであるデータ閲覧手段１１と
データ監視手段１２と、複数の読出、書込要求に対して
一時に動作可能なデータベース１０と、通信手段１３と
を備えており、通信手段１３は分岐手段２０を介して複
数のマスフローコントローラ２２と通信ケーブル２１で
接続されている。マスフローコントローラ２２はデジタ
ル通信部とＣＰＵ（いずれも図示せず）を有しており、
外部とデジタル通信することができる。通信手段１３と
してパソコンなどに標準的に搭載されているＲＳ２３２
Ｃを用いると、コンピュータ１は、複数の分岐手段２０
を介して１００台のマスフローコントロール２２と接続
することができる。
で実施した例について説明する。図１において、コンピ
ュータ１は、演算処理部（ＣＰＵ）と、キーボード、Ｃ
ＲＴなどの入出力装置（いずれも図示せず）と、メモリ
及び通信手段を有している。メモリは、ＣＰＵの指示に
従い動作するソフトウエアであるデータ閲覧手段１１と
データ監視手段１２と、複数の読出、書込要求に対して
一時に動作可能なデータベース１０と、通信手段１３と
を備えており、通信手段１３は分岐手段２０を介して複
数のマスフローコントローラ２２と通信ケーブル２１で
接続されている。マスフローコントローラ２２はデジタ
ル通信部とＣＰＵ（いずれも図示せず）を有しており、
外部とデジタル通信することができる。通信手段１３と
してパソコンなどに標準的に搭載されているＲＳ２３２
Ｃを用いると、コンピュータ１は、複数の分岐手段２０
を介して１００台のマスフローコントロール２２と接続
することができる。
【０００６】モニター動作について説明する。データ監
視手段１２は、データ収集の開始、終了を指示するトリ
ガーを受けると所定のタイミングでデータ監視のための
文字列を通信手段１３を介して対象のマスフローコント
ローラ２２に送信する。送信された文字列は、通信ケー
ブル２１、分岐手段２０を経由してマスフローコントロ
ーラ２２に届けられる。文字列を受け取ったマスフロー
コントローラ２２は、受け取った文字列に応じて、流量
値、アクチュエータ電圧値など動作状態を示す情報など
を文字列としてコンピュータ１に送信する。コンピュー
タ１は通信手段１３で文字列を受信し、受け取った文字
列を必要な形に編集してデータベース１０に書込み、保
存する。トリガーとしては、例えば時間や、外部からの
オン・オフ信号やなどを設定することができる。また、
データ収集は、全てのマスフローコントローラを対象と
することができるが、指定したり、所定の指令値になっ
たものや、アラーム信号が出力されたものとすることも
できる。
視手段１２は、データ収集の開始、終了を指示するトリ
ガーを受けると所定のタイミングでデータ監視のための
文字列を通信手段１３を介して対象のマスフローコント
ローラ２２に送信する。送信された文字列は、通信ケー
ブル２１、分岐手段２０を経由してマスフローコントロ
ーラ２２に届けられる。文字列を受け取ったマスフロー
コントローラ２２は、受け取った文字列に応じて、流量
値、アクチュエータ電圧値など動作状態を示す情報など
を文字列としてコンピュータ１に送信する。コンピュー
タ１は通信手段１３で文字列を受信し、受け取った文字
列を必要な形に編集してデータベース１０に書込み、保
存する。トリガーとしては、例えば時間や、外部からの
オン・オフ信号やなどを設定することができる。また、
データ収集は、全てのマスフローコントローラを対象と
することができるが、指定したり、所定の指令値になっ
たものや、アラーム信号が出力されたものとすることも
できる。
【０００７】データ閲覧手段１１は、データ監視手段１
２とは別個のソフトウエアであり、データ監視手段１２
が作動中であっても、データベース１０に対して蓄積さ
れている情報の読出要求及び抽出を行うことができる。
データベース１０は、複数のデータ閲覧手段１１及びデ
ータ監視手段１２からの要求に同時進行的に応答可能で
あり、データ監視手段１２からデータの書込要求と、デ
ータ閲覧手段１１からデータの読出要求とが同時に発生
しても問題なく作動し、抽出された情報をデータ閲覧手
段１１に返答する。従って、コンピュータ１において、
データ監視手段１２を作動させて動作データをデータベ
ース１０に収納しながら、適宜、データ閲覧手段１１を
作動させて、ＣＲＴで動作状況を監視したり、過去に収
集、保存された情報を読み出し、閲覧や分析をしたり、
さらにプリンタに出力することができる。
２とは別個のソフトウエアであり、データ監視手段１２
が作動中であっても、データベース１０に対して蓄積さ
れている情報の読出要求及び抽出を行うことができる。
データベース１０は、複数のデータ閲覧手段１１及びデ
ータ監視手段１２からの要求に同時進行的に応答可能で
あり、データ監視手段１２からデータの書込要求と、デ
ータ閲覧手段１１からデータの読出要求とが同時に発生
しても問題なく作動し、抽出された情報をデータ閲覧手
段１１に返答する。従って、コンピュータ１において、
データ監視手段１２を作動させて動作データをデータベ
ース１０に収納しながら、適宜、データ閲覧手段１１を
作動させて、ＣＲＴで動作状況を監視したり、過去に収
集、保存された情報を読み出し、閲覧や分析をしたり、
さらにプリンタに出力することができる。
【実施例２】
【０００８】本発明をネットワーク上で実施した例につ
いて説明する。図２において、データ監視用のコンピュ
ータ１ａとデータ閲覧用のコンピュータ１ｂがネットワ
ークケーブル３０で接続されており、コンピュータ１ａ
とマスフローコントローラ２２が通信ケーブル２１及び
分岐手段２０を介して接続されている。コンピュータ１
ａは、データベース１０、データ監視手段１２、通信手
段１３、及びネットワークを介して他のコンピュータと
の通信を行う通信手段１３ａとを有している。コンピュ
ータ１ｂは、データ閲覧手段１１及びネットワークを介
して他のコンピュータとの通信を行う通信手段１３ａと
を有している。データ監視用のコンピュータ１ａ及びデ
ータ閲覧用のコンピュータ１ｂは、ネットワーク上にそ
れぞれ複数台存在することが可能である。なお、上記マ
スフローコントローラ２２、データ監視手段１２、デー
タ閲覧手段１１など同一符号を配したものは、実施例１
で説明したものと同様であり、機能、動作など関連する
説明は省略する。
いて説明する。図２において、データ監視用のコンピュ
ータ１ａとデータ閲覧用のコンピュータ１ｂがネットワ
ークケーブル３０で接続されており、コンピュータ１ａ
とマスフローコントローラ２２が通信ケーブル２１及び
分岐手段２０を介して接続されている。コンピュータ１
ａは、データベース１０、データ監視手段１２、通信手
段１３、及びネットワークを介して他のコンピュータと
の通信を行う通信手段１３ａとを有している。コンピュ
ータ１ｂは、データ閲覧手段１１及びネットワークを介
して他のコンピュータとの通信を行う通信手段１３ａと
を有している。データ監視用のコンピュータ１ａ及びデ
ータ閲覧用のコンピュータ１ｂは、ネットワーク上にそ
れぞれ複数台存在することが可能である。なお、上記マ
スフローコントローラ２２、データ監視手段１２、デー
タ閲覧手段１１など同一符号を配したものは、実施例１
で説明したものと同様であり、機能、動作など関連する
説明は省略する。
【０００９】各データ監視用コンピュータ１ａは、デー
タ監視手段１２からの指示に従い、接続されているマス
フローコントローラ２２の動作情報をデータベース１０
に書込、保存していく。一方、各データ閲覧用コンピュ
ータ１ｂにおいて、データ閲覧手段１１は、各データ監
視用コンピュータ１ａの動作状態とは関係なく、そのデ
ータベース１０が保存している情報の抽出、読み出し要
求を行うことができる。各データベース１０は前述した
ような機能を有しているので、複数のデータ監視手段１
２からのデータ書込要求とデータ閲覧手段１１からのデ
ータ読出要求とが一時に発生しても問題なく動作可能で
ある。従って、必要な時に任意のさらには複数のデータ
閲覧用コンピュータ１ｂで、希望するマスフローコント
ローラ２２の動作状況を監視したり、過去の情報を閲覧
し、分析することができる。
タ監視手段１２からの指示に従い、接続されているマス
フローコントローラ２２の動作情報をデータベース１０
に書込、保存していく。一方、各データ閲覧用コンピュ
ータ１ｂにおいて、データ閲覧手段１１は、各データ監
視用コンピュータ１ａの動作状態とは関係なく、そのデ
ータベース１０が保存している情報の抽出、読み出し要
求を行うことができる。各データベース１０は前述した
ような機能を有しているので、複数のデータ監視手段１
２からのデータ書込要求とデータ閲覧手段１１からのデ
ータ読出要求とが一時に発生しても問題なく動作可能で
ある。従って、必要な時に任意のさらには複数のデータ
閲覧用コンピュータ１ｂで、希望するマスフローコント
ローラ２２の動作状況を監視したり、過去の情報を閲覧
し、分析することができる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
マスフローコントローラの動作データの解析時でも中断
することなく動作情報を収集することができるので、こ
の間にトラブルなどが生じても、その時の動作情報を見
逃さないので、その原因を解明するのに有効である。ま
た、多数のマスフローコントローラの動作状態をネット
上で見るようにすることができるので、複数の人が、異
なった場所からでも動作状態を監視したり、同時に解析
することもでき、製造プロセスの安定維持に有効であ
る。
マスフローコントローラの動作データの解析時でも中断
することなく動作情報を収集することができるので、こ
の間にトラブルなどが生じても、その時の動作情報を見
逃さないので、その原因を解明するのに有効である。ま
た、多数のマスフローコントローラの動作状態をネット
上で見るようにすることができるので、複数の人が、異
なった場所からでも動作状態を監視したり、同時に解析
することもでき、製造プロセスの安定維持に有効であ
る。
【図１】本発明のスタンドアロンでの一実施例の構成図
である。
である。
【図２】本発明のネットワーク上での一実施例の構成図
である。
である。
１ スタンドアロンコンピュータ
１ａ データ監視用コンピュータ
１ｂ データ閲覧用コンピュータ
１０ データベース
１１ データ閲覧手段
１２ データ監視手段
１３ 通信手段
２０ 分岐手段
２１ 通信ケーブル
２２ マスフローコントローラ
３０ ネットワークケーブル
Claims (4)
- 【請求項１】 デジタル通信機能を有したマスフローコ
ントローラと接続されたコンピュータシステムで形成さ
れ、同時進行的にデータの入出力処理ができるデータベ
ースと、マスフローコントローラ動作情報のデータベー
スへの入力処理を行うためのデータ監視用ソフトウエア
と、マスフローコントローラ動作情報のデータベースか
らの出力処理を行うためのデータ閲覧用ソフトウエアと
を備えていることを特徴とするマスフローコントローラ
用モニターシステム。 - 【請求項２】 データ監視用ソフトウエアとデータ閲覧
用ソフトウエアは同時進行的に実行することができる請
求項１記載のマスフローコントローラ用モニターシステ
ム。 - 【請求項３】 データ監視用ソフトウエアとデータ閲覧
用ソフトウエアは、ネットワーク上に分散配置されてい
る請求項１又２記載のマスフローコントローラ用モニタ
ーシステム。 - 【請求項４】 外部からの所定のトリガーに応じて、特
定のマスフローコントローラの動作情報をデータベース
へ入力することができる請求項１、２又は３記載のマス
フローコントローラ用モニターシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002009351A JP2003216227A (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | マスフローコントローラ用モニターシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002009351A JP2003216227A (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | マスフローコントローラ用モニターシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003216227A true JP2003216227A (ja) | 2003-07-31 |
Family
ID=27647369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002009351A Pending JP2003216227A (ja) | 2002-01-18 | 2002-01-18 | マスフローコントローラ用モニターシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003216227A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013054054A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Brother Ind Ltd | 画像形成装置 |
| JP2013097770A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-20 | Seiko Epson Corp | データ管理装置 |
| JP2016021219A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-02-04 | 株式会社堀場エステック | 中継器 |
| CN107450613A (zh) * | 2017-07-29 | 2017-12-08 | 安徽金大仪器有限公司 | 高压流量测控仪 |
-
2002
- 2002-01-18 JP JP2002009351A patent/JP2003216227A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013054054A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Brother Ind Ltd | 画像形成装置 |
| JP2013097770A (ja) * | 2011-11-07 | 2013-05-20 | Seiko Epson Corp | データ管理装置 |
| JP2016021219A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-02-04 | 株式会社堀場エステック | 中継器 |
| CN105320160A (zh) * | 2014-06-20 | 2016-02-10 | 株式会社堀场Stec | 中继器以及流体控制和测量系统 |
| US10216162B2 (en) | 2014-06-20 | 2019-02-26 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Fluid control and measurement system with a relay |
| CN107450613A (zh) * | 2017-07-29 | 2017-12-08 | 安徽金大仪器有限公司 | 高压流量测控仪 |
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