CN105320160A - 中继器以及流体控制和测量系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供中继器以及流体控制和测量系统。为了能使流体设备小型化并能诊断流体设备的动作状态，中继器具备：第一端口，与流体设备连接；以及第二端口，与用户用信息处理装置连接，通过第一端口从流体设备接收流体关联数据并通过第二端口向用户用信息处理装置发送，或通过第二端口从用户用信息处理装置接收流体关联数据并通过第一端口向流体设备发送，中继器还具备与诊断流体设备的动作状态的诊断用装置连接的第三端口，通过第一端口从流体设备接收诊断动作状态的诊断用数据并通过第三端口向诊断用装置发送。

Description

中继器以及流体控制和测量系统

技术领域

本发明涉及一种用于对例如在半导体制造工序中使用的材料气体、药液或清洗液等流体进行控制或测量的流体控制和测量系统的中继器。

背景技术

例如，在像半导体制造工序那样使用多种气体的情况下，需要控制各气体的流量，在每个气体管路上设置有流体控制装置等流体设备。用户用的信息处理装置与所述的流体设备连接，在所述的流体设备与该用户用信息处理装置之间收发预先由用户设定的种类的数据。

但是，例如维修时等，在诊断各流体设备的动作状态的情况下，如上所述，虽然向用户用信息处理装置发送由用户选择的数据，但是所述动作状态的诊断所需要的数据并不一定齐全。

因此，在以往的流体设备上设置有用于诊断所述动作状态的服务端口，通过所述服务端口，并且通过与维修人员等使用的诊断用装置进行电缆连接，与该诊断用装置之间收发进行诊断所需要的数据。

但是，近年来，对系统的小型化的要求不断提高，如果为了响应所述要求而实现流体设备的小型化，则另一方面会产生如下问题：不能在流体设备上设置用于将所述诊断用装置与流体设备进行电缆连接的端口，从而不能将来自流体设备的数据向诊断用装置发送。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开平7-210254号

发明内容

为了解决所述的问题，着眼于设置在流体设备和用户用信息处理装置之间的中继器，本发明的主要目的在于能够使流体设备小型化并且能够诊断流体设备的动作状态。

即，本发明提供一种中继器，其具备：第一端口，与控制或测量流体的流体设备连接；以及第二端口，与用户用信息处理装置连接，通过所述第一端口从所述流体设备接收流体关联数据，并且通过所述第二端口向所述用户用信息处理装置发送所述流体关联数据，或者通过所述第二端口从所述用户用信息处理装置接收所述流体关联数据，并且通过所述第一端口向所述流体设备发送所述流体关联数据，所述流体关联数据是用于控制或测量所述流体的数据，所述中继器还具备第三端口，所述第三端口与诊断用装置连接，所述诊断用装置诊断所述流体设备的动作状态，通过所述第一端口从所述流体设备接收诊断所述动作状态的诊断用数据，并且通过所述第三端口向所述诊断用装置发送所述诊断用数据。

按照这种中继器，由于具备第三端口，该第三端口与诊断用装置连接，用于向所述诊断用装置发送从流体设备输出的诊断用数据，所以无需对诊断用装置和流体设备进行电缆连接，就能够向诊断用装置发送诊断用数据。

由此，能够不需要以往那样的设置于各流体设备上的电缆连接用的端口，从而能够实现各流体设备的小型化，并且能够诊断各流体设备的动作状态。

在以规定的标准对流体关联数据进行通信的情况下，为了以不会妨碍所述通信的方式将诊断用数据向诊断用装置发送，优选的是，第一通信线和第二通信线与所述第一端口连接，所述第一通信线对所述流体关联数据进行通信，所述第二通信线对所述诊断用数据进行通信。

按照该方式，由于与对由用户设定的流体关联数据进行通信的第一通信线不同，由第二通信线对诊断用数据进行通信，所以能够与用户的设定无关地取得流体设备的诊断所需要的诊断用数据，从而能够灵活地诊断流体设备。即，不需要改变用户的设定，就能够设定诊断用数据，并能够使用附加设置的诊断用装置对流体设备进行诊断。

为了实现各流体设备的进一步的小型化，优选的是，所述中继器还具备：标识符赋予部，赋予各个所述流体设备用于识别多个所述流体设备的标识符；以及显示部，显示由所述标识符赋予部赋予了的各个所述流体设备的标识符。

按照该方式，无需像以往那样在流体设备上设置标识符赋予部和显示部，能够进一步使各流体设备小型化。

此外，即使将流体设备配置在例如用户的手接触不到的场所、或眼睛看不到的场所，只要将中继器配置在能够操作的场所，就能够通过该中继器的标识符赋予部和显示部，确认各流体设备的连接状态等，从而能够提高作业性。

作为使本发明的效果更显著的实施方式，可以例举下述的方式：所述各流体设备具有呈扁平形状的箱体，通过使所述箱体的面板部之间彼此相对，能够无间隙地配置彼此相邻的所述流体设备。

此外，本发明还提供一种流体控制和测量系统，其包括：流体设备，控制或测量流体；用户用信息处理装置；以及中继器，所述中继器具备：第一端口，与所述流体设备连接；以及第二端口，与所述用户用信息处理装置连接，通过所述第一端口从所述流体设备接收流体关联数据，并且通过所述第二端口向所述用户用信息处理装置发送所述流体关联数据，或者通过所述第二端口从所述用户用信息处理装置接收所述流体关联数据，并且通过所述第一端口向所述流体设备发送所述流体关联数据，所述流体关联数据是用于控制或测量所述流体的数据，所述中继器还具备第三端口，所述第三端口与诊断用装置连接，所述诊断用装置诊断所述流体设备的动作状态，所述中继器通过所述第一端口从所述流体设备接收诊断所述动作状态的诊断用数据，并且通过所述第三端口向所述诊断用装置发送所述诊断用数据。

按照这种流体控制和测量系统，能够得到与所述的中继器相同的作用效果。

按照以上方式构成的本发明，能够使流体设备小型化，并且能够诊断流体设备的动作状态。

附图说明

图1是示意性地表示本实施方式的流体控制和测量系统的图。

图2是表示与图1为同一实施方式的流量控制装置的立体参考图。

图3是表示与图1为同一实施方式的流量控制装置的构成的立体参考图。

图4是表示与图1为同一实施方式的流量控制装置的构成的参考图。

图5是表示与图1为同一实施方式的中继器的示意图。

图6是表示与图1为同一实施方式的中继器的示意图。

附图标记说明

100···流体控制和测量系统

101···流量控制装置

102···用户用信息处理装置

103···中继器

104···诊断用装置

P1···第一端口

P2···第二端口

P3···第三端口

L1···第一通信线

L2···第二通信线

11···标识符赋予部

12···显示部

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的流体控制和测量系统进行说明。

如图1所示，所述流体控制和测量系统100例如用于从气体供给源分别导入半导体制造系统成膜用的各种气体，将它们混合并向半导体的成膜室(未图示)供给，所述流体控制和测量系统100包括：流道形成构件，形成各气体的流道L(以下也称为气体流道)；作为流体设备的流量控制装置101，分别设置在各气体流道L上，独立控制流过该气体流道L的气体的流量；用户用信息处理装置102，能够与各流量控制装置101通信；中继器103，设置在流量控制装置101和用户用信息处理装置102之间；以及诊断用装置104，诊断各流量控制装置101的动作状态，即诊断各流量控制装置101是否正常动作。

另外，作为流体设备，可以例举控制流体的压力、流量和温度粘性等物性的流体控制装置、以及测量所述物性的流体测量装置等。

接着，更具体地说明所述流体控制和测量系统100的各部分。

虽然未图示，但是所述流道形成构件例如通过以平面的方式连接设置多个块体而构成在面板上。在各块体内设置有内部流道，通过适当地连接设置各块体来连接各块体的内部流道，由此如上所述地形成多个并列的气体流道L。准备有能够安装压力传感器、阀或后述的流量控制装置101等流体关联设备的块体、形成有分支流道的块体等各种类型的块体。由于能够以无间隙的方式紧密地进行配置并且能够在其上部一体地安装所述流体关联设备，所以通过块体构成流道形成构件能够实现小型化，其结果，能够使流道变短从而能够使无效空间变小并能提高响应性。另外，流道形成构件也可以使用通常的配管构件。

如图2～图4所示，所述流量控制装置101具备安装在流量控制装置安装用块体1(以下也仅称为块体)上的第一压力传感器2A、第二压力传感器2B、流体阻力元件3、流量调节阀4、电路板5以及收容它们的箱体6。

另外，在本实施方式中，特别是如图2所示，所述箱体6呈扁平形状，通过使该箱体6的面板部之间彼此相对，能够无间隙地配置彼此相邻的流量控制装置101。由此，能够使流体控制和测量系统100整体紧凑化。

块体1呈细长的长方体状，在以与其长边方向垂直的方式形成的前后各端面1b上分别设置有气体的导入口和导出口，以连接所述的各口的方式，并且以在俯视观察中沿着长边方向的方式设置有气体流动的内部流道1a。

此外，在该内部流道1a上从上游侧依次设置有：流量调节阀4、第一压力传感器2A、流体阻力元件3和第二压力传感器2B。此外，所述块体1的上表面1c(即以与所述块体1的长边方向平行的方式与所述端面1b垂直的面)被设定为部件安装面，在所述部件安装面上设置有后述的流量调节阀4、第一压力传感器2A和第二压力传感器2B的壳体。

流量调节阀4具备设置在内部流道1a上的阀主体(未图示)和开关所述阀主体的驱动部件(未图示)。所述驱动部件利用了例如沿厚度方向伸缩的层叠压电元件，收容在安装于所述部件安装面上的筒状壳体中。此外，可以通过该驱动部件的伸缩动作来调节阀主体的阀开度。

第一压力传感器2A和第二压力传感器2B具备呈扁平形状的壳体和内置于所述壳体内的压力检测元件。此外，将所述壳体以其面板部(扁平面)与所述部件安装面垂直且与块体1的长边方向平行亦即俯视观察时与流体的流动方向大体平行的方式，安装在该部件安装面上。

流体阻力元件3形成设置在内部流道1a上的狭窄的通路部分，在此流体阻力元件3埋入块体1的内部。

在电路板5上形成有CPU、存储器、通信电路等数字电路和放大器、缓冲器等模拟电路，通过各电路协同工作，在功能方面能够发挥作为流量测量部和流量控制部的功能，所述流量测量部测量流过气体流道L(作为块体1的内部流道1a的气体流道)的气体的流量，所述流量控制部进行控制，使得由所述流量测量部检测到的气体流量成为规定的目标流量。

在此，流量测量部基于由分别设置在流体阻力元件3的上游和下游的第一压力传感器2A和第二压力传感器2B测量到的气体流道L的压力，计算流过该气体流道L的气体流量。以该方式计算出的气体流量(以下也称为测量流量)作为测量流量信号向流量控制部输出。

流量控制部接收目标流量信号和所述测量信号，并对它们分别表示的目标流量和所述测量流量进行比较，以使它们的偏差变小的方式输出用于驱动流量调节阀4的动作信号。另外，所述流量控制部还接收阀开关信号，当接收到阀开关信号时，与目标流量信号的值无关地强制性地使流量调节阀4完全打开或完全关闭。

以所述方式构成的流量控制装置101通过设置在箱体6的上板部上的连接器7，与用户用信息处理装置102电缆连接。

用户用信息处理装置102与多个流量控制装置101电缆连接，能够与各流量控制装置101通信，具体地说，用户用信息处理装置102是具备CPU、存储器、输入输出接口和AD转换器等的通用或专用的计算机。

更具体地说，在本实施方式中，所述用户用信息处理装置102与各流量控制装置101之间收发作为流体关联数据的、用于控制流体的流量的数据。具体地说，所述流体关联数据是指在半导体制造装置的菜单中使用的数据，并且是由用户用信息处理装置102进行的数据处理所需要的数据。即，所述流体关联数据是用户用信息处理装置102认为必要的(定义的)数据。

作为从用户用信息处理装置102向流量控制装置101发送的流体关联数据，有表示目标流量的所述目标流量信号和强制性地使流量调节阀4开关的所述阀开关信号等。另一方面，作为从各流量控制装置101向用户用信息处理装置102发送的流体关联数据，有表示测量流量的所述测量流量信号、表示第一压力传感器2A和第二压力传感器2B测量到的压力的测量压力信号、表示流量调节阀4的开度(向阀4施加的电压)的阀开度信号、以及表示流体的温度的流体温度信号等。

另外，所述用户用信息处理装置102与各流量控制装置101之间收发从所述流体关联数据中由用户预先设定的一种或多种数据。

在此，如图5和图6所示，本实施方式的流体控制和测量系统100具备中继器103，该中继器103设置在所述的多个流量控制装置101和用户用信息处理装置102之间，并且在它们之间对所述流体关联数据进行中继。

另外，为了便于说明，在图5中省略了设置于中继器103的外周面的各构成的记载，在图6中省略了中继器103内部的各构成的记载。

以下，对所述中继器103进行说明。

如图5和图6所示，中继器103具备：第一端口P1，与所述流量控制装置101连接，用于与该流量控制装置101之间收发所述流体关联数据；以及第二端口P2，与所述用户用信息处理装置102连接，用于与该用户用信息处理装置102之间收发所述流体关联数据。

更具体地说，所述中继器103将通过第一端口P1从流量控制装置101接收到的流体关联数据通过第二端口P2向用户用信息处理装置102发送，并将通过第二端口P2从用户用信息处理装置102接收到的流体关联数据通过第一端口P1向流量控制装置101发送。

在本实施方式中，多个第一端口P1以与各流量控制装置101对应的方式设置，第一通信线L1与各第一端口P1和第二端口P2连接，所述第一通信线L1在各流量控制装置101和用户用信息处理装置102之间对所述流体关联数据进行通信。

所述第一通信线L1以差分传输通信(本实施方式中为CAN通信)等规定的标准对所述流体关联数据进行通信，具体地说，所述第一通信线L1由一端与流量控制装置101连接并且另一端与用户用信息处理装置102连接的第一通信电缆构成。另外，所述第一通信电缆分别与设置于各流量控制装置101、第一端口P1、第二端口P2和用户用信息处理装置102的未图示的物理连接器连接。另外，第一通信电缆是指电线等物理性的物品。

更具体地说，在本实施方式中，在用户用信息处理装置102和中继器103之间通过DeviceNet(设备网)对所述流体关联数据进行通信，在中继器103和各流量控制装置101之间通过CAN进行通信。另外，也可以使用EtherCAT(以太网控制自动化技术)代替DeviceNet

在本实施方式中，如图5所示，通过各第一端口P1与各流量控制装置101连接的多个第一通信线L1在第一端口P1和第二端口P2之间汇合，并通过第二端口P2与用户用信息处理装置102连接。

另外，在本实施方式中，例如可以利用未图示的开关元件等，恰当地对能与用户用信息处理装置102通信的流量控制装置101进行切换。此外，在本实施方式中，在第一通信线L1上设置有中继器(repeater)等的CPU。即，所述中继器等的CPU设置在中继器103内，与第一通信线L1连接。

此外，本实施方式的中继器103在所述第一通信线L1上具有未图示的光耦合器等隔离器，以使各流量控制装置101和用户用信息处理装置102绝缘。具体地说，所述隔离器设置在比所述第一通信线L1的汇合点更靠用户用信息处理装置102的一侧。

此外，如图5和图6所示，本实施方式的中继器103还具备第三端口P3，所述第三端口P3与对流量控制装置101的动作状态进行诊断的诊断用装置104连接，用于与所述诊断用装置104之间收发作为用于诊断所述动作状态的数据的诊断用数据。所述诊断用数据可以至少包括未包含在所述流体关联数据中的数据。

在此，诊断用数据是能够用于流量控制装置101的动作状态的诊断的数据，是通过流量控制装置101得到的数据。具体地说，作为诊断用数据，有表示目标流量的所述目标流量信号、强制性地使流量调节阀4开关的所述阀开关信号、表示测量流量的所述测量流量信号、表示第一压力传感器2A和第二压力传感器2B测量到的压力的测量压力信号、表示流量调节阀4的开度(向阀4施加的电压)的阀开度信号、表示各传感器的原始值的原始信号、表示各传感器的漂移(drift)的累计值的漂移累计信号、以及表示使用了在关闭流量调节阀4的状态下得到的测量流量的自身诊断值(例如国际公开公报WO2008/053839号)的自身诊断信号等。

另外，在用户以在流量控制装置101和用户用信息处理装置102之间收发全部的流体关联数据的方式进行了选择的情况下，流体关联数据和诊断用数据一致。

所述第三端口P3与所述第二端口P2分开设置，本实施方式的中继器103将通过第一端口P1从各流量控制装置101接收到的所述诊断用数据，通过第三端口P3向诊断用装置104发送。

在本实施方式中，第二通信线L2与所述第三端口P3连接，所述第二通信线L2在各流量控制装置101和诊断用装置104之间对所述诊断用数据进行通信。

所述第二通信线L2由与所述第一通信电缆不同的第二通信电缆构成，该第二通信电缆的一端与流量控制装置101连接，并且另一端与诊断用装置104连接。另外，所述第二通信电缆分别与设置在各流量控制装置101、第一端口P1、第三端口P3和诊断用装置104上的未图示的物理连接器连接。另外，第二通信电缆是指电线等物理性的物品。

在本实施方式中，如图5所示，通过各第一端口P1与各流量控制装置101连接的多个第二通信线L2在第一端口P1和第三端口P3之间汇合，并通过第三端口P3与诊断用装置104连接。

另外，各第一端口P1设置有与所述第一通信线L1连接的第一通信线用端子(未图示)和与所述第二通信线L2连接的第二通信线用端子(未图示)，可以在流量控制装置101和中继器103之间分别独立地收发流体关联数据和诊断用数据。

此外，如图6所示，本实施方式的中继器103还具备：标识符赋予部11，赋予各流量控制装置101用于识别多个流量控制装置101的标识符；以及显示部12，显示由标识符赋予部11赋予了的各流量控制装置101的标识符和动作状态等。

标识符赋予部11对应于与用户用信息处理装置102连接的各流量控制装置101，例如设置在中继器103的外周面上。

具体地说，所述标识符赋予部使用例如旋转开关等双列直插式开关，例如将各流量控制装置101设定成相互不同的值。

显示部12与各标识符赋予部11对应，例如设置在中继器103的所述外周面上。

具体地说，所述显示部例如使用了LED等，显示由对应的标识符赋予部11设定的各流量控制装置101的标识符(在本实施方式中各流量控制装置101的值)。

按照以所述方式构成的本实施方式的流体控制和测量系统100，由于中继器103具备第三端口P3，并且通过所述第三端口P3连接各流量控制装置101和诊断用装置104，所以无需对诊断用装置104和流量控制装置101进行电缆连接，就可以向诊断用装置104发送诊断用数据。

由此，可以不需要像以往那样的设置在各流量控制装置101上的电缆连接用的端口，从而能够实现流量控制装置101的小型化，并且能够诊断各流量控制装置101的动作状态。

此外，由于不需要像以往那样将各流量控制装置101分别与诊断用装置104进行电缆连接，所以能够显著地减少电缆的数量。

此外，由于第一通信线L1和第二通信线L2与第一端口P1连接，所述第一通信线L1以规定的标准对流体关联数据进行通信，所述第二通信线L2与所述第一通信线L1不同，对诊断用数据进行通信，并且能够与流量控制装置101分别独立地收发所述的流体关联数据和诊断用数据，所以能够向诊断用装置104发送从各流量控制装置101输出的所述诊断用数据而不会妨碍第一通信线L1以规定的标准进行通信。

在此，在半导体制造装置中，如果流体的控制和测量产生延迟等，则有可能导致作为最终产品的半导体等的质量劣化，因此，为了保证通信速度，第一通信线L1大多仅对由用户设定的数据进行通信。在这种半导体制造装置中，按照所述的构成，由于利用与所述第一通信线L1不同的第二通信线L2对诊断用数据进行通信，所以能够与用户的设定无关地取得流量控制装置101的诊断所需要的诊断用数据，从而能够灵活地诊断流量控制装置101。

此外，由于中继器103具备标识符赋予部11和显示部12，所以不需要像以往那样将标识符赋予部11和显示部12设置在流量控制装置101上，从而能够进一步使各流量控制装置101小型化。

此外，按照这种构成，即使流量控制装置101配置在例如用户的手接触不到的场所、或眼睛看不到的场所，只要将中继器103配置在能够操作的场所，就能够通过该中继器103的标识符赋予部11和显示部12确认各流量控制装置101的连接状态等，从而能够提高作业性。

此外，由于中继器103具备隔离器而在各流量控制装置101上未设置隔离器，所以能够使各流量控制装置101和用户用信息处理装置102绝缘，并且能够实现各流量控制装置101进一步的小型化。

此外，由于所述隔离器设置在比第一通信线L1的汇合点更靠用户用信息处理装置102一侧，所以与对应于各流量控制装置101来设置隔离器的情况相比价格低。另外，在这种构成中，各流量控制装置101之间未绝缘，但是由于对流体关联数据进行差分传输通信，所以能够将各流量控制装置101之间的噪声抑制为对流体的控制或测量不会产生影响的程度。

另外，本发明并不限于所述实施方式。

例如，在所述实施方式中，与各流量控制装置连接的第一通信线和第二通信线与相同的第一端口连接，但是第一通信线和第二通信线也可以与相互不同的第一端口连接。

此外，所述实施方式的中继器使与第二端口分开设置的第三端口与诊断用装置连接，并且与该诊断用装置之间收发诊断用数据，但是也可以使例如第二端口的连接器和第三端口的连接器通用化。

此外，所述实施方式的第一通信线和第二通信线由不同的通信电缆构成，但是第一通信线的一部分和第二通信线的一部分可以由共同的通信电缆构成。

此外，中继器可以通过单一的通信线对通过第一端口与流量控制装置之间收发的流体关联数据和诊断用数据进行收发。

在这种情况下，例如可以在中继器中设置CPU等，通过所述CPU等的设定，通过第二端口与用户用信息处理装置之间收发通过所述单一的通信线进行通信的流体关联数据，通过第三端口与诊断用装置之间收发诊断用数据。

此外，本实施方式的诊断用装置对流量控制装置的动作状态进行诊断，但是例如也可以通过第三端口从诊断用装置接收用于对各流量控制装置进行修正或校正的维修数据并通过第一端口向各流量控制装置发送，诊断用装置对各流量控制装置的动作状态进行诊断，并且进行各流量控制装置的修正或校正等维修。

另外，在此所指的诊断包括修正和校正等。

此外，所述实施方式的双列直插式开关是旋转开关，但是也可以是滑动开关或按锁开关(pushlockswitch)等。

此外，多个流量控制装置例如可以相互通过菊链连接，所述多个流量控制装置中的一个或多个流量控制装置与中继器连接。

此外，在所述实施方式中，在第一通信线上设置有中继器等的CPU，但是也可以在第二通信线上另外设置中继器等的CPU，还可以在第一通信线和第二通信线上以共有的方式设置一个或多个中继器等的CPU。

此外，所述实施方式的中继器设置在多个流量控制装置和用户用信息处理装置之间，但是也可以分别与各流量控制装置对应地设置。

此外，所述实施方式的流体控制和测量系统在流量控制装置和用户用信息处理装置之间收发流体关联数据，但是也可以从流量控制装置仅向用户用信息处理装置发送流体关联数据，或者从用户用信息处理装置仅向流量控制装置发送流体关联数据。

此外，第三端口只要是用于对至少包括未包含在流体关联数据中的数据的一个或多个数据进行收发的端口即可，并不限于用于收发诊断用数据的端口。

此外，本发明并不限于所述实施方式，只要在不脱离本发明宗旨的范围内能够进行各种变形。

可以相互组合本发明的各个实施方式中所记载的技术特征形成新的技术方案。

Claims (5)

1.一种中继器，其具备：第一端口，与控制或测量流体的流体设备连接；以及第二端口，与用户用信息处理装置连接，通过所述第一端口从所述流体设备接收流体关联数据，并且通过所述第二端口向所述用户用信息处理装置发送所述流体关联数据，或者通过所述第二端口从所述用户用信息处理装置接收所述流体关联数据，并且通过所述第一端口向所述流体设备发送所述流体关联数据，所述流体关联数据是用于控制或测量所述流体的数据，

所述中继器的特征在于，

所述中继器还具备第三端口，所述第三端口与诊断用装置连接，所述诊断用装置诊断所述流体设备的动作状态，

通过所述第一端口从所述流体设备接收诊断所述动作状态的诊断用数据，并且通过所述第三端口向所述诊断用装置发送所述诊断用数据。

2.根据权利要求1所述的中继器，其特征在于，第一通信线和第二通信线与所述第一端口连接，所述第一通信线对所述流体关联数据进行通信，所述第二通信线对所述诊断用数据进行通信。

3.根据权利要求1所述的中继器，其特征在于，

所述中继器还具备：

标识符赋予部，赋予各个所述流体设备用于识别多个所述流体设备的标识符；以及

显示部，显示由所述标识符赋予部赋予了的各个所述流体设备的标识符。

4.根据权利要求1所述的中继器，其特征在于，各个所述流体设备具有呈扁平形状的箱体，通过使所述箱体的面板部之间彼此相对，能够无间隙地配置彼此相邻的所述流体设备。

5.一种流体控制和测量系统，其包括：流体设备，控制或测量流体；用户用信息处理装置；以及中继器，所述中继器具备：第一端口，与所述流体设备连接；以及第二端口，与所述用户用信息处理装置连接，通过所述第一端口从所述流体设备接收流体关联数据，并且通过所述第二端口向所述用户用信息处理装置发送所述流体关联数据，或者通过所述第二端口从所述用户用信息处理装置接收所述流体关联数据，并且通过所述第一端口向所述流体设备发送所述流体关联数据，所述流体关联数据是用于控制或测量所述流体的数据，

所述流体控制和测量系统的特征在于，

所述中继器还具备第三端口，所述第三端口与诊断用装置连接，所述诊断用装置诊断所述流体设备的动作状态，

所述中继器通过所述第一端口从所述流体设备接收诊断所述动作状态的诊断用数据，并且通过所述第三端口向所述诊断用装置发送所述诊断用数据。