JP5934412B2 - 中継器 - Google Patents
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Description
これにより、従来であれば各流体機器に設けられていたケーブル接続用のポートを不要にすることができ、各流体機器の小型化を図りながらも、各流体機器の動作状態を診断することが可能になる。
これならば、ユーザに設定された流体関連データを通信する第1通信ラインとは別に、第2通信ラインによって診断用データを通信するので、流体機器の診断に必要な診断用データをユーザの設定に関わらず取得することができ、柔軟に流体機器を診断することができる。すなわち、ユーザの設定を変更することなく、診断用データを設定することができ、後付した診断用装置を用いて流体機器の診断を行うことができる。
これならば、従来のように流体機器に識別子付与部や表示部を設ける必要がなく、各流体機器を更に小型にすることができる。
そのうえ、流体機器が、例えばユーザの手の届かない場所、あるいは目の行き届かない場所に配置されたとしても、中継器さえ操作可能な場所に配置しておけば、該中継器の識別子付与部及び表示部により各流体機器の接続状態等を確認することができ、作業性を向上させることができる。
このような流体制御・測定システムによれば、上述した中継器と同様の作用効果を得ることができる。
なお、流体機器としては、流体の圧力、流量、温度粘性等の物性を制御する流体制御装置や、前記物性を測定する流体測定装置などが挙げられる。
なお、本実施形態では、特に図2に示すように、前記ケーシング6は扁平形状をなすものであり、該ケーシング6の面板部同士を互いに対向させることにより、互いに隣り合う流量制御装置101が隙間なく配設されるように構成されている。これにより、流体制御・測定システム100全体をコンパクト化することが可能になる。
ユーザ用情報処理装置102から流量制御装置101に送信される流体関連データとしては、目標流量を示す前記目標流量信号や流量調整バルブ4を強制的に開閉させる前記バルブ開閉信号などがある。一方、各流量制御装置101からユーザ用情報処理装置102に送信される流体関連データとしては、測定流量を示す前記測定流量信号、各圧力センサ2A、2Bが測定した圧力を示す測定圧力信号、流量調整バルブ4の開度(バルブ4に印加している電圧)を示すバルブ開度信号、流体の温度を示す流体温度信号などがある。
なお、このユーザ用情報処理装置102は、上述した流体関連データの中から、ユーザにより予め設定された1又は複数種類のデータを各流量制御装置101との間で送受信するように構成されている。
なお、説明の便宜上、図5では中継器103の外周面に設けられた各構成の記載を省略しており、図6では中継器103の内部の各構成の記載を省略している。
より詳細に本実施形態では、前記流体関連データをユーザ用情報処理装置102と中継器103間でDeviceNetにより通信し、中継器103と各流量制御装置101との間でCANにより通信するように構成されている。なお、DeviceNetの代わりに、EtherCATを用いても良い。
なお、本実施形態では、例えば図示しないスイッチング素子などにより、ユーザ用情報処理装置102と通信可能な流量制御装置101を適宜切り替えられるように構成されている。また、本実施形態では、第1通信ラインL1にはリピータ等のCPUを設けられている。つまり、このリピータ等のCPUは、中継器103内に設けられて、第1通信ラインL1が接続されたものである。
ここで、診断用データは、流量制御装置101の動作状態の診断に用いることができるデータであり、流量制御装置101により得られるデータである。具体的に診断用データとしては、目標流量を示す前記目標流量信号、流量調整バルブ4を強制的に開閉させる前記バルブ開閉信号、測定流量を示す前記測定流量信号、各圧力センサ2A、2Bが測定した圧力を示す測定圧力信号、流量調整バルブ4の開度(バルブ4に印加している電圧)を示すバルブ開度信号、各センサの生値を示す生信号、各センサのドリフトの積算値を示すドリフト積算信号、流量調整バルブ4を閉じた状態で得られる測定流量を用いた自己診断値(例えば国際公開番号WO2008/053839)を示す自己診断信号などがある。
なお、ユーザが全ての流体関連データを流量制御装置101とユーザ用情報処理装置102との間で送受信するように選択した場合は、流体関連データと診断用データとが一致する。
なお、各第1ポートP1は、前記第1通信ラインL1が接続される第1通信ライン用端子(図示しない)と前記第2通信ラインL2が接続される第2通信ライン用端子(図示しない)とが設けられており、流量制御装置101と中継器103との間で流体関連データと診断用データとを別個独立して送受信することができるように構成されている。
具体的にこの識別子付与部は、例えばロータリースイッチ等のディップスイッチを用いたものであり、例えば各流量制御装置101を互いに異なる値に設定するように構成されている。
具体的にこの表示部は、例えばLED等を用いたものであり、対応する識別子付与部11により設定された各流量制御装置101の識別子(本実施形態では、各流量制御装置101の値)を表示するように構成されている。
これにより、従来であれば各流量制御装置101に設けられていたケーブル接続用のポートを不要にすることができ、流量制御装置101の小型化を図りながらも、各流量制御装置101の動作状態を診断することができる。
さらに、従来のように各流量制御装置101それぞれを診断用装置104にケーブル接続する必要がないので、ケーブルの本数を格段に減らすことができる。
ここで、半導体製造装置において、流体の制御や測定に遅れ等が生じると最終製品である半導体等の品質劣化を招く恐れがあり、このことから第1通信ラインL1は、通信速度を担保すべく、ユーザにより設定されたデータのみを通信するように構成されていることが多い。このような半導体製造装置において、上述した構成であれば、該第1通信ラインL1とは別の第2通信ラインL2によって診断用データを通信するように構成しているので、流量制御装置101の診断に必要な診断用データをユーザの設定に関わらず取得することができ、柔軟に流量制御装置101を診断することができる。
また、この構成により、流量制御装置101が、例えばユーザの手の届かない場所、あるいは目の行き届かない場所に配置されたとしても、中継器103さえ操作可能な場所に配置しておけば、該中継器103の識別子付与部11及び表示部12により各流量制御装置101の接続状態等を確認することができ、作業性を向上させることができる。
また、前記アイソレータは、第1通信ラインL1における合流点よりユーザ用情報処理装置102側に設けられているので、各流量制御装置101に対応してアイソレータを設ける場合に比べて安価である。なお、この構成では、各流量制御装置101間は絶縁されていないが、流体関連データを差動伝送通信しているので、各流量制御装置101間のノイズを流体の制御又は測定に影響しない程度に抑えることができる。
この場合、例えば中継器にCPU等を設け、このCPU等の設定により、前記単一の通信ラインにより通信される流体関連データを第2ポートを介してユーザ用情報処理装置との間で送受信し、診断用データを第3ポートを介して診断用装置との間で送受信するようにすれば良い。
なお、ここでいう診断には、補正や校正等が含まれている。
101・・・流量制御装置
102・・・ユーザ用情報処理装置
103・・・中継器
104・・・診断用装置
P1 ・・・第1ポート
P2 ・・・第2ポート
P3 ・・・第3ポート
L1 ・・・第1通信ライン
L2 ・・・第2通信ライン
11 ・・・識別子付与部
12 ・・・表示部
Claims (4)
- 流体を制御又は測定する流体機器が接続される第1ポートと、ユーザ用情報処理装置が接続される第2ポートとを具備し、前記流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを、前記第1ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第2ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置に送信する、又は、前記流体関連データを前記第2ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置から受信するとともに、前記第1ポートを介して前記流体機器に送信する中継器であって、
前記流体機器の動作状態を診断する診断用装置が接続される第3ポートをさらに具備し、
前記動作状態を診断する診断用データを、前記第1ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第3ポートを介して前記診断用装置に送信するものであり、
前記第1ポートに、前記流体関連データを通信する第1通信ラインと前記診断用データを通信する第2通信ラインとが接続されることを特徴とする中継器。 - 流体を制御又は測定する流体機器が接続される第1ポートと、ユーザ用情報処理装置が接続される第2ポートとを具備し、前記流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを、前記第1ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第2ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置に送信する、又は、前記流体関連データを前記第2ポートを介して前記ユーザ用情報処理装置から受信するとともに、前記第1ポートを介して前記流体機器に送信する中継器であって、
前記流体機器の動作状態を診断する診断用装置が接続される第3ポートをさらに具備し、
前記動作状態を診断する診断用データを、前記第1ポートを介して前記流体機器から受信するとともに、前記第3ポートを介して前記診断用装置に送信するものであり、
複数の前記流体機器を識別するための識別子を前記各流体機器に付す識別子付与部と、
前記識別子付与部により付された各流体機器の識別子を表示する表示部とをさらに有することを特徴とする中継器。 - 前記各流体機器が、扁平形状をなすケーシングを有し、該ケーシングの面板部同士を互いに対向させることにより、互いに隣り合う前記流体機器を隙間なく配設できるように構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の流体制御システム用中継器。
- 請求項1乃至3のうち何れか一項に記載の中継器と、
流体を制御又は測定する流体機器と、
前記中継器を介して前記流体機器との間で流体を制御又は測定するためのデータである流体関連データを送受信する情報処理装置とを具備することを特徴とする流体制御・測定システム。
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